JPH097158A - 磁気ディスク - Google Patents

磁気ディスク

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JPH097158A
JPH097158A JP15618695A JP15618695A JPH097158A JP H097158 A JPH097158 A JP H097158A JP 15618695 A JP15618695 A JP 15618695A JP 15618695 A JP15618695 A JP 15618695A JP H097158 A JPH097158 A JP H097158A
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JP
Japan
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servo
magnetic disk
magnetic
pit
signal
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JP15618695A
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English (en)
Inventor
Osami Morita
修身 森田
Akiko Senda
明子 千田
Kotaro Kurokawa
光太郎 黒川
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 非磁性基板1上にサーボピット部が凹凸パタ
ーンとして形成された磁気ディスクにおいて、サーボピ
ット部の凸部3の立ち上がり角度及び立ち下がり角度を
45°〜90°とし、さらにサーボピット部から再生さ
れるサーボ信号のパルス間隔を0.4μm以下に規制す
る。 【効果】 サーボピット部の線密度を増大させながら、
高出力、高S/N比でサーボ信号を再生することができ
るようになる。したがって、本発明は、記録容量が1G
B以上の高容量磁気ディスクの実現に多いに貢献でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスクに関し、
特に非磁性基板上にサーボピット部が凹凸パターンによ
って形成された磁気ディスクに関する。
【0002】
【従来の技術】例えばコンピュータ等の記憶媒体として
は、ランダムアクセスが可能な円板状の磁気ディスクが
広く用いられており、なかでも応答性に優れること等か
ら、基板にガラス板、プラスチック板、あるいは表面に
Ni−Pメッキ,アルマイト処理が施されたAl合金板
等の硬質材料を用いた磁気ディスク(いわゆるハードデ
ィスク)が使用されるようになっている。
【0003】この磁気ディスクへの記録再生には、通
常、浮上型の磁気ヘッドが用いられる。この浮上型の磁
気ヘッドを、回転しているディスク面に対して微小距離
をあけて浮上させ、この浮上状態の磁気ヘッドを径方向
に移動操作することで所定のデータトラック上を走査す
るようにし、磁気信号の記録及び再生を行う。
【0004】このような磁気ディスクの記録再生システ
ムでは、近年、装置の小型化、高密度記録化が進行して
いる。このうち、磁気ディスクの高密度記録化は、信号
の線密度を増大させたり、トラック幅を狭小化し、ディ
スク1枚当たりのデータトラック本数を増やすことで行
われる。
【0005】しかしながら、例えばディスクのトラック
幅を余り狭くすると、信号再生に際して、隣接データト
ラックに記録された磁気信号からの干渉(クロストー
ク)を受け易くなり、S/N比が劣化する。
【0006】そこで、このようなクロストークが抑えら
れる磁気ディスクとして、基板表面に、データトラック
が凹凸パターンとして形成された、いわゆるディスクリ
ート磁気ディスクが特開平4−95218号公報,特開
平6−068444号公報に提案されている。
【0007】このディスクリート磁気ディスクでは、基
板表面の凹凸形状が磁性層表面に反映され、磁性層が基
板表面で形成されているのと同じ凹凸パターンを呈した
表面形状になっており、さらに凹部と凸部が互いに逆向
きに磁化される。したがって、凸部をデータトラックと
したときには、このデータトラック同士は、間に凹部が
介在していることから磁気的に分断される。そのため、
隣接するデータトラックに記録された磁気信号の影響を
受け難く、トラック幅が比較的狭く設定されている場合
でも、S/N比の高い再生信号が得られることになる。
【0008】なお、このようなディスクリート磁気ディ
スクの基板を作製するには、基板に凹凸パターンを形成
する点で先行しているところの光磁気記録媒体の場合に
倣い、プラスチック材料をスタンパ金型を用いて射出成
形する方法が用いられる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ディスクリ
ート磁気ディスクでは、データトラックとともにトラッ
キング用のサーボピットも基板表面に形成される。すな
わち、基板上でデータトラックをセクター毎に分断する
放射状領域を形成し、この放射状領域にサーボピットの
ピット列を形成する。
【0010】ここで、射出成形で作製される基板では、
サーボピットは立ち上がり角度及び立ち下がり角度がと
もに45°未満(例えば30°程度)の台形状の微小凸
部として形成される。
【0011】しかしながら、このような台形状のサーボ
ピットでは、例えばピット高さを0.2μmとした場合
には両側のスロープ部分の幅が各々0.2μmを越え
る。このため、ピットの線密度の増大を目的として、当
該サーボピットをパルス間隔が0.4μm以下となるよ
うな間隔で形成すると、サーボ信号のS/N比や出力が
劣化するといった問題がある。
【0012】すなわち、台形状のサーボピットを再生し
て得られる信号パルスは、このサーボピット形状を反映
して両側がスロープ状となった略台形状になる。このた
め、スロープ部分の幅が0.2μmを越える場合には、
パルス間隔が0.4μmを越えていないと、スロープ部
分で符号間干渉が生じ、S/N比や信号出力が劣化す
る。
【0013】また、仮に、干渉が生じても良いという条
件であっても、パルス間隔が0.4μm以下となるよう
な間隔でサーボピットを形成すると、隣合うサーボピッ
ト同士のスロープ部分が物理的に重なり合い、実効的な
ピット高さが低くなる。その結果、サーボピットと凹部
とを逆向きに着磁するのが困難になり、着磁が不完全に
なることから信号出力が低下する。
【0014】したがって、立ち上がり角度及び立ち下が
り角度が45°未満のサーボピットは、パルス間隔が
0.4μm以下となるような間隔で形成することが必要
となる。
【0015】一方、現状における、ディスクリート磁気
ディスクで求められるサーボピットのパルス間隔につい
て述べると、まず現在、市場に出ている磁気ディスクと
しては2.5インチ径、250MB容量のものがある。
このタイプの磁気ディスクでは、セクターサーボ方式が
採用され、サーボ信号の時間でのパルス間隔は約120
nsが妥当である。磁気ディスクドライブのディスク回
転数が3600rpm、ディスクの最内周が15.0m
mであるとすると、時間でのパルス間隔が約120ns
である場合、距離でのパルス間隔の最短値は0.68μ
mとなる。このようなパルス間隔で良いのであれば、サ
ーボピットの立ち上がり角度及び立ち下がり角度がとも
に45°未満であっも差し支えない。
【0016】しかしながら、最近では、磁気ヘッドのギ
ャップ幅を狭小化したり、記録磁性層を改良することで
1GBを越える容量を持たせた磁気ディスクが開発され
ている。このように大容量化した磁気ディスクでは、デ
ータ信号のクロックレートが向上するため、それに合わ
せてサーボ信号のパルス間隔も0.4μm以下と小さく
する必要がある。しかし、立ち上がり角度及び立ち下が
り角度が45°未満のサーボピットでは、サーボ信号の
パルス間隔を0.4μm以下とすると、上述の如く符号
間干渉やピットの物理的な重なりが生じて十分なS/N
比、信号出力が得られなくなる。このため、このような
大容量の磁気ディスクには、立ち上がり角度及び立ち下
がり角度が45°未満のサーボピットでは対応できない
のが実情である。
【0017】そこで、本発明はこのような従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、サーボ信号のパルス間隔
を0.4μm以下に設定した場合でも、符号間干渉やピ
ット同士の物理的な重なりが生じることがなく、高出
力、高S/N比でサーボ信号が再生される磁気ディスク
を提供することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明の磁気ディスクは、サーボピット部が凹凸
パターンとして形成された非磁性基板上に、磁気記録層
が形成され、上記磁気記録層の凹部と凸部が互いに逆向
きに磁化されてなる磁気ディスクにおいて、サーボピッ
ト部の凸部の立ち上がり角度及び立ち下がり角度が45
°〜90°であり、サーボピット部から得られるサーボ
信号のパルス間隔が0.4μm以下であることを特徴と
するものである。
【0019】本発明は、図1に示すように、データトラ
ックやサーボピットが凹凸パターンとして形成された非
磁性基板1上に、記録磁性層2が形成されてなる、いわ
ゆるディスクリート磁気ディスクに適用される。
【0020】すなわち、上記非磁性基板1には、表面に
データトラック部とこのデータトラック部を等間隔に分
断するサーボピット部とがそれぞれ放射状に形成されて
いる。
【0021】上記データトラック部には、所定のトラッ
ク幅を有するデータトラックが円弧状の凸部として多数
形成されている。
【0022】一方、上記サーボトラック部には、データ
トラックとデータトラックの各間に対応してサーボピッ
ト3のピット列が形成されている。この各サーボピット
3は矩形状の微小凸部であり、本発明の磁気ディスクで
は特にこの微小凸部の立ち上がり角度θ1及び立ち下が
り角度θ2がともに45°〜90°となされている。そ
して、このような微小凸部の複数が、サーボピット部を
再生して得られるサーボ信号の信号パルスの間隔が0.
4μm以下となるような間隔で配列されている。
【0023】このような基板1では、サーボピット3が
サーボ信号のパルス間隔が0.4μm以下となるような
狭い間隔で形成されているので、サーボピット部の線密
度が高いものとなっている。
【0024】その一方、このサーボピット3は立ち上が
り角度θ1及び立ち下がり角度θ2が45°〜90°と比
較的大きく設定されていることから、例えばピット高さ
hが0.2μmである場合、両側のスロープ部の幅
1,d2が各々0.2μm以下に抑えられる。したがっ
て、サーボ信号のパルス間隔が0.4μm以下であって
も、サーボピット3同士が物理的に重なったり、符号間
干渉が生じるといったことがなく、高密度記録化を図り
ながら、サーボ信号が高出力、高S/N比で再生される
ことになる。
【0025】なお、このサーボピット3やデータトラッ
クのピット高さhは0.1μm以上、より好ましくは
0.2μm以上であるのが良い。ピット高さhが余り低
くなると、凹部からの雑音が再生信号に入り易くなり、
S/N比が劣化する。但し、ピット高さhの実用的な上
限は0.3μmである。
【0026】以上のような立ち上がり角度θ1及び立ち
下がり角度θ2が45°〜90°であるようなサーボピ
ット3は、紫外線露光タイプのレジストを用いることで
形成できる。通常、ディスクリート基板の作製に用いら
れる射出成形法ではサーボピットの立ち上がり角度及び
立ち下がり角度は30°程度になってしまうが、紫外線
露光タイプのレジストを用いる方法では途中にアルカリ
処理を導入することで比較的容易にサーボピットの立ち
上がり角度及び立ち下がり角度を制御することができ
る。以下にこの紫外線露光タイプのレジストを用いた基
板作製方法を説明する。
【0027】すなわち、基板を作製するには、ガラステ
ンプレートを用意し、この上に所望のピット高さに対応
する厚さで紫外線露光タイプのレジストを塗布する。
【0028】続いて、このレジストを、100℃程度の
温度でベークし、その表面をアルカリ溶液に浸す。この
アルカリ処理は、レジストを硬化させる効果がある。こ
のアルカリ処理が施されたレジストは、後工程で行われ
る現像に際して、横方向での溶解速度が厚さ方向での溶
解速度よりも遅くなり、急峻な形状のピットが形成され
る。そして、このレジストの横方向と厚さ方向の溶解速
度比は、アルカリ処理時間によって変化するので、この
アルカリ処理時間を制御することでピットの立ち上がり
角度及び立ち下がり角度を任意の角度に調整することが
できる。
【0029】凹凸パターンを形成するには、このアルカ
リ処理が施されたレジストに対して、データトラック及
びサーボピットに対応する領域を除いて紫外線を照射
し、現像液で処理する。その結果、紫外線を照射した領
域のみが溶解し、立ち上がり角度及び立ち下がり角度が
45°〜90°のサーボピットが形成される。
【0030】このようにして凹凸パターンが形成された
基板1には記録磁性層2が形成されるが、この記録磁性
層2は、ディスクリート磁気ディスクで通常用いられて
いる金属磁性薄膜であって良い。具体的には、Co,C
o−Pt,Co−Ni,Co−Ni−Cr,Co−C
r,Co−Cr−Ta等のCo系金属磁性薄膜が挙げら
れる。この金属磁性薄膜は、スパッタ法等の手法により
非磁性基板の凹凸パターンを反映した表面形状を呈して
形成され、凹部と凸部とが互いに逆向きの磁化方向とな
るような磁化処理が施される。
【0031】また、以上が本発明の磁気ディスクの基本
的な構成であるが、磁気ディスクの構成はこれに限らな
い。例えば、磁気ディスクで通常行われているように、
記録磁性層の下側に下地層を設けたり、記録磁性層の表
面に保護層を設けるようにしても何ら差し支えない。
【0032】上記下地層は、非磁性基板と記録磁性層の
密着性を高め、また記録磁性層の結晶性を改善し磁気特
性の向上を図るために設けられるもので、Cr膜が好適
である。
【0033】保護層は、磁気ヘッドとの接触からディス
ク面を保護するために設けられるもので、カーボン膜の
他、SiO2膜,ZrO2膜等が使用される。
【0034】
【作用】本発明では、ディスクリート磁気ディスクにお
いて、サーボピット部の凸部の立ち上がり角度及び立ち
下がり角度を45°〜90°とし、サーボピット部から
再生されるサーボ信号のパルス間隔を0.4μm以下に
規制する。
【0035】このような磁気ディスクでは、サーボピッ
トがサーボ信号のパルス間隔が0.4μm以下となるよ
うな狭い間隔で形成されているので、サーボピット部の
線密度が高いものとなっている。
【0036】その一方、このサーボピットは立ち上がり
角度及び立ち下がり角度が45°〜90°と比較的大き
く設定されていることから、例えばピット高さが0.2
μmである場合、両側のスロープ部の幅が各々0.2μ
m以下に抑えられる。したがって、サーボ信号のパルス
間隔が0.4μm以下であっても、サーボピット同士が
物理的に重なったり、符号間干渉が生じるといったこと
がなく、高密度記録化を図りながら、サーボ信号が高出
力、高S/N比で再生されることになる。
【0037】
【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について実験
結果に基づいて説明する。
【0038】実験例1 本実験例では、磁気ディスクに信号ピットとして形成す
る凸部の最適な高さについて検討した。
【0039】円状の凸部が幅10μm、高さ0.05μ
m、0.1μmあるいは0.2μmで形成された3種類
の基板を用意した。
【0040】それぞれの基板に、膜厚100nmのCr
下地層、膜厚30nmのCoCrPt磁性層、膜厚10
nmのカーボン保護層を、順次、スパッタ法により成膜
することで磁気ディスクを作製した。
【0041】そして、作製された磁気ディスクについ
て、トラック幅が20μm、すなわち凸部の幅よりもト
ラック幅が広い磁気ヘッドで円周方向に信号を記録し
た。続いて、トラック幅が5μm、すなわち凸部の幅よ
りもトラック幅が狭い磁気ヘッドを円周方向に対して直
角に横切るように走査させ再生を行った。記録信号波長
は1μmである。
【0042】まず、代表例として凸部の高さを0.2μ
mとした磁気ディスクの再生信号プロファイルを図2に
示す。このように磁気ヘッドを円周方向に対して直角に
走査させると、凸部の断面形状をほぼ反映したかたちの
再生信号プロファイルが得られる。この再生信号プロフ
ァイルの半値幅hwがこの磁気ディスクに形成された凸
部の実効的な幅に相当する。
【0043】次に、他の磁気ディスクについても同様に
して再生信号プロファイルから凸部の実効的な幅を求
め、凸部の高さと実効的な幅の関係を調べた。その結果
を図3に示す。
【0044】図3に示すように、凸部の高さが0.05
μmの磁気ディスクでは、凸部の物理的な幅(10μ
m)と再生信号から求められる実効的な幅が一致しな
い。これは、凸部の高さが低いために、隣接する凹部か
らの雑音の影響を受けたからと考えられる。これに対し
て、凸部の高さを0.1μm、さらには0.2μmと高
くした磁気ディスクでは、凸部の物理的な幅と実効的な
幅がほぼ一致している。
【0045】このことから、基板に信号ピットとして形
成する凸部やデータトラックの高さは0.1μm以上、
好ましくは0.2μm以上とするのが適当であることが
わかった。
【0046】実験例2 本実験例では、磁気ディスクに形成するサーボピット
の、最適な立ち上がり角度及び立ち下がり角度について
検討した。
【0047】まず、以下のようにしてサーボピットの立
ち上がり角度及び立ち下がり角度が異なる各種ディスク
リート基板を作製した。
【0048】すなわち、ガラステンプレートを用意し、
この上に0.2μm厚で紫外線露光タイプのレジスト
(東京応化社製 商品名TSMR−V3)を塗布した。
続いて、このレジストを、温度105℃でベークし、そ
の表面をアルカリ溶液(東京応化社製 商品名DE−
4)に浸した。このアルカリ溶液への浸漬時間によって
後工程で現像されるピットの立ち上がり角度及び立ち下
がり角度が制御される。したがって、浸漬時間は所望の
立ち上がり角度及び立ち下がり角度に合わせて各種変化
させた。そして、このレジストに対して、データトラッ
ク及びサーボピットに対応する領域を除いて紫外線を照
射し、現像液で処理した。その結果、紫外線を照射した
領域のみが溶解し、データトラック及びサーボピットが
凸部として形成された基板が完成した。なお、基板に形
成したサーボピットの立ち上がり角度、立ち下がり角度
は40°、45°、50°、60°、80°または90
°である。
【0049】以上のようにして作製された各種基板上
に、実験例1と同様にしてCr下地層、CoCrPt磁
性層、カーボン保護層を順次形成し、磁気ディスクを作
製した。
【0050】そして、作製された磁気ディスクについ
て、サーボピットから得られる出力が最大となるような
条件で、凹部と凸部とを互いに逆向きの磁化方向で磁化
し、フライングハイト0.08μm、ギャップ長0.2
μmの磁気ヘッドで信号再生を行い、再生信号プロファ
イル(信号パルス)を観測した。サーボピットの立ち上
がり角度と、信号パルスの半値幅の関係を図4に示す。
【0051】図4からわかるように、信号パルスの半値
幅は、サーボピットの立ち上がり角度が大きくなる程小
さい値になっている。逆に、立ち上がり角度が45°未
満と小さい範囲のサーボピットでは、この信号パルスの
半値幅は0.4μm以上になり、基板上でのサーボピッ
トの物理的なピット長0.25μmに比べてかなり大き
な値になる。このような半値幅が大きな信号パルスの場
合、パルス間隔が0.4μm以上になると、スロープ部
で干渉が生じることが容易に予想される。
【0052】このことから、サーボピットの線密度の増
大を図りながら、高S/N比、高出力のサーボ信号を得
るには、サーボピットの立ち上がり角度、立ち下がり角
度は45°〜90°とする必要があることがわかった。
【0053】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明では、ディスクリート磁気ディスクにおいて、サーボ
ピット部の凸部の立ち上がり角度及び立ち下がり角度を
45°〜90°とし、さらにサーボピット部から再生さ
れるサーボ信号のパルス間隔を0.4μm以下に規制す
るので、サーボピット部の線密度を増大させながら、高
出力、高S/N比でサーボ信号を再生することができ
る。したがって、本発明は、記録容量が1GB以上の高
容量磁気ディスクの実現に多いに貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した磁気ディスクの一構成例を示
す要部概略断面図である。
【図2】磁気ディスクの凸部の再生信号プロファイルを
示す特性図である。
【図3】凸部の高さと再生信号プロファイルの半値幅の
関係を示す特性図である。
【図4】サーボピットの立ち上がり角度と信号パルスの
半値幅の関係を示す特性図である。
【符号の説明】
1 非磁性基板 2 記録磁性層 3 サーボピット

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 サーボピット部が凹凸パターンとして形
    成された非磁性基板上に、磁気記録層が形成され、上記
    磁気記録層の凹部と凸部が互いに逆向きに磁化されてな
    る磁気ディスクにおいて、 サーボピット部の凸部の立ち上がり角度及び立ち下がり
    角度が45°〜90°であり、 サーボピット部から得られるサーボ信号のパルス間隔が
    0.4μm以下であることを特徴とする磁気ディスク。
  2. 【請求項2】 非磁性基板上に、データトラックが凹凸
    パターンとして形成されていることを特徴とする請求項
    1記載の磁気ディスク。
  3. 【請求項3】 サーボピット部の凸部の高さが、0.1
    μm以上であることを特徴とする請求項1記載の磁気デ
    ィスク。
JP15618695A 1995-06-22 1995-06-22 磁気ディスク Pending JPH097158A (ja)

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Cited By (4)

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CN100444248C (zh) * 2005-07-11 2008-12-17 Tdk株式会社 磁记录再现装置

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