CN1828730A - 磁记录媒体、录放装置以及压模 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能够可靠读取磁信号而且表面平滑性良好的具有伺服图案的磁记录媒体。利用具有凸部(40a)和凹部(40b)的凹凸图案(40)，在基体的至少一个面上的伺服图案区域Asa上形成伺服图案40sa，同时在数据记录区域At上设置数据记录磁道，形成数据磁道图案，在所述伺服图案区域(Asa)内的地址图案区域(Aaa)形成凹部(40b)，并且使构成所述凹凸图案(40)的各凸部(40a)的突出端面沿着该基体的旋转方向(箭头R的方向)的各长度中离数据磁道图案的中心的距离相等的同一半径区域的每一区域的最大长度(L2a)，等于该同一半径区域内的该各凸部(40a)的突出端面的沿着该旋转方向的最小长度(L1)的2倍长度(第1长度)。

Description

磁记录媒体、录放装置以及压模
技术领域
本发明涉及利用凹凸图案(pattern)，在伺服图案区域形成伺服图案的磁记录媒体、具备该磁记录媒体的录放装置、以及制造该磁记录媒体用的压模。
背景技术
作为具备这种磁记录媒体的录放装置，日本专利特开平公开了由盘片读取磁道型的磁盘构成的磁记录装置。在这种情况下，搭载于这种磁记录装置的磁盘，在玻璃磁盘基体的一个面上以记录磁性构件(磁性材料)形成同心圆状的记录磁道(带状的凸部)，形成能够记录和重放各种记录数据的结构。又在各记录磁道之间的凹部，埋入用于提高磁盘表面的光滑性，同时在磁学上分离相邻的磁道的保护间距构件(非磁性材料)，形成保护间距部。
在制造这种磁盘时，首先在基体的一个面上溅射磁性材料形成记录磁性层。接着，覆盖着记录磁性层旋转涂布正型抗蚀剂，在进行预烘干之后，用原盘切割装置描绘与保护间距部的图案相同的图案，然后进行显像处理。以此在记录磁性层上形成抗蚀剂图案(凹凸图案)。接着，以抗蚀剂图案作为掩模使用对记录磁性层进行蚀刻处理之后，利用灰化装置去除磁性记录层上的残留掩模。以此在基体上形成由磁性材料构成的磁道和伺服图案(凸部用磁性材料形成的凹凸图案。接着，在这种状态下的基体上溅射非磁性材料。这时，用非磁性材料填满构成伺服图案的凹部和各记录磁道之间的凹部，并且用非磁性材料溅射足够的厚度直到该非磁性材料覆盖了构成伺服图案的凸部和各记录磁道。接着，对该溅射的非磁性材料的表面进行干蚀刻处理，以此使构成伺服图案的凸部和记录磁道等的突出端面(磁性材料的表面)从非磁性材料中露出。这样就完成了磁盘的制作。
专利文献1：日本特开平9-97419号公报(第6-12页，图1-19)
但是，已有的磁盘存在着如下所述的问题。即已有的磁盘中，在覆盖整个基体溅射非磁性材料之后，对非磁性材料进行干蚀刻直到构成伺服图案的凸部和记录磁道等的突出端面(上表面)露出，然后使表面平滑化。但是，按照这种方法制作磁盘时，在进行干蚀刻处理时，该突出端面大的凸部(突出端面上的任意方向的长度大的凸部：以下称为「全部方向上长的凸部」)上大量残留非磁性材料(以下将凸部上残留的非磁性残留称为「残渣」)，有时候厚的残渣会覆盖凸部。
具体地说，例如图29所示，按照上述制造方法制造的磁盘10z被规定为如下所述制造，即形成用同心圆状的多条数据记录磁道构成的数据磁道图案40tz的数据记录区域Atz、以及形成循迹伺服用的循迹图案40sz的伺服图案区域Asz在磁盘10z的旋转方向(该图中所示的箭头R的方向)上交付并排。又，如图30所示，磁盘10z的伺服图案区域Asz，作为一个例子，具备形成前序图案的前序图案区域Apz、形成地址图案的地址图案区域Aaz、以及在猝发(burst)区域Ab1z～Ab4z的各区域中形成猝发图案的猝发图案区域Abz。还有，在该图和后面参考的图31中，涂斜线的区域表示伺服图案40sz以及数据磁道图案4tz中的凸部(图32中的凸部40az)的形成区域。
在这种情况下，在包括这种磁盘10z的已有的磁盘中，在地址图案区域Aaz中形成的伺服图案40sz中的凸部40az、40az…(参照图32)的沿基体旋转方向的长度，有时候，对应于应该记录的地址数据的数据内容变得非常长，具体地说，在地址图案区域Aaz上用二进制数据记录地址数据时，例如，对应于「1」，形成凸部40az，同时，对应于「0」形成凸部40bz(参照图32)的情况下，在地址数据上多个「1」连续的部位，凸部40az的沿着旋转方向的长度变长。其结果是，例如图31所示，在地址数据中，在「1」不连续的部位(地址数据为「0、1、0」的部位中，对应于「1」形成的凸部40az的沿着旋转方向的长度L11变得比较短。而与此相对，在地址数据中，在多个「1」连续的部位(例如地址数据「0、1、1、1、0」的部位，对应于「1」形成的凸部40az的沿着旋转方向的长度L12变长。在这种情况下，如图30、31所示，在地址图案区域Aaz内，凸部40az往往跨越多条记录磁道在半径方向(在两图中的上下方向)连续形成，因此，凸部40az的沿半径方向的长度有变长的倾向。因此，在地址数据中，多个「1」连续形成的部位上，凸部40az的突出端面上的半径方向的长度和旋转方向的长度两者都变长(突出端面过宽)。
又，如图30所示，已有的磁盘10g中，在数据记录区域Atz与前序图案区域Apz之间，地址图案区域Aaz与猝发图案区域Abz之间、以及猝发图案区域Abz与数据记录区域Atz之间的各区域上，形成用磁性材料(磁性层14：参照图32)形成的凸部构成的非伺服信号区域Axz。而且，在猝发图案区域Abz的各猝发区域Ab1z到Ab4z的各领域之间形成由磁性材料(磁性层14)形成的凸部构成的非伺服信号区域Axbz。在该非伺服信号区域Axz、Axbz，没有预先记录着循迹伺服控制用的控制信号，形成非伺服信号区域Axz、Axbz的几乎全部区域由上述凸部构成，不存在凹部的状态。
在这种情况下，申请人发现这样的现象，即在对覆盖伺服图案40sz等形成的非磁性材料15的层(在凸部40az、40az…等之间形成保护间距部用的材料层：参照图32)进行干蚀刻处理，使各凸部40az、40az…露出时，在其下方存在的凸部40az的突出端面越宽(凸部40az在全部方向上越长：例如凸部40az的突出端面的旋转方向上的长度和半径方向上的长度都越长)，则对于非磁性材料15的蚀刻的进行变慢。因此，在地址图案区域Aaz中沿旋转方向的长度长的凸部40az(例如长度L12的凸部40az)的形成部位上，在对非磁性材料15的层进行干蚀刻处理时形成较厚的残渣。
具体地说，如图32所示，例如，在突出端面的沿着旋转方向的长度L11比较短的凸部40az、40az…(对于任何方向的长度都比较端的凸部40az、40az…的一个例子)上，利用干蚀刻处理对非磁性材料15充分进行蚀刻，使凸部40az的突出端面从非磁性材料15露出。与此相对，突出端面的沿着旋转方向的长度L12较长，突出端面较宽的凸部40az、40az…(全部方向上都长的凸部40az、40az…的一个例子)上，对非磁性材料15进行的蚀刻比较慢，因此形成在长度L11比较短的凸部40az的突出端面从非磁性材料15露出的时刻干蚀刻处理结束时生成厚度T的残渣的状态(凸部40az被非磁性材料15所覆盖的状态)。其结果是，在生成残渣的部位(在地址数据中多个「1」连续的部位)，地址图案区域Aaz的内表面平滑性变差。又，在形成突出端面较宽的凸部40az的非伺服信号区域Axz、Axbz…等，也与上述长度L12的凸部40az上相同，形成生成厚残渣的状态。其结果是，残渣生成的部位(非伺服信号区域Axz、Axbz等)上伺服图案区域Asz内的表面平滑性变差。
另一方面，突出端面过宽的凸部40az上的残渣完全去除之前继续进行干蚀刻处理的情况下，在例如突出端面的沿旋转方向的长度L11比较短的凸部40az的部位，不仅非磁性材料15，而且，对磁性材料14(凸部40az)也进行蚀刻。因此在地址图案区域Aaz的全部区域，凸部40az上的残渣完全去除之前继续进行干蚀刻处理的情况下，突出端面的沿旋转方向的长度或沿半径方向的长度等比较短的部位(例如在地址数据中「1」不连续的部位)上的凸部40az、40az…有可能受到过度蚀刻，难于可靠地读取磁信号(地址数据)。又，在包含非伺服信号区域Axz、Axbz的伺服图案区域Asz的全部区域上完全去除凸部40az上的残渣之前继续进行干蚀刻处理的情况下，对于任何方向长度都比较短的部位(例如前序图案区域Apz内)上的凸部40az、40az…有可能受到过度蚀刻，难于可靠读取该部位(区域)来的磁信号。
本发明是鉴于这样的存在问题而作出的，主要目的在于提供能够可靠读取磁信号，而且表面平滑性良好的具有伺服图案的磁记录媒体、录放装置以及能够制造这样的磁记录媒体的压模。
发明内容
为了实现上述目的，本发明的磁记录媒体，利用具有至少突出部用磁性材料形成的多个凸部和凹部的凹凸图案，在基体的至少一个面上的伺服图案区域形成伺服图案，同时在该一个面上的数据记录区域上设置同心圆状或螺旋状的数据记录磁道，形成数据磁道图案，在所述伺服图案区域内的地址图案区域中形成所述凹部，并且使构成所述凹凸图案的所述各凸部的突出端面沿着该基体的旋转方向的各长度中离所述数据磁道图案的中心的距离相等的同一半径区域的每一区域的最大长度，等于该同一半径区域内的该各凸部的突出端面的沿着该旋转方向的最小长度的2倍、即第1长度。还有，本说明书中的所谓「2倍长度」意味着对于最小长度的2倍长度，有极小程度的制造上的误差，或有在制造误差以外另行在最初规定的极小的差的长度，包含在2倍长度的范畴。因此，意味着以规定的长度为目标进行制造时，即使是发生制造误差，与规定的长度有微小不同，以该长度为中心的规定范围内的长度就是等于该规定的长度的的长度。
又，本发明的磁记录媒体，是在上述磁记录媒体中，将与所述各第1长度中的最大长度相等的直径的圆形区域配置在所述伺服图案区域的任一部位时，在该伺服图案区域形成该凹部，使构成所述凹凸图案的所述凹部的至少一部分包含在该圆形区域内。还有，本说明书中的所谓「凹部的至少一部分包含在圆形区域内」的状态中，包含「构成凹凸图案的凸部与凹部的边界部分(凹部的端部)被包含在圆形区域内的状态」。
还有，本发明磁记录媒体，是在上述磁记录媒体中，利用至少突出端部以所述磁性材料形成的凸部，形成多条所述数据记录磁道，所述数据记录磁道形成为沿所述基体的半径方向上的长度小于等于在所述各第1长度中的最大长度。
本发明的磁记录媒体，利用具有至少突出部用磁性材料形成的多个凸部和凹部的凹凸图案，在基体的至少一个面上的伺服图案区域形成伺服图案，同时在该一个面上的数据记录区域上设置同心圆状或螺旋状的数据记录磁道，形成数据磁道图案，在所述伺服图案区域内的地址图案区域中形成所述凹部，并且使构成所述凹凸图案的所述各凸部的突出端面沿着该基体的旋转方向的各长度为在离所述数据磁道图案的中心的距离相等的同一半径区域内相等的第2长度。还有，本说明书中的「相等的长度」意味着有极小程度的制造上的误差，或有在制造误差以外另行在最初规定的极小的差的长度，包含在相等的范畴。因此，意味着以规定的长度为目标进行制造时，即使是发生制造误差，与规定的长度有微小不同，以规定的长度为中心的规定范围内的长度就是等于该规定的长度的的长度。
还有，本发明磁记录媒体，是在上述磁记录媒体中，将与所述各第2长度中的最大长度相等的直径的圆形区域配置在所述伺服图案区域的任一部位时，在该伺服图案区域形成该凹部，使构成所述凹凸图案的所述凹部的至少一部分包含在该圆形区域内。
还有，本发明磁记录媒体，是在上述磁记录媒体中，利用至少突出端部以所述磁性材料形成的凸部，形成多条所述数据记录磁道，所述数据记录磁道形成为沿所述基体的半径方向上的长度小于等于在所述各第2长度中的最大长度。
本发明的录放装置，具备：上述任一项磁记录媒体、以及根据从该磁记录媒体的所述伺服图案区域读取的规定的信号，执行循迹伺服控制处理的控制部。
又，本发明的压模，是磁记录媒体制造用的压模，形成凹凸图案，所述凹凸图案具有对应于上述任一项磁记录媒体中的所述凹凸图案的凹部形成的凸部、以及对应于所述磁记录媒体的所述凹凸图案的凸部形成的凹部。
采用本发明的磁记录媒体，在地址图案区域形成凹部，使得构成凹凸图案的各凸部上的突出端面的沿旋转方向的各长度中的各同一半径区域的每一个的最大长度为该同一半径区域内的各凸部的突出端面的沿旋转方向的最小长度的2倍长度、即第1长度。因此在凹部的突出端面的沿半径方向的长度有变长的倾向的地址图案区域内不存在该突出端面的沿旋转方向的长度过剩的凸部(在全部方向上都比较长的凸部)，因此与已有的磁盘10z不同，在对覆盖着伺服图案区域内的凹凸图案形成的非磁性材料层进行蚀刻处理时，可以避免在地址图案区域内的各凸部上形成较厚的残渣的事态发生。这样，能够提供地址图案区域内的平坦性良好，而且，能够可靠读取地址数据的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。又，地址图案区域内的各凸部的沿旋转方向的最大长度与最小长度之差小，因此即使是蚀刻到最大长度的凸部上的突出端面从非磁性材料露出的情况下，也能够避免最小长度的凸部本身受到过度蚀刻的事态发生。这样，能够提供能正确可靠读取地址数据的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。
又，采用本发明的磁记录媒体，在将与各第1长度中最大长度相等的直径的圆形区域配置在伺服图案区域的任何部位时，通过将伺服图案区域形成于凹部使构成凹凸图案的凹部的至少一部分包含在圆形区域内，使得不仅地址图案区域，在伺服图案区域的全部领域都不存在突出端面在全部方向过长的(突出端面过宽的)凸部，因此与已有的磁盘10z不同，在对覆盖着伺服图案区域内的凹凸图案形成的非磁性材料层进行蚀刻处理时，在包含非伺服信号区域的伺服图案区域的全部领域可以避免在各凸部上产生厚残渣。这样，能够提供伺服图案区域内的平坦性良好，而且，能够可靠读取循迹伺服控制用的数据的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。
还有，采用本发明的磁记录媒体，形成各数据记录磁道，使沿着基体的半径方向的长度为各第1长度中最长的长度以下的长度，因此在凸部上的突出端面的沿旋转方向的长度变长的数据记录区域内，不存在该突出端面沿半径方向的长度过剩的凸部全部方向上都较长的凸部)，因此，在对覆盖着数据记录区域内的凹凸图案形成的非磁性材料层进行蚀刻处理时，可以避免在各凸部(数据记录磁道)上发生厚残渣的事态发生。因此，能够提供在伺服图案区域和数据记录区域双方(磁记录媒体的全部区域)都平坦性良好，而且能够进行稳定录放的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。
又，采用本发明的磁记录媒体，在地址图案区域上形成凹部，使得构成凹凸图案的各凸部上的突出端面的沿旋转方向的各长度成为在同一半径区域内相等的第2长度，因此在凸部上的突出端面沿半径方向长度有变长倾向的地址图案区域内不存在该突出端面沿旋转方向的长度过剩的凸部(在全部方向的较长的凸部)，所以与已有的磁盘10z不同，因此，在对覆盖着伺服图案区域内的凹凸图案形成的非磁性材料层进行蚀刻处理时，可以避免在地址图案区域内的各凸部上发生厚残渣的事态发生。因此，能够提供在地址图案区域内平坦性良好，而且能够可靠读取地址数据的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。而且，地址图案区域内的各凸部的沿旋转方向的最大长度只成为对于各相同半径相等的第2长度的一种，因此即使是进行充分的蚀刻处理，直到地址图案区域内的某一凸部上的突出端面从非磁性材料露出的情况下，也能够避免其他凸部本身被过度蚀刻的状态发生。因此，在对覆盖着数据记录区域内的凹凸图案形成的非磁性材料层进行蚀刻处理时，可以避免在各凸部(数据记录磁道)上发生厚残渣的事态发生。因此，能够提供可正确读取地址图案数据的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。
又，采用本发明的磁记录媒体，在将等于各第2长度中最大长度的直径的圆形区域配置在伺服图案区域中的任意部位时，在伺服图案区域形成凹部，使构成凹凸图案的凹部的至少一部分包含在圆形区域内，这样，不仅地址图案区域，而且伺服图案区域的全部区域中也不存在突出端面在全部方向过长的(突出端面过宽的)凸部，因此与已有的磁盘10z不同，在对覆盖着伺服图案区域内的凹凸图案形成的非磁性材料层进行蚀刻处理时，可以避免在包含非伺服信号区域的伺服图案区域的全部领域，在各凸部上产生厚残渣的事态发生。因此，能够提供伺服图案区域内的平坦性良好，而且能够可靠读取循迹伺服控制用的数据的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。
还有，采用本发明的磁记录媒体，形成各数据记录磁道，使得沿着基体的半径方向的长度小于等于在各第2长度中最大长度，因此在凸部的突出端面的沿旋转方向的长度变长的数据记录区域内不存在该突出端面的沿半径方向的长度过长的凸部(在全部方向上较长的凸部)，所以在对覆盖着数据记录区域内的凹凸图案形成的非磁性材料层进行蚀刻处理时，可以避免在各凸部(数据记录磁道)上形成较厚的残渣的事态发生。因此，能够提供在伺服图案区域和数据记录区域双方(磁记录媒体的全部区域)平坦性良好，而且能够稳定录放的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。
又，采用本发明的录放装置，具备上述任一项磁记录媒体、以及根据从磁记录媒体的伺服图案区域读取的规定的信号，执行循迹伺服控制处理的控制部，因此能够不受例如形成于非伺服信号区域的图案(虚拟图案)的存在的影响地，通过在数据记录区域内的各凸部(数据记录磁道)上的磁头进行记录数据的录放。
又，采用本发明的压模，形成具有与上述任一项磁记录媒体中的凹凸图案的凹部对应形成的凸部和对应于磁记录媒体的凹凸图案的凸部形成的凹部的凹凸图案，在对磁记录媒体制造中的中间体进行印刻(imprint)处理时，可以在磁性材料层上形成突出端面宽的凸部在地址图案区域内等不存在的凹凸图案。从而，通过使用这种凹凸图案或与这种凹凸图案凹凸位置关系一致的凹凸图案(掩模)进行对中间体中的磁性材料层的蚀刻处理，可以避免在地址图案区域等形成具有宽突出端面的凸部的事态发生。因此，在对覆盖着这种凹凸图案形成的非磁性材料层进行蚀刻处理时，可以避免在地址图案区域内等凸部上生成厚残渣的事态发生。因此，能够制造平坦性良好，而且能够可靠读取地址数据等的磁记录媒体。又，对应于磁记录媒体中的各凸部的突出端面，压模上不存在过宽的凹部，因此在将压模的凹凸图案压在中间体的树脂层(树脂掩模用的层)上时，可以避免因压模的凹部内的树脂材料(树脂层)的移动量不足而引起的凸部高度不足(树脂掩模的厚度不足)的情况发生。因此，在将树脂层上形成的凹凸图案作为树脂掩模对其他掩模层进行蚀刻时，可以避免在对掩模层蚀刻完成之前树脂层的凹部消失的事态发生，其结果是，能够在磁性材料层上形成具有足够深的凹部的凹凸图案。这样，在以这种凹凸图案作为掩模对磁性材料层进行蚀刻处理时，能够在磁性材料层上形成具有足够深度的凹部的凹凸图案。
附图说明
图1是硬盘驱动器1的结构图。
图2是磁盘10A的平面图。
图3是表示外围侧区域Ao的数据记录区域At和伺服图案区域Asa上形成的各种图案的一个例子的磁盘10A的平面图。
图4是表示磁盘10A的层结构的剖面图。
图5是表示在数据记录区域At上形成的数据磁道图案40t的一个例子的磁盘磁道10A的平面图。
图6是表示在外围侧区域Ao的前序图案(preamble pattern)区域Ap上形成的数前序图案的一个例子的磁盘10A的平面图。
图7是表示在外围侧区域Ao的地址图案区域Aaa上形成的数地址图案的一个例子的磁盘10A的平面图。
图8是表示在外围侧区域Ao的猝发图案(burst pattern)区域Aba的第1猝发区域Ab1和第2猝发区域Ab2上形成的猝发图案的一个例子的磁盘10A的平面图。
图9是表示在外围侧区域Ao的猝发图案(burst pattern)区域Aba的第3猝发区域Ab3和第4猝发区域Ab4上形成的猝发图案的一个例子的磁盘10A的平面图。
图10是表示中间体20的层结构的剖面图。
图11是压模30剖面图。
图12是玻璃基体上31上形成抗蚀层32的状态的剖面图。
图13是对抗蚀层32照射电子束32a形成潜像32b、32b…的状态的剖面图。
图14是对形成潜像32b、32b…的抗蚀层332进行显像处理，形成凹凸图案33的状态的剖面图。
图15是覆盖着凹凸图案33形成镍层34的状态的剖面图。
图16是利用电镀处理形成镍层35的状态的剖面图。
图17是从玻璃基体31上剥离镍层34、35形成的压模37的剖面图。
图18是在压模37的凹凸图案36的形成面上形成镍层38的状态(将凹凸图案36复印在镍层38上的状态)的剖面图。
图19是在中间体20的树脂层18上按压压模30的凹凸图案39的状态的剖面图。
图20是从图19所示状态的树脂层18上剥离压模30，在掩模层17上形成凹凸图案41(树脂掩模)的状态的剖面图。
图21是以凹凸图案41作为掩模，对掩模层17进行蚀刻处理，在磁性层14上形成凹凸图案42(掩模)的状态的剖面图。
图22是以凹凸图案42作为掩模，对磁性层14进行蚀刻处理，在中间层13上形成凹凸图案40的状态的剖面图。
图23是覆盖着凹凸图案40形成非磁性材料15的层的状态的中间体20的剖面图。
图24是表示在外围侧区域Ao的数据记录区域的At和伺服图案区域Asb上形成的各种图案的另一个例子的磁盘10B的平面图。
图25是表示在外围侧区域Ao的伺服图案区域Asb的地址图案区域Asb上形成的地址图案的一个例子的磁盘10B的平面图。
图26是表示在猝发图案区域Abc上形成的猝发图案的一个例子的磁盘10C的平面图。
图27是表示磁盘10D的层结构的剖面图。
图28是表示磁盘10E的层结构的剖面图。
图29是表示已有的磁盘10z平面图。
图30是表示在数据记录区域Atz和伺服图案区域Asz上形成的各种图案的一个例子的磁盘10z的平面图。
图31是在地址图案区域Aaz上形成的地址图案的一个例子的磁盘10z的平面图。
图32是表示磁盘10z的层结构的剖面图。
标号说明
1        硬盘驱动器
6        控制部
10A～10E 磁盘
11       玻璃基体
14       磁性层
15       非磁性材料
20       中间体
30       压模
39、40、41、42 凹凸图案
39a、40a、41a、42a 凸部
39b、40b、41b、42b 凹部
40sa～40sc 伺服图案
40t      数据磁道图案
Aaa、Aab 地址图案区域
Ai       内周侧区域
Ao       外周侧区域
Asa～Asc 伺服图案区域
L1～L6   长度
L7       直径
O        中心
Q        圆形区域
具体实施形态
以下参照附图对本发明的磁记录媒体、录放装置以及压模的最佳实施形态进行说明。
图1所示的硬盘驱动器1是本发明的录放装置的一个例子，具备电动机2、磁头3、检测部4、驱动器5、控制部6、存储部7、阳极磁盘10A，形成能够进行各种数据的录放的结构。电动机2按照控制部6的控制以磁盘10A为例，以4200rpm的转速使其恒速旋转。磁头3通过摇臂3a安装于致动器3b上，在对磁盘10A进行记录数据的录放时，利用致动器3b使其在磁盘10A上移动。又，磁头3执行从磁盘10A的伺服图案区域Asa(参照图2)读出伺服数据、对数字记录区域At(参照图2)用磁学方式写入记录数据、读出数字记录区域At上用磁学方法写入的记录数据的人物。还有，磁头3实际上形成于相对磁盘10A使磁头3上浮用的滑动器的底面(空气轴承面)上，但是该滑动器的说明和图示省略。致动器3b在控制部6的控制下利用驱动器5提供的驱动电流使摇臂3a摇动，以此使磁头3向磁盘10A上的任意录放位置移动。
检测部4从磁头3输出的输出信号(模拟信号)取得(检测)伺服数据输出到控制部6。驱动器5按照控制部6输出的控制信号对致动器3b进行控制，使磁头3在所希望的数据记录磁道上(on track)。控制部6对硬盘驱动器1进行驱动控制。又，控制部6是本发明的控制部的一个例子，根据输出部4输出的伺服数据(「从伺服图案区域读出的规定的信号」之一例)对驱动器5进行控制(执行循迹伺服控制处理)。存储部7存储控制部的动作程序等。
另一方面，磁盘10A是本发明的磁记录媒体之一例，与上述电动机2和磁头3等一起配设于硬盘驱动器1的筐体内。该磁盘10A是能够利用垂直记录方式进行数字记录的磁盘读取磁道型的磁盘(形成图案的媒体)，如图4所示，依序在玻璃基体11上形成软磁层12、中间层13以及磁性层14。在这种情况下，磁性层14形成从突出端部(该图中的上端部)到基端部(该图中的下端部)的全体用磁性材料形成的凸部40a、40a…和凸部40a、40a…之间的凹部40b、40b…，构成凹凸图案40。又，在凹部40b、40b…上，埋入二氧化硅等非磁性材料15，使磁盘10A的表面平坦化。而且，在埋入凹部40b、40b…的非磁性材料15和磁性层14(凸部40a)的表面，利用类金刚石碳(DLC)等形成厚度2nm左右的保护层16(DLC膜)。又，在保护层16的表面涂布避免磁头3和磁盘10A双方划伤用的润滑剂(例如フオンブリン系润滑剂)。
玻璃基体11相当于本发明中的基体，是对玻璃板进行表面研磨形成厚度为0.6mm左右的圆板状基体。还有，本发明中的基体不限定于玻璃基体，可以使用铝或陶瓷等各种非磁性材料形成圆板状的基体。软磁层12通过溅射CoZrNb合金等软磁材料形成厚度为100nm～200nm左右的薄膜状层。中间层13是形成磁性层14用的起下底层作用的层，通过对Cr或CoCr非磁性合金等中间层形成用材料进行溅射形成厚度40nm左右的薄膜状的一层。磁性层14是构成凹凸图案40(图3所示的数据磁道图案40t和伺服图案40sa)的一层，如下所述，是通过对例如CoCrPt合金溅射形成的层进行蚀刻处理形成凹部40b、40b…。
在这种情况下，如图2所示，在该磁盘10A中，在数据记录区域At、At…之间设置伺服图案区域Asa、Asa…，数据记录区域At以及伺服图案区域Asa规定为在磁盘10A的旋转方向(箭头R的方向)上相互并排。还有，在本说明书中，以在旋转方向上并排的两个数字记录区域(在本例中为数字记录区域At)夹着的区域(从一个数字记录区域的旋转方向一侧的端部到另一数据记录区域的旋转方向一侧的端部之间的区域)作为伺服图案区域(在本例中为伺服图案区域Asa)。又，数字记录区域的旋转方向一侧的端部假定为与该数字记录区域上形成的多个数字记录磁道(下述凸部40a、40a…)上的旋转方向一侧的各端部的连线形成的假想线段(磁道的原半径方向的直线状或圆弧状的线段)一致。
又，搭载该磁盘10A的硬盘驱动器1，如上所述，形成电动机2按照控制部6的控制使磁盘10A以一定的角速度旋转的结构。因此，对于该磁盘10A，与每单位时间使磁头3下方通过的磁盘10A上的长度成正比，沿着磁盘10A的旋转方向的数据记录区域At的长度以及沿着旋转方向的伺服图案区域Asa的长度，规定为越离开数据磁道图案40t的中心O越长(数据记录区域At和伺服图案区域Asa，比起内周侧区域Ai，越是往外周侧区域Ao宽度越大)。其结果是，数字记录区域At内形成的数字记录磁道(凸部40a)中的沿着突出端面的旋转方向的长度、形成于伺服图案区域Asa内的伺服图案40sa用的各凸部40a、40a…的沿着突出端面的旋转方向的基准的长度、以及伺服图案40sa用的各凸部40b、40b…的沿着旋转方向的基准的开口长度(相邻的凸部40a、40a的两突出端面上相对的端部之间的长度)(例如与单位信号长度对应的长度)，与磁盘10a的内周侧区域ai相比，越往外周侧区域Ao越长。在下面的说明中将凹部的开口长度称为「凹部长度」。
在这种情况下，对于伺服图案区域Asa内的各凸部40a、40a…中的突出端面的沿旋转方向的基准长度，在磁盘10A的半径方向上相邻的数十条磁道的范围内长度大致相等。因此在本说明书中，假设在该数十条磁道范围内沿旋转方向的基准的长度相等进行说明。具体地说，假定例如包含在内周侧区域Ai中的数十条磁道的范围内沿旋转方向的基准的长度相等，包含在外周侧区域Ao内的数十条磁道的范围内沿着旋转方向的基准的长度相等。又，对于形成于各伺服图案区域Asa中的凸部40a、40ba…中的突出端面的沿旋转方向的长度在说明时没有特别限定，限于这种情况，以与数据磁道图案40t的中心O的距离相等的同一半径位置(相同半径的区域内)的对应的长度为基准进行说明。
又，如图3所示，在数据距离区域At形成数据磁道图案40t。还有，在该图和后面参照的图5～9、24～26中用斜线标出的区域表示凹凸图案40中的凸部40a的形成区域。在这种情况下，如图5所示，数据磁道图案40t由以中心O(参照图2)为中心的同心圆状(或螺旋状)的多个凸部40a、40a…(数据记录磁道)、以及各凸部40a、40a…之间的凹部40b、40b…(磁道间的凹部：现有磁盘中的保护间距(guard band)部构成。还有，最好是磁盘10A的旋转中心与数据磁道图案40t的中心O一致，但是，存在在磁盘10A的旋转中心与数据磁道图案40t的中心O之间由于制造误差引起30～50微米的极小偏差的情况。但是，如果是这样程度的偏差量，则能够充分地进行对磁头3的循迹伺服控制，因此旋转中心和中心O可以说实质上是相同的。
又如图5所示，在该磁盘10A的数据记录区域At，作为一个例子，凸部40a(数据记录磁道的突出端面的沿半径方向的长度L3与凹部40b(保护间距部)的沿半径方向的长度L4长度相等(长度之比为1∶1)。又，在该磁盘10A中，数据记录区域At上形成的凸部40a的沿半径方向的长度L3以及凹部40b的沿半径方向的长度L4，在从磁盘10A的内周侧区域Ai到外周侧区域Ao规定为长度相等。在这种情况下，凸部40a的沿半径方向的长度L3规定为在伺服图案区域Asa(地址图案区域Aaa)上形成的凸部40a、40a…中的突出端面的沿旋转方向的各长度中的最大长度(下述长度L2a：参照图7)以下。而且，在数据磁道图案40t的凹部40b、40b…埋入非磁性材料15，并使数据记录区域At平滑化。
另一方面，如图3所示，在伺服图案区域Asa，形成具有在前序图案区域Ap上形成的前序图案、在地址图案区域Aaa上形成的地址图案、在猝发图案区域Aba上形成的猝发图案、以及在非伺服信号区域Ax上形成的虚拟图案的伺服图案40sa。在这种情况下，前序图案区域Ap、地址图案区域Aaa、以及猝发图案区域Aba上形成的伺服图案40sa相当于与本发明中的「循迹伺服控制用的控制信号」对应的图案。又，伺服图案40sa其凸部40a、40a…以及凹部40b、40b…的形成位置和各自的大小(沿旋转方向的长度等)对应于本发明中的「循迹伺服控制用的控制信号」进行规定。
具体地说，形成于前序图案区域Ap上的前序图案，是对从地址图案区域Aaa等读取各种控制信号用的基准数据块，根据磁盘10A的旋转状态、旋转速度进行修正用的伺服图案，如图6所示，在磁盘10A的半径方向上(该图中的上下方向上)沿着磁盘10A的旋转方向(箭头R的方向)夹着凹部40b、40b…形成长带状的凸部40a、40a…。在这种情况下，形成于前序图案区域Ap上的凸部40a、40a…上的突出端面的沿旋转方向的长度L5、以及凹部40b、40b…的沿旋转方向的长度L6，规定为在离中心O的距离相等的同一半径位置上长度相等，而且，比起内周侧区域Ai，外周侧区域Ao一侧更长。又，形成于前序图案区域Ap上的凸部40a上的突出端面的沿旋转方向的长度L5，规定为例如与同一半径位置上的地址图案区域Aaa上形成的凸部40a、40a…的沿旋转方向的各长度中的最小长度(下述长度L1：参照图7)相等。还有，前序图案的凸部40a和凹部40b的沿旋转方向的长度L5、L6不限于上述例子，又可以规定为凸部40a的长度L5与凹部40b的长度L6长度相互不同。
又，形成于地址图案区域Aaa上的图案，是对应于表示磁头3在磁道(on track)的磁道的磁道编号等的地址数据形成的伺服图案，如图7所示，凸部40a、40a…的突出端面的沿圆周方向的各长度、与沿着凹部40b、40b的旋转方向的各长度对应于上述地址数据规定。在这种情况下，在该磁盘10A中，地址数据记录于根据曼彻斯特代码、双相M代码等进行编码后记录于地址图案区域Aaa。具体地说，例如，在与曼彻斯特代码对应的高电平对应形成凸部40a的同时，对应于低电平形成凹部40b，以此在地址图案区域Aaa形成与地址数据的数据内容对应的凹凸图案40。
在该磁盘10A，形成于地址图案区域Aaa的凸部40a、40a…中的突出端面的沿旋转方向的各长度中的同一半径位置上的最小长度L1，作为一个例子，规定为等于同一半径位置的前序图案区域Ap上形成的凸部40a中的突出端面的沿旋转方向的长度L5。又，形成于地址图案区域Aaa的凸部40a、40a…中的突出端面的沿旋转方向的各长度中的同一半径位置上的最大长度L2(本发明中的「第1长度」的一个例子)，作为一个例子，规定为同一半径位置上的上述长度L1的两倍长度。在这种情况下，在这种磁盘10A中，如上所述，沿旋转方向的基准的长度，比起内周侧区域Ai，越往外周侧区域Ao越长，因此在这种磁盘10A中，外周侧区域Ao的地址图案区域Aaa内的凸部40a、40a…中的突出端面的沿旋转方向的各长度中最大长度L2(以下在将各长度L2中的最大长度与其他长度L2进行区别时也称为「长度L2a」)相当于本发明中的「各第1长度中的最大长度」，该长度L2a成为伺服图案区域Asa内的凸部40a、40a…中的突出端面的沿旋转方向的各长度中的最大长度。还有，在这种磁盘10A中，地址数据根据曼彻斯特代码进行编码形成地址图案，因此在地址图案区域Aaa内的各同一半径位置上，构成地址图案(伺服图案40sa)的各凸部40a、40a…上的突出端面的沿旋转方向的长度(硬盘驱动器1中作为高电平识别的信号长度)只有上述长度L1、L2两种。
又，如图3所示，猝发图案区域Aba具有第1触发区域Ab1～第4猝发区域Ab4的各猝发区域、以及非伺服信号区域Axb、Axb…。在这种情况下，形成于第1猝发区域Ab1～第4猝发区域Ab4上的猝发图案为使磁头3在所希望的磁道上用的位置检测用的服务图案，如图8、9所示，沿着磁盘10A的旋转方向，多个凸部40a、40a…夹着凹部40b形成，以此形成凸部40a和凹部40b沿着旋转方向交替并排的区域、以及凹部40b在旋转方向上连续的区域。
又，在这种磁盘10A中，作为一个例子，在猝发图案区域Aba中的第1猝发区域Ab1到第4猝发区域Ab4中，沿着旋转方向并排凸部40a、40a…中的突出端面的沿旋转方向的长度L5，规定为等于在同一半径上的地址图案区域Aaa上形成的的凸部40a中的突出端面的沿旋转方向的最小长度L1、以及在前序图案区域Ap上形成的凸部40a中的同一半径的突出端面的沿旋转方向的长度L5。而且，形成于猝发图案区域Aba上的凸部40a、40a…之间凹部40b的沿旋转方向的长度L6，作为一个例子，规定为等于同一半径上的前序图案区域Ab上形成的凹部40b的沿旋转方向的长度L6。还有，形成于第1猝发区域Ab1～第4猝发区域Ab4上的凸部40a、40a…的沿旋转方向的长度L5和凹部40b的凸部40a、40a…之间的沿旋转方向的长度L6不限定于上述例子，也可以规定为凸部40a的长度L5与凸部40b的长度L6互不相同。
又，如图3所示，在数据记录区域At与前序图案区域Ap之间、前序图案Ap与地址图案区域Aaa之间、地址图案区域Aaa与猝发图案区域Aba之间、以及猝发图案区域Aba与数据记录区域At之间，分别规定非伺服信号区域Ax。又，在猝发图案区域Aba的第1猝发区域Ab1与第2猝发区域Ab2之间、第2猝发区域Ab2与第3猝发区域Ab3之间、以及第3猝发区域Ab3与第4猝发区域Ab4之间，如上所述分别形成非伺服信号区域Axb。这些非伺服信号区域Ax、Axb是制造时为了避免磁盘10A的表面平滑性劣化用的图案形成的区域，作为一个例子，与在上述数据记录区域At、前序图案区域Ap以及猝发图案区域Aba(第1猝发区域Ab1～第4猝发区域Ab4)上形成的各种图案相同(相同形状)的图案形成为虚拟图案。
具体地说，如图3所示，在数据记录区域At与前序图案区域Ap之间的非伺服信号区域Ax(图中最左侧的非伺服信号区域Ax)，形成与在前序图案区域Ap上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40。又在猝发图案区域Aba与数据记录区域At之间的非伺服信号区域Ax(图中最右侧的非伺服信号区域Ax)上，形成与猝发图案区域Aba中的第4猝发区域Ab4上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40。而且，在前序图案区域Ap与地址图案区域Aaa之间的非伺服信号区域Ax上形成与前序图案区域Ap上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40。又，在地址图案区域Aaa与猝发图案区域Aba之间的非伺服信号区域Ax上形成与猝发图案区域Aba上的第1猝发区域Ab1上形成的伺服图案40as同种的凹凸图案40。
又，在第1猝发区域Ab1与第2猝发区域Ab2之间的非伺服信号区域Axb(图中左侧的非伺服信号区域Axb)，与第1猝发区域Ab1上形成的伺服图案40a同种的凹凸图案40形成于旋转方向上的第1猝发区域Ab1一侧，同时与第2猝发区域Ab2上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40形成于旋转方向上的第2猝发区域Ab2一侧。而且，在第2猝发区域Ab2与第3猝发区域Ab3之间的非伺服信号区域Ab1(该图中的中央的非伺服信号区域Axb)上，与第2猝发区域Ab2上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40形成于旋转方向上的第2猝发区域Ab2一侧，同时与第3猝发区域Ab3上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40形成于旋转方向上的第3猝发区域Ab3一侧。又，在第3猝发区域Ab3与第4猝发区域Ab4之间的非伺服信号区域Axb(图中右侧的非伺服信号区域Axb)上，与第3猝发区域Ab3上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40形成于旋转方向上的第3猝发区域Ab3一侧，同时与第4猝发区域Ab4上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40形成于旋转方向上的第4猝发区域Ab4一侧。
因此，在该磁盘10A中，在伺服图案区域Asa内正好不存在非伺服信号区域Ax，前序图案区域Ap、地址图案区域Aaa、以及猝发图案区域Aba在视觉上被视为相互连续连接的状态，同时，在猝发图案区域Aba内不存在非伺服信号区域Axb，从第1猝发区域Ab1到第4猝发区域Ab4的各猝发区域被视为相互连续连接的状态，但是，在对这种磁盘10A进行记录数据的录放时，虽然利用磁头3执行从非伺服信号区域Ax、Ab读取磁信号等工作，但是，对应于该非伺服信号区域Ax、Axb上形成的凹凸图案40的数据由控制部6判定为与是循迹伺服用的伺服数据不同的数据。因此，对于非伺服信号区域Ax、Axb内形成的凸部40a和凹部40b的各长度，可以不受其他图案的长度的影响，可以在能够使磁盘10A的表面平滑性良好的范围内任意规定。又，对于凸部40a和凹部40b的形状也可以任意规定。
在这种磁盘10A中，如上所述，在数据记录区域At上形成的凸部40a的沿半径方向的长度L3，被规定为形成于伺服图案区域Asa上的凸部40a、40a…的突出端面的沿旋转方向的各长度中的最大的长度(在这一例子中，外周侧区域Ao中的地址图案区域Aaa内的凸部40a上的突出端面的沿旋转方向的各长度中最大的从长度L2a)以下。因此，如图5所示，在将其直径与地址图案区域Aaa内的最大长度L2a相等的圆形区域Qa配置在数据记录区域At内的某一部位时，在该圆形区域Qa内包含了凹部40b的至少一部分。又，这种磁盘10A，如上所述形成于前序图案区域Ap的凸部40a的沿旋转方向的长度L5被规定为等于在伺服图案区域Axa上形成的同一半径位置的凸部40a、40a…中的突出端面的沿旋转方向的各长度中的最小长度L1。在这种情况下，如上所述，长度L1为长度L2的1/2长度，因此如图6所示，在将其直径与地址图案区域Aaa内的最大长度L2a相等的圆形区域Qa配置在前序图案区域Ap内的某一部位时，在该圆形区域Qa内包含凹部40b的至少一部分。
而且，这种磁盘10A，如上所述，地址数据根据曼彻斯特编码等编码后，地址图案形成于地址图案区域Aaa，因此即使是在地址数据中「1」多个连续的情况下，凸部40a也不沿着旋转方向连续形成，由长度L1(最小的长度)的凸部40a、长度L2(最大的长度)的凸部40a、以及凹部40b构成凹凸图案40(地址图案)。在这种情况下，长度L1为长度L2的1/2，因此在将与地址图案区域Aaa内的最大长度L2a相等的圆形区域Qa配置在地址图案区域Aaa内的某一部位时，在该圆形区域Qa内包含凹部40b的至少一部分。还有，地址图案区域Aaa内配置的圆形区域Qa与在地址图案区域Aaa内与作为最大长度L2a的凸部40a的突出端面上的内接圆一致的状态下，在该圆形区域Qa内包含凸部40a与凹部40b的边界部分。在这种情况下，在本说明书中，如上所述将包含凸部40a和凹部40b的边界部分的状态作为「包含凹部40b的一部分的状态」。
又，在这种磁盘10A中，如上所述，在猝发图案区域Aba上的第1猝发区域Ab1～第4猝发区域Ab4上形成的凸部40a的沿旋转方向的长度L5，被规定为等于在伺服图案区域Asa上形成的同一半径位置的凸部40a、40a…的突出端面的沿旋转方向的各长度中最下的长度L1。在这种情况下，长度L1为长度L2的1/2，因此，如图8、9所示，在将直径与地址图案区域Aaa内的最大长度L2a相等的圆形区域Qa配置在第1猝发区域Ab1～第4猝发区域Ab4内的任意部位时，在该圆形区域Qa内包含凹部40b的至少一部分。
还有，在该磁盘10A中，如上所述，在非伺服信号区域Ax、Axb上形成与前序图案区域Ap以及猝发图案区域Aba(第1猝发区域Ab1～第4猝发区域Ab4)上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40。从而，如图3所示，即使在前序图案区域Ap以及猝发图案区域Aba(第1猝发区域Ab1～第4猝发区域Ab4)内的任何位置上配置圆形区域Qa，也在圆形区域Qa内包含凹部40b的至少一部分的这种磁盘10A中，在形成与这些区域同种的伺服图案40sa的非伺服信号区域Ax、Axb的任意部位上配置圆形区域Qa时，在该圆形区域Qa内包含凹部40b的至少一部分。
这样，在这种磁盘10A中，形成这样的结构，即在数据记录区域At、At…以及伺服图案区域Asa、Asa…的全部区域中形成凹部40b、40b…，使得在任意配置的圆形区域Qa内包含凹部40b的至少一部分，构成数据磁道图案40t及伺服图案40sa。换句话说，在这种磁盘10A中，在数据记录区域At、At…以及伺服图案区域Asa、Asa…的全部区域，对于凸部40a、40a的突出端面的任意方向的长度(在本例中是凸部40a的旋转方向上的长度以及半径方向上的长度中的任何一个)比上述圆形区域Qa的直径(在本例中为长度L2a)短(或相等)。也就是说，在本磁盘10A中，与已有的磁盘10z不同，其突出端面过宽的凸部40a在数据记录区域At、At…以及伺服图案区域Asa、Asa…的任何区域都不存在，形成数据磁道图案40t以及伺服图案40sa。
下面对磁盘10A的制造方法进行说明。
在制造上述磁盘10A时，使用图10所示的中间体20和图11所示的压模30。在这种情况下，如图10所示，中间体20形成为软磁性层12、中间层13以及磁性层14按照这一顺序在玻璃基体11上形成，同时磁性层14上形成掩模层17和厚度80nm左右的树脂层(抗蚀层)18的结构。另一方面，压模30是本发明的磁记录媒体制造用的压模的一个例子，如图11所示，形成能够形成用于磁盘10A中的凹凸图案40(数据磁道图案40t和伺服图案40sa)的形成的凹凸图案41的凹凸图案39，形成能够利用印刻法制造磁盘10A的结构。在这种情况下，压模30的凹凸图案39形成为如下结构，即凸部39a、39a…对应于磁盘10A的凹凸图案40中的凹部40b、40b…，凹部39b、39b…对应于凹凸图案40中的凸部40a、40a…。
在制造这种压模30时，如图12所示，在玻璃基体31上，作为一个例子在旋转涂布正型抗蚀剂之后，进行烘烤处理，以此将厚度为150nm左右的抗蚀剂层32形成于玻璃基体31上。接着，如图13所示，在与压模30的凹部39b、39b…对应的部位(即与磁盘10A的凸部40a、40a对应的部位)上照射电子束30a在抗蚀剂层32上形成潜像32b(磁道图案和伺服图案)。接着，通过执行对抗蚀剂层32的显像处理，如图14所示，在玻璃基体31上形成由抗蚀剂层32构成的凹凸图案33。接着，如图15所示，利用溅射方法覆盖着凹凸图案33的凸部33a、33a…以及凹部33b、33b…形成厚度30nm左右的镍层34。接着，将该镍层34作为电极使用进行电镀，如图16所示，以此在镍层34上形成镍层35。这时，抗蚀剂层32形成的凹凸图案33被复印到镍层34、35的叠层体上，在凹凸图案33中的凸部33a、33a…的部位上形成凹部30b、30b…，同时在凹部30b、30b…的部位上形成凸部30a、30a，在镍层34、35的叠层体上形成凹凸图案36。
接着，通过将玻璃基体31、抗蚀剂层32以及镍层34、35的叠层体浸在抗蚀剂剥离液中，以此去除镍层34、35的叠层体与玻璃基体31之间的抗蚀剂层32。如图17所示，以此从玻璃基体31上玻璃镍层34、35的叠层体，完成压模37。接着，将压模37作为主压模使用制作压模30。具体地说，首先，执行对压模37的表面处理，以此在压模37的凹凸图案36的形成面上形成氧化膜。接着，如图18所示，在形成好氧化膜的压模37上利用电镀处理形成镍层38。这时，压模37的凹凸图案36被复印于镍层38，在凸部36a、36a…的部位上形成凹部39b、39b…，同时，在凹部36b、36b…的部位上形成凸部39a、39a…，在镍层38上形成凹凸图案39。然后，在从镍层38上玻璃压模37之后，将镍层38的表面(凹凸图案39的形成面的背面)研磨使其平坦化，如图11所示以此完成压模30的制作。
另一方面，在制造中间体时，首先在玻璃基体11上通过溅射CoZrNb合金在玻璃基体11上形成软磁性层12，然后，通过在软磁性层12上溅射中间层形成用材料，以此形成中间层13。接着，通过在中间层13上溅射CoCrPt合金以此形成厚度15nm左右的磁性层14。接着，在磁性层14上形成掩模层17，然后再在掩模层17上，例如旋转喷涂抗蚀剂形成厚度80nm左右的树脂层18。如图10所示以此完成中间体20。
接着，如图19所示，利用印刻方法在中间体20的树脂层18上复印压模30的凹凸图案39。具体地说，在中间体20的树脂层18上按压压模30上的凹凸图案39的形成面，以此将凹凸图案39的凸部39a、39a…压入中间体20的树脂层。这时，凸部39a、39a被压入的部位上的抗蚀剂(树脂层18)向凹凸图案39上的凹部39b、39b…内移动。此后，从中间体20剥离压模30，然后再利用氧等离子体处理方法将底面上残存的树脂(未图示)去除，如图20所示，以此在中间体20上的掩模层17上形成由树脂层18构成的凹凸图案41。在这种情况下，凹凸图案41上的凸部41a、41a…的高度(凹部41b、41b…的深度)为130nm左右。
接着，以上述凹凸图案41(树脂层18)作为掩模使用进行蚀刻处理，对在凹凸图案41上的凹部41b、41b…的底部从掩模(凸部41a、41a…)露出的掩模层47进行蚀刻，如图21所示，在中间体20的掩模层17上形成具有凸部42a和凹部42b的凹凸图案42。接着以凹凸图案42(掩模层17)作为掩模使用进行蚀刻处理，以此对在凹凸图案42的凸部42b、42b…的底部从掩模(凸部42a、42a…)露出的磁性层14进行蚀刻，如图22所示，在中间体20的磁性层14上形成具有凸部40a和凹部40b的凹凸图案40。以此在中间层13上形成数据磁道图案40t和伺服图案40sa(凹凸图案40)。接着，对凸部40a、40a…上残存的掩模层17有选择地进行蚀刻处理，以此完全去除残留的掩模层17，使凸部40a、40a…的突出端面露出。
接着，如图23所示，溅射作为非磁性材料15的SiO2。这时，利用非磁性材料15将凹部40b、40b…完全埋没，而且对非磁性材料15充分进行溅射以在凸部40a、40a…上形成厚度例如60nm左右的非磁性材料15的层。接着，对磁性层14上(凸部40a、40a…上和凹部40b、40b上)的非磁性材料15的层进行离子束蚀刻。这时，在中间体20上的外周侧(后面成为磁盘10A的外周侧Ao的部位)的地址图案区域Aaa，继续进行离子束蚀刻，直到沿着旋转方向的长度为长度L2a的凸部40a上的突出端面从非磁性材料15露出。
在这种情况下，在这种磁盘10A(中间体20)中，如上所述，在数据记录区域At的全部区域和伺服图案区域Asa的全部区域中，凸部40a、40a的突出端面上的任意方向的长度比上述圆形区域Qa的直径(在本例中是最大长度L2a)短。因此，在数据记录区域At、At…和伺服图案区域Asa、Asa…的任何区域都不存在其突出端面过宽的凸部40a(在全部方向上较长的凸部40a)，因此与已有的磁盘10z不同，伺服图案区域Asa内的凸部40a、40a…和记录数据区域At内的凸部40a、40a…上不产生厚残渣，各凸部40a、40a…的突出端面(上表面)从非磁性材料15露出。以此完成对非磁性材料15的层的离子束蚀刻，使中间体20的表面平坦化。接着，利用CVD方法形成类金刚石碳(DLC)膜覆盖中间体20的表面，形成保护层16，其后，在保护层16表面涂布フオンブリン系润滑剂，使其平均厚度为例如2nm左右。如图4所示，以使完成磁盘10A。
在搭载这种磁盘10A的硬盘驱动器1中，如上所述，对磁盘10A进行记录数据的录放时，与非伺服信号区域Ax、Ax…和非伺服信号区域Axb、Axb…上形成的凹凸图案40对应的数据被控制部6判别为与循迹伺服用的伺服数据不同的数据。具体地说，控制部6根据从包含检测部4输出的伺服数据的数据中与形成于地址图案区域Aaa和猝发图案区域Aba(除非伺服信号区域Axb以外)上的凹凸图案40对应的数据对驱动器5进行控制，以此驱动致动器3b，使磁头3在所希望的磁道上。
又，该硬盘驱动器1根据对应于地址图案区域Aaa上形成的图案40从检测部输出的数据提取地址数据时，控制部6将检测部4的输出数据用曼彻斯特代码或双相M代码等编码后输出的数据解码。其结果是，根据从地址图案区域Aaa读取的地址数据和从猝发图案区域Aba读取的猝发信号等进行循迹伺服控制，能够使磁头在所希望的数据记录磁道(凸部40a、40a…)上。以此能够使磁头3在数据记录区域At内的凸部40a、40a…(数据记录磁道上)进行记录数据的录放。
这样，采用这种磁盘10A和硬盘驱动器1，在地址图案区域Aaa上形成凹部40b，使得各凸部40a、40a…上的突出端面的沿旋转方向的各长度中的各同一半径区域的每一个区域的最大长度L2为该同一半径区域内的各凸部40a、40a…中的突出端面的沿旋转轴方向的最小长度L1的2倍长度(本发明中的第1长度)，因此，在凸部40a、40a…中的突出端面的沿半径方向的长度有变长倾向的地址图案区域Aaa内，不存在该突出端面的沿旋转方向的长度过长的凸部40a(在全部方向上较长的凸部40a)，因此，不同于已有的磁盘10z，在对覆盖着伺服图案区域Asa内的凹凸图案40形成的非磁性材料15的层进行蚀刻处理时，可以避免在地址图案区域Aaa内的凸部40a、40a…上产生厚残渣的事态发生。这样，能够提供地址图案区域Aaa内的平坦性良好，而且能够可靠读取地址数据的磁盘10A和具备这种磁盘10A的硬盘驱动器1。又，由于地址图案区域Aaa内的凸部40a、40a…中的旋转方向上的最大长度L2与最小长度L1之间的差比较小，所以即使是进行充分的蚀刻处理直到长度L2的凸部40a上的突出端面从非磁性材料15露出的情况下，也能够避免发生长度L1的凸部40a本身被过度蚀刻的事态发生。这样，能够提供可以正确读取地址数据的磁盘10A以及具备该磁盘10A的硬盘驱动器1。又，采用这种磁盘10A以及硬盘驱动器1，在将与各长度L2(第1长度)中的最大长度L2a相等的直径的圆形区域Qa配置在伺服图案区域Asa的任意部位时，通过在伺服图案区域Asa上形成凸部40b以使凸部40b的至少一部分包含在圆形区域Qa内，这样，不仅地址图案区域Aaa，而且在伺服图案区域Asa的全部区域都不存在在全方向上过长的(突出端面过宽的)凸部40a，因此不同于已有的磁盘10z，在对覆盖着伺服图案区域Asa内的凹凸图案40形成的非磁性材料15的层进行蚀刻时，可以在包含非伺服信号区域Ax、Axb…的伺服图案区域Asa的全部区域避免在凸部40a、40a…上产生厚残渣的事态发生。借助于此，能够提供伺服图案区域Asa内平坦性良好，而且能够可靠读取循迹伺服控制用的数据的磁盘10A以及具备这种磁盘10A的硬盘驱动器1。
还有，采用这种磁盘10A和硬盘驱动器1，形成各数据记录磁道(凸部40a、40a…)，使基体的半径方向上的长度L3的长度在各长度L2(第1长度中)的最大长度L2a以下，因此在凸部40a的突出端面的旋转方向上的长度变长的数字记录区域At内不存在其突出端面的半径方向上的长度过长的凸部40a(在全部方向上较长的凸部40a)，因此在对覆盖着数据记录区域At内的凹凸图案40形成的非磁性材料15的层进行蚀刻处理时，能够避免凸部40a、40a…(数据记录磁道)上产生厚残渣的事态发生。因此，能够提供在伺服图案区域Asa和数据记录区域At双方(磁盘10A的全部区域)平坦性良好，而且能够稳定进行录放的磁盘10A以及具备该磁盘10A的硬盘驱动器1。
又，采用这种硬盘驱动器1，具备根据磁盘10A和从磁盘10A上的伺服数据区域Asa读取的规定的信号执行循迹伺服控制处理的控制部6，因此能够不受非伺服信号区域Ax上形成的凹凸图案40(虚拟图案)的存在影响地，使磁头3在数据记录区域At内的凸部40a、40a…(数据记录磁道)上，进行记录数据的录放。
又，采用制造这种磁盘10A用的压模30，形成具有与磁盘10A上的凹凸图案40的凹部40b、40b…对应形成的凸部39a、39a…、以及与磁盘10A中的凹凸图案40的凸部40a、40a…对应形成的凹部39b、39b…的凹凸图案39，这样能够形成在对中间体20进行印刻处理时在地址图案区域Aaa内等不存在突出端面过宽的凸部41a的凹凸图案41。因此，通过用与这种凹凸图案41凹凸位置关系一致的掩模(在本例中是凹凸图案42)对中间体20进行蚀刻处理，能够避免形成在地址图案区域Aaa等具有宽的突出端面的凸部40a的事态发生。因此，在对覆盖着这种凹凸图案40形成的非磁性材料15的层进行蚀刻处理时，能够避免在地址图案区域Aaa内等的凸部40a上产生厚残渣的事态发生。因此，能够制造平坦性良好而且地址数据等能够可靠读取的磁盘10A。又，由于对应于磁盘10A中的各凸部40a的突出端面，在压模30上不存在过宽的凹部39b，所以在将凹凸图案39按压在中间体20的树脂层18上时，可以避免向凹部39b内移动树脂材料(树脂层18)的移动量不足引起的凸部40a的高度不足(树脂压模的厚度不足)的事态发生。因此，在将凹凸图案41作为掩模对掩模层进行蚀刻时，能够避免在对掩模层17进行蚀刻完成之前凸部41a消失的事态发生。其结果是，能够将具有足够深度的凹部40b的凹凸图案42形成于磁性层14上。借助于此，在将该凹凸图案42作为掩模对磁性层14进行蚀刻处理时，能够在中间层13上形成具有足够深度的凹部40b的凹凸图案40。
下面参照附图以本发明的磁记录媒体的另一例子、即将磁盘10B搭载于硬盘驱动器1的例子进行说明。还有，对于与上述磁盘10A和搭载磁盘10A的硬盘驱动器1相同的结构要素标以相同的标号并省略其重复说明。
磁盘10B如图24所示，取代磁盘10A中的伺服图案区域Asa，在数据记录区域At、At之间规定伺服图案区域Asb构成。该伺服图案区域Asb具备地址图案区域Aab，以此取代磁盘10A的伺服图案区域Asa中的地址图案区域Aaa。在这种情况下，在磁盘10B中，形成于前序图案区域Ap、地址图案区域Aab以及猝发图案区域Aba上的伺服图案40sb相当于与本发明中的「循迹伺服控制用的控制信号」对应的图案。又，在该磁盘10B中，在数据记录区域At上形成的数据磁道图案40t上的凸部40a、40a(数据记录磁道)的半径方向上的长度L3，被规定为在伺服图案区域Asb上形成的凸部40a、40a…中的突出端面的旋转方向上的各长度中的最大长度(下述长度L1a：参照图25)以下。而且，在前序图案区域Ap上形成的凸部40a中的突出端面的旋转方向上的长度L5，规定为等于例如同一半径位置上的地址图案区域Aab上形成的凸部40a、40a的沿旋转方向的各长度(下述长度L1：参照图25)。
又，如图25所示，在地址图案区域Aab上形成的伺服图案40sb(地址图案)，凸部40a、40a…上的突出端面的旋转方向上的各长度和凹部40b、40b…的旋转方向上的各长度对应于地址数据规定。在这种情况下，在该磁盘10B中，作为一个例子，地址数据根据RZ(Return-to-Zero)代码等编码后记录在地址图案区域Aaa上。具体地说，对应于RZ代码等的高电平形成凸部40a，同时对应于低电平形成凹部40b，以此在地址图案区域Aab内形成与地址数据的数据内容对应的凹凸图案。因此，在该磁盘10B中，在地址图案区域Aab内的各同一半径位置上，构成地址图案(伺服图案40sa)的各凸部40a、40a…中的突出端面的沿旋转方向的各长度(硬盘驱动器1中识别为高电平的信号长度)为相等的长度L1(本发明中的「第2长度」的一个例子)的唯一一种。在这种情况下，该磁盘10B中，如上所述，旋转方向上的基准长度，与内周侧区域Ai相比，越往外周侧区域Ao越长。因此，在这种磁盘10B中，外周侧区域Ao中的地址图案区域Aab内的凸部40a、40a…中的突出端面的各长度L1相当于本发明中的「各第2长度中最大的长度」。以下在将各长度L1中的最大长度与其他长度L1区别时，记为「长度L1a」。
又，在该磁盘10B中，如图24所示，猝发图案区域Aba中的第1猝发区域Ab1～第4猝发区域Ab4中，沿旋转方向排列的凸部40a、40a…中的突出端面旋转的旋转方向上的长度L5被规定为等于同一半径位置上的地址图案区域Aab上形成的凸部40a上的突出端面的旋转方向上的长度L1和同一半径位置上的前序图案区域Ap上形成的凸部40a上的突出端面的旋转方向上的长度L5。还有，猝发图案区域Aab上形成的凸部40a、40a…之间的凹部40b的旋转方向上的长度L6规定为等于例如同一半径上的前序图案区域Ap上形成的凸部40b的旋转方向上的长度L6。又，在猝发图案区域Aba中的第1猝发区域Ab1和第2猝发区域Ab2之间，第2猝发区域Ab2和第3猝发去Ab3之间、以及第3猝发区域Ab3与第4猝发区域Ab4之间，与上述磁盘10A相同，为了避免分别设置非伺服信号区域Axb表面平滑性恶化，形成虚拟图案。而且如图24所示，在数据记录区域At与前序图案区域Ap之间、前序图案区域Ap与地址图案区域Aab之间、地址图案区域Aab与猝发图案区域Aba之间以及猝发图案区域Aba与数据记录区域At之间，与上述磁盘10A一样，被分别规定非伺服信号区域Ax。
在这种磁盘10B中，如上所述，形成于数据记录区域At上的凸部40a的半径方向上的长度L3被规定为在伺服图案区域Asb上形成的凸部40a、40a…中的突出端面的旋转方向上的各长度L1中最大长度(在本例中为外周侧区域Ao中的地址图案区域Aab内的凸部40a的旋转方向上的各长度L1a)以下。因此，在将其直径等于地址图案区域Aab内的最大长度L1a的圆形区域Qb(参照图25)配置在数据记录区域At内的任意部位时，在其圆形区域Qb内包含凹部40b的至少一部分。又，在该磁盘10B中，如上所述，在前序图案区域Ap上形成的凸部40a的旋转方向上的长度L5被规定为等于在伺服图案区域Asb上形成的同一半径位置的凸部40a、40a…中的突出端面的旋转方向上的各长度L1。因此，在将其直径与地址图案数据与地址图案区域Aab内的最大长度L1a相等的圆形区域Qb(参照图25)配置在前序图案区域Ab内的任何部位上时，在该圆形区域Qb内包含凹部40b的至少一部分。还有，在配置在前序图案区域Ap内的圆形区域Qb与凸部40a的突出端面上的内接圆一致的状态下，在该圆形区域Qb内包含凸部40a与凹部40b的边界部分。在这种情况下，本说明书中如上所述将包含凸部40a与凹部40b的边界部分的状态作为「包含凹部40b的一部分的状态」。
还有，在这种磁盘10B中，如上所述，地址数据根据RZ代码编码，在地址图案区域Aab上形成地址图案，因此即使是在地址数据中多个「1」连续的情况下，凸部40a也不在旋转方向上连续形成，由长度L1的凸部40a和凹部40b构成凹凸图案40(地址图案)。其结果是，在地址图案区域Aab上形成的凸部40a、40a…中的突出面的旋转方向上的长度为各相同半径位置内相等的长度L1。因此，如图25所示，在将与地址图案区域Aab内的最大长度L1(在本例中为外周侧区域Ao中的凸部40a的长度L1a)相等的圆形区域配置在地址图案区域Aab内的任意部位时，在该圆形区域Qb内包含凹部40b的至少一部分。还有，在配置在地址图案区域Aab内的圆形区域Qb与凸部40a的突出端面中的内接圆一致的状态下，在该圆形区域Qb内包含凸部40a与凹部40b的边界部分。又，该磁盘10b中，如上所述，在猝发图案区域Aba中的第1猝发区域Ab1～第4猝发区域Ab4上形成的凸部40a的旋转方向上的长度L5被规定为等于伺服图案区域Asb上形成的同一半径位置的凸部40a、40a…上的突出端面的旋转方向上的各长度L1。因此，在将其直径等于地址图案区域Aab内的最大长度L1a的圆形区域Qb(参照图25)配置在猝发图案区域Aba中的第1猝发区域Ab1～第4猝发区域Ab4内的任意部位时，在该圆形区域Qb内包含凹部40b的至少一部分。还有，在配置在猝发图案区域Aba内的圆形区域Qb与凸部40a的突出端面上的内接圆一致的状态下，在该圆形区域Qb内包含凸部40a与凹部40b的边界部分。
还有，在该磁盘10B中，与前序图案区域Ap和猝发图案区域Aba(第1猝发区域Ab1～第4猝发区域Ab4)上形成的伺服图案40sb同种的凹凸图案40形成于非伺服信号区域Ax、Axb。因此，即使在前序图案区域Ap和猝发图案区域Aba(第1猝发区域Ab1～第4猝发区域Ab4)内的任何位置上配置圆形区域Qb，也在圆形区域Qb内包含凹部40b的至少一部分的这种磁盘10B中，在将圆形区域Qb配置在形成与这些区域同种的伺服图案区域40sb的非伺服信号区域Ax、Axb的任意部位时，在该圆形区域Qb内包含凹部40b的至少一部分。
这样，在该磁盘10B中，在数据记录区域At、At…以及伺服图案区域Asb、Asb…的全部区域中形成凹部40b、40b…，以使任意配置的圆形区域Qb内包含凹部40b的至少一部分，构成数据磁道图案40b和伺服图案40sb。换句话说，在该磁盘10B中，在数据记录区域At、At…以及伺服图案区域Asb、Asb…的全部区域，凸部40a、40a的突出端面上的任意方向的长度(在本例中为凸部40a的旋转方向上的长度、以及半径方向上的长度总的任意一个)比上述圆形区域Qb的直径(在本例中为长度L1a)短(或相等)。也就是说，这种磁盘10B不同于已有的磁盘10z，形成数据磁道图案40t和伺服图案40sb，使得其突出端面过宽的凸部40a在数据记录区域At、At…及伺服图案区域Asb、Asb…中的任意一个区域都不存在。
在制造这种磁盘10B时，与制造上述磁盘10A时相同，使用图10所示的中间体和图11所示的压模30。在这种情况下，制造这种磁盘10B用的压模30是本发明磁记录媒体制造用的压模的另一个例子，形成能够形成用于形成磁盘10B上的凹凸图案40(数据磁道图案40t和伺服图案40sb)的凹凸图案41的凹凸图案39，形成能够利用印刻法制造磁盘10B的结构。在这种情况下，压模30的凹凸图案39，凸部39a、39a…对应于磁盘10B的凹凸图案40中的凹部40b、40b…形成，凹部39b、39b…对应于凹凸图案40中的凸部40a、40a…形成。使用这种压模30制造磁盘10B时，与上述磁盘10A制造时相同，地址图案区域Aab内等不存在读出端面过宽的凸部40a(全部方向上较长的凸部40a)，因此能够避免在地址图案区域Aab内发生残渣。还有，这种磁盘10B的制造方法，与上述磁盘10A的制造方法相同，因此省略其详细说明。
在搭载这种磁盘10B的硬盘驱动器1中，与搭载上述磁盘10A的硬盘驱动器1相同，在对磁盘10B进行数据录放时，与非伺服信号区域Ax、Ax…和非伺服信号区域Axb、Axb…上形成的凹凸图案40对应的数据被控制部6判定为不同于循迹伺服用的伺服数据。具体地说，控制部根据包含检测部4输出的伺服数据的数据中与前序图案区域Ap、地址图案区域Aab和猝发图案区域Aba(除非伺服信号区域Axb以外)上形成的凹凸图案40对应的数据，对驱动器5进行控制，以此驱动致动器3b，使磁头3在所希望的磁道上。
又，这种硬盘驱动器1根据与地址图案区域Aab上形成的凹凸图案40对应从检测器4输出的数据提取地址数据时，控制部6将从检测部4输出的数据用RZ代码等编码的数据作为输出数据译码。其结果是，根据从地址图案区域Aab读取的地址数据和从猝发图案区域Aba读取的猝发信号等执行循迹伺服控制，能够使磁头3在所希望的数据记录磁道(凸部40a、40a…)上。借助于此，能够通过在数据记录区域At内的凸部40a、40a…(数据记录磁道)上的磁头3进行记录数据的录放。
这样，采用这种磁盘10B和硬盘驱动器1，在地址图案区域Aab上形成凸部40b，使得各凸部40a、40a…上的突出端面的旋转方向上的各长度L1在各相同半径区域内相等长度(第2长度)，这样使得凸部40a、40a…中的突出端面的半径方向上的长度有变长倾向的地址图案区域Aab内不存在其突出端面的旋转方向上的长度过长的凸部40a(在全部方向上较长的凸部40a)，因此，不同于已有的磁盘10z，在对覆盖着伺服图案区域Asb内的凹凸图案40形成的非磁性材料15的层进行蚀刻处理时，能够避免地址图案区域Aab内的凸部40a、40a…上发生厚残渣。以此能够提供地址图案区域Aab内的平坦性良好而且地址数据能够可靠读取的磁盘10B和具备该磁盘10B的硬盘驱动器1。又，由于地址图案区域Aab内的各凸部40a、40a…的旋转方向上的最大各长度为对于各相同半径相等的长度L1的唯一一种，因此即使进行充分的蚀刻处理，直到地址图案区域Aab内的任意凸部40a中的突出端面从非磁性材料15露出，也能够避免其他凸部40a本身受到过度蚀刻的情况发生。这样能够提供可正确读取地址数据的磁盘10B和具备这种磁盘10B的硬盘驱动器1。
又，采用这种磁盘10B和硬盘驱动器1，在将各长度L1、L1…(第2长度)中的与最大长度L1a相等的直径的圆形利用Qb配置在伺服图案区域Asb的任意位置时，在伺服图案区域Asb上形成凹部40b，使得凹部40b的至少一部分包含在圆形区域Qb内，这样，不仅地址图案区域Aab，而且在伺服图案区域Asb的全部区域中都不存在突出端面在全部方向过长(突出端面过宽)的凸部40a，因此与已有的磁盘10z不同，在对覆盖着伺服图案区域Asb内的凹凸图案40形成的非磁性材料15的层进行蚀刻处理时，在包含非伺服信号区域Ax、Axb…的伺服图案区域Axb的全部区域上，能够避免在凸部40a、40a…上产生厚残渣的情况发生。以此，能够提供伺服图案区域Axb内的平坦性良好，而且，能够可靠读取循迹伺服控制用的数据的磁盘10B以及具备该磁盘10B的硬盘驱动器1。
还有，采用这种磁盘10B和硬盘驱动器1，形成各数据记录磁道(凸部40a)，使得基体的半径方向上的长度L3在各长度L1(第2长度)中的最大长度L1a以下，因此在凸部40a的突出端面的旋转方向上的长度变长的数据记录区域At内不存在其突出端面的半径方向上的长度过长的凸部40a(在全部方向上较长的凸部40a)，因此在对覆盖数据记录区域At内的凹凸图案40形成的非磁性材料15的层进行蚀刻处理时，能够避免凸部40a、40a…(数据记录磁道)上产生残渣。因此，能够提供在伺服图案区域Asb和数据记录区域At双方(磁盘10B的全部区域)平坦性良好，而且能够稳定进行录放的磁盘10B和具备该磁盘10B的硬盘驱动器1。
又，采用这种硬盘驱动器1，具备磁盘10B和根据从磁盘10B中的伺服图案区域Asb读取的规定的信号执行循迹伺服控制处理的控制部6，因此能够不受非伺服信号区域Ax中形成的凹凸图案40(虚拟图案)的存在的影响，能够通过在数据记录区域At内的凸部40a、40a…(数据记录磁道)上的磁头进行数据的录放。
又，采用制造这种磁盘10B用的压模30，形成具有与磁盘10B中的凹凸图案40的凹部40b、40b…对应形成的凸部39a、39a…和与磁盘10B上的凹凸图案40的凸部40a、40a…对应形成的凹部39b、39b…的凹凸图案39，因此在对中间体进行印刻处理时，能够形成在地址图案区域Aab内不存在突出端面过宽的凸部41a的凹凸图案41。因此，通过执行用与该凹凸图案41凹凸位置关系一致的掩模(在本例中为凹凸图案42)对中间体20的蚀刻处理，能够避免在地址图案区域Aba等区域形成具有宽的突出面的凸部40a的情况发生。因此，在对覆盖着该凹凸图案40形成的非磁性材料15的层进行蚀刻处理时，能够避免地址图案区域Aab内等的凸部40a上产生厚残渣的情况发生。这样能够制造平坦性良好而且能可靠读取地址数据等的磁盘10B。又，对应于磁盘10B中的各凸部40a的突出端面，在压模30上不存在过宽的凹部39b，因此在将凹凸图案39按压在中间体20上的树脂层18时，可以避免由于树脂材料(树脂层18)向凹部39b内的移动量不足而引起的凸部41a高度不足(树脂掩模的厚度不足)的情况发生。因此在以凹凸图案41作为掩模对掩模层17进行蚀刻时可以避免在对掩模层17进行蚀刻结束之前发生凸部41a消失的情况，其结果是，能够在磁性层14上形成具有充分深度的凹部42b的凹凸图案42。这样，在将该凹凸图案42作为掩模对磁性层14进行蚀刻处理时，能够在中间层13上形成具有足够深度的凹部40b的凹凸图案40。
还有，本发明不限于上述结构。例如上述磁盘10A、10B中，在猝发图案区域Aba内将多个凸部40a、40a…沿着旋转方向排列形成以构成猝发图案，但是本发明不限于此，如图26中的磁盘10C所示，取代磁盘10A、10B中的凸部40a、40a…，将多个凹部40b、40b在猝发图案区域Abc内沿旋转方向排列形成也能够构成猝发图案。还有，在该图中，只表示出猝发图案区域Abc中的第1猝发区域Ab1和第2猝发区域Ab2。在这种情况下，该磁盘10C中，形成地址图案等伺服图案40sc，使得与猝发图案区域内的4个凹部40b、40b…连接的圆形区域Qc的直径L7在地址图案区域内形成的凸部40a、40a…中的突出端面的旋转方向上的各长度中最大的长度以下。这样，将与地址图案区域内形成的凸部40a、40a…中的突出端面的旋转方向上的各长度中的最大长度相等的直径的圆形区域配置在伺服图案区域Asc的任意部位时，在该圆形区域内包含凹部40b的至少一部分(包含凸部40a和凹部40b的边界部分)。其结果是，在该磁盘10C也与上述磁盘10A、10B相同，在对非磁性材料进行蚀刻处理时能够避免在伺服图案区域Asc内发生厚残渣。
又，在上述磁盘10A、10B等中，从凹凸图案40中的凸部40a的突出端部到基端部全部用磁性层14(磁性材料)形成，但是构成本发明中的凹凸图案的凸部不限于此，具体地说，例如图2中的磁盘10D，覆盖着玻璃基体11上形成的凹凸图案(与凹凸图案40凹凸位置关系相同的凹凸图案)，形成厚度薄的磁性层14，这样可以利用其表面用磁性材料形成的多个凸部40a、40a…与底面用磁性材料形成的多个凹部40b、40b…构成凹凸图案40。而且，如图28中磁盘10E所示，不仅凸部40a，包括凹部40b的底部可以用磁性层14形成，构成凹凸图案40。又可以具备例如只是凹凸图案40中的凸部40a的突出端部用磁性层14形成，基端部侧用非磁性材料或软磁性材料形成的凸部40a、40a…构成凹凸图案40(未图示)。
又，在上述磁盘10A、10B等中，在非伺服信号区域Ax、Ax…和非伺服信号区域Axb、Axb…上形成虚拟图案(凹凸图案40)，但是本发明不限于此，例如也可以在数据记录区域At与前序图案区域Ap之间、前序图案区域Ap与地址图案区域Aaa(Aab)之间、地址图案区域Aaa(Aab)与猝发图案区域Aba之间、以及猝发图案区域Aba与数据记录区域At之间，规定其全部区域用凹部构成的非伺服信号区域，同时在猝发图案区域Aba中的第1猝发区域Ab1与第2猝发区域Ab2之间、第2猝发区域Ab2与第3猝发区域Ab3之间、以及第3猝发区域Ab3与第4猝发区域Ab4之间也规定其全部区域用凹部构成的非伺服信号区域。采用这样形成的磁盘，在由凹部构成的非伺服信号区域内不存在有可能发生残渣的凸部40a，因此在对覆盖着伺服图案区域内的凹凸图案40形成的非磁性材料15的层进行蚀刻处理时，能够在伺服图案区域的全部区域避免产生厚残渣的情况发生。以此能够提供伺服图案区域Asa(Asb)内的平坦性良好，而且，能够可靠读取伺服数据的磁盘。
又，在上述磁盘10A、10B等中，在非伺服信号区域Ax、Axb内形成与前序图案区域Ap和猝发图案区域Aba内的凹凸图案40同种的图案作为虚拟图案。但是，本发明不限于此，例如可以采用将与各种伺服信号用的凹凸图案40形状不同的任意形状的凹凸图案40形成为虚拟图案的结构。而且在本发明的磁记录媒体包含不存在非伺服信号区域Ax，规定为前序图案区域、地址图案区域以及猝发图案区域在旋转方向上相互连续的磁记录媒体、和不存在非伺服信号区域Axb、规定为各猝发区域在旋转方向上相互连续的磁记录媒体。又，在上述磁盘10A、10B等中，只在玻璃基体11的一个面上形成伺服图案40sa(40sb)以及数据磁道图案40t，但是本发明不限于此，也可以在玻璃基体11的正反两面上形成伺服图案40sa(40sb)和数据磁道图案40t。而且，本发明的磁记录媒体不限于磁盘10A、10B那样的垂直记录方式的磁记录媒体，也可以适用于面内记录方式的磁记录媒体。

Claims (10)

1.一种磁记录媒体，其特征在于，
利用具有至少突出端部用磁性材料形成的多个凸部和凹部的凹凸图案，在基体的至少一个面上的伺服图案区域形成伺服图案，同时在该一个面上的数据记录区域上设置同心圆状或螺旋状的数据记录磁道，形成数据磁道图案，
在所述伺服图案区域内的地址图案区域中形成所述凹部，使得构成所述凹凸图案的所述各凸部的突出端面沿着该基体的旋转方向的各长度中离所述数据磁道图案的中心的距离相等的同一半径区域的每一区域的最大长度、等于作为该同一半径区域内的该各凸部的突出端面的沿着该旋转方向的最小长度的2倍的第1长度。
2.根据权利要求1所述的磁记录媒体，其特征在于，
将与所述各第1长度中的最大长度相等的直径的圆形区域配置在所述伺服图案区域的任一部位时，在该伺服图案区域形成该凹部，使得构成所述凹凸图案的所述凹部的至少一部分包含在该圆形区域内。
3.根据权利要求1所述的磁记录媒体，其特征在于，
利用至少突出端部以所述磁性材料形成的凸部，形成多条所述数据记录磁道，
形成所述数据记录磁道，使得沿所述基体的半径方向上的长度小于等于所述各第1长度中的最大长度。
4.根据权利要求2所述的磁记录媒体，其特征在于，
利用至少突出端部以所述磁性材料形成的凸部，形成多条所述数据记录磁道，
形成所述数据记录磁道，使得沿所述基体的半径方向上的长度小于等于所述各第1长度中的最大长度。
5.一种磁记录媒体，其特征在于，
利用具有至少突出部用磁性材料形成的多个凸部和凹部的凹凸图案，在基体的至少一个面上的伺服图案区域形成伺服图案，同时在该一个面上的数据记录区域上设置同心圆状或螺旋状的数据记录磁道，形成数据磁道图案，
在所述伺服图案区域内的地址图案区域中形成所述凹部，使得构成所述凹凸图案的所述各凸部的突出端面沿着该基体的旋转方向的各长度、为在离所述数据磁道图案的中心的距离相等的同一半径区域内相等的第2长度。
6.根据权利要求5所述的磁记录媒体，其特征在于，
将与所述各第2长度中的最大长度相等的直径的圆形区域配置在所述伺服图案区域的任一部位时，在该伺服图案区域形成该凹部，使得构成所述凹凸图案的所述凹部的至少一部分包含在该圆形区域内。
7.根据权利要求5所述的磁记录媒体，其特征在于，
利用至少突出端部以所述磁性材料形成的凸部，形成多条所述数据记录磁道，
形成所述数据记录磁道，使得沿所述基体的半径方向上的长度小于等于在所述各第2长度中的最大长度。
8.根据权利要求6所述的磁记录媒体，其特征在于，
利用至少突出端部以所述磁性材料形成的凸部，形成多条所述数据记录磁道，
所述各数据记录磁道形成为沿所述基体的半径方向上的长度小于等于在所述各第2长度中的最大长度。
9.一种录放装置，其特征在于，包括
权利要求1～8中的任一项所述的磁记录媒体，以及
根据从该磁记录媒体的所述伺服图案区域读取的规定的信号，执行循迹伺服控制处理的控制部。
10.一种磁记录媒体制造用的压模，其特征在于，
形成凹凸图案，所述凹凸图案具有对应于权利要求1～8中的任一项所述的磁记录媒体中的所述凹凸图案的凹部形成的凸部，以及对应于所述磁记录媒体的所述凹凸图案的凸部形成的凹部。
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