JP4197689B2 - 情報記録媒体、記録再生装置およびスタンパー - Google Patents

Description

本発明は、凹凸（凹凸パターン）によってデータトラックパターンおよびサーボパターンが形成されると共に凹凸の各凹部に非磁性材料が埋め込まれた情報記録媒体と、その情報記録媒体を備えた記録再生装置と、その情報記録媒体を製造するためのスタンパーとに関するものである。

この種の情報記録媒体を備えた記録再生装置として、ディスクリートトラック型の磁気ディスクを備えて構成された磁気記録装置が特開平９−９７４１９号公報に開示されている。この場合、磁気ディスクは、ガラスディスク基板（基材）の一面側に記録磁性部材（磁性材料）で同心円状の記録トラック（帯状の凸部）が形成されている。また、各記録トラックの間（凹部）には、磁気ディスクの平坦性を向上させると共に、隣り合う磁気トラックを磁気的に分離するためのガードバンド部材（非磁性材料）が埋め込まれてガードバンド部が形成されている。この磁気ディスクの製造に際しては、まず、基材の一面側に磁性材料をスパッタリングして記録磁気層を形成する。次いで、記録磁気層を覆うようにしてポジ形レジストをスピンコートしてプリベークした後に、原盤カッティング装置を用いてガードバンド部のパターンと同じパターンを描画して現像処理する。これにより、記録磁気層の上にレジストパターンが形成される。続いて、レジストパターンをマスクとして用いて記録磁気層をエッチング処理した後にアッシング装置によって残留マスクを除去する。これにより、基材の上に磁性材料からなる記録トラックやサーボパターン（凸部）が形成される。次いで、この状態の基材に非磁性材料をスパッタリングする。この際には、各記録トラック間の凹部が非磁性材料で埋め尽くされ、かつ、各記録トラックが非磁性材料で覆われるまで非磁性材料を十分にスパッタリングする。続いて、スパッタリングした非磁性材料の表面をドライエッチング処理することにより、非磁性材料から記録トラックの上面を露出させる。これにより、記録トラックおよびガードバンド部が交互に隣接した状態となり、磁気ディスクが完成する。
特開平９−９７４１９号公報（第６−１２頁、第１−１９図）

ところが、従来の磁気ディスクには、以下の問題点がある。すなわち、従来の磁気ディスクでは、記録磁気層（記録トラック）を覆うようにして非磁性材料をスパッタリングした後に、記録トラックやサーボパターン等の凸部の上面が露出するまで非磁性材料をドライエッチング処理して表面を平坦化している。しかし、この製造方法に従って磁気ディスクを製造した場合には、磁気ディスクの外周側において、磁性材料で形成されている凸部の上に非磁性材料が大量に残留して（以下、凸部の上に残留した非磁性材料を「残渣」ともいう）厚手の非磁性材料によって凸部が覆われた状態となることがある。

具体的には、例えば、図２９に示すように、上記の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｘは、同心円状の複数の記録トラックで構成された凹凸パターン２０ｔ（凹凸）が形成されたトラックパターン領域Ａｔと、トラッキングサーボ用の凹凸パターン２０ｓｘ（凹凸）が形成されたサーボパターン領域Ａｓｘとが磁気ディスク１０ｘの回転方向（同図に示す矢印Ｒの向き）で交互に並ぶように規定されて製造されている。この場合、この種の磁気ディスクを搭載した記録再生装置では、記録再生時に磁気ディスクを角速度一定で回転させるのが一般的となっている。したがって、この磁気ディスク１０ｘでは、単位時間当たりに磁気ヘッド（図示せず）の下方を通過させられる磁気ディスク１０ｘ上の長さに比例して、磁気ディスク１０ｘの回転方向に沿ったサーボパターン領域Ａｓｘの長さが磁気ディスク１０ｘの内周側から外周側に向かうほど長くなるように（サーボパターン領域Ａｓｘが磁気ディスク１０ｘの外周側ほど幅広となるように）規定されている。具体的には、図３０，３２に示すように、内周側領域Ａｘｉにおける内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉの長さよりも、外周側領域Ａｘｏにおける外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏの長さの方が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏ（図２９参照）からの距離に比例して長くなっている。また、この種の磁気ディスクでは、中心Ｏからの距離が等しい部位においてサーボパターン領域Ａｓｘ（凹凸パターン２０ｓｘ）における凸部２１ｓｘｉ，２１ｓｘｏ（以下、区別しないときは「凸部２１ｓｘ」ともいう）の回転方向に沿った単位凸部長（磁気信号の読み取りに際して「１つの凸部有り」と検出される基準の長さ：図３１，３３におけるＬ１ｘｉ，Ｌ１ｘｏ）と、凹部２２ｓｘｉ，２２ｓｘｏ（以下、区別しないときは「凹部２２ｓｘ」ともいう）の回転方向に沿った単位凹部長（磁気信号の読み取りに際して「１つの凹部有り」と検出される基準の長さ：図３１，３３におけるＬ２ｘｉ，Ｌ２ｘｏ）とが等しくなるように規定されている。したがって、この磁気ディスク１０ｘでは、内周側から外周側までの全域において単位凹部長に対する単位凸部長の比が１となっている。

したがって、図３１，３３に示すように、この磁気ディスク１０ｘでは、内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉにおける凸部２１ｓｘｉの長さＬ１ｘｉよりも、外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏにおける凸部２１ｓｘｏの長さＬ１ｘｏの方が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して長くなっている。この場合、出願人は、非磁性材料１５をドライエッチング処理して各凸部２１ｓｘ，２１ｓｘ・・を露出させる際に、その下方に存在する凸部２１ｓｘの長さが長いほど（凸部２１ｓｘの上面の幅が広いほど）、非磁性材料１５に対するエッチングの進行が遅くなる現象を見出している。このため、図３１に示すように、その長さＬ１ｘｉが比較的短い内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉにおいて凸部２１ｓｘｉ上の残渣（非磁性材料１５）が除去されて磁気ディスク１０ｘの内周側において平坦性が良好となる（表面粗さＲａの値が小さくなる：または、凹凸の高低差Ｈｘｉが小さくなる）ようなエッチング条件で磁気ディスク１０ｘの内周側から外周側までの全域をエッチング処理したときには、図３３に示すように、その長さＬ１ｘｏが比較的長い外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏにおいて凸部２１ｓｘｏ上に比較的厚手の残渣（非磁性材料１５）が存在する状態となる。したがって、このようなエッチング条件で非磁性材料１５をエッチング処理したときには、磁気ディスク１０ｘの外周側における表面粗さＲａ（または、凹凸の高低差Ｈｘｏ）が非常に大きくなる。このように、従来の磁気ディスク１０ｘには、その外周側において、凸部２１ｓｘｏが厚手の非磁性材料１５によって覆われた状態となることに起因して、磁気ディスク１０ｘの平坦性が外周側において（中心Ｏからの距離が長くなるほど）著しく悪化するという問題点がある。

また、従来の磁気ディスクでは、その製造工程において、記録磁気層を覆うようにして形成したポジ形レジストの層に原盤カッティング装置を用いて露光パターンを描画した後に現像処理することでレジストパターンが形成される。この場合、露光パターンの描画にある程度の時間を要するため、記録磁気層をエッチング処理するためのレジストパターン（マスク）を短時間で形成するのが困難となっている。このため、この点を改善するのが好ましい。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、内周側から外周側までの全域において平坦性が良好な情報記録媒体、平坦性が良好な情報記録媒体を有する記録再生装置、およびエッチング処理用の凹凸パターン（凹凸）を短時間で容易に形成し得るスタンパーを提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく本発明に係る情報記録媒体は、回転型の情報記録媒体であって、複数の凸部および凹部で構成された第１の凹凸によってデータトラックパターンが基材の少なくとも一面側に形成されると共に複数の凸部および凹部で構成された第２の凹凸によってサーボパターンが当該少なくとも一面に形成され、かつ、当該第１の凹凸および当該第２の凹凸の当該各凹部に非磁性材料が埋め込まれ、前記データトラックパターンの前記各凸部は、所定の中心を中心とする同心円状または螺旋状となるように形成され、前記データトラックパターンおよび前記サーボパターンは、前記中心を中心とする同心でその形状が環状の複数の環状領域に区分けされ、前記基材の回転方向に沿った長さであって磁気信号の読み取りに際して前記サーボパターンにおける１つの前記凸部有りと検出するための基準の長さを単位凸部長としたときに、前記各環状領域毎の前記単位凸部長は、当該各環状領域内における当該単位凸部長の平均長を前記中心から当該環状領域の最内周部位までの距離で除した値が内周側の当該環状領域よりも外周側の当該環状領域ほど小さくなるように規定されている。

なお、本明細書における「同心円状または螺旋状となるように形成されたデータトラックパターンの各凸部」には、凹凸の凹部によって情報記録媒体における半径方向および回転方向の双方に対して分離された単位記録要素としての凸部が同心円状または螺旋状に配列させられているパターンド媒体のデータトラックパターンにおける上記の単位記録要素としての凸部が含まれる。また、上記したように、本明細書における「単位凸部長」とは、情報記録媒体からの磁気信号の読み取りに際して「１つの凸部有り」と検出するための基準の長さをいう。したがって、実際の情報記録媒体では、サーボデータの内容に応じて、単位凸部長の整数倍の長さの凸部が形成されてサーボパターンが構成される。この場合、「１つの凸部有り」と検出するための基準の長さについては、サーボパターンの全体において１つの共通する長さに規定してもよいし、サーボパターンを構成する各種パターンの種類（プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターン等）に応じて各パターン毎に相違する長さに規定することもできる。また、一般的には、凸部の形成部位は「検出信号の出力有り」または「信号レベルがHighの検出信号」として検出される。

また、本発明に係る情報記録媒体は、前記基材の回転方向に沿った長さであって磁気信号の読み取りに際して前記サーボパターンにおける１つの前記凹部有りと検出するための基準の長さを単位凹部長としたときに、前記各環状領域毎の前記単位凸部長および当該単位凹部長は、当該単位凹部長に対する当該単位凸部長の比が当該環状領域内において当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように規定されている。なお、上記したように、本明細書における「単位凹部長」とは、情報記録媒体からの磁気信号の読み取りに際して「１つの凹部有り」と検出するための基準の長さをいう。したがって、実際の情報記録媒体では、サーボデータの内容に応じて、単位凹部長の整数倍の長さの凹部が形成されてサーボパターンが構成される。この場合、「１つの凹部有り」と検出するための基準の長さについては、サーボパターンの全体において１つの共通する長さに規定してもよいし、サーボパターンを構成する各種パターンの種類（プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターン等）に応じて各パターン毎に相違する長さに規定することもできる。また、一般的には、凹部の形成部位は「検出信号の出力なし」または「信号レベルがLow の検出信号」として検出される。

さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長が、前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されている。

また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長が、前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸における単位凸部長がいずれかの環状領域内において僅かにばらついた状態になったとしても、それらの長さ（製造目標としての所定の長さを中心とする所定範囲内の長さ）は等しい長さの範疇に含まれるものとする。また、本明細書における「ほぼ等しい長さ」には、製造目標としての所定の長さを中心として、製造誤差とは別に当初から規定した僅かな幅の許容範囲内の長さが含まれるものとする。

さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長および前記単位凹部長が、当該単位凸部長および当該単位凹部長の合計長が前記環状領域内において前記中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸における単位凸部長と単位凹部長との合計長がいずれかの環状領域内においてデータトラックパターンにおける同心円状または螺旋状となるように形成された各凸部の中心からの距離に対して比例する長さとは僅かに相違する長さになったとしても、その凹凸における単位凸部長と単位凹部長との合計長は、中心からの距離に比例している長さの範疇に含まれるものとする。

また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長が、前記環状領域内において前記中心からの距離に比例して当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定され、前記基材の回転方向に沿った長さであって磁気信号の読み取りに際して前記サーボパターンにおける１つの前記凹部有りと検出するための基準の長さを単位凹部長としたときに、前記単位凸部長および当該単位凹部長は、当該単位凸部長と当該単位凹部長との合計長が前記環状領域内において前記中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸における単位凸部長がいずれかの環状領域内においてデータトラックパターンにおける同心円状または螺旋状となるように形成された各凸部の中心からの距離に対して比例する長さとは僅かに相違する長さになったとしても、その凹凸における単位凸部長は、中心からの距離に比例している長さの範疇に含まれるものとする。また、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸における単位凸部長と単位凹部長との合計長がいずれかの環状領域内においてデータトラックパターンにおける同心円状または螺旋状となるように形成された各凸部の中心からの距離に対して比例する長さとは僅かに相違する長さになったとしても、その凹凸における単位凸部長と単位凹部長との合計長は、中心からの距離に比例している長さの範疇に含まれるものとする。

さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長が、当該単位凸部長の前記環状領域内における前記平均長が前記内周側の環状領域から前記外周側の環状領域までの全環状領域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸における単位凸部長の環状領域内における平均長が僅かにばらついた状態になったとしても、それらの平均長（製造目標としての所定の長さを中心とする所定範囲内の長さ）は等しい長さの範疇に含まれるものとする。

また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長が、当該単位凸部長を前記中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように規定されている。

さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記基材の回転方向に沿った長さであって磁気信号の読み取りに際して前記サーボパターンにおける１つの前記凹部有りと検出するための基準の長さを単位凹部長としたときに、当該単位凹部長は、当該単位凹部長を前記中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように規定されている。

また、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凸部長が、前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸における単位凸部長がいずれかの環状領域内において僅かにばらついた状態になったとしても、それらの長さ（製造目標としての所定の長さを中心とする所定範囲内の長さ）は等しい長さの範疇に含まれるものとする。

さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記単位凹部長が、前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている。 なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸における単位凹部長がいずれかの環状領域内において僅かにばらついた状態になったとしても、それらの長さ（製造目標としての所定の長さを中心とする所定範囲内の長さ）は等しい長さの範疇に含まれるものとする。

また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体と、前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部とを備えている。

また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体と、前記各環状領域毎に予め規定された読み出し周波数情報（サーボパターンの検出時（読み出し時）に使用されるクロックの基準となる周波数情報）に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている。

また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体と、前記中心からの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている。

また、本発明に係るスタンパーは、上記のいずれかの情報記録媒体における前記第１の凹凸および前記第２の凹凸の前記各凹部に対応して形成された複数の凸部と、前記情報記録媒体における前記第１の凹凸および前記第２の凹凸の前記各凸部に対応して形成された複数の凹部とを有する凹凸が形成されている。

本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、各環状領域内における単位凸部長の平均長をデータトラックパターンにおける同心円状または螺旋状となるように形成された各凸部の中心（本発明における「所定の中心」：以下、「データトラックパターンの中心」ともいう）から環状領域の最内周部位までの距離で除した値が内周側の環状領域よりも外周側の環状領域ほど小さくなるように各環状領域毎に単位凸部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸（凹凸パターン）を構成したことにより、単位凸部長がその内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように凹凸（凹凸パターン）が形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、外周側の環状領域における単位凸部長を十分に短くすることができる。したがって、各凸部を覆うようにして形成した非磁性材料の層をエッチング処理する際に、外周側の環状領域における凸部の上の残渣の厚みと内周側の環状領域における凸部の上の残渣の厚みとの差（すなわち、情報記録媒体の内周側の凸部上における残渣の厚みと情報記録媒体の外周側の凸部上における残渣の厚みとの差）が大きくなる事態を回避することができる。また、内周側の環状領域から外周側の環状領域までの全域において各凸部の上に非磁性材料（残渣）が存在しないように非磁性材料をエッチング処理したときに、内周側の環状領域内において非磁性材料のみならず凸部までもがエッチングされる事態を招くことなく各凸部の上の残渣を取り除くことができる。したがって、情報記録媒体の平坦性を全域に亘って良好に維持することができる。このため、情報記録媒体の全域において、情報記録媒体に対する磁気ヘッドの浮上量をほぼ同等に維持することができる結果、この情報記録媒体を備えている記録再生装置によれば、安定した記録再生を実行することができる。

また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長に対する単位凸部長の比が各環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長および単位凹部長を規定したことにより、各環状領域内における外周側の単位凸部長を十分に短くすることができる。したがって、情報記録媒体の平坦性を環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域に亘って良好に維持することができる。このため、各環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において、この情報記録媒体に対する磁気ヘッドの浮上量をほぼ同等に維持することができる結果、安定した記録再生を実行することができる。

さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長が環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定したことにより、例えば単位凹部長を環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域に亘って等しい長さに規定して単位凸部長を変化させることで単位凹部長に対する単位凸部長の比を環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくする構成とは異なり、環状領域における外周側において単位凸部長が過度に短くなる事態を回避することができる。したがって、環状領域における外周側の凸部からの磁気的信号の読み出しエラーの発生を確実に回避することができる。

また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長が環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において等しい長さとなるように規定したことにより、各環状領域における凸部（磁性材料）の上に形成される残渣（非磁性材料）の厚みを環状領域の内周側から環状領域の外周側の全域において均一に維持することができる。また、環状領域における内周側の各凸部の上に残渣が生じないように非磁性材料をエッチング処理したときにその環状領域における外周側の凸部がエッチングされる事態や外周側の凸部の上に残渣が生じる事態を回避することができ、環状領域における外周側の各凸部の上に残渣が生じないように非磁性材料をエッチング処理したときにその環状領域の内周側において凸部がエッチングされる事態や内周側の凸部の上に残渣が生じる事態を回避することができる。

さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長および単位凹部長の合計長（すなわち、凸部および凹部の形成ピッチ）がデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定したことにより、情報記録媒体を角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域からサーボデータを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報（読み出し周波数情報）を一つの環状領域内において変化させることなく、その環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までのサーボパターン領域からサーボデータを確実に読み出す（検出する）ことができる。したがって、例えば、環状領域の内周側から外周側まで磁気ヘッドをシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理を不要とすることができる結果、シーク動作を短時間で実行することができる。このため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の制御部によってトラッキングサーボを行うことができる。

また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなり、かつ単位凹部長と単位凸部長の合計長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなるように単位凸部長および単位凹部長を規定したことにより、外周側の環状領域において単位凸部長が長くなる事態を回避しつつ、１つの環状領域内において読み出し周波数情報の周波数を変化させることなく、サーボデータの読み取りができるため、例えば、環状領域の内周側から外周側まで磁気ヘッドをシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理を不要とすることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の制御部によってトラッキングサーボを行うことができる。また、この情報記録媒体および記録再生装置によれば、磁気ヘッドの下方を単位凸部長の凸部および単位凹部長の凹部が通過させられる時間が１つの環状領域内における内周側と外周側とで等しくすることができる。したがって、磁気ヘッドが検出するサーボデータの単位凸部長および単位凹部長の信号形状を１つの環状領域内における内周側から外周側までの全域において等しくすることができる。このため、より一層確実にサーボデータを読み出す（検出する）ことができる。

さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長の環状領域内における平均長が内周側の環状領域から外周側の環状領域までの全環状領域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定したことにより、内周側の環状領域から外周側の環状領域までのすべての環状領域（すなわち、情報記録媒体の全域）に亘って平坦性にばらつきを生じさせることなく良好に維持することができる。この結果、情報記録媒体の全域において、情報記録媒体に対する磁気ヘッドの浮上量を均一に維持することができる。

また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値が環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長を規定したことにより、回転方向に沿った単位凸部長がデータトラックパターンの中心からの距離に比例して長くなるように（単位凸部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値が環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域に亘って等しくなるように）凹凸（凹凸パターン）が形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、環状領域内における外周側の単位凸部長を十分に短くすることができる。したがって、各凸部を覆うようにして形成した非磁性材料の層をエッチング処理する際に、環状領域内における外周側の凸部の上の残渣の厚みと内周側の凸部の上の残渣の厚みとの差が大きくなる事態を回避することができる。また、環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において各凸部の上に非磁性材料（残渣）が存在しないように非磁性材料をエッチング処理したときに、環状領域の内周側において非磁性材料のみならず凸部（磁性材料）までもがエッチングされる事態を招くことなく各凸部の上の残渣を取り除くことができる。したがって、情報記録媒体の平坦性を環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域に亘って良好に維持することができる。このため、環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において、情報記録媒体に対する磁気ヘッドの浮上量を同等に維持することができる結果、この記録再生装置によれば、安定した記録再生を実行することができる。

さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値が環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように単位凹部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸（凹凸パターン）を形成したことにより、基材の回転方向に沿った単位凹部長がデータトラックパターンの中心からの距離に比例して長くなるように（単位凹部長を中心からの距離で除した値が内周側から外周側までの全域に亘って等しくなるように）凹凸（凹凸パターン）が形成されている従来の情報記録媒体（磁気ディスク１０ｘ）と比較して、環状領域内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。この場合、出願人は、回転方向に沿った長さが過剰に長い凹部の存在部位において、その凹部を挟むようにして形成されている凸部の上の非磁性材料に対するエッチングの進行が遅くなる現象を見出している。一方、この情報記録媒体によれば、上記のように各凹部の単位凹部長が十分に短いため、凸部の上の非磁性材料に対するエッチングの進行が遅くなる事態を招くことなく、非磁性材料の層をエッチング処理することができる結果、環状領域内における外周側の凸部上の残渣の厚みと内周側の凸部上の残渣の厚みとの差が大きくなる事態を回避することができる。また、環状領域内における内周側から外周側までの全域において各凸部の上に非磁性材料（残渣）が存在しないように非磁性材料をエッチング処理したときに、環状領域の内周側において非磁性材料のみならず凸部（磁性材料）までもがエッチングされる事態を招くことなく各凸部の上の残渣を取り除くことができる。これにより、情報記録媒体の平坦性を環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域に亘って一層良好に維持することができる。

また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長が環状領域における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において等しい長さとなるように規定してサーボパターンを構成する凹凸（凹凸パターン）を形成したことにより、各凸部（磁性材料）上の非磁性材料に対するエッチング条件（エッチングレート）を環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において均一に維持することができる。したがって、環状領域内における外周側の凸部上の残渣の厚みと内周側の凸部上の残渣の厚みとの差を十分に小さくすることができる。また、環状領域内における内周側から外周側までの全域において各凸部の上に非磁性材料（残渣）が存在しないように非磁性材料をエッチング処理したときに、環状領域の内周側において非磁性材料のみならず凸部（磁性材料）までもがエッチングされる事態を招くことなく各凸部の上の残渣を取り除くことができる。これにより、情報記録媒体の平坦性を環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側まで全域に亘って一層良好、かつ一層均一に維持することができる。この結果、情報記録媒体の環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において、情報記録媒体に対する磁気ヘッドの浮上量を均一に維持することができる。

さらに、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凹部長が環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において等しい長さとなるように規定してサーボパターンを構成する凹凸（凹凸パターン）を形成したことにより、各凹部を挟むようにして形成されている各凸部（磁性材料）上の非磁性材料に対するエッチング条件（エッチングレート）を環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において均一に維持することができる。したがって、環状領域内における外周側の凸部上の残渣の厚みと内周側の凸部上の残渣の厚みとの差を十分に小さくすることができる。また、環状領域内における内周側から外周側までの全域において各凸部の上に非磁性材料（残渣）が存在しないように非磁性材料をエッチング処理したときに、環状領域の内周側において非磁性材料のみならず凸部（磁性材料）までもがエッチングされる事態を招くことなく各凸部の上の残渣を取り除くことができる。これにより、情報記録媒体の平坦性を環状領域内における環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域に亘って一層良好、かつ一層均一に維持することができる。

また、本発明に係る記録再生装置によれば、各環状領域毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部が情報記録媒体からサーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出すことにより、例えば、情報記録媒体の内周側の環状領域内から外周側の環状領域内まで磁気ヘッドをシーク動作させる際における検出用クロックの周波数切替え処理の回数を少なくすることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。

また、本発明に係る記録再生装置によれば、データトラックパターンの中心からの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部が情報記録媒体からサーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出すことにより、情報記録媒体を角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン（サーボデータ）を確実に読み出すことができる。

また、本発明に係るスタンパーによれば、上記のいずれかの情報記録媒体における各凹凸（各凹凸パターン）の凹部に対応して形成した凸部と、情報記録媒体における各凹凸（各凹凸パターン）の凸部に対応して形成した凹部とを有する凹凸（凹凸パターン）を備えたことにより、例えば、電子線描画装置を用いて情報記録媒体製造用の中間体における樹脂層に露光パターンを描画して現像処理することでエッチング処理用の凹凸パターン（サーボパターン等を形成するエッチング処理時にマスクとして使用する凹凸（凹凸パターン））を形成する製造方法とは異なり、樹脂層にスタンパーの凹凸を押し付けるだけでエッチング処理用の凹凸を短時間で容易に形成することができる。また、１枚のスタンパーによって多数の中間体にエッチング処理用の凹凸を形成することができる。したがって、情報記録媒体の製造コストを十分に低減することができる。

以下、本発明に係る情報記録媒体、記録再生装置およびスタンパーの最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

図１に示すハードディスクドライブ１は、本発明に係る記録再生装置の一例としての磁気記録再生装置であって、スピンドルモータ２、磁気ヘッド３、信号変換部４、検出用クロック出力部５、サーボデータ検出部６、ドライバ７、制御部８、ＲＯＭ９および磁気ディスク１０ａを備えて構成されている。この場合、磁気ディスク１０ａは、一例として、垂直記録方式で記録データを記録可能なディスクリートトラック型の磁気ディスク（パターンド媒体）であって、本発明における情報記録媒体に相当する。具体的には、図２に示すように、この磁気ディスク１０ａは、軟磁性層１２、中間層１３および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されている。この場合、中間層１３の上に形成されている磁性層１４は、磁性材料で形成された凸部２１，２１・・と凹部２２，２２・・とが交互に形成されることによって所定の凹凸パターン２０（凹凸）を構成する。また、凹部２２，２２・・には、ＳｉＯ_２等の非磁性材料１５が埋め込まれている。さらに、凹部２２に埋め込まれた非磁性材料１５、および凸部２１の上には、一例としてダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜がＣＶＤ法によって成膜されて厚みが２ｎｍ程度の保護層（ＤＬＣ膜）１６が形成されている。また、この磁気ディスク１０ａでは、保護層１６の表面に潤滑剤（一例として、フッ素系の潤滑剤）が塗布されている。

ガラス基材１１は、本発明における基材に相当し、直径２．５インチのガラス板を表面粗さＲａが０．２〜０．３ｎｍ程度となるように表面研磨して厚みが０．６ｍｍ程度となるように形成されている。なお、本発明における基材は、ガラス材料に限定されるものではなく、アルミニウムやセラミックなどの各種非磁性材料で形成することができる。軟磁性層１２は、ＣｏＺｒＮｂ合金などの軟磁性材料をスパッタリングすることによって厚みが１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度となるように形成されている。中間層１３は、磁性層１４を形成するための下地層として機能する層であって、ＣｒやＣｏＣｒ非磁性合金などの中間層形成用材料をスパッタリングすることによって厚みが４０ｎｍ程度となるように形成されている。磁性層１４は、磁性材料で形成された凸部２１，２１・・で構成された層であって、後述するように、例えばＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングする処理と、レジストパターン等をマスクとして用いてエッチング処理して凹部２２，２２・・を形成する処理とがこの順で実行されることによって、凸部２１，２１・・（凹凸パターン２０）が形成されて構成されている。

この場合、図３に示すように、この磁気ディスク１０ａでは、凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ）の中心Ｏを中心とする同心円状の（すなわち、凹凸パターン２０ｔと同心の）４つの環状領域Ａ１ａ〜Ａ４ａ（本発明における複数の環状領域の一例：以下、区別しないときには、環状領域Ａａともいう）に区分けされて凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ、凹凸パターン２０ｓａ）が形成されている。なお、本発明における「複数の環状領域」の数は上記の４つに限定されず、磁気ディスク１０ａの内周側から外周側までを２つ以上の任意の数に区分けすることができる。また、この磁気ディスク１０ａでは、トラックパターン領域Ａｔ，Ａｔの間にサーボパターン領域Ａｓａが設けられてトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓａが磁気ディスク１０ａの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように形成されている。

また、図５，７に示すように、トラックパターン領域Ａｔ（各環状領域Ａａにおける内周側の内周側トラックパターン領域Ａｔｉ、および各環状領域Ａａにおける外周側の外周側トラックパターン領域Ａｔｏ）には、データトラックパターンとしての凹凸パターン２０ｔ（本発明における「第１の凹凸」の一例）が形成されている。この場合、凹凸パターン２０ｔは、磁気ディスク１０ａの回転中心を中心Ｏ（図３参照）とする同心円状の多数の凸部２１ｔ，２１ｔ・・（データ記録用トラック）と、各凸部２１ｔ，２１ｔ・・の間の凹部２２ｔ，２２ｔ・・とで構成されている。なお、磁気ディスク１０ａの回転中心と凹凸パターン２０ｔの中心Ｏとが一致しているのが好ましいが、実際には、製造誤差に起因する３０〜５０μｍ程度の極く小さなずれが生じることがある。しかし、この程度のずれ量であれば磁気ヘッド３に対するトラッキングサーボ制御が十分に可能であるため、回転中心と中心Ｏとは、実質的には同様であるといえる。また、凹凸パターン２０ｔの凹部２２ｔ，２２ｔ・・には、非磁性材料１５が埋め込まれてトラックパターン領域Ａｔの表面が平坦化されている。

また、図４〜８に示すように、サーボパターン領域Ａｓａ（各環状領域Ａａにおける内周側の内周側サーボパターン領域Ａｓａｉ、および各環状領域Ａａにおける外周側の外周側サーボパターン領域Ａｓａｏ）には、サーボパターンとしての凹凸パターン２０ｓａ（本発明における「第２の凹凸」の一例）が形成されている。この場合、図５〜８に示すように、凹凸パターン２０ｓａは、プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターンなどの各種サーボパターンを構成する凸部２１ｓ，２１ｓ・・（凸部２１ｓｉおよび凸部２１ｓｏ）並びに凹部２２ｓ，２２ｓ・・（凹部２２ｓｉおよび凹部２２ｓｏ）で構成されている。また、この磁気ディスク１０ａでは、回転方向（各図における矢印Ｒの向き）に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が各環状領域Ａａ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例してその内周側からその外周側に向けて徐々に長くなるように規定されている。したがって、図４に示すように、各環状領域Ａａは、回転方向に沿った長さが環状領域Ａａにおける内周側の長さＬ４ｉよりも、外周側の長さＬ４ｏの方が僅かに長くなっている。

また、この磁気ディスク１０ａでは、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さが環状領域Ａａにおける内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように（本発明における「単位凸部長が等しい長さ、または、ほぼ等しい長さ」となるように規定した一例）各凸部２１ｓ，２１ｓ・・が形成されると共に、回転方向に沿った凹部２２ｓの長さが各環状領域Ａａの内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されている。したがって、この磁気ディスク１０ａでは、回転方向に沿った凹部２２ｓの長さに対する凸部２１ｓの長さの比が各環状領域Ａａにおいてその内周側からその外周側に向けて徐々に小さくなるように規定されている。さらに、このこの磁気ディスク１０ａでは、凸部２１ｓの長さがすべての環状領域Ａａに亘って等しい長さとなるように規定されている。この結果、この磁気ディスク１０ａでは、各環状領域Ａａ内の凸部２１ｓの平均長がすべての環状領域Ａａにおいて等しくなると共に、各環状領域Ａａ内の凸部２１ｓの平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａａまでの距離（環状領域Ａａにおける最内周の部位とする）で除した値が内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａに向かうほど小さくなっている。また、図４に示すように、この磁気ディスク１０ａでは、各環状領域Ａａの内周側の長さＬ４ｉ，Ｌ４ｉ・・が互いに等しくなるように規定され、各環状領域Ａａの外周側の長さＬ４ｏ，Ｌ４ｏ・・が互いに等しくなるように規定されている。

具体的には、図５，６に示すように、各環状領域Ａａにおける内周側領域Ａｉａ（一例として、環状領域Ａ１ａ内における中心Ｏからの距離が１１ｍｍの部位のプリアンブルパターンの形成領域）では、凹部２２ｓｉの長さＬ２ｉ（一例として、２２０ｎｍ）と凸部２１ｓｉの長さＬ１ｉ（一例として、２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ３ｉが４４０ｎｍとなるように規定されている。これに対して、図７，８に示すように、各環状領域Ａａにおける外周側領域Ａｏａ（一例として、環状領域Ａ１ａ内における中心Ｏからの距離が１６ｍｍの部位のプリアンブルパターンの形成領域）では、凹部２２ｓｏの長さＬ２ｏ（一例として、４２０ｎｍ）と凸部２１ｓｏの長さＬ１ｏ（一例として、凸部２１ｓｉの長さＬ１ｉと等しい２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ３ｏが６４０ｎｍとなっている。この結果、この磁気ディスク１０ａでは、図６に示すように、各環状領域Ａａにおいて、その内周側領域Ａｉａにおける凹凸パターン２０ｓａの凹部２２ｓｉの長さＬ２ｉに対する凸部２１ｓｉの長さＬ１ｉの比が１であるのに対して、図８に示すように、外周側領域Ａｏａにおける凹部２２ｓｏの長さＬ２ｏに対する凸部２１ｓｏの長さＬ１ｏの比が１１／２１となっている。

この場合、凹部２２ｓの長さ（単位凹部長）に対する凸部２１ｓの長さ（単位凸部長）の比については、上記のプリアンブルパターンのみならず、アドレスパターンやバーストパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａについても同様に規定されている。また、バーストパターンについては、磁気ディスク１０ａの回転方向に沿って複数の矩形状の凸部２１ｓ，２１ｓ・・が凹部２２ｓを挟んで並んでいる領域において、単位凹部長に対する単位凸部長の比が上記の条件を満たすように規定されている。なお、図７，８では、本発明についての理解を容易とするために、凹部２２ｓｏの長さＬ２ｏに対する凸部２１ｓｏの長さＬ１ｏの比を誇張して小さくした状態（凹部の長さを誇張して長くした状態）を図示している。また、図５〜８では、サーボパターンにおけるプリアンブルパターンおよびバーストパターンを模式的に図示しており、理解を容易にすべく、回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・や各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さをサーボパターンの単位凸部長および単位凹部長のみで図示している。したがって、実際の磁気ディスク１０ａでは、凸部２１ｓ，２１ｓ・・や凹部２２ｓ，２２ｓ・・の数、形成位置および長さが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報（パターン）を含む各種の制御用データに対応して、凸部２１ｓや凹部２２ｓのそれぞれの数、形成位置および長さが規定されて凹凸パターン２０ｓａが形成されている。この場合、凸部２１ｓや凹部２２ｓの実際の長さは、凸部２１ｓや凹部２２ｓの長さ（単位凸部長および単位凹部長）の整数倍の長さとなる。

一方、スピンドルモータ２は、制御部８の制御下で磁気ディスク１０ａを一例として４２００ｒｐｍの回転数で定速回転させる。磁気ヘッド３は、図１に示すように、スイングアーム３ａを介してアクチュエータ３ｂに取り付けられて磁気ディスク１０ａに対する記録データの記録再生時において磁気ディスク１０ａ上を移動させられる。また、磁気ヘッド３は、磁気ディスク１０ａの各環状領域Ａａにおけるサーボパターン領域Ａｓａからのサーボデータの読み出しと、各環状領域Ａａにおけるトラックパターン領域Ａｔ（凸部２１ｔ，２１ｔ・・）に対する記録データの磁気的な書き込みと、各環状領域Ａａにおけるトラックパターン領域Ａｔに磁気的に書き込まれている記録データの読み出しとを実行する。なお、磁気ヘッド３は、実際には磁気ディスク１０ａに対して磁気ヘッド３を浮上させるためのスライダの底面（エアベアリング面）に形成されているが、このスライダについての説明および図示を省略する。アクチュエータ３ｂは、制御部８の制御下でドライバ７から供給される駆動電流によってスイングアーム３ａをスイングさせることにより、磁気ヘッド３を磁気ディスク１０ａ上の任意の記録再生位置に移動させる。

信号変換部４は、アンプ、ＬＰＦ（Ｌｏｗ Ｐａｓｓ Ｆｉｌｔｅｒ）およびＡ／Ｄ変換器等（図示せず）を備え、磁気ヘッド３によって磁気ディスク１０ａから取得された各種信号を増幅してノイズを除去した後にＡ／Ｄ変換して出力する。ＲＯＭ９は、制御部８が出力すべき読み出し周波数情報についてのクロックデータＤｃｌを各環状領域Ａａ毎に記憶している。この場合、制御部８は、後述するように、クロックデータＤｃｌに基づき、一例として、同一環状領域Ａａ内では周波数を変化させず、かつ、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから離れている環状領域Ａａ内の記録トラックにオントラックさせるときほど周波数が高くなるように読み出し周波数情報の周波数を変化させて検出用クロック出力部５に出力する。検出用クロック出力部５は、制御部８がクロックデータＤｃｌに基づいて出力する読み出し周波数情報を取得すると共に、信号変換部４から出力されたデジタルデータのうちから、磁気ヘッド３を介して各環状領域Ａａのサーボパターン領域Ａｓａから読み出されたプリアンブル用のデータ（信号）を取得（検出）する。また、検出用クロック出力部５は、読み出し周波数情報とプリアンブル用のデータとに基づいて位相や周波数等の調整を行うことにより、実際のサーボデータ検出時に使用される検出用クロックＣｌｓを生成してサーボデータ検出部６に出力する。

この場合、この磁気ディスク１０ａでは、前述したように、各環状領域Ａａにおける長さＬ４ｉ，Ｌ４ｉ・・が互いに等しく、かつ長さＬ４ｏ，Ｌ４ｏ・・が互いに等しくなるように凹凸パターン２０ｓａが形成されている。このため、磁気ディスク１０ａを角速度一定の回転速度で定速回転させたときには、磁気ヘッド３の下方をサーボパターン領域Ａｓａが通過させられる時間が外周側の環状領域Ａａほど短時間となる。したがって、制御部８は、一例として、磁気ディスク１０ａが４２００ｒｐｍで定速回転させられている状態において、磁気ヘッド３が環状領域Ａ１ａ内の記録トラック（凸部２１ｔ）にオントラックさせられているときには、２２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力し、磁気ヘッド３が環状領域Ａ２ａ内の記録トラックにオントラックさせられているときには、３２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力し、環状領域Ａ３ａ内の記録トラックにオントラックさせられているときには、４２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力し、環状領域Ａ４ａ内の記録トラックにオントラックさせられているときには、５２ＭＨｚの読み出し周波数情報を出力する。

サーボデータ検出部６は、検出用クロック出力部５から出力された検出用クロックＣｌｓに同期して読み込むことにより、信号変換部４から出力されたデジタルデータからサーボデータＤｓを取得（検出）して制御部８に出力する。ドライバ７は、制御部８からの制御信号に従ってアクチュエータ３ｂを制御して磁気ヘッド３を所望の記録トラック（凸部２１ｔ）にオントラックさせる。制御部８は、ハードディスクドライブ１を総括的に制御する。また、制御部８は、サーボデータ検出部６から出力されるヘッド位置情報に基づいて磁気ヘッド３が磁気ディスク１０ａ上の内周側の各環状領域Ａａから外周側の各環状領域Ａａまでの間のいずれの環状領域Ａａ内の記録トラックにオントラックしているかを特定すると共に、所望の磁気ヘッド３の位置（磁気ヘッド３を移動させようとする環状領域Ａａおよび記録トラックの位置）に応じて、環状領域Ａａ毎に予め規定されてＲＯＭ９に記憶させられているクロックデータＤｃｌ（周波数変更条件についてのデータ）に応じて前述したように読み出し周波数情報の周波数を変化させて検出用クロック出力部５に出力する。さらに、制御部８は、サーボデータ検出部６から出力されたサーボデータＤｓに基づいてドライバ７を制御する。

次に、磁気ディスク１０ａの製造方法、および使用方法について、図面を参照して説明する。

まず、ガラス基材１１の上にＣｏＺｒＮｂ合金をスパッタリングすることによって軟磁性層１２を形成した後に、軟磁性層１２の上に中間層形成用材料をスパッタリングすることによって中間層１３を形成する。次いで、中間層１３の上にＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングすることによって厚みが１５ｎｍ程度の磁性層１４を形成する。続いて、磁性層１４の上に、例えば、スパッタリング法によって厚み１２ｎｍ程度のＣ（炭素）マスク層１７を形成すると共に、Ｃマスク層１７の上にスパッタリング法によって厚み４ｎｍ程度のＳｉマスク層１８を形成する。次いで、Ｓｉマスク層１８の上にポジ型の電子線レジストをスピンコートして厚みが１３０ｎｍ程度の樹脂層１９（マスク形成用機能層）を形成する。これにより、図９に示すように、磁気ディスク１０ａを製造するための中間体３０が完成する。次いで、図１０に示すように、電子線描画装置を用いて中間体３０に電子ビームＥＢを照射して凹凸パターン２０ｓａおよび凹凸パターン２０ｔと平面形状が同じ露光パターンを樹脂層１９に描画する。続いて、露光パターンの描画が完了した樹脂層１９を現像処理することにより、図１１に示すように、Ｓｉマスク層１８の上に凹凸パターン４１（レジストパターン）を形成する。

次いで、凹凸パターン４１（樹脂層１９）をマスクとして用いてアルゴン（Ａｒ）ガスによるイオンビームエッチング処理を行うことにより、凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・の底部においてマスク（凸部４１ａ，４１ａ・・）から露出しているＳｉマスク層１８をエッチングして、図１２に示すように、Ｓｉマスク層１８に凹凸パターン４２（Ｓｉマスクパターン）を形成する。続いて、凹凸パターン４２をマスクとして用いて酸素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング処理を行うことにより、凹凸パターン４２における凹部４２ｂ，４２ｂ・・の底部においてマスク（凸部４２ａ，４２ａ・・）から露出しているＣマスク層１７をエッチングして、図１３に示すように、Ｃマスク層１７に凹凸パターン４３（Ｃマスクパターン）を形成する。次いで、凹凸パターン４３をマスクとして用いて、アルゴン（Ａｒ）ガスによるイオンビームエッチング処理を行う。これにより、図１４に示すように、磁性層１４においてマスクパターンによって覆われていた部位（凹凸パターン４３の凸部４３ａ，４３ａ・・によって覆われていた部位）が凸部２１，２１・・となり、マスクパターンから露出していた部位（凹凸パターン４３の凹部４３ｂ，４３ｂ・・の底部において露出していた部位）が凹部２２，２２・・となって中間層１３の上に凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｓａ，２０ｔ）が形成される。続いて、凸部２１，２１・・の上に残存しているＣマスク層１７（Ｃマスクパターン）に対して酸素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング処理を行うことにより、凸部２１，２１・・の上面を露出させる（残存しているＣマスク層１７を除去する）。

次いで、例えば１５０Ｗ程度のバイアス電力を中間体３０に印加しつつ、アルゴン（Ａｒ）ガスの圧力を例えば０．３Ｐａに設定して非磁性材料１５としてのＳｉＯ_２をスパッタリングする。この際には、非磁性材料１５によって凹部２２，２２・・を完全に埋め尽くし、かつ、凸部２１，２１・・の上面に例えば厚みが６０ｎｍ程度の非磁性材料１５の層が形成されるように非磁性材料１５を十分にスパッタリングする。この場合、中間体３０に対してバイアス電力を印加した状態で非磁性材料１５をスパッタリングすることにより、表面が大きく凹凸することなく非磁性材料１５の層が形成される。続いて、アルゴン（Ａｒ）ガスの圧力を例えば０．０４Ｐａに設定すると共に、中間体３０（非磁性材料１５の層）の表面に対するイオンビームの入射角度を２度に設定した状態で磁性層１４の上（凸部２１，２１・・の上、凹部２２，２２の上、および凹部２２，２２の内部）の非磁性材料１５の層をイオンビームエッチング処理する。この際には、中間体３０における各環状領域Ａａ内の内周側（後に内周側領域Ａｉａとなる部位）において各凸部２１ｓｉ，２１ｓｉ・・の上面が非磁性材料１５から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続する。

この場合、この磁気ディスク１０ａ（中間体３０）では、各環状領域Ａａ内における内周側の凸部２１ｓｉ，２１ｓｉ・・の長さＬ１ｉと、環状領域Ａａ内における外周側の凸部２１ｓｏ，２１ｓｏ・・の長さＬ１ｏとが等しい長さ（この例では、２２０ｎｍ）となるように形成されている。また、この磁気ディスク１０ａでは、環状領域Ａ１ａ〜Ａ４ａのすべて（すなわち、磁気ディスク１０ａの全域）の凸部２１ｓｉ，２１ｓｉ・・の長さＬ１ｉと、外周側の凸部２１ｓｏ，２１ｓｏ・・の長さＬ１ｏとが等しい長さとなるように形成されている。したがって、いずれかの環状領域Ａａにおける内周側の各凸部２１ｓｉ，２１ｓｉ・・の上面が非磁性材料１５から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続することで、すべての環状領域Ａａにおける内周側の各凸部２１ｓｉ，２１ｓｉ・・およびすべての環状領域Ａａにおける外周側の各凸部２１ｓｏ，２１ｓｏ・・の上面も非磁性材料１５から露出する（すべての環状領域Ａａ、すなわち、磁気ディスク１０ａの全域において凸部２１ｓｉ，２１ｓｏの上面がほぼ同時に露出する）。これにより、非磁性材料１５の層に対するイオンビームエッチング処理が完了して中間体３０の表面が平坦化される。続いて、中間体３０の表面を覆うようにしてＣＶＤ法によってダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜を成膜することによって保護層１６を形成した後に、保護層１６の表面にフッ素系の潤滑剤を平均厚さが例えば２ｎｍ程度となるように塗布する。これにより、図２に示すように、磁気ディスク１０ａが完成する。

この磁気ディスク１０ａでは、前述したように、磁気ディスク１０ａの全域に亘って（すべての環状領域Ａａにおいて）各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の上の非磁性材料１５（残渣）が除去されているため、磁気ディスク１０ａの表面における凹凸の高低差（環状領域Ａａにおける内周側での高低差Ｈｉおよび外周側での高低差Ｈｏ）が磁気ディスク１０ａの全域（すべての環状領域Ａａ）においてほぼ均一となる。具体的には、例えば環状領域Ａ１ａにおける内周側領域Ａｉａの磁気ディスク１０ａの表面の凹凸度合い、すなわち、表面粗さＲａが０．７ｎｍ程度で、環状領域Ａ１ａにおける外周側領域Ａｏａの磁気ディスク１０ａの表面粗さＲａが０．８ｎｍ程度となった（その他の環状領域Ａａにおいても、内周側領域Ａｉａの表面粗さＲａ、および外周側領域Ａｏａの表面粗さＲａが０．７〜０．８ｎｍ程度となった）。したがって、磁気ディスク１０ａの内周側から外周側までのすべての環状領域Ａａにおいて磁気ヘッド３（スライダ）の浮上量がほぼ一定となって、安定した記録再生が可能となる。

一方、従来の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｘでは、回転方向に沿った長さＬ１ｘｉが比較的短い内周側領域Ａｘｉにおいて非磁性材料１５から凸部２１ｓｘｉの上面を露出させた状態において、内周側領域Ａｘｉにおける磁気ディスク１０ｘの表面粗さＲａが０．７ｎｍ程度となった。これに対して、回転方向に沿った長さＬ１ｘｏが凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して内周側領域Ａｘｉよりも長くなっている外周側領域Ａｘｏでは、凸部２１ｓｘｏ上の残渣が厚くなることに起因して、磁気ディスク１０ｘの表面粗さＲａが３．１ｎｍ程度となった。この場合、外周側領域Ａｘｏにおいて非磁性材料１５から凸部２１ｓｘｏの上面が露出するようなエッチング条件で非磁性材料１５をエッチング処理したときには、磁気ディスク１０ｘの内周側から外周側までの全域において凹部２２ｓｘ内の非磁性材料１５に対するエッチングが進行してその平坦性が悪化する。また、上記のようなエッチング条件で非磁性材料１５をエッチング処理したときには、内周側領域Ａｘｉにおいて凸部２１ｓｘｉが過剰にエッチングされて磁気的信号の正常な読み出しが困難となるおそれがある。このため、従来の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｘでは、サーボデータＤｓの正常な読み出しを可能としつつ、磁気ディスク１０ｘの内周側から外周側までの全域において磁気ヘッド３（スライダ）の浮上量を均一化するのが困難となっている。

このように、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各環状領域Ａａ内における単位凸部長の平均長を中心Ｏから環状領域Ａａの最内周部位までの距離で除した値が内周側の環状領域Ａａよりも外周側の環状領域Ａａほど小さくなるように各環状領域Ａａ毎に単位凸部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａを構成したことにより、単位凸部長が磁気ディスク１０ｘの内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、外周側の環状領域Ａａにおける単位凸部長を十分に短くすることができる。したがって、各凸部２１，２１・・を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層をエッチング処理する際に、外周側の環状領域Ａａにおける凸部２１ｓ上の残渣の厚みと内周側の環状領域Ａａにおける凸部２１ｓ上の残渣の厚みとの差が大きくなる事態を回避することができる。また、内周側の環状領域Ａａから外周側の環状領域Ａａまでの全域において各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の上に非磁性材料１５（残渣）が存在しないように非磁性材料１５をエッチング処理したときに、内周側の環状領域Ａａ内において非磁性材料１５のみならず凸部２１ｓ（磁性材料）までもがエッチングされる事態を招くことなく各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の上の残渣を取り除くことができる。したがって、磁気ディスク１０ａの平坦性を全域に亘って良好に維持することができる。このため、磁気ディスク１０ａの全域において、磁気ディスク１０ａに対する磁気ヘッド３の浮上量をほぼ同等に維持することができる結果、このハードディスクドライブ１によれば、安定した記録再生を実行することができる。

また、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凹部長に対する単位凸部長の比が各環状領域Ａａ内においてその内周側からその外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長および単位凹部長を規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、各環状領域Ａａ内における外周側の単位凸部長を十分に短くすることができる。したがって、磁気ディスク１０ａの平坦性を環状領域Ａａ内における内周側から外周側までの全域に亘って良好に維持することができる。このため、各環状領域Ａａ内における内周側から外周側までの全域において、磁気ディスク１０ａに対する磁気ヘッド３の浮上量をほぼ同等に維持することができる結果、安定した記録再生を実行することができる。

さらに、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凹部長が環状領域Ａａ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、例えば単位凹部長を環状領域Ａａ内における内周側から外周側までの全域に亘って等しい長さに規定して単位凸部長を変化させることで単位凹部長に対する単位凸部長の比を環状領域Ａａの内周側から外周側に向かうほど小さくする構成とは異なり、環状領域Ａａにおける外周側において単位凸部長が過度に短くなる事態を回避することができる。したがって、環状領域Ａａにおける外周側の凸部からの磁気的信号の読み出しエラーの発生を確実に回避することができる。

また、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凸部長が環状領域Ａａにおける内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、各環状領域Ａａにおける凸部２１ｓの上に形成される残渣（非磁性材料１５）の厚みを環状領域Ａａの内周側から外周側の全域において均一に維持することができる。また、環状領域Ａａにおける内周側の各凸部２１ｓｉ，２１ｓｉ・・の上に残渣が生じないように非磁性材料１５をエッチング処理したときにその環状領域Ａａにおける外周側の凸部２１ｓｏ（磁性材料）がエッチングされる事態や外周側の凸部２１ｓｏの上に残渣が生じる事態を回避することができ、環状領域Ａａにおける外周側の各凸部２１ｓｏ，２１ｓｏ・・の上に残渣が生じないように非磁性材料１５をエッチング処理したときにその環状領域Ａａの内周側において凸部２１ｓｉ（磁性材料）がエッチングされる事態や内周側の凸部２１ｓｉの上に残渣が生じる事態を回避することができる。

さらに、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、単位凸部長および単位凹部長の合計長（すなわち、凸部および凹部の形成ピッチ）が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａａ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓａ（サーボパターン）を形成したことにより、磁気ディスク１０ａを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域ＡｓａからサーボデータＤｓを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報（読み出し周波数情報）を一つの環状領域Ａａ内において変化させることなく、環状領域Ａａにおける内周側から外周側までのサーボパターン領域ＡｓａからサーボデータＤｓを確実に読み出す（検出する）ことができる。

また、この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各環状領域Ａａ内における単位凸部長の平均長が内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまでの全環状領域Ａａにおいて等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定してサーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓａを構成したことにより、各環状領域Ａａ毎に平坦性にばらつきを生じさせることなく、内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまでのすべての環状領域Ａａ（すなわち、磁気ディスク１０ａの内周側から外周側までの全域）に亘って平坦性を良好に維持することができる。この結果、磁気ディスク１０ａの全域において、磁気ディスク１０ａに対する磁気ヘッド３の浮上量を均一に維持することができる。

さらに、この磁気ディスク１０ａを搭載したハードディスクドライブ１によれば、各環状領域Ａａ毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部８がサーボデータ検出部６を制御して磁気ディスク１０ａからサーボパターンに対応付けられているサーボデータＤｓを読み出すことにより、例えば、磁気ディスク１０ａの内周側の環状領域Ａ１ａから外周側の環状領域Ａ４ａまで磁気ヘッド３をシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理の回数を３回だけに止めることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数（この例では４つ）に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の制御部（検出用クロック出力部５および制御部８）によってトラッキングサーボを行うことができる。

次いで、磁気ディスク１０ａの他の製造方法について、図面を参照して説明する。なお、前述した製造方法と同様の工程については、重複する詳細な説明を省略する。

前述した磁気ディスク１０ａの製造方法では、中間体３０における樹脂層１９に対して電子線描画装置を用いて露光パターンを描画した後に現像処理することで、エッチング処理用のマスクとして使用する凹凸パターン４１（レジストパターン）を形成したが、本発明に係る情報記録媒体の製造方法はこれに限定されない。例えば、本発明に係るスタンパーの一例であるスタンパー３５ａ（図１５参照）を用いたインプリント法によって中間体３０の樹脂層１９に凹凸パターン４１を形成することもできる。この場合、図１５に示すように、スタンパー３５ａは、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０（凹凸：凹凸パターン２０ｔ，２０ｓａ）とは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン３９（凹凸）が形成されている。なお、スタンパー３５ａの凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０ａの凹凸パターン２０における凹部２２，２２・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン２０における凸部２１，２１・・に対応して形成されている。したがって、このスタンパー３５ａでは、凸部３９ａの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凹部２２の回転方向に沿った長さとほぼ等しく、かつ凹部３９ｂの回転方向に沿った長さが凹凸パターン２０における凸部２１の回転方向に沿った長さとほぼ等しくなっている。なお、スタンパー３５ａの製造方法については、特に限定されず、公知の各種製造方法によって製造することができる。

このスタンパー３５ａを用いた磁気ディスク１０ａの製造に際しては、図１５に示すように、まず、中間体３０の樹脂層１９にスタンパー３５ａの凹凸パターン３９をインプリント法によって転写する。具体的には、スタンパー３５ａにおける凹凸パターン３９の形成面を中間体３０の樹脂層１９に押し付けることにより、凹凸パターン３９の凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体３０の樹脂層１９に押し込む。次いで、中間体３０からスタンパー３５ａを剥離し、さらに、底面に残存する樹脂（残渣：図示せず）を酸素プラズマ処理によって除去する。これにより、図１１に示すように、中間体３０におけるＳｉマスク層１８の上に凹凸パターン４１が形成される。続いて、凹凸パターン４１をマスクとして用いてＳｉマスク層１８をエッチングすることによってＣマスク層１７の上に凹凸パターン４２を形成し、凹凸パターン４２をマスクとして用いてＣマスク層１７をエッチングすることによって磁性層１４の上に凹凸パターン４３を形成する。次いで、凹凸パターン４３をマスクとして用いて磁性層１４をエッチングすることによって中間層１３の上に凹凸パターン２０を形成する。続いて、前述した製造方法と同様にして非磁性材料１５をスパッタリングした後に、非磁性材料１５の層に対するイオンビームエッチング処理を実行して平坦化する。この後、ＣＶＤ法によってダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜を成膜することで保護層１６を形成すると共に、保護層１６の表面にフッ素系の潤滑剤を塗布する。これにより、図２に示すように、磁気ディスク１０ａが完成する。

このように、磁気ディスク１０ａを製造するためのスタンパー３５ａによれば、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓａ）の凹部２２，２２・・に対応して形成された凸部３９ａ，３９ａ・・と、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０の凸部２１，２１・・に対応して形成された凹部３９ｂ，３９ｂ・・とを有する凹凸パターン３９を形成したことにより、例えば、電子線描画装置を用いて中間体３０の樹脂層１９に凹凸パターン２０ｓａ，２０ｔと平面形状が同じ露光パターンを描画して現像処理することで凹凸パターン４１を形成する製造方法とは異なり、樹脂層１９にスタンパー３５ａの凹凸パターン３９を押し付けるだけで凹凸パターン４１を短時間で容易に形成することができる。また、１枚のスタンパー３５ａによって多数の中間体３０に凹凸パターン４１を形成することができる。したがって、磁気ディスク１０ａの製造コストを十分に低減することができる。

次いで、本発明における情報記録媒体の他の一例である磁気ディスク１０ｂ、および磁気ディスク１０ｂを搭載したハードディスクドライブ１ｂ（本発明における記録再生装置の他の一例）について、図面を参照して説明する。なお、磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１と共通の構成要素については、共通の符号を付して重複する説明を省略する。

図１６に示す磁気ディスク１０ｂでは、磁気ディスク１０ｂの内周側から外周側までが凹凸パターン２０ｔの中心Ｏを中心とする同心円状の（すなわち、凹凸パターン２０ｔと同心の）４つの環状領域Ａ１ｂ〜Ａ４ｂ（本発明における複数の環状領域の一例：以下、区別しないときには、環状領域Ａｂともいう）に区分けされて凹凸パターン２０が形成されている。また、この磁気ディスク１０ｂでは、磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに代えて、トラックパターン領域Ａｔ，Ａｔ・・の間にサーボパターン領域Ａｓｂ，Ａｓｂ・・が設けられてトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓｂが磁気ディスク１０ｂの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように規定されている。

また、図１７〜２１に示すように、サーボパターン領域Ａｓｂ（環状領域Ａｂ内における内周側の内周側サーボパターン領域Ａｓｂｉ、および環状領域Ａｂ内における外周側の外周側サーボパターン領域Ａｓｂｏ）には、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０ｓａに代えてサーボパターンとしての凹凸パターン２０ｓｂ（本発明における「第２の凹凸」の他の一例）が形成されている。この場合、凹凸パターン２０ｓｂは、凹凸パターン２０ｓａと同様にして、プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターンなどの各種サーボパターンを構成する凸部２１ｓ，２１ｓ（凸部２１ｓｉおよび凸部２１ｓｏ）・・並びに凹部２２ｓ，２２ｓ・・（凹部２２ｓｉおよび凹部２２ｓｏ）で構成されている。また、この磁気ディスク１０ｂでは、回転方向（各図における矢印Ｒの向き）に沿った凸部２１ｓの長さを凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例させずに（外周側ほど長くせずに）、各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように（単位凸部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値を環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さく規定した一例であって、本発明における「単位凸部長が等しい長さ、または、ほぼ等しい長さ」となるように規定した一例）、各凸部２１ｓ，２１ｓ・・が形成されている。

同様にして、回転方向に沿った凹部２２ｓの長さについても、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例させずに（外周側ほど長くせずに）、環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように（単位凹部長をデータトラックパターンの中心からの距離で除した値を環状領域内において環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど小さく規定した一例であって、本発明における「単位凹部長が等しい長さ、または、ほぼ等しい長さ」となるように規定した一例）各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されている。このため、この磁気ディスク１０ｂでは、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例せずに（外周側ほど長くせずに）、各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように規定されている。したがって、図１７に示すように、例えば、環状領域Ａ２ｂでは、環状領域Ａ２ｂの内周側における回転方向に沿った長さＬ５２と、環状領域Ａ２ｂの外周側における回転方向に沿った長さＬ５２とが等しくなっている。この場合、この磁気ディスク１０ｂでは、環状領域Ａ１ｂ〜Ａ４ｂのそれぞれの回転方向に沿った長さＬ５１〜Ｌ５４が、一例として、外周側の環状領域Ａｂほど徐々に長くなるように規定されている。また、図１９，２１に示すように、回転方向に沿った凹部２２ｓの長さに対する凸部２１ｓの長さの比が各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。

具体的には、図１８，１９に示すように、環状領域Ａｂにおける内周側の内周側領域Ａｉｂ（一例として、環状領域Ａ１ｂにおける中心Ｏからの距離が１１ｍｍの部位のプリアンブルパターンの形成領域）では、凹部２２ｓｉの長さＬ７ｉ（一例として、２２０ｎｍ）と凸部２１ｓｉの長さＬ６ｉ（一例として、２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ８ｉが４４０ｎｍとなるように規定されている。また、図２０，２１に示すように、環状領域Ａｂにおける外周側の外周側領域Ａｏｂ（一例として、環状領域Ａ１ｂにおける中心Ｏからの距離が１６ｍｍの部位のプリアンブルパターンの形成領域）においても、凹部２２ｓｏの長さＬ７ｏ（一例として、凹部２２ｓｉの長さＬ７ｉと等しい２２０ｎｍ）と凸部２１ｓｏの長さＬ６ｏ（一例として、凸部２１ｓｉの長さＬ６ｉと等しい２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ８ｏが４４０ｎｍとなっている。この結果、図１９，２１に示すように、この磁気ディスク１０ｂでは、環状領域Ａｂ内の内周側領域Ａｉｂにおける凹凸パターン２０ｓｂの凹部２２ｓｉの長さＬ７ｉに対する凸部２１ｓｉの長さＬ６ｉの比と、環状領域Ａｂ内の外周側領域Ａｏｂにおける凹部２２ｓｏの長さＬ７ｏに対する凸部２１ｓｏの長さＬ６ｏの比とが各環状領域Ａｂ内においてそれぞれ１となっている。この場合、凹部２２ｓの長さ（単位凹部長）に対する凸部２１ｓの長さ（単位凸部長）の比については、上記のプリアンブルパターンのみならず、アドレスパターンやバーストパターンを構成する凹凸パターン２０ｓｂについても同様に規定されている。また、バーストパターンについては、磁気ディスク１０ｂの回転方向に沿って複数の矩形状の凸部２１ｓ，２１ｓ・・が凹部２２ｓを挟んで並んでいる領域において、単位凹部長に対する単位凸部長の比が上記の条件を満たすように規定されている。

また、この磁気ディスク１０ｂでは、各環状領域Ａｂ内の凸部２１ｓの平均長が内周側の環状領域Ａ１ｂから外周側の環状領域Ａ４ｂに向かうほど僅かに長くなっている。さらに、この磁気ディスク１０ｂでは、各環状領域Ａｂ内の凸部２１ｓの平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａｂまでの距離（環状領域Ａｂにおける最内周の部位とする）で除した値が、内周側の環状領域Ａ１ｂから外周側の環状領域Ａ４ｂに向かうほど小さくなっている。

なお、図１８〜２１では、サーボパターンにおけるプリアンブルパターンおよびバーストパターンを模式的に図示しており、理解を容易にすべく、回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・や各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さをサーボパターンの単位凸部長および単位凹部長のみで図示している。したがって、実際の磁気ディスク１０ｂでは、凸部２１ｓ，２１ｓ・・や凹部２２ｓ，２２ｓ・・の数、形成位置および長さが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報（パターン）を含む各種の制御用データに対応して、凸部２１ｓや凹部２２ｓのそれぞれの数、形成位置および長さが規定されて凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。この場合、凸部２１ｓや凹部２２ｓの実際の長さは、凸部２１ｓや凹部２２ｓの長さ（単位凸部長および単位凹部長）の整数倍の長さとなる。なお、この磁気ディスク１０ｂの製造方法については、前述した磁気ディスク１０ａの製造方法と同様であるため、重複する説明を省略する。この場合、インプリント法によって磁気ディスク１０ｂを製造する際には、磁気ディスク１０ｂにおける凹凸パターン２０の凸部２１，２１・・に対応する凹部３９ｂ，３９ｂ・・と、磁気ディスク１０ｂにおける凹凸パターン２０の凹部２２，２２・・に対応する凸部３９ａ，３９ａ・・とを有する凹凸パターン３９が形成されたスタンパー３５ｂ（図１５参照）を用いればよい。

この磁気ディスク１０ｂでは、環状領域Ａｂにおける内周側の凸部２１ｓｉ，２１ｓｉ・・の長さＬ６ｉと、環状領域Ａｂにおける外周側の凸部２１ｓｏ，２１ｓｏ・・の長さＬ６ｏとが等しい長さ（例えば、環状領域Ａ１ｂでは、２２０ｎｍ）となるように形成されている。したがって、磁気ディスク１０ｂの製造時に非磁性材料１５をイオンビームエッチング処理する際に、環状領域Ａｂ内において内周側の各凸部２１ｓｉ，２１ｓｉ・・の上面が非磁性材料１５から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続することで、その環状領域Ａｂにおける外周側の各凸部２１ｓｏ，２１ｓｏ・・の上面も非磁性材料１５から露出する（凸部２１ｓｉ，２１ｓｏの上面がほぼ同時に露出する）。したがって、図１９，２１に示すように、この磁気ディスク１０ｂでは、環状領域Ａｂ内の全域に亘って各凸部２１ｓ，２１ｓ・・上の非磁性材料１５（残渣）が除去されている。このため、磁気ディスク１０ｂの表面における凹凸の高低差Ｈが環状領域Ａｂ内の全域において均一となる。具体的には、磁気ディスク１０ｂの表面の凹凸度合い、すなわち、表面粗さＲａは、例えば環状領域Ａ１ｂ内における内周側領域Ａｉおよび外周側領域Ａｏの双方において０．７ｎｍ程度となった（その他の環状領域Ａｂ内においても、ほぼ同じ表面粗さＲａとなった）。したがって、磁気ディスク１０ｂの内周側から外周側までの全域において磁気ヘッド３（スライダ）の浮上量がほぼ一定となって、安定した記録再生が可能となる。

また、この磁気ディスク１０ｂでは、前述したように、サーボパターン領域Ａｓｂの凹凸パターン２０ｓｂにおける回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（長さＬ８ｉ，Ｌ８ｏ）が環状領域Ａｂにおける環状領域Ａｂの内周側から外周側までの全域に亘って等しくなるように各凸部２１ｓ，２１ｓ・・および各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されている。したがって、図１７に示すように、例えば環状領域Ａ２ｂにおける内周側サーボパターン領域Ａｓｂｉ（内周側の凹凸パターン２０ｓｂ）の回転方向に沿った長さＬ５２と、外周側サーボパターン領域Ａｓｂｏ（外周側の凹凸パターン２０ｓｂ）の回転方向に沿った長さＬ５２とが等しくなっている。このため、この磁気ディスク１０ｂでは、トラックパターン領域Ａｔの回転方向に沿った長さが環状領域Ａｂの内周側から外周側に向けて徐々に長くなっている。具体的には、内周側トラックパターン領域Ａｔｉ（内周側の凹凸パターン２０ｔ）の回転方向に沿った長さよりも、外周側トラックパターン領域Ａｔｏ（外周側の凹凸パターン２０ｔ）の回転方向に沿った長さの方が長くなっている。したがって、従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、環状領域Ａｂの外周側において凸部２１ｔの長さが長くなっている分だけ、記録データの記録可能容量が増加している。

この場合、この磁気ディスク１０ｂでは、回転方向に沿ったサーボパターン領域Ａｓｂの長さが各環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しくなるように凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。このため、磁気ディスク１０ｂを角速度一定の回転速度で定速回転させたときには、磁気ヘッド３の下方をサーボパターン領域Ａｓｂが通過させられる時間が環状領域Ａｂの内周側よりも環状領域Ａｂの外周側ほど短時間となる。したがって、この磁気ディスク１０ｂを搭載したハードディスクドライブ１ｂ（図１参照）では、前述した磁気ディスク１０ａを搭載したハードディスクドライブ１とは異なり、ＲＯＭ９が、読み出し周波数情報についてのクロックデータＤｃｌを各環状領域Ａｂ内における磁気ヘッド３の移動位置（環状領域Ａｂ内における中心Ｏからの距離）に関連付けて記憶している。また、制御部８は、クロックデータＤｃｌに基づき、一例として、各環状領域Ａｂ内において、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｂの内周側よりも環状領域Ａｂの外周側ほど波長が短くなるように読み出し周波数情報の周波数を直線的に変化させて検出用クロック出力部５に出力する。したがって、磁気ディスク１０ｂを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域Ａｓｂからサーボパターン（サーボデータ）を確実に読み出すことができる。

このように、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、各環状領域Ａｂ内における単位凸部長の平均長を中心Ｏから環状領域Ａｂの最内周部位までの距離で除した値が内周側の環状領域Ａｂよりも外周側の環状領域Ａｂほど小さくなるように各環状領域Ａｂ毎に単位凸部長を規定してサーボパターンを構成する凹凸パターン２０ｓｂを構成したことにより、単位凸部長が磁気ディスク１０ｘの内周側から外周側に向けて徐々に長くなるように凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、外周側の環状領域Ａｂにおける単位凸部長を十分に短くすることができる。したがって、各凸部２１，２１・・を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層をエッチング処理する際に、外周側の環状領域Ａｂにおける凸部２１ｓ上の残渣の厚みと内周側の環状領域Ａｂにおける凸部２１ｓ上の残渣の厚みとの差が大きくなる事態を回避することができる。また、内周側の環状領域Ａｂから外周側の環状領域Ａｂまでの全域において各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の上に非磁性材料１５（残渣）が存在しないように非磁性材料１５をエッチング処理したときに、内周側の環状領域Ａｂ内において非磁性材料１５のみならず凸部２１ｓ（磁性材料）までもがエッチングされる事態を招くことなく各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の上の残渣を取り除くことができる。したがって、磁気ディスク１０ｂの平坦性を全域に亘って良好に維持することができる。このため、磁気ディスク１０ｂの全域において、磁気ディスク１０ｂに対する磁気ヘッド３の浮上量をほぼ同等に維持することができる結果、このハードディスクドライブ１ｂによれば、安定した記録再生を実行することができる。

また、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凸部長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離で除した値が環状領域Ａｂ内においてその内周側からその外周側に向かうほど小さくなるように単位凸部長を規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、回転方向に沿った単位凸部長が中心Ｏからの距離に比例して長くなるように（単位凸部長を中心Ｏからの距離で除した値が環状領域Ａｂの内周側から外周側までの全域に亘って等しくなるように）凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、環状領域Ａｂ内における外周側の単位凸部長を十分に短くすることができる。したがって、各凸部２１，２１・・を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層をエッチング処理する際に、環状領域Ａｂ内における外周側の凸部２１ｓｏ上の残渣の厚みと内周側の凸部２１ｓｉ上の残渣の厚みとの差が大きくなる事態を回避することができる。また、環状領域Ａｂにおける環状領域Ａｂの内周側から外周側までの全域において各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の上に非磁性材料１５（残渣）が存在しないように非磁性材料１５をエッチング処理したときに、環状領域Ａｂの内周側において非磁性材料１５のみならず凸部２１ｓ（磁性材料）までもがエッチングされる事態を招くことなく各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の上の残渣を取り除くことができる。したがって、磁気ディスク１０ｂの平坦性を環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域に亘って良好に維持することができる。このため、環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において、磁気ディスク１０ｂに対する磁気ヘッド３の浮上量を同等に維持することができる結果、このハードディスクドライブ１ｂによれば、安定した記録再生を実行することができる。

さらに、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凹部長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離で除した値が環状領域Ａｂ内においてその内周側からその外周側に向かうほど小さくなるように単位凹部長を規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、回転方向に沿った単位凹部長が中心Ｏからの距離に比例して長くなるように（単位凹部長を中心Ｏからの距離で除した値が内周側から外周側までの全域に亘って等しくなるように）凹凸パターンが形成されている従来の磁気ディスク１０ｘと比較して、環状領域内における外周側の単位凹部長を十分に短くすることができる。この場合、出願人は、回転方向に沿った長さが過剰に長い凹部の存在部位において、その凹部を挟むようにして形成されている凸部の上の非磁性材料に対するエッチングの進行が遅くなる現象を見出している。一方、この磁気ディスク１０ｂによれば、上記のように各凹部２２ｓの単位凹部長が十分に短いため、凸部２１ｓの上の非磁性材料１５に対するエッチングの進行が遅くなる事態を招くことなく、非磁性材料１５の層をエッチング処理することができる結果、環状領域内における外周側の凸部２１ｓｏ上の残渣の厚みと内周側の凸部２１ｓｉ上の残渣の厚みとの差が大きくなる事態を回避することができる。また、環状領域における内周側から外周側までの全域において各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の上に非磁性材料１５（残渣）が存在しないように非磁性材料１５をエッチング処理したときに、環状領域の内周側において非磁性材料１５のみならず凸部２１ｓ（磁性材料）までもがエッチングされる事態を招くことなく各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の上の残渣を取り除くことができる。これにより、磁気ディスク１０ｂの平坦性を環状領域Ａｂにおける内周側から外周側までの全域に亘って一層良好に維持することができる。

また、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凸部長が環状領域Ａｂにおける内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、各凸部２１ｓ，２１ｓ・・（磁性材料）上の非磁性材料１５に対するエッチング条件（エッチングレート）を環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において均一に維持することができる。したがって、環状領域内における外周側の凸部２１ｓｏ上の残渣の厚みと内周側の凸部２１ｓｉ上の残渣の厚みとの差を十分に小さくすることができる。また、環状領域における内周側から外周側までの全域において各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の上に非磁性材料１５（残渣）が存在しないように非磁性材料１５をエッチング処理したときに、環状領域の内周側において非磁性材料１５のみならず凸部２１ｓ（磁性材料）までもがエッチングされる事態を招くことなく各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の上の残渣を取り除くことができる。これにより、磁気ディスク１０ｂの平坦性を環状領域Ａｂ内においてその内周側からその外周側まで全域に亘って一層良好、かつ一層均一に維持することができる。この結果、磁気ディスク１０ｂの環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において、磁気ディスク１０ｂに対する磁気ヘッド３の浮上量を均一に維持することができる。

さらに、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１ｂによれば、単位凹部長が環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において等しい長さとなるように規定して凹凸パターン２０ｓｂ（サーボパターン）を形成したことにより、各凹部２２ｓ，２２ｓ・・を挟むようにして形成されている各凸部２１ｓ，２１ｓ・・（磁性材料）上の非磁性材料１５に対するエッチング条件（エッチングレート）を環状領域の内周側から環状領域の外周側までの全域において均一に維持することができる。したがって、環状領域内における外周側の凸部２１ｓｏ上の残渣の厚みと内周側の凸部２１ｓｉ上の残渣の厚みとの差を十分に小さくすることができる。また、環状領域における内周側から外周側までの全域において各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の上に非磁性材料１５（残渣）が存在しないように非磁性材料１５をエッチング処理したときに、環状領域の内周側において非磁性材料１５のみならず凸部２１ｓ（磁性材料）までもがエッチングされる事態を招くことなく各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の上の残渣を取り除くことができる。これにより、磁気ディスク１０ｂの平坦性を環状領域Ａｂ内における内周側から外周側までの全域に亘って一層良好、かつ一層均一に維持することができる。

また、この磁気ディスク１０ｂを搭載したハードディスクドライブ１ｂによれば、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部８がサーボデータ検出部６を制御して磁気ディスク１０ｂからサーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出すことにより、磁気ディスク１０ｂを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン（サーボデータ）を確実に読み出すことができる。

続いて、本発明における情報記録媒体のさらに他の一例である磁気ディスク１０ｃについて、図面を参照して説明する。なお、磁気ディスク１０ａ，１０ｂと共通の構成要素、およびハードディスクドライブ１における磁気ディスク１０ａを除く構成要素については、共通の符号を付して重複する説明を省略する。

図２２に示す磁気ディスク１０ｃでは、前述した磁気ディスク１０ａ，１０ｂと同様にして、磁気ディスク１０ｃの内周側から外周側までが凹凸パターン２０ｔの中心Ｏ（図示せず）を中心とする同心円状の（すなわち、凹凸パターン２０ｔと同心の）４つの環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃ（本発明における複数の環状領域の一例：以下、区別しないときには、環状領域Ａｃともいう）に区分けされて凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｔ，２０ｓｃ）が形成されている。なお、同図では環状領域Ａ２ｃを中心として環状領域Ａ１ｃ〜Ａ３ｃの３つの領域のみを図示している。また、この磁気ディスク１０ｃでは、磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに代えて、トラックパターン領域Ａｔ，Ａｔ・・の間にサーボパターン領域Ａｓｃ，Ａｓｃ・・が設けられてトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓｃが磁気ディスク１０ｃの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように規定されている。

また、図２２〜２６に示すように、サーボパターン領域Ａｓｃ（環状領域Ａｃ内における内周側の内周側サーボパターン領域Ａｓｃｉ、および環状領域Ａｃ内における外周側の外周側サーボパターン領域Ａｓｃｏ）には、磁気ディスク１０ａにおける凹凸パターン２０ｓａに代えてサーボパターンとしての凹凸パターン２０ｓｃ（本発明における「第２の凹凸」のさらに他の一例）が形成されている。この場合、凹凸パターン２０ｓｃは、凹凸パターン２０ｓａ，２０ｓｂと同様にして、プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターンなどの各種サーボパターンを構成する凸部２１ｓ，２１ｓ（凸部２１ｓｉおよび凸部２１ｓｏ）・・並びに凹部２２ｓ，２２ｓ・・（凹部２２ｓｉおよび凹部２２ｓｏ）で構成されている。また、この磁気ディスク１０ｃでは、回転方向（各図における矢印Ｒの向き）に沿った凸部２１ｓの長さが凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定されて各凸部２１ｓ，２１ｓ・・が形成されている。同様にして、回転方向に沿った凹部２２ｓの長さについても、凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定されて各凹部２２ｓ，２２ｓ・・が形成されている。このため、この磁気ディスク１０ｃでは、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃ内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定されている。

具体的には、図２３，２４に示すように、環状領域Ａｃにおける内周側の内周側領域Ａｉｃ（一例として、環状領域Ａ１ｃにおける中心Ｏからの距離が１１ｍｍの部位のプリアンブルパターンの形成領域）では、凹部２２ｓｉの長さＬ１２ｉ（一例として、２２０ｎｍ）と凸部２１ｓｉの長さＬ１１ｉ（一例として、２２０ｎｍ）との合計長である長さＬ１３ｉが４４０ｎｍとなるように規定されている。また、図２５，２６に示すように、環状領域Ａｃにおける外周側の外周側領域Ａｏｃ（一例として、環状領域Ａ１ｃにおける中心Ｏからの距離が１６ｍｍの部位のプリアンブルパターンの形成領域）では、凹部２２ｓｏの長さＬ１２ｏ（一例として、３２０ｎｍ）と凸部２１ｓｏの長さＬ１１ｏ（一例として、３２０ｎｍ）との合計長である長さＬ１３ｏが６４０ｎｍとなるように規定されている。この結果、図２４，２６に示すように、この磁気ディスク１０ｃでは、環状領域Ａｃ内の内周側領域Ａｉｃにおける凹凸パターン２０ｓｃの凹部２２ｓｉの長さＬ１２ｉに対する凸部２１ｓｉの長さＬ１１ｉの比と、環状領域Ａｃ内の外周側領域Ａｏｃにおける凹部２２ｓｏの長さＬ１２ｏに対する凸部２１ｓｏの長さＬ１１ｏの比とが各環状領域Ａｃ内においてそれぞれ１となっている。

この場合、凹部２２ｓの長さ（単位凹部長）に対する凸部２１ｓの長さ（単位凸部長）の比については、上記のプリアンブルパターンのみならず、アドレスパターンやバーストパターンを構成する凹凸パターン２０ｓｃについても同様に規定されている。また、バーストパターンについては、磁気ディスク１０ｃの回転方向に沿って複数の矩形状の凸部２１ｓ，２１ｓ・・が凹部２２ｓを挟んで並んでいる領域において、単位凹部長に対する単位凸部長の比が上記の条件を満たすように規定されている。なお、図２３〜２６では、サーボパターンにおけるプリアンブルパターンおよびバーストパターンを模式的に図示しており、理解を容易にすべく、回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・や各凹部２２ｓ，２２ｓ・・の長さをサーボパターンの単位凸部長および単位凹部長のみで図示している。したがって、実際の磁気ディスク１０ｃでは、凸部２１ｓ，２１ｓ・・や凹部２２ｓ，２２ｓ・・の数、形成位置および長さが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報（パターン）を含む各種の制御用データに対応して、凸部２１ｓや凹部２２ｓのそれぞれの数、形成位置および長さが規定されて凹凸パターン２０ｓｃが形成されている。この場合、凸部２１ｓや凹部２２ｓの実際の長さは、凸部２１ｓや凹部２２ｓの長さ（単位凸部長および単位凹部長）の整数倍の長さとなる。

また、この磁気ディスク１０ｃでは、各環状領域Ａｃ内における凸部２１ｓの平均長が各環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃの全領域において等しくなるように規定されている。したがって、各環状領域Ａｃ内の凸部２１ｓの平均長を凹凸パターン２０ｔの中心Ｏから環状領域Ａｃまでの距離（環状領域Ａｃにおける最内周の部位とする）で除した値が内周側の環状領域Ａ１ｃから外周側の環状領域Ａ４ｃに向かうほど小さくなっている。この場合、各環状領域Ａｃにおける回転方向に沿った内周側の長さについては、磁気ディスク１０ｃにおける外周側の環状領域Ａｃほど僅かに長くなっている。具体的には、図２２に示すように、例えば、環状領域Ａ２ｃにおける回転方向に沿った内周側の長さＬ９２ｉよりも、環状領域Ａ３ｃにおける回転方向に沿った内周側の長さＬ９３ｉの方が僅かに長くなっている。また、各環状領域Ａｃにおける回転方向に沿った外周側の長さについては、磁気ディスク１０ｃにおける外周側の環状領域Ａｃほど僅かに短くなっている。具体的には、例えば、環状領域Ａ２ｃにおける回転方向に沿った外周側の長さよりも、環状領域Ａ３ｃにおける回転方向に沿った外周側の長さの方が僅かに短くなっている。なお、この磁気ディスク１０ｃの製造方法については、前述した磁気ディスク１０ａの製造方法と同様であるため、重複する説明を省略する。この場合、インプリント法によって磁気ディスク１０ｃを製造する際には、磁気ディスク１０ｃにおける凹凸パターン２０の凸部２１，２１・・に対応する凹部３９ｂ，３９ｂ・・と、磁気ディスク１０ｃにおける凹凸パターン２０の凹部２２，２２・・に対応する凸部３９ａ，３９ａ・・とを有する凹凸パターン３９が形成されたスタンパー３５ｃ（図１５参照）を用いればよい。

この磁気ディスク１０ｃでは、上記のように各環状領域Ａｃ内における凸部２１ｓの平均長が各環状領域Ａ１ｃ〜Ａ４ｃの全領域において等しくなるように規定されている。したがって、磁気ディスク１０ｃの製造時に非磁性材料１５をイオンビームエッチング処理する際に、内周側の環状領域Ａｃ内においてその外周側の各凸部２１ｓｏ，２１ｓｏ・・の上面が非磁性材料１５から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続することで、その環状領域Ａｃ内の各凸部２１ｓｉ，２１ｓｉ・・の上面が非磁性材料１５から露出すると共に、外周側の環状領域Ａｃ内においてその外周側の各凸部２１ｓｏ，２１ｓｏ・・の上面およびその内周側の各凸部２１ｓｉ，２１ｓｉ・・の上面も非磁性材料１５から露出する（内周側の環状領域Ａｃと外周側の環状領域Ａｃとで凸部２１ｓｏ，２１ｓｏの上面がほぼ同時に露出する）。したがって、この磁気ディスク１０ｃでは、すべての環状領域Ａｃに亘って凸部２１ｓ，２１ｓ・・上の非磁性材料１５（残渣）が除去されている。このため、磁気ディスク１０ｃの表面における凹凸の高低差がすべての環状領域Ａｃにおいてほぼ均一となる。したがって、磁気ディスク１０ｃの内周側から外周側までの全域において磁気ヘッド３（スライダ）の浮上量がほぼ一定となって、安定した記録再生が可能となる。

また、この磁気ディスク１０ｃでは、前述したように、回転方向に沿った凸部２１ｓの長さと凹部２２ｓの長さとの合計長（すなわち、凸部２１ｓおよび凹部２２ｓの形成ピッチ）が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例してその内周側からその外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓｃ（サーボパターン）を形成したことにより、磁気ディスク１０ｃを角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域ＡｓｃからサーボデータＤｓを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報（読み出し周波数情報）を一つの環状領域Ａｃ内において変化させることなく、環状領域Ａｃにおける内周側から外周側までのサーボパターン領域ＡｓｃからサーボデータＤｓを確実に読み出す（検出する）ことができる。また、回転方向に沿った単位凸部長および単位凹部長が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例してその内周側から外周側に向かうほど長くなるように規定して凹凸パターン２０ｓｃ（サーボパターン）が形成されているため、磁気ヘッド３の下方を単位凸部長の凸部２１ｓおよび単位凹部長の凹部２２ｓが通過させられる時間が環状領域Ａｃ内における内周側と外周側とで等しくなる。したがって、磁気ヘッド３が検出するサーボデータの単位凸部長および単位凹部長の信号形状を環状領域Ａｃ内における内周側から外周側までの全域において等しくすることができる。このため、より一層確実にサーボデータＤｓを読み出す（検出する）ことができる。

このように、この磁気ディスク１０ｃでは、単位凸部長が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃの内周側から外周側に向かうほど長くなり、かつ単位凹部長と単位凸部長の合計長が環状領域Ａｃ内において凹凸パターン２０ｔの中心Ｏからの距離に比例して環状領域Ａｃの内周側から外周側に向かうほど長くなるように単位凸部長および単位凹部長を規定して凹凸パターン２０ｓｃ（サーボパターン）が形成されている。したがって、この磁気ディスク１０ｃおよびハードディスクドライブ１によれば、外周側の環状領域Ａｃにおいて凸部２１ｓの回転方向に沿った長さが長くなる事態を回避しつつ、１つの環状領域Ａｃ内において読み出し周波数情報の周波数を変化させることなく、サーボデータの読み取りができるため、例えば、環状領域Ａｃの内周側から外周側まで磁気ヘッド３をシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理を不要とすることができる。したがって、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域の数（この例では４つ）に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の検出用クロック出力部５および制御部８によってトラッキングサーボを行うことができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、環状領域Ａａ，Ａｂ内における内周側から外周側までの全域において回転方向に沿った各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さ（長さＬ１ｉ，Ｌ１ｏ、長さＬ６ｉ，Ｌ６ｏ）が等しくなるように凹凸パターン２０ｓａ，２０ｓｂを形成する磁気ディスク１０ａ，１０ｂについて上記したが、各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さが環状領域の内周側から外周側までの各部において僅かに異なるように凹凸パターン２０ｓａを形成することもできる。具体的には、環状領域の内周側の凸部２１ｓｉよりも環状領域の外周側の凸部２１ｓｏの方が回転方向に沿った長さが僅かに長くなるように形成することができる。このように各凸部２１ｓ，２１ｓ・・の長さを異ならしめる構成であったとしても、外周側の凸部２１ｓｏの長さを、従来の磁気ディスク１０ｘにおける凸部２１ｓｘｏの長さＬ１ｘｏよりも短くして単位凸部長を規定して凹凸パターン２０ｓａ，２０ｓｂを形成することで、外周側の凸部２１ｓｏ上の残渣を十分に薄く形成することができるため、環状領域Ａａ，Ａｂ内における外周側において良好な平坦性を良好に維持することができる。

また、本発明におけるサーボパターンは上記の例に限定されず、磁気ディスク１０ａ〜１０ｃのサーボパターン領域Ａｓａ〜Ａｓｃにおける凹凸パターン２０ｓａ〜２０ｓｃの凹凸形状を反転させると共に本発明における各種条件を満たすように単位凸部長および単位凹部長を規定してサーボパターンを形成することもできる。また、上記の磁気ディスク１０ａ〜１０ｃでは、凹凸パターン２０における各凸部２１，２１・・の基端部から突端部までが磁性材料で形成されているが、本発明はこれに限定されず、図２７に示す磁気ディスク１０ｄのように、基材１１ａに形成した凹凸パターンを覆うようにして磁性層１４ａを形成することにより、その表面が磁性層１４ａで形成された凸部２１ａ，２１ａ・・と底面が磁性層１４ａで形成された凹部２２ａ，２２ａ・・とによって凹凸パターン２０ａを構成することもできる。この場合、基材１１ａの凹凸パターンについては、前述した磁気ディスク１０ａ等における凹凸パターン２０の形成方法と同様にして、例えば磁性層１４のエッチングに際してマスクとして使用した凹凸パターン４３を用いて基材１１ａをエッチングすることで形成することができる。また、例えばスタンパー３５ａ〜３５ｃと同様のスタンパーを用いたプレス成形や射出成形によって基材１１ａに凹凸パターンを形成することもできる。さらに、図２８に示す磁気ディスク１０ｅのように、各凸部２１ｂ，２１ｂ・・を構成する磁性層１４ｂと各凸部２１ｂ，２１ｂ・・間の凹部２２ｂ，２２ｂ・・の底面を構成する磁性層１４ｂを連続させて凹凸パターン２０ｂを構成することもできる。また、磁気ディスク１０ａ〜１０ｃは、垂直記録方式の磁気ディスクであるが、面内記録方式の磁気ディスクに本発明を適用することもできる。

ハードディスクドライブ１，１ｂの構成を示すブロック図である。 磁気ディスク１０ａ〜１０ｅの層構造を示す断面図である。 磁気ディスク１０ａの平面図である。 磁気ディスク１０ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａの平面図である。 環状領域Ａａ内における内周側領域Ａｉａの平面図である。 内周側領域Ａｉａにおける内周側サーボパターン領域Ａｓａｉの断面図である。 環状領域Ａａ内における外周側領域Ａｏａの平面図である。 外周側領域Ａｏａにおける外周側サーボパターン領域Ａｓａｏの断面図である。 磁気ディスク１０ａを製造するための中間体３０の断面図である。 電子ビームＥＢを照射して樹脂層１９に露光パターンを描画した状態の中間体３０の断面図である。 図１０に示す状態の樹脂層１９を現像処理した中間体３０、およびスタンパー３５ａ（３５ｂ，３５ｃ）の凹凸パターン３９を樹脂層１９に転写した状態の中間体３０の断面図である。 凹凸パターン４１をマスクとしてＳｉマスク層１８をエッチング処理してＣマスク層１７の上に凹凸パターン４２（Ｓｉマスク）を形成した状態の中間体３０の断面図である。 凹凸パターン４２をマスクとしてＣマスク層１７をエッチング処理して磁性層１４の上に凹凸パターン４３（Ｃマスク）を形成した状態の中間体３０の断面図である。 凹凸パターン４３をマスクとして磁性層１４をエッチング処理して中間層１３の上に凹凸パターン２０を形成した状態の中間体３０の断面図である。 樹脂層１９にスタンパー３５ａ（３５ｂ，３５ｃ）の凹凸パターン３９を押し付けた（樹脂層１９に凸部３９ａ，３９ａ・・を押し込んだ）状態の中間体３０およびスタンパー３５ａ（３５ｂ，３５ｃ）の断面図である。 磁気ディスク１０ｂの平面図である。 磁気ディスク１０ｂにおけるサーボパターン領域Ａｓｂの平面図である。 環状領域Ａｂ内における内周側領域Ａｉｂの平面図である。 内周側領域Ａｉｂにおける内周側サーボパターン領域Ａｓｂｉの断面図である。 環状領域Ａｂ内における外周側領域Ａｏｂの平面図である。 外周側領域Ａｏｂにおける外周側サーボパターン領域Ａｓｂｏの断面図である。 磁気ディスク１０ｃにおけるサーボパターン領域Ａｓｃの平面図である。 環状領域Ａｃ内における内周側領域Ａｉｃの平面図である。 内周側領域Ａｉｃにおける内周側サーボパターン領域Ａｓｃｉの断面図である。 環状領域Ａｃ内における外周側領域Ａｏｃの平面図である。 外周側領域Ａｏｃにおける外周側サーボパターン領域Ａｓｃｏの断面図である。 磁気ディスク１０ｄの層構造を示す断面図である。 磁気ディスク１０ｅの層構造を示す断面図である。 従来の磁気ディスク１０ｘの平面図である。 磁気ディスク１０ｘにおける内周側領域Ａｘｉの平面図である。 内周側領域Ａｘｉにおける内周側サーボパターン領域Ａｓｘｉの断面図である。 磁気ディスク１０ｘにおける外周側領域Ａｘｏの平面図である。 外周側領域Ａｘｏにおける外周側サーボパターン領域Ａｓｘｏの断面図である。

符号の説明

１，１ｂ ハードディスクドライブ
３ 磁気ヘッド
６ サーボデータ検出部
８ 制御部
１０ａ〜１０ｅ 磁気ディスク
１１ ガラス基材
１１ａ 基材
１４，１４ａ，１４ｂ 磁性層
１５ 非磁性材料
１９ 樹脂層
２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｓａ〜２０ｓｃ，２０ｔ，３９ 凹凸パターン
２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｓ，２１ｓｉ，２１ｓｏ，２１ｔ，３９ａ 凸部
２２，２２ａ，２２ｂ，２２ｓ，２２ｓｉ，２２ｓｏ，２２ｔ，３９ｂ 凹部
３０ 中間体
３５ａ〜３５ｃ スタンパー
Ａ１ａ〜Ａ４ａ，Ａ１ｂ〜Ａ４ｂ，Ａ１ｃ〜Ａ４ｃ 環状領域
Ａｉａ，Ａｉｂ，Ａｉｃ 内周側領域
Ａｏａ，Ａｏｂ，Ａｏｃ 外周側領域
Ａｓａ，Ａｓｂ，Ａｓｃ サーボパターン領域
Ａｓａｉ，Ａｓｂｉ，Ａｓｃｉ内周側サーボパターン領域
Ａｓａｏ，Ａｓｂｏ，Ａｓｃｏ 外周側サーボパターン領域
Ａｔ トラックパターン領域
Ｃｌｓ 検出用クロック
Ｄｃｌ クロックデータ
Ｄｓ サーボデータ
Ｈ，Ｈｉ，Ｈｏ 高低差
Ｌ１ｉ〜Ｌ４ｉ，Ｌ６ｉ〜Ｌ８ｉ，Ｌ１１ｉ〜Ｌ１３ｉ，Ｌ９２ｉ，Ｌ９３ｉ，Ｌ１ｏ〜Ｌ４ｏ，Ｌ６ｏ〜Ｌ８ｏ，Ｌ１１ｏ〜Ｌ１３ｏ，Ｌ５１〜Ｌ５４ 長さ
Ｏ 中心
Ｒ 矢印

Claims (15)

1. 複数の凸部および凹部で構成された第１の凹凸によってデータトラックパターンが基材の少なくとも一面側に形成されると共に複数の凸部および凹部で構成された第２の凹凸によってサーボパターンが当該少なくとも一面に形成され、かつ、当該第１の凹凸および当該第２の凹凸の当該各凹部に非磁性材料が埋め込まれ、
   前記データトラックパターンの前記各凸部は、所定の中心を中心とする同心円状または螺旋状となるように形成され、
   前記データトラックパターンおよび前記サーボパターンは、前記中心を中心とする同心でその形状が環状の複数の環状領域に区分けされ、
   前記基材の回転方向に沿った長さであって磁気信号の読み取りに際して前記サーボパターンにおける１つの前記凸部有りと検出するための基準の長さを単位凸部長としたときに、前記各環状領域毎の前記単位凸部長は、当該各環状領域内における当該単位凸部長の平均長を前記中心から当該環状領域の最内周部位までの距離で除した値が内周側の当該環状領域よりも外周側の当該環状領域ほど小さくなるように規定されている回転型の情報記録媒体。
2. 前記基材の回転方向に沿った長さであって磁気信号の読み取りに際して前記サーボパターンにおける１つの前記凹部有りと検出するための基準の長さを単位凹部長としたときに、前記各環状領域毎の前記単位凸部長および当該単位凹部長は、当該単位凹部長に対する当該単位凸部長の比が当該環状領域内において当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど小さくなるように規定されている請求項１記載の情報記録媒体。
3. 前記単位凹部長は、前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されている請求項２記載の情報記録媒体。
4. 前記単位凸部長は、前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項２または３記載の情報記録媒体。
5. 前記単位凸部長および前記単位凹部長は、当該単位凸部長および当該単位凹部長の合計長が前記環状領域内において前記中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されている請求項２から４のいずれかに記載の情報記録媒体。
6. 前記単位凸部長は、前記環状領域内において前記中心からの距離に比例して当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定され、
   前記基材の回転方向に沿った長さであって磁気信号の読み取りに際して前記サーボパターンにおける１つの前記凹部有りと検出するための基準の長さを単位凹部長としたときに、前記単位凸部長および当該単位凹部長は、当該単位凸部長と当該単位凹部長との合計長が前記環状領域内において前記中心からの距離に比例して当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど長くなるように規定されている請求項１記載の情報記録媒体。
7. 前記単位凸部長は、当該単位凸部長の前記環状領域内における前記平均長が前記内周側の環状領域から前記外周側の環状領域までの全環状領域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項２から６のいずれかに記載の情報記録媒体。
8. 前記単位凸部長は、当該単位凸部長を前記中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように規定されている請求項１記載の情報記録媒体。
9. 前記基材の回転方向に沿った長さであって磁気信号の読み取りに際して前記サーボパターンにおける１つの前記凹部有りと検出するための基準の長さを単位凹部長としたときに、当該単位凹部長は、当該単位凹部長を前記中心からの距離で除した値が前記環状領域内において当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側に向かうほど小さくなるように規定されている請求項８記載の情報記録媒体。
10. 前記単位凸部長は、前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項８または９記載の情報記録媒体。
11. 前記単位凹部長は、前記環状領域内における当該環状領域の前記内周側から当該環状領域の前記外周側までの全域において等しい長さ、または、ほぼ等しい長さとなるように規定されている請求項８から１０のいずれかに記載の情報記録媒体。
12. 請求項１から１１のいずれかに記載の情報記録媒体と、前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部とを備えている記録再生装置。
13. 請求項１から７のいずれかに記載の情報記録媒体と、前記各環状領域毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている記録再生装置。
14. 請求項１、および８から１１のいずれかに記載の情報記録媒体と、前記中心からの距離に応じて予め規定された読み出し周波数情報に基づいて前記情報記録媒体から前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータを読み出してサーボ制御する制御部とを備えている記録再生装置。
15. 請求項１から１１のいずれかに記載の情報記録媒体における前記第１の凹凸および前記第２の凹凸の前記各凹部に対応して形成された複数の凸部と、前記情報記録媒体における前記第１の凹凸および前記第２の凹凸の前記各凸部に対応して形成された複数の凹部とを有する凹凸が形成された情報記録媒体製造用のスタンパー。

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