CN1815569A - 磁记录介质、记录重放装置及压印模 - Google Patents

磁记录介质、记录重放装置及压印模 Download PDF

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Abstract

本发明揭示一种磁记录介质、记录重放装置及压印模。提供能够确实读取磁信号、表面平滑性好的磁记录介质。利用具有多个凸起部分40a及凹下部分40b的凹凸图形40，在伺服图形区As形成伺服图形，同时伺服图形区As的构成为具有地址图形区Aa及脉冲串图形区Ab，在伺服图形区As中形成凹下部分40b，使得地址图形区Aa中形成的各凸起部分40a的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆Qa1、与脉冲串图形区Ab中形成的各凸起部分40a的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆Qb1的较大一方的内接圆，成为伺服图形区As中形成的各凸起部分40a的突出端面的各内接圆Qx1、Qp1、Qa1、Qb1…中的最大直径的内接圆。

Description

磁记录介质、记录重放装置及压印模
技术领域
本发明涉及在伺服图形区域中利用凹凸图形、形成伺服图形的磁记录介质，具有该磁记录介质的记录重放装置，以及制造该磁记录介质用的压印模。
背景技术
作为具有这种磁记录介质的记录重放装置，有特开平9-97419号公报揭示的具有不连续磁道型的磁盘而构成的磁记录装置。在这种情况下，该磁记录装置中安装的磁盘的构成为在玻璃盘基板(基材)的一面，用记录磁性构件(磁性材料)形成同心圆状的记录道(带状的凸起部分)，能够进行各种记录数据的记录及重放。另外，在各记录道之间的凹下部分埋入保护间距构件(非磁性材料)，以提高磁盘的表面平滑性，同时将相邻磁道进行磁隔离，这样形成保护间距部分。
在制造这种磁盘时，首先将磁性材料溅射在基材的一面，形成记录磁性层。然后，为了覆盖记录磁性层，将正型抗蚀剂进行旋涂，进行预烘烤后，使用母盘刻录装置，描述与保护间距部分的图形相同的图形，然后进行显影处理。通过这样，在记录磁性层上形成抗蚀剂图形(凹凸图形)。接着，使用抗蚀剂图形作为掩膜，对记录磁性层进行刻蚀处理后，利用去胶装置除去磁记录层上的残留掩膜。通过这样，在基材上形成由磁性材料构成的记录道和伺服图形(用磁性材料形成凸起部分的凹凸图形)。接着，对该状态的基材溅射非磁性材料。这时，构成伺服图形的凹下部分的各记录道之间的凹下部分完全用非磁性材料填埋，而且溅射非磁性材料达到足够的厚度，一直到用非磁性材料覆盖构成伺服图形的凸起部分及各记录道。接着，对溅射的非磁性材料的表面进行干法刻蚀处理，通过这样使构成伺服图形的凸起部分及记录道等突出端面(磁性材料的表面)从非磁性材料露出。从而完成磁盘。
[专利文献1]特开平9-97419号公报(第6-12页，图1-19)
但是，以往的磁盘存在以下的问题。即，以往的磁盘在溅射非磁性材料以覆盖基材的全部区域之后，对非磁性材料进行干法刻蚀处理，一直到构成伺服图形的凸起部分及记录道等的突出端面(上表面)露出，对表面进行平滑处理。但是，在按照这种制造方法制造磁盘的情况下，在进行干法刻蚀处理时，若在其突出端面较宽的凸起部分(例如沿磁盘旋转方向的长度及沿半径方向的长度这两个长度均较长的凸起部分)上大量残留非磁性材料(以下将在凸起部分上残留的非磁性材料称为“残渣”)，则有时形成凸起部分被厚的残渣覆盖的状态。
具体来说，例如图32所示，按照上述的制造方法制造的磁盘10z是按照下述规定制造的，即沿磁盘10z的旋转方向(该图中所示的箭头R的方向)交替排列由同心圆状多个数据记录道构成的形成数据道图形50tz的数据记录区Atz、和形成跟踪伺服用的伺服图形40sz的伺服图形区Asz。在这种情况下，如图33所示，磁盘10z的伺服图形区Asz作为一个例子，具有形成前同步(preamble)图形的前同步图形区Apz、形成地址图形的地址图形区Aaz、以及在脉冲串(burst)区Ab1z～Ab4z的各区域中形成脉冲串图形的脉冲串图形Abz。另外，在数据记录区Atz与前同步图形区Apz之间、前同步图形区Apz与地址图形区Aaz之间、地址图形区Aaz与脉冲串图形区Abz之间、以及脉冲串图形区Abz与数据记录区Atz之间的各区域中，形成由磁性材料(磁性层)14形成的凸起部分构成的非伺服信号区Axz。再有，在脉冲串图形区Abz中的各脉冲串区Ab1z～Ab4z的各区域之间，形成由磁性材料(磁性层14)形成的凸起部分构成的非伺服信号区Axbz。在这种情况下，非伺服信号区Axz及Axbz中不记录跟踪伺服控制用的控制信号，成为非伺服信号区Axz及Axbz的整个区域由上述凸起部分构成而不存在凹下部分的状态。另外，在该图中用斜线涂满的区域表示伺服图形40sz及数据道图形50tz中的凸起部分(图34中的凸起部分40az)的形成区。
在这种情况下，申请人发现了下述的现象，即在对为了覆盖伺服图形40sz而形成的非磁性材料层15(参照图34，在凸起部分40az、40az…等之间形成保护间距部分用的材料层)进行干法刻蚀、使各凸起部分40az、40az…露出时，在其下方存在的凸起部分40az的突出端面越宽(例如，凸起部分40az的突出端的沿磁盘10z的旋转方向的长度及沿半径方向的长度都越长)，对非磁性材料15的刻蚀进行越慢。因而，在形成突出端面宽的凸起部分的非伺服信号区Axz、Axbz…等中，在对非磁性材料15的一层进行干法刻蚀处理时，产生较厚的残渣。具体来说，如图34所示，例如在突出端面的沿旋转方向的长度L11较短的凸起部分40az、40az…上，利用干法刻蚀处理对非磁性材料15进行充分刻蚀，凸起部分40az的突出端面从非磁性材料15露出。与此不同的是，在突出端面过宽的凸起部分40az、40az…上，由对非磁性材料15的刻蚀进行较慢，因此在长度L11较短的凸起部分40az的突出端面从非磁性材料15露出的时刻结束干法刻蚀处理时，形成产生厚度T的残渣的状态(凸起部分40az被非磁性材料15覆盖的状态)。其结果，在产生残查的部位(非伺服信号区Axz、Axbz等)中，伺服图形区Asz内的表面平滑性恶化。
另外，在继续进行干法刻蚀处理、一直到突出端面过宽的凸起部分40az上的残渣完全取除的情况下，在突出端面的沿旋转方向的长度L11较短的凸起部分40az的部位，不仅非磁性材料15被刻蚀，连磁性层14(凸起部分40az)也被刻蚀。因而，在继续进行干法刻蚀处理、一直到包含非伺服信号区Axz、Axbz的伺服图形区Asz的整个区域完全取除凸起部分40az上的残渣的情况下，突出端面的沿旋转方向的长度或沿半径方向的长度比较短的前同步图形区Apz内的凹凸图形及地址图形区Aaz内的凹凸图形等中的凸起部分40az、40az…被过度刻蚀，恐怕很难确实读取磁信号。
本发明正是鉴于有关的问题，其主要目的在于提供能够确实读取磁信号而且具有表面平滑性好的伺服图形的磁记录介质及记录重放装置、以及能够制造这样的磁记录介质的压印模。
发明内容
为了达到上述目的，本发明有关的磁记录介质，在基材的至少一面的伺服图形区，利用具有至少突出端部由磁性材料形成的多个凸起部分及凹下部分的凹凸图形、形成伺服图形，同时该伺服图形区的构成为具有地址图形区及脉冲串图形区，在该伺服图形区形成所述凹下部分，使得所述地址图形区中形成的所述各凸起部分的突出端面的各内接圆(凸起部分的突出端面的平面形状的内接圆)中的最大直径的内接圆、与所述脉冲串图形区中形成的所述各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆的较大一方的内接圆，成为所述伺服图形区中形成的所述各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆。
另外，本发明有关的磁记录介质，在所述基材的至少所述一面的数据记录区，利用至少突出端部由所述磁性材料形成的凸起部分、形成多个数据记录道，该各数据记录道形成为沿所述半径方向的长度成为小于等于所述较大一方的内接圆的直径。
另外，本发明有关的记录重放装置，具有所述某一种磁记录介质、以及根据从该磁记录介质的所述伺服图形区读取的规定信号、进行跟踪伺服控制处理的控制单元。
另外，本发明有关的磁记录介质，在基材的至少一面的伺服图形区，利用具有至少突出端部由磁性材料形成的多个凸起部分及凹下部分的凹凸图形、形成伺服图形，所述伺服图形区的构成为具有制造时利用所述凹凸图形来记录跟踪伺服控制用的控制信号的多种第1功能区、以及形成与该各第1功能区的所述凹凸图形不同种类的凹凸图形的第2功能区。
再有，本发明有关的磁记录介质，所述伺服图形区的构成为具有作为所述多种第1功能区的一种的地址图形区及脉冲串图形区，在该第2功能区形成所述凹下部分，使得所述第2功能区中形成的所述各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆的直径，成为小于等于所述地址图形区中形成的所述各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆、与所述脉冲串图形区中形成的所述各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆的较大一方的直径。
另外，本发明有关的磁记录介质，在基材的至少一面的伺服图形区，利用具有至少突出端部由磁性材料形成的多个凸起部分及凹下部分的凹凸图形、形成伺服图形，所述伺服图形区的构成为具有制造时利用所述凹凸图形来记录跟踪伺服控制用的控制信号的多种第1功能区、以及遍及其整个区域形成所述凹下部分的第2功能区。
另外，本发明有关的记录重放装置，具有所述某一种磁记录介质、以及根据从该磁记录介质的所述第1功能区读取的规定信号、进行跟踪伺服控制处理的控制单元。
另外，本发明有关的压印模，是磁记录介质制造用的压印模，形成具有与所述某一种磁记录介质的所述凹凸图形的凹下部分相对应而形成的凸起部分、以及与所述磁记录介质的所述凹凸图形的凸起部分相对应而形成的凹下部分的凸凹图形。
根据本发明的有关的磁记录介质，由于在伺服图形区形成凹下部分，使得地址图形区中形成的各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆与脉冲串图形区中形成的各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆的较大一方的内接圆，成为伺服图形区中形成的各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆，通过这样在伺服图形区内不存在具有能够存在直径超过较大一方的内接圆直径的内接圆的、宽的突出端面的凸起部分，因此在对覆盖伺服图形区内的凹凸图形而形成的非磁性材料层进行刻蚀处理时，能够避免在各凸起部分上产生厚的残渣的情况。通过这样，能够提供伺服图形区内的平坦性好、而且能够确实读取伺服数据的磁记录介质。
另外，根据本发明有关的磁记录介质，通过在数据记录区形成各数据记录道，使得沿半径方向的长度为小于等于伺服图形区中形成的各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆的直径，从而能够避免在数据记录区内的各凸起部分上生成厚的残渣的情况。因而，能够提供有伺服图形区及数据图形区这两个区域(磁记录介质的整个区域)中平坦性好、而且能够进行稳定的记录重放的磁记录介质。
另外，根据本发明有关的记录重放装置，通过具有所述某一种磁记录介质、以及根据从该磁记录介质的伺服图形区读取的规定信号、进行跟踪伺服控制处理的控制单元，从而不受除了记录跟踪伺服控制用的控制信号的区域的区域中形成的凹凸图形(空图形)存在的影响，能够对于数据记录区内的各凸起部分(数据记录道)通过在道上的磁头进行记录数据的记录重放。
另外，根据本发明有关的磁记录介质，通过具有制造时利用凹凸图形来记录跟踪伺服控制用的控制信号的多种第1功能区、以及形成与各第1功能区的凹凸图形不同种类的凹凸图形的第2功能区，构成伺服图形区，从而与非伺服信号区Axz及Axbz的整个区域由凸起部分构成的以往的磁盘10z不同，能够避免在第2功能区内产生残渣的情况，即使产生残渣，也能够使该残渣足够薄。
再有，根据本发明有关的磁记录介质，通过在第2功能区形成凹下部分，使第2功能区中形成的各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆的直径，为小于等于地址图形区中形成的各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆、与脉冲串图形区中形成的各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆的较大一方的直径，从而能够避免在第2功能区内产生厚的残渣的情况。
另外，根据本发明有关的磁记录介质，由于通过具有制造时利用凹凸图形来记录跟踪伺服控制用的控制信号的多种第1功能区、以及遍及其整个区域形成凹下部分的第2功能区，构成伺服图形区，从而在第2功能区内不存在有可能产生残渣的凸起部分，而且对于除第2功能区的部位也不存在突出端面过宽的凸起部分(对规定范围内不存在凹下部分的凸起部分)，因此在对覆盖伺服图形区内的凹凸图形而形成的非磁性材料层进行刻蚀处理时，能够在包含第2功能区的伺服图形区的整个区域中避免各凸起部分上产生厚的残渣的情况。通过这样，能够提供伺服图形区的平坦性好、而且能够确实读取伺服数据的磁记录介质。
另外，根据本发明有关的记录重放装置，通过具有所述某一种磁记录介质、以及根据从该磁记录介质的第1功能区读取的规定信号、进行跟踪伺服控制处理的控制单元，从而不受第2记录区中形成的凹凸图形(空图形)存在的影响，能够对于数据记录区内的各凸起部分(数据记录道)通过在道上的磁头进行记录数据的记录重放。
另外，根据本发明有关的压印模，通过形成具有与所述某一种磁记录介质的凹凸图形的凹下部分相对应而形成的凸起部分、以及与磁记录介质的凹凸图形的凸起部分相对应形成的凹下部分的凸凹图形，从而例如在对制造磁记录介质用的中间体进行压印处理时，能够避免在伺服图形区内形成具有能够存在直径超过地址图形区域脉冲串图形区中形成的各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆的直径的内接圆的、宽的突出端面的凸起部分的情况。因此，通过将该凹凸图形作为掩膜对中间体进行刻蚀处理，能够避免在伺服图形区内形成具有能够存在直径超过所述最大直径的内接圆的直径的内接圆的、宽的突出端面的凸起部分的情况。因而，在对覆盖该凹凸图形而形成的非磁性材料层进行刻蚀处理时，能够避免在伺服图形区内的各凸起部分上产生厚的残渣的情况。通过这样，能够制造平坦性好、而且能够确实读取伺服数据的磁记录介质。另外，由于与磁记录介质的各凸起部分的突出端面相对应，压印模不存在过宽的凹下部分，因此在对中间体的树脂层(利用压印处理而形成凹凸图形的层)压入压印模的凹凸图形时，能够避免产生因树脂材料(树脂层)向压印模的凹下部分内的移动量不足而引起的凸起部分高度不足(树脂掩膜的厚度不足)的情况。因而，在将中间体形成的凹凸图形作为掩膜对中间体进行刻蚀时，能够避免在对中间体的刻蚀结束之前作为掩膜的凸起部分消失的情况，其结果能够在中间体形成具有足够深度的凹下部分的凹凸图形。
附图说明
图1为硬盘驱动器1的构成图。
图2为磁盘10的平面图。
图3所示为外圆周区域Ao的数据记录区At及伺服图形区As中形成的各种图形一个例子的磁盘10的平面图。
图4所示为磁盘10的层结构的剖视图。
图5所示为数据记录区At中形成的数据道图形40t一个例子的磁盘10的平面图。
图6所示为外周侧区域Ao的前同步图形区Ap中形成的前同步图形一个例子的磁盘10的平面图。
图7所示为外周侧区域Ao的地址图形区Aa中形成的地址图形一个例子的磁盘10的平面图。
图8所示为外周侧区域Ao的脉冲串图形区Ab的第1脉冲串区Ab1及第2脉冲串区Ab2中形成的脉冲串图形一个例子的磁盘10的平面图。
图9所示为外周侧区域Ao的脉冲串图形区Ab的第3脉冲串区Ab3及第4脉冲串区Ab4中形成的脉冲串图形一个例子的磁盘10的平面图。
图10所示为外周侧区域Ao的非伺服信号区Ax中形成的凹凸图形40一个例子的磁盘10的平面图。
图11所示为外周侧区域Ao的非伺服信号区Axb中形成的凹凸图形40一个例子的磁盘10的平面图。
图12所示为中间体20的层结构的剖视图。
图13为压印模30的剖视图。
图14为在玻璃基材31上形成抗蚀剂层32的状态的剖视图。
图15为对抗蚀剂层32照射电子束32a而形成潜像32b、32b…的状态的剖视图。
图16为对形成潜像32b、32b…的抗蚀剂层32进行显影处理而形成凹凸图形33的状态的剖视图。
图17为覆盖凹凸图形33而形成镍层34的状态的剖视图。
图18为利用镀层处理而形成镍层35的状态的剖视图。
图19为将镍层34及35的层叠体从玻璃基材31剥离形成的压印模37的剖视图。
图20为在压印模37的凹凸图形36的形成面形成镍层38的状态(将凹凸图形36向镍层38转印的状态)的剖视图。
图21为向中间体20的树脂层18压入压印模30的凹凸图形39的状态的剖视图。
图22为从图21所示的状态的树脂层18剥离压印模30后在掩膜层17上形成凹凸图形41(树脂掩膜)的状态的剖视图。
图23为将凹凸图形41作为掩膜对掩膜层17进行刻蚀处理后在磁性层14上形成凹凸图形42(掩膜)的状态的剖视图。
图24为将凹凸图形42作为掩膜对磁性层14进行刻蚀处理后在中间层13上形成凹凸图形40的状态的剖视图。
图25为覆盖凹凸图形40而形成非磁性材料层15的状态的中间体20的剖视图。
图26所示为外周侧区域Ao的数据记录区At及伺服图形区As中形成的各种图形其它一个例子的磁盘10a的平面图。
图27所示为外周侧区域Ao的伺服图形区As的脉冲串图形区Ab中形成的脉冲串图形一个例子的磁盘10a的平面图。
图28所示为外周侧区域Ao的伺服图形区As的地址图形区Aa中形成的地址图形一个例子的磁盘10a的平面图。
图29所示为磁盘10b的层结构的剖视图。
图30所示为磁盘10c的层结构的剖视图。
图31所示为外周侧区域Ao的数据记录区At及伺服图形区As是的各种图形一个例子的磁盘10d的平面图。
图32为以往的磁盘10z的平面图。
图33所示为数据记录区Atz及伺服图形区Asz中形成的各种图形一个例子的磁盘10z的平面图。
图34所示为磁盘10z的层结构的剖视图。
标号说明
1   硬盘驱动器
6   控制单元
10、10a～10d  磁盘
11  玻璃基材
14   磁性层
15   非磁性材料
30   压印模
39、40    凹凸图形
39a、40a  凸起部分
39b、40b  凹下部分
40s  伺服图形
40t  数据道图形
Aa   地址图形区
Ab   脉冲串图形区
Ab1～Ab4     第1～第4脉冲串区
An、Ax、Axb  非伺服信号区
Ap   前同步图形区
As   伺服图形区
At   数据记录区
L1、L2、L1a、L2a、L5  直径
L3、L4  长度
Qa1、Qb1、Qp1、Qx1、Qa2、Qb2、Qp2、Qx2  内接圆
具体实施方式
以下参照附图说明本发明有关的磁记录介质、记录重放装置以及压印模的最佳形态。
图1所示的硬盘驱动器1是本发明有关的记录重放装置的一个例子，具有电动机2、磁头3、检测单元4、驱动单元5、控制单元6、存储单元7及磁盘10，构成能够进行各种数据的记录重放。电动机2按照控制单元6的控制，使磁盘10作为一个例子以4200rpm的转速恒速旋转。磁头3通过摇臂3a安装在执行机构3b上，在对磁盘10进行记录数据的记录重放时，利用执行机构3b使磁头3在磁盘10上移动。另外，磁头3从磁盘10的伺服图形区As(参照图2)进行伺服数据的读出，对数据记录区At(参照图2)进行记录数据的磁写入，以及对数据记录区At中磁写入的记录数据进行读出。另外，磁头3实际上形成在使磁头3相对于磁盘10浮起用的滑块的底面(空气轴承面)，关于该滑块的说明及图示则省略。执行机构3b在控制单元6的控制下，利用驱动单元5供给的驱动电流，使摇臂3a进行摇动，从而使磁头3移动至磁盘10上的任意的记录重放位置。
检测单元4从磁头3输出的输出信号(模拟信号)取得(检测)伺服数据，向控制单元6输出。驱动单元5按照控制单元6输出的控制信号，控制执行机构3b，使磁头3位于所希望的数据记录道上。控制单元6对硬盘驱动器1进行统一集中控制。另外，控制单元6是本发明有关的控制单元的一个例子，根据检测单元4输出的伺服数据(“从伺服图形区读出的规定信号”的一个例子)，对驱动单元5进行控制(进行跟踪伺服控制处理)。存储单元7存储控制单元6的动作程序等。
另外，磁盘10是本发明有关的磁记录介质的一个例子，与前述的电动机2及磁头3等一起设置在硬盘驱动器1的壳体内。该磁盘10是利用垂直记录方式的能够对记录数据进行记录的不连续磁道型磁盘(图形介质)，如图4所示，它在玻璃基材上依次形成软磁性层12、中间层13及磁性层14。在这种情况下，磁性层14形成从突出端部(该图中的上端部)到根端部(该图中的下端部)全部由磁性材料形成的凸起部分40a、40a…以及在凸起部分40a、40a…之间的凹下部分40b、40b…，构成凹凸图形40。另外，在凹下部分40b、40b…中埋入SiO2等非磁性材料15，使磁盘10的表面平坦。再有，在埋入凹下部分40b、40b…的非磁性材料15和磁性层14(凸起部分40a)的表面，利用类金刚石碳(DLC)等，形成厚度为2nm左右的保护层16(DLC膜)。另外，在保护层16的表面涂布避免磁头3与磁盘10的双方划伤用的润滑剂(作为一个例子，是フオンブリン系润滑剂)。
玻璃基板11相当于本发明中的基材，将玻璃板进行表面研磨，形成厚度为0.6mm左右的圆片状。另外，本发明中的基材不限定于玻璃，可以使用铝或陶瓷等各种非磁性材料形成为圆片状的基材。软磁性层12是将CoZrNb合金等软磁性材料通过溅射形成厚度为100nm～200nm左右的薄膜状。中间层13是起到作为形成磁性层14用的衬底层功能的薄层，是将cr或CoCr非磁性合金等中间层形成用材料通过溅射形成厚度为40nm左右的薄膜状。磁性层14是构成凹凸图形40(图3所示的数据道图形40t及伺服图形40s)的薄层，如后所述，是对例如溅射CoCrPt合金形成的薄层进行刻蚀处理，从而形成凹下部分40b、40b…。
在这种情况下，如图2所示，在该磁盘10中是这样规定的，即在数据记录区At、At…之间设置伺服图形区As、As…，数据记录区At与伺服图形区As沿磁盘10的旋转方向(箭头R的方向)交替排列。另外，在本说明书中，将沿旋转方向排列的两个数据记录区At与At之间夹着的区域(从一个数据记录区At中的旋转方向一侧的端部到另一个数据记录区At中的旋转方向一侧的端部之间的区域)设为伺服图形区As。另外，设数据记录区At中的旋转方向一侧的端部与将该数据记录区At中形成的多个数据记录道(后述的凸起部分40a、40a…)在旋转方向一侧的各端部连接的假想线段(沿磁盘10的半径方向的直线状或圆弧段的线段)一致。
另外，在装有该磁盘10的硬盘驱动器1中，如前所述是这样构成的，即电动机2按照控制单元6的控制，使磁盘10以恒角速度旋转。因而，在该磁盘10中是这样规定的，即沿磁盘10的旋转方向的数据记录区At的长度及沿旋转方向的伺服图形区As的长度与单元时间磁头3的下方通过的磁盘10上的长度成正比，越是远离中心0，长度越长(数据记录区At及伺服图形区As的外周侧区域Ao的宽度比内周侧区域Ai要宽)。其结果，数据记录区At内形成的数据记录道(凸起部分40a)的突出端面沿旋转方向的长度、以及伺服图形区As内形成的伺服图形40s用的各凸起部分40a、40a…的突出端面及各凹下部分40b、40b…的底面沿旋转方向的基准长度(例如对应于1位(bit)信号长的长度)在磁盘10的外周侧区域Ao比内周侧区域Ai要长。
另外，关于伺服图形区as内的各凸起部分40a、40a…的突出端面沿旋转方向的基准长度，为在磁盘10的半径方向相邻的几十道的范围内近似相等的长度。因此，在本说明书中，该几十道的范围内沿旋转方向的基准长度是作为相等进行说明的。具体来说，例如设内周侧区域Ai中所包含的几十道的范围内沿旋转方向的基准长度互相相等，外周侧区域Ao中包含的几十道的范围内沿旋转方向的基准长度互相相等。另外，在说明各伺服图形区As中形成的凸起部分40a、40a…的突出端面沿旋转方向的长度时，只要不特别限定，则假设将相距磁盘10的中心的距离相等的同一半径位置(同一半径的区域内)相对应的长度作为基准进行说明。
另外，如图3所示，在数据记录区At中形成数据道图形40t。另外，在该图及后面参照的图5～11、26～28、31中用斜线涂满的区域表示凹凸图形40的凸起部分40a的形成区域。在这种情况下，如图5所示，数据道图形40t由以中心0(参照图2)为中心的同心圆状的多个凸起部分40a、40a…之间的凹下部分40b、40b…(道间凹下部分，以往的磁盘中的保持间距部分)所构成。另外，最好磁盘10的旋转中心与数据道图形40t的中心0一致，但在磁盘10的旋转中心与数据道图形40t的中心0之间有时产生因制造误差而引起的30～50μm左右的极小的偏移。但是由于即使是这样程度的偏移量，也是以能够对磁头3进行跟踪伺服控制，因此可以说旋转中心与中心O实际上相同。
另外，如图5所示，在该磁盘10的数据记录区At中，作为一个例子是凸起部分40a(数据记录道)的突出端面沿磁盘10的半径方向的长度L3、与凹下部分40b(保护间距部分)的底面沿磁盘10的半径方向的长度L4为互相相等的长度(长度比为1∶1)。另外，在该磁盘10中，数据记录区At中形成的凸起部分40a沿半径方向的长度L3、和凹下部分40b沿半径方向的长度L4规定为从磁盘10的内周侧区域Ai到外周侧区域Ao相等的长度。再有，将非磁性材料15埋入数据道图形40t的凹下部分40b、40b…，使数据记录区at的表面平滑。
另外，如图3所示，在伺服图形区As中形成伺服图形40s，该伺服图形具有在前同步图形区Ap形成的前同步图形、在地址图形区Aa形成的地址图形、在脉冲串图形区Ab形成的脉冲串图形、以及在非伺服信号区Ax形成的空图形。在这种情况下，前同步图形区Ap、地址图形区Aa及脉冲串图形区Ab相当于本发明的第1功能区，这些区域中形成的伺服图形40s相当于与本发明的“跟踪伺服控制用的控制信号”相对应的图形。另外，伺服图形40s中，前同步图形、地址图形及脉冲串图形(即除了空图形以外的图形)的凸起部分40a、40a…及凹下部分40b、40b…的形成位置及各自的大小(沿磁盘10的旋转方向的长度等)与本发明的“跟踪伺服控制用的控制信号”相对应来规定。
具体来说，前同步图形区Ap中形成的前同步图形是对从地址图形区Aa等读取各种控制信号用的基准时钟根据磁盘10的旋转状态(转速)进行修正用的伺服图形，如图6所示，沿磁盘10的半径方向(该图中的上下方向)长条状的凸起部分40a、40a…沿磁盘10的旋转方向(箭头R的方向)当中夹着凹下部分40b、40b…而形成。在这种情况下是这样规定的，使得前同步图形区Ap中形成的凸起部分40a、40a…的突出端面沿旋转方向的长度、以及凹下部分40b、40b…的底面沿旋转方向的长度是在相距中心0的距离相等的同一半径处互相相等的长度，而且外周侧区域Ao一侧比内周侧区域Ai要长。
在这种情况下，前同步图形区Ap中形成的凸起部分40a在外周侧区域Ao的突出端面沿旋转方向的长度，作为一个例如，规定为相对于数据记录区At中形成的凸起部分40a(数据记录道)的突出端面沿半径方向的长度L3的一半的长度。另外，前同步图形的凸起部分40a及凹下部分40b沿旋转方向的长度不限定于上述的例子，另外也可以将凸起部分40a的长度与凹下部分40b的长度规定为互相不同的长度。另外，由于前同步图形区Ap中形成的凸起部分40a、40a…的突出端面沿旋转方向的长度在同一半径位置互相相等，因此与凸起部分40a、40a…的突出端面在旋转方向一侧的两端部以两端相接的各内接圆的直径在同一半径位置互相相等。再有，在该磁盘10中，在前同步图形区Ap中的从内周侧区域Ai到外周侧区域Ao的整个区域形成的凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中，外周侧区域Ao中形成的凸起部分40a的突出端面的内接圆Qp1的直径L5为最大直径。
另外，地址图形区Aa中形成的地址图形是与表示磁头3在道上的道的道编号等的地址数据等相对应而形成的伺服图形，如图7所示，凸起部分40a、40a…的突出端面沿旋转方向的各长度、以及凹下部分40b、40b…的底面沿旋转方向的各长度与上述地址数据相对应来规定。在这种情况下是这样规定的，使得地址图形区Aa中形成的凸起部分40a、40a…的突出端面沿半径方向的各长度中的最小长度，作为一个例子，与数据道图形40t的凸起部分40a的突出端面沿半径方向的长度L3及凹下部分40b的底面沿半径方向的长度L3及凹下部分40b的底面沿半径方向的长度L4之和(即道间距)相等。另外，在该磁盘10中，在伺服图形区As内形成凹下部分40b、40b…，使得地址图形区Aa中形成的凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆Qa1(图7所示直径L1的内接圆)成为伺服图形区As内的所有凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆。
另外，如图3所示，脉冲串图形区Ab具有第1脉冲串区Ab1～第4脉冲串区Ab4的各脉冲串区、以及非伺服信号区Axb、Axb…。在这种情况下，第1脉冲串区Ab1～第4脉冲串区Ab4中形成的脉冲串图形是使磁头3在所希望的道上用的位置检测用的伺服图形，如图8及图9所示，沿磁盘10的旋转方向形成多个凹下部分40b、40b…，通过这样形成凸起部分40a与凹下部分40b沿旋转方向交替排列的区域、以及凸起部分40a在旋转方向连续的区域。在这种情况下，在该磁盘10中，脉冲串图形区Ab的脉冲串信号单位部分(在脉冲串图形区Ab中沿旋转方向排列的多个矩形区)由凹下部分40b、40b…构成。因而，与利用凸起部分40a、40a…构成脉冲串信号单位部分的磁盘相比，脉冲串图形区Ab内的磁性层14的表面积足够大。其结果，在脉冲串图形区Ab通过磁头3的下方时，从磁头3输出的输出信号的信号电平能够足够强。
在这种情况下是这样规定的，使得脉冲串图形区Ab的第1脉冲串区Ab1～第4脉冲串区Ab4中沿旋转方向排列的凹下部分40b、40b之间的凸起部分40a的突出端面沿旋转方向的长度，作为一个例子，与同一半径位置的前同步图形区Ap中形成的凸起部分40a的突出端面沿旋转方向的长度相等。另外是这样规定的，使得脉冲串图形区Ab中形成的凹下部分40b、40b…的底面沿旋转方向的长度，作为一个例子，与同一半径位置的前同步图形区Ap中形成的凹下部分40b的底面沿旋转方向的长度相等。再有是这样规定的，使得脉冲图形区Ab的第1脉冲串区Ab1～第4脉冲串区Ab4中沿半径方向排列的凹下部分40b、40b之间的凸起部分40a的突出端面沿半径方向的最小长度，与地址图形区Aa中形成的凸起部分40a的突出端面沿半径方向的最小长度相等，而且与数据道图形40t的凸起部分40a的突出端面沿半径方向的长度L3及凹下部分40b的底面沿半径方向的长度L4之和(即道间距)相等。
另外，如图3所示，脉冲串图形区Ab中形成的凹下部分40b、40b…的排列(沿旋转方向的排列)，在第1脉冲串区Ab1与第2脉冲串区Ab2之间沿半径方向错开一个道间距，同时在第3脉冲串区Ab3与第3脉冲串区Ab4之间沿半径方向错开一个道间距。再有，第1脉冲串区Ab1内的凹凸图形40和第2脉冲串区Ab2内的凹凸图形40成为一对而构成的脉冲串图形、与第3脉冲串区Ab3内的凹凸图形40和第4脉冲串区Ab4内的凹凸图形40成为一对而构成的脉冲串图形，沿半径方向相互错开1/2道间距。在这种情况下，如图8及9的两个图所示，在脉冲串图形区Ab的第1脉冲串区Ab 1～第4脉冲串区Ab4内形成的凸起部分40a的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆Qb1，在沿磁盘10的旋转方向排列的凹下部分40b、40b的排列之间对四个凹下部分40b、40b…以四点进行点接。另外，该内接圆Qb1的直径L2小于前述的地址图形区Aa内的内接圆Qa1的直径L1。
再有，如图3所示，在数据记录区at与前同步图形区Ap之间、前同步图形区Ap与地址图形区Aa之间、地址图形区Aa与脉冲串图形区Ab之间、以及脉冲串图形区Ab与数据记录区At之间，分别规定本发明的第2功能区的一个例子即非伺服信号区Ax。在该非伺服信号区ax中形成与上述的前同步图形区Ap、地址图形区Aa及脉冲串图形区Ab(第1脉冲串区Ab1～第4脉冲串区Ab4)中形成的各种图形不同的图形(“与第1功能区的凹凸图形的种类不同的凹凸图形”的一个例子)。具体来说，如图10所示，在非伺服信号区Ax中形成沿磁盘10的半径方向(该图中的上下方向)长条状的凸起部分40a、40a…，并沿磁盘10的旋转方向(箭头R的方向)当中夹着凹下部分40b、40b。
在这种情况下是这样规定的，即非伺服信号区Ax中形成的凸起部分40a的突出端面沿旋转方向的长度、以及凹下部分40b的底面沿旋转方向的长度，作为一个例子，是在相距中心O的距离相等的同一半径位置互相相等的长度，而且外周侧区域Ao一侧的长度比内周侧区域Ai要长。而且外周侧区域Ao一侧的长度比内周侧区域Ai要长。因而，非伺服信号区Ax中形成的凸起部分40a、40a…的突出端面在旋转方向一侧的两端部从两点相接的各内接圆的直径在同一半径位置互相相等，而且凸起部分40a的突出端面在外周侧区域Ao的内接圆Qx1(直径L6)为非伺服信号区Ax内的凸起部分40a、40a…的各内接圆中的最大直径的内接圆。另外，在该磁盘10中是这样规定的，即非伺服信号区Ax在外周侧区域Ao形成的凸起部分40a的突出端面沿旋转方向的长度、以及凹下部分40b的底面沿旋转方向的长度与数据记录区At的凸起部分40a的突出端面的长度L3及凹下部分40b的底面的长度l相等。另外，非伺服信号区Ax的凸起部分40a及凹下部分40b沿旋转方向的长度不限定于上述的例子，也可以将凸起部分40a的长度与凹下部分40b的长度规定为互相不同的长度。另外，也可以规定为与数据记录区At中形成的凸起部分40a的长度L3或凹下部分40b的长度L4不同的长度。
该非伺服信号区ax中形成的凹凸图形40是避免制造时磁盘10的表面平滑性恶化用的空图形，在对该磁盘10进行记录数据的记录重放时，虽然利用磁头3进行磁信号的读取及利用检测单元4进行伺服数据的检测处理，但与该非伺服信号区Ax中形成的凹凸图形40相对应的数据被控制单元6判别为与跟踪伺服用的伺服数据不同的数据。因而，关于非伺服信号区Ax内形成的凸起部分40a及凹下部分40b的长度，对其它图形的长度没有影响，在能够使磁盘10的表面平滑性好的范围内可以任意规定。另外，关于凸起部分40a及凹下部分40b的形状，也可以任意规定。
再有，如图3所示，在脉冲串图形区Ab的第1脉冲串区Ab1与第2脉冲串区Ab2之间、第2脉冲串区Ab2与第3脉冲串区Ab3之间、以及第3脉冲串区Ab3与第4脉冲串区Ab4之间，分别形成非伺服信号区Axb。该非伺服信号区Axb与上述的非伺服信号区Ax相同，是形成避免制造时磁盘10的表面平滑性恶化用的空图形的区域，如图11所示，形成与第1脉冲串区Ab1～第4脉冲串区Ab4的各区域中形成的脉冲串图形相同种类(相同形状)的图形作为空图形。具体来说，在第1脉冲串区Ab1与第2脉冲串区Ab2之间的非伺服信号Axb(图中左侧的非伺服信号区Axb)中，在旋转方向的第1脉冲串区Ab1一侧形成与第1脉冲串区Ab1相同种类的脉冲串图形(凸起部分40a、40a…及凹下部分40b、40b)，在旋转方向的第2脉冲串区Ab2一侧形成与第2脉冲串区Ab2相同种类的脉冲串图形(凸起部分40a及凹下部分40b、40b)。
另外，在第2脉冲串区Ab2与第3脉冲串区Ab3之间的非伺服信号区Axb(图11的中间的非伺服信号区Axb)中，在旋转方向的第2脉冲串区Ab2一侧形成与第2脉冲串区Ab2相同种类的脉冲串图形，在旋转方向的第3脉冲串区Ab3一侧形成与第3脉冲串区Ab3相同种类的脉冲串图形。再有，在第3脉冲串区Ab3与第4脉冲串区Ab4之间的非伺服信号区Axb(图11右侧的非伺服信号区Axb)中，在旋转方向的第3脉冲串区Ab3一侧形成与第3脉冲串区Ab3相同种类的脉冲串图形，在旋转方向的第4脉冲串区Ab4一侧形成与第4脉冲串区Ab4相同种类的脉冲串图形。因而，脉冲串图形区Ab看起来就像不存在非伺服信号区Axb那样，而是第1脉冲串区Ab1～第4脉冲串区Ab4互相连接、连续的状态。但是，在对该磁盘10进行记录数据的记录重放时，虽然从非伺服信号区Axb利用磁头3进行磁信号的读取等，但与该非伺服信号区Axb中形成的凹凸图形40相对应的数据被控制单元6判别为与跟踪伺服用的伺服数据不同的数据。
在这种情况下，如图11所示，非伺服信号区Axb内形成的凸起部分40a的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆Qb1，与第1脉冲串区Ab1～第4脉冲串区Ab4内形成的凸起部分40a的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆Qb1相同，在沿旋转方向排列的凹下部分40b、40b的排列之间对四个凹下部分40b、40b…以四点进行点接。另外，该内接圆Qb1的直径L2小于前述的地址图形区Aa内的内接圆Qa1的直径L1。另外，关于非伺服信号区Axb内形成的凸起部分40a及凹下部分40b的长度及形状，对其它图形的长度没有影响，在能够使磁盘10的表面平滑性好的范围内可以任意规定。
在该磁盘10中，如前所述，地址图形区Aa中形成的各凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆Qa1(直径L1)成为伺服图形区As内形成的各凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆。换句话说，在该磁盘10中，在伺服图形区As内形成凹下部分40b、40…，使得在伺服图形区As内不存在具有能够存在直径超过上述内接圆Qa1的直径L1的内接圆的突出端面的凸起部分40a。另外，在该磁盘10中，数据记录区At中形成的凸起部分40a的突出端面沿半径方向的长度L3比上述内接圆Qa1的直径L要短很多。换句话说，在该磁盘10中，在数据记录区At内形成凹下部分40b、40b…，使得在数据记录区内At内不存在具有能够存在直径超过上述内接圆Qa1的直径L1的内接圆的突出端面的凸起部分40a。
下面说明磁盘10的制造方法。
在制造上述磁盘10时，使用图12所示的中间体20及图13所示的压印模30。在这种情况下，如图12所示，中间体20是在玻璃基材11上依次形成软磁性层12、中间层13及磁性层14，同时在磁性层14上形成掩膜层17以及厚80nm左右的树脂层(抗蚀剂层)18而构成。另外，压印模30是本发明有关的磁记录介质制造用的压印模的一个例子，如图13所示构成，它形成能够形成凹凸图形41的凹凸图形39，该凹凸图形41是用来形成磁盘10的凹凸图形40(数据道图形40t及伺服图形40s)的图形，可利用压印法来控制磁盘10。在这种情况下，压印模30的凹凸图形39的凸起部分39a、39a…与磁盘10的凹凸图形40的凹下部分40b、40b…相对应而形成，凹下部分39b、39b…与凹凸图形40的凸起部分40a、40a…相对应而形成。
在制造该压印模时，如图14所示，首先，在玻璃基材31上作为一个例子旋涂正型抗蚀剂后，进行烘烤处理，从而在玻璃基材31上形成厚150nm左右的抗蚀剂层32。然后，如图15所示，对与压印模30的凹下部分39b、39b…相对应的部位(即，与磁盘10的凸起部分40a、40a…相对应的部位)照射电子束32a，在抗蚀剂层32中形成潜像32b(道图形及伺服图形)。接着，对抗蚀剂层32进行显影处理，从而如图16所示，在玻璃基材31上形成由抗蚀剂层32构成的凹凸图形33(凸起部分33a及凹下部分33b)。接着，如图17所示，利用溅射法形成厚30nm左右的镍层34，以覆盖凹凸图形33的凸起部分33a、33a…及凹下部分33b、33b…。然后，将该镍层34用作为电极，进行电镀处理，从而如图18所示，在镍层34上形成镍层35。这时，利用抗蚀剂层32形成的凹凸图形33转印至镍层34与35的层叠体，在凹凸图形33的凸起部分33a、33a…的部位形成凹下部分36b、36b…，同时在凹下部分33b、33b的部位形成凸起部分36a、36a…，在镍层34与35的层叠体上形成凹凸图形36。
接着，将玻璃基材31、抗蚀剂层32及镍层34与35的层叠体浸入抗蚀剂剥离液，从而除去镍层34与35的层叠体和玻璃基材31之间的抗蚀剂层32。通过这样，如图19所示，镍层34与35的层叠体从玻璃基材31剥离，完成压印模37。然后，将压印模37用作为主压印模，制成压印模30(母压印模)。具体来说，首先对压印模37进行表面处理，从而在压印模37的凹凸图形36的形成面上形成氧化膜。接着，如图20所示，对形成了氧化膜的压印模37利用镀层处理形成镍层38。这时，压印模37的凹凸图形36转印至镍层38，在凸起部分36a、36a…的部位形成凹下部分39b、39b…，同时在凹下部分36b、36b…的部位形成凸起部分39a、39a…，在镍层38上形成凹凸图形39。然后，从镍层38剥离压印模37之后，对镍层38的反面(相对于凹凸图形39的形成面的反面)进行研磨处理，使其平坦化，通过这样如图13所示，完成压印模30。
另外，在制造中间体20时，首先在玻璃基材11上溅射CoZrNb合金，在玻璃基材11上形成软磁性层12之后，在软磁性层12上通过溅射中间层形成材料，形成中间层13。然后，在中间层13上通过溅射CoCrPt合金，形成厚15nm左右的磁性层14。接着，在磁性层14上形成掩膜层17，再在掩膜层17上作为一个例子是旋涂抗蚀剂层，形成厚80nm左右的树脂层18。通过这样，完成中间体20。
接着，如图21所示，对中间体20的树脂层18利用压印法转印压印模30的凹凸图形39。具体来说，将压印模30的凹凸图形39的形成面对中间体20的树脂层18进行按压，通过这样将凹凸图形39的凸起部分39a、39a压入中间体的树脂层18。这时，压入凸起部分39a、39a…的部位的抗蚀剂(树脂层18)向凹凸图形39的凹下部分39b、39b…内移动。然后，从中间体20剥离压印模30，再利用氧等离子体处理，除去底面残存的树脂(未图示)，通过这样如图22所示，在中间体20的掩膜层17上形成由树脂层18构成的凹凸图形41。这时，凹凸图形41的凸起部分41a、41a…的高度(凹下部分41b、41b…的深度)为130nm左右。
接着，将上述的凹凸图形41(树脂层18)用作为掩膜，进行刻蚀处理，通过这样在凹凸图形41的凹下部分41b、41b…的底部对从掩膜(凸起部分41a、41a…)露出的掩膜层17进行刻蚀，如图23所示，在中间体20的掩膜层17形成具有凸起部分42a及凹下部分42b的凹凸图形42。接着，将凹凸图形42(掩膜层17)用作为掩膜，进行刻蚀处理，通过这样在凹凸图形42的凹下部分42b、42b…的底部对从掩膜(凸起部分42a、42a…)露出的磁性层14进行刻蚀，如图24所示，在中间体的磁性层14形成具有凸起部分40a及凹下部分40b的凹凸图形40。通过这样，在中间层13上形成数据道图形40t及伺服图形40s(凹凸图形40)。接着，对凸起部分40a、40a…上残存的掩膜层17有选择地进行刻蚀处理，从而完全除去残存的掩膜层17，使凸起部分40a、40a…的突出端面露出。
接着，如图25所示，溅射作为非磁性材料15的SiO2。这时，充分溅射非磁性材料15，使得形成利用非磁性材料15完全填埋凹下部分40b、40b…、而且在凸起部分40a、40a…上形成例如厚60nm左右的非磁性材料层15。接着，对磁性层14上(凸起部分40a、40a…上及凹下部分40b、40b…上)的非磁性材料层15进行离子束刻蚀处理。这时继续进行离子束刻蚀，一直到在中间体20的外周侧(后面成为磁盘10的外周侧区域Ao的部位)的地址图形区Aa中，各凸出部分40a、40a…的突出端面从非磁性材料15露出。
这时，在该磁盘10(中间体20)中，如前所述，在伺服图形区As的整个区域及数据记录区At的整个区域中形成凹下部分40b、40b…，在伺服图形区As及数据记录区At形成凹凸图形40(伺服图形40s及数据道图形40t)，使得不存在具有能够存在直径超过上述内接圆Qa1的直径L1的内接圆的突出端面的凸起部分40a(使得不存在突出端面过宽的凸起部分40a)。因而，与以往的磁盘10z不同，在伺服图形区As内的凸起部分40a、40a…及数据记录区At内的凸起部分40a、40a…上不会产生厚的残渣，各凸起部分40a、40a…的突出端面(上表面)从非磁性材料15露出。通过这样，对非磁性材料层15的离子束刻蚀处理结束后，中间体20的表面实现平坦化。接着，利用CVD法形成类金刚石碳(DLC)的薄膜，覆盖中间体20的表面，从而形成保护层16，之后在保护层16的表面涂布フオンブリン系润滑剂，达到平均厚度例如2nm左右。通过这样，如图4所示，完成磁盘10。
在装有该磁盘10的硬盘驱动器1中，如前所述，在对磁盘10进行记录数据的记录重放时，与非伺服信号区Ax、Ax…及非伺服信号区Axb、Axb…中形成的凹凸图形40相对应的数据被控制单元6判别为是与跟踪伺服用的伺服数据不同的数据。具体来说，控制单元6在包含检测单元4输出的伺服数据的数据中，根据与前同步图形区Ap、地址图形区Aa及脉冲串图形区Ab(除了非伺服信号区Axb)中形成的凹凸图形40相对应的数据，控制驱动单元5，通过这样驱动执行机构3b，使磁头3在所希望的道上。其结果，不受非伺服信号区Ax及Axb中形成的凹凸图形40(空图形)存在的影响，能够对数据记录区At内的凸起部分40a、40a…(数据记录道)通过在道上的磁头3进行记录数据的记录重放。
这样，根据该磁盘10及硬盘驱动器1，由于在伺服图形区As形成凹下部分40b、40b…，使得地址图形区Aa中形成的各凸起部分40a、40a…的突出端的各内接圆中的最大直径的内接圆Qa1为伺服图形区As中形成的各凸起部分40a、40a…的突出端的各内接圆中的最大直径的内接圆，从而在伺服图形区As内不存在具有能够存在直径超过上述内接圆Qa1的直径L1的内接圆的宽突出端面的凸起部分40a，因此在对覆盖伺服图形区As内的凹凸图形40而形成的非磁性材料层15进行刻蚀处理时，能够避免在凸起部分40a、40a…上产生厚的线渣的情况。通过这样，能够提供伺服图形区As内的平坦性好、而且能够确定读取伺服数据的磁盘10、以及具有该磁盘10的硬盘驱动器1。
另外，根据该磁盘10及硬盘驱动器1，通过在数据记录区At形成各数据记录道(凸起部分40a、40a)，使得沿半径方向的长度L3小于等伺服图形区As中形成的各凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆的直径(在该例子中，是地址图形Aa中形成的凸起部分40a的突出端面的内接圆QA1的直径L1)，从而能够避免在数据记录区At内的凸起部分40a、40a…上产生厚的残渣的情况。因而，能够提供在伺服图形区As及数据记录区At的两个区域(磁盘10的整个区域)中平坦性好、而且能够进行稳定的记录重放的磁盘10、以及具有该磁盘10的硬盘驱动器1。
再有，根据该磁盘10及硬盘驱动器1，通过具有制造时利用凹凸图形40来记录跟踪伺服控制用的控制信号的多种第1功能区(在该例中，是前同步图形区Ap、地址图形区Aa及脉冲串图形区Ab)、以及形成与各第1功能区的凹凸图形40不同种类的凹凸图形40的第2功能区(非伺服信号区Ax)，构成伺服图形区As，从而与非伺服信号区Axz及Axbz的整个区域由凸起部分构成的以往的磁盘10z不同，能够避免在第2功能区内产生残渣的情况，即使产生残渣，也能够使该残渣足够薄。
另外，根据该磁盘10及硬盘驱动器1，通过在非伺服信号区Ax形成凹下部分40b、40b…，使得非伺服信号区Ax中形成的各凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆的直径为小于等于地址图形区Aa中形成的各凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆Qa1的直径，从而能够避免在非伺服信号区Ax内产生厚的残渣的情况。
另外，根据该硬盘驱动器1，通过具有根据从磁盘10的伺服图形区As读取的规定信号、进行跟踪伺服控制处理，从而不受非伺服信号区Ax(第2功能区)中形成的凹凸图形40(空图形)存在的影响，能够对于数据记录区At内的凸起部分40a、40a…(数据记录道)通过在道上的磁头3进行记录数据的记录重放。
另外，根据上述的压印模30，通过形成具有与磁盘10的凹凸图形40的凹下部分相对应的而形成的凸起部分、以及与前述磁记录介质的前述凹凸图形的凸起部分相对应而形成的凹下部分的凹凸图形39，从而在对中间体20进行压印处理时，能够形成在伺服图形区As等中不存在突出端面宽的凸起部分41a(例如，沿旋转方向的长度及沿半径方向的长度过长的凸起部分41a)的凹凸图形41。因而，通过使用与该凹凸图形41的凹凸位置关系一致的掩膜(在该例如中，是凹凸图形42)，对中间体20进行刻蚀处理，从而能够避免在伺服图形区As内形成具有能够存在直径超过地址图形区Aa中形成的凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆(在该例中，是内接圆Qa1)的直径L1的内接圆的宽突出端面的凸起部分40a的情况。因而，在对覆盖该凹凸图形40而形成的非磁性材料层15进行刻蚀处理时，能够避免在伺服图形区As内的凸起部分40a上产生厚的残渣的情况。通过这样，能够制造平坦性好、而且能够确实读取伺服数据的磁盘10。另外，由于与磁盘10的各凸起部分40a的突出端面相对应，压印模30不存在过宽的凹下部分，因此在对中间体20的树脂层18压入凹凸图形39时，能够避免产生因树脂材料(树脂层18)向凹下部分39b内的移动量不足而引起的凸起部分41a的高度不足(树脂掩膜的厚度不足)的情况。因而，在将凹凸图形41作为掩膜对掩膜层17进行刻蚀时，能够避免对掩膜层17的刻蚀结束之前凸起部分41a消失的情况，其结果能够在磁性层14上形成具有足够深度的凹下部分42b的凹凸图形42。通过这样，在将该凹凸图形42作为掩膜对磁性层14进行刻蚀处理时，能够在中间层113上，形成具有足够深度的凹下部分40b的凹凸图形40。
另外，本发明不限定于上述的结构。例如，在上述磁盘10中，是在伺服图形区As内形成凹下部分40b、40b…，使得地址图形区Aa中形成的各凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径(在该例中，是直径L1)的内接圆Qa1成为伺服图形区As内形成的全部凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆，但本发明不限定于此，例如也可以如图26所示的磁盘10a那样，在伺服图形区As内形成凹下部分40b、40b…，使得脉冲串图形区Ab(第1脉冲串区Ab1～第4脉冲串区域Ab4)中形成的各凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆Qb2成为伺服图形区As内形成的全部凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆(在该例中，是内接圆Qx2、Qp2、Qa2)中的最大直径的内接圆。具体来说，在该磁盘10a中，如图27所示，脉冲串图形区Ab中形成的凸起部分40a的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆Qb2，在沿磁盘10的旋转方向排列的凹下部分40b、40b…的排列之间对四个凹下部分40b、40b…以四点进行点接。另外，如图28所示，地址图形区Aa中形成的凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆Qa2，在凸起部分40a的旋转方向一侧的两端部对凹下部分40b、40b以两个进行点接，该内接圆Qa2的直径L1a(1)于上述的内接圆Qb2的直径L2a。
在该磁盘10a中，如上所述，脉冲串图形区Ab中形成的各凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆Qb2(直径L2a)成为伺服图形区As内形成的各凸起部分40a、40a…的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆。换句话说，在该磁盘10a中，在伺服图形区As内形成凹图形40，使得不存在具有能够存在直径超过上述内接圆Qb2的直径L2a的内接圆的突出端面的凸起部分40a。另外，在该磁盘10a中，数据记录区At的凸起部分40a沿半径方向的长度L3比上述内接圆Q62的直径L2a要短很多。换句话说，在该磁盘10a中，在数据记录区At内形成凹凸图形40，使得不存在具有能够存在直径超过上述内接圆Qb2的直径L2a的内接圆的突出端面的凸起部分40a。
因而，根据该磁盘10a，与前述的磁盘10相同，在对覆盖伺服图形区As及数据记录区At内的凹凸图形40而形成的非磁性材料层15进行刻蚀处理时，能够避免在凸起部分40a、40a…上产生厚的残渣的情况。通过这样，能够提供整个区域的平坦性好、能够确实读取伺服数据的磁盘10a。
另外，在上述的磁盘10中，是从凹凸图形40的凸起部分40a的突出端部到根端部的整个部分由磁性层14(磁性材料)形成，但构成本发明的凹凸图形的凸起部分不限定于此。具体来说，例如如图29所示的磁盘10b那样，通过形成较薄厚度的磁性层14，以覆盖玻璃基材11上形成的凹凸图形(与凹凸图形的凹凸位置关系相同的凹凸图形)，从而能够利用其表面由磁性材料形成的多个凸起部分40a、40a…及底面由磁性材料形成的多个凹下部分40b、40b…构成凹凸图形40。另外，也可以如图30所示的磁盘10c那样，不仅是凸起部分40a，而且包含凹下部分40b的底部也由磁性层14形成，从而构成凹凸图形40。再有，也可以例如仅凹凸图形40的凸起部分40a的突出部分由磁性层14形成，而根端部一侧由非磁性材料或软磁性材料形成，具有这样形成的凸起部分40a、40a…，从而构成凹凸图形40(未图示)。
另外，在上述磁盘10中，是在非伺服信号区Ax、Ax…及非伺服信号区Axb、Axb…中形成空图形(凹凸图形40)，但本发明不限定于此。例如也可以如图31所示的磁盘10d那样，在数据记录区At与前同步图形区Ap之间、前同步图形区Ap与地址图形区Aa之间、地址图形区Aa与脉冲串图形区Ab之间、以及脉冲串图形区Ab与数据记录区At之间规定非伺服信号区An(本发明的第2功能区的其它一个例子)，同时在脉冲串图形区Ab的第1脉冲串区Ab1与第2脉冲串区Ab2之间、第2脉冲串区Ab2与第3脉冲串区Ab3之间、以及第3脉冲串区Ab3与第4脉冲串区Ab4之间也规定非伺服信号区An，由凹下部分40b构成非伺服信号区an的整个区域。
在该磁盘10d中，与前述的磁盘10及磁盘10a相同，对于除了非伺服信号区域An的部位形成凹凸图形40，使得地址图形区Aa中形成的凸起部分40a、与脉冲串图形区Ab(第1脉冲串区Ab1～第4脉冲串区Ab4)中形成的凸起部分40a的任一方的突凸端面的最大直径的内接圆，成为伺服信号区As内的全部凸起部分40a、40a的突出端面的内接圆中的最大直径的内接圆。另外，在该磁盘10d中，非伺服信号区An、An…的整个区域由凹下部分40b构成。因而，根据该磁盘10d，由于在非伺服信号区An、An…内不存在有可能产生残渣的凸起部分40a，而且对于除了非伺服信号区An、An…的部位，也不存在突出端面过宽的凸起部分40a(在规定范围内不存在凹下部分40b的凸起部分40a)，因此在对覆盖伺服图形区As内的凹凸图形40而形成的非磁性材料层15进行刻蚀处理时，能够避免在包含非伺服信号区An、An…的伺服图形区As的整个区域中在凸起部分40a、40a…上产生厚的残渣的情况。通过这样，能够提供伺服图形区As内的平坦性好、而且能够确实读取伺服数据的磁盘10d。
另外，在上述磁盘10中，是在非伺服信号区Ax、Ax…内形成具有外周侧区域Ao中沿旋转方向的长度与数据记录区At内的凸起部分40a沿半径方向的长度L3(数据记录道的道宽)相等的带状凸起部分40a、40a…的凹凸图形40作为空图形，但本发明不限定于此。例如，可以像磁盘10的非伺服信号区Axb那样，采用形成与对非伺服信号区Ax沿旋转方向相邻的区域内形成的凹凸图形40相同种类的图形作为空图形的结构(伺服图形区As内不存在本发明的第2功能区的结构)，或者采用形成形状与本发明的第1功能区内的凹凸图形40不相同的任意形状的凹凸图形40作为空图形的结构。再有，在上述磁盘10中，是在非伺服信号区Axb内形成与第1脉冲串区Ab1～第4脉冲串区Ab4内的凹凸图形40相同种类的凹凸图形40作为空图形，但本发明不限定于此。例如，可以采用在非伺服信号区Axb内形成与非伺服信号区Ax内的凹凸图形40相同种类的凹凸图形40的结构，或者采用形成形状与本发明的第1功能区内的凹凸图形40不相同的任意形状的凹凸图形40作为空图形的结构。除此以外，在上述磁盘10～10d中，是仅在玻璃基材11的单面形成伺服图形40s及数据道图形40t，但本发明有关的磁记录介质不限定于此，也可以在玻璃基板11的正反两面形成伺服图形40s及数据道图形40t。

Claims (8)

1.一种磁记录介质，其特征在于，
在基材的至少一面的伺服图形区，利用具有至少突出端部由磁性材料形成的多个凸起部分及凹下部分的凹凸图形，形成伺服图形，同时该伺服图形区构成为具有地址图形区及脉冲串图形区；
在该伺服图形区形成所述凹下部分，使得所述地址图形区中形成的所述各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆、与所述脉冲串图形区中形成的所述各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆的较大一方的内接圆，成为所述伺服图形区中形成的所述各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆。
2.如权利要求1所述的磁记录介质，其特征在于，
在所述基材的至少所述一面的数据记录区，利用至少突出端部由所述磁性材料形成的凸起部分、形成多个数据记录道，该各数据记录道形成为沿所述半径方向的长度成为小于等于所述较大一方的内接圆的直径。
3.一种磁记录介质，其特征在于，
在基材的至少一面的伺服图形区，利用具有至少突出端部由磁性材料形成的多个凸起部分及凹下部分的凹凸图形形成伺服图形；
所述伺服图形区构成为具有制造时利用所述凹凸图形来记录跟踪伺服控制用的控制信号的多种第1功能区、以及形成与该各第1功能区的所述凹凸图形不同种类的凹凸图形的第2功能区。
4.如权利要求3所述折磁记录介质，其特征在于，
所述伺服图形区的构成为具有作为所述多种第1功能区的一种的地址图形区及脉冲串图形区；
在该第2功能区形成所述凹下部分，使得所述第2功能区中形成的所述各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆的直径，成为小于等于所述地址图形区中形成的所述各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆、与所述脉冲串图形区中形成的所述各凸起部分的突出端面的各内接圆中的最大直径的内接圆的较大一方的直径。
5.一种磁记录介质，其特征在于，
在基材的至少一面的伺服图形区，利用具有至少突出端部由磁性材料形成的多个凸起部分及凹下部分的凹凸图形形成伺服图形；
所述伺服图形区构成为具有制造时利用所述凹所述凹凸图形来记录跟踪伺服控制用的控制信号的多种第1功能区、以及遍及其整个区域形成所述凹下部分的第2功能区。
6.一种记录重放装置，其特征在于，
具有如权利要求1或2所述的磁记录介质、以及根据从该磁记录介质的所述伺服图形区读取的规定信号进行跟踪伺服控制处理的控制单元。
7.一种记录重放装置，其特征在于，
具有如权利要求3至5的任一项所述的磁记录介质、以及根据从该磁记录介质的所述第1功能区读取的规定信号、进行跟踪伺服控制处理的控制单元。
8.一种磁记录介质制造用的压印模，其特征在于，
形成具有与如权利要求1至5的任一项所述的磁记录介质的所述凹凸图形的凹下部分相对应而形成的凸起部分、以及与所述磁记录介质的所述凹凸图形的凸起部分相对应而形成的凹下部分的凹凸图形。
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