CN1542750A - 磁记录媒体和磁记录媒体的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种得到稳定的头举动并且可高效率地记录伺服信息的磁记录媒体及其制造方法。该磁记录媒体是将磁性层(12)在伺服区域(28)中分离为形成规定的伺服图案的多个伺服图案单位部(30)和部分填充该多个伺服图案单位部(30)之间而构图形成的伺服图案间填充部(32)。并且，伺服图案单位部(30)和伺服图案间填充部(32)按不同大小形成，使得其具有不同的磁特性。

Description

磁记录媒体和磁记录媒体的制造方法
技术领域
本发明涉及一种磁记录媒体和磁记录媒体的制造方法。
背景技术
原来，例如硬盘等磁记录媒体具有被分区为多个数据区域和多个伺服区域而记录信息的磁性层，在伺服区域中以规定的伺服图案磁记录用于确定头位置等的控制用的伺服信息。
伺服信息的记录工序是通过伺服轨道写入方式在每个磁记录媒体中以相反极性顺序磁化伺服区域的伺服图案和其周围部，存在生产率低的问题。特别是近年来，由于面记录密度的提高和随之而来的头浮起高度的降低，对于伺服信息，也要求高密度、高精度的记录，增强了对伺服信息的记录工序的效率改善的需求。
针对于此，提出了一种磁记录媒体，仅在伺服图案部或其周围部的任意其中之一上形成磁性层，作为形状形成伺服图案(例如参考专利文献1)。这样，通过向磁记录媒体施加同样的直流磁场，磁性层按伺服图案磁化，因此可实现伺服信息的记录工序的大幅效率改善。
另外，近年来，在应实现面记录密度大幅度上升的数据区域中将磁性层分离为多个记录单元的离散型的磁记录媒体受到关注，这种离散型的磁记录媒体的情况下，进行磁性层的数据区域的分离加工时，也可同时分离加工伺服区域的磁性层，这样较好。
专利文献1为特开平6-195907号公报。
然而，当伺服图案形成为凹凸状时，磁记录媒体和头之间气流紊乱，头浮起高度、姿势不稳定，出现信息的记录、读取精度低下的问题。
尤其，伺服图案多具有一定的规则性，容易作用在使磁记录媒体和头之间的气流不稳定的方向上。另外，伺服图案由与头侧的驱动器装置的关系决定，有不能自由采用使磁记录媒体和头之间的气流稳定的伺服图案的情况。
在伺服区域和数据区域的边界上，表面的凹凸状态变化大，因此头浮起高度、头姿势在伺服区域和数据区域的边界上特别容易变得不稳定。
发明内容
本发明是考虑以上的问题点而作出的，其目的在于提供一种得到稳定的头举动、并且可高效率地记录伺服信息的磁记录媒体及其制造方法。
本发明通过将磁性层在伺服区域中分离为伺服图案单位部和部分填充伺服图案之间而构图的伺服图案间填充部，适当将伺服图案间填充部构图，使得磁记录媒体和头之间得到良好的气流，从而来解决上述问题。
本发明人在完成本发明的过程中尝试按各种形状加工磁性层，关注磁性层的磁特性因其形状的大小而改变的情况。示出一个例子，发现磁性层的矫顽力在其大小降低到数百nm附近时有显著增大的倾向。
因此，通过将伺服图案单位部和伺服图案间填充部按不同大小形成，使得其具有不同的磁特性，可从磁特性的差异识别出二者。
由于将伺服图案间填充部作为磁性层的一部分形成，因此与用其他材料形成伺服图案间填充部相比，制造容易，在生产率方面有利。
即，根据如下的本发明，实现上述问题的解决。
(1)一种磁记录媒体，其特征在于具有分区为多个数据区域和多个伺服区域而记录信息的磁性层，该磁性层在上述各伺服区域中被分离为形成规定的伺服图案的多个伺服图案单位部、和部分填充该多个伺服图案单位部之间而构图形成的伺服图案间填充部。
(2)根据上述(1)的磁记录媒体，其特征在于上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部按不同大小形成，使得其具有不同的磁特性。
(3)根据上述(2)的磁记录媒体，其特征在于上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部按不同大小形成，使得其具有作为上述磁特性的不同的矫顽力。
(4)根据上述(2)的磁记录媒体，其特征在于上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部按不同大小形成，使得其具有作为上述磁特性的不同的磁各向异性。
(5)根据上述(2)的磁记录媒体，其特征在于上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部按不同大小形成，使得其具有作为上述磁特性的不同的剩磁。
(6)根据上述(1)至(5)之一的磁记录媒体，其特征在于上述磁性层在上述各数据区域中分离为多个记录单元，并且形成上述伺服图案间填充部，使得与上述伺服图案单位部占据上述各伺服区域的面积的比率相比，上述伺服图案单位部和伺服图案间填充部占据上述各伺服区域的合计面积的比率为接近上述记录单元占据上述数据区域的面积的比率的值。
(7)根据上述(1)至(6)之一的磁记录媒体，其特征在于上述磁性层在上述各数据区域中，在垂直于记录再现头的行进方向的方向上以细微的轨道间距被分离为多个记录单元，并且上述伺服图案间填充部的至少一部分在上述伺服区域内的上述数据区域附近构图。
(8)根据上述(1)至(7)之一的磁记录媒体，其特征在于上述伺服图案间填充部形成得比上述伺服图案单位部还要小。
(9)根据上述(1)至(8)之一的磁记录媒体，其特征在于上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部以相反的极性磁化。
(10)一种磁记录媒体，其特征在于具有被分区为多个数据区域和多个伺服区域而记录信息的磁性层，该磁性层在上述各伺服区域中，在垂直于记录再现头的行进方向的方向上被分离有形成规定的伺服图案的伺服图案单位部。
(11)根据上述(10)的磁记录媒体，其特征在于上述伺服图案单位部是这样被分离形成的，即该伺服图案单位部在垂直于记录再现头的行进方向的方向上具有轨道宽度以上的长度。
(12)根据上述(10)或(11)的磁记录媒体，其特征在于上述伺服图案单位部是这样被分离形成的，即该伺服图案单位部在垂直于记录再现头的行进方向的方向上具有轨道宽度以上0.2mm以下的长度。
(13)一种磁记录媒体的制造方法，其特征在于包括：在基板上同样形成磁性层的磁性层形成工序；磁性层加工工序，将上述磁性层分离为形成规定的伺服图案的多个伺服图案单位部、和部分填充该多个伺服图案单位部之间的伺服图案间填充部，并且上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部按不同大小形成，使得其具有不同的磁特性。
(14)根据上述(13)的磁记录媒体的制造方法，其特征在于上述磁性层加工工序是将上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部按不同大小形成，使得其具有作为上述磁特性的不同的矫顽力，并且在该磁性层加工工序后设置了以下工序：第一直流磁场施加工序，向上述磁性层施加相同的、比上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部二者的矫顽力都大的直流磁场；第二直流磁场施加工序，向上述磁性层施加相同的、方向与上述直流磁场相反的、上述伺服图案单位部的矫顽力和上述伺服图案间填充部的矫顽力的中间大小的直流磁场。
附图说明
图1是示意地表示本实施形式的磁记录媒体的结构的平面图；
图2是图1中的II-II侧剖视图；
图3是表示该磁记录媒体的磁性层的形状大小和矫顽力的关系的曲线图；
图4是表示该磁记录媒体的制造工序的流程图；
图5是示意地表示该磁记录媒体的制造工序的源体的结构的侧剖视图；
图6是示意地表示上述源体的第二掩膜层的加工工序的侧剖视图；
图7是示意地表示上述源体的第一掩膜层的加工工序的侧剖视图；
图8是示意地表示上述源体的磁性层的加工工序的侧剖视图；
图9是示意地表示上述源体的第一掩膜层的去除工序的侧剖视图；
图10是示意地表示对上述磁记录媒体进行的第一外加磁场施加工序的侧剖视图；
图11是示意地表示对上述磁记录媒体进行的第二外加磁场施加工序的侧剖视图；
图12是示意地本实施形式的磁记录媒体的其他结构例子的平面图；
图13是示意地表示本发明的实施例和比较例的磁记录媒体的头浮起高度的曲线图。
具体实施方式
下面，参考附图详细说明本发明的优选实施形式。
图1是示意地表示本实施形式的磁记录媒体的结构的平面图。图2是图1中的II-II侧剖视图。
磁记录媒体10是垂直记录型的离散型磁盘，具有分区为多个数据区域14和多个伺服区域28来记录信息的磁性层12，磁性层12在数据区域14中在径向上以细微的轨道间距在形状上分离为多个记录单元16，在基板18上按顺序依次形成底层20、软磁层22、取向层24、磁性层12、保护层26。
磁记录媒体10的特征是磁性层12在各伺服区域28中分离为形成规定的伺服图案的多个伺服图案单位部30和部分填充该多个伺服图案单位部30之间而形成图案的伺服图案间填充部32，并且伺服图案单位部30和伺服图案间填充部32按不同大小形成，使得其具有不同的磁特性。
关于其他结构，与原来的磁记录媒体同样，适当省略说明。
构成磁性层12的记录单元16、伺服图案单位部30和伺服图案间填充部32的材质为CoPt(钴铂)合金。CoPt合金如图3中的符号A所示的曲线那样，具有其形状越小，矫顽力越大，尤其是大小为200nm以下时，矫顽力明显增大的性质。
记录单元16在各数据区域14中按同心圆状并列设置多个。
伺服图案单位部30形成为在构成伺服图案的每个伺服图案单位中与该伺服图案单位相等的形状。
伺服图案间填充部32按大致圆形的突起状、比伺服图案单位部30还小地形成，具有比伺服图案单位部30更大的矫顽力。另外在各伺服图案单位部30之间形成多个伺服图案间填充部32。伺服图案间填充部32的大多部分在伺服区域28内的上述数据区域14附近构图。
伺服图案单位部30在磁盘半径方向(垂直于记录头的行进方向的方向)上分离。分离时，伺服图案单位部30最好形成为具有与离散型的磁盘的记录轨道宽度(记录单元16的宽度)相等、或比轨道宽度更宽的宽度。比记录轨道宽度狭窄时，磁头难以读取伺服信号。因此，伺服图案单位部30的分离的宽度由磁盘的记录轨道宽度决定。伺服图案单位部30最好形成为具有0.2mm以下的宽度。伺服图案单位部30的宽度在0.2mm以上时，旋转中的磁盘和磁头之间产生气流紊乱，是不好的情况。
另外，伺服图案单位部30和伺服图案间填充部32以相反的极性磁化。
基板18的材质为玻璃、底层20的材质为Cr(铬)或Cr合金、软磁层22的材质为Fe(铁)合金或Co(钴)合金、取向层24的材质为CoO、MgO、NiO等、保护层26的材质为DLC(类金刚石碳)。
这里，本说明书中所谓DLC的用语按以碳为主成分的非晶结构，通过韦氏硬度测定表示出200～8000kgf/mm2左右的硬度的材料的意义使用。
接着说明磁记录媒体10的作用。
磁记录媒体10部分填充多个伺服图案单位部30之间而图案形成伺服图案间填充部32，因此与仅配置伺服图案单位部30的磁记录媒体相比，表面均化，与头之间的气流难以紊乱，头的动作稳定。
图案形成伺服图案间填充部32，使得伺服图案单位部30和伺服图案间填充部32占据各伺服区域28的合计面积比率，为近似记录单元16占据数据区域14的面积的比率的值，因此数据区域14和伺服区域28的边界上头的举动也稳定。
尤其，伺服图案间填充部32多部分在伺服区域28的附近构图，因此可提高数据区域14和伺服区域28的边界上头举动稳定的效果。
而且，伺服图案单位部30在垂直于记录再现头的行进方向的方向上分离，沿着记录再现头的行进方向的气流可通过分离的部分，因此伺服图案单位部30产生的气流紊乱可降低该部分的大小，通过这一点可提高稳定头举动的效果。
伺服图案间填充部32形成得比伺服图案单位部30小，构图的自由度大，因此可实现这部分的微妙的气流调节。
伺服图案单位部30和伺服图案间填充部32都是公用的磁性层12的一部分，因此可高精度地使伺服图案单位部30的表面高度与伺服图案间填充部32的表面高度一致，通过这一点也可提高稳定头动作的效果。
按与构成伺服图案的伺服图案单位相等的形状形成各伺服图案单位部30，因此可提高伺服信息的读取精度。
伺服图案单位部30和伺服图案间填充部32具有不同的矫顽力，因此如后所述，伺服图案单位部30和伺服图案间填充部32可容易地以相反的极性磁化，磁记录媒体10可高效率地记录伺服信息。
接着说明磁记录媒体10的制造方法。
图4是表示磁记录媒体10的制造工序的概要的流程图。
首先，准备图5所示的制造工序的源体50。该源体50是在基板18上通过溅射法按顺序依次形成300～2000厚的底层20、500～3000厚的软磁层22、30～300厚的取向层24、100～300厚的连续磁性层52(S101)。而且，在连续磁性层52上通过溅射法按100～500的厚度形成第一掩膜层54(S102)，还通过旋涂或浸渍按300～3000的厚度形成第二掩膜层56(S103)，进行烘烤得到。
第一掩膜层54的材质为TiN(氮化钛)、第二掩膜层56的材质为负型抗蚀剂(NEB22A，住友化学工业株式会社制造)。
这样得到的源体50的第二掩膜层56上，首先使用转印装置(未示出)通过纳米印加(nano imprint)法转印与数据区域14的记录单元16的分离图案、伺服区域28的伺服图案单位部30与伺服图案间填充部32的分离图案相当的凹部(S104)，通过使用氧气或偶氮气体的等离子体均匀地干蚀刻加工第二掩膜层56的整个面时，如图6所示，去除凹部底面的第二掩膜层56(S105)，在凹部底面上露出第一掩膜层54。第二掩膜层56通过干蚀刻也去除凹部以外的区域，但仅残留与凹部底面的台阶大小。
接着通过以CF4(四氟化碳)气体或SF6(六氟化硫)气体为反应气体的反应性离子蚀刻，如图7所示，去除凹部底面的第一掩膜层54(S106)。此时，连续磁性层52也被少量去除。凹部以外的区域的第二掩膜层56也被大部分去除，但残余少量。
接着，通过以NH3(氨)气体与CO(一氧化碳)气体的混合气体为反应气体的反应性离子蚀刻，如图8所示，去除凹部底面的连续磁性层52，在数据区域14中将连续磁性层52分离为多个细微的记录单元16，同时，在伺服区域28中分离为伺服图案单位部30与伺服图案间填充部32(S107)。此时，凹部底面的取向层24也被少量去除，但凹部以外的区域的第二掩膜层56被完全去除，凹部以外的区域的第一掩膜层54在记录单元16、伺服图案单位部30和伺服图案间填充部32上残余若干。
该残余的第一掩膜层54通过以CF4气体或SF6气体为反应气体的反应性离子蚀刻，如图9所示被完全去除(S108)。
接着通过CVD法在磁性层12的表面和凹部底面上形成保护层26(S109)，从而得到如上述图1和图2所示的磁记录媒体10。
保护层26的表面上根据需要通过浸渍法按10～20的厚度涂布材质为PFPE(パ一フロロポリェ一テル)的润滑层。
接着说明伺服信息对磁记录媒体10的记录方法。
首先如图10示意所示，在磁记录媒体10上同样施加比伺服图案单位部30和伺服图案间填充部32二者的矫顽力都大的直流外部磁场，将伺服图案单位部30和伺服图案间填充部32磁化为相等的极性(S110)。
接着如图11所示，同样施加方向与上述外部磁场相反的、比伺服图案间填充部32的矫顽力小但比伺服图案单位部30的矫顽力大的直流外部磁场时，伺服图案单位部30被磁化为相反的极性(S111)。伺服图案间填充部32的磁化极性不反转。即，伺服图案单位部30和伺服图案间填充部32磁化为相反的极性，完成伺服信息的记录。
这样，通过按2个阶段施加一样的直流外部磁场，可容易地记录伺服信息，本实施例的磁记录媒体的制造方法生产效率高。
同时进行在伺服区域28中将磁性层12分离为伺服图案单位部30和伺服图案间填充部32的工序、和在数据区域14中将磁性层12分离为多个记录单元16的工序，因此在这一点上本实施例的磁记录媒体的制造方法生产效率高。
而且，将伺服图案间填充部32作为磁性层12的一部分形成，因此与使用其他材料形成伺服图案间填充部32相比，制造容易，根据这一点，本实施例的磁记录媒体的制造方法生产效率高。
本实施形式中，磁性层12的材质为CoPt合金，但本发明不限定于此，磁性层12的材质可以是例如Co(钴)合金、Co与Pd(钯)的层叠体、Co和Pt(铂)的层叠体、Fe(铁)、Fe合金、Fe合金的层叠体等其他材质。Co和Pd的层叠体具有其形状大小和矫顽力为图3中符号B的曲线所示的关系的性质。
本实施形式中，如上述图1所示，磁记录媒体10中伺服图案间填充部32为大致圆形，多部分在伺服区域28的附近构图，但本发明不限定于此，伺服图案间填充部的形状、配置数目、配置图案可适当选择，以在磁记录媒体10与头之间能够实现良好的气流。
本实施形式中，磁记录媒体10是将伺服图案间填充部32形成得小于伺服图案单位部30，但本发明不限定于此，可将伺服图案间填充部形成得大于伺服图案单位部。例如一体形成本实施形式的伺服图案间填充部，在各伺服区域中仅配置1个伺服图案间填充部。
例如图12所示，将各伺服图案单位部作为比其小的多个伺服图案单位部构成单元30A的集合而形成，也可形成比伺服图案单位部构成单元30A大的伺服图案间填充部32。这样伺服图案单位部和伺服图案间填充部之间的磁特性差可以变大。
本实施形式中，磁记录媒体10是伺服图案单位部30和伺服图案间填充部32具有不同的矫顽力，按相反的极性磁化，但本发明不限定于此，伺服图案单位部和伺服图案间填充部可按不同大小形成，使得其具有磁各向异性、剩磁等其他不同的磁特性，根据这些磁特性的差异识别二者。
本实施形式中，磁记录媒体10是垂直记录型的离散型磁盘，在数据区域14中在径向上以细微轨道间距并列设置多个记录单元16，但本发明不限定于此，本发明同样适用于记录单元按轨道的周向(扇区方向)以细微间隔并列设置的磁盘、按轨道的径向和周向两个方向以细微间隔并列设置的磁盘。MO等的光磁盘等的其他磁记录媒体也可同样适用本发明。
关于数据区域中包括连续磁性层的结构的磁记录媒体也适用本发明，如果伺服区域分离形成伺服图案单位部和伺服图案间填充部，则得到明显提高伺服信息的读取效率的效果。
本实施例中，第一掩膜层54的材质为TiN，但第一掩膜层54的材质如果是通过以CO气体等为反应气体的反应性离子蚀刻难以去除的材质，则不特别限定第一掩膜层54的材质，例如除可使用Ti(钛)、Ta(钽)、Mg(镁)、Al(铝)、Si(硅)、Ge(锗)、Pb(铅)之外，可使用以它们为主成分的合金、化合物等。
本实施形式中，由于为通过干蚀刻将第一掩膜层54加工为规定图案，在第一掩膜层54上还形成负型抗蚀剂的第二掩膜层56，通过两阶段的干蚀刻将第一掩膜层54加工为规定图案，但本发明不限定于此，如果可按规定图案加工第一掩膜层54，则不特别限定在第一掩膜层54上形成的其他的掩膜层的材质、层叠数等，例如可用3阶段以上的干蚀刻将第一掩膜层54加工为规定图案。
本实施形式中，为了加工第一掩膜层54而使用以CF4或SF6为反应气体的反应性离子蚀刻，但本发明不限定于此，只要是与上述第一掩膜层54的材质反应、促进蚀刻的反应气体即可，不特别限定反应气体的种类，例如可使用NF3、CHF3等的其他氟类气体、Cl2(氯气)、BCl3(三氯化硼)、CHCl3(三氯代甲烷)等的氯类气体等。
(实施例)
通过上述实施形式制作磁记录媒体10。伺服图案间填充部32按直径约为100nm大小的大致圆形形成。
使头滑动器(未示出)接近并旋转磁记录媒体10，测定头元件部的浮起高度，头元件部表现出图13中符号C所示的曲线那种动作。曲线变动大的部分表示数据区域和伺服区域的边界的头元件部的浮起高度的变动。头元件部的浮起高度在数据区域中稳定。头滑动器进入伺服区域时，头元件部表示出0.5nm的变动。另外，在头滑动器的头元件部从数据区域进入伺服区域的时刻，表示出最大约1.9nm的变动。
(比较例)
相对上述实施例，制作在伺服区域28中仅形成伺服图案单位部30、不形成伺服图案间填充部32的比较试样。
使头滑动器(未示出)接近并旋转该比较试样，测定头元件部的浮起高度，头元件部表现出图13中符号D所示的曲线那种动作。
头元件部的浮起高度在数据区域中稳定。头滑动器进入伺服区域时，头元件部表示出0.5nm的变动。另外，在头滑动器的头元件部从数据区域进入伺服区域的时刻，表示出最大约2.8nm的变动。
即，确认出实施例相对比较例，大幅度缩小了头元件部进入数据区域和伺服区域的边界的浮起高度的变动幅度。
如以上说明，根据本发明，具有如下有益效果：得到稳定的头动作，并且可有效记录伺服信息。

Claims (14)

1.一种磁记录媒体，具有分区为多个数据区域和多个伺服区域而记录信息的磁性层，该磁性层在上述各伺服区域中被分离为形成规定的伺服图案的多个伺服图案单位部、和部分填充该多个伺服图案单位部之间而构图形成的伺服图案间填充部。
2.根据权利要求1所述的磁记录媒体，其特征在于，上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部按不同大小形成，使得其具有不同的磁特性。
3.根据权利要求2所述的磁记录媒体，其特征在于，上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部按不同大小形成，从而作为上述磁特性，其具有不同的矫顽力。
4.根据权利要求2所述的磁记录媒体，其特征在于，上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部按不同大小形成，从而作为上述磁特性，其具有不同的磁各向异性。
5.根据权利要求2所述的磁记录媒体，其特征在于，上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部按不同大小形成，从而作为上述磁特性，其具有不同的剩磁。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的磁记录媒体，其特征在于，上述磁性层在上述各数据区域中分离为多个记录单元，并且形成上述伺服图案间填充部，使得与上述伺服图案单位部占据上述各伺服区域的面积的比率相比，上述伺服图案单位部和伺服图案间填充部占据上述各伺服区域的合计面积的比率为接近上述记录单元占据上述数据区域的面积的比率的值。
7.根据权利要求1至5中任意一项所述的磁记录媒体，其特征在于，上述磁性层在上述各数据区域中，在垂直于记录再现头的行进方向的方向上以细微的轨道间距被分离为多个记录单元，并且上述伺服图案间填充部的至少一部分在上述伺服区域内的上述数据区域附近构图。
8.根据权利要求1至5中任意一项所述的磁记录媒体，其特征在于，上述伺服图案间填充部形成得比上述伺服图案单位部还要小。
9.根据权利要求1至5中任意一项所述的磁记录媒体，其特征在于，上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部以相反的极性磁化。
10.一种磁记录媒体，具有被分区为多个数据区域和多个伺服区域而记录信息的磁性层，该磁性层在上述各伺服区域中，在垂直于记录再现头的行进方向的方向上被分离有形成规定的伺服图案的伺服图案单位部。
11.根据权利要求10所述的磁记录媒体，其特征在于，上述伺服图案单位部是这样被分离形成的，即该伺服图案单位部在垂直于记录再现头的行进方向的方向上具有轨道宽度以上的长度。
12.根据权利要求10或11所述的磁记录媒体，其特征在于，上述伺服图案单位部是这样被分离形成的，即该伺服图案单位部在垂直于记录再现头的行进方向的方向上具有轨道宽度以上0.2mm以下的长度。
13.一种磁记录媒体的制造方法，包括：在基板上同样形成磁性层的磁性层形成工序；磁性层加工工序，将上述磁性层分离为形成规定的伺服图案的多个伺服图案单位部、和部分填充该多个伺服图案单位部之间的伺服图案间填充部，并且上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部按不同大小形成，使得其具有不同的磁特性。
14.根据权利要求13所述的磁记录媒体的制造方法，其特征在于，上述磁性层加工工序是将上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部按不同大小形成，从而作为上述磁特性，其具有不同的矫顽力，并且在该磁性层加工工序后设置了以下工序：
第一直流磁场施加工序，向上述磁性层施加相同的、比上述伺服图案单位部和上述伺服图案间填充部二者的矫顽力都大的直流磁场；
第二直流磁场施加工序，向上述磁性层施加相同的、方向与上述直流磁场相反的、上述伺服图案单位部的矫顽力和上述伺服图案间填充部的矫顽力的中间大小的直流磁场。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100377210C (zh) * 2004-03-31 2008-03-26 株式会社东芝 磁记录介质及其制造方法和磁记录装置
CN101751930B (zh) * 2008-12-10 2012-04-18 日立环球储存科技荷兰有限公司 具有加密加扰图案的图案化介质磁记录盘和盘驱动器

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005276292A (ja) * 2004-03-24 2005-10-06 Fuji Photo Film Co Ltd 磁気転写用マスター担体および磁気転写方法並びに磁気記録媒体
JP2006012285A (ja) * 2004-06-25 2006-01-12 Tdk Corp 磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法
US7161753B2 (en) 2005-01-28 2007-01-09 Komag, Inc. Modulation of sidewalls of servo sectors of a magnetic disk and the resultant disk
JP2006216171A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Tdk Corp 磁気記録媒体、記録再生装置およびスタンパー
JP4218896B2 (ja) 2005-03-02 2009-02-04 Ｔｄｋ株式会社 磁気記録媒体、記録再生装置およびスタンパー
JP3918003B2 (ja) 2005-03-10 2007-05-23 Ｔｄｋ株式会社 磁気記録媒体、記録再生装置およびスタンパー
JP4649262B2 (ja) 2005-04-19 2011-03-09 株式会社東芝 磁気記録媒体の製造方法
JP4542953B2 (ja) * 2005-06-10 2010-09-15 株式会社東芝 磁気ディスク媒体および磁気記録再生装置
JP4585476B2 (ja) 2006-03-16 2010-11-24 株式会社東芝 パターンド媒体および磁気記録装置
JP4316580B2 (ja) 2006-03-28 2009-08-19 株式会社東芝 磁気記録装置およびサーボ情報記録方法
JP4675812B2 (ja) 2006-03-30 2011-04-27 株式会社東芝 磁気記録媒体、磁気記録装置および磁気記録媒体の製造方法
JP4728892B2 (ja) 2006-06-30 2011-07-20 株式会社東芝 磁気記録媒体およびその製造方法
JP2008282512A (ja) 2007-05-14 2008-11-20 Toshiba Corp 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置
KR20090001369A (ko) * 2007-06-29 2009-01-08 삼성전자주식회사 자기기록매체 및 그 제조방법
JP4908339B2 (ja) * 2007-07-30 2012-04-04 株式会社東芝 ディスク記憶装置及びディスク媒体
JP4382843B2 (ja) 2007-09-26 2009-12-16 株式会社東芝 磁気記録媒体およびその製造方法
US7969686B2 (en) * 2007-12-26 2011-06-28 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. Self-assembly structures used for fabricating patterned magnetic media
JP4998329B2 (ja) * 2008-03-04 2012-08-15 富士通株式会社 磁気記録媒体、および磁気記録媒体の製造方法
KR20100016804A (ko) * 2008-08-05 2010-02-16 삼성전자주식회사 저장 장치의 서보 트랙 형성 방법과 데이터 저장 장치
JP2008310957A (ja) * 2008-09-29 2008-12-25 Tdk Corp 磁気記録媒体、記録再生装置およびスタンパー
US7960044B2 (en) * 2009-03-27 2011-06-14 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Patterned-media perpendicular magnetic recording disk with servo regions having magnetized servo pillars and oppositely-magnetized servo trenches
US8482880B2 (en) 2010-10-19 2013-07-09 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Patterned structure in a storage media
JP5050105B2 (ja) * 2011-01-12 2012-10-17 株式会社東芝 磁気記録装置
JP2012248254A (ja) * 2011-05-30 2012-12-13 Toshiba Corp 磁気記録媒体、磁気記録装置
US8625229B2 (en) * 2012-06-10 2014-01-07 HGST Netherlands B.V. Servo control in a patterned-media magnetic recording disk drive using a reference table
US8737002B1 (en) * 2013-03-26 2014-05-27 HGST Netherlands B.V. Magnetic recording disk with patterned nondata islands with different sizes and opposite polarity and method for making the disk
US8879184B1 (en) 2014-02-07 2014-11-04 Seagate Technology Llc Servo patterns including selectively magnetizable magnetic features
US9105289B1 (en) 2014-10-15 2015-08-11 Seagate Technology Llc Integrated servo field for memory device

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5231550A (en) * 1990-03-12 1993-07-27 Fujitsu Limited Track access control system preventing unintentional delay in movement of head in non-adjusted disc device
JP3237141B2 (ja) 1991-09-20 2001-12-10 ソニー株式会社 ハードディスクドライブ装置
JPH06195907A (ja) 1992-12-25 1994-07-15 Sony Corp 磁気記録媒体及び磁気記録媒体へのサーボ信号書き込み方法
JPH0765363A (ja) 1993-08-26 1995-03-10 Hitachi Ltd 磁気記録媒体および磁気記録装置およびその製法
JPH08203058A (ja) * 1995-01-24 1996-08-09 Hitachi Ltd 垂直磁気記録媒体及びその製造方法
JPH097158A (ja) 1995-06-22 1997-01-10 Sony Corp 磁気ディスク
JP3090633B2 (ja) * 1997-07-29 2000-09-25 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレ−ション データ記録ディスク及びディスク・ドライブ装置
JP3384728B2 (ja) 1997-11-12 2003-03-10 松下電器産業株式会社 磁気記録再生装置の製造方法及び磁気記録再生装置
JPH11161944A (ja) * 1997-11-27 1999-06-18 Sony Corp 磁気ディスク及び磁気ディスク装置
US6262859B1 (en) * 1998-08-11 2001-07-17 Samsung Electronics Company Method and apparatus for providing servo information on a disk in a hard drive assembly
JP4185230B2 (ja) 1999-02-19 2008-11-26 Ｔｄｋ株式会社 磁気記録媒体
US6421195B1 (en) 1999-09-20 2002-07-16 International Business Machines Corporation Magnetic disk media with patterned sections
JP2001110027A (ja) 1999-10-08 2001-04-20 Hitachi Ltd 磁気記憶装置
US6816330B2 (en) * 2000-12-22 2004-11-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for forming a magnetic pattern in a magnetic recording medium, magnetic recording medium magnetic recording device and photomask
JP3958943B2 (ja) 2001-07-02 2007-08-15 Ｔｄｋ株式会社 磁気記録媒体
US6738205B1 (en) * 2001-07-08 2004-05-18 Maxtor Corporation Self-writing of servo patterns in disk drives
US6852431B2 (en) * 2001-10-16 2005-02-08 Canon Kabushiki Kaisha Magnetic recording media and method for manufacturing the same
JP4102600B2 (ja) * 2002-06-03 2008-06-18 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ 磁気ディスク装置及び信号処理装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100377210C (zh) * 2004-03-31 2008-03-26 株式会社东芝 磁记录介质及其制造方法和磁记录装置
CN101751930B (zh) * 2008-12-10 2012-04-18 日立环球储存科技荷兰有限公司 具有加密加扰图案的图案化介质磁记录盘和盘驱动器

Also Published As

Publication number Publication date
JP4209231B2 (ja) 2009-01-14
US7164548B2 (en) 2007-01-16
KR20040084715A (ko) 2004-10-06
JP2004295991A (ja) 2004-10-21
EP1463038A2 (en) 2004-09-29
CN100395822C (zh) 2008-06-18
US20040190180A1 (en) 2004-09-30
EP1463038A3 (en) 2005-12-21

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