CN1831952A - 磁记录媒体、录放装置以及压模 - Google Patents

磁记录媒体、录放装置以及压模 Download PDF

Info

Publication number
CN1831952A
CN1831952A CNA2005100996530A CN200510099653A CN1831952A CN 1831952 A CN1831952 A CN 1831952A CN A2005100996530 A CNA2005100996530 A CN A2005100996530A CN 200510099653 A CN200510099653 A CN 200510099653A CN 1831952 A CN1831952 A CN 1831952A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pattern
protuberance
recess
length
zone
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2005100996530A
Other languages
English (en)
Other versions
CN100538828C (zh
Inventor
添野佳一
嶋川和也
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Publication of CN1831952A publication Critical patent/CN1831952A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100538828C publication Critical patent/CN100538828C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
    • G11B5/82—Disk carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/596—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following on disks
    • G11B5/59688—Servo signal format patterns or signal processing thereof, e.g. dual, tri, quad, burst signal patterns
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
    • G11B5/743—Patterned record carriers, wherein the magnetic recording layer is patterned into magnetic isolated data islands, e.g. discrete tracks
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • G11B5/855—Coating only part of a support with a magnetic layer
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/86—Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers
    • G11B5/865—Re-recording, i.e. transcribing information from one magnetisable record carrier on to one or more similar or dissimilar record carriers by contact "printing"

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

本发明提供能够可靠读取磁信号的具有伺服图案的磁记录媒体。利用具有凸部(40a)和凹部(40b)的凹凸图案(40)，在伺服图案区域Asa上形成伺服图案，同时在一个面的数据记录区域At上设置同心圆状或螺旋状的数据记录磁道(凸部40a)，形成数据磁道图案，在所述伺服图案区域(Asa)的地址图案区域(Aaa)形成凸部(40a)，并且使构成所述凹凸图案(40)的各凹部(40b、40b…)的沿着该基体的旋转方向的各开口长度中离数据磁道图案的中心的距离相等的同一半径区域的每一区域的最大开口长度(L2)，等于同一半径区域内的该各凹部(40b、40b…)中的沿着该旋转方向的最小开口长度(L1)的2倍长度。

Description

磁记录媒体、录放装置以及压模
技术领域
本发明涉及利用凹凸图案(pattern)在伺服图案区域形成伺服图案的磁记录媒体、具备该磁记录媒体的录放装置、以及制造该磁记录媒体用的压模(stamper)。
背景技术
美国专利5772905号说明书中公开了：在制造半导体元件和信息记录媒体等的工序中，将形成纳米尺寸的凹凸图案的压模按压在基体上的树脂层上，将压模的凹凸形状复印在树脂层上，以此在基体材料上形成纳米尺寸的凹凸图案的纳米刻写平板印刷法(形成纳米尺寸的凹凸图案的刻写方法：以下称为「印刻法」)。在这种印刻法中，首先制造在其复印面上形成纳米尺寸(例如最小宽度25nm左右)的凹凸图案的压模(mold)。具体地说，覆盖在硅基板(siliconsubstrate)的表面上形成的二氧化硅等薄膜(molding layer)形成的树脂层上用电子束平板印刷(lithography)装置描绘所希望的图案之后，利用反应性离子蚀刻装置以树脂层作为掩模对薄膜进行蚀刻处理，以此在薄膜的厚度内形成具有多个凸部(features)的凹凸图案。借助于此，制造压模。
接着，在例如硅制基体的表面上旋转涂布PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)树脂材料形成厚度55nm左右的树脂层(薄膜层)。接着，对基体和树脂层的叠层体以及压模两者进行加热之后，将压模的各凸部按压在基体上的树脂层上。这时，由于压模的凸部压入的部位上的树脂材料向压模的凹部移动，在凸部压入的部位形成(复印)凹部(regions)。接着将按压着压模的状态下的叠层体放置使其温度下降到室温之后(冷却处理之后)，从树脂层上剥离压模。以此将压模的凹凸图案中的各凸部复印在树脂层上，在基体上(树脂层上)形成纳米尺寸的凹凸图案。其后，以形成凹凸图案的树脂层作为掩模，对基体进行蚀刻处理，以此在基体上形成多个凸部。因此通过利用如上所述技术(印刻法)在信息记录媒体用基体上的树脂层上形成凹部，能够利用将该树脂层作为掩模使用的蚀刻处理制造具有纳米尺寸的凹凸图案的信息记录媒体。
专利文献1：美国专利5772905号说明书
但是，已有的印刻法(制造方法)制造的信息记录媒体(磁记录媒体)中存在着如下所述的问题。即已有的制造方法中，基体上形成的树脂层上压入压模的凸部在树脂层上设置凹部形成凹凸图案，以形成凹凸图案的树脂层作为掩模对基体进行蚀刻处理，以此在基体上形成凹凸图案。但是，按照这种制造方法制造例如盘片读取磁道型的磁记录媒体时，凸部(压模的凸部)压入树脂层的压入量不足，在树脂层上形成的(复印的)凹凸图案中的凹部的底部残留大量的树脂材料，在进行去除该树脂材料的处理时凹部过分扩展，有可能使得在记录媒体上以高精度形成凹凸图案更加困难。
具体地说，例如图29所示，按照上述制造方法制造的磁盘10z被规定为如下所述制造，即形成用同心圆状的多条数据记录磁道构成的数据磁道图案40tz的数据记录区域Atz、以及形成循迹伺服用的循迹图案40sz的伺服图案区域Asz在磁盘10z的旋转方向(该图中所示的箭头R的方向)上交互排列。又，如图30所示，磁盘10z的伺服图案区域Asz，作为一个例子，具备形成前序图案的前序图案区域Apz、形成地址图案的地址图案区域Aaz、以及在猝发区域Ab1z～Ab4z的各区域中形成猝发图案的猝发图案区域Abz。还有，在该图和后面参考的图31中，涂斜线的区域表示伺服图案40sz以及数据磁道图案4tz中的凸部az的形成区域。
在这种情况下，在包括这种磁盘10z的已有的磁盘中，在地址图案区域Aaz中形成的伺服图案40sz中的凸部40az、40az…的沿基体旋转方向的开口长度，有时候对应于应该记录的地址数据的数据内容变得非常长。还有，本说明书中的所谓「外部的开口长度」是指夹着该凹部相邻的凸部的两个抽出底部上的相对的端部之间的距离。具体地说，在地址图案区域Aaz上记录地址数据时，例如，对应于「1」，形成凹部40bz，同时，对应于「0」形成凸部40az的情况下，在地址数据上多个「1」连续的部位，凹部40bz的沿着旋转方向的开口长度变长。其结果是，例如图31所示，在地址数据中，在「1」不连续的部位(地址数据为「0、1、0」的部位中，对应于「1」形成的凹部40bz的沿着旋转方向的长度L11变得比较短。而与此相对，在地址数据中，在多个「1」连续的部位(例如地址数据为「0、1、1、1、0」的部位)，对应于「1」形成的凹部40bz的沿着旋转方向的开口长度L12变长。在这种情况下，如图30、31所示，在地址图案区域Aaz内，凹部40bz往往跨越多条记录磁道地在半径方向(在两图中的上下方向)连续形成，因此，凹部40bz的沿半径方向的开口长度有变长的倾向。因此，在地址数据中，多个「1」连续形成的部位上，凹部40bz中的半径方向的开口长度和旋转方向的开口长度两者都变长(开口面过宽)。还有，本说明书中的所谓「凹部的开口面」是指夹着该凹部相邻的凸部的两个突出端面上的相对的端部之间、即除凹凸图案中的凸部的突出端面万的区域。
又，如图30所示，已有的磁盘10g中，在数据记录区域Atz与前序图案区域Apz之间、前序图案区域Apz与地址图案区域Aaz之间、地址图案区域Aaz与猝发图案区域Abz之间、以及猝发图案区域Abz与数据记录区域Atz之间的各区域上，形成非伺服信号区域Axz。而且，在猝发图案区域Abz的各猝发区域Ab1z～Ab4z的各区域之间形成非伺服信号区域Axbz。在该非伺服信号区域Axz、Axbz，没有预先记录着循迹伺服控制用的控制信号地，形成非伺服信号区域Axz、Axbz的几乎全部区域由凹部构成，不存在凸部的状态。因此，非伺服信号区域Axz、Axbz内的凹部40bz，沿半径方向上的开口长度和沿旋转方向上的开口长度两者都变得非常长(开口面过宽)。
在这种情况下，在上述磁盘10z的数据记录区域Atz和伺服图案区域Asz上，形成其开口面狭窄的凹部(例如磁盘10z的旋转方向上的开口长度中的任一方短的凹部)、其开口面宽的凹部(例如沿旋转方向上的开口长度和沿半径方向上的开口长度都大的凹部)等各种凹部。又，在制造磁盘10z用的压模上，形成有与磁盘10z上应该形成的凹凸图案凹凸位置关系反转的凹凸图案39z(参照图32、33)。因此如图32、33所示，在制造磁盘10z用的压模上，对应于磁盘10z的凹凸图案，形成突出端面狭窄的凸部(图32所示的凸部39az)、突出端面宽的凸部(图33所示的凸部39az)等各种凸部39az、39az…。在这种情况下，在已有的制造方法中，在压模的全部区域大致均匀地时间按压力，将凹凸图案39z按压在树脂层上。这时，如图32所示，在形成其突出端面比较狭窄的凸部39az的部位(例如在地址数据中与「1」不连续的部位的地址数据对应的部位)上，凸部39az压入的部位的树脂材料向压模的凹部39bz、39bz内顺利移动，其结果是，凸部39az能够充分压入树脂层直到纵深处。结果，能够在基体上形成凸部39az的前端与基体之间(凹部41bz的底部)的树脂层的厚度T1足够薄的凹凸图案41z。还有，在以下的说明中将形成于树脂层上的凹部的底面与基体之间的留下的树脂材料称为「残渣」。
与此相反，如图33所示，在其突出端面比较宽的凸部39az的形成部位(例如在地址数据中「1」连续的部位的地址数据和与非伺服信号区域Axz、Axbz对应的部位)上，压入凸部39az的部位的树脂材料向压模的凹部39bz、39bz内移动困难，结果是难于将凸部39az充分压入树脂层的纵深处。其结果是，凸部39az的前端与基体之间(凹部41bz的底部)生成厚度T2的残渣，结果凹部41b的深度变浅。在这种情况下，将形成凹凸图案41z的树脂层作为掩模使用，对基体进行蚀刻处理时，有必要利用蚀刻处理等方法去除凹凸图案41z中的凹部41bz的底面的残渣(上述去除处理)。又，如上所述，突出端面狭窄的凸部39az、39az…压入的部位的残渣厚度T1，比突出端面宽的凸部39az、39az…压入的部位的残渣厚度T2薄得多。因此在进行时间充分的蚀刻处理(去除处理)以便能够可靠去除厚度T2的残渣时，在完全去除厚度T2的残渣之前，厚度T1的残渣的去除就完成了。其结果是，在去除厚度T1的残渣的部位(底面狭窄的凹部41bz的部位)，在厚度T2的残渣完全去除之前持续对其喷射的气体(gas)侵蚀凹部41bz的内侧壁(凸部41az)，凹部41bz过度扩大。因此，按照已有的制造方法制造的磁盘10z上，在其制造时形成所希望的宽度的凹部41bz有困难，因此在数据记录区域Atz和伺服图案区域Asz形成的凹部的宽度过大，因此有可能难于可靠读取磁信号。
本发明是鉴于这样的存在问题而作出的，主要目的在于提供能够可靠读取磁信号的，具有伺服图案的磁记录媒体、录放装置以及能够制造这样的磁记录媒体的压模。
发明内容
为了实现上述目的，本发明的磁记录媒体，利用具有至少突出部用磁性材料形成的凸部和凹部的凹凸图案，在基体的至少一个面上的伺服图案区域形成伺服图案，同时在该一个面上的数据记录区域上设置同心圆状或螺旋状的数据记录磁道，形成数据磁道图案，其中，在所述伺服图案区域内的地址图案区域，形成所述凸部，使得构成所述凹凸图案的所述各凹部的沿该基体的旋转方向的各开口长度中离所述数据磁道图案的中心的距离相等的同一半径区域的每一区域的最大开口长度，等于作为该同一半径区域内的该各凹部中的沿该旋转方向的最小开口长度的2倍的第1长度。在这种情况下，所谓「2倍长度」是大约2倍的长度，意味着即使是以上述最小开口长度的2倍为目标，形成能够形成凹部的凸部时有极小程度的制造上的误差，只有制造误差大小的不同的该凹部的开口长度也是最小开口长度的2倍长度(第1长度)。又，所谓制造误差，意味着在开始时另行规定对于「2倍」极小的允许范围，形成能够形成凹部的凸部时，其凹部的开口长度也是最小开口长度的2倍长度(第1长度)。
又，本发明的磁记录媒体，是在上述磁记录媒体中，将与所述各第1长度中的最大长度相等的直径的圆形区域配置在所述伺服图案区域的任一部位时，在该伺服图案区域形成该凸部，使得构成所述凹凸图案的所述凸部的至少一部分包含于该圆形区域内。还有，本说明书中的所谓「凸部的至少一部分包含于圆形区域内」的状态中，包含「构成凹凸图案的凸部与凹部的边界部分(凸部的端部)被包含于圆形区域内的状态」。
还有，本发明磁记录媒体，是在上述磁记录媒体中，利用至少突出端部以所述磁性材料形成的凸部，形成多条所述数据记录磁道，所述各数据记录磁道形成为相邻的该数据记录磁道间的凹部中的所述基体的半径方向上的开口长度在所述各第1长度中的最大长度之下。
又，本发明的磁记录媒体，利用具有至少突出部用磁性材料形成的凸部和凹部的凹凸图案，在基体的至少一个面上的伺服图案区域形成伺服图案，同时在该一个面的数据记录区域上设置同心圆状或螺旋状的数据记录磁道，形成数据磁道图案，其中，在所述伺服图案区域内的地址图案区域，形成所述凸部，使得构成所述凹凸图案的所述各凹部的该基体的旋转方向上的各开口长度为在离所述数据磁道图案的中心的距离相等的同一半径区域内相等的第2长度。在这种情况下，所谓「相等」意味着相互大致相等，即使是以第2长度为目标，形成能够形成凹部的凸部时有极小程度的制造上的误差，只有制造误差大小的不同的该凹部的开口长度也是相等的第2长度。又，所谓制造误差，意味着在开始时另行规定极小的允许范围，形成能够形成凹部的凸部时，其凹部的开口长度也是相等的第2长度。
还有，本发明磁记录媒体，是在上述磁记录媒体中，将与所述各第2长度中的最大长度相等的直径的圆形区域配置在所述伺服图案区域的任一部位时，在该伺服图案区域形成该凸部，使得构成所述凹凸图案的所述凸部的至少一部分包含于该圆形区域内。
还有，本发明磁记录媒体，是在上述任一磁记录媒体中，利用至少突出端部以所述磁性材料形成的凸部，形成多条所述数据记录磁道，所述数据记录磁道形成为相邻的该数据记录磁道之间的凹部的所述基体的半径方向上的开口长度在所述各第2长度中的最大长度之下。
又，本发明的录放装置，具备：上述任一项磁记录媒体、以及根据从该磁记录媒体的所述伺服图案区域读取的规定的信号，执行循迹伺服控制处理的控制部。
又，本发明的压模，是磁记录媒体制造用的压模，形成凹凸图案，所述凹凸图案具有对应于上述任一项磁记录媒体中的所述凹凸图案的凹部形成的凸部、以及对应于所述磁记录媒体的所述凹凸图案的凸部形成的凹部。
采用本发明的磁记录媒体，在地址图案区域形成凸部，使得构成凹凸图案的各凹部的旋转方向上的各开口长度中的各同一半径区域每一区域的最大开口长度等于作为该同一半径区域内的各凹部的沿旋转方向上的最小开口长度的2倍长度的第1长度，因此，在凹部的半径方向上的开口长度有变长的倾向的地址图案区域内不存在沿旋转方向的开口长度过长的凹部(在全部方向上开口长度都比较长的凹部)，因此，在实施形成地址图案区域内的凹凸图案用的印刻处理时(例如在磁记录媒体制造用的中间体的树脂层上复印压模的凹凸图案时)，可以不使用其突出端面具有过宽的凸部的压模，顺利地将压模的凸部压入树脂层。以此能够避免在进行印刻处理时在中间体上产生厚残渣的事态发生。因此能够避免树脂层上形成的各凹部因残渣去除处理而变得过宽的事态发生。因此能够避免磁记录媒体上形成的各凹部过宽。所以能够提供能可靠读取地址数据的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。
又，采用本发明的磁记录媒体，在将与各第1长度中最大长度相等的直径的圆形区域配置在伺服图案区域的任何部位时，通过将凸部形成于伺服图案区域，使得构成凹凸图案的凸部的至少一部分包含于圆形区域内，使得不仅地址图案区域，在伺服图案区域的全部区域都不存在开口长度在全部方向过长(开口面过宽)的凹部，因此，在实施形成伺服图案区域内的凹凸图案用的印刻处理时，可以不使用有其突出端面过宽的凸部的压模，顺利地将压模的凸部压入磁记录媒体制造用的中间体树脂层中。以此能够避免在在印刻处理时中间体上生成后残渣的情况发生，因此能够避免形成于树脂层的各凹部因残渣去除处理而变得过宽。因此能够避免磁记录媒体上形成的各凹部过宽。所以能提供能够可靠读取循迹伺服控制用的数据的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。
还有，采用本发明的磁记录媒体，形成各数据记录磁道，使得相邻的数据记录磁道之间的凹部的基体的半径方向上的开口长度为各第1长度中最长的长度以下的长度，因此，在凹部(磁道间的凹部)的旋转方向上的开口长度变长的数据记录区域内，不存在沿半径方向的开口长度过长的凹部(全部方向上开口长度都较长的凹部)，因此，在实施数据记录区域内的凹凸图案形成用的印刻处理时，不使用具有其突出端面过宽的凸部的的压模，能够将压模的凸部顺利压入磁记录媒体制造用的中间体上的树脂层。这样可以避免在印刻处理时发生厚残渣，因此能够避免树脂层上形成的各凹部因残渣去除处理而变得过宽的事态发生。因此能够避免磁记录媒体上形成的各凹部过宽。所以能够提供能可靠录放的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。
又，采用本发明的磁记录媒体，在地址图案区域上形成凸部，使得构成凹凸图案的各凹部的旋转方向上的各开口长度成为在同一半径区域内相等的第2长度，因此，在凹部的半径方向上的开口长度有变长倾向的地址图案区域内不存在沿旋转方向的开口长度过长的凹部(开口长度在全部方向上较长的凹部)，所以在实施地址图案区域内的凹凸图案形成用的印刻处理时(例如在磁记录媒体制造用的中间体的树脂层上复印压模的凹凸图案时)，不使用具有其突出端面过宽的凸部的压模，能够将压模的凸部顺利压入树脂层。这样可以避免在印刻处理时中间体上生成厚残渣，因此，能够避免树脂层上形成的各凹部因残渣去除处理而变得过宽的事态发生。因此，能够避免磁记录媒体上形成的各凹部变得过宽。所以能够提供可正确读取地址数据的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。
又，采用本发明的磁记录媒体，在将等于各第2长度中最大长度的直径的圆形区域配置在伺服图案区域中的任意部位时，在伺服图案区域形成凸部，使得构成凹凸图案的凸部的至少一部分包含于圆形区域内，这样，不仅地址图案区域，而且伺服图案区域的全部区域中也不存在开口长度在全部方向过长的(开口面过宽的)凹部，所以在实施伺服图案区域内的凹凸图案形成用的印刻处理时，不使用具有其突出端面过宽的凹部的压模，能够将压模的凸部顺利压入磁记录媒体制造用的中间体的树脂层。这样可以避免在印刻处理时中间体上生成厚残渣，因此，能够避免树脂层上形成的各凹部因残渣去除处理而变得过宽的事态发生。因此，能够避免磁记录媒体上形成的各凹部变得过宽。所以能够提供能可靠读取循迹伺服控制用的数据的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。
还有，采用本发明的磁记录媒体，形成各数据记录磁道，使得相邻的数据记录磁道之间的凹部的基体的半径方向上的开口长度为各第2长度中最长的长度以下的长度，因此在凹部(磁道间的凹部)的旋转方向的开口长度变长的数据记录区域内不存在沿半径方向的开口长度过长的凹部(开口长度在全部方向上较长的凹部)，所以在实施数据记录区域内的凹凸图案形成用的印刻处理时，不使用具有其突出端面过宽的凸部的压模，能够将压模的凸部顺利压入磁记录媒体制造用的中间体的树脂层。这样可以避免在印刻处理时生成厚残渣，因此，能够避免树脂层上形成的各凹部因残渣去除处理而变得过宽的事态发生。因此，能够避免磁记录媒体上形成的各凹部变得过宽。所以可提供能稳定录放的磁记录媒体以及具备该磁记录媒体的录放装置。
又，采用本发明的录放装置，具备上述任一项磁记录媒体、以及根据从磁记录媒体的伺服图案区域读取的规定的信号，执行循迹伺服控制处理的控制部，因此，能够不受例如形成于非伺服信号区域的凹凸图案(虚拟图案)的存在的影响地，通过在数据记录区域内的各凸部(数据记录磁道)上的磁头进行记录数据的录放。
又，采用本发明的压模，形成具有与上述任一项磁记录媒体中的凹凸图案的凹部对应形成的凸部和对应于磁记录媒体的凹凸图案的凸部形成的凹部的凹凸图案，在对磁记录媒体制造用的中间体进行印刻(imprint)处理时，由于压模上不存在突出端面过宽的凸部(例如旋转方向上的长度和半径方向上的长度两者都过长的凸部)，因此能够顺利地将压模的凸部压入中间体。因此，可以避免因印刻时凸部的压入量不足而引起的不理想的情况(因残渣去除处理导致磁记录媒体上形成的各凹部过度扩张的事态)发生。因此能够制造可以可靠读取地址数据等的磁记录媒体。
附图说明
图1是硬盘驱动器1的结构图。
图2是磁盘10A的平面图。
图3是表示外围侧区域Ao的数据记录区域At和伺服图案区域Asa上形成的各种图案的一个例子的磁盘10A的平面图。
图4是表示磁盘10A的层结构的剖视图。
图5是表示在数据记录区域At上形成的数据磁道图案40t的一个例子的磁盘10A的平面图。
图6是表示在外围侧区域Ao的前序图案(preamble pattern)区域Ap上形成的数前序图案的一个例子的磁盘10A的平面图。
图7是表示在外围侧区域Ao的地址图案区域Aaa上形成的地址图案的一个例子的磁盘10A的平面图。
图8是表示在外围侧区域Ao的猝发图案(burst pattern)区域Aba的第1猝发区域Ab1和第2猝发区域Ab2上形成的猝发图案的一个例子的磁盘10A的平面图。
图9是表示在外围侧区域Ao的猝发图案区域Aba的第3猝发区域Ab3和第4猝发区域Ab4上形成的猝发图案的一个例子的磁盘10A的平面图。
图10是表示中间体20的层结构的剖视图。
图11是压模30剖视图。
图12是玻璃基体31上形成抗蚀层32的状态的剖视图。
图13是对抗蚀层32照射电子束32a形成潜像32b、32b…的状态的剖视图。
图14是对形成潜像32b、32b…的抗蚀层32进行显像处理，形成凹凸图案33的状态的剖视图。
图15是覆盖着凹凸图案33形成镍层34的状态的剖视图。
图16是利用电镀处理形成镍层35的状态的剖视图。
图17是从玻璃基体31上剥离镍层34、35形成的压模37的剖视图。
图18是在压模37上的凹凸图案36的形成面上形成镍层38的状态(将凹凸图案36复印在镍层38上的状态)的剖视图。
图19是在中间体20的树脂层18上按压压模30的凹凸图案39的状态的剖视图。
图20是从图19所示状态的树脂层18上剥离压模30，在掩模层17上形成凹凸图案41(树脂掩模)的状态的剖视图。
图21是以凹凸图案41作为掩模，对掩模层17进行蚀刻处理，在磁性层14上形成凹凸图案42(掩模)的状态的剖视图。
图22是以凹凸图案42作为掩模，对磁性层14进行蚀刻处理，在中间层13上形成凹凸图案40的状态的剖视图。
图23是覆盖着凹凸图案40形成非磁性材料15的层的状态的中间体20的剖视图。
图24是表示在外围侧区域Ao的数据记录区域的At和伺服图案区域Asb上形成的各种图案的另一个例子的磁盘10B的平面图。
图25是表示在外围侧区域Ao的伺服图案区域Asb的地址图案区域Asb上形成的地址图案的一个例子的磁盘10B的平面图。
图26是表示在猝发图案区域Abc上形成的猝发图案的一个例子的磁盘10C的平面图。
图27是表示磁盘10D的层结构的剖视图。
图28是表示磁盘10E的层结构的剖视图。
图29是已有的磁盘10z平面图。
图30是表示在数据记录区域Atz和伺服图案区域Asz上形成的各种图案的一个例子的磁盘10z的平面图。
图31是在地址图案区域Aaz上形成的地址图案的一个例子的磁盘10z的平面图。
图32是磁盘10z的制造工序中压入压模的凸部39az、39az…(突出端面狭窄的凸部39az、39az…)的状态的树脂层剖视图。
图33是磁盘10z的制造工序中压入压模的凸部39az、39az…(突出端面狭窄的凸部39az、39az…)的状态的树脂层剖视图。
标号说明
1        硬盘驱动器
6        控制部
10A～10E 磁盘
11       玻璃基体
14       磁性层
15       非磁性材料
20       中间体
30       压模
39、40、41、42  凹凸图案
39a、40a、41a、42a  凸部
39b、40b、41b、42b  凹部
40sa～40sc  伺服图案
40t      数据磁道图案
Aaa、Aab   地址图案区域
Ai       内周侧区域
Ao       外周侧区域
Asa～Asc   伺服图案区域
At         数据记录区域
L1、L2、L4、L6   开口长度
L3、L5     长度
L7         直径
O          中心
Q          圆形区域
具体实施方式
以下参照附图对本发明的磁记录媒体、录放装置、以及压模的最佳实施形态进行说明。
图1所示的硬盘驱动器1是本发明的录放装置的一个例子，具备：电动机2、磁头3、检测部4、驱动器5、控制部6、存储部7、以及磁盘10A，形成能够进行各种数据的录放的结构。电动机2按照控制部6的控制以磁盘10A为例，以4200rpm的转速使其恒速旋转。磁头3通过摇臂3a安装于致动器3b上，在对磁盘10A进行记录数据的录放时，利用致动器3b使其在磁盘10A上移动。又，磁头3执行从磁盘10A的伺服图案区域Asa(参照图2)读出伺服数据、对数据记录区域At(参照图2)用磁学方式写入记录数据、读出数据记录区域At上用磁学方法写入的记录数据的任务。还有，磁头3实际上形成于相对磁盘10A使磁头3上浮用的滑动器的底面(空气轴承面)上，但是该滑动器的说明和图示省略。致动器3b在控制部6的控制下利用驱动器5提供的驱动电流使摇臂3a摇动，以此使磁头3向磁盘10A上的任意录放位置移动。
检测部4从磁头3输出的输出信号(模拟信号)取得(检测)伺服数据输出到控制部6。驱动器5按照控制部6输出的控制信号对致动器3b进行控制，使磁头3在所希望的数据记录磁道上(on track)。控制部6对硬盘驱动器1进行综合控制。又，控制部6是本发明的控制部的一个例子，根据输出部4输出的伺服数据(「从伺服图案区域读出的规定的信号」之一例)对驱动器5进行控制(执行循迹伺服控制处理)。存储部7存储控制部6的动作程序等。
另一方面，磁盘10A是本发明的磁记录媒体之一例，与上述电动机2和磁头3等一起配设于硬盘驱动器1的筐体内。该磁盘10A是能够利用垂直记录方式进行数据记录的磁盘读取磁道型的磁盘(形成图案的媒体)，如图4所示，依序在玻璃基体11上形成软磁层12、中间层13以及磁性层14。在这种情况下，磁性层14形成从突出端部(该图中的上端部)到基端部(该图中的下端部)的全体用磁性材料形成的凸部40a、40a…和凸部40a、40a…之间的凹部40b、40b…，构成凹凸图案40。又，在凹部40b、40b…上，埋入二氧化硅等非磁性材料15，使磁盘10A的表面平坦化。而且，在埋入凹部40b、40b…的非磁性材料15和磁性层14(凸部40a)的表面，利用类金刚石碳(DLC)等形成厚度2nm左右的保护层16(DLC膜)。又在保护层16的表面涂布避免磁头3和磁盘10A双方划伤用的润滑剂(例如フオンブリン系润滑剂)。
玻璃基体11相当于本发明中的基体，是对玻璃板进行表面研磨形成厚度为0.6mm左右的圆板状的基体。还有，本发明中的基体不限定于玻璃基体，可以使用铝或陶瓷等各种非磁性材料形成圆板状的基体。软磁层12通过溅射CoZrNb合金等软磁材料形成厚度为100nm～200nm左右的薄膜状层。中间层13是形成磁性层14用的起下底层作用的层，通过对Cr或CoCr非磁性合金等中间层形成用材料进行溅射，形成厚度40nm左右的薄膜状的一层。磁性层14是构成凹凸图案40(图3所示的数据磁道图案40t和伺服图案40sa)的一层，如下所述，通过对例如CoCrPt合金进行溅射形成的层进行蚀刻处理形成凹部40b、40b…。
在这种情况下，如图2所示，在该磁盘10A中，在数据记录区域At、At…之间设置伺服图案区域Asa、Asa…，数据记录区域At以及伺服图案区域Asa规定为在磁盘10A的旋转方向(箭头R的方向)上交叉排列。还有，在本说明书中，以在旋转方向上并排的两个数字记录区域(在本例中为数字记录区域At)夹着的区域(从一个数字记录区域的旋转方向一侧的端部到另一数据记录区域的旋转方向一侧的端部之间的区域)作为伺服图案区域(在本例中为伺服图案区域Asa)。又，数据记录区域的旋转方向一侧的端部假定为与该数字记录区域上形成的多个数据记录磁道(下述凸部40a、40a…)上的旋转方向一侧的各端部的连线形成的假想线段(磁道的半径方向上的直线状或圆弧状的线段)一致。
又，装载该磁盘10A的硬盘驱动器1，如上所述，形成电动机2按照控制部6的控制使磁盘10A以一定的角速度旋转的结构。因此，在该磁盘10A中，与每单位时间通过磁头3下方的磁盘10A上的长度成正比，沿着磁盘10A的旋转方向的数据记录区域At的长度以及沿着旋转方向的伺服图案区域Asa的长度，规定为越离开数据磁道图案40t的中心O越长(数据记录区域At和伺服图案区域Asa，比起内周侧区域Ai，越是往外周侧区域Ao宽度越大)。其结果是，数据记录区域At内形成的数据记录磁道(凸部40a)中的沿着突出端面的旋转方向的长度、形成于伺服图案区域Asa内的伺服图案40sa用的各凸部40a、40a…的突出端面的旋转方向上的基准的长度、以及伺服图案40sa用的各凸部40b、40b…的旋转方向上的基准的开口长度(例如与单位信号长度对应的长度)，与磁盘10A的内周侧区域Ai相比，越往外周侧区域Ao越长。在下面的说明中将凸部的突出端面的长度称为「凸部的长度」。
在这种情况下，伺服图案区域Asa内的各凸部40a、40a…中的突出端面的沿旋转方向的基准长度、和各凹部40b、40b…的沿旋转方向的基准的开口长度，在磁盘10A的半径方向上相邻的数十条磁道的范围内长度大致相等。因此在本说明书中，假设在该数十条磁道范围内沿旋转方向的基准的长度的基准的开口长度相等进行说明。具体地说，假定例如包含在内周侧区域Ai中的数十条磁道的范围内沿旋转方向的基准的长度和基准的开口长度相等，包含在外周侧区域Ao内的数十条磁道的范围内沿着旋转方向的基准的长度和基准的开口长度相等。又，对于形成于各伺服图案区域Asa中的凹部40b、40b…中的沿旋转方向的开口长度在说明时没有特别限定，限于这种情况，以与数据磁道图案40t的中心O的距离相等的同一半径位置(相同半径的区域内)的对应的开口长度为基准进行说明。
又，如图3所示，在数据记录区域At形成数据磁道图案40t。还有，在该图和后面参照的图5～9、24～26中用斜线标出的区域表示凹凸图案40中的凸部40a的形成区域。在这种情况下，如图5所示，数据磁道图案40t由以中心O(参照图2)为中心的同心圆状(或螺旋状)的多个凸部40a、40a…(数据记录磁道)、以及各凸部40a、40a…之间的凹部40b、40b…(磁道间的凹部)构成。还有，最好是磁盘10A的旋转中心与数据磁道图案40t的中心O一致，但是，存在在磁盘10A的旋转中心与数据磁道图案40t的中心O之间由于制造误差引起30～50微米的极小偏差的情况。但是，如果是这样的程度的偏差量，则能够充分地进行对磁头3的循迹伺服控制，因此旋转中心和中心O可以说实质上是相同的。
又如图5所示，在该磁盘10A的数据记录区域At，作为一个例子，凸部40a(数据记录磁道)的突出端面的沿半径方向的长度L3与凹部40b(磁道间的凹部)的沿半径方向的开口长度L4长度相等(长度之比为1∶1)。又，在该磁盘10A中，数据记录区域At上形成的凸部40a的沿半径方向的长度L3以及凹部40b的沿半径方向的开口长度L4，在从磁盘10A的内周侧区域Ai到外周侧区域Ao规定为相等的长度。在这种情况下，凹部40b的沿半径方向的开口长度L4规定为在伺服图案区域Asa(地址图案区域Aaa)上形成的凹部40b、40b…的沿旋转方向的各开口长度中的最大开口长度(下述开口长度L2a：参照图7)以下。而且，在数据磁道图案40t的凹部40b、40b…埋入非磁性材料15，并使数据记录区域At平滑化。
另一方面，如图3所示，在伺服图案区域Asa形成具有在前序图案区域Ap上形成的前序图案、在地址图案区域Aaa上形成的地址图案、在猝发图案区域Aba上形成的猝发图案、以及在非伺服信号区域Ax上形成的虚拟图案的伺服图案40sa。在这种情况下，前序图案区域Ap、地址图案区域Aaa、以及猝发图案区域Aba上形成的伺服图案40sa相当于与本发明中的「循迹伺服控制用的控制信号」对应的图案。又，伺服图案40sa其凸部40a、40a…以及凹部40b、40b…的形成位置和各自的大小(沿旋转方向的长度和开口长度等)对应于本发明中的「循迹伺服控制用的控制信号」进行规定。
具体地说，形成于前序图案区域Ap上的前序图案，是对从地址图案区域Aaa等读取各种控制信号用的基准数据块，根据磁盘10A的旋转状态(旋转速度)进行修正用的伺服图案，如图6所示，在磁盘10A的半径方向上(该图中的上下方向上)长的带状的凸部40a、40a…沿着磁盘10A的旋转方向(箭头R的方向)夹着凹部40b、40b…形成。在这种情况下，形成于前序图案区域Ap上的凸部40a、40a…上的突出端面的沿旋转方向的长度L5、以及凹部40b、40b…的沿旋转方向的开口长度L6，规定为在离中心O的距离相等的同一半径位置上长度相等，而且，比起内周侧区域Ai，外周侧区域Ao一侧更长。又，形成于前序图案区域Ap上的凹部40b、40b…上的沿旋转方向的开口长度L6，规定为例如与同一半径位置上的地址图案区域Aaa上形成的凹部40b、40b…的沿旋转方向的各开口长度中的最小长度(下述开口长度L1：参照图7)相等。还有，前序图案的凸部40a的沿旋转方向的长度L5、以及凹部40b的开口长度L6不限于上述例子，又可以规定为凸部40a的长度L5与凹部40b的开口长度L6长度相互不同。
又，形成于地址图案区域Aaa上的地址图案，是对应于表示磁头3在磁道上(on track)的磁道的磁道编号等的地址数据形成的伺服图案，如图7所示，凸部40a、40a…的突出端面的沿圆周方向的各长度与沿着凹部40b、40b…的旋转方向的各开口长度对应于上述地址数据规定。在这种情况下，在该磁盘10A中，地址数据记录于根据曼彻斯特代码、双相M代码等进行编码后记录于地址图案区域Aaa。具体地说，例如，在与曼彻斯特代码的高电平对应形成凸部40a的同时，对应于低电平形成凹部40b，以此在地址图案区域Aaa形成与地址数据的数据内容对应的凹凸图案40。
在该磁盘10A，形成于地址图案区域Aaa的凹部40b、40b…中的旋转方向上的各开口长度中的同一半径位置上的最小开口长度L1，作为一个例子，规定为等于同一半径位置的前序图案区域Ap上形成的凹部40b中的旋转方向上的开口长度L6。又，形成于地址图案区域Aaa的凹部40b、40b…中的旋转方向上的各开口长度中的同一半径位置上的最大开口长度L2(本发明中的「第1长度」的一个例子)，作为一个例子，规定为同一半径位置上的上述开口长度L1的2倍长度。在这种情况下，在这种磁盘10A中，如上所述，沿旋转方向的基准的开口长度，比起内周侧区域Ai，越往外周侧区域Ao越长，因此在这种磁盘10A中，外周侧区域Ao的地址图案区域Aaa内的凹部40b、40b…中的旋转方向上的各开口长度中最大的开口长度L2(以下在将各开口长度L2中的最大的长度与其他开口长度L2进行区别时也称为「开口长度L2a」)相当于本发明中的「各第1长度中的最大长度」，该开口长度L2a成为伺服图案区域Asa内的凹部40b、40b…中旋转方向上的各开口长度中的最大开口长度。还有，在这种磁盘10A中，地址数据根据曼彻斯特代码进行编码形成地址图案，因此在地址图案区域Aaa内的各同一半径位置上，构成地址图案(伺服图案40sa)的各凹部40b、40b…的旋转方向上的开口长度(硬盘驱动器1中作为低电平识别的信号长度)只有上述开口长度L1、L2两种。
又，如图3所示，猝发图案区域Aba具有第1触发区域Ab1至第4猝发区域Ab4的各猝发区域、以及非伺服信号区域Axb、Axb…。在这种情况下，形成于第1猝发区域Ab1至第4猝发区域Ab4上的猝发图案为使磁头3在所希望的磁道上用的位置检测用的服务图案，如图8、9所示，沿着磁盘10A的旋转方向，多个凹部40b、40b…夹着凸部40a形成，以此形成凸部40a和凹部40b沿着旋转方向交替排列的区域、以及凸部40a在旋转方向上连续的区域。在这种情况下，在该磁盘10A中，猝发图案区域Aba中的猝发信号单位部(在猝发图案区域Aba内沿旋转方向排列的多个矩形区域)用凹部40b、40b…构成。因此，将猝发信号单位部与凸部40a、40a…构成的磁盘相比，猝发图案区域Aba内的磁性层14的表面积足够大。其结果是，猝发图案区域Aba通过磁通3的下方时，可以使从磁通3输出的输出信号的信号电平足够强。
又，在这种磁盘10A中，作为一个例子，在猝发图案区域Aba中的第1猝发区域Ab1至第4猝发区域Ab4中，沿着旋转方向排列凹部40b、40b…中的沿旋转方向的开口长度L6，规定为等于在同一半径位置上的地址图案区域Aaa上形成的的凹部40b的旋转方向上的最小开口长度L1、以及在前序图案区域Ap上形成的凹部40b中的同一半径位置的旋转方向上的开口长度L6。而且，形成于猝发图案区域Aba上的凹部40ba、40b…之间凸部40a的旋转方向上的长度L5，作为一个例子，规定为等于同一半径上的前序图案区域Ap上形成的凸部40a的旋转方向上的长度L5。还有，形成于第1猝发区域Ab1至第4猝发区域Ab4上的凸部40a的凹部40b、40b…之间的旋转方向上的长度L5和凹部40b、40b…的旋转方向上的开口长度L6不限定于上述例子，又可以规定为凸部40a的长度L5与凹部40b的开口长度L6互不相同。
又，如图3所示，在数据记录区域At与前序图案区域Ap之间、前序图案Ap与地址图案区域Aaa之间、地址图案区域Aaa与猝发图案区域Aba之间、以及猝发图案区域Aba与数据记录区域At之间，分别规定非伺服信号区域Ax。又，在猝发图案区域Aba的第1猝发区域Ab1与第2猝发区域Ab2之间、第2猝发区域Ab2与第3猝发区域Ab3之间、以及第3猝发区域Ab3与第4猝发区域Ab4之间，如上所述分别形成非伺服信号区域Axb。这些非伺服信号区域Ax、Axb是制造时为了将压模30(参照图11)的凸部39a、39a…顺利压入树脂层18，形成作为虚拟图案的凹凸图案40的区域，作为一个例子，与在上述前序图案区域Ap以及猝发图案区域Aba(第1猝发区域Ab1至第4猝发区域Ab4)上形成的各种图案相同(相同形状)的图案形成为虚拟图案。
具体地说，如图3所示，在数据记录区域At与前序图案区域Ap之间的非伺服信号区域Ax(图中最左侧的非伺服信号区域Ax)，形成与在前序图案区域Ap上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40。又在猝发图案区域Aba与数据记录区域At之间的非伺服信号区域Ax(图中最右侧的非伺服信号区域Ax)上，形成与猝发图案区域Aba中的第4猝发区域Ab4上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40。而且，在前序图案区域Ap与地址图案区域Aaa之间的非伺服信号区域Ax上形成与前序图案区域Ap上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40。又，在地址图案区域Aaa与猝发图案区域Aba之间的非伺服信号区域Ax上形成与猝发图案区域Aba上的第1猝发区域Ab1上形成的伺服图案40as同种的凹凸图案40。
又，在第1猝发区域Ab1与第2猝发区域Ab2之间的非伺服信号区域Axb(图中左侧的非伺服信号区域Axb)，与第1猝发区域Ab1上形成的伺服图案40a同种的凹凸图案40形成于旋转方向上的第1猝发区域Ab1一侧，同时与第2猝发区域Ab2上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40形成于旋转方向上的第2猝发区域Ab2一侧。而且，在第2猝发区域Ab2与第3猝发区域Ab3之间的非伺服信号区域Ab1(该图中的中央的非伺服信号区域Axb)上，与第2猝发区域Ab2上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40形成于旋转方向上的第2猝发区域Ab2一侧，同时与第3猝发区域Ab3上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40形成于旋转方向上的第3猝发区域Ab3一侧。又，在第3猝发区域Ab3与第4猝发区域Ab4之间的非伺服信号区域Axb(图中右侧的非伺服信号区域Axb)上，与第3猝发区域Ab3上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40形成于旋转方向上的第3猝发区域Ab3一侧，同时与第4猝发区域Ab4上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40形成于旋转方向上的第4猝发区域Ab4一侧。
因此，在该磁盘10A中，在伺服图案区域Asa内正好不存在非伺服信号区域Ax，前序图案区域Ap、地址图案区域Aaa、以及猝发图案区域Aba在视觉上被视为相互连续连接的状态，同时在猝发图案区域Aba内正好不存在非伺服信号区域Axb，从第1猝发区域Ab1到第4猝发区域Ab4的各猝发区域被视为相互连续连接的状态。但是，在对这种磁盘10A进行记录数据的录放时，虽然利用磁头3执行从非伺服信号区域Ax、Ab读取磁信号等工作，但是，对应于该非伺服信号区域Ax、Axb上形成的凹凸图案40的数据由控制部6判定为与是循迹伺服用的伺服数据不同的数据。因此，对于非伺服信号区域Ax、Axb内形成的凸部40a的长度和凹部40b的开口长度，可以不受其他图案的长度的影响地，在能够使得制造工序中的印刻处理顺利进行的范围内任意规定。又，对于凸部40a和凹部40b的形状也可以任意规定。
在这种磁盘10A中，如上所述，在数据记录区域At上形成的凸部40a、40a…之间的凹部40b的沿半径方向的开口长度L4，被规定为形成于伺服图案区域Asa上的凹部40b、40b…的旋转方向上的各开口长度中的最大的长度(在这一例子中，外周侧区域Ao中的地址图案区域Aaa内的凹部40b的旋转方向上的各开口长度中最大的开口长度L2a)以下。因此，如图5所示，在将其直径与地址图案区域Aaa内的最大开口长度L2a相等的圆形区域Qa配置在数据记录区域At内的任一部位时，在该圆形区域Qa内包含了凸部40a的至少一部分。又，这种磁盘10A，如上所述形成于前序图案区域Ap的凹部40b的沿旋转方向的开口长度L6被规定为等于在伺服图案区域Asa上形成的同一半径位置的凹部40b、40b…中的沿旋转方向的各开口长度中的最小开口长度L1。在这种情况下，如上所述，开口长度L1为开口长度L2的1/2长度，因此如图6所示，在将其直径与地址图案区域Aaa内的最大开口长度L2a相等的圆形区域Qa配置在前序图案区域Ap内的任一部位时，在该圆形区域Qa内包含凸部40a的至少一部分。
而且，这种磁盘10A，如上所述，地址数据根据曼彻斯特编码等编码后，地址图案形成于地址图案区域Aaa，因此即使是在地址数据中「1」多个连续的情况下，凹部40b也不沿着旋转方向连续形成，由开口长度L1(最小的长度)的凹部40b、开口长度L2(最大的长度)的凹部40b、以及凸部40a构成凹凸图案40(地址图案)。在这种情况下，开口长度L1为开口长度L2的1/2，因此在将与地址图案区域Aaa内的最大开口长度L2a相等的圆形区域Qa配置在地址图案区域Aaa内的任一部位时，在该圆形区域Qa内包含凸部40a的至少一部分。还有，地址图案区域Aaa内配置的圆形区域Qa与在地址图案区域Aaa内与作为最大开口长度L2a的凹部40b的内接圆一致的状态下，在该圆形区域Qa内包含凸部40a与凹部40b的边界部分。在这种情况下，在本说明书中，如上所述将包含凸部40a和凹部40b的边界部分的状态作为「包含凸部40a的一部分的状态」。
又，在这种磁盘10A中，如上所述，在猝发图案区域Aba上的第1猝发区域Ab1至第4猝发区域Ab4上形成的凹部40b的沿旋转方向的开口长度L6，被规定为等于在伺服图案区域Asa上形成的同一半径位置的凹部40b、40b…的沿旋转方向的各开口长度中最小的开口长度L1。在这种情况下，开口长度L1为开口长度L2的1/2，因此，如图8、9所示，在将其直径与地址图案区域Aaa内的最大开口长度L2a相等的圆形区域Qa配置在第1猝发区域Ab1至第4猝发区域Ab4内的任意部位时，在该圆形区域Qa内包含凸部40a的至少一部分。
还有，在该磁盘10A中，如上所述，在非伺服信号区域Ax、Axb上形成与前序图案区域Ap以及猝发图案区域Aba(第1猝发区域Ab1至第4猝发区域Ab4)上形成的伺服图案40sa同种的凹凸图案40。从而，如图3所示，即使在前序图案区域Ap以及猝发图案区域Aba(第1猝发区域Ab1至第4猝发区域Ab4)内的任一位置上配置圆形区域Qa，也在圆形区域Qa内包含凸部40a的至少一部分的这种磁盘10A中，在形成与这些区域同种的伺服图案40sa的非伺服信号区域Ax、Axb的任一部位上配置圆形区域Qa时，在该圆形区域Qa内包含凸部40a的至少一部分。
这样，在这种磁盘10A中，形成这样的结构，即在数据记录区域At、At…以及伺服图案区域Asa、Asa…的全部区域，形成凸部40a，使得在任意配置的圆形区域Qa内包含凸部40a的至少一部分，构成数据磁道图案40t及伺服图案40sa。换句话说，在这种磁盘10A中，在数据记录区域At、At…以及伺服图案区域Asa、Asa…的全部区域，对于凹部40b、40b中的开口面的任一方向的开口长度(在本例中是凹部40b的旋转方向上的开口长度以及半径方向上的开口长度中的任一长度)比上述圆形区域Qa的直径(在本例中为开口长度L2a)短(或相等)。也就是说，在本磁盘10A中，与已有的磁盘10z不同，开口面过宽的凹部40b在数据记录区域At、At…以及伺服图案区域Asa、Asa…中的任一区域都不存在地，形成数据磁道图案40t以及伺服图案40sa。
下面对磁盘10A的制造方法进行说明。
在制造上述磁盘10A时，使用图10所示的中间体20和图11所示的压模30。在这种情况下，如图10所示，中间体20形成为软磁性层12、中间层13以及磁性层14按照这一顺序在玻璃基体11上形成，同时磁性层14上形成掩模层17和厚度80nm左右的树脂层(抗蚀层)18的结构。另一方面，压模30是本发明的磁记录媒体制造用的压模的一个例子，如图11所示，形成能够形成用于磁盘10A中的凹凸图案40(数据磁道图案40t和伺服图案40sa)的形成的凹凸图案41的凹凸图案39，形成能够利用印刻法制造磁盘10A的结构。在这种情况下，压模30的凹凸图案39形成为如下结构，即凸部39a、39a…对应于磁盘10A的凹凸图案40中的凹部40b、40b…，凹部39b、39b…对应于凹凸图案40中的凸部40a、40a…。因此压模30中的凹凸图案39形成凸部39a、39a…h凹部39b、39b…，以形成其突出端面过宽的凸部39a不存在的结构。
在制造这种压模30时，如图12所示，首先在玻璃基体31上，作为一个例子，在旋转涂布正型抗蚀剂之后，进行烘烤处理，以此将厚度为150nm左右的抗蚀剂层32形成于玻璃基体31上。接着，如图13所示，在与压模30的凹部39b、39b…对应的部位(即与磁盘10A的凸部40a、40a对应的部位)上照射电子束32a，在抗蚀剂层32上形成潜像32b(磁道图案和伺服图案)。接着，通过执行对抗蚀剂层32的显像处理，如图14所示，在玻璃基体31上形成由抗蚀剂层32构成的凹凸图案33。接着，如图15所示，利用溅射方法覆盖着凹凸图案33的凸部33a、33a…以及凹部33b、33b…形成厚度30nm左右的镍层34。接着，将该镍层34作为电极使用进行电镀，如图16所示，以此在镍层34上形成镍层35。这时，利用抗蚀剂层32形成的凹凸图案33被复印到镍层34、35的叠层体上，在凹凸图案33中的凸部33a、33a…的部位上形成凹部36b、36b…，同时在凹部33b、33b…的部位上形成凸部36a、36a，在镍层34、35的叠层体上形成凹凸图案36。
接着，通过将玻璃基体31、抗蚀剂层32以及镍层34、35的叠层体浸在抗蚀剂剥离液中，以此去除镍层34、35的叠层体与玻璃基体31之间的抗蚀剂层32。如图17所示，以此从玻璃基体31上剥离镍层34、35的叠层体，完成压模37。接着，将压模37作为主压模使用制作压模30。具体地说，首先，执行对压模37的表面处理，以此在压模37的凹凸图案36的形成面上形成氧化膜。接着，如图18所示，在形成好氧化膜的压模37上利用电镀处理形成镍层38。这时，压模37的凹凸图案36被复印于镍层38上，在凸部36a、36a…的部位上形成凹部39b、39b…，同时，在凹部36b、36b…的部位上形成凸部39a、39a…，在镍层38上形成凹凸图案39。然后，在从镍层38上剥离压模37之后，将镍层38的背面(凹凸图案39的形成面的背面)研磨使其平坦化，如图11所示，以此完成压模30的制作。
另一方面，在制造中间体时，首先在玻璃基体11上通过溅射CoZrNb合金在玻璃基体11上形成软磁性层12，然后通过在软磁性层12上溅射中间层形成用材料，以此形成中间层13。接着，通过在中间层13上溅射CoCrPt合金以此形成厚度15nm左右的磁性层14。接着，在磁性层14上形成掩模层17，然后再在掩模层17上，例如旋转喷涂抗蚀剂形成厚度80nm左右的树脂层18。如图10所示以此完成中间体20。
接着，如图19所示，利用印刻方法在中间体20的树脂层18上复印压模30的凹凸图案39。具体地说，在中间体20的树脂层18上按压压模30上的凹凸图案39的形成面，以此将凹凸图案39的凸部39a、39a…压入中间体20的树脂层18。这时，用该压模30制造的磁盘10A如上所述，在伺服图案区域Asa的全部区域和数据记录区域At的全部区域，使得凹部40b、40b…中的任一方向上的开口长度(在本例中为凹部40b中的旋转方向上的开口长度和半径方向上的开口长度中的任一个)比圆形区域Qa的直径(在这一例子中为开口长度L2a)短(或相等)。因此在制造这种磁盘10A用的压模30A上，在磁盘10A的对应于伺服图案区域Asa和数据记录区域At的全部区域，形成凹部39b、39b…，使得具有超过上述圆形区域Qa的直径(在本例子中为开口长度L2a)的直径的内接圆能够存在的突出端面的凸部39a不存在(突出端面过宽的凸部39a不存在)因此，凸部39a、39a…被顺利压入树脂层18中，其结果是，压模30的凸部39a的前端部与中间体20的掩模层17之间不生成厚残渣，凸部39a、39a…能够压入树脂层18足够的深度。
接着，从中间体20上剥离压模30，再利用氧等离子体处理去除底面上残留的树脂(残渣)，如图20所示，以此在中间体20上的掩模层17上形成树脂层18构成的凹凸图案41。接着，以上述凹凸图案41(树脂层18)作为掩模使用进行蚀刻处理，对在凹凸图案41上的凹部41b、41b…的底部从掩模(凸部41a、41a…)露出的掩模层17进行蚀刻，如图21所示，在中间体20的掩模层17上形成具有凸部42a和凹部42b的凹凸图案42。接着以凹凸图案42(掩模层17)作为掩模使用进行蚀刻处理，以此对在凹凸图案42的凹部42b、42b…的底部从掩模(凸部42a、42a…)露出的磁性层14进行蚀刻，如图22所示，以此在中间体20的磁性层14上形成具有其突出端面的宽度大约等于压模30上的凹部39b的开口面的凸部40a和其开口面的宽度大约等于压模30上的凸部39a的突出端面的凹部40b的凹凸图案40(数据磁道图案40t及伺服图案40s)。接着，对凸部40a、40a…上残存的掩模层17有选择地进行蚀刻处理，以此完全去除残留的掩模层17，使凸部40a、40a…的突出端面露出。
接着，如图23所示，溅射作为非磁性材料15的SiO2。这时，利用非磁性材料15将凹部40b、40b…完全埋没，而且对非磁性材料15充分进行溅射以在凸部40a、40a…上形成厚度例如60nm左右的非磁性材料15的层。接着，对磁性层14上(凸部40a、40a…上和凹部40b、40b上)的非磁性材料15的层进行离子束蚀刻。这时，继续进行离子束蚀刻，各凸部40a、40a…上的突出端面从非磁性材料15露出。以此使中间体20的表面平坦化。接着，利用CVD法覆盖着中间体20的表面形成类金刚石碳(DLC)薄膜，以此形成保护层16后，在保护层16的表面涂布平均厚度为例如2nm左右的フオンブリン系润滑剂。如图4所示，以此完成磁盘的制作。
在装载这种磁盘10A的硬盘驱动器1中，如上所述，对磁盘10A进行记录数据的录放时，与非伺服信号区域Ax、Ax…和非伺服信号区域Axb、Axb…上形成的凹凸图案40对应的数据被控制部6判别为与循迹伺服用的伺服数据不同的数据。具体地说，控制部6根据从包含检测部4输出的伺服数据的数据中与形成于前序图案区域Ap、地址图案区域Aaa和猝发图案区域Aba(除非伺服信号区域Axb以外)上的凹凸图案40对应的数据对驱动器5进行控制，以此驱动致动器3b，使磁头3在所希望的磁道上。
又，该硬盘驱动器1根据对应于地址图案区域Aaa上形成的图案40从检测部输出的数据提取地址数据时，控制部6将检测部4的输出数据用曼彻斯特代码或双相M代码等编码后输出的数据解码。其结果是，根据从地址图案区域Aaa读取的地址数据和从猝发图案区域Aba读取的猝发信号等进行循迹伺服控制，能够使磁头3在所希望的数据记录磁道(凸部40a、40a…)上。这样，能够通过在数据记录区域At内的凸部40a、40a…(数据记录磁道上)上的磁头3进行记录数据的录放。
这样，采用这种磁盘10A和硬盘驱动器1，在地址图案区域Aaa上形成凸部40a，使得各凹部40b、40b…上的沿旋转方向的各开口长度中的各同一半径区域的每一个的最大开口长度L2为该同一半径区域内的各凹部40b、40b…中的沿旋转轴方向的最小开口长度L1的2倍长度(本发明中的第1长度)，因此，在凹部40b、40b…中的沿半径方向的开口长度有变长倾向的地址图案区域Aaa内，不存在沿旋转方向的开口长度过长的凹部40b(在全部方向上开口长度较长的凹部40b)，因此，在实施形成地址图案区域Aaa内的凹凸图案40用的印刻处理时(在本例中是，在中间体20的树脂层18上复印压模30的凹凸图案39时)可以不使用具有其突出端面过宽的凸部的压模地，顺利地将压模30上的凸部39a、39a…压入树脂层18。这样，能够避免在印刻处理时在掩模层17上生成厚残渣的事态发生。因此能够避免凹部41b、41b…的部位上最终形成的凹部40b、40b…过宽的情况发生。因此能够提供可以正确读取地址数据的磁盘10A以及具备该磁盘10A的硬盘驱动器1。
又，采用这种磁盘10A以及硬盘驱动器1，在将与各开口长度L2(第1长度)中的最大开口长度L2a相等的直径的圆形区域Qa配置在伺服图案区域Asa的任一部位时，通过在伺服图案区域Asa上形成凸部40b，以使凸部40a的至少一部分包含于圆形区域Qa内，这样，不仅地址图案区域Aaa，而且在伺服图案区域Asa的全部区域都不存在在全方向上开口长度过长的(开口面过宽的)凹部40b，因此在实施形成伺服图案区域Asa内的凹凸图案40用的印刻处理时，可以不使用具有其突出端面过宽的凸部的压模，顺利地将压模30上的凸部39a、39a…压入树脂层18。这样，能够避免在印刻处理时在掩模层17上生成厚残渣的事态发生，因此能够避免因进行残渣去除处理而使得凹部41b、41b…过宽的情况发生。从而能够避免凹部41b、41b…的部位上最终形成的凹部40b、40b…过宽的情况发生。因此能够提供可以正确读取循迹伺服控制用的数据的磁盘10A以及具备该磁盘10A的硬盘驱动器1。
还有，采用这种磁盘10A和硬盘驱动器1，形成各数据记录磁道，使相邻的数据记录磁道(凸部40a、40a…)之间的凹部40b(磁道之间的凹部)的基体的半径方向上的开口长度L4在各长度L2(第1长度)中的最大开口长度L2a以下，因此在凹部40b的旋转方向上的开口长度变长的数字记录区域At内不存在半径方向上的开口长度过长的凹部40b(在全部方向上开口长度较长的凹部40b)，因此在实施形成数据记录区域At内的凹凸图案40用的印刻处理时，可以不使用具有其突出端面过宽的凸部的压模，顺利地将压模30的凸部39a、39a…压入树脂层18。以此能够避免在进行印刻处理时生成厚残渣的事态发生，因此能够避免因进行残渣去除处理而使得凹部41b、41b…过宽的情况发生。从而能够避免凹部41b、41b…的部位上最终形成的凹部40b、40b…过宽的情况发生。因此能够提供可以稳定地进行录放的磁盘10A以及具备该磁盘10A的硬盘驱动器1。
又，采用这种硬盘驱动器1，具备根据磁盘10A和从磁盘10A上的伺服数据区域Asa读取的规定的信号执行循迹伺服控制处理的控制部6，因此能够不受非伺服信号区域Ax上形成的凹凸图案40(虚拟图案)的存在影响地，通过在数据记录区域At内的凸部40a、40a…(数据记录磁道)上的磁头3进行记录数据的录放。
又，采用制造这种磁盘10A用的压模30，形成具有与磁盘10A上的凹凸图案40的凹部40b、40b…对应形成的凸部39a、39a…、以及与磁盘10A中的凹凸图案40的凸部40a、40a…对应形成的凹部39b、39b…的凹凸图案39，这样，由于在对中间体20进行印刻处理时在压模30上不存在突出端面过宽的凸部39a(例如旋转方向上的长度和半径方向上的长度两者都过长的凸部39a)，因此，能够顺利地将凹凸图案39(凸部39a、39a…)压入中间体20。从而能够避免在进行印刻处理时由于凸部39a、39a的压入量不足而造成不理想的情况(因进行残渣去除处理而使得各凹部41b过宽的情况)发生。因此能够制造能够可靠读取地址数据等的磁盘10A。
下面参照附图以本发明的磁记录媒体的另一例子、即将磁盘10B装载于硬盘驱动器1的例子进行说明。还有，对于与上述磁盘10A和装载磁盘10A的硬盘驱动器1相同的结构要素标以相同的符号并省略其重复说明。
磁盘10B如图24所示，取代磁盘10A中的伺服图案区域Asa，在数据记录区域At、At之间规定伺服图案区域Asb构成。该伺服图案区域Asb具备地址图案区域Aab，以此取代磁盘10A的伺服图案区域Asa中的地址图案区域Aaa。在这种情况下，在磁盘10B中，形成于前序图案区域Ap、地址图案区域Aab以及猝发图案区域Aba上的伺服图案40sb相当于与本发明中的「循迹伺服控制用的控制信号」对应的图案。又，在该磁盘10B中，在数据记录区域At上形成的数据磁道图案40t上的凸部40a、40a(数据记录磁道)之间的凹部40b(磁道之间的凹部)的半径方向上的开口长度L4，被规定为在伺服图案区域Asb上形成的凸部40a、40a…的旋转方向上的各开口长度中的最大开口长度(下述开口长度L1a：参照图25)以下。而且，在前序图案区域Ap上形成的凹部40b中的突出端面的旋转方向上的开口长度L6，规定为等于例如同一半径位置上的地址图案区域Aab上形成的凹部40b、40b…的沿旋转方向的各开口长度(下述开口长度L1：参照图25)。
又，如图25所示，在地址图案区域Aab上形成的伺服图案40sb(地址图案)，凸部40a、40a…上的突出端面的旋转方向上的各长度和凹部40b、40b…的旋转方向上的各开口长度对应于地址数据规定。在这种情况下，在该磁盘10B中，作为一个例子，地址数据通过使RZ(Return-to-Zero)代码的高电平与低电平反转(与通常的RZ代码不同，「0」时比特期间全体为高电平，「1」时比特期间的前半部分为低电平，后半部分为高电平地变化)进行编码，记录于地址图案区域Aab。具体地说，对应于该代码的高电平形成凸部40a，同时对应于低电平形成凹部40b，以此在地址图案区域Aab内形成与地址数据的数据内容对应的凹凸图案。因此，在该磁盘10B中，在地址图案区域Aab内的各同一半径位置上，构成地址图案(伺服图案40sa)的各凹部40b、40b…中的旋转方向上的各开口长度(硬盘驱动器1中识别为低电平的信号长度)为相等的开口长度L1(本发明中的「第2长度」的一个例子)的唯一一种。在这种情况下，该磁盘10B中，与上述磁盘10A相同，旋转方向上的基准长度和基准开口长度，与内周侧区域Ai相比，越往外周侧区域Ao越长。因此，在这种磁盘10B中，外周侧区域Ao中的地址图案区域Aab内的凹部40b、40b…中的各开口长度L1相当于本发明中的「各第2长度中最大的长度」。以下在将各开口长度L1中的最大长度与其他开口长度L1区别时，记为「开口长度L1a」。
又，在该磁盘10B中，如图24所示，猝发图案区域Aba中的第1猝发区域Ab1至第4猝发区域Ab4中，沿旋转方向排列的凹部40b、40b…中的旋转方向上的开口长度L6被规定为等于同一半径位置上的地址图案区域Aab上形成的凹部40b上的旋转方向上的开口长度L1和同一半径位置上的前序图案区域Ap上形成的凹部40b的旋转方向上的开口长度L6。还有，猝发图案区域Aab上形成的凹部40b、40b…之间的凸部40a的旋转方向上的长度L5规定为等于例如同一半径上的前序图案区域Ap上形成的凸部40b的旋转方向上的长度L5。又，在猝发图案区域Aba中的第1猝发区域Ab1和第2猝发区域Ab2之间，第2猝发区域Ab2和第3猝发去Ab3之间、以及第3猝发区域Ab3与第4猝发区域Ab4之间，与上述磁盘10A一样，分别设置非伺服信号区域Axb，在制造时为顺利地将压模30的凸部39a、39a…压入树脂层18，形成虚拟图案。而且如图24所示，在数据记录区域At与前序图案区域Ap之间、前序图案区域Ap与地址图案区域Aab之间、地址图案区域Aab与猝发图案区域Aba之间以及猝发图案区域Aba与数据记录区域At之间，与上述磁盘10A一样，被分别规定非伺服信号区域Ax。
在这种磁盘10B中，如上所述，形成于数据记录区域At上的凹部40b的半径方向上的开口长度L4被规定为在伺服图案区域Asb上形成的凹部40b、40b…的旋转方向上的各开口长度L1中最大开口长度(在本例中为外周侧区域Ao中的地址图案区域Aab内的凹部40b的旋转方向上的各开口长度L1a)以下。因此，在将其直径等于地址图案区域Aab内的最大开口长度L1a的圆形区域Qb(参照图25)配置在数据记录区域At内的任意部位时，在其圆形区域Qb内包含凸部40a的至少一部分。又，在该磁盘10B中，如上所述，在前序图案区域Ap上形成的凹部40b的旋转方向上的开口长度L6被规定为等于在伺服图案区域Asb上形成的同一半径位置的凹部40b、40b…的旋转方向上的各开口长度L1。因此，在将其直径与地址图案区域Aab内的最大开口长度L1a相等的圆形区域Qb(参照图25)配置在前序图案区域Ap内的任一部位上时，在该圆形区域Qb内包含凸部40a的至少一部分。还有，在配置在前序图案区域Ap内的圆形区域Qb与凹部40b的开口面上的内接圆一致的状态下，在该圆形区域Qb内包含凸部40a与凹部40b的边界部分。在这种情况下，本说明书中如上所述将包含凸部40a与凹部40b的边界部分的状态作为「包含凸部40a的一部分的状态」。
还有，在这种磁盘10B中，如上所述，地址数据通过使RZ代码的高电平与低电平反转进行编码后，地址图案形成于地址图案区域Aab，因此即使是在地址数据中多个「1」连续的情况下，凹部40b也不在旋转方向上连续形成，由开口长度L1的凹部40b和凸部40a构成凹凸图案40(地址图案)。其结果是，在地址图案区域Aab上形成的凹部40b、40b…的旋转方向上的开口长度为各相同半径位置内相等的开口长度L1。因此，如图25所示，在将与地址图案区域Aab内的最大开口长度L1(在本例中为外周侧区域Ao中的凹部40b的开口长度L1a)相等的圆形区域Qb配置在地址图案区域Aab内的任意部位时，在该圆形区域Qb内包含凸部40a的至少一部分。还有，在配置在地址图案区域Aab内的圆形区域Qb与凹部40b的开口面的内接圆一致的状态下，在该圆形区域Qb内包含凸部40a与凹部40b的边界部分。又，该磁盘10b中，如上所述，在猝发图案区域Aba中的第1猝发区域Ab1至第4猝发区域Ab4上形成的凹部40b的旋转方向上的开口长度L6被规定为等于伺服图案区域Asb上形成的同一半径位置的凹部40b、40b…的旋转方向上的各开口长度L1。因此，在将其直径等于地址图案区域Aab内的最大开口长度L1a的圆形区域Qb(参照图25)配置在猝发图案区域Aba中的第1猝发区域Ab1至第4猝发区域Ab4内的任意部位时，在该圆形区域Qb内包含凸部40a的至少一部分。还有，在配置在猝发图案区域Aba内的圆形区域Qb与凹部40b的开口面上的内接圆一致的状态下，在该圆形区域Qb内包含凸部40a与凹部40b的边界部分。
还有，在该磁盘10B中，与前序图案区域Ap和猝发图案区域Aba(第1猝发区域Ab1至第4猝发区域Ab4)上形成的伺服图案40sb同种的凹凸图案40形成于非伺服信号区域Ax、Axb。因此，即使在前序图案区域Ap和猝发图案区域Aba(第1猝发区域Ab1至第4猝发区域Ab4)内的任何位置上配置圆形区域Qb，也在圆形区域Qb内包含凸部40a至少一部分的这种磁盘10B中，在将圆形区域Qb配置在形成与这些区域同种的伺服图案区域40sb的非伺服信号区域Ax、Axb的任意部位时，在该圆形区域Qb内包含凸部40a至少一部分。
这样，在该磁盘10B中，在数据记录区域At、At…以及伺服图案区域Asb、Asb…的全部区域，形成凸部40a，以使任意配置的圆形区域Qb内包含凸部40a的至少一部分，构成数据磁道图案40t和伺服图案40sb。换句话说，在该磁盘10B中，在数据记录区域At、At…以及伺服图案区域Asb、Asb…的全部区域，凹部40a、40a的开口面的任意方向的开口长度(在本例中为凹部40b的旋转方向上的开口长度、以及半径方向上的开口长度中的任意一个)比上述圆形区域Qb的直径(在本例中为开口长度L1a)短(或相等)。也就是说，在这种磁盘10B中，不同于已有的磁盘10z，形成数据磁道图案40t和伺服图案40sb，使得其开口面过宽的凹部40b在数据记录区域At、At…及伺服图案区域Asb、Asb…中的任意一个区域都不存在。
在制造这种磁盘10B时，与制造上述磁盘10A时相同，使用图10所示的中间体20和图11所示的压模30。在这种情况下，制造这种磁盘10B用的压模30是本发明磁记录媒体制造用的压模的另一个例子，形成能够形成用于形成磁盘10B上的凹凸图案40(数据磁道图案40t和伺服图案40sb)的凹凸图案41的凹凸图案39，形成能够利用印刻法制造磁盘10B的结构。在这种情况下，压模30的凹凸图案39，凸部39a、39a…对应于磁盘10B的凹凸图案40中的凹部40b、40b…形成，凹部39b、39b…对应于凹凸图案40中的凸部40a、40a…形成。从而，压模30的凹凸图案39形成凸部39a、39a和凹部39b、39b…，而且使其突出端面过宽的凸部39a不存在。因此，使用这种压模30制造磁盘10B时，与上述磁盘10A制造时相同，对中间体20进行印刻处理时，可以顺利地将压模30上的凸部39a、39a…压入中间体20的树脂层18中。其结果是，在压模30上的凸部39a的前端部与中间体20的掩模层17之间生成厚残渣的情况能够得以避免，能够充分地将凸部39a、39a…充分压入树脂层18深处。因此能够避免在进行残渣清除处理时凹部41b、41b…过度扩大地，在树脂层18上形成所希望的宽度的凹部41b、41b…。还有，这种磁盘10B的制造方法，与上述磁盘10A的制造方法相同，因此省略其详细说明。
在装载这种磁盘10B的硬盘驱动器1中，与装载上述磁盘10A的硬盘驱动器1相同，在对磁盘10B进行记录数据的录放时，与非伺服信号区域Ax、Ax…和非伺服信号区域Axb、Axb…上形成的凹凸图案40对应的数据被控制部6判定为不同于循迹伺服用的伺服数据的数据。具体地说，控制部6根据包含检测部4输出的伺服数据的数据中与前序图案区域Ap、地址图案区域Aab和猝发图案区域Aba(除非伺服信号区域Axb以外)上形成的凹凸图案40对应的数据，对驱动器5进行控制，以此驱动致动器3b，使磁头3在所希望的磁道上。
又，这种硬盘驱动器1根据与地址图案区域Aab上形成的凹凸图案40对应从检测器4输出的数据提取地址数据时，控制部6将从检测部4输出的数据通过使RZ代码的高电平与低电平反转进行编码，作为编码的数据将输出数据译码。其结果是，根据从地址图案区域Aab读取的地址数据和从猝发图案区域Aba读取的猝发信号等执行循迹伺服控制，能够使磁头3在所希望的数据记录磁道(凸部40a、40a…)上。借助于此，能够通过在数据记录区域At内的凸部40a、40a…(数据记录磁道)上的磁头3进行记录数据的录放。
这样，采用这种磁盘10B和硬盘驱动器1，在地址图案区域Aab上形成凸部40b，使得各凹部40b、40b…的旋转方向上的各开口长度L1在各相同半径区域内为相等的开口长度(第2长度)，这样使得凹部40b、40b…的半径方向上的开口长度有变长倾向的地址图案区域Aab内不存在旋转方向上的开口长度过长的凹部40b(在全部方向上开口长度较长的凹部40b)，因此，在进行形成地址图案区域Aab内的凹凸图案40用的印刻处理时(在这一例子中为将压模30的凹凸图案39复印于中间体20的树脂层18上的处理时)，能够不使用具有其突出端面过宽的凸部的压模，将压模30的凸部39a、39a…顺利地复印于树脂层18上。这样能够避免在印刻时掩模层17上生成厚残渣，因此能够避免为进行残渣清除处理而使凹部41b、41b…过度扩宽的情况发生，从而能够避免凹部41b、41b…的部位上最终形成的凹部40b、40b…过宽的情况发生。因此能够提供可以正确读取地址数据的磁盘10B以及具备该磁盘10B的硬盘驱动器1。
又，采用这种磁盘10B和硬盘驱动器1，在将各开口长度L1、L1…(第2长度)中的与最大开口长度L1a相等的直径的圆形利用Qb配置在伺服图案区域Asb的任意位置时，在伺服图案区域Asb上形成凸部40a，使得凸部40a的至少一部分包含于圆形区域Qb内，这样，不仅地址图案区域Aab，而且在伺服图案区域Asb的全部区域中都不存在在全部方向上开口长度过长(开口面过宽)的凹部40b，因此在进行形成伺服图案区域Asb内的凹凸图案40用的印刻处理时，能够不使用具有其突出端面过宽的凸部的压模，将压模30的凸部39a、39a…顺利地压入树脂层18上。这样能够避免在进行印刻处理时掩模层17上生成厚残渣的情况发生，因此能够避免为进行残渣清除处理而使凹部41b、41b…过度变宽的情况发生，从而能够避免凹部41b、41b…的部位上最终形成的凹部40b、40b…过宽的情况发生。因此能够提供能可靠读取循迹伺服控制用的数据的磁盘10B以及具备该磁盘10B的硬盘驱动器1。
还有，采用这种磁盘10B和硬盘驱动器1，形成各数据记录磁道(凸部40a)使相邻的数据记录磁道(凸部40a、40a…)之间的凹部40b(磁道之间的凹部)的基体的半径方向上的开口长度L4在各开口长度L1(第2长度)中的最大开口长度L1a以下，因此在凹部40b(磁道之间的凹部)的旋转方向上的开口长度变长的数据记录区域At内不存在半径方向上的开口长度过长的凹部40b(在全部方向上开口长度较长的凹部40b)，因此在实施形成数据记录区域At内的凹凸图案40用的印刻处理时，可以不使用具有其突出端面过宽的凸部的压模，顺利地将压模30的凸部39a、39a…压入树脂层18。以此能够避免在进行印刻处理时生成厚残渣的事态发生，因此能够避免因进行残渣去除处理而使得凹部41b、41b…过宽的情况发生。从而能够避免凹部41b、41b…的部位上最终形成的凹部40b、40b…过宽的情况发生。因此能够提供可进行稳定录放的磁盘10B和具备该磁盘10B的硬盘驱动器1。
又，采用这种硬盘驱动器1，具备磁盘10B和根据从磁盘10B中的伺服图案区域Asb读取的规定的信号执行循迹伺服控制处理的控制部6，因此能够不受非伺服信号区域Ax中形成的凹凸图案40(虚拟图案)的存在的影响，通过在数据记录区域At内的凸部40a、40a…(数据记录磁道)上的磁头3进行记录数据的录放。
又，采用制造这种磁盘10B用的压模30，形成具有与磁盘10B中的凹凸图案40的凹部40b、40b…对应形成的凸部39a、39a…和与磁盘10B上的凹凸图案40的凸部40a、40a…对应形成的凹部39b、39b…的凹凸图案39，因此在对中间体进行印刻处理时，压模30上不存在突出端面过宽的凸部39a(例如沿旋转方向的长度和沿半径方向的长度两者都过长的凸部39a)，因此能够顺利地将凹凸图案39(凸部39a、39a…)压入中间体20。从而能够避免在进行印刻处理时由于凸部39a、39a的压入量不足而造成不理想的情况(因进行残渣去除处理而使得各凹部41b过宽的情况)发生。因此能够制造能可靠读取地址数据等的磁盘10B。
还有，本发明不限于上述结构。例如上述磁盘10A、10B中，在猝发图案区域Aba内将多个凹部40b、40b…沿着旋转方向排列形成以构成猝发图案，但是本发明不限于此，如图26中的磁盘10C所示，取代磁盘10A、10B中的凹部40b、40b…，将多个凸部40a、40a在猝发图案区域Abc内沿旋转方向排列形成也能够构成猝发图案。还有，在该图中，只表示出猝发图案区域Abc中的第1猝发区域Ab1和第2猝发区域Ab2。在这种情况下，该磁盘10C中，形成地址图案等伺服图案40sc，使得与猝发图案区域Abc内的4个凸部40a、40a…上连接的圆形区域Qc的直径L7在地址图案区域内形成的凹部40b、40b…的旋转方向上的各开口长度中最大的长度以下。这样，将与地址图案区域内形成的凹部40b、40b…的旋转方向上的各开口长度中的最大开口长度相等的直径的圆形区域配置在伺服图案区域Asc的任意部位时，在该圆形区域内包含凸部40a的至少一部分(包含凸部40a和凹部40b的边界部分)。其结果是，在该磁盘10C也与上述磁盘10A、10B相同，在对中间体20进行印刻处理时能够顺利将压模30的凸部39a、39a…压入中间体20的树脂层18，其结果是，能够避免在压模30的凸部39a的前端部与中间体20的掩模层17之间生成厚残渣，充分地将凸部39a、39a…充分压入树脂层18深处。因此能够避免在进行残渣清除处理时凹部41b、41b…过度扩大，在树脂层18上形成具有所希望的宽度的凹部41b、41b…。
又，在上述磁盘10A、10B等中，从凹凸图案40中的凸部40a的突出端部到基端部全部用磁性层14(磁性材料)形成，但是，构成本发明中的凹凸图案的凸部不限于此，具体地说，例如图27所示的磁盘10D，覆盖着玻璃基体11上形成的凹凸图案(与凹凸图案40凹凸位置关系相同的凹凸图案)形成薄厚度的磁性层14，这样可以利用其表面用磁性材料形成的多个凸部40a、40a…与底面用磁性材料形成的多个凹部40b、40b…构成凹凸图案40。而且，如图28中磁盘10E所示，不仅凸部40a，包括凹部40b的底部可以用磁性层14形成，构成凹凸图案40。又可以具备例如只是凹凸图案40中的凸部40a的突出端部用磁性层14形成，基端部侧用非磁性材料或软磁性材料形成的凸部40a、40a…构成凹凸图案40(未图示)。
又，在上述磁盘10A、10B等中，在非伺服信号区域Ax、Ax…和非伺服信号区域Axb、Axb…上形成虚拟图案(凹凸图案40)，但是本发明不限于此，例如也可以在数据记录区域At与前序图案区域Ap之间、前序图案区域Ap与地址图案区域Aaa(Aab)之间、地址图案区域Aaa(Aab)与猝发图案区域Aba之间、以及猝发图案区域Aba与数据记录区域At之间，规定其全部区域用凸部构成的非伺服信号区域，同时在猝发图案区域Aba中的第1猝发区域Ab1与第2猝发区域Ab2之间、第2猝发区域Ab2与第3猝发区域Ab3之间、以及第3猝发区域Ab3与第4猝发区域Ab4之间，也可以规定其全部区域用凸部构成的非伺服信号区域。采用这样形成的磁盘，在制造时进行印刻处理时，在非伺服信号区域内不存在有可能生成厚残渣的凹部，因此能够避免由于进行残渣清除处理造成凹部过度扩大。因此能够提供能可靠读取伺服数据的磁盘。
又，在上述磁盘10A、10B等中，在非伺服信号区域Ax、Axb内形成与前序图案区域Ap和猝发图案区域Aba内的凹凸图案40同种的图案作为虚拟图案。但是，本发明不限于此，例如可以采用将与各种伺服信号用的凹凸图案40形状不同的任意形状的凹凸图案40形成为虚拟图案的结构。而且在本发明的磁记录媒体中包含不存在非伺服信号区域Ax，规定为前序图案区域、地址图案区域以及猝发图案区域在旋转方向上相互连接的连续的磁记录媒体、和不存在非伺服信号区域Axb，规定为各猝发区域在旋转方向上相互连接的连续的磁记录媒体。又，在上述磁盘10A、10B等中，只在玻璃基体11的一个面上形成伺服图案40sa(40sb)以及数据磁道图案40t，但是本发明不限于此，也可以在玻璃基体11的正反两面上形成伺服图案40sa(40sb)和数据磁道图案40t。而且，本发明的磁记录媒体不限于磁盘10A、10B那样的垂直记录方式的磁记录媒体，也可以适用于面内记录方式的磁记录媒体。

Claims (10)

1.一种磁记录媒体，其特征在于，
利用具有至少突出端部用磁性材料形成的凸部和凹部的凹凸图案，在基体的至少一个面上的伺服图案区域形成伺服图案，同时在该一个面上的数据记录区域上设置同心圆状或螺旋状的数据记录磁道，形成数据磁道图案，
在所述伺服图案区域内的地址图案区域，形成所述凸部，使得构成所述凹凸图案的所述各凹部的沿着该基体的旋转方向的各开口长度中离所述数据磁道图案的中心的距离相等的同一半径区域的每一区域的最大开口长度、等于作为该同一半径区域内的该各凹部的沿着该旋转方向的最小开口长度的2倍的第1长度。
2.根据权利要求1所述的磁记录媒体，其特征在于，
将与所述各第1长度中的最大长度相等的直径的圆形区域配置在所述伺服图案区域的任一部位时，在该伺服图案区域形成该凸部，使得构成所述凹凸图案的所述凸部的至少一部分包含于该圆形区域内。
3.根据权利要求1所述的磁记录媒体，其特征在于，
利用至少突出端部以所述磁性材料形成的凸部，形成多条所述数据记录磁道，
所述各数据记录磁道形成为沿相邻的该数据记录磁道之间的凹部的所述基体的半径方向上的开口长度在所述各第1长度中的最大长度之下。
4.根据权利要求2所述的磁记录媒体，其特征在于，
利用至少突出端部以所述磁性材料形成的凸部，形成多条所述数据记录磁道，
所述各数据记录磁道形成为沿相邻的该数据记录磁道之间的凹部的所述基体的半径方向上的开口长度在所述各第1长度中的最大长度之下。
5.一种磁记录媒体，其特征在于，
利用具有至少突出部用磁性材料形成的凸部和凹部的凹凸图案，在基体的至少一个面上的伺服图案区域形成伺服图案，同时在该一个面上的数据记录区域上设置同心圆状或螺旋状的数据记录磁道，形成数据磁道图案，
在所述伺服图案区域内的地址图案区域，形成所述凸部，使得构成所述凹凸图案的所述各凸部的沿着该基体的旋转方向的各开口长度为在离所述数据磁道图案的中心的距离相等的同一半径区域内相等的第2长度。
6.根据权利要求5所述的磁记录媒体，其特征在于，
将与所述各第2长度中的最大长度相等的直径的圆形区域配置在所述伺服图案区域的任一部位时，在该伺服图案区域形成该凹部，使得构成所述凹凸图案的所述凸部的至少一部分包含于该圆形区域内。
7.根据权利要求5所述的磁记录媒体，其特征在于，
利用至少突出端部以所述磁性材料形成的凸部，形成多条所述数据记录磁道，
所述数据记录磁道形成为沿相邻的该数据记录磁道之间的凹部的所述基体的半径方向上的开口长度在所述各第2长度中的最大长度之下。
8.根据权利要求6所述的磁记录媒体，其特征在于，
利用至少突出端部以所述磁性材料形成的凸部，形成多条所述数据记录磁道，
所述各数据记录磁道形成为沿相邻的该数据记录磁道之间的凹部的所述基体的半径方向上的开口长度在所述各第2长度中的最大长度之下。
9.一种录放装置，其特征在于，具备
权利要求1至8中的任一项所述的磁记录媒体、以及
根据从该磁记录媒体的所述伺服图案区域读取的规定的信号，执行循迹伺服控制处理的控制部。
10.一种磁记录媒体制造用的压模，其特征在于，
形成凹凸图案，所述凹凸图案具有对应于权利要求1至8中的任一项所述的磁记录媒体中的所述凹凸图案的凹部形成的凸部、以及对应于所述磁记录媒体的所述凹凸图案的凸部形成的凹部。
CNB2005100996530A 2005-03-10 2005-08-30 磁记录媒体、录放装置以及压模 Expired - Fee Related CN100538828C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005067425 2005-03-10
JP2005067425A JP3918003B2 (ja) 2005-03-10 2005-03-10 磁気記録媒体、記録再生装置およびスタンパー

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1831952A true CN1831952A (zh) 2006-09-13
CN100538828C CN100538828C (zh) 2009-09-09

Family

ID=36970582

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2005100996530A Expired - Fee Related CN100538828C (zh) 2005-03-10 2005-08-30 磁记录媒体、录放装置以及压模

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7672075B2 (zh)
JP (1) JP3918003B2 (zh)
CN (1) CN100538828C (zh)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4487848B2 (ja) * 2004-09-01 2010-06-23 Ｔｄｋ株式会社 情報記録媒体、記録再生装置およびスタンパー
JP2006216171A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Tdk Corp 磁気記録媒体、記録再生装置およびスタンパー
US7548388B2 (en) * 2005-02-16 2009-06-16 Tdk Corporation Magnetic recording medium, recording/reproducing apparatus, and stamper
CN100429697C (zh) * 2005-02-16 2008-10-29 Tdk股份有限公司 磁记录介质、记录重放装置及压印模
CN1828730B (zh) * 2005-02-28 2010-10-13 Tdk股份有限公司 磁记录媒体、硬盘驱动器以及压模
JP2007164958A (ja) * 2005-11-21 2007-06-28 Tdk Corp 記録再生装置およびパラメータ測定方法
JP2007172691A (ja) * 2005-12-20 2007-07-05 Tdk Corp 磁気記録媒体、スタンパー、記録再生装置およびパラメータ測定方法
KR20080017804A (ko) * 2006-08-22 2008-02-27 삼성전자주식회사 자성막 형성방법, 이 방법으로 형성된 자성막을 구비하는패턴화된 자기 기록 매체 및 그 제조방법
JP2008226395A (ja) * 2007-03-15 2008-09-25 Fujitsu Ltd 磁気ディスク、この磁気ディスクの製造に用いられるスタンパ、および磁気ディスクの製造方法
JP2008243266A (ja) * 2007-03-26 2008-10-09 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気記録媒体、磁気記録媒体へのサーボ記録方法、磁気記録装置
JP4908339B2 (ja) * 2007-07-30 2012-04-04 株式会社東芝 ディスク記憶装置及びディスク媒体
JP5053007B2 (ja) * 2007-09-13 2012-10-17 富士フイルム株式会社 インプリント用モールド構造体、及び該インプリント用モールド構造体を用いたインプリント方法、並びに、磁気記録媒体
US20090268595A1 (en) * 2008-04-25 2009-10-29 Tdk Corporation Information recording medium and recording/reproducing apparatus
JP4590472B2 (ja) * 2008-10-30 2010-12-01 シャープ株式会社 記録媒体及び記録再生装置
JP2010182376A (ja) * 2009-02-05 2010-08-19 Tdk Corp 磁気記録媒体、記録再生装置およびスタンパー
US8526132B2 (en) * 2010-02-03 2013-09-03 HGST Netherlands, B.V. Servo patterning compatible with planarization of patterned magnetic disks
US8467143B2 (en) * 2010-02-03 2013-06-18 HGST Netherlands, B.V. Servo patterning and writing compatible with planarization of patterned magnetic disks
US8625219B2 (en) 2011-07-06 2014-01-07 HGST Netherlands B.V. Patterned media with an alternating series of concentric servo zones and overlap zones
US8630051B2 (en) 2011-07-06 2014-01-14 HGST Netherlands B.V. Patterned media with an alternating series of concentric servo zones and overlap zones
KR20230020035A (ko) * 2021-08-02 2023-02-10 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크

Family Cites Families (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60177483A (ja) 1984-02-22 1985-09-11 Nec Corp ベリ−ドサ−ボ方式用磁気２重層デイスクのサ−ボパタ−ン作製方法
JPS63275001A (ja) 1987-05-07 1988-11-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気記録媒体
JP3395235B2 (ja) 1993-02-09 2003-04-07 ソニー株式会社 情報記録ディスク
JP3344495B2 (ja) * 1993-03-04 2002-11-11 ソニー株式会社 磁気ディスク装置
JPH07226044A (ja) 1994-02-08 1995-08-22 Sony Corp 磁気ディスク
US5772905A (en) * 1995-11-15 1998-06-30 Regents Of The University Of Minnesota Nanoimprint lithography
US6055139A (en) * 1995-12-14 2000-04-25 Fujitsu Limited Magnetic recording medium and method of forming the same and magnetic disk drive
JPH09204649A (ja) 1996-01-24 1997-08-05 Sony Corp 磁気ディスク及び磁気ディスク装置
TW342495B (en) * 1996-07-22 1998-10-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Master information carrier, method of producing the same, and method for recording master information signal on magnetic recording medium
KR19980063655A (ko) * 1996-12-02 1998-10-07 이데이노부유키 자기기록매체, 자기기록재생장치 및 몰딩디스크용 메탈몰드의제조방법
US5821014A (en) 1997-02-28 1998-10-13 Microunity Systems Engineering, Inc. Optical proximity correction method for intermediate-pitch features using sub-resolution scattering bars on a mask
JPH10255407A (ja) 1997-03-14 1998-09-25 Sony Corp Ｒｏｍ型磁気ディスク媒体と装置及びコーディング方法と記録方法
JPH11161944A (ja) 1997-11-27 1999-06-18 Sony Corp 磁気ディスク及び磁気ディスク装置
JP3719026B2 (ja) 1998-12-28 2005-11-24 富士通株式会社 磁気記録媒体とその製造方法
US6602620B1 (en) * 1998-12-28 2003-08-05 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic recording apparatus, magnetic recording medium and manufacturing method thereof
AU2001290870A1 (en) * 2000-09-12 2002-03-26 Seagate Technology Llc Method and apparatus for minimizing slider fly heights over patterned media
JP3886802B2 (ja) 2001-03-30 2007-02-28 株式会社東芝 磁性体のパターニング方法、磁気記録媒体、磁気ランダムアクセスメモリ
JP3934890B2 (ja) 2001-07-02 2007-06-20 Ｔｄｋ株式会社 磁気記録媒体の初期化方法
JP2003203332A (ja) 2001-12-28 2003-07-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd マスター情報担体およびその製造方法
JP4160769B2 (ja) 2002-04-04 2008-10-08 新日本製鐵株式会社 炭化珪素単結晶インゴット及びウエハ
JP3821069B2 (ja) 2002-08-01 2006-09-13 株式会社日立製作所 転写パターンによる構造体の形成方法
JP3541033B2 (ja) 2002-08-08 2004-07-07 松下電器産業株式会社 磁気記録再生装置の製造方法
JP4209231B2 (ja) 2003-03-26 2009-01-14 Ｔｄｋ株式会社 磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法
JP2005004917A (ja) 2003-06-13 2005-01-06 Hitachi Ltd 垂直磁気記録媒体及び磁気ディスク装置
EP1492090A1 (en) * 2003-06-26 2004-12-29 Fuji Photo Film Co., Ltd. Patterned master carrier for magnetic transfer, manufacturing method thereof, magnetic transfer method, recording medium, and magnetic recording and reproduction apparatus
JP2005056535A (ja) 2003-08-07 2005-03-03 Tdk Corp 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置
JP4190371B2 (ja) * 2003-08-26 2008-12-03 Ｔｄｋ株式会社 凹凸パターン形成用スタンパー、凹凸パターン形成方法および磁気記録媒体
JP4218886B2 (ja) * 2003-12-01 2009-02-04 Ｔｄｋ株式会社 磁気記録媒体
JP3796255B2 (ja) * 2004-07-12 2006-07-12 Ｔｄｋ株式会社 磁気記録再生装置
US7136252B2 (en) * 2004-07-14 2006-11-14 Tdk Corporation Magnetic recording and reproducing apparatus with recording layer having predetermined convex-concave pattern
JP2006048860A (ja) 2004-08-06 2006-02-16 Toshiba Corp 磁気記録媒体および磁気記録装置
JP4487848B2 (ja) * 2004-09-01 2010-06-23 Ｔｄｋ株式会社 情報記録媒体、記録再生装置およびスタンパー
JP2006099932A (ja) * 2004-09-03 2006-04-13 Tdk Corp 磁気記録媒体、磁気記録再生装置及び磁気記録媒体製造用スタンパ
CN1828730B (zh) * 2005-02-28 2010-10-13 Tdk股份有限公司 磁记录媒体、硬盘驱动器以及压模

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006252660A (ja) 2006-09-21
US7672075B2 (en) 2010-03-02
JP3918003B2 (ja) 2007-05-23
CN100538828C (zh) 2009-09-09
US20060203386A1 (en) 2006-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1831952A (zh) 磁记录媒体、录放装置以及压模
CN1828730A (zh) 磁记录媒体、录放装置以及压模
CN1828731A (zh) 磁记录介质、记录重放装置及压印模
CN1241176C (zh) 磁转录用主载体
CN1542750A (zh) 磁记录媒体和磁记录媒体的制造方法
US20050082700A1 (en) Dry passivation process for stamper/imprinter family making for patterned recording media
CN1822094A (zh) 磁记录介质、记录重放装置及压印模
CN1822095A (zh) 磁记录介质、记录重放装置及压印模
US20060275692A1 (en) Method for forming concavo-convex pattern, method for manufacturing master disk, method for manufacturing stamper, and method for manufacturing magnetic recording medium
CN1815569A (zh) 磁记录介质、记录重放装置及压印模
CN1822110A (zh) 磁记录设备
CN1873786A (zh) 磁记录介质及其制造方法、磁记录再现装置、压模及其制造方法
JP4487848B2 (ja) 情報記録媒体、記録再生装置およびスタンパー
US20070263308A1 (en) Contact printing of magnetic media with mechanically reinforced and/or gas venting stamper
CN1542749A (zh) 磁记录媒体和磁记录媒体的制造方法
CN1226723C (zh) 磁复制用主信息载体
JP2008210450A (ja) 磁気記録媒体の製造方法、スタンパ、転写装置及び樹脂マスク形成方法
US7105280B1 (en) Utilizing permanent master for making stampers/imprinters for patterning of recording media
CN1253857C (zh) 磁复制装置
JP2009208240A (ja) 光インプリント用モールド及び光インプリント方法、並びに磁気記録媒体及びその製造方法
KR20040034407A (ko) 전자선 묘화방법, 고밀도 기록을 위한 원반형상 담체 및자기디스크매체
US7074341B1 (en) Method for protecting surface of stamper/imprinter during manufacture thereof
JP2009070544A (ja) 磁気記録媒体の製造方法、及び磁気記録媒体
CN1371092A (zh) 磁复制用源载体
JP4742073B2 (ja) 磁気記録媒体の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20090909

Termination date: 20130830