JP3765907B2 - ヘッドスライダ及びディスク装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的に磁気ディスク装置に用いられる浮上型磁気ヘッドスライダに関し、特に低浮上量を指向した負圧スライダに関する。
【０００２】
近年の磁気ディスク装置の磁気ヘッドスライダにおいては、磁気ディスク媒体の記録密度の増加のために低浮上量化が進められている。また、アクセスの高速化のため、アクセス方向に大きな加速度がかけられるので、浮上安定性に優れたスライダが求められている。
【０００３】
更に、磁気ディスク装置の小型化、機構の単純化のために、近年の磁気ディスク装置においては回転型ポジショナが広く用いられ、ヨー角変化による浮上量変動の少ない負圧スライダが要望されている。
【０００４】
【従来の技術】
浮上安定性に優れた負圧磁気ヘッドスライダとして、空気流入端から空気流出端に向かってレール幅が減少する一対のレールを形成し、一対のレールの間に溝を画成し、この溝部で負圧を発生させるスライダが提案されている（特開平４−２２８１５７号）。
【０００５】
図１（Ａ）は上記公開公報に開示された従来の負圧磁気ヘッドスライダの平面図であり、図１（Ｂ）はその斜視図である。スライダ２は直方体形状をしており、空気流入端２ａと、空気流出端２ｂを有している。
【０００６】
スライダ２のディスク対向面には正圧を発生させるための一対のレール４，６が形成されている。各レール４，６はそれぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面（レール表面）４ａ，６ａを有している。
【０００７】
各レール４，６の空気流入端側にはテーパ面４ｂ，６ｂがそれぞれ形成されている。一対のレール４，６の間には一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝８が画成されている。
【０００８】
レール４が位置するスライダ２の空気流出端には電磁トランスデューサ１０が形成されている。一対のレール４，６の空気流入端側にはセンターレール１１が形成されている。
【０００９】
各レール４，６の幅を流入端及び流出端側で広く、中間部分で細く形成することにより、ヨー角変化による浮上変動を抑えている。また、流入端にテーパ面４ｂ，６ｂを形成することによって、塵埃付着時の浮上変動を抑制することができる。
【００１０】
図１（Ｂ）はレール面側から見たスライダ２の斜視図であり、点線矢印がスライダ２にかかる正圧を、実線矢印がスライダ２にかかる負圧を示している。レール面４ａ，６ａで正圧が発生し、溝８の部分で負圧が発生する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
スライダの浮上量が０．０５μｍ以下となると、スライダ表面形状が浮上状態に与える影響が大きくなる。
【００１２】
上述した従来のスライダでは、スライダが長方形状をしており、概略平行に形成された一対のレールの各々が流入端側と流出端側に２個の幅広部を有するため、スライダ浮上時における圧力分布のピークが４点で発生し、スライダが４点支持となる。
【００１３】
このようにスライダが４点で支持されて浮上すると、スライダの表面形状が浮上状態に与える影響が大きくなる。即ち、製造誤差によりスライダのクラウン、キャンバ、ツイスト等が変動すると、スライダの浮上状態が大きく変動してしまうという問題がある。
【００１４】
よって本発明の目的は、スライダ加工時に生じるレール面平面性公差による浮上変動、テーパ長の加工公差による浮上変動を抑制することができ、良好な浮上特性を有するヘッドスライダを提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；前記一対のレールの間の空気流入端側に画成されたスリットと；前記スリットに連続して前記一対のレールの間に画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記スリットよりも幅広の溝と；前記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサを具備し；前記スライダは空気流入端側よりも空気流出端側が広い台形形状をしており、前記各レールは流入端部と、流出端部と、中間部分とを有しており、該流入端部と流出端部が中間部分より幅広に形成されているとともに、各レールの流出端部中心が流入端部中心と中間部分の中心を結んだ直線の外側に位置していることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【００１６】
本発明のヘッドスライダは空気流入端側が狭く空気流出端側が広い台形形状をしているため、一対のレールは流入端側で近付くこととなる。これにより、スライダ浮上時における圧力分布のピークは３カ所となり、スライダが３点支持されることになる。
【００１７】
スライダが３点支持されると、製造誤差によりスライダのクラウン、キャンバ、ツイスト等が変動しても、スライダの浮上変動を抑制することができ、スライダの良好な浮上特性を実現することができる。
【００１８】
好ましくは、各レールはレールの空気流出端部の中心が、空気流入端部の中心と中間部分の中心を結んだ直線の外側にあるような形状を有している。更に好ましくは、各レールは流入端側に正圧を発生させるテーパ面を有しており、且つテーパ面を有するレール部分のレール幅が、空気流入端側から流出端側に向かって連続的に減少する。
【００１９】
本発明の他の側面によると、空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；前記一対のレールの間の空気流入端側に画成されたスリットと；前記スリットに連続して前記一対のレールの間に画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記スリットよりも幅広の溝と；前記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサを具備し；前記スライダは空気流出端側に互いに概略平行な一対の側面と、該一対の側面から空気流入端に向けて連続して互いに近付く一対の傾斜側面とを有しており、前記各レールは流入端部と、流出端部と、中間部分とを有しており、該流入端部と流出端部は中間部分より幅広に形成されているとともに、各レールの流出端部中心が流入端部中心と中間部分の中心を結んだ直線の外側に位置していることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【００２０】
本発明の更に他の側面によると、空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；前記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサを具備し；前記一対のレールの間の間隔は空気流入端から空気流出端に向けて広がっており；前記スライダは空気流入端側よりも空気流出端側が広い台形形状をしており、前記各レールは流入端側及び流出端側が中間部分より幅広に形成されていることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【００２１】
好ましくは、連結レール部は空気流入端側に正圧を発生させるテーパ面を有しており、且つテーパ面を有するレール部分のレール幅が、空気流入端側から空気流出端側に向かって連続して減少している。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図２を参照すると、本発明の磁気ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置の斜視図が示されている。符号１２はベース１４とカバー１６とから構成されるハウジング（ディスクエンクロージャー）である。
【００２５】
ベース１４上にはインナーハブモータによって回転駆動される図示しないスピンドルハブが設けられている。スピンドルハブには磁気ディスク２０と図示しないスペーサーが交互に挿入され、ディスククランプ１８をスピンドルハブにネジ締結することにより、複数枚の磁気ディスク２０が所定間隔離間してスピンドルハブに取り付けられる。
【００２６】
符号２２はアクチュエータアームアセンブリ２６と磁気回路２８とから構成されるロータリーアクチュエータを示している。アクチュエータアームアセンブリ２６は、ベース１４に固定されたシャフト２４回りに回転可能に取り付けられている。
【００２７】
アクチュエータアームアセンブリ２６は、回転中心から一方向に伸長した複数のアクチュエータアーム３０と、アクチュエータアーム３０と反対方向に伸長したコイル支持部材３６を含んでいる。
【００２８】
各アクチュエータアーム３０の先端部には、先端部で磁気ヘッドスライダ３２を支持するサスペンション３４の基端部が固定されている。
コイル支持部材３６によりコイル３８が支持されている。磁気回路２８と、磁気回路２８のギャップ中に挿入されるコイル３８とでボイスコイルモータ（ＶＣＭ）４０が構成される。
【００２９】
符号４２はヘッドスライダ３２に搭載された電磁トランスデューサからの信号を取り出すフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）を示しており、固定部材４４でその一端が固定され、更に図示しないコネクタに電気的に接続されている。
【００３０】
ベース１４上に環状パッキンアセンブリ４６が搭載されており、パッキンアセンブリ４６を間に挟んでカバー１６をベース１４にネジ締結することにより、ハウジング１２内が密封される。
【００３１】
図３は本発明第１実施形態の磁気ヘッドスライダ５０Ａの平面図を示しており、図４は浮上状態のその斜視図を示している。本実施形態及び引き続く数多くの実施形態において、実質的に同一構成部分については同一符号を付して説明する。
【００３２】
磁気ヘッドスライダ５０Ａは空気流入端５２ａと、空気流出端５２ｂを有しており、空気流入端側が狭く空気流出端側が広い台形形状をしている。磁気ヘッドスライダ５０Ａは図２に示したサスペンション３４により支持される。
【００３３】
磁気ヘッドスライダ５０Ａのディスク対向面には、平坦なレール面（空気ベアリング表面）５４ａ，５６ａを有する一対のレール５４，５６が形成されている。
【００３４】
各レール５４，５６の空気流入側端部にはそれぞれテーパ面５４ｂ，５６ｂが形成されている。スライダ５０Ａが台形形状をしているため、一対のレール５４，５６は空気流入端側で互いに近付くように配置されており、その間にスリット５８が画成されている。
【００３５】
更に、一対のレール５４，５６の間には負圧発生用の溝６０が画成されている。レール５４が位置するスライダ５０Ａの空気流出端５２ｂには電磁トランスデューサ６２が形成されている。
【００３６】
スライダ５０ＡはＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣから形成されており、ウエハに複数個の電磁トランスデューサ６２を形成した後ウエハをバー形状に切断し、側面を加工してレール５４，５６を形成した後、個々のスライダ５０Ａに切断する。
【００３７】
スライダサイズは１．２５ｍｍ×０．２５−０．７５ｍｍ（空気流入端）×１ｍｍ（空気流出端）であり、厚さは０．３ｍｍである。レール５４，５６の幅は最も細い部分で１００μｍ以下となるため、レール５４，５６はフォトリソグラフィ技術により形成する。
【００３８】
即ち、形成すべき所望のレールパターンにレジストを塗布した後、イオンミリングによりウエハを削り取ってスリット５８と、溝６０を形成する。テーパ面５４ｂ，５６ｂはレール５４，５６を形成する前、或いは後に機械加工によって形成する。
【００３９】
テーパの角度は０．５°〜４．０°、テーパの長さはレール長さの１／１０〜１／２０が望ましい。テーパ面５４ｂ，５６ｂで発生した正圧により、各レール５４，５６の先端側面への汚れの付着を防止する。
【００４０】
図４のスライダ５０Ａの浮上状態斜視図から明らかなように、点線矢印で示されるようにレール面（空気ベアリング表面）５４ａ，５６ａで正圧が発生し、溝６０部分で実線矢印で示すように負圧吸引力が発生する。即ち、スリット５８部分で一旦圧縮された空気が溝６０部分で膨張することにより負圧が発生する。
【００４１】
図５に示した圧力分布から明らかなように、本実施形態のスライダ５０Ａは台形形状であるため、３つの圧力のピークを有しており、浮上状態のスライダ５０Ａは３点支持となる。
【００４２】
スライダ５０Ａが３点支持となるため、加工誤差によりスライダのクラウン、キャンバ、ツイスト等が変動しても、スライダの浮上変動率は小さくなる。また、スライダ形状が台形形状であるため、同じ厚さを有するスライダで質量が従来のスライダの１／２〜３／４程度となる。
【００４３】
例えば、従来のスライダは１．７５７ｍｇであり、第１実施形態のスライダ５０Ａは０．９８４〜１．３７８ｍｇである。このため、１．１６１ｍｇのサスペンションにスライダ５０Ａを取り付けた場合、共振周波数を３．８〜１３％増加させることができる。
【００４４】
図６は本発明第２実施形態のスライダ５０Ｂの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０Ｂは空気流出端５２ｂ側に形成された互いに平行な一対の側面６４ａ，６４ｂと、これらの側面６４ａ，６４ｂと空気流入端５２ａを接続する一対の傾斜側面６６ａ，６６ｂを有している。
【００４５】
本実施形態のスライダ５０Ｂは空気流出端部側に一対の平行な側面６４ａ，６４ｂを有しているため、スライダ加工の際横方向の押し付けによる位置合わせが容易になる。また、空気流出端部側のコーナー部の角度が鋭角でなくなるため、衝突時のスライダコーナー部による打痕傷の程度が軽くなる。
【００４６】
図７は本発明第３実施形態のスライダ５０Ｃの平面図を示している。スライダ５０Ｃは一対のレール６８，７０を有しており、一対のレール６８，７０の間にはスリット７２と、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝７４が画成されている。
【００４７】
レール６８は空気流入端部６８ａと、空気流出端部６８ｂと、中間部分６８ｃとを含んでおり、空気流出端部６８ｂの中心が、空気流入端部６８ａの中心と中間部分６８ｃの中心を結んだ直線６９の外側に位置付けされている。
【００４８】
同様に、レール７０は空気流入端部７０ａと、空気流出端部７０ｂと、中間部分７０ｃとを含んでおり、空気流出端部７０ｂの中心が、空気流入端部７０ａの中心と中間部分７０ｃの中心を結んだ直線７１の外側に位置付けされている。
【００４９】
レール６８，７０が上述したような形状を有しているため、空気流入端５２ａからの気流が遮断されやすくなり、安定浮上に必要なレール幅を保ったまま浮上量を低下させることができる。
【００５０】
図８は本発明第４実施形態のスライダ５０Ｄの平面図である。テーパ面６８ｄ，７０ｄを有するレール部分の幅が、空気流入端から空気流出端に向かって減少しているため、テーパ加工公差によりテーパ長が変動しても、スライダ５０Ｄの浮上量変化を小さくすることができる。
【００５１】
即ち、テーパ長が長くなると浮上量を増加させるが、テーパ部分のレール幅を空気流入端から空気流出端に向かって減少させることにより、浮上量を下げ、テーパ長が長くなったことによる浮上量の増加を相殺している。
【００５２】
図９は本発明第５実施形態のスライダ５０Ｅの平面図である。本実施形態では、センターレール７６が一対のレール６８，７０の間に設けられている。その他の構成は図８に示した第４実施形態と同様である。
【００５３】
図１０は本発明第６実施形態のスライダ５０Ｆの平面図を示している。本実施形態では、スリット７２を画成するレール６８，７０の内側エッジ６８ｆ，７０ｆがスライダ５０Ｆの長手方向中心線に平行に形成されている。
【００５４】
更に、テーパ面６８ｅ，７０ｅを有するレール部分の幅が、空気流入端から空気流出端に向かって減少している。これにより、第４及び第５実施形態と同様に、テーパ加工公差によりテーパ長が変動しても、スライダ５０Ｆの浮上量変化を小さくすることができる。
【００５５】
図１１は本発明第７実施形態のスライダ５０Ｇの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０Ｇでは、一対のレール７８，８０は空気流入端側の連結レール部８２で互いに連結されている。
【００５６】
即ち、レール形状が逆Ｖ型であり、空気流入端が閉じているため、空気が空気流入端で大きく圧縮され、圧縮された空気が溝８４で膨張するため、負圧の発生が容易である。連結レール部８２は空気流入端部５２ａにテーパ面８２ａを有している。
【００５７】
従来型方形スライダで逆Ｖ型又は逆Ｕ型レールを採用すると、テーパ長が長くなるため、正圧が発生しすぎ、スライダの低浮上量を実現することが困難であった。
【００５８】
この問題を改善するためには、テーパ部のレール幅を狭くする必要があるが、そうすると、空気流入端の両サイドにレールのない部分が広がってしまい、スライダが前のめりにつんのめった場合、スライダの角が磁気ディスクに接触してしまうという問題がある。
【００５９】
本実施形態のスライダ５０Ｇでは、スライダの外形が台形形状をしているため、空気流入端の幅は従来の通常タイプのスライダよりも短くなる。その結果、正圧を抑制するためにテーパ部のレール幅を短くする必要がなく、スライダ５０Ｇのつんのめりによるスライダの角と磁気ディスクとの接触を回避できる。
【００６０】
図１２は本発明第８実施形態のスライダ５０Ｈの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０Ｈでは、レール７８，８０を連結する連結レール部８６のレール幅が、テーパ面８６ａの部分において、空気流入端から空気流出端に向かって減少している。その結果、テーパ加工公差によりテーパ長が変動しても、スライダ５０Ｈの浮上量変化を小さく抑えることができる。
【００６１】
図１３は本発明第９実施形態のスライダ５０Ｉの平面図を示している。連結レール部８６に空気流出端側からテーパ面８６ａの一部に伸長するスリット８８が入っているため、空気流入端部における正圧を抑制することができ、スライダ５０Ｉの低浮上化を達成しやすくなる。
【００６２】
図１４は本発明第１０実施形態のスライダ５０Ｊの平面図を示している。連結レール部８６に形成された空気流出端側からテーパ面８６ａの一部に伸長するスリット９０が、空気流出端側から空気流入端側に向けてその幅が狭くなっている。
【００６３】
その結果、連結レール部８６に空気流入端側から流出端に向けて幅が狭くなる一対のレールを形成しやすくなり、テーパ加工公差によるテーパ長の変動が発生しても、スライダ５０Ｊの浮上量変化を小さく抑えることができる。
【００６４】
図１５（Ａ）は本発明第１１実施形態のスライダ５０Ｋの平面図を示しており、図１５（Ｂ）は図１５（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
連結レール部８６に形成されているスリット９２が溝８４の深さより浅いため、容易に負圧を発生させることができ、且つ圧縮された気流が溝８４で急激に膨張しないため、溝８４に汚れが付着することもない。
【００６５】
図１６は本発明第１２実施形態のスライダ５０Ｌの平面図を示している。連結レール部８６のテーパ面８６ａのレール幅が、空気流入端から空気流出端に向かって減少しているため、テーパ加工公差によるテーパ長の変動が発生しても、スライダ５０Ｌの浮上量変化を小さく抑えることができる。
【００６６】
図１７は本発明第１３実施形態のスライダ５０Ｍの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０Ｍにおいては、連結レール部８６に形成されたスリット９４の深さが溝８４の深さより浅く、且つスリット９４の幅が空気流入端５２ａから空気流出端に向けて徐々に広くなるように形成されている。
【００６７】
更に、テーパ面８６ａにおけるレール幅が空気流入端から空気流出端に向かって減少しているため、テーパ加工公差によりテーパ長の変動が発生しても、スライダ５０Ｍの浮上量変化を小さく抑えることができる。
【００６８】
図１８は本発明第１４実施形態のスライダ５０Ｎの平面図を示している。連結レール部８６の空気流出端側からテーパ面８６ａの一部に伸長するスリット９６が入っており、スリット９６の深さが溝８４の深さよりも浅くなっている。本実施形態のスライダ５０Ｎは、負圧を発生させやすく、容易に低浮上を実現することができる。
【００６９】
図１９（Ａ）は本発明第１５実施形態のスライダ５０Ｐの平面図を示しており、図１９（Ｂ）は図１９（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
上述した各実施形態では、空気流入端で正圧を発生させるため、レール面にテーパを設けていたが、本実施形態では溝７４の深さの１／２〜１／４程度（溝深さが２〜４μｍの場合、０．５〜２μｍ）のステップ９８，１００をレール６８，７０の空気流入端部に形成する。更に、スリット７２の空気流入端部にステップ１０２を形成する。
【００７０】
レール６８，７０の空気流入端部に設けたステップ９８，１００で正圧を発生させる。従来型方形スライダの場合と比較すると、ステップ９８，１００，１０２を形成した空気流入端部の幅が狭くなるため、汚れの付着量が少なくなり、スライダ５０Ｐの浮上量の変動を小さく抑えることができる。
【００７１】
図２０は本発明第１６実施形態のスライダ５０Ｑの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０Ｑは平均レール幅が異なる一対のレール１０４，１０６を有している。
【００７２】
即ち、電磁トランスデューサ６２が位置するレール１０６の平均レール幅を、他方のレール１０４の平均レール幅よりも狭く形成し、必ず電磁トランスデューサ６２側のレール１０６の浮上量を低くする。
【００７３】
これにより、低浮上時において、スライダ５０Ｑが磁気ディスクに接触する確率を低下させることができる。レール１０４，１０６の間には溝１０８が画成されている。
【００７４】
図２１は第１６実施形態のスライダ５０Ｑの空気流入端及び空気流出端の浮上量を示す図である。縦軸がスライダ浮上量を、横軸が磁気ディスクの中心から半径方向距離を示している。
【００７５】
実線が電磁トランスデューサ搭載レールであり、点線が電磁トランスデューサを搭載していないレールの浮上量をそれぞれ示している。空気流入端及び空気流出端の何れにおいても、電磁トランスデューサ搭載レールの浮上量が他のレールより低くなっていることがわかる。
【００７６】
次に、図２２（Ａ）及び図２２（Ｂ）を参照して、スライダの製造方法について概略的に説明する。図２２（Ａ）に示すように、まずウエハ１１０上に複数の電磁トランスデューサ６２を形成する。ウエハ１１０からＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ基板１１２をバー形状に切り出し、これを本明細書においてスティック状ウエハと称することにする。
【００７７】
次いで、スティック状ウエハ１１２上にフォトレジストのマスクパターンを形成し、イオンミリングでエッチングして図２２（Ｂ）に示すようにスティック状ウエハ１１２上に複数のレール５４，５６を形成する。
【００７８】
図２３を参照すると、スティック状ウエハ１１２の第１の切断方法が示されている。即ち、本発明のスライダは台形形状をしているため、スティック状ウエハ１１２から個々のスライダを分離するのに特別な切断方法が必要である。
【００７９】
回転カッター１１４はその外周面に切断刃１１６を有している。切断刃１１６は図２４に示すような特別な断面形状をしている。即ち、切断刃１１６は台形スライダ５０Ａの傾斜側面と角度と等しい傾斜角を有している。更に、切断刃１１６は台形スライダ５０Ａの長さよりも大きな半径方向長さＬを有している。
【００８０】
このような切断刃１１６を有する複数の回転カッター１１４を図２３に示すように等間隔で並設し、個々のスライダ５０Ａの空気流入端５２ａが上側となるようにスティック状ウエハ１１２を立てながら、カッター１１４に対してスティック状ウエハ１１２を矢印１１８で示す水平方向に搬送してスティック状ウエハ１１２を個々のスライダ５０Ａに切断する。
【００８１】
ここで注意すべきは、スティック状ウエハ１１２を搬送するときのカッター１１４の切断刃１１６に対する高さの関係が重要であり、カッター１１４の真下において図２４に示すような高さ関係となるようにスティック状ウエハ１１２を搬送する。スティック状ウエハ１１２がカッター１１４の真下を通過すると、スティック状ウエハ１１２は複数の台形スライダ５０Ａに分離される。
【００８２】
スティック状ウエハ１１２の切断を自動化するためには、図２５に示すようなステージ１２０が使用される。ステージ１２０はスティック状ウエハ１１２が丁度収容される複数の溝１２２を有している。更に、これらの溝１２２と直角方向に複数のスリット１２４が形成されている。これらのスリット１２４中を切断刃１１６が通過する。
【００８３】
図２６（Ａ）は図２５の２６Ａ−２６Ａ線断面図を示しており、図２６（Ｂ）は図２５の２６Ｂ−２６Ｂ線断面図をそれぞれ示している。
このステージ１２０を使用してスティック状ウエハ１１２を切断するには、個々のスライダの空気流入端が上側となるようにスティック状ウエハ１１２をステージ１２０の溝１２２中に挿入する。
【００８４】
そして、ステージ１２０をキャリアにより水平方向に搬送しながら、スティック状ウエハ１１２を個々のスライダに切断する。切断時には、回転カッター１１４の切断刃１１６はステージ１２０のスリット１２４を通過する。
【００８５】
図２７を参照すると、スティック状ウエハの第２の切断方法が示されている。この切断方法によると、個々のスライダの空気流入端が上側となるようにスティック状ウエハ１１２を立ててウエハを回転カッター１１４の真下に位置付けする。
【００８６】
そして、切断箇所がカッター１１４の中心を通る鉛直線に実質上一致するように、スティック状ウエハ１１２をカッター１１４に対して鉛直方向上方に移動して、スティック状ウエハ１１２を個々のスライダに切断する。カッター１１４の切断刃１１６は図２４に示した切断刃と同様な形状をしている。
【００８７】
図２８を参照すると、切断の位置決めに適したスティック状ウエハ１１２′が示されている。このスティック状ウエハ１１２′は隣接するスライダとスライダの間にスティック状ウエハ１１２′の幅方向全長に渡る突起１２８を有している。これらの突起１２８はイオンミリングによりレール５４，５６を加工するのと同時に加工される。
【００８８】
このように、スティック状ウエハ１１２′は複数の突起１２８を有しているため、これらの突起１２８をカッター１１４の切断刃１１６を位置決めするためのガイドとして利用できる。これらの突起１２８をガイドとしてスティック状ウエハ１１２′を切断することにより、スティック状ウエハ１１２′を個々のスライダに容易に分離できる。
【００８９】
【発明の効果】
本発明によれば、スライダ加工時に生じるレール面平面性公差による浮上量の変動及びテーパ長の加工公差による浮上量の変動を抑制することができ、良好な浮上特性を有するヘッドスライダを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（Ａ）は従来の磁気ヘッドスライダの平面図であり、図１（Ｂ）は浮上状態におけるその斜視図である。
【図２】磁気ディスク装置の斜視図である。
【図３】本発明第１実施形態のスライダの平面図である。
【図４】第１実施形態のスライダの浮上状態の斜視図である。
【図５】第１実施形態のスライダの圧力分布を示す図である。
【図６】第２実施形態のスライダの平面図である。
【図７】第３実施形態のスライダの平面図である。
【図８】第４実施形態のスライダの平面図である。
【図９】第５実施形態のスライダの平面図である。
【図１０】第６実施形態のスライダの平面図である。
【図１１】第７実施形態のスライダの平面図である。
【図１２】第８実施形態のスライダの平面図である。
【図１３】第９実施形態のスライダの平面図である。
【図１４】第１０実施形態のスライダの平面図である。
【図１５】図１５（Ａ）は第１１実施形態のスライダの平面図であり、図１５（Ｂ）は図１５（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【図１６】第１２実施形態のスライダの平面図である。
【図１７】第１３実施形態のスライダの平面図である。
【図１８】第１４実施形態のスライダの平面図である。
【図１９】図１９（Ａ）は第１５実施形態のスライダの平面図であり、図１９（Ｂ）は図１９（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【図２０】第１６実施形態のスライダの平面図である。
【図２１】第１６実施形態のスライダの浮上量を示す図である。
【図２２】図２２（Ａ）はウエハの斜視図であり、図２２（Ｂ）は図２２（Ａ）に示すウエハから切り出したスティック状ウエハの斜視図である。
【図２３】第１の切断方法を示す図である。
【図２４】切断刃の断面形状を示す図である。
【図２５】ステージの斜視図である。
【図２６】図２６（Ａ）は図２５の２６Ａ−２６Ａ線断面図であり、図２６（Ｂ）は図２５の２６Ｂ−２６Ｂ線断面図である。
【図２７】第２の切断方法を示す図である。
【図２８】切断の位置決めに適したスティック状ウエハを示す図である。
【符号の説明】
５０Ａ〜５０Ｑ 磁気ヘッドスライダ
５２ａ 空気流入端
５２ｂ 空気流出端
５４，５６ レール
５４ａ，５６ａ レール面（空気ベアリング表面）
５４ｂ，５６ｂ テーパ面
５８ スリット
６０ 溝
６２ 電磁トランスデューサ
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的に磁気ディスク装置に用いられる浮上型磁気ヘッドスライダに関し、特に低浮上量を指向した負圧スライダに関する。
【０００２】
近年の磁気ディスク装置の磁気ヘッドスライダにおいては、磁気ディスク媒体の記録密度の増加のために低浮上量化が進められている。また、アクセスの高速化のため、アクセス方向に大きな加速度がかけられるので、浮上安定性に優れたスライダが求められている。
【０００３】
更に、磁気ディスク装置の小型化、機構の単純化のために、近年の磁気ディスク装置においては回転型ポジショナが広く用いられ、ヨー角変化による浮上量変動の少ない負圧スライダが要望されている。
【０００４】
【従来の技術】
浮上安定性に優れた負圧磁気ヘッドスライダとして、空気流入端から空気流出端に向かってレール幅が減少する一対のレールを形成し、一対のレールの間に溝を画成し、この溝部で負圧を発生させるスライダが提案されている（特開平４−２２８１５７号）。
【０００５】
図１（Ａ）は上記公開公報に開示された従来の負圧磁気ヘッドスライダの平面図であり、図１（Ｂ）はその斜視図である。スライダ２は直方体形状をしており、空気流入端２ａと、空気流出端２ｂを有している。
【０００６】
スライダ２のディスク対向面には正圧を発生させるための一対のレール４，６が形成されている。各レール４，６はそれぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面（レール表面）４ａ，６ａを有している。
【０００７】
各レール４，６の空気流入端側にはテーパ面４ｂ，６ｂがそれぞれ形成されている。一対のレール４，６の間には一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝８が画成されている。
【０００８】
レール４が位置するスライダ２の空気流出端には電磁トランスデューサ１０が形成されている。一対のレール４，６の空気流入端側にはセンターレール１１が形成されている。
【０００９】
各レール４，６の幅を流入端及び流出端側で広く、中間部分で細く形成することにより、ヨー角変化による浮上変動を抑えている。また、流入端にテーパ面４ｂ，６ｂを形成することによって、塵埃付着時の浮上変動を抑制することができる。
【００１０】
図１（Ｂ）はレール面側から見たスライダ２の斜視図であり、点線矢印がスライダ２にかかる正圧を、実線矢印がスライダ２にかかる負圧を示している。レール面４ａ，６ａで正圧が発生し、溝８の部分で負圧が発生する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
スライダの浮上量が０．０５μｍ以下となると、スライダ表面形状が浮上状態に与える影響が大きくなる。
【００１２】
上述した従来のスライダでは、スライダが長方形状をしており、概略平行に形成された一対のレールの各々が流入端側と流出端側に２個の幅広部を有するため、スライダ浮上時における圧力分布のピークが４点で発生し、スライダが４点支持となる。
【００１３】
このようにスライダが４点で支持されて浮上すると、スライダの表面形状が浮上状態に与える影響が大きくなる。即ち、製造誤差によりスライダのクラウン、キャンバ、ツイスト等が変動すると、スライダの浮上状態が大きく変動してしまうという問題がある。
【００１４】
よって本発明の目的は、スライダ加工時に生じるレール面平面性公差による浮上変動、テーパ長の加工公差による浮上変動を抑制することができ、良好な浮上特性を有するヘッドスライダを提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；前記一対のレールの間の空気流入端側に画成されたスリットと；前記スリットに連続して前記一対のレールの間に画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記スリットよりも幅広の溝と；前記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサを具備し；前記スライダは空気流入端側よりも空気流出端側が広い台形形状をしており、前記各レールは流入端部と、流出端部と、中間部分とを有しており、該流入端部と流出端部が中間部分より幅広に形成されているとともに、各レールの流出端部中心が流入端部中心と中間部分の中心を結んだ直線の外側に位置していることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【００１６】
本発明のヘッドスライダは空気流入端側が狭く空気流出端側が広い台形形状をしているため、一対のレールは流入端側で近付くこととなる。これにより、スライダ浮上時における圧力分布のピークは３カ所となり、スライダが３点支持されることになる。
【００１７】
スライダが３点支持されると、製造誤差によりスライダのクラウン、キャンバ、ツイスト等が変動しても、スライダの浮上変動を抑制することができ、スライダの良好な浮上特性を実現することができる。
【００１８】
好ましくは、各レールはレールの空気流出端部の中心が、空気流入端部の中心と中間部分の中心を結んだ直線の外側にあるような形状を有している。更に好ましくは、各レールは流入端側に正圧を発生させるテーパ面を有しており、且つテーパ面を有するレール部分のレール幅が、空気流入端側から流出端側に向かって連続的に減少する。
【００１９】
本発明の他の側面によると、空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；前記一対のレールの間の空気流入端側に画成されたスリットと；前記スリットに連続して前記一対のレールの間に画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記スリットよりも幅広の溝と；前記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサを具備し；前記スライダは空気流出端側に互いに概略平行な一対の側面と、該一対の側面から空気流入端に向けて連続して互いに近付く一対の傾斜側面とを有しており、前記各レールは流入端部と、流出端部と、中間部分とを有しており、該流入端部と流出端部は中間部分より幅広に形成されているとともに、各レールの流出端部中心が流入端部中心と中間部分の中心を結んだ直線の外側に位置していることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【００２０】
本発明の更に他の側面によると、空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；前記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサを具備し；前記一対のレールの間の間隔は空気流入端から空気流出端に向けて広がっており；前記スライダは空気流入端側よりも空気流出端側が広い台形形状をしており、前記各レールは流入端側及び流出端側が中間部分より幅広に形成されていることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【００２１】
好ましくは、連結レール部は空気流入端側に正圧を発生させるテーパ面を有しており、且つテーパ面を有するレール部分のレール幅が、空気流入端側から空気流出端側に向かって連続して減少している。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図２を参照すると、本発明の磁気ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置の斜視図が示されている。符号１２はベース１４とカバー１６とから構成されるハウジング（ディスクエンクロージャー）である。
【００２５】
ベース１４上にはインナーハブモータによって回転駆動される図示しないスピンドルハブが設けられている。スピンドルハブには磁気ディスク２０と図示しないスペーサーが交互に挿入され、ディスククランプ１８をスピンドルハブにネジ締結することにより、複数枚の磁気ディスク２０が所定間隔離間してスピンドルハブに取り付けられる。
【００２６】
符号２２はアクチュエータアームアセンブリ２６と磁気回路２８とから構成されるロータリーアクチュエータを示している。アクチュエータアームアセンブリ２６は、ベース１４に固定されたシャフト２４回りに回転可能に取り付けられている。
【００２７】
アクチュエータアームアセンブリ２６は、回転中心から一方向に伸長した複数のアクチュエータアーム３０と、アクチュエータアーム３０と反対方向に伸長したコイル支持部材３６を含んでいる。
【００２８】
各アクチュエータアーム３０の先端部には、先端部で磁気ヘッドスライダ３２を支持するサスペンション３４の基端部が固定されている。
コイル支持部材３６によりコイル３８が支持されている。磁気回路２８と、磁気回路２８のギャップ中に挿入されるコイル３８とでボイスコイルモータ（ＶＣＭ）４０が構成される。
【００２９】
符号４２はヘッドスライダ３２に搭載された電磁トランスデューサからの信号を取り出すフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）を示しており、固定部材４４でその一端が固定され、更に図示しないコネクタに電気的に接続されている。
【００３０】
ベース１４上に環状パッキンアセンブリ４６が搭載されており、パッキンアセンブリ４６を間に挟んでカバー１６をベース１４にネジ締結することにより、ハウジング１２内が密封される。
【００３１】
図３は本発明第１実施形態の磁気ヘッドスライダ５０Ａの平面図を示しており、図４は浮上状態のその斜視図を示している。本実施形態及び引き続く数多くの実施形態において、実質的に同一構成部分については同一符号を付して説明する。
【００３２】
磁気ヘッドスライダ５０Ａは空気流入端５２ａと、空気流出端５２ｂを有しており、空気流入端側が狭く空気流出端側が広い台形形状をしている。磁気ヘッドスライダ５０Ａは図２に示したサスペンション３４により支持される。
【００３３】
磁気ヘッドスライダ５０Ａのディスク対向面には、平坦なレール面（空気ベアリング表面）５４ａ，５６ａを有する一対のレール５４，５６が形成されている。
【００３４】
各レール５４，５６の空気流入側端部にはそれぞれテーパ面５４ｂ，５６ｂが形成されている。スライダ５０Ａが台形形状をしているため、一対のレール５４，５６は空気流入端側で互いに近付くように配置されており、その間にスリット５８が画成されている。
【００３５】
更に、一対のレール５４，５６の間には負圧発生用の溝６０が画成されている。レール５４が位置するスライダ５０Ａの空気流出端５２ｂには電磁トランスデューサ６２が形成されている。
【００３６】
スライダ５０ＡはＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣから形成されており、ウエハに複数個の電磁トランスデューサ６２を形成した後ウエハをバー形状に切断し、側面を加工してレール５４，５６を形成した後、個々のスライダ５０Ａに切断する。
【００３７】
スライダサイズは１．２５ｍｍ×０．２５−０．７５ｍｍ（空気流入端）×１ｍｍ（空気流出端）であり、厚さは０．３ｍｍである。レール５４，５６の幅は最も細い部分で１００μｍ以下となるため、レール５４，５６はフォトリソグラフィ技術により形成する。
【００３８】
即ち、形成すべき所望のレールパターンにレジストを塗布した後、イオンミリングによりウエハを削り取ってスリット５８と、溝６０を形成する。テーパ面５４ｂ，５６ｂはレール５４，５６を形成する前、或いは後に機械加工によって形成する。
【００３９】
テーパの角度は０．５°〜４．０°、テーパの長さはレール長さの１／１０〜１／２０が望ましい。テーパ面５４ｂ，５６ｂで発生した正圧により、各レール５４，５６の先端側面への汚れの付着を防止する。
【００４０】
図４のスライダ５０Ａの浮上状態斜視図から明らかなように、点線矢印で示されるようにレール面（空気ベアリング表面）５４ａ，５６ａで正圧が発生し、溝６０部分で実線矢印で示すように負圧吸引力が発生する。即ち、スリット５８部分で一旦圧縮された空気が溝６０部分で膨張することにより負圧が発生する。
【００４１】
図５に示した圧力分布から明らかなように、本実施形態のスライダ５０Ａは台形形状であるため、３つの圧力のピークを有しており、浮上状態のスライダ５０Ａは３点支持となる。
【００４２】
スライダ５０Ａが３点支持となるため、加工誤差によりスライダのクラウン、キャンバ、ツイスト等が変動しても、スライダの浮上変動率は小さくなる。また、スライダ形状が台形形状であるため、同じ厚さを有するスライダで質量が従来のスライダの１／２〜３／４程度となる。
【００４３】
例えば、従来のスライダは１．７５７ｍｇであり、第１実施形態のスライダ５０Ａは０．９８４〜１．３７８ｍｇである。このため、１．１６１ｍｇのサスペンションにスライダ５０Ａを取り付けた場合、共振周波数を３．８〜１３％増加させることができる。
【００４４】
図６は本発明第２実施形態のスライダ５０Ｂの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０Ｂは空気流出端５２ｂ側に形成された互いに平行な一対の側面６４ａ，６４ｂと、これらの側面６４ａ，６４ｂと空気流入端５２ａを接続する一対の傾斜側面６６ａ，６６ｂを有している。
【００４５】
本実施形態のスライダ５０Ｂは空気流出端部側に一対の平行な側面６４ａ，６４ｂを有しているため、スライダ加工の際横方向の押し付けによる位置合わせが容易になる。また、空気流出端部側のコーナー部の角度が鋭角でなくなるため、衝突時のスライダコーナー部による打痕傷の程度が軽くなる。
【００４６】
図７は本発明第３実施形態のスライダ５０Ｃの平面図を示している。スライダ５０Ｃは一対のレール６８，７０を有しており、一対のレール６８，７０の間にはスリット７２と、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝７４が画成されている。
【００４７】
レール６８は空気流入端部６８ａと、空気流出端部６８ｂと、中間部分６８ｃとを含んでおり、空気流出端部６８ｂの中心が、空気流入端部６８ａの中心と中間部分６８ｃの中心を結んだ直線６９の外側に位置付けされている。
【００４８】
同様に、レール７０は空気流入端部７０ａと、空気流出端部７０ｂと、中間部分７０ｃとを含んでおり、空気流出端部７０ｂの中心が、空気流入端部７０ａの中心と中間部分７０ｃの中心を結んだ直線７１の外側に位置付けされている。
【００４９】
レール６８，７０が上述したような形状を有しているため、空気流入端５２ａからの気流が遮断されやすくなり、安定浮上に必要なレール幅を保ったまま浮上量を低下させることができる。
【００５０】
図８は本発明第４実施形態のスライダ５０Ｄの平面図である。テーパ面６８ｄ，７０ｄを有するレール部分の幅が、空気流入端から空気流出端に向かって減少しているため、テーパ加工公差によりテーパ長が変動しても、スライダ５０Ｄの浮上量変化を小さくすることができる。
【００５１】
即ち、テーパ長が長くなると浮上量を増加させるが、テーパ部分のレール幅を空気流入端から空気流出端に向かって減少させることにより、浮上量を下げ、テーパ長が長くなったことによる浮上量の増加を相殺している。
【００５２】
図９は本発明第５実施形態のスライダ５０Ｅの平面図である。本実施形態では、センターレール７６が一対のレール６８，７０の間に設けられている。その他の構成は図８に示した第４実施形態と同様である。
【００５３】
図１０は本発明第６実施形態のスライダ５０Ｆの平面図を示している。本実施形態では、スリット７２を画成するレール６８，７０の内側エッジ６８ｆ，７０ｆがスライダ５０Ｆの長手方向中心線に平行に形成されている。
【００５４】
更に、テーパ面６８ｅ，７０ｅを有するレール部分の幅が、空気流入端から空気流出端に向かって減少している。これにより、第４及び第５実施形態と同様に、テーパ加工公差によりテーパ長が変動しても、スライダ５０Ｆの浮上量変化を小さくすることができる。
【００５５】
図１１は本発明第７実施形態のスライダ５０Ｇの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０Ｇでは、一対のレール７８，８０は空気流入端側の連結レール部８２で互いに連結されている。
【００５６】
即ち、レール形状が逆Ｖ型であり、空気流入端が閉じているため、空気が空気流入端で大きく圧縮され、圧縮された空気が溝８４で膨張するため、負圧の発生が容易である。連結レール部８２は空気流入端部５２ａにテーパ面８２ａを有している。
【００５７】
従来型方形スライダで逆Ｖ型又は逆Ｕ型レールを採用すると、テーパ長が長くなるため、正圧が発生しすぎ、スライダの低浮上量を実現することが困難であった。
【００５８】
この問題を改善するためには、テーパ部のレール幅を狭くする必要があるが、そうすると、空気流入端の両サイドにレールのない部分が広がってしまい、スライダが前のめりにつんのめった場合、スライダの角が磁気ディスクに接触してしまうという問題がある。
【００５９】
本実施形態のスライダ５０Ｇでは、スライダの外形が台形形状をしているため、空気流入端の幅は従来の通常タイプのスライダよりも短くなる。その結果、正圧を抑制するためにテーパ部のレール幅を短くする必要がなく、スライダ５０Ｇのつんのめりによるスライダの角と磁気ディスクとの接触を回避できる。
【００６０】
図１２は本発明第８実施形態のスライダ５０Ｈの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０Ｈでは、レール７８，８０を連結する連結レール部８６のレール幅が、テーパ面８６ａの部分において、空気流入端から空気流出端に向かって減少している。その結果、テーパ加工公差によりテーパ長が変動しても、スライダ５０Ｈの浮上量変化を小さく抑えることができる。
【００６１】
図１３は本発明第９実施形態のスライダ５０Ｉの平面図を示している。連結レール部８６に空気流出端側からテーパ面８６ａの一部に伸長するスリット８８が入っているため、空気流入端部における正圧を抑制することができ、スライダ５０Ｉの低浮上化を達成しやすくなる。
【００６２】
図１４は本発明第１０実施形態のスライダ５０Ｊの平面図を示している。連結レール部８６に形成された空気流出端側からテーパ面８６ａの一部に伸長するスリット９０が、空気流出端側から空気流入端側に向けてその幅が狭くなっている。
【００６３】
その結果、連結レール部８６に空気流入端側から流出端に向けて幅が狭くなる一対のレールを形成しやすくなり、テーパ加工公差によるテーパ長の変動が発生しても、スライダ５０Ｊの浮上量変化を小さく抑えることができる。
【００６４】
図１５（Ａ）は本発明第１１実施形態のスライダ５０Ｋの平面図を示しており、図１５（Ｂ）は図１５（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
連結レール部８６に形成されているスリット９２が溝８４の深さより浅いため、容易に負圧を発生させることができ、且つ圧縮された気流が溝８４で急激に膨張しないため、溝８４に汚れが付着することもない。
【００６５】
図１６は本発明第１２実施形態のスライダ５０Ｌの平面図を示している。連結レール部８６のテーパ面８６ａのレール幅が、空気流入端から空気流出端に向かって減少しているため、テーパ加工公差によるテーパ長の変動が発生しても、スライダ５０Ｌの浮上量変化を小さく抑えることができる。
【００６６】
図１７は本発明第１３実施形態のスライダ５０Ｍの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０Ｍにおいては、連結レール部８６に形成されたスリット９４の深さが溝８４の深さより浅く、且つスリット９４の幅が空気流入端５２ａから空気流出端に向けて徐々に広くなるように形成されている。
【００６７】
更に、テーパ面８６ａにおけるレール幅が空気流入端から空気流出端に向かって減少しているため、テーパ加工公差によりテーパ長の変動が発生しても、スライダ５０Ｍの浮上量変化を小さく抑えることができる。
【００６８】
図１８は本発明第１４実施形態のスライダ５０Ｎの平面図を示している。連結レール部８６の空気流出端側からテーパ面８６ａの一部に伸長するスリット９６が入っており、スリット９６の深さが溝８４の深さよりも浅くなっている。本実施形態のスライダ５０Ｎは、負圧を発生させやすく、容易に低浮上を実現することができる。
【００６９】
図１９（Ａ）は本発明第１５実施形態のスライダ５０Ｐの平面図を示しており、図１９（Ｂ）は図１９（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
上述した各実施形態では、空気流入端で正圧を発生させるため、レール面にテーパを設けていたが、本実施形態では溝７４の深さの１／２〜１／４程度（溝深さが２〜４μｍの場合、０．５〜２μｍ）のステップ９８，１００をレール６８，７０の空気流入端部に形成する。更に、スリット７２の空気流入端部にステップ１０２を形成する。
【００７０】
レール６８，７０の空気流入端部に設けたステップ９８，１００で正圧を発生させる。従来型方形スライダの場合と比較すると、ステップ９８，１００，１０２を形成した空気流入端部の幅が狭くなるため、汚れの付着量が少なくなり、スライダ５０Ｐの浮上量の変動を小さく抑えることができる。
【００７１】
図２０は本発明第１６実施形態のスライダ５０Ｑの平面図を示している。本実施形態のスライダ５０Ｑは平均レール幅が異なる一対のレール１０４，１０６を有している。
【００７２】
即ち、電磁トランスデューサ６２が位置するレール１０６の平均レール幅を、他方のレール１０４の平均レール幅よりも狭く形成し、必ず電磁トランスデューサ６２側のレール１０６の浮上量を低くする。
【００７３】
これにより、低浮上時において、スライダ５０Ｑが磁気ディスクに接触する確率を低下させることができる。レール１０４，１０６の間には溝１０８が画成されている。
【００７４】
図２１は第１６実施形態のスライダ５０Ｑの空気流入端及び空気流出端の浮上量を示す図である。縦軸がスライダ浮上量を、横軸が磁気ディスクの中心から半径方向距離を示している。
【００７５】
実線が電磁トランスデューサ搭載レールであり、点線が電磁トランスデューサを搭載していないレールの浮上量をそれぞれ示している。空気流入端及び空気流出端の何れにおいても、電磁トランスデューサ搭載レールの浮上量が他のレールより低くなっていることがわかる。
【００７６】
次に、図２２（Ａ）及び図２２（Ｂ）を参照して、スライダの製造方法について概略的に説明する。図２２（Ａ）に示すように、まずウエハ１１０上に複数の電磁トランスデューサ６２を形成する。ウエハ１１０からＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ基板１１２をバー形状に切り出し、これを本明細書においてスティック状ウエハと称することにする。
【００７７】
次いで、スティック状ウエハ１１２上にフォトレジストのマスクパターンを形成し、イオンミリングでエッチングして図２２（Ｂ）に示すようにスティック状ウエハ１１２上に複数のレール５４，５６を形成する。
【００７８】
図２３を参照すると、スティック状ウエハ１１２の第１の切断方法が示されている。即ち、本発明のスライダは台形形状をしているため、スティック状ウエハ１１２から個々のスライダを分離するのに特別な切断方法が必要である。
【００７９】
回転カッター１１４はその外周面に切断刃１１６を有している。切断刃１１６は図２４に示すような特別な断面形状をしている。即ち、切断刃１１６は台形スライダ５０Ａの傾斜側面と角度と等しい傾斜角を有している。更に、切断刃１１６は台形スライダ５０Ａの長さよりも大きな半径方向長さＬを有している。
【００８０】
このような切断刃１１６を有する複数の回転カッター１１４を図２３に示すように等間隔で並設し、個々のスライダ５０Ａの空気流入端５２ａが上側となるようにスティック状ウエハ１１２を立てながら、カッター１１４に対してスティック状ウエハ１１２を矢印１１８で示す水平方向に搬送してスティック状ウエハ１１２を個々のスライダ５０Ａに切断する。
【００８１】
ここで注意すべきは、スティック状ウエハ１１２を搬送するときのカッター１１４の切断刃１１６に対する高さの関係が重要であり、カッター１１４の真下において図２４に示すような高さ関係となるようにスティック状ウエハ１１２を搬送する。スティック状ウエハ１１２がカッター１１４の真下を通過すると、スティック状ウエハ１１２は複数の台形スライダ５０Ａに分離される。
【００８２】
スティック状ウエハ１１２の切断を自動化するためには、図２５に示すようなステージ１２０が使用される。ステージ１２０はスティック状ウエハ１１２が丁度収容される複数の溝１２２を有している。更に、これらの溝１２２と直角方向に複数のスリット１２４が形成されている。これらのスリット１２４中を切断刃１１６が通過する。
【００８３】
図２６（Ａ）は図２５の２６Ａ−２６Ａ線断面図を示しており、図２６（Ｂ）は図２５の２６Ｂ−２６Ｂ線断面図をそれぞれ示している。
このステージ１２０を使用してスティック状ウエハ１１２を切断するには、個々のスライダの空気流入端が上側となるようにスティック状ウエハ１１２をステージ１２０の溝１２２中に挿入する。
【００８４】
そして、ステージ１２０をキャリアにより水平方向に搬送しながら、スティック状ウエハ１１２を個々のスライダに切断する。切断時には、回転カッター１１４の切断刃１１６はステージ１２０のスリット１２４を通過する。
【００８５】
図２７を参照すると、スティック状ウエハの第２の切断方法が示されている。この切断方法によると、個々のスライダの空気流入端が上側となるようにスティック状ウエハ１１２を立ててウエハを回転カッター１１４の真下に位置付けする。
【００８６】
そして、切断箇所がカッター１１４の中心を通る鉛直線に実質上一致するように、スティック状ウエハ１１２をカッター１１４に対して鉛直方向上方に移動して、スティック状ウエハ１１２を個々のスライダに切断する。カッター１１４の切断刃１１６は図２４に示した切断刃と同様な形状をしている。
【００８７】
図２８を参照すると、切断の位置決めに適したスティック状ウエハ１１２′が示されている。このスティック状ウエハ１１２′は隣接するスライダとスライダの間にスティック状ウエハ１１２′の幅方向全長に渡る突起１２８を有している。これらの突起１２８はイオンミリングによりレール５４，５６を加工するのと同時に加工される。
【００８８】
このように、スティック状ウエハ１１２′は複数の突起１２８を有しているため、これらの突起１２８をカッター１１４の切断刃１１６を位置決めするためのガイドとして利用できる。これらの突起１２８をガイドとしてスティック状ウエハ１１２′を切断することにより、スティック状ウエハ１１２′を個々のスライダに容易に分離できる。
【００８９】
【発明の効果】
本発明によれば、スライダ加工時に生じるレール面平面性公差による浮上量の変動及びテーパ長の加工公差による浮上量の変動を抑制することができ、良好な浮上特性を有するヘッドスライダを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（Ａ）は従来の磁気ヘッドスライダの平面図であり、図１（Ｂ）は浮上状態におけるその斜視図である。
【図２】磁気ディスク装置の斜視図である。
【図３】本発明第１実施形態のスライダの平面図である。
【図４】第１実施形態のスライダの浮上状態の斜視図である。
【図５】第１実施形態のスライダの圧力分布を示す図である。
【図６】第２実施形態のスライダの平面図である。
【図７】第３実施形態のスライダの平面図である。
【図８】第４実施形態のスライダの平面図である。
【図９】第５実施形態のスライダの平面図である。
【図１０】第６実施形態のスライダの平面図である。
【図１１】第７実施形態のスライダの平面図である。
【図１２】第８実施形態のスライダの平面図である。
【図１３】第９実施形態のスライダの平面図である。
【図１４】第１０実施形態のスライダの平面図である。
【図１５】図１５（Ａ）は第１１実施形態のスライダの平面図であり、図１５（Ｂ）は図１５（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【図１６】第１２実施形態のスライダの平面図である。
【図１７】第１３実施形態のスライダの平面図である。
【図１８】第１４実施形態のスライダの平面図である。
【図１９】図１９（Ａ）は第１５実施形態のスライダの平面図であり、図１９（Ｂ）は図１９（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【図２０】第１６実施形態のスライダの平面図である。
【図２１】第１６実施形態のスライダの浮上量を示す図である。
【図２２】図２２（Ａ）はウエハの斜視図であり、図２２（Ｂ）は図２２（Ａ）に示すウエハから切り出したスティック状ウエハの斜視図である。
【図２３】第１の切断方法を示す図である。
【図２４】切断刃の断面形状を示す図である。
【図２５】ステージの斜視図である。
【図２６】図２６（Ａ）は図２５の２６Ａ−２６Ａ線断面図であり、図２６（Ｂ）は図２５の２６Ｂ−２６Ｂ線断面図である。
【図２７】第２の切断方法を示す図である。
【図２８】切断の位置決めに適したスティック状ウエハを示す図である。
【符号の説明】
５０Ａ〜５０Ｑ 磁気ヘッドスライダ
５２ａ 空気流入端
５２ｂ 空気流出端
５４，５６ レール
５４ａ，５６ａ レール面（空気ベアリング表面）
５４ｂ，５６ｂ テーパ面
５８ スリット
６０ 溝
６２ 電磁トランスデューサ
Claims (18)
- 空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、
ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；
前記一対のレールの間の空気流入端側に画成されたスリットと；
前記スリットに連続して前記一対のレールの間に画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記スリットよりも幅広の溝と；
前記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサを具備し；
前記スライダは空気流入端側よりも空気流出端側が広い台形形状をしており、
前記各レールは流入端部と、流出端部と、中間部分とを有しており、該流入端部と流出端部が中間部分より幅広に形成されているとともに、各レールの流出端部中心が流入端部中心と中間部分の中心を結んだ直線の外側に位置していることを特徴とするヘッドスライダ。 - 前記各レールは流入端側に空気ベアリング表面に連続して形成されたテーパ面を有しており、該テーパ面を有するレール部分のレール幅が流入端側から流出端側に向かって連続して減少する請求項１記載のヘッドスライダ。
- 前記一対のレールの内側側面は前記テーパ面を有するレール部分でスライダ長手方向中心軸線に平行である請求項２記載のヘッドスライダ。
- 前記スリットの深さは前記溝の深さよりも浅い請求項１記載のヘッドスライダ。
- 前記各レールは流入端側に段差を有する請求項１記載のヘッドスライダ。
- 前記一方のレールの平均レール幅は他方のレールの平均レール幅よりも狭い請求項１記載のヘッドスライダ。
- 前記各レールの前記テーパ面を有する部分のレール幅が流入端側から流出端側に連続して減少する請求項４記載のヘッドスライダ。
- 前記スリットの幅が流入端から流出端にかけて連続して増加する請求項７記載のヘッドスライダ。
- 空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、
ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；
前記一対のレールの間の空気流入端側に画成されたスリットと；
前記スリットに連続して前記一対のレールの間に画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記スリットよりも幅広の溝と；
前記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサを具備し；
前記スライダは空気流出端側に互いに概略平行な一対の側面と、該一対の側面から空気流入端に向けて連続して互いに近付く一対の傾斜側面とを有しており、
前記各レールは流入端部と、流出端部と、中間部分とを有しており、該流入端部と流出端部は中間部分より幅広に形成されているとともに、各レールの流出端部中心が流入端部中心と中間部分の中心を結んだ直線の外側に位置していることを特徴とするヘッドスライダ。 - 前記各レールは流入端側に空気ベアリング表面に連続して形成されたテーパ面を有しており、該テーパ面を有するレールのレール幅が流入端側から流出端側に向かって連続して減少する請求項９記載のヘッドスライダ。
- 前記一対のレールの内側側面は前記テーパ面を有するレール部分でスライダ長手方向中心軸線に平行である請求項９記載のヘッドスライダ。
- 空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、
ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；
前記一対のレールを空気流入端側で連結する連結レール部と；
前記一対のレールの間に画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる溝と；
前記一方のレールが位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサとを具備し；
前記スライダは空気流入端側よりも空気流出端側が広い台形形状をしており、
前記各レールは流入端側及び流出端側が中間部分より幅広に形成されていることを特徴とするヘッドスライダ。 - 前記連結レール部は空気流入端側にテーパ面を有しており、該テーパ面の形成された連結レール部のレール幅が流入端側から流出端側に連続して減少することを特徴とする請求項１２記載のヘッドスライダ。
- 前記連結レール部は横方向概略中心部分に前記溝から前記テーパ面の一部にかけて伸長するスリットを有している請求項１３記載のヘッドスライダ。
- 前記スリットは流入端から流出端に向けてその幅が増加する請求項１４記載のヘッドスライダ。
- 空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、
ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；
前記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサを具備し；
前記一対のレールの間の間隔は空気流入端から空気流出端に向けて広がっており；
前記スライダは空気流入端側よりも空気流出端側が広い台形形状をしており、
前記各レールは流入端側及び流出端側が中間部分より幅広に形成されていることを特徴とするヘッドスライダ。 - 空気流入端と空気流出端を有するヘッドスライダであって、
ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；
前記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサを具備し；
前記一対のレールはその間に一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生される溝を画成しており、
前記スライダは空気流入端側よりも空気流出端側が広い台形形状を有しており、
前記一対のレールの各々は前記スライダの両側エッジにほぼ平行に形成されており、
前記各レールは流入端側及び流出端側が中間部分より幅広に形成されていることを特徴とするヘッドスライダ。 - ディスク装置であって、
ハウジングと；
該ハウジング内に回転可能に取り付けられたディスクと；
前記ディスクに対してデータをライト／リードするトランスデューサを有するヘッドスライダと；
前記ヘッドスライダをディスクのトラックを横切って移動させるアクチュエータとを具備し；
前記ヘッドスライダは、ディスクに対向するディスク対向面に形成された、それぞれディスク回転時の浮上力を発生するための平坦な空気ベアリング表面を有する一対のレールと；
前記一対のレールの間の空気流入端側に画成されたスリットと；
前記スリットに連続して前記一対のレールの間に画成された、一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生させる前記スリットよりも幅広の溝と；
前記レールの一方が位置する前記空気流出端に形成されたトランスデューサとを具備し；
前記スライダは空気流入端側よりも空気流出端側が広い台形形状をしており、
前記各レールは流入端部と、流出端部と、中間部分とを有しており、該流入端部と流出 端部が中間部分より幅広に形成されているとともに、各レールの流出端部中心が流入端部中心と中間部分の中心を結んだ直線の外側に位置していることを特徴とするディスク装置。
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