CN1204557C - 具有梯形形状的磁头滑动器 - Google Patents

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CN1204557C CNB981054226A CN98105422A CN1204557C CN 1204557 C CN1204557 C CN 1204557C CN B981054226 A CNB981054226 A CN B981054226A CN 98105422 A CN98105422 A CN 98105422A CN 1204557 C CN1204557 C CN 1204557C
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Abstract

一种磁头滑动器包括一对加工在磁盘对面的磁盘相对表面上的轨道,每个轨道具有平坦的气浮表面,用以在磁盘转动时产生浮动力,一个加工在上述轨道之间、空气入口端部的窄槽,和一个限定在一对轨道之间与窄槽连续并比窄槽宽的槽;它用于膨胀压缩的空气以产生负压。该磁头滑动器还包括加工在空气出口端一个轨道所处位置的电磁传感器。该滑动器具有梯形形状使它的空气入口端比空气出口端窄。

Description

具有梯形形状的磁头滑动器
本发明的背景
本发明的领域
本发明关于用在磁盘驱动器上的浮动磁头滑动器,特别关于拟具有低浮动高度的负压滑动器。
先有技术的描述
在现有的磁盘驱动器的磁头滑动器中,为了增加磁盘的记录密度,正设法降低浮动高度。另外,在选取方向上为了获得高的选取速度采用了大的加速度,故要求滑动器具有极佳的浮动稳定性。另外,在近代磁盘驱动装置中,转动定位器广泛用于减小磁盘驱动器的尺寸和简化机构的目的,并要求负压滑动器由于偏转角度的改变而浮动高度变化较小。
作为一个具有极佳浮动稳定性的负压磁头滑动器,已有建议该滑动器具有一双轨道,该轨道宽度从空气入口端到空气出口湍减小,并在这对轨道之间限定一个槽,以在槽中产生负压(日本专利公开号NO.4-228157)。图1A是在上述公开文件中公开的通常的负压磁头滑动器的平面图,图1B是图1A所示滑动器的透视图。参考数字2所指的滑动器在平面视图中具有矩形形状,并具有空气入口端2a和空气出口端2b。
用以产生正压的一对轨道4和6加工在滑动器2的磁盘相对的表面上。轨道4和6具有平坦的气浮表面(轨道表面)4a和6a,用以在磁盘转动时分别产生浮动力。倾斜表面4b和6b分别加工在轨道4和6的空气入口端部。槽8用于膨胀已压缩的空气以产生负压并限定在轨道4和6之间。电磁传感器10加工在滑动器2的空气出口端轨道4所在的位置。中间轨道11加工在空气入口端2a侧的轨道4和6之间。
每个轨道4和6在空气入口端部和出口端部宽度较大,在中部宽度较小,因此可抑制由于偏转角度的改变引起的浮动高度的变化。另外,通过在轨道4和6的空气入口端部加工出倾斜表面4b和6b,由于灰尘存积引起的浮动高度的变化可被抑制。图1B是滑动器2的从轨道平面的侧面看过去的透视图,其中虚线表示作用在滑动器2上的正压力,实线表示负压力。在轨道表面4a和6a上产生正压力,在槽8中产生负压力。
当滑动器2的浮动高度变成0.05μm或更少时,滑动器的形状对浮动状态影响很大。上述通常的滑动器是矩形的,每对基本平行的轨道在空气入口端部和出口端部具有两个较宽的部分。因此在滑动器浮动时的压力分布图中出现四个峰值。亦即该滑动器浮动时由四个支点支撑。在这种情况下,滑动器的形状对浮动状态影响很大,亦即滑动器的浮动状态随着由于制造误差而产生的滑动器的隆起、翘曲、扭转等的改变而变化很大。
本发明的概述
因此本发明的目的是提供一种具有优良浮动特性的磁头滑动器,它可抑制由于加工滑动器时轨道表面平面度误差引起的浮动高度的变化,以及由于倾斜面加工误差的浮动高度的变化。
按照本发明的一个方面,提供一种具有空气入口端和空气出口端的磁头滑动器,它包括一对加工在与磁盘相对的磁盘相对表面上的轨道,每个上述轨道具有用以在上述磁盘转动时产生浮动力的平坦的气浮表面;一个限定在上述一对轨道之间的、它们的空气入口端部上的窄槽;一个限定在上述一对轨道之间的槽,它与上述窄槽相连,并比上述窄槽宽,用以膨胀压缩的空气以产生负压;和一个加工在上述空气出口端上述一对轨道中的一个的位置上;上述滑动器具有梯形形状,从而使上述空气入口端比上述空气出口端窄一些。
由于本发明的磁头滑动器具有梯形形状,从而使空气入口端比空气出口端窄,一对轨道在空气入口端比空气出口端相互靠得近一些。因此,在滑动器浮动时的压力分布呈现三个峰值,即滑动器在浮动时由三个点支撑。由于该滑动器在浮动时由三点支撑,虽然由于制造误差使滑动器产生隆起、翘曲、扭转等等的变化,它仍能抑制滑动器浮动高度的变化。因此可使该滑动器具有优良的浮动特性。
每个轨道最好具有这样的形状:空气出口端部的中心位于连接空气入口端部的中心和中间部分的中心的连接的直线的外侧。每个轨道最好也具有在空气入口端部产生正压的倾斜表面,该倾斜表面的宽度从空气入口端朝空气出口端逐渐减小。
按照本发明的另一个方面,提供了一种具有空气入口端和空气出口端的磁头滑动器,它包括一对加工在磁盘对面的磁盘相对表面上的轨道,每个上述轨道具有一平坦的气浮表面,在上述磁盘转动时产生浮动力;一个限定在上述空气入口端部上的上述一对轨道之间的窄槽;一个与上述窄槽连续并限定在上述一对轨道之间且比上述窄槽宽的槽,该槽用于膨胀压缩的空气以产生负压;和一个传感器,它加工在上述空气出口端上述一个轨道所在的位置,上述滑动器具有一对基本平行的侧表面,相交于上述空气出口端,还具有一对倾斜的侧表面,它们从上述一对基本平行的侧表面延伸到上述空气入口端,从而连续地相互靠近。
在本发明的进一步方面中,提供一种具有空气入口端和空气出口端的磁头滑动器,它包括一对加工在磁盘对面的与磁盘相对的表面上的轨道,每个上述轨道具有一平坦的气浮表面以在上述磁盘转动时产生浮动力;一个轨道连接部分在空气入口端部连接到上述一对轨道上;一个限定在一对上述轨道之间的槽,用以膨胀压缩的空气以产生负压;和一个加工在上述空气入口端上述一个轨道所在位置的传感器;上述滑动器具有梯形形状,从而使上述空气入口端比上述空气出口端要窄。
轨道连接部分在空气入口部分最好具有产生负压的倾斜表面,该倾斜表面的宽度从空气入口端到空气出口端逐渐减小。
按照本发明的又一个方面,提供了一种切割条状薄片的方法,该条状薄片具有给定的宽度并具有成一排的若干滑动器,分开上述滑动器从而使上述每个滑动器具有梯形形状,该方法包括步骤:提供一切割刀,在它的整个外缘上加工有切割片,上述切割片的倾斜角度等于上述梯形滑动器倾斜的侧面的角度;使上述条状薄片朝上直立以使每个滑动器的空气入口端变成上侧,并将上述条状薄片放在上述转动切割刀的前面;以基本水平方向将上述薄片送到上述转动切割刀上以切割上述条状薄片。
另外,亦可通过向切割刀垂直移动条状薄片来切割条状薄片,这样切割位置位于通过转动切割刀中心的垂线上。
通过研究下面参照本发明优选实施例的附图的描述及所附的权利要求,本发明的上述及其它目的、特征及优点和实施它们的方式将更加清楚,发明本身亦可得到充分的理解。
附图概述
图1A是先有技术中磁头滑动器的平面视图,
图1B是图1A中的滑动器在其浮动状态下的透视图,
图2是磁盘驱动装置的透视图,
图3为本发明的第一个优选实施例的滑动器的平面图,
图4为图3中的滑动器在其浮动状态下的透视图,
图5为图3中的滑动器的压力分布图,
图6为本发明第二个实施例的滑动器的平面视图,
图7为本发明第三个实施例的滑动器的平面视图,
图8为本发明第四个实施例的滑动器的平面视图,
图9为本发明第五个实施例的滑动器的平面视图,
图10为本发明第六个实施例的滑动器的平面视图,
图11为本发明第七个实施例的滑动器的平面视图,
图12为本发明第八个实施例的滑动器的平面视图,
图13为本发明第九个实施例的滑动器的平面视图,
图14为本发明第十个实施例的滑动器的平面视图,
图15A为本发明第十一个实施例的滑动器的平面视图,
图15B为沿图15A中B-B线的剖面图,
图16为本发明第十二个实施例的滑动器的平面视图,
图17为本发明第十三个实施例的滑动器的平面视图,
图18为本发明第十四个实施例的滑动器的平面视图,
图19A为本发明第十五个实施例的滑动器的平面视图,
图19B为沿图19A中B-B线的剖面图,
图20为本发明第十六个实施例的滑动器的平面视图,
图21为图20所示滑动器浮动高度的曲线图,
图22A为薄片的透视图,
图22B为从图22A所示薄片的条状薄片切片的透视图,
图23为第一种切割方法的透视图,
图24为切割刀片形状的剖视图,
图25为台架的透视图,
图26A为沿图25中26A-26A线的剖视图,
图26B为图25中26B-26B线的剖面图,
图27为第二种切割方法的透视图,和
图28为宜放置切割刀片的条状薄片的透视图。
描述优选实施例
参见图2,它是一磁盘驱动装置的透视图,其中安装了本发明的磁头滑动器。数字12表示一个盒(盘的外罩),它包括基座14和盖16。一轴套(未示出)由装在基座14上的轴套马达带动转动。若干磁盘20和垫片(未示出)以交替叠放的方式装在轴套上。也就是说,若干磁盘通过用螺钉将磁盘夹固定到轴套上来固定地安装到轴套上由垫片隔开同样的一定的距离。
参考数字22表示一转动作动器,它包括一作动器臂组件26和磁回路28。作动器臂组件26安装成可绕着固定到基体14上的轴24转动。作动器臂组件26包括若干从转动中心一个方向伸出的作动器臂30和从转动中心的与作动器臂相反方向伸出的线圈支撑构件36。
悬架34的基础端部固定到每个作动器臂30的前端部。磁头滑动器32支撑在悬架34的前端部。线圈38由线圈支撑构件36支撑。插在磁回路28的间隙内的磁回路28和线圈38构成一音圈马达(VCM)40。
参考数字42表示一块柔性印刷电路板(FPC),用以拾取来自安装在磁头滑动器32上的电磁传感器的信号。该柔性印刷电路板的一端由固定构件44固定,并电连到连接器(未示出)。一环形衬垫组件46安装在基座14上。盒12由将盖16用螺钉通过衬垫组件46固定到基座14上而得到密封。
图3是表示本发明的第一个优选实施例的磁头滑动器50A的平面图,图4表示磁头滑动器50A处于浮动状态时的透视图。在本优选实施例及所有下面的优选实施例中,基本上同样的部件用同样的参考数字表示。磁头滑动器50A具有气体进口端52a和气体出口端52b,从平面图上看,它具有梯形形状,这样空气进口端52a比空气出口端52b要窄。磁头滑动器50A由图2所示的悬架34支撑。
分别具有平坦的轨道表面(气浮轴承表面)54a和56a的一对轨道54和56加工在磁头滑动器50A的磁盘相对表面上。在轨道54和56的进气端部分分别加工有倾斜表面54b和56b。由于滑动器50A是梯形的,所以轨道54和56布置成在它们的进气端部分上相互靠近,窄槽58限定在轨道54和56的进气端部分之间。另外,用以产生负压的槽60限定在轨道54和56之间。电磁传感器62装在滑动器50A的出气口端52b上,其位置是轨道54所在的位置。
滑动器50A由Al2O3-Tic制成,首先在一个薄片上加工若干电磁传感器62,然后将薄片切割成杆或条状,然后再加工每个条的侧面以形成若干成对的轨道54和56,最后切割条以得到单个滑动器50A。滑动器50A的尺寸为1.25mm×0.25-0.75mm(空气入口端)×1mm(空气出口端),厚度为0.3mm。每个轨道54和56的最小宽度为100μm或更小一些。因此轨道54和56是由光刻技术加工的。也就是说在要求的轨道形状上加上一层保护层后,由离子研磨蚀刻薄片表面以形成窄槽58和槽60。斜面54b和56b是在加工轨道54和56之前或之后用机械方法加工的。
每个斜面54b和56b的斜角最好设定为0.5°~4.0°,每个斜面54b和56b的长度最好设定为每个轨道54和56长度的1/10到1/20。在斜面54b和56b产生的正压防止灰尘沉积在轨道54和56的进气端位置上。
正如图4中表示的滑动器50A的浮动状态中,轨道表面(气浮轴承)54a和56a产生的正压用虚线表示,在槽60上产生的负压吸力由实线表示。也就是说,在窄槽58内受压缩的空气压槽60内膨胀,就会在槽60内产生负压。
正如图5中的滑动器50A上的压力分布图所示,由于滑动器50A呈梯形,所以可获得三个压力峰值,因此,在浮动状态的滑动器50A在三个点被支撑住。由于滑动器50A是三点上支撑的,所以即使由于误操作而使滑动器50A出现隆起、弯曲、扭转等等,浮动高度的变化速度是低的。另外,由于滑动器50A是梯形的,它的质量仅为同样厚度的普通滑动器质量的1/2-3/4。例如,普通滑动器的质量是1.757mg,而第一个优选实施例的滑动器50A的质量是0.984-1.378mg。因此在这种滑动器50A安装在具有质量为1.61mg的悬架上的情况下,其响应频率能增加3.8~13%。
图6是滑动器50B的平面视图,它表示本发明的第二个优选实施例。该滑动器50B具有加工在空气出口端52b侧的一对平行的侧表面64a和64b,和将侧面64a和64b连到空气进口端52a的倾斜的侧表面66a和66b。由于滑动器的空气出口侧52b具有一对平行的侧表面64a和64b,能有利于通过横向推动工作中的滑动器50B来放置滑动器50B。另外,由于滑动器在空气出口端52b侧的每个角不是尖的,就可减少由于碰撞而引起的滑动器50B的角部损坏。
图7是滑动器50c的平面示图,它示出了本发明的第三个优选实施例。该滑动器50c具有一对轨道68和70。窄槽72用于压缩引入的空气,槽74用于膨胀已压缩的空气以产生负压,它们均限定在轨道68和70之间。轨道68包括气体入口端部68a、气体出口端部68b和中间部分68c。气体出口端部68b的中部位于连接气体入口端部68a的中部和中间部分68c的中部的连线的外侧。
与此相类似,轨道70包括空气进口端部70a,空气出口端部70b和一个中间部分70c。空气出口端部70b的中部位于连接空气入口端部70a的中部和中间部分70c的中部的连线的外侧。由于每个轨道68和70具有这样的特殊的形状,来自空气入口端52a的气流可很容易地被阻断,这样可减小浮动高度,与轨道宽度一起保持要求的稳定的浮动。
图8是滑动器50D的平面图,它表示本发明的第四个优选实施例。其中每个轨道68和70的倾斜表面68d和70d的宽度从空气入口端52a到空气出口端52b逐步减小。因此,即使由于倾斜的加工误差而改变了每个倾斜表面的长度,也能减小滑动器50D的浮动高度的变化。
也就是说,浮动高度随着每个倾斜表面的长度的增加而增加。然而,通过从空气入口端52a到出口端52b减小每个倾斜表面的宽度,能减小浮动高度,因此抵销了由于每个倾斜表面长度增加而增加的浮动高度。
图9是表示本发明第五个优选实施例的滑动器50E的平面图。其中在轨道68和70之间具有中部轨道76,其它外形类似于图8所示。
图10是滑动器50F表示本发明第六个优选实施例的平面图。其中限定窄槽72的轨道68和70的相对的内侧边缘68F和70F平行于滑动器50F的纵向延伸的中心线。因此,象第四和第五个实施例一样,虽然由于斜面加工误差而引起每个倾斜表面的长度改变,可以减小滑动器50F的浮动高度的变化。
图11是滑动器50G表示本发明第七个优选实施例的平面图,其中一对轨道78和80由加工在空气入口侧52a的轨道连接部分82连在一起。也就是说,滑动器50G的轨道形状是倒V字形,在轨道78和80之间没有窄槽。因此,从空气入口端52a引入的空气在轨道连接部分82受到较大的压缩,然后该压缩空气在槽84处膨胀,因此很易产生负压。轨道连接部分82在空气入口端52a侧具有倾斜的表面82a。
如果这种倒V形或倒U形用到通常的矩形滑动器的轨道形状中,倾斜表面的宽度增加会导致产生过量的正压。因此,难以实现滑动器的低浮动高度。为了解决这个问题,需要减小倾斜表面的宽度。然而在这种情况下,通常的滑动器中倾斜表面的相对侧上的无轨道部分将变得较宽,结果,在滑动器在空气入口端向下倾斜的情况下,滑动器在空气入口端的角将与磁盘接触。
然而在本优选实施例的滑动器50G中,由于滑动器50G是梯形的,它的空气入口端52a的宽度比普通滑动器的要小。因此为了抑制正压,必须减小倾斜表面的宽度。结果滑动器的角部和磁盘由于滑动器50G的倾斜而产生的接触可以避免。
图12是滑动器50H表示本发明第八个优选实施例的平面图,其中倾斜表面86a在连接轨道78和80的轨道连接部分86上的宽度从空气入口端52a到空气出口端52b逐步减小。因此,即使倾斜表面的长度由斜面加工误差发生变化,亦可减小滑动器50H的浮动高度的变化。
图13是滑动器50I表示本发明第九个优选实施例的平面视图,其中在轨道连接部分86中加工有一窄槽88,从空气出口端52b侧延伸到倾斜表面86a部分。因此轨道连接部分86上的正压可受到抑制,因此易于获得滑动器50I的低浮动高度。
图14是滑动器50J表示本发明第十个优选实施例的平面图。象图13中所示的滑动器50I一样,在轨道连接部分86上加工一个窄槽90,从空气出口侧延伸到倾斜表面86a部分。在该优选实施例中,窄槽90的宽度从空气出口端52b侧到空气入口端52a侧逐渐减小。结果,从空气入口端52a侧到空气出口端52b侧的宽度的减小的一对轨道部分可很容易形成在轨道连接部分86上,虽然由于斜面加工误差而使倾斜面的长度发生变化仍能减小滑动器50J的浮动高度的变化。
图15A是滑动器50K表示本发明的第十一个实施例的平面图,图15B是沿图15A的B-B线的剖面图。窄槽92加工在轨道连接部分86上,从空气入口端52b侧伸到空气入口端52a。窄槽92比槽84要浅,因此很易产生负压,并且可防止在窄槽92中压缩的空气流在槽84中迅速膨胀,因此避免了灰尘沉积在槽84的表面。
图16是滑动器50L表示本发明第十二个优选实施例的平面图,其中在轨道连接部分86上的倾斜表面86a的宽度从空气入口端52a到空气出口端52b逐步减小,因此,即使由于斜面加工误差而改变了倾斜表面的长度,亦可减小滑动器50L浮动高度的变化。
图17是表示本发明第十三个优选实施例的滑动器50M的平面图。在该优选实施例中,窄槽94加工在轨道连接部分86上,从而使它从空气入口侧伸到空气出口侧。窄槽94比槽84窄,窄槽94的宽度从空气入口端52a到空气出口端52b逐渐增大。另外,倾斜表面86a的宽度从空气入口端52a到空气出口端52b逐渐增大。因此,即使当倾斜表面的长度由于斜面加工误差而变化,仍可减少滑动器50M的浮动高度的变化。
图18是表示本发明的第十四个实施例的滑动器50N的平面视图。在该实施例中,窄槽96加工在轨道连接部分86上,从而从空气出口端52b侧伸向倾斜表面部分86a。窄槽96比槽84窄。按照本实施例的滑动器50N,负压很容易产生,低浮动高度也很容易实现。
图19A是表示本发明的第十五个优选实施例的滑动器50p的平面图,图19B是沿图19A中B-B线的剖面图。在每个前面的实施例中,除了图7所示的第三个实施例外,轨道表面在空气入口端部倾斜,这样在这一部分产生正压。本实施例与它们不同,采用在轨道68和70的空气入口端部上加工台阶98和100。每个台阶98和100的深度约为槽74深度的1/2-1/4(例如:在槽74的深度为2~4μm的情况下,它们为0.5~2μm。另外,台阶102加工在窄槽72的空气入口端部上。
加工在轨道68和70的空气入口端部的台阶98和100产生正压。与通常的矩形滑动器相比,本实施例的滑动器50p上空气入口端52a的宽度较小。因此灰尘存积量减少因而可减小滑动器50p的浮动高度的变化。
图20是表示本发明第十六个优选实施例的滑动器50Q的平面图。滑动器50Q具有一对不同平均宽度的轨道104和106。也就是说,安装电磁传感器62的轨道106的平均轨道宽度小于轨道104的平均轨道宽度,这样安装电磁传感器62的轨道106的浮动高度减少较多,因此这就可减少在低高度浮动时滑动器50Q与磁盘接触的可能性。槽108限定在轨道104和106之间。
图21是第十六个实施例的滑动器50Q在其空气入口端和空气出口端的浮动高度的曲线图。在图21中,垂直轴表示滑动器50Q的浮动高度,水平轴表示离磁盘中心的径向距离。实线表示安装电磁传感器62的轨道106的浮动高度,虚线表示无电磁传感器的轨道104的浮动高度。从图21可清楚地看出,轨道106的高度在空气入口端和出口端均比轨道104低。
现在将主要参照图22A和22B来描述滑动器的制造方法。正如图22A所示,若干个电磁传感器62首先加工在薄片110上。然后将薄片110切成若干条状Al2O3-Tic板112,每块板具有布置成一条线的电磁传感器62。在本说明书中,每块板112看成是一条状薄片。然后在条状薄片112上光刻图形,再用离子研磨蚀刻条状薄片112,从而在条状薄片112上形成若干对轨道54和56。
参见图23,它示出了条状薄片的第一个切割方法。由于本发明的滑动器具有梯形形状,需要用一种专门的方法来将条状薄片112切成单个的梯形滑动器。第一个切割方法采用若干转动的切割刀114,在其外缘均具有一个切割片116。切割片或切割边缘116具有专门的剖面形状如图24所示。亦即切割片116的倾斜角度等于梯形滑动器50A的侧部表面的倾斜角度。另外,切割片116的径向长度L大于梯形滑动器50A的长度,亦即条状薄片112的宽度。
正如图23所示,若干转动的切割刀114每个都具有如上所述的专用切割刀片116,它们以相等间隔并排放置。将条状片112朝上使每个滑动器50A的空气入口端52a变成上侧,处于这种朝上状态的条状薄片112按箭头118所示的水平方向送向切割刀114,从而将条状薄片112切成单个的滑动器50A。
在该切割方法中,重要的是要考虑在送入条状薄片的条状薄片112的高度和每个切割刀114的切割片116的高度之间的关系。亦即送入条状薄片112应获得如图24所示的高度关系,即在切割刀114的正下方的位置。当条状薄片通过切割刀114的正下方的位置时,条状薄片112被切成若干梯形的滑动器50A。
为了自动切割条状薄片112,采用了图25所示的台架120。台架120具有若干每个都正好接受条状薄片112的槽122。台架120还具有若干垂直于每个槽122的窄槽124,从而允许切割刀片116通过。图26A是沿图25中26A-26A线的剖面图,图26B是沿图25中26B-26B线的剖面图。
在使用台架120来切割若干条状薄片112时,条状薄片112插入台阶120的槽122内,使每个条状薄片112的滑动器50A的空气入口端成为上侧。然后将台架用一托架水平输送以将每个条状薄片112切成单个的滑动器50A。在切割每个条状薄片时,转动切割刀114的切割片116都通过台架120的窄槽124。
参见图27,它表示第二种切割条状薄片112的方法。按照该切割方法,使条状薄片112朝上,使每个滑动器50A的空气入口端52a成为上侧,并将它们放在转动切割刀的正下方。然后,条状薄片112垂直向上移向切割刀114,这样切割位置基本位于通过每个切割刀114中心的垂线上,由此将条状薄片112切成单个的滑动器50A。每个切割刀114的切割片116的形状类似于图24所示。
参见下一个图28,它表示宜于放置切割片116的条状薄片112′。该条状薄片112′具有若干棱128,它们在条状薄片112′的宽度(亦即每个滑动器的长度)上延伸。每个棱128位于相邻的滑动器之间。棱128由离子研磨法与轨道54和56的成形同时加工。由于条状薄片112′具有若干棱,棱可用作为放置切割刀的切割片的导向构件。通过用棱128作为导向构件来切割条状薄片112′,它很容易被分成单个的滑动器。
按照本发明,能提供一种具有优良浮动性能的磁头滑动器,它能抑制由于加工滑动器时轨道表面平面度的误差引起的浮动高度的变化和由倾斜面的加工误差引起的浮动高度的变化。

Claims (18)

1.一种具有空气入口端和空气出口端的磁头滑动器,包括:
一对加工在磁盘对面的磁盘相对表面上的轨道,每个上述轨道具有平坦的气浮表面,用以在上述磁盘转动时产生浮动力;
一个限定在上述一对轨道之间、空气入口端部的窄槽;
一个限定在上述一对轨道之间的槽,它与上述窄槽连续并比上述窄槽要宽,用以膨胀压缩的空气以产生负压;和
一个加工在上述空气入口端的一个上述轨道所处位置的传感器;
上述滑动器具有梯形形状,从而使上述空气入口端比上述空气出口端窄。
2.一种按照权利要求1的磁头滑动器,其中每个上述轨道具有一空气入口端部,一个空气出口端部和一个中间部分,上述空气出口端部的中心位于连接上述空气入口端部的中心和上述中部的中心的连线的外侧。
3.一种按照权利要求1的磁头滑动器,其中每个上述轨道具有连续加工在上述气浮表面的上述空气入口端部的倾斜表面,上述倾斜表面的宽度从上述空气入口端朝上述空气出口端逐渐减小。
4.一种按照权利要求3的磁头滑动器,其中上述一对轨道的相对的内侧表面平行于在上述倾斜表面加工的上述空气入口端部上的上述滑动器纵向伸展的中心线。
5.一种按照权利要求1的磁头滑动器,其中上述窄槽比上述槽窄。
6.一种按照权利要求1的磁头滑动器,其中每个上述轨道具有加工在上述空气入口端部的台阶。
7.一种按照权利要求1的磁头滑动器,其中一个上述轨道的平均轨道宽度小于另一个轨道的宽度。
8.一种按照权利要求5的磁头滑动器,其中每个上述轨道具有连续加工在上述气浮表面的上述空气入口端的倾斜表面,上述倾斜表面的宽度从上述空气入口端朝上述空气出口端逐渐减小。
9.一种按照权利要求8的磁头滑动器,其中上述窄槽的宽度从上述空气入口端朝上述空气出口端逐渐增大。
10.一种具有一个空气入口端和一个空气出口端的磁头滑动器,包括:
一对加工在相对磁盘的磁盘相对表面上的轨道,每个上述轨道具有平坦的气浮表面,用以在磁盘转动时产生浮动力;
一个限定在上述一对轨道之间、它们的空气出口端部上的窄槽;
一个限定在上述一对轨道之间的槽,它与上述窄槽是连续的并比上述窄槽宽,用以将压缩的空气膨胀以产生负压;和
一个加工在上述空气出口端上述一个轨道所处位置上的传感器;
上述滑动器具有一对平行的侧表面该侧表面靠近上述空气出口端,和一对从上述一对平行的侧表面伸展到上述空气入口端从而相互逐渐接近的倾斜的侧表面。
11.一种按照权利要求10的磁头滑动器,其中每个上述轨道具有一个空气入口端部、一个空气出口端部和一个中间部分,上述空气出口端部的中心位于上述空气入口端部的中心和上述中间部分的中心的连线的外侧。
12.一种按照权利要求10的磁头滑动器,其中每个上述轨道具有连续加工在上述气浮表面上述空气入口端部上的倾斜表面,上述倾斜表面的宽度从上述空气入口端朝上述空气出口端逐渐减小。
13.一种按照权利要求10的磁头滑动器,其中上述一对轨道相对的内侧表面平行于在上述倾斜表面上加工的上述空气入口端部上的上述滑动器纵向伸展的中心线。
14.一种具有一空气入口端和一空气出口端的磁头滑动器,包括:
一对加工在相对磁盘的磁盘相对表面上的轨道,每个上述轨道具有平坦的气浮表面,用于在上述磁盘转动时产生浮动力;
一个在空气入口端部连接上述一对轨道的轨道连接部分;
一个限定在上述轨道之间用以膨胀压缩的空气以产生负压的槽;和
一个加工在上述空气出口端上述一个轨道所在位置上的传感器;
上述滑动器具有梯形形状,使上述空气入口端比上述空气出口端窄。
15.一种按照权利要求14的磁头滑动器,其中上述轨道连接器具有相交于上述空气入口端的倾斜表面,上述倾斜表面的宽度从上述空气入口端朝上述空气出口端逐渐减小。
16.一种按照权利要求15的磁头滑动器,其中上述轨道连接部分具有一窄槽,该窄槽加工在基本横向的中心位置,并从上述槽伸展到上述倾斜表面部分上。
17.一种按照权利要求16的磁头滑动器,其中上述窄槽的宽度从上述空气入口端朝上述空气出口端逐渐增大。
18.一种磁盘驱动装置包括:
一个罩;
一个可转动地安装在上述罩上的磁盘;
一个具有一传感器以从/向上述磁盘阅读/记录数据的磁头滑动器;
一个横过上述磁盘轨迹移动上述磁头滑动器的作动器;
上述磁头滑动器包括:
一对加工在磁盘对面的磁盘相对表面上的轨道,上述每个轨道具有平坦的气浮表面,用以在上述磁盘转动时产生浮动力;
一个限定在上述一对轨道之间、空气入口端部的窄槽;和
一个限定在上述一对轨道之间的槽,它与上述窄槽连续并比上述窄槽要宽,用以膨胀压缩的空气以产生负压;
上述传感器加工在上述滑动器的空气出口端一个上述轨道所处的位置;
上述滑动器具有梯形形状,从而使上述空气入口端比上述空气出口端窄。
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