JP4077437B2 - 情報記録媒体および記録再生装置 - Google Patents

Description

本発明は、凹凸パターンによってデータトラックパターンおよびサーボパターンが形成されると共に凹凸パターンの各凹部に非磁性材料が埋め込まれた情報記録媒体と、その情報記録媒体を備えた記録再生装置とに関するものである。

この種の情報記録媒体を備えた記録再生装置として、ディスクリートトラック型の磁気ディスクを備えて構成された磁気記録装置が特開平９−９７４１９号公報に開示されている。この場合、磁気ディスクは、ガラスディスク基板（基材）の一面側に記録磁性部材（磁性材料）で同心円状の記録トラック（帯状の凸部）が形成されている。また、各記録トラックの間（凹部）には、磁気ディスクの表面平滑性を向上させると共に、隣り合う磁気トラックを磁気的に分離するためのガードバンド部材（非磁性材料）が埋め込まれてガードバンド部が形成されている。この磁気ディスクの製造に際しては、まず、基材の一面側に磁性材料をスパッタリングして記録磁気層を形成する。次いで、記録磁気層を覆うようにしてポジ形レジストをスピンコートしてプリベークした後に、原盤カッティング装置を用いてガードバンド部のパターンと同じパターンを描画して現像処理する。これにより、記録磁気層の上にレジストパターンが形成される。続いて、レジストパターンをマスクとして用いて記録磁気層をエッチング処理した後にアッシング装置によって残留マスクを除去する。これにより、基材の上に磁性材料からなる記録トラックやサーボパターン（凸部）が形成される。次いで、この状態の基材に非磁性材料をスパッタリングする。この際には、各記録トラック間の凹部が非磁性材料で埋め尽くされ、かつ、各記録トラックが非磁性材料で覆われるまで非磁性材料を十分にスパッタリングする。続いて、スパッタリングした非磁性材料の表面をドライエッチング処理することにより、非磁性材料から記録トラックの上面を露出させる。これにより、記録トラックおよびガードバンド部が交互に隣接した状態となり、磁気ディスクが完成する。
特開平９−９７４１９号公報（第６−１２頁、第１−１９図）

ところが、従来の磁気ディスクには、以下の問題点がある。すなわち、従来の磁気ディスクでは、記録磁気層（記録トラック）を覆うようにして非磁性材料をスパッタリングした後に、記録トラックやサーボパターン等の凸部の上面が露出するまで非磁性材料をドライエッチング処理して表面を平滑化している。しかし、この製造方法に従って磁気ディスクを製造した場合には、磁気ディスクの回転方向および半径方向に沿った長さが比較的長い凸部の上においてドライエッチング処理後に残留する非磁性材料（以下、凸部の上に残留した非磁性材料を「残渣」ともいう）の厚みが厚くなり過ぎることがある。

例えば、図１４に示すように、上記の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｘは、トラックパターン用の凹凸パターンが形成されたトラックパターン領域（図示せず）と、トラッキングサーボ用の凹凸パターン２０ｓｘが形成されたサーボパターン領域Ａｓｘとが磁気ディスク１０ｘの回転方向（同図に示す矢印Ｒの向き）で交互に並ぶように構成されている。なお、図１４では、凹凸パターン２０ｓｘのうちのバーストパターンを構成する凹凸パターンの形成部位を概念的に図示している。この場合、図１４に示すように、凹凸パターン２０ｓｘにおいて例えばバーストパターンを構成する領域は、凸部２１ｓｘ，２１ｓｘ・・および凹部２２ｓｘ，２２ｓｘ・・が磁気ディスク１０ｘの回転方向で交互に並ぶように形成された部位と、凸部２１ｓｘおよび凹部２２ｓｘと相俟ってバーストパターンを構成する凸部２１ｘ（同図に破線で示す部位）が形成された部位（回転方向に沿った長さが長い１つの凸部で構成されて、無信号部として扱われる部位）とで構成されている。

一方、出願人は、非磁性層を例えばドライエッチング処理して平滑化する際に、その下方に存在する凸部の長さが長いほど（凸部の上面の幅が広いほど）、その凸部の上の非磁性層に対するエッチングの進行が遅くなる現象を見出している。このため、図１５に示すように、その長さＬ１ａが比較的短い凸部２１ｓｘの上の非磁性層が除去される（または、残渣の厚みが適当な厚みとなる）ようなエッチング条件（凸部２１ｓｘおよび凹部２２ｓｘの形成部位において表面平滑性が良好となるようなエッチング条件）でサーボパターン領域Ａｓｘの全域をエッチング処理したときには、図１６に示すように、その長さＬ１ｘが比較的長い凸部２１ｘの上に厚手の残渣（非磁性層）が残留することとなる。この場合、凸部２１ｘ上では、磁気ディスク１０ｘの半径方向（図１４における上下方向）に凹部２２ｓｘ，２２ｓｘ・・が存在する部位よりも、半径方向に凸部２１ｓｘ，２１ｓｘ・・が存在する部位（図１４において破線の楕円形で囲んだ矢印Ｘの部位）に対するエッチングの進行が遅くなる結果、非磁性材料が除去されずに残渣が生じる。この結果、凸部２１ｘの上の非磁性層の表面と、凹部２２ｓｘ内の非磁性層の表面との高低差Ｈが非常に大きくなり、凸部２１ｘの形成部位において磁気ディスク１０ｘの表面平滑性が悪化する。このように、従来の磁気ディスク１０ｘには、その長さが比較的長い凸部２１ｘなどの上の非磁性層（残渣）が厚くなることに起因して、磁気ディスク１０ｘにおけるサーボパターン領域Ａｓｘ内の表面平滑性が悪化するという問題点がある。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、表面平滑性が良好な情報記録媒体、および表面平滑性が良好な情報記録媒体を有する記録再生装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく本発明に係る情報記録媒体は、複数の凸部を有する凹凸パターンによってデータトラックパターンおよびサーボパターンが基材の少なくとも一面側に形成されると共に当該凹凸パターンの各凹部に非磁性材料が埋め込まれ、前記サーボパターンにおけるバーストパターンは、サーボデータに対応付けられた所定の形成ピッチで前記凸部および前記凹部が前記基材の回転方向で交互に並ぶようにして形成された部位と、前記所定の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで前記凸部（以下、本明細書では、この凸部を「非サーボ用凸部」ともいう）および前記凹部が前記回転方向で交互に並ぶようにして形成された部位（以下、本明細書では、この部位に形成された凹凸パターンを「Ｂ凹凸パターン」ともいう）とが前記基材の半径方向で交互に並んで形成されて構成されている。

なお、本明細書における「形成ピッチ」とは、「凸部の回転方向の長さと、凸部間に形成された凹部の回転方向の長さとの合計長」、または、「凹部の回転方向の長さと、凹部間に形成された凸部の回転方向の長さとの合計長」をいう。また、本明細書における「単位凸部長」とは、情報記録媒体からの磁気信号の読み取りに際して「１つの凸部有り」と検出するための基準の長さをいい、「単位凹部長」とは、情報記録媒体からの磁気信号の読み取りに際して「１つの凹部有り」と検出するための基準の長さをいう。したがって、実際の情報記録媒体では、サーボデータの内容に応じて、単位凸部長の整数倍、または、単位凸部長および単位凹部長の合計長（凸部の形成ピッチ）の整数倍の長さのサーボパターン用凸部（サーボ用の凸部：以下、本明細書では、この凸部を「サーボ用凸部」ともいう）と、単位凹部長の整数倍、または、単位凸部長および単位凹部長の合計長（凹部の形成ピッチ）の整数倍の長さのサーボ用の凹部とが形成されてサーボパターンが構成される。この場合、「１つの凸部有り」と検出するための基準の長さについては、サーボパターン全体において１つの共通する長さに規定してもよいし、サーボパターンを構成する各種パターンの種類（プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターン等）に応じて各パターン毎に相違する長さに規定することもできる。同様にして、「１つの凹部有り」と検出するための基準の長さについても、サーボパターン全体において１つの共通する長さに規定してもよいし、サーボパターンの種類に応じて各パターン毎に相違する長さに規定することもできる。また、一般的には、サーボ用凸部の形成部位は「検出信号の出力有り」または「信号レベルがHighの検出信号」として検出され、サーボ用の凹部の形成部位は「検出信号の出力なし」または「信号レベルがLow の検出信号」として検出される。ただし、従来の磁気ディスク１０ｘにおける凸部２１ｘのような凸部については、無信号部として扱われる。また、本明細書においては、サーボデータに対応付けられずに形成された凸部（サーボデータのデータ内容に影響を及ぼすことのない形成パターンで形成される凸部）を上記のように非サーボ用凸部という。つまり、上記のＢ凹凸パターンは、サーボ機能を有しないで、表面を平坦に形成する機能を有する平坦面形成用凹凸パターンを構成する。

また、本発明に係る情報記録媒体は、前記回転方向に沿った長さ、および前記半径方向に沿った長さの少なくとも一方が、前記所定の形成ピッチで形成された前記凸部の対応する長さ以下となるように、前記所定の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで形成された前記凸部が形成されている。

また、本発明に係る情報記録媒体は、複数の凸部を有する凹凸パターンによってデータトラックパターンおよびサーボパターンが基材の少なくとも一面側に形成されると共に当該凹凸パターンの各凹部に非磁性材料が埋め込まれ、前記サーボパターンにおけるバーストパターンは、サーボデータに対応付けられた所定の形成ピッチで前記凸部および前記凹部が前記基材の回転方向で交互に並ぶようにして形成された部位と、前記所定の形成ピッチよりも大きい形成ピッチで前記凸部（以下、本明細書では、この凸部についても「非サーボ用凸部」ともいう）および前記凹部が前記回転方向で交互に並ぶようにして形成された部位（以下、本明細書では、この部位に形成された凹凸パターンについても「Ｂ凹凸パターン」ともいう）とが前記基材の半径方向で交互に並んで形成されて構成されている。

また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体を備えている。

また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体（上記の非サーボ用凸部および凹部が所定の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで回転方向で交互に並ぶようにして形成されている情報記録媒体）と、当該情報記録媒体に記録されている信号を取得するための磁気ヘッドと、当該磁気ヘッドによって取得された信号から前記所定の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで前記凸部および前記凹部が回転方向で交互に並ぶようにして形成された部位（上記のＢ凹凸パターン）に対応する信号成分を除去または減衰させつつ、前記所定の形成ピッチで前記凸部および前記凹部が回転方向で交互に並ぶようにして形成された部位に対応する信号成分を抽出する信号抽出部と、前記信号抽出部によって抽出された信号成分に基づくサーボデータに従ってサーボ制御する制御部とを備えている。

また、本発明に係る記録再生装置は、上記の情報記録媒体（上記の非サーボ用凸部および凹部が所定の形成ピッチよりも大きい形成ピッチで回転方向で交互に並ぶようにして形成されている情報記録媒体）と、当該情報記録媒体に記録されている信号を取得するための磁気ヘッドと、当該磁気ヘッドによって取得された信号から前記所定の形成ピッチよりも大きい形成ピッチで前記凸部および前記凹部が回転方向で交互に並ぶようにして形成された部位（上記のＢ凹凸パターン）に対応する信号成分を除去または減衰させつつ、前記所定の形成ピッチで前記凸部および前記凹部が回転方向で交互に並ぶようにして形成された部位に対応する信号成分を抽出する信号抽出部と、前記信号抽出部によって抽出された信号成分に基づくサーボデータに従ってサーボ制御する制御部とを備えている。

本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、複数の非サーボ用凸部を有するＢ凹凸パターンでサーボパターン（バーストパターン）の一部を構成したことにより、回転方向に沿った長さが従来のバーストパターン用の凸部における対応する長さよりも短い非サーボ用凸部でサーボ用凸部（所定の形成ピッチで形成した凸部以外の凸部）を構成することができる。したがって、サーボパターンを構成する凹凸パターンを覆うようにして形成した非磁性材料に対するエッチング処理時において非サーボ用凸部の上に厚手の残渣が取り残される事態を回避することができる。これにより、例えば従来の磁気ディスク１０ｘにおいて凸部２１ｘが形成されていた部位に厚手の残渣が生じる事態を回避することができるため、サーボパターン領域内の表面平滑性を良好に維持することができる。したがって、サーボパターン領域内における磁気ヘッドの浮上量を適正な状態に維持することができる結果、この情報記録媒体を搭載した記録再生装置によれば、情報記録媒体に対する記録再生を安定して実行することができる。

この場合、非サーボ用凸部の回転方向に沿った形成ピッチをサーボデータに対応付けられた所定の形成ピッチとは相違するようにＢ凹凸パターンを形成したことにより、この情報記録媒体からサーボデータを読み取る際に、サーボ用の凹凸パターン（所定の形成ピッチで凸部および凹部が回転方向で交互に並ぶようにして形成された凹凸パターン）に対応する信号の周波数（サーボ用凸部が磁気ヘッドの下方を通過する周期）と、Ｂ凹凸パターンに対応する信号の周波数（非サーボ用凸部が磁気ヘッドの下方を通過する周期）とを相違させることができる。したがって、この情報記録媒体を搭載した記録再生装置によれば、磁気ヘッドを介して取得した信号のうちからＢ凹凸パターンに対応する信号成分の除去または減衰を実行してサーボ用の凹凸パターンに対応する信号成分を抽出することができるため、Ｂ凹凸パターンの存在に影響されることなくサーボデータを取得してサーボ制御を実行することができる。

また、サーボデータに対応付けられた所定の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで各非サーボ用凸部を形成してＢ凹凸パターンを構成したことにより、非サーボ用凸部の回転方向に沿った長さをサーボ用凸部の回転方向に沿った長さよりも十分に短くすることができる。したがって、サーボパターンを構成する凹凸パターンを覆うようにして形成した非磁性材料に対するエッチング処理時において非サーボ用凸部の上に厚手の残渣が取り残される事態を回避することができる。これにより、情報記録媒体におけるサーボパターン領域内の表面平滑性を一層良好に維持することができる。また、Ｂ凹凸パターンに対応する信号成分の周波数がサーボ用の凹凸パターンに対応する信号成分の周波数よりも高い周波数となるため、この種の記録再生装置に搭載されている一般的なノイズフィルタを用いてＢ凹凸パターンに対応する信号成分を除去または減衰させることが可能となる。

また、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置によれば、基材の回転方向に沿った長さ、および基材の半径方向に沿った長さのいずれかの長さがサーボ用凸部（所定の形成ピッチで形成された凸部）の対応する長さ以下となるように非サーボ用凸部を形成したことにより、非磁性材料に対するエッチング処理時において非サーボ用凸部の上に厚手の残渣が取り残される事態を回避することができる。したがって、情報記録媒体におけるサーボパターン領域内の表面平滑性を良好に維持することができる。

また、本発明に係る記録再生装置では、上記のいずれかの情報記録媒体と、磁気ヘッドによって読み取られた信号からＢ凹凸パターンに対応する信号成分の除去または減衰を実行してサーボ用の凹凸パターンに対応する信号成分を抽出する信号抽出部とを備え、制御部が抽出された信号成分に基づいてサーボ制御する。したがって、本発明に係る記録再生装置によれば、表面平滑性を良好にするために形成した複数の非サーボ用凸部に影響されることなく、サーボパターン領域からサーボデータを読み出して正確なトラッキングサーボを行うことができる。

以下、本発明に係る情報記録媒体および記録再生装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

図１に示すハードディスクドライブ１は、本発明に係る記録再生装置の一例としての磁気記録再生装置であって、スピンドルモータ２、磁気ヘッド３、信号変換部４、信号抽出部５、検出用クロック出力部６、サーボデータ検出部７、ドライバ８、制御部９および磁気ディスク１０を備えて構成されている。この場合、磁気ディスク１０は、垂直記録方式で記録データを記録可能なディスクリートトラック型の磁気ディスク（パターンド媒体）であって、本発明における情報記録媒体に相当する。具体的には、図２に示すように、この磁気ディスク１０は、軟磁性層１２、中間層１３および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されている。この場合、中間層１３の上に形成されている磁性層１４は、磁性材料で形成された凸部２１，２１・・と凹部２２，２２・・とが交互に形成されることによって所定の凹凸パターン２０を構成する。また、凹部２２，２２・・には、ＳｉＯ_２等の非磁性材料１５が埋め込まれている。さらに、凸部２１の上、および凹部２２に埋め込まれた非磁性材料１５の上には、一例としてＣＶＤ法によってダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜が成膜されて厚みが２ｎｍ程度の保護層（ＤＬＣ膜）１６が形成されている。また、この磁気ディスク１０では、保護層１６の表面に潤滑剤（一例として、フォンブリン系の潤滑剤）が塗布されている。

ガラス基材１１は、本発明における基材に相当し、直径２．５インチのガラス板を表面粗さＲａが０．２〜０．３ｎｍ程度となるように表面研磨して厚みが０．６ｍｍ程度となるように形成されている。なお、本発明における基材は、ガラス材料に限定されるものではなく、アルミニウムやセラミックなどの各種非磁性材料で形成することができる。軟磁性層１２は、ＣｏＺｒＮｂ合金などの軟磁性材料をスパッタリングすることによって厚みが１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度となるように形成されている。中間層１３は、磁性層１４を形成するための下地層として機能する層であって、ＣｒやＣｏＣｒ非磁性合金などの中間層形成用材料をスパッタリングすることによって厚みが４０ｎｍ程度となるように形成されている。磁性層１４は、磁性材料で形成された凸部２１，２１・・で構成された層であって、後述するように、例えばＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングする処理と、レジストパターン等をマスクとして用いてエッチング処理して凹部２２，２２・・を形成する処理とがこの順で実行されることによって、凸部２１，２１・・（凹凸パターン２０）が形成されて構成されている。

この場合、図３に示すように、この磁気ディスク１０では、トラックパターン領域Ａｔ，Ａｔ・・の間にサーボパターン領域Ａｓ，Ａｓ・・が設けられてトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓが磁気ディスク１０の回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように規定されている。また、図４に示すように、トラックパターン領域Ａｔには、データトラックパターンとしての凹凸パターン２０ｔが形成されている。この場合、凹凸パターン２０ｔは、磁気ディスク１０の回転中心を中心とする同心円状の多数の凸部２１ｔ，２１ｔ・・（データ記録用トラック：以下「記録トラック」ともいう）と、各凸部２１ｔ，２１ｔ・・の間の凹部２２ｔ，２２ｔ・・とで構成されている。なお、磁気ディスク１０の回転中心と凹凸パターン２０ｔの中心との間には、製造誤差に起因する３０〜５０μｍ程度の極く小さなずれが生じることがある。しかし、この程度のずれ量であれば磁気ヘッド３に対するトラッキングサーボ制御が十分に可能であるため、回転中心と中心とは、実質的には同様であるといえる。また、凹凸パターン２０ｔの凹部２２ｔ，２２ｔ・・には、非磁性材料１５が埋め込まれてトラックパターン領域Ａｔの表面が平滑化されている。

また、図４に示すように、サーボパターン領域Ａｓは、プリアンブルパターン領域Ａｓｐ、アドレスパターン領域Ａｓａおよびバーストパターン領域Ａｓｂなどで構成されている。この場合、この磁気ディスク１０では、後述するように、バーストパターン領域ＡｓｂにＢ凹凸パターン（所定の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで凸部および凹部が回転方向で交互に並ぶようにして形成された凹凸パターン）で構成されたサーボ用凸部が形成されている。プリアンブルパターン領域Ａｓｐには、本発明におけるサーボパターンの一例である凹凸パターン２０ｓｐが形成されている。この場合、図８に示すように、凹凸パターン２０ｓｐは、従来の磁気ディスク１０ｘにおけるプリアンブルパターン用の凸部２１ｓｘと同様に機能する複数の凸部２１ｓｐ，２１ｓｐ・・と、凸部２１ｓｐ，２１ｓｐ間に形成された複数の凹部２２ｓｐ，２２ｓｐ・・とで構成され、磁気ディスク１０の回転方向（同図に示す矢印Ｒの向き）で凸部２１ｓｐと凹部２２ｓｐとが交互に並ぶように形成されている。また、凸部２１ｓｐは、凸部３１ｓｐ，３１ｓｐ・・と凹部３２ｓｐ，３２ｓｐ・・とを有する凹凸パターン（Ｂ凹凸パターン：平坦面形成用の凹凸パターン）で構成されている。

この場合、凸部２１ｓｐの回転方向に沿った長さＬ４ａは、従来の磁気ディスク１０ｘにおけるプリアンブルパターン用の凸部２１ｓｘの回転方向に沿った長さと等しくなるように規定されている。また、凸部３１ｓｐの回転方向に沿った長さＬ４ｂは、凸部２１ｓｐの回転方向に沿った長さＬ４ａよりも十分に短くなっている。なお、同図では、本発明についての理解を容易とするために、３つの凸部３１ｓｐと２つの凹部３２ｓｐとで１つの凸部２１ｓｐを構成している例を図示しているが、さらに多くの凸部３１ｓｐおよび凹部３２ｓｐで１つの凸部２１ｓｐを構成することもできる。

アドレスパターン領域Ａｓａには、図４に示すように、複数の凸部２１ｓａ，２１ｓａ・・および凹部２２ｓａ，２２ｓａ・・を有する凹凸パターン２０ｓａが形成されている。バーストパターン領域Ａｓｂは、本発明におけるサーボパターンの一例である凹凸パターン２０ｓｂが形成されている。具体的には、図５に示すように、凹凸パターン２０ｓｂは、凸部２１ｓｂおよび凹部２２ｓｂが磁気ディスク１０の回転方向（同図に示す矢印Ｒの向き）で交互に並ぶように形成された部位と、本発明におけるサーボパターンを構成する凸部の一例であって、図１４に示す従来の磁気ディスク１０ｘにおけるバーストパターン用の凸部２１ｘと同様に機能する複数の凸部２１ａｘ，２１ａｘ・・（図４，５において破線で囲んだ部位）が形成された部位とで構成されている。また、この磁気ディスク１０では、非サーボ用凸部の一例である凸部３１ｓｂ、３１ｓｂ・・と凹部３２ｓｂ，３２ｓｂ・・とが磁気ディスク１０の回転方向で交互に並ぶように形成された凹凸パターンによってＢ凹凸パターンが構成されて、このＢ凹凸パターンによって一つの凸部２１ａｘが構成されている。

この場合、凸部３１ｓｂの回転方向に沿った長さＬ１ｂは、凸部２１ｓｂの回転方向に沿った長さＬ１ａよりも短く（この例では、１／３の長さ）なるように規定されている。同様にして、凹部３２ｓｂの回転方向に沿った長さＬ２ｂは、凹部２２ｓｂの回転方向に沿った長さＬ２ａよりも短く（この例では、２／３の長さ）なるように規定されている。また、この磁気ディスク１０では、一例として、凸部２１ｓｂの回転方向に沿った長さＬ１ａと、凹部２２ｓｂの回転方向に沿った長さＬ２ａとが等しくなるように規定されている。したがって、凸部３１ｓｂの長さＬ１ｂと凹部３２ｓｂの長さＬ２ｂとの合計長（すなわち、凸部３１ｓｂの形成ピッチ）である長さＬ３ｂは、凸部２１ｓｂの長さＬ１ａと凹部２２ｓｂの長さＬ２ａとの合計長（すなわち、凸部２１ｓｂの形成ピッチ）である長さＬ３ａよりも十分に短く（この例では、１／２の長さ）なるように規定されている（「各サーボデータに対応付けられた所定の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで各非サーボ用凸部が形成されている状態」の一例）。

なお、本明細書において参照する各図では、サーボパターンにおけるプリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターン等を模式的に図示しており、理解を容易にすべく、回転方向に沿った各凸部２１ｓ（凸部２１ｓｐ，２１ｓａ，２１ｓｂ）や各凹部２２ｓ（凹部２２ｓｐ，２２ｓａ，２２ｓｂ）の長さをサーボパターンの単位凸部長および単位凹部長のみで図示している。したがって、実際の磁気ディスク１０では、凸部２１ｓ，２１ｓ・・や凹部２２ｓ，２２ｓ・・の数、形成位置および長さが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報（パターン）を含む各種の制御用データに対応して、凸部２１ｓや凹部２２ｓのそれぞれの数、形成位置および長さが規定されて凹凸パターン２０ｓが形成されている。この場合、凸部２１ｓや凹部２２ｓの実際の長さは、凸部２１ｓや凹部２２ｓの長さ（単位凸部長および単位凹部長）の整数倍の長さとなる。なお、凸部２１ａｘも本発明におけるサーボパターンを構成する凸部の一例であり、この凸部２１ａｘの回転方向に沿った長さについては、上記の凸部２１ｓとは異なり、単位凸部長の整数倍の長さになるとは限らない。この場合、凸部２１ａｘの回転方向に沿った長さは、単位凸部長と単位凹部長との合計長（すなわち、サーボ用凸部の形成ピッチ）の整数倍の長さとなっている。また、この種の情報記録媒体では、記録データの記録再生時に記録再生装置によって角速度一定の条件で回転させられるため、単位時間あたりに情報記録媒体が磁気ヘッドの下方を通過させられる距離が、情報記録媒体の内周側よりも外周側の方が長くなっている。したがって、この磁気ディスク１０では、各凸部２１ｓの長さ（単位凸部長）、各凹部２２ｓの長さ（単位凹部長）、および各凸部２１ａｘの長さが、一例として、磁気ディスク１０の中心（凹凸パターン２０ｔの中心）から外周側に向かうほど中心からの距離に比例して長くなるように規定されている。

一方、スピンドルモータ２は、制御部９の制御下で磁気ディスク１０を一例として４２００ｒｐｍの回転数で定速回転させる。磁気ヘッド３は、図１に示すように、スイングアーム３ａを介してアクチュエータ３ｂに取り付けられて磁気ディスク１０に対する記録データの記録再生時において磁気ディスク１０上を移動させられる。また、磁気ヘッド３は、磁気ディスク１０のサーボパターン領域Ａｓからのサーボデータの読み出しと、トラックパターン領域Ａｔ（凸部２１ｔ，２１ｔ・・）に対する記録データの磁気的な書き込みと、トラックパターン領域Ａｔに磁気的に書き込まれている記録データの読み出しとを実行する。なお、磁気ヘッド３は、実際には磁気ディスク１０に対して磁気ヘッド３を浮上させるためのスライダの底面（エアベアリング面）に形成されているが、このスライダについての説明および図示を省略する。アクチュエータ３ｂは、制御部９の制御下でドライバ８から供給される駆動電流によってスイングアーム３ａをスイングさせることにより、磁気ヘッド３を磁気ディスク１０上の任意の記録再生位置に移動させる。信号変換部４は、アンプ、ＬＰＦ（Ｌｏｗ Ｐａｓｓ Ｆｉｌｔｅｒ）およびＡ／Ｄ変換器等（図示せず）を備え、磁気ヘッド３によって磁気ディスク１０から取得された各種信号を増幅してノイズを除去した後にＡ／Ｄ変換して出力する。

信号抽出部５は、一例として、ＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）で構成され、例えばＤＦＴ（Discrete Fourier Transform：離散フーリエ変換）によって信号変換部４から出力された信号から前述したＢ凹凸パターンに対応する信号成分を除去または減衰しつつサーボ用の凹凸パターン（所定の形成ピッチで凸部および凹部が回転方向で交互に並ぶようにして形成された凹凸パターン）に対応する信号成分を抽出して、検出用クロック出力部６やサーボデータ検出部７に出力する。なお、Ｂ凹凸パターンの形成ピッチを十分に小さく規定することによって上記の信号変換部４に配設されているＬＰＦを信号抽出部５として機能させることもできる。検出用クロック出力部６は、信号抽出部５によって抽出された信号のうちから、磁気ヘッド３を介してプリアンブルパターン領域Ａｓｐから読み出されたプリアンブル用のデータ（凸部２１ｓｐおよび凹部２２ｓｐの形成パターンであるプリアンブルパターンに対応する信号）を取得（検出）する。また、検出用クロック出力部６は、取得したデータに基づき、サーボデータ検出時に基準のクロックとして使用される検出用クロックＣｌｓを生成（検出）してサーボデータ検出部７に出力する。サーボデータ検出部７は、検出用クロック出力部６から出力された検出用クロックＣｌｓに同期して読み込むことにより、信号抽出部５によって抽出された信号からサーボデータＤｓを取得（検出）して制御部９に出力する。ドライバ８は、制御部９からの制御信号に従ってアクチュエータ３ｂを制御して磁気ヘッド３を所望の記録トラック（凸部２１ｔ）にオントラックさせる。制御部９は、ハードディスクドライブ１を総括的に制御する。また、制御部９は、サーボデータ検出部７から出力されたサーボデータＤｓに基づいてドライバ８を制御する。

次に、磁気ディスク１０の製造方法、および磁気ディスク１０を搭載したハードディスクドライブ１の使用方法について説明する。

まず、ガラス基材１１の上にＣｏＺｒＮｂ合金をスパッタリングすることによって軟磁性層１２を形成した後に、軟磁性層１２の上に中間層形成用材料をスパッタリングすることによって中間層１３を形成する。次いで、中間層１３の上にＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングすることによって厚みが１５ｎｍ程度の磁性層１４を形成する。これにより、磁気ディスク１０を製造するための中間体が完成する。続いて、中間体における磁性層１４の上に、例えば、スパッタリング法によって厚み１２ｎｍ程度のＣ（炭素）マスク層を形成すると共に、Ｃマスク層の上にスパッタリング法によって厚み４ｎｍ程度のＳｉマスク層を形成した後に、Ｓｉマスク層の上にポジ型の電子線レジストをスピンコートして厚みが１３０ｎｍ程度のマスク形成用機能層を形成する。次いで、電子線描画装置を用いてマスク形成用機能層に電子ビームを照射して凹凸パターン２０ｓおよび凹凸パターン２０ｔと平面形状が同じ露光パターンを描画する。続いて、露光パターンの描画が完了したマスク形成用機能層を現像処理することによってＳｉマスク層の上にレジストパターン（凹凸パターン）を形成する。

次いで、上記のレジストパターンをマスクとして用いてアルゴン（Ａｒ）ガスによるイオンビームエッチング処理を行うことにより、Ｓｉマスク層に凹凸パターン（Ｓｉマスクパターン）を形成する。続いて、Ｓｉマスクパターンをマスクとして用いて酸素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング処理を行うことにより、Ｃマスク層に凹凸パターン（Ｃマスクパターン）を形成する。次いで、上記のＣマスクパターンをマスクとして用いて、アルゴン（Ａｒ）ガスによるイオンビームエッチング処理を行う。これにより、磁性層１４においてマスクパターンによって覆われていた部位が凸部２１，２１・・となり、マスクパターンから露出していた部位が凹部２２，２２・・となって中間層１３の上に凹凸パターン２０（凹凸パターン２０ｓ，２０ｔ）が形成される。続いて、凸部２１，２１・・の上に残存しているＣマスク層（Ｃマスクパターン）に対して酸素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング処理を行うことにより、凸部２１，２１・・の上面を露出させる（残存しているＣマスク層を除去する）。

次いで、例えば１５０Ｗ程度のバイアス電力を中間体に印加しつつ、アルゴン（Ａｒ）ガスの圧力を例えば０．３Ｐａに設定して非磁性材料１５としてのＳｉＯ_２をスパッタリングする。この際には、非磁性材料１５によって凹部２２，２２・・を完全に埋め尽くし、かつ、凸部２１，２１・・の上面に例えば厚みが６０ｎｍ程度の非磁性材料１５の層が形成されるように非磁性材料１５を十分にスパッタリングする。この場合、中間体に対してバイアス電力を印加した状態で非磁性材料１５をスパッタリングすることにより、表面が大きく凹凸することなく非磁性材料１５の層が形成される。続いて、アルゴン（Ａｒ）ガスの圧力を例えば０．０４Ｐａに設定すると共に、中間体の表面に対するイオンビームの入射角度を２度に設定した状態で磁性層１４の上（凸部２１，２１・・の上、凹部２２，２２の上、および凹部２２，２２の内部）の非磁性材料１５の層をイオンビームエッチング処理する。この際には、中間体における各凸部２１ｓ（凸部２１ｓｐ，２１ｓａ，２１ｓｂ）の上面が非磁性材料１５から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続する。

この場合、図５に示すように、この磁気ディスク１０（中間体）では、例えばバーストパターン領域Ａｓｂにおける従来の磁気ディスク１０ｘでは凸部２１ｘが形成されていた部位に、バーストパターンを構成する凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の形成ピッチよりも小さいピッチで凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・および凹部３２ｓｂ，３２ｓｂ・・からなる凹凸パターン（Ｂ凹凸パターン）が形成され、このＢ凹凸パターンによって従来の凸部２１ｘと同様に機能する凸部２１ａｘが形成されている。したがって、図６に示すように、凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の上面が非磁性材料１５から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続することで、図７に示すように、回転方向に沿った長さが凸部２１ｓｂよりも短い凸部３１ｓｂの上の非磁性材料１５についても除去されて凸部３１ｓｂの上面が露出し、結果として凸部２１ａｘの上面全域が露出する。なお、図６，７は、保護層１６の形成が完了した完成状態の磁気ディスク１０を示している。したがって、イオンビームエッチング処理が完了した時点では、同図に示す保護層１６は存在しない。これにより、非磁性材料１５の層に対するイオンビームエッチング処理が完了して中間体の表面が平坦化される。続いて、中間体の表面を覆うようにしてＣＶＤ法によってダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜を成膜することによって保護層１６形成した後に、保護層１６の表面にフォンブリン系の潤滑剤を平均厚さが例えば２ｎｍ程度となるように塗布する。これにより、図２に示すように、磁気ディスク１０が完成する。この後、完成した磁気ディスク１０をスピンドルモータ２に取り付けることにより、ハードディスクドライブ１が製造される。

この磁気ディスク１０では、図５に示すように、従来の磁気ディスク１０ｘにおいて長さＬ１ｘの凸部２１ｘが形成されていた部位に、サーボ情報（バーストパターン）に対応付けて形成された凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の形成ピッチとは異なる形成ピッチ（この例では、凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の形成ピッチに対して１／２となる形成ピッチ）で複数の凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・（Ｂ凹凸パターン）が形成されて凸部２１ａｘが構成されている。したがって、非磁性材料１５に対するエッチングの進行を遅くさせるおそれのある長い凸部２１（上面が広い凸部２１）がバーストパターン領域Ａｓｂ内に存在しないため、磁気ディスク１０の製造時における非磁性材料１５に対するエッチングレートがバーストパターン領域Ａｓｂ内の全域においてほぼ等しくなる。

この場合、凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の形成ピッチに対して１／１０未満となる形成ピッチで凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・（Ｂ凹凸パターン）を形成しようとしても、マスク形成時におけるパターン倒れ等に起因して微細パターンの形成が困難であるため、凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・の欠落を招くおそれがある。また、凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の形成ピッチと等しい形成ピッチで凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・（Ｂ凹凸パターン）を形成した場合には、凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・（Ｂ凹凸パターン）に対応する信号成分の除去または減衰が困難となる。したがって、凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の形成ピッチに対して１／１０以上１未満の範囲内の形成ピッチで凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・を形成するのが好ましい。

また、凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・を形成したことにより、凸部３１ｓｂの長さＬ１ｂが凸部２１ｓｂの長さＬ１ａよりも十分に短くなると共に、凹部３２ｓの長さＬ２ｂが凹部２２ｓｂの長さＬ２ａよりも十分に短くなる。したがって、凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の上の残渣が除去され得るエッチング条件でバーストパターン領域Ａｓｂ内の全域をエッチングしたときに、凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・の上に厚手の残渣が取り残される事態が回避される。さらに、図８に示すように、この磁気ディスク１０では、プリアンブルパターンを構成する凸部２１ｓｐ，２１ｓｐ・・が複数の凸部３１ｓｐ，３１ｓｐ・・と凹部３２ｓｐ，３２ｓｐ・・とからなる凹凸パターンで構成されている。この場合、凸部３１ｓｐの長さＬ４ｂが凸部２１ｓｐの長さＬ４ａよりも十分に短いため、非磁性材料１５に対するエッチング処理時において凸部３１ｓｐの上に厚手の残渣が取り残される事態が回避されている。

一方、このハードディスクドライブ１によって記録データを記録再生する際には、制御部９がスピンドルモータ２を制御して、例えば４２００ｒｐｍの回転数で磁気ディスク１０を定速回転させる。次いで、ドライバ８が制御部９の制御下でアクチュエータ３ｂを制御して磁気ヘッド３を磁気ディスク１０上に移動させる。この際に、磁気ヘッド３によってサーボパターン領域Ａｓから取得された信号が信号変換部４によってＡ／Ｄ変換された後に信号抽出部５に出力される。また、信号抽出部５は、信号変換部４から出力された信号のうちのＢ凹凸パターン（サーボデータに対応付けられた所定の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで凸部および凹部が回転方向で交互に並ぶようにして形成された凹凸パターン：プリアンブルパターン領域Ａｓｐにおける凸部３１ｓｐおよび凹部３２ｓｐからなる凹凸パターンや、バーストパターン領域Ａｓｂにおける凸部３１ｓｂおよび凹部３２ｓｂからなる凹凸パターンなど）に対応する信号成分を除去または減衰しつつ、サーボ用の凹凸パターン（サーボデータに対応付けられた所定の形成ピッチで凸部および凹部が回転方向で交互に並ぶようにして形成された凹凸パターン：プリアンブルパターン領域Ａｓｐにおける凸部２１ｓｐおよび凹部２２ｓｐからなる凹凸パターンや、バーストパターン領域Ａｓｂにおける凸部２１ｓｂおよび凹部２２ｓｂからなる凹凸パターンなど）に対応する信号成分を抽出して検出用クロック出力部６およびサーボデータ検出部７に出力する。

この際に、検出用クロック出力部６は、信号抽出部５によって抽出された信号のうちから、凸部２１ｓｐおよび凹部２２ｓｐからなる凹凸パターン（プリアンブルパターン）に対応する信号に基づき、基準のクロックとして使用される検出用クロックＣｌｓを生成してサーボデータ検出部７に出力する。一方、サーボデータ検出部７は、検出用クロック出力部６から出力された検出用クロックＣｌｓに同期して読み込むことにより、信号抽出部５によって抽出された信号からサーボデータＤｓを取得して制御部９に出力する。また、制御部９は、サーボデータ検出部７から出力されたサーボデータＤｓに従ってドライバ８を制御することにより、磁気ヘッド３を所望の記録トラックにオントラックさせる。この後、制御部９の制御下で記録トラック（凸部２１ｔ，２１ｔ・・）に対する記録データの記録、または記録トラックからの記録データの読み出し（再生）が行われる。

このように、この磁気ディスク１０およびハードディスクドライブ１によれば、複数の凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・（非サーボ用凸部）を有する凹凸パターン（Ｂ凹凸パターン）でバーストパターン領域Ａｓｂ内の凸部２１ａｘ（サーボ用凸部）を構成したことにより、磁気ディスク１０の回転方向に沿った長さが従来の磁気ディスク１０ｘにおけるサーボ用凸部における対応する長さよりも短い非サーボ用凸部でサーボ用凸部（凸部２１ａｘ）を構成することができる。したがって、バーストパターンを構成する凹凸パターン２０ｓｂを覆うようにして形成した非磁性材料１５の層に対して凸部２１ｓｂ等の上面を露出させ得るエッチング条件でエッチング処理することで、凸部３１ｓｂの上面についても同様にして露出させることができる。これにより、従来の磁気ディスク１０ｘにおいて凸部２１ｘが形成されていた部位の上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができるため、バーストパターン領域Ａｓｂ内（サーボパターン領域Ａｓ）の表面平滑性を良好に維持することができる。したがって、サーボパターン領域Ａｓ内における磁気ヘッド３の浮上量を適正な状態に維持することができる結果、この磁気ディスク１０を搭載したハードディスクドライブ１によれば、磁気ディスク１０に対する記録再生を安定して実行することができる。

また、この磁気ディスク１０およびハードディスクドライブ１では、凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・の回転方向に沿った形成ピッチと凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の回転方向に沿った形成ピッチとが相違するようにＢ凹凸パターンを形成して凹凸パターン２０ｓｂを構成している。したがって、この磁気ディスク１０およびハードディスクドライブ１によれば、磁気ディスク１０からサーボデータを読み取る際に、凸部２１ｓｂおよび凹部２２ｓｂからなる凹凸パターン（サーボ用の凹凸パターン）に対応する信号の周波数（凸部２１ｓｂが磁気ヘッドの下方を通過する周期）と、凸部３１ｓｂおよび凹部３２ｓｂからなる凹凸パターン（Ｂ凹凸パターン）に対応する信号の周波数（凸部３１ｓｂが磁気ヘッドの下方を通過する周期）とを相違させることができる。したがって、この磁気ディスク１０を搭載したハードディスクドライブ１によれば、磁気ヘッド３を介して取得した信号のうちからＢ凹凸パターンに対応する信号成分の除去または減衰を実行してサーボ用の凹凸パターンに対応する信号成分を抽出することができるため、Ｂ凹凸パターン（凸部３１ｓｂや凹部３２ｓｂ）の存在に影響されることなくサーボデータを取得してサーボ制御を実行することができる。

さらに、この磁気ディスク１０およびハードディスクドライブ１によれば、各凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで各凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・を形成してＢ凹凸パターンを構成したことにより（基材の回転方向に沿った長さがサーボ用凸部の対応する長さ以下となるように非サーボ用凸部を形成した例）、凸部３１ｓｂの長さＬ１ｂを凸部２１ｓｂの長さＬ１ａよりも十分に短くすることができる。したがって、例えば、凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の上の残渣を除去し得るエッチング条件でバーストパターン領域Ａｓｂ内の全域をエッチングしたときに凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・の上に厚手の残渣が取り残される事態を確実に回避することができる結果、磁気ディスク１０におけるバーストパターン領域Ａｓｂ内の表面平滑性を一層良好に維持することができる。また、Ｂ凹凸パターンに対応する信号成分の周波数がサーボ用の凹凸パターンに対応する信号成分の周波数よりも高い周波数となるため、この種の記録再生装置に搭載されている一般的なノイズフィルタを用いてＢ凹凸パターンに対応する信号成分を除去または減衰させることも可能となる。

また、このハードディスクドライブ１では、磁気ディスク１０を備えて構成されている。具体的には、このハードディスクドライブ１では、磁気ディスク１０と、磁気ヘッド３によって取得された信号からＢ凹凸パターンに対応する信号成分を除去しつつサーボ用の凹凸パターンに対応する信号成分を抽出する信号抽出部５とを備え、制御部９が抽出された信号成分に基づくサーボデータに従ってサーボ制御する。したがって、このハードディスクドライブ１によれば、表面平滑性を良好にするために形成した凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・などに影響されることなく、バーストパターン領域Ａｓｂからバーストデータを読み出して正確なトラッキングサーボを行うことができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、上記の磁気ディスク１０では、バーストパターン領域Ａｓｂ内に凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・が形成されているが、図９に示す磁気ディスク１０ａのように、従来の磁気ディスク１０ｘにおけるバーストパターン用の凸部２１ｘが形成されていた部位に、凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の形成ピッチよりも大きい形成ピッチで凸部４１ｓｂ，４１ｓｂ・・（非サーボ用凸部の一例）を形成してＢ凹凸パターン（所定の形成ピッチよりも大きい形成ピッチで凸部および凹部が回転方向で交互に並ぶようにして形成された凹凸パターン）を構成し、このＢ凹凸パターンで凸部２１ｂｘ（本発明におけるサーボパターンを構成する凸部の他の一例であって、従来の磁気ディスク１０ｘにおける凸部２１ｘと同様の機能を有する凸部：図９において破線で囲んだ部位）を構成することもできる。具体的には、磁気ディスク１０ａのバーストパターン領域Ａｓｂａには、凸部２１ｓｂおよび凹部２２ｓｂからなる凹凸パターンと、凸部４１ｓｂおよび凹部４２ｓｂからなるＢ凹凸パターンで構成された凸部２１ｂｘ，２１ｂｘ・・とで本発明におけるサーボパターンに相当する凹凸パターン２０ｓｂａが構成されている。

この場合、凸部４１ｓｂの回転方向に沿った長さＬ１ｃは、凸部２１ｓｂの回転方向に沿った長さＬ１ａよりも長くなるように規定されている。同様にして、凹部４２ｓｂの回転方向に沿った長さＬ２ｃは、凹部２２ｓｂの回転方向に沿った長さＬ２ａよりも長く、かつ従来の磁気ディスク１０ｘにおける凸部２１ｘの長さＬ１ｘよりも十分に短くなるように規定されている。このため、凸部４１ｓｂの長さＬ１ｃと凹部４２ｓｂの長さＬ２ｃとの合計長（すなわち、凸部４１ｓｂの形成ピッチ）である長さＬ３ｃは、凸部２１ｓｂの長さＬ１ａと凹部２２ｓｂの長さＬ２ａとの合計長（すなわち、凸部２１ｓｂの形成ピッチ）である長さＬ３ａよりも長くなることとなる（「各サーボ用凸部の形成ピッチとは相違する形成ピッチで各非サーボ用凸部が形成されている状態」の一例）。したがって、バーストパターン領域Ａｓｂａからのバーストデータの読み取り時には、信号抽出部５によって凸部４１ｓｂ，４１ｓｂ・・に対応する信号成分を除去することで、前述した磁気ディスク１０と同様にして、凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・に対応する信号成分に基づくバーストデータに従ったトラッキング制御が可能となる。

この磁気ディスク１０ａおよびハードディスクドライブ１によれば、複数の凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・を有してバーストパターンを構成する凹凸パターン（所定の形成ピッチで凸部および凹部を回転方向で交互に並ぶようにして形成した凹凸パターン）と、各凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の形成ピッチよりも大きな形成ピッチで凸部４１ｓｂ，４１ｓｂ・・を形成したＢ凹凸パターンとをバーストパターン領域Ａｓｂａに形成したことにより、従来の磁気ディスク１０ｘにおいて凸部２１ｘが形成されていた部位に、凸部２１ｘに代えて、凸部２１ｘの長さＬ１ｘよりも十分に短い長さＬ１ｃの複数の凸部４１ｓｂ，４１ｓｂ・・を形成して凸部２１ｂｘを構成することができる。したがって、非磁性材料１５の層に対して凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の上面を露出させ得るエッチング条件でエッチング処理することで、図１０に示すように、凸部４１ｓｂ，４１ｓｂ・・の上面についても同様に露出させることができる。これにより、従来の磁気ディスク１０ｘにおいて凸部２１ｘが形成されていた部位に厚手の残渣が生じる事態を回避することができるため、バーストパターン領域Ａｓｂａ内の表面平滑性を良好に維持することができる。したがって、バーストパターン領域Ａｓｂａ内における磁気ヘッド３の浮上量を適正な状態に維持することができる結果、この磁気ディスク１０ａを搭載したハードディスクドライブ１によれば、安定した記録再生を実行することができる。

また、前述した磁気ディスク１０では、凸部３１ｓｂおよび凹部３２ｓｂを磁気ディスク１０の回転方向に沿って並べてＢ凹凸パターンが構成されているが、例えば、図１１に示す磁気ディスク１０ｂのように、凸部５１ｓｂと、凸部５１ｓｂ，５１ｓｂ間に形成された凹部５２ｓｂとを磁気ディスク１０ｂの半径方向（同図における上下方向）に沿って並べて凹凸パターンを構成し、この凹凸パターンで凸部２１ｃｘ（従来の磁気ディスク１０ｘにおける凸部２１ｘと同様の機能を有する凸部：図１１において破線で囲んだ部位）を構成することもできる。この場合、凸部５１ｓｂの半径方向に沿った長さＬ５ｂは、凸部２１ｓｂの半径方向に沿った長さＬ５ａや、従来の磁気ディスク１０ｘにおける凸部２１ｘの半径方向に沿った長さＬ５ｘ（図１４参照）よりも十分に短くなっている。したがって、非磁性材料１５の層に対して凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・の上面を露出させ得るエッチング条件でエッチング処理することで、凸部５１ｓｂ，５１ｓｂ・・の上面についても露出させることができる。これにより、この磁気ディスク１０ｂおよびハードディスクドライブ１によれば、従来の磁気ディスク１０ｘにおいて凸部２１ｘが形成されていた部位に厚手の残渣が生じる事態を回避することができるため、磁気ディスク１０ｂにおけるバーストパターン領域Ａｓｂｂ内（凹凸パターン２０ｓｂｂ）の表面平滑性を良好に維持することができる。このため、バーストパターン領域Ａｓｂｂ内における磁気ヘッド３の浮上量を適正な状態に維持することができる結果、この磁気ディスク１０ｂを搭載したハードディスクドライブ１によれば、安定した記録再生を実行することができる。

さらに、アドレスパターン領域Ａｓａ内の凸部２１ｓａについても、複数の非サーボ用凸部を有する凹凸パターンで構成することもできる。また、本発明におけるサーボパターンは上記の例に限定されず、磁気ディスク１０のサーボパターン領域Ａｓにおける凹凸パターン２０ｓの凹凸形状を反転させると共に本発明における各種条件を満たすように各凸部の長さを規定してサーボパターンを形成することもできる。また、上記の磁気ディスク１０では、凹凸パターン２０における各凸部２１，２１・・を磁性材料で形成しているが、本発明はこれに限定されず、図１２に示す磁気ディスク１０ｃのように、基材１１ｃに形成した凹凸パターンを覆うようにして磁性層１４ｃを形成することにより、その表面が磁性層１４ｃで形成された凸部２１ｃ，２１ｃ・・と底面が磁性層１４ｃで形成された凹部２２ｃ，２２ｃ・・とによって凹凸パターン２０ｃを構成することもできる。さらに、図１３に示す磁気ディスク１０ｄのように、各凸部２１ｄ，２１ｄ・・を構成する磁性層１４ｄと各凸部２１ｄ，２１ｄ・・間の凹部２２ｄ，２２ｄの底面を構成する磁性層１４ｄを連続させて凹凸パターン２０ｄを構成することもできる。これらの磁気ディスク１０ｃ，１０ｄについても、各サーボ用凸部の形成ピッチとは異なる形成ピッチで形成した複数の非サーボ用凸部を有するＢ凹凸パターンでサーボ用凸部を形成することで、サーボパターン領域内の表面平滑性を十分に向上させることができる。

また、上記のハードディスクドライブ１では、ＤＳＰで構成した信号抽出部５によってＢ凹凸パターンに対応する信号成分を除去または減衰させつつサーボ用の凹凸パターンに対応する信号成分を抽出する構成を採用しているが、本発明はこれに限定されず、ＬＰＦ、ＨＰＦ（Ｈｉｇｈ Ｐａｓｓ Ｆｉｌｔｅｒ）およびＢＰＦ（Ｂａｎｄ Ｐａｓｓ Ｆｉｌｔｅｒ）等の各種フィルタを用いてＢ凹凸パターンに対応する信号成分を除去または減衰させつつサーボ用の凹凸パターンに対応する信号成分を抽出する構成を採用することができる。

ハードディスクドライブ１の構成を示すブロック図である。 磁気ディスク１０の層構造を示す断面図である。 磁気ディスク１０の平面図である。 トラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓの平面図である。 サーボパターン領域Ａｓにおけるバーストパターン領域Ａｓｂの平面図である。 バーストパターン領域Ａｓｂにおける凸部２１ｓｂ，２１ｓｂ・・および凹部２２ｓｂ，２２ｓｂ・・の形成部位の断面図である。 バーストパターン領域Ａｓｂにおける凸部３１ｓｂ，３１ｓｂ・・および凹部３２ｓｂ，３２ｓｂ・・の形成部位の断面図である。 サーボパターン領域Ａｓにおけるプリアンブルパターン領域Ａｓｐの平面図である。 磁気ディスク１０ａにおけるバーストパターン領域Ａｓｂａの平面図である。 バーストパターン領域Ａｓｂａにおける凸部４１ｓｂ，４１ｓｂ・・および凹部４２ｓｂ，４２ｓｂ・・の形成部位の断面図である。 磁気ディスク１０ｂにおけるバーストパターン領域Ａｓｂｂの平面図である。 磁気ディスク１０ｃの層構造を示す断面図である。 磁気ディスク１０ｄの層構造を示す断面図である。 従来の磁気ディスク１０ｘにおけるサーボパターン領域Ａｓｘ（バーストパターン）の平面図である。 サーボパターン領域Ａｓｘにおける凸部２１ｓｘ，２１ｓｘ・・および凹部２２ｓｘ，２２ｓｘ・・の形成部位の断面図である。 サーボパターン領域Ａｓｘにおける凸部２１ｘの形成部位の断面図である。

符号の説明

１ ハードディスクドライブ
３ 磁気ヘッド
５ 信号抽出部
７ サーボデータ検出部
８ ドライバ
９ 制御部
１０，１０ａ〜１０ｄ 磁気ディスク
１１ ガラス基材
１１ｃ 基材
１５ 非磁性材料
２０，２０ｃ，２０ｄ，２０ｓ，２０ｓａ，２０ｓｂ，２０ｓｂａ，２０ｓｂｂ，２０ｓｐ，２０ｔ 凹凸パターン
２１，２１ａｘ，２１ｂｘ，２１ｃ，２１ｃｘ，２１ｄ，２１ｓａ，２１ｓｂ，２１ｓｐ，２１ｔ 凸部
２２，２２ｃ，２２ｄ，２２ｓａ，２２ｓｂ，２２ｓｐ，２２ｔ 凹部
３１ｓｂ，３１ｓｐ，４１ｓｂ，５１ｓｂ 凸部
３２ｓｂ，３２ｓｐ、４２ｓｂ，５２ｓｂ 凹部
Ａｓ サーボパターン領域
Ａｓａ アドレスパターン領域
Ａｓｂ，Ａｓｂａ，Ａｓｂｂ バーストパターン領域
Ａｓｐ プリアンブルパターン領域
Ａｔ トラックパターン領域
Ｄｓ サーボデータ
Ｌ１ａ〜Ｌ１ｃ，Ｌ２ａ〜Ｌ２ｃ，Ｌ３ａ〜Ｌ３ｃ，Ｌ４ａ，Ｌ４ｂ，Ｌ５ａ，Ｌ５ｂ 長さ
Ｒ 矢印

Claims (6)

1. 複数の凸部を有する凹凸パターンによってデータトラックパターンおよびサーボパターンが基材の少なくとも一面側に形成されると共に当該凹凸パターンの各凹部に非磁性材料が埋め込まれ、
   前記サーボパターンにおけるバーストパターンは、サーボデータに対応付けられた所定の形成ピッチで前記凸部および前記凹部が前記基材の回転方向で交互に並ぶようにして形成された部位と、前記所定の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで前記凸部および前記凹部が前記回転方向で交互に並ぶようにして形成された部位とが前記基材の半径方向で交互に並んで形成されて構成されている情報記録媒体。
2. 前記所定の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで形成された前記凸部は、前記回転方向に沿った長さ、および前記半径方向に沿った長さの少なくとも一方が、前記所定の形成ピッチで形成された前記凸部の対応する長さ以下となるように形成されている請求項１記載の情報記録媒体。
3. 複数の凸部を有する凹凸パターンによってデータトラックパターンおよびサーボパターンが基材の少なくとも一面側に形成されると共に当該凹凸パターンの各凹部に非磁性材料が埋め込まれ、
   前記サーボパターンにおけるバーストパターンは、サーボデータに対応付けられた所定の形成ピッチで前記凸部および前記凹部が前記基材の回転方向で交互に並ぶようにして形成された部位と、前記所定の形成ピッチよりも大きい形成ピッチで前記凸部および前記凹部が前記回転方向で交互に並ぶようにして形成された部位とが前記基材の半径方向で交互に並んで形成されて構成されている情報記録媒体。
4. 請求項１から３のいずれかに記載の情報記録媒体を備えている記録再生装置。
5. 請求項１または２記載の情報記録媒体と、当該情報記録媒体に記録されている信号を取得するための磁気ヘッドと、当該磁気ヘッドによって取得された信号から前記所定の形成ピッチよりも小さい形成ピッチで前記凸部および前記凹部が形成された部位に対応する信号成分を除去または減衰させつつ、前記所定の形成ピッチで前記凸部および前記凹部が形成された部位に対応する信号成分を抽出する信号抽出部と、前記信号抽出部によって抽出された信号成分に基づくサーボデータに従ってサーボ制御する制御部とを備えている記録再生装置。
6. 請求項３記載の情報記録媒体と、当該情報記録媒体に記録されている信号を取得するための磁気ヘッドと、当該磁気ヘッドによって取得された信号から前記所定の形成ピッチよりも大きい形成ピッチで前記凸部および前記凹部が形成された部位に対応する信号成分を除去または減衰させつつ、前記所定の形成ピッチで前記凸部および前記凹部が形成された部位に対応する信号成分を抽出する信号抽出部と、前記信号抽出部によって抽出された信号成分に基づくサーボデータに従ってサーボ制御する制御部とを備えている記録再生装置。

Images