CN1179326C - 磁头及其制造方法 - Google Patents

Abstract

穿过滑动块的倾斜面的第1边界线和第2边界线的假想平面C与滑动块的支承面S之间的夹角的值θ1，以及穿过倾斜面的第1边界线和第2边界线的假想平面D与滑动块的支承面S之间的夹角的值θ2在5°～14°的范围内。

Description

磁头及其制造方法

技术领域

本发明涉及具有装载于比如，硬磁盘机等上的滑动块的磁头及其制造方法，本发明特别是涉及下述磁头及其制造方法，该磁头及其制造方法在于磁头于记录媒体上上浮的状态进行记录和/或再生动作时，可减少上述记录媒体的损伤。

背景技术

图17为将装载于硬磁盘机等上的已有的磁头的与记录媒体的相对面向上而表示的透视图。

在该磁头中，记录媒体的移动方向的上游侧A称为“读侧”，下游侧B称为“后侧”。

图17中的标号1表示由陶瓷材料等形成的滑动块，在上述滑动块1的后侧端面B上，设置有磁性记录和/或再生的薄膜元件部6。

在上述滑动块1中的与记录媒体的相对面，形成空气凹槽2，按照围绕空气凹槽2的方式形成ABS面3。该ABS面3呈冠状。

但是，在图17所示的已有的磁头中，滑动块1中的与记录媒体的相对面的角部1a，1a具有棱角，在磁头与记录媒体接触时等的情况下，具有上述记录媒体容易受到损伤的问题。由此，通过比如，机械加工等方式，使上述滑动块1的角部1a，1a呈倒角状。

在过去，在成整体形成多个滑动块1的状态，即在滑动杆的状态，进行上述角部1a，1a的倒角加工。图18为表示滑动杆的状态的局部透视图。

如图18所示，在上述滑动杆7的后侧端面B上，形成有多个薄膜元件部6。另外，对上述滑动杆7中的与记录媒体的相对面，进行空气凹槽2和ABS面3的加工。此外，在各薄膜元件部6之间，形成具有一定深度的槽部9。

图19为表示已有的倒角加工方法的正视图。在过去，以一定压力，使固定于夹具10上的滑动杆7的空气槽2和ABS面3的整个表面，与设置于缓冲件K上的研磨用的研磨带R相接触，通过使该夹具10沿X方向和/或Y方向往复滑动，由此，在滑动杆的状态，对上述角部1a，1a进行倒角加工。

但是，当进行上述倒角加工时，对于在将倒角加工的加工尺寸设定在什么样的范围内的场合，可有效地降低上述记录媒体的损伤的方面，在过去几乎没有进行分析。另外如果采用上述的过去的倒角加工方法，进行滑动块的倒角加工，则还产生难于使倒角加工的加工精度保持一定的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述已有的课题而提出的，本发明的目的在于提供一种下述磁头及其制造方法，其中上述滑动块中的与记录媒体的相对面的角部的倒角加工尺寸位于下述范围内，在该范围中，可降低磁头与记录媒体接触时等情况下的记录媒体的损伤，并且可使倒角加工的误差很少。

本发明涉及下述磁头，该磁头包括滑动块，该滑动块具有与记录媒体相对的相对面，形成支承侧的支承面，后侧与读侧的各端面；设置于上述滑动块的后侧的磁性记录和/或再生用的元件部，其特征在于：

在上述相对面的后侧的端部与读侧的端部中的至少1个上，形成有倾斜面或曲面，该倾斜面或曲面在其与上述相对面之间，具有第1边界线，在其与上述端面之间，具有第2边界线，包含上述第1边界线和第2边界线的假想平面与上述支承面之间的夹角在5°～14°的范围内。

按照本发明，如果在设置于滑动块上的，与记录媒体的相对面的后侧端部和/或读侧端部上，形成有倾斜面或曲面时，使包含上述第1边界线和第2边界线的假想平面与上述滑动块的支承面之间的夹角在5°～14°的范围内时，则可降低所形成的磁头与记录媒体接触时等情况下的记录媒体的损伤，可使倒角加工的误差很小。

另外，由于当包含上述第1边界线和第2边界线的假想平面与上述滑动块的支承面之间的夹角θ在5°≤θ≤8°的范围内时，可完全防止磁头与记录媒体接触时等情况下的记录媒体的损伤，故最好采用该数值范围。

此外，按照本发明，最好在上述滑动杆中的与记录媒体的相对面的表面上，形成保护膜。

还有，由于当形成于上述后侧端部的倾斜面或曲面的第1边界线相对上述元件部的间隙部，位于后侧的端面侧时，可防止上述元件部的损伤，故最好采用该方式。

再有，由于当在上述相对面上，形成台阶，通过该台阶而位于上述相对面侧的最高位置的面为承受来自上述记录媒体上的空气流的上浮力的ABS面，上述元件部的间隙部位于上述ABS面的区域内时，在记录和再生的场合，可将上述元件部最靠近上述记录媒体，故最好采用该方式。

上述第1边界线也可形成于上述倾斜面或曲面与上述ABS面的边界上。

另外，由于当形成于上述后侧的端部的倾斜面或曲面的第1边界线相对形成上述ABS面的台阶，位于读侧的端面侧时，可避免上述倾斜面或曲面对磁头的上浮特性造成影响，故最好采用该方式。

按照本发明，上述第1边界线按照朝向上述滑动块的宽度方向呈直线状或曲线状延伸的方式形成。

此外，本发明涉及一种磁头的制造方法，该磁头包括滑动块，该滑动块具有与记录媒体相对的相对面，形成支承侧的支承面，后侧与读侧的各端面；设置于上述滑动块的后侧的磁性记录和/或再生用的元件部，该方法包括下述步骤：

(a)在后侧端面上，形成形成有多个元件部的滑动杆；

(b)将上述滑动杆中的相对面的后侧的角部与研磨加工面接触，将上述滑动杆的支承面与研磨加工面之间的夹角设定在5°～14°的范围内，使该滑动杆沿一定方向往复滑动，在上述后侧的角部，形成倾斜面；

(c)将上述滑动杆分别设置于各自具有上述元件部的相应滑动块上。

在上述(b)的步骤后，还具有下述步骤(d)，即将上述滑动杆中的相对面的读侧的角部与研磨加工面接触，将上述滑动杆的支承面与研磨加工面之间的夹角设定在5°～14°的范围内，使该滑动杆沿一定方向往复滑动，在上述读侧的角部，形成倾斜面。

按照本发明，由于在上述滑动块的后侧和/或读侧的角部上，形成平齐的倾斜面，故可容易抑制制造阶段的倾斜面的倾角或深度的加工尺寸的误差。

还有，最好在上述(b)和/或(c)的步骤中，将上述滑动杆的支承面与研磨加工面之间的夹角固定在5°～14°的范围内。

当将上述滑动杆的支承面与研磨加工面之间的夹角固定在5°～14°的范围内，对上述滑动杆的角部进行研磨时，包含位于形成于所获得的滑动块的后侧和/或读侧的角部的倾斜面与上述相对面之间的第1边界线，与位于上述倾斜面与上述端面之间的第2边界线的假想平面与上述滑动块的支承面之间的夹角的值在5°～14°的范围内。因此，可降低所形成的磁头与记录媒体接触时等情况下的记录媒体的损伤，并且可使倒角加工的误差很小。

再有，如果在上述滑动杆的支承面与上述研磨加工面之间的夹角固定在5°～8°的范围内的状态，使上述滑动杆往复滑动，则包含位于形成于所获得的滑动块的后侧和/或读侧的角部的倾斜面与上述相对面之间的第1边界线，与位于上述倾斜面与上述端面之间的第2边界线的假想平面与上述滑动块的支承面之间的夹角的值也在5°～8°的范围内。因此，最好采用该数值范围，以便还可完全防止所形成的磁头与记录媒体接触时等情况下的记录媒体的损伤。

另外，如果在上述滑动杆的支承面与上述研磨加工面之间的夹角固定在5°～14°的范围内的状态，使上述滑动杆往复滑动，则可降低用于形成上述倾斜面的滑动杆的总往复滑动距离，加工性提高。另外，在上述滑动杆的支承面与上述研磨加工面之间的夹角固定在5°～8°的范围内的状态，如果使上述滑动杆往复移动，则可使加工性进一步提高，故最好采用该方式。

在上述(b)和/或(c)的步骤中，既可使上述滑动杆沿与其纵向相平行的方向往复滑动，也可使上述滑动杆沿与其纵向相垂直的方向往复滑动。

如果使上述滑动杆往复滑动的方向，为与上述滑动杆的纵向相平行的方向，则形成于所获得的滑动件的后侧端部和/或读侧端部的倾斜面和相对面的第1边界线，朝向上述滑动杆的宽度方向呈直线状或曲线状延伸，容易抑制上述倾斜面的加工尺寸的误差，故最好采用该方式。

此外，最好在于上述滑动杆中的与记录媒体的相对面的表面上，形成保护膜后，进行上述(b)和/或(c)的步骤。

按照过去的倒角加工方法，由于使滑动杆中的与记录媒体的整个相对面与研磨带接触，故产生还对形成于与记录媒体的相对面的表面上的保护膜进行研磨的问题。

按照本发明，由于仅仅使上述滑动杆的后侧和/或读侧的角部与上述研磨加工面接触而对该角部进行研磨，故不在上述角部以外的区域，对形成于与记录媒体的相对面的表面上的保护膜进行研磨。

如果采用上面具体描述的本发明，由于在设置于上述滑动块中的与记录媒体的相对面的后侧端部和/或读侧端部，形成倾斜面或曲面，包含上述倾斜面或曲面的第1边界线和第2边界线的假想平面与上述滑动块的支承面之间的夹角的值θ在5°～14°的范围内，故可降低所形成的磁头与记录媒体接触时等情况下的记录媒体的损伤，并且可使倒角加工的误差很小。

此外，通过使包含上述倾斜面或曲面的第1边界线和第2边界线的假想平面与上述滑动块的支承面之间的夹角的值θ在5°～8°的范围内，还可完全防止磁头与记录媒体接触时等情况下的记录媒体的损伤。

附图说明

图1为表示本发明的实施例的磁头的透视图；

图2为表示在图1的磁头安装于负载梁上的状态，该磁头在记录媒体上上浮的状态的侧视图；

图3为从与记录媒体的相对面侧看到的图1的磁头的平面图；

图4为图1的磁头的侧视图；

图5为用于说明电光负载方式的硬磁盘机的动作的侧视图；

图6为用于说明电光负载方式的硬磁盘机的动作的平面图；

图7为用于说明电光负载方式的硬磁盘机的动作的侧视图；

图8为用于说明电光负载方式的硬磁盘机的动作的平面图；

图9为用于说明电光负载方式的硬磁盘机的动作的侧视图；

图10为用于说明电光负载方式的硬磁盘机的动作的平面图；

图11为用于说明本发明的磁头的制造方法的透视图；

图12为用于说明本发明的磁头的另一制造方法的透视图；

图13为表示本发明的另一实施例的磁头的平面图；

图14为表示滑动块的倾斜面的倾角的值与磁盘的损伤发生率之间的关系的曲线图；

图15为表示滑动块的倾斜面的倾角的值，与从倾斜面的第1边界线到侧端面的距离的误差(标准偏差σ)之间的关系的曲线图；

图16为表示滑动块的倾斜面的倾角的值，与滑动杆的总滑动距离之间的关系的曲线图；

图17为已有的磁头的透视图；

图18为用于形成图17的磁头的滑动杆的透视图；

图19为用于说明已有的磁头的倒角加工方法的正面图。

具体实施方式

图1为将本发明的实施例的磁头的与记录媒体的相对面朝上而表示的透视图。

在该磁头中，记录媒体的移动方向的上游侧A称为“读侧”，下游侧B称为“后侧”。

图1所示的标号11为由陶瓷材料等形成的滑动块，在滑动块11的后侧端面T，形成氧化铝层15，在氧化铝层15上，设置有磁性记录和/或再生用的元件部12。在该元件部12中，采用磁性阻抗效果元件的再生部，以及由感应型的薄膜磁头形成的记录部重合，在滑动块11中的与记录媒体的相对面F上，呈现间隙部(记录和/或再生部)G。另外，在本实施例的磁头的滑动块11中的，与记录媒体的相对面F上，通过金刚石态碳(diamond like carbon)等的材料，形成保护膜，间隙部G为该保护膜覆盖。在图1中，为了容易观看图面，将上述保护膜的图示省略，但是，在后面描述的图4中，表示有保护膜16。另外，相对面F的相反侧的面为形成支承侧的支承面S。

如图1所示，在与记录媒体的相对面F上，形成台阶，通过该台阶而位于相对面F侧的最高位置的面，为承受来自记录媒体上的空气流的上浮力的ABS面14，围绕该ABS面14，形成空气凹槽13。另外，上述台阶的高度为1.5mm。

如图2所示，支承图1的滑动块11的支承体21由负载梁22与挠性部23构成。负载梁22由不锈钢等的板簧材料形成。另外，在负载梁22的前端部附近，形成朝向图示下方向突出的球面状的铰接件24，滑动块11通过上述挠性部23，与该铰接件24接触。

上述挠性部23通过不锈钢等的薄板簧形成。上述挠性部23由固定部23a与舌片23b构成，在舌片23b的底面上，粘接固定有形成滑动块11的支承侧的支承面S。

使舌片23b的顶面碰到形成于负载梁22上的铰接件24，可借助舌片23b的弹性，以铰接件24的顶点为支点，自由地改变粘接固定于该舌片23b的底面上的滑动块11的姿势。

在磁盘D1(记录媒体)启动时，将空气流沿磁盘的移动方向，送入滑动块11与磁盘D1的表面之间，滑动块11的ABS面14承受空气流的上浮力，只按照距磁盘D1表面较短的距离δ1(间距)上浮。

在上浮姿势，如图2所示，处于滑动块11的读侧A高出后侧B而上抬的倾斜的上浮姿势。在该上浮姿势，通过元件部12的MR头，检测来自盘的磁信号，或通过感应磁头，写入上述磁信号。

在图1所示的本实施例的滑动块11中，与记录媒体的相对面F的后侧端部上，形成倾斜面11a，另外，在读侧端部，形成倾斜面11b。倾斜面11a，11b的表面为平齐面。

图3为从与记录媒体的相对面F侧看到的图1所示的滑动块11的平面图，图4为滑动块11的侧视图。

倾斜面11a中的与相对面F的边界线为第1边界线11a1，倾斜面11a中的与后侧端面T的边界线为第2边界线11a2。另外，在本实施例中，第1边界线11a1包括倾斜面11a中的与ABS面14的边界线。包含第1边界线11a1和第2边界线11a2的假想平面C与滑动块11的支承面S之间的夹角的值由θ1表示。

另外，倾斜面11b中的与相对面F的边界线为第1边界线11b1，倾斜面11b中的读侧端面L的边界线为第2边界线11b2。包含第1边界线11b1和第2边界线11b2的假想平面D与滑动块11的支承面S之间的夹角的值由θ2表示。θ1与θ2在5°～14°的范围内。θ1与θ2的值既可不同，也可相同。

此外，在与记录媒体的相对面F的上述后侧端部和/或读侧端部上，也可形成曲面，以代替倾斜面11a，11b。同样在此场合，包含上述曲面中的与相对面F之间的第1边界线，和上述曲面的后侧端面T之间的第2边界线的假想平面与滑动块的支承面S之间的夹角的值，以及包含上述曲面中的与相对面F之间的第1边界线，和上述曲面中的与读侧端面L之间的第2边界线的假想平面与滑动块的支承面S之间的夹角的值在5°～14°的范围内。

如果使θ1与θ2在5°～14°的范围内，如图2所示，则在磁盘D1(记录媒体)上上浮而行走的滑动块11可减少与磁盘D1接触时的磁盘D1的损伤。另外，如果使θ1与θ2在5°～8°的范围内，还可完全防止磁盘D1的损伤，故最好采用该方式。

如果θ1与θ2大于14°，则以倾斜面11a的第1边界线11a1为顶点的角部的角度和以倾斜面11b的第1边界线11b为顶点的角部的角度接近直角，但是不能够减少滑动块11与磁盘D1接触时的磁盘D1的损伤。

另外，如果θ1与θ2小于5°，则以倾斜面11a的第2边界线11a2为顶点的角部的角度和以倾斜面11b的第2边界线11b2为顶点的角部的角度接近直角，不能够减少滑动块11与磁盘D1接触时的磁盘D1的损伤。

因此，如果θ1与θ2在5°～14°的范围内，则以倾斜面11a的第1边界线11a1为顶点的角部和以倾斜面11b的第1边界线11b1为顶点的角部，及以倾斜面11a的第2边界线11a2为顶点的角部和以倾斜面11b第2边界线11b2为顶点的角部的锐角减少，可降低滑动块11与磁盘D1接触时的磁盘D1的损伤。

此外，如果θ1与θ2大于5°，则可使从倾斜面11a的第1边界线11a1到后侧端面T的距离L1和从倾斜面11b的第1边界线11b1到读侧端面L的距离L3的产品的误差在允许范围内，可使产品的品质提高。

还有，如图3所示，形成于相对面F的后侧端面的倾斜面11a的第1边界线11a1相对元件部12的间隙部G，形成于后侧端面T一侧，从而可防止间隙部G的损伤。从第1边界线11a1到间隙部G的距离L2为比如，在3～5μm的范围内。

再有，间隙部G位于ABS面14的区域内，在记录和再生时，可使元件部12最靠近磁盘D1。间隙部G由金刚石态碳等形成的保护膜(在图3中未示出)覆盖。但是，间隙部G也可在ABS面14上露出。

另外，间隙部G可以不一定位于ABS面的区域内。比如，即使位于与空气凹槽13保持连续的平面内，也没有关系。

此外，形成于读侧的端部的倾斜面11b的第1边界线11b1相对形成ABS面14的台阶，位于读侧端面L侧，避免倾斜面11b对滑动块11的上浮特性造成影响。

在图1～4所示的滑动块11的，后侧端部和读侧端部这两者上，形成倾斜面11a，11b，角度θ1与θ2在5°～14°的范围内。

但是，如图2所示，上浮时的滑动块11取后侧端部接近磁盘D1的姿势，其结果是，相对读侧端部，后侧端部容易与磁盘D1接触。即，仅仅形成后侧端部的倾斜面11a，即使未形成读侧端部的倾斜面11b，仍可减少滑动块11的接触造成的磁盘D1的损伤。另外，在于后侧端部和读侧端部，形成倾斜面11a，11b的场合，仅仅角度θ1在5°～14°的范围内，角度θ2也可为超出该范围的值。

如图3所示，形成于相对面F的上述后侧端部和读侧端部的倾斜面11a，11b的第1边界线11a1，11b1朝向滑动块11的宽度方向呈直线状延伸。另外，倾斜面11a，11b的第1边界线11a1，11b1还朝向滑动块11的宽度方向，呈曲线状延伸。

另外，在滑动块11中的与记录媒体的相对面F的表面上，形成图4的斜线部所示的保护膜16。该保护膜16采用金刚石态碳等的材料形成。该保护膜16不形成于倾斜面11a，11b的表面上。此外，在图1和图3中，为了容易观看附图，将保护膜16的图示省略。

此外，在图1～4所示的滑动块11中，相对面F的侧缘部11c，11c形成角部，但是也可在该侧缘部11c，11c上，形成倾斜面或曲面。另外，以倾斜面11a和11b与侧缘部11c，11c之间的交点为顶点的角部11d，11d，11d，11d还形成较缓的圆面。

还有，图1～4所示的滑动块11的ABS面14呈较缓的曲面状，也可形成所谓的冠状。

该磁头用于所谓的接触启动停止(contact start step)方式，或电光负载方式的硬磁盘机等中。

本发明特别适用电光负载方式的硬磁盘机中的磁头。

图5～10为说明电光负载方式的硬磁盘机的动作的侧视图和平面图。

在图6中，标号11表示滑动块，标号22表示负载梁，标号34表示负载杆，标号35表示用于支承负载梁22的臂，标号D1表示磁盘(记录媒体)。

负载杆34包括相对磁盘(记录媒体)D1，保持平行的部分34-H与倾斜的部分34-K。如图5和图6所示，在非动作时，磁盘D1与滑动块11产生非接触，滑动块11在磁盘D1的半径方向的外侧，设置于与位于滑动块11的表面的平面离开的空间上。从此状态，在使电动机旋转后，如果以臂的支点为中心使臂35旋转，则负载梁22在负载杆34的平行的部分34-H上滑动，另外到达倾斜部34-K处，沿倾斜方向滑行(图7，图8)。此外，如果臂35旋转，则支承负载梁22的负载杆34的锁定脱开，滑动块11在磁头D1上移动而上浮(图9，图10)。当相对磁盘D1，未对滑动块11进行加载时，按照相反的顺序，进行图5～10所示的一系列的动作。

按照上述的电光负载方式，当滑动块11在磁盘D1上移动而上浮时(图9，图10)，滑动块11的姿势不稳定，滑动块11中的，与记录媒体的相对面的后侧端部和读侧端部容易与磁盘D1接触。

按照本发明，由于在滑动块的与记录媒体的相对面的后侧端部和读侧端部上，形成有倾斜面或曲面，故即使在滑动块11容易与磁盘D1接触的情况下，仍可降低磁盘D1的损伤。

图11为用于说明本发明的磁头的制造方法的实施例的形式的透视图。

首先，在由陶瓷或氧化铝碳化钛(alumina titanium carbide)等形成的圆形的基板上，在形成多个元件部41后，按照长方形状将上述基板切断，形成滑动杆42。在该滑动杆的后侧端面，处于按照成一排并排的方式形成有多个元件部41的状态。

接着，在滑动杆42中的与记录媒体的相对面F上，形成与元件部41相同数量的空气凹槽和ABS面。另外，与滑动杆的相对面F相对侧的面为形成支承侧的支承面。

然后，如图11所示，将滑动杆42中的与记录媒体的相对面F的后侧的角部42a，与作为研磨加工面的研磨带42的表面接触，在通过夹具(图中未示出)将滑动杆42的支承面S与研磨带43的表面之间的夹角θ设定在5°～14°的范围内的状态，使上述角部42a沿与滑动杆42的纵向相平行的方向(图中的Y方向；与滑动杆42的后端面T相平行的方向)往复滑动，在上述后侧的角部42a上，形成倾斜面。另外，没有以施加力的方式将滑动杆42按压于研磨带43上，滑动杆42在自重的作用下按压于研磨带43上。滑动杆42的往复滑动通过手动进行。

之后，将滑动杆42中的与记录媒体的相对面F的读侧的角部42b与研磨带43的表面接触，在滑动杆42的支承面S与研磨带43的表面之间的夹角设定在5°～14°的范围内的状态，使上述角部42b沿与滑动杆42的横向相平行的方向(图中的Y方向；与滑动杆42的后端面T相平行的方向)往复滑动，在上述后侧的角部42b上，形成倾斜面。但是，还可省略在滑动杆42中的与记录媒体的相对面F的读侧的角部42b上，形成倾斜面的步骤。

另外，既可在研磨带43的底层，敷设缓冲垫，也可不敷设缓冲垫。

接着，如果在形成于滑动杆42中的与记录媒体的相对面F侧的槽部44处，将滑动杆42切断，则获得图1～4所示的相应的滑动块11。

按照本实施例，由于在滑动杆42的后侧的角部42a和/或上述读侧的角部42b，形成平齐的倾斜面，故容易抑制制造阶段的上述倾斜面的倾斜角度或深度的加工尺寸的误差。

因此，可减小每个穿过图1～4所示的获得的滑动块11的倾斜面11a的第1边界线11a1与第2边界线11a2的假想平面C与滑动块11的支承面S之间的夹角的值θ1，以及穿过倾斜面11b的第1边界线11b1与第2边界线11b2的假想平面C与滑动块11的支承面S之间的夹角的值θ2的产品的误差，可使产品的品质提高。

另外，可减小每个从所获得的滑动块11的倾斜面11a的第1边界线11a1到后端面T的距离L1，以及倾斜面11b的第1边界线11b1到后端面L的距离L3的产品的误差，可使产品的品质提高。

此外，如果在将滑动杆42的支承面S与研磨带43的表面之间的夹角设定在5°～14°的范围内的状态，使滑动杆42往复滑动，则可减小用于形成倾斜面的滑动杆42的总的往复滑动距离，加工性提高。另外，如果在将滑动杆42的支承面S与研磨带43的表面之间的夹角设定在5°～8°的范围内的状态，使滑动杆42往复滑动，则可进一步提高加工性，故最好采用该数值范围。

如果将滑动杆的支承面S与研磨带的表面之间的夹角设定在5°～14°的范围内，对上述滑动杆的角部进行研磨，则通过形成于所获得的滑动块的后侧和/或读侧的角部的倾斜面的第1边界线与第2边界线的假想平面和上述滑动块的支承面之间的夹角的值θ在5°～14°的范围内。因此，可减小所形成的磁头与记录媒体接触时等场合下的上述记录媒体的损伤，并且可减小倒角的加工的误差。

还有，如果在将滑动杆42的支承面S与研磨带43的表面之间的夹角设定在5°～8°的范围内的状态，使滑动杆42往复滑动，则穿过形成于所获得的滑动块的后侧和/或读侧的角部的倾斜面的第1边界线和第2边界线的假想平面与滑动块的支承面之间的夹角的值θ也在5°～8°的范围内。因此，还可完全防止所形成的磁头与记录媒体接触时等场合下的上述记录媒体的损伤，故最好采用该数值范围。

再有，如果按照上述方式往复滑动的方向为与滑动杆42的纵向相平行的方向，则形成于所获得的滑动块11的后侧端部的倾斜面11a的第1边界线11a1和形成于读侧端部的倾斜面11b的第1边界线11b1象图3所示的那样，为沿滑动块11的宽度方向延伸的直线，容易抑制倾斜面11a和11b的加工尺寸的误差。

另外，当形成倾斜面11a时，如图3所示，如果形成于后侧端部的倾斜面11a的第1边界线11a1位于相对元件部12的间隙部G的，后侧端面T侧，则可防止间隙部G的损伤，故最好采用该方式。

此外，当形成倾斜面11b时，如果形成于读侧端部的倾斜面11b的第1边界线11b1，形成相对于构成ABS面的台阶部的读侧端面L侧，则可避免倾斜面11b对滑动块11的上浮特性造成影响，故最好采用该方式。

还有，如图12所示，当在滑动杆42中的与记录媒体的相对面F的后侧的角部42a和读侧角部42b上，形成倾斜面时，将角部42a和角部42b与研磨带43的表面接触，在将滑动杆42的支承面S与研磨带43的表面之间的夹角设定在5°～14°的范围内的状态，使该角部42a和42b沿与滑动杆42的纵向相垂直的方向(图中X方向；与滑动杆42的后端面T相垂直的方向)往复滑动，也可在上述后侧的角部42a和角部42b上，形成倾斜面。

但是，如果使上述角部沿与滑动杆42的纵向相垂直的方向(图中X方向；与滑动杆42的后侧端面T相垂直的方向)往复滑动，在上述后侧的角部42a和角部42b上，形成倾斜面，则形成于所获得的滑动块51的后侧端部的倾斜面51a的第1边界线51a1和形成于读侧端部的倾斜面51b的第1的边界线51b1形成图13所示的波浪形或Z字形的产生晃动的曲线，容易产生倾斜面51a和51b的加工尺寸的误差。

再有，在使上述角部沿与滑动杆42的纵向相垂直的方向(图中X方向)往复滑动，在上述后侧的角部42a和角部42b上形成倾斜面的方法中，如图12所示，研磨1个角部所必需的研磨带43的面积为W1×W2。其中，W1表示使滑动杆42在研磨带43上滑动的距离，W2表示滑动杆42的纵向的长度。

另外，在使上述角部沿与滑动杆42的纵向相平行的方向(图中的Y方向)往复移动，在上述后侧的角部42a和角部42b上形成倾斜面的方法中，如图11所示，研磨1个角部所必需的研磨带43的面积为W3×W4。其中，W3表示从所形成的倾斜面的第1边界线到第2边界线的长度，W4表示使滑动杆42在研磨带43上滑动的距离。

通常，W1×W2＞W3×W4。即，对于研磨1个角部所必需的研磨带43的面积来说，使角部沿与滑动杆42的纵向相垂直的方向(图中Y方向)往复滑动的方法(图12)的相应值，比通过使角部沿与滑动杆42的纵向相平行的方向(图中Y方向)往复滑动的方法(图11)大。

由于研磨带43中的，为了在1个滑动块上形成倾斜面而用过的部分(图11和图12的斜线部分)的加工率降低，故不再次使用。即，在1个滑动杆42的角部42a和角部42b上形成倾斜面后，采用测微计，对研磨带43进行微量传送，当在不同的滑动杆上形成倾斜面时，采用研磨带43中的未采用的部分。

因此，使角部沿与图11所示的滑动杆42的纵向保持平行的方向(图中Y方向)往复滑动的方法，相对沿与图12所示的滑动杆42的纵向相垂直的方向(图中Y方向)往复滑动的方法，在采用相同的面积的研磨带时，可对更多的滑动块的角部进行研磨。

此外，在滑动杆42中的与记录媒体的相对面F的表面上，通过金刚石态碳，形成保护膜(在图11和图12中未示出)。

在过去的倒角加工方法中，由于使滑动杆42中的与记录媒体的整个相对面F与研磨带43接触，故还对形成于与记录媒体的相对面F的表面上的保护膜进行研磨，产生与记录媒体的相对面F损伤的问题。

在本实施例中，由于仅仅使滑动杆42的后侧的角部42a和/或读侧的角部42b与研磨带43的表面接触，进行研磨，故形成于与记录媒体的相对面F的表面上的保护膜未为角部42a，42b以外的区域研磨。因此，比如，如图4所示，所获得的滑动块中的，与记录媒体的相对面F的大部分为保护膜16覆盖。另外，还可防止与记录媒体的相对面F发生损伤。

按照与图1～4所示的滑动块11相同的形状，形成下述多个滑动块，在该多个滑动块中，使穿过后侧端部的倾斜面11a的第1边界线11a1和第2边界线11a2的假想平面C与滑动块11的支承面S之间的夹角的值θ1，以及穿过读侧端部的倾斜面11b的第1边界线11b1和第2边界线11b2的假想平面D与滑动块11的支承面S之间的夹角的值θ2发生各种变化。在下面，θ1与θ2分别指倾斜面11a和倾斜面11b的倾角。另外，在本实例中，θ1＝θ2＝θ。

另外，从倾斜面11a的第1边界线11a1到读侧端T的距离L1为20μm，从第1边界线11a1到间隙G的距离L2为5μm。

如图2和图6所示，通过挠性部23和负载梁22，将该多个滑动块固定于臂35上，构成所谓的电光负载方式的硬磁盘机。还有，反复进行该硬磁盘机的启动停止，进行磁盘D1(记录媒体)的损伤发生试验。

图14为表示滑动块的倾斜面11a和11b的倾角的值θ(＝θ1＝θ2)与磁盘D1的损伤发生率之间的关系的曲线图。

从图14知道，如果满足θ≤14°，则磁盘的损伤发生率小于15％，在5°≤θ≤8°的范围内，磁盘的损伤发生率为0％。即，在磁盘中产生损伤的原因在于：滑动块11中的与记录媒体的相对面F的后侧端面和读侧端部容易与磁盘D1相接触，通过在后侧端部和读侧端部的倾斜面上形成具有适合倾角的倾斜面，可降低磁盘的损伤，或可防止该损伤。

如果θ1和θ2大于14°，则以倾斜面11a的第1边界线11a1为顶点的角部的角度和以倾斜面11b的第1边界线11b1为顶点的角部的角度接近直角，不能够降低滑动块11与磁盘D1接触时的磁盘D1的损伤。

接着，逐个地形成使倾斜面11a的倾角的值θ(＝θ1)变化的多个滑动块，测定从倾斜面11a的第1边界线11a1到后侧端面T的距离L1的误差(标准偏差σ)。从倾斜面11a的第1边界线11a1到后侧端面T的距离L1的目标值为20μm，从第1边界线11a1到间隙部G的距离L2的目标值为5μm。

图15表示其结果。从图15知道，如果θ＜5°，则从倾斜面11a的第1边界线11a1到后侧端面T的距离L1的误差(标准偏差σ)超过2μm。即，在3σ＞6μm，按照上述方式，使从倾斜面11a的第1边界线11a1到间隙部G的距离L2的目标值为5μm的场合，第1边界线11a1的位置偏离，超过间隙部G的位置的概率为不可忽略的概率(约大于5％)。第1边界线11a1的位置超过间隙部G的位置，意味着在形成倾斜面11a时，还对间隙部G进行研磨，即，元件部12的特性发生变化。因此，θ≥5°是必要的。

此外，同样在逐个地形成使读侧的倾斜面11b的倾角的值θ(＝θ2)变化的多个滑动块，测定从倾斜面11b的第1边界线11b1到读侧端面T的距离L3的误差(标准偏差σ)的场合，获得与图15的曲线图所示的结果相同的结果。

还有，对倾斜面11a的倾角的值θ(＝θ1)，与形成倾斜面11a时的加工性的关系进行调查。可通过为了形成具有某个倾角的值θ(＝θ1)的倾斜面11a，在研磨带上使滑动杆往复滑动时的总滑动距离La表示形成倾斜面11a时的加工性。

通过使图11所示的滑动杆42沿与纵向相平行的方向(图中的Y方向)往复滑动的方法，形成倾斜面11a。另外，仅仅通过自重，将滑动杆42压靠于研磨带43上，滑动杆42的往复滑动通过手动方式进行。

当以W4表示在研磨带43上使滑动杆42滑动的距离，以N表示往复次数时，则上述总滑动距离La表示为La＝2×W4×N。

图16为表示倾斜面11a的倾角的值θ(＝θ1)，与形成倾斜面11a时的总滑动距离La之间的关系的曲线图。

从图16知道，当θ＞14°时，则总滑动距离La急剧增加，加工性显著变差。另外，在5°≤θ≤8°的范围内，总滑动距离La约小于30cm，呈现非常好的加工性。

此外，调查读侧的倾斜面11b的倾角的值θ(＝θ2)，与形成倾斜面11b时的总滑动距离La之间的关系调查结果也为与图16的结果相同的结果。

根据图14～16的结果知道，穿过后侧端部的倾斜面11a的第1边界线11a1与第2边界线11a2的假想平面C与滑动块11的支承面S之间的夹角的值θ1，与穿过读侧端部的倾斜面11b的第1边界线11b1和第2边界线11b2的假想平面D与滑动块11的支承面S之间的夹角的值θ2必须满足5°≤θ1，θ2≤14°，最好满足5°≤θ1，θ2≤8°。

Claims (14)

1.一种磁头，其包括滑动块，该滑动块具有与记录媒体相对的相对面，形成支承侧的支承面，后侧与读侧的各端面；设置于上述滑动块的后侧的磁性记录和/或再生用的元件部，其特征在于：

在上述相对面的后侧的端部与读侧的端部中的至少1个上，形成有倾斜面或曲面，该倾斜面或曲面在其与上述相对面之间，具有第1边界线，在其与上述端面之间，具有第2边界线，包含上述第1边界线和第2边界线的假想平面与上述支承面之间的夹角在5°～14°的范围内。

2.根据权利要求1所述的磁头，其特征在于在上述相对面上，形成保护膜。

3.根据权利要求1所述的磁头，其特征在于形成于上述后侧的端部的倾斜面或曲面的第1边界线相对上述元件部的间隙部，位于后侧的端面侧。

4.根据权利要求1所述的磁头，其特征在于在上述相对面上，形成台阶，通过该台阶而位于上述相对面侧的最高位置的面为承受来自上述记录媒体上的空气流的上浮力的ABS面，上述元件部的间隙部位于上述ABS面的区域内。

5.根据权利要求4所述的磁头，其特征在于上述第1边界线形成于上述倾斜面或曲面与上述ABS面的边界上。

6.根据权利要求4所述的磁头，其特征在于形成于上述后侧的端部的倾斜面或曲面的第1边界线相对形成上述ABS面的台阶，位于读侧的端面侧。

7.根据权利要求1所述的磁头，其特征在于上述第1边界线朝向上述滑动块的宽度方向呈直线状或曲线状延伸。

8.一种磁头的制造方法，该磁头包括滑动块，该滑动块具有与记录媒体相对的相对面，形成支承侧的支承面，后侧与读侧的各端面；设置于上述滑动块的后侧的磁性记录和/或再生用的元件部，该方法包括下述步骤：

(a)在后侧端面上，形成形成有多个元件部的滑动杆；

(b)将上述滑动杆中的相对面的后侧的角部与研磨加工面接触，将上述滑动杆的支承面与研磨加工面之间的夹角设定在5°～14°的范围内，使该滑动杆沿一定方向往复滑动，在上述后侧的角部，形成倾斜面；

(c)将上述滑动杆分别设置于各自具有上述元件部的相应滑动块上。

9.根据权利要求8所述的磁头的制造方法，其特征在于在上述(b)的步骤后，具有下述步骤(d)，即将上述滑动杆中的相对面的读侧的角部与研磨加工面接触，将上述滑动杆的支承面与研磨加工面之间的夹角设定在5°～14°的范围内，使该滑动杆沿一定方向往复滑动，在上述读侧的角部，形成倾斜面。

10.根据权利要求8所述的磁头的制造方法，其特征在于在上述(b)和/或(c)的步骤中，使上述滑动杆沿与其纵向相平行的方向往复滑动。

11.根据权利要求8所述的磁头的制造方法，其特征在于在上述(b)和/或(c)的步骤中，使上述滑动杆沿与其纵向相垂直的方向往复滑动。

12.根据权利要求8所述的磁头的制造方法，其特征在于在与上述滑动杆的与记录媒体的相对面的表面上，形成保护膜后，进行上述(b)和/或(c)的步骤。

13.根据权利要求9所述的磁头的制造方法，其特征在于在上述(b)和/或(c)的步骤中，使上述滑动杆沿与其纵向相平行的方向往复滑动。

14.根据权利要求9所述的磁头的制造方法，其特征在于在上述(b)和/或(c)的步骤中，使上述滑动杆沿与其纵向相垂直的方向往复滑动。

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