JP2009163783A - 情報記録媒体、記録再生装置およびスタンパー - Google Patents

情報記録媒体、記録再生装置およびスタンパー Download PDF

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Abstract

【課題】平坦性が良好で、サーボデータの正常な読み出しが可能な情報記録媒体を提供する。
【解決手段】凹凸パターン20t,20s(データトラックパターンおよびサーボパターン)は、凹凸パターン20tと同心の複数の環状領域Az,A1〜A4に区分けされると共に、単位凸部長および単位凹部長が環状領域A内において中心Oからの距離に比例してその内周側から外周側に向かうほど長くなり、かつ、単位凸部長の各環状領域A内における平均長を中心Oからその環状領域Aまでの距離で除した値と、単位凹部長の各環状領域A内における平均長を中心Oからその環状領域Aまでの距離で除した値とが外周側の環状領域Aほど小さくなるように各環状領域A毎に単位凸部長および単位凹部長が規定されると共に、各環状領域A1〜A4は、基材の半径方向に沿った長さL1〜L4が外周側の環状領域Aほど長くなるように規定されている。
【選択図】図4

Description

本発明は、少なくとも突端部が記録材料および非記録材料のいずれか一方で形成された複数の凸部を有する凹凸パターンによってデータトラックパターンおよびサーボパターンが形成されると共に凹凸パターンの各凹部に記録材料および非記録材料の他方が埋め込まれた情報記録媒体、その情報記録媒体を備えた記録再生装置、およびその情報記録媒体を製造するためのスタンパーに関するものである。
この種の情報記録媒体を備えた記録再生装置として、ディスクリートトラック型の磁気ディスクを備えて構成された磁気記録装置が特開平9−97419号公報に開示されている。この磁気記録装置に搭載された磁気ディスクは、ガラスディスク基板(基材)の一面側に記録磁性部材(記録材料)で同心円状の記録トラック(帯状の凸部)が形成されている。また、各記録トラックの間(凹部)には、磁気ディスクの平坦性を向上させると共に、隣り合う磁気トラックを磁気的に分離するためのガードバンド部材(非記録材料)が埋め込まれてガードバンド部が形成されている。
この磁気ディスクの製造に際しては、まず、基材の一面側に記録材料をスパッタリングして記録磁気層を形成する。次いで、記録磁気層を覆うようにしてポジ形レジストをスピンコートしてプリベークした後に、原盤カッティング装置を用いてガードバンド部のパターンと同じパターンを描画して現像処理する。これにより、記録磁気層の上にレジストパターンが形成される。続いて、レジストパターンをマスクとして用いて記録磁気層をエッチング処理した後にアッシング装置によって残留マスクを除去する。これにより、基材の上に記録材料からなる記録トラックやサーボパターン(凸部)が形成される。次いで、この状態の基材に非記録材料をスパッタリングして非記録材料の層を形成する。この際には、各記録トラック間の凹部が非記録材料で埋め尽くされ、かつ、各記録トラックが非記録材料で覆われるまで非記録材料を十分にスパッタリングする。続いて、非記録材料の層の表面をドライエッチング処理することにより、非記録材料の層から記録トラック(記録材料)の上面を露出させる。これにより、記録トラックおよびガードバンド部が交互に隣接した状態となり、磁気ディスクが完成する。
しかしながら、出願人は、従来の磁気ディスクを上記の製造方法に従って製造したときには、磁気ディスクの外周側において、記録材料で形成されている凸部の上に非記録材料が大量に残留して(以下、凸部の上に残留した非記録材料を「残留物」ともいう)厚手の残留物によって凸部が覆われた状態となることがあるという問題点を見出している。具体的には、例えば、図22に示すように、上記の製造方法に従って製造した磁気ディスク10xは、同心円状の複数の記録トラックで構成された凹凸パターン20tが形成されたデータトラックパターン領域Atと、トラッキングサーボ用の凹凸パターン20sxが形成されたサーボパターン領域Asxとが磁気ディスク10xの回転方向(同図に示す矢印Rの向き)で交互に並ぶように規定されて製造されている。
この場合、この種の磁気ディスクを搭載した記録再生装置では、記録再生時に磁気ディスクを角速度一定で回転させると共に、磁気ディスクの内周側から外周側まで一定の周波数の検出用クロック信号に同期して、サーボデータの読み出しを実行する構成が一般的となっている。したがって、この磁気ディスク10xでは、図23に示すように、単位時間当たりに磁気ヘッド(図示せず)の下方を通過させられる磁気ディスク10x上の長さに比例して、磁気ディスク10xの回転方向に沿ったサーボパターン領域Asxの長さが凹凸パターン20tの中心Oからの距離に比例して磁気ディスク10xの内周側から外周側に向かうほど長くなるように(サーボパターン領域Asxが磁気ディスク10xの外周側ほど幅広となるように)規定されている。
また、この磁気ディスク10xでは、図24,26に示すように、中心Oからの距離が等しい部位においてサーボパターン領域Asx(凹凸パターン20sx)における凸部21sxi,21sxo(以下、区別しないときは「凸部21sx」ともいう)の回転方向に沿った単位凸部長(磁気信号の読み取りに際して「1つの凸部有り」と検出される基準の長さ:図25,27におけるL5xi,L5xo)と、凹部22sxi,22sxo(以下、区別しないときは「凹部22sx」ともいう)の回転方向に沿った単位凹部長(磁気信号の読み取りに際して「1つの凹部有り」と検出される基準の長さ:図25,27におけるL6xi,L6xo)とが等しくなるように規定されている。したがって、この磁気ディスク10xでは、内周側から外周側までの全域において単位凹部長に対する単位凸部長の比が1となっている。さらに、従来の磁気ディスク10xでは、内周側サーボパターン領域Asxiにおける凸部21sxiの長さL5xiよりも、外周側サーボパターン領域Asxoにおける凸部21sxoの長さL5xoの方が凹凸パターン20tの中心Oからの距離に比例して長くなると共に、内周側サーボパターン領域Asxiにおける凹部22sxiの長さL6xiよりも、外周側サーボパターン領域Asxoにおける凹部22sxoの長さL6xoの方が凹凸パターン20tの中心Oからの距離に比例して長くなっている。
この場合、出願人は、非記録材料(非磁性材料15)の層をドライエッチング処理して各凸部21sx,21sx・・を露出させる際に、その下方に存在する凸部21sxの突端面が広いほど(例えば、凸部21sxの突端面における磁気ディスク10xの回転方向に沿った長さおよび半径方向に沿った長さが共に長いほど)、非磁性材料15の層に対するエッチングの進行が遅くなる現象を見出している。このため、図25に示すように、突端面の回転方向に沿った長さL5xiが比較的短い内周側サーボパターン領域Asxiにおいて凸部21sxi上の残留物(非磁性材料15)が除去されて磁気ディスク10xの内周側において平坦性が良好となる(表面粗さRaの値が小さくなる:または、凹凸の高低差Hxiが小さくなる)ようなエッチング条件で磁気ディスク10xの内周側から外周側までの全域をエッチング処理したときには、図27に示すように、突端面の回転方向に沿った長さL5xoが比較的長い外周側サーボパターン領域Asxoにおいて凸部21sxo上に比較的厚手の残留物(非磁性材料15)が存在する状態となる。したがって、このようなエッチング条件で非磁性材料15の層をエッチング処理したときには、磁気ディスク10xの外周側における表面粗さRa(または、凹凸の高低差Hxo)が非常に大きくなる。このように、従来の磁気ディスク10xには、その外周側において、凸部21sxoが厚手の非磁性材料15によって覆われた状態となることに起因して、磁気ディスク10xの平坦性が外周側において(中心Oからの距離が長くなるほど)著しく悪化するという問題点がある。
一方、磁気ディスク10xの全域において各凸部21sxの上に残留物(非磁性材料15)が存在しないように、突端面の回転方向に沿った長さL5xoが比較的長い外周側サーボパターン領域Asxoにおいて凸部21sxo上の非磁性材料15が除去されるまでエッチング処理を継続して実行したときに、突端面の回転方向に沿った長さL5xiが比較的短い内周側サーボパターン領域Asxiにおいて凸部21sxi上の非磁性材料15が比較的短時間で除去されることに起因して、この内周側サーボパターン領域Asxiにおいて凸部21sxiの周囲に形成されている凹部22sxi内の非磁性材料15までもが除去される事態が生じると共に、最悪の場合には、非磁性材料15だけでなく凸部21sxi(記録材料)までもが過剰にエッチングされる事態が生じる。このため、このようなエッチング条件で非磁性材料15をエッチング処理したときには、磁気ディスク10xの内周側において凹部22sxi内の非磁性材料15が除去されることによって、その表面粗さRa(凹凸の高低差)が非常に大きくなり、磁気ディスク10xの平坦性が内周側において(中心Oからの距離が短いほど)著しく悪化したり、サーボデータの正常な読み取りが困難となったりする(凸部21sxi(記録材料)が過剰にエッチングされた場合)という問題点がある。
また、出願人は、非記録材料(非磁性材料)で形成した凹凸パターンの凹部内に記録材料(磁性材料)を埋め込んたタイプの磁気ディスクを開発している。この場合、出願人は、このようなタイプの磁気ディスクの製造に際して、一例として、ガラス等の非記録材料で形成した凹凸パターン(例えば、ガラス基板に形成した凹凸パターン:図示せず)を覆うようにして記録材料の層を形成し、この記録材料の層をドライエッチング処理して各凸部を露出させる際にも、記録材料の層の下方に存在する凸部(非記録材料)の突端面が広いほど(凸部の突端面における磁気ディスクの回転方向に沿った長さおよび半径方向に沿った長さが共に長いほど)、記録材料に対するエッチングの進行が遅くなる現象を見出している。
したがって、非記録材料で形成した凹凸パターンの凹部内に記録材料が埋め込まれたタイプの磁気ディスク(図示せず)においても、凸部の突端面の回転方向に沿った長さが比較的短い内周側のサーボパターン領域において凸部上の記録材料が除去されてその磁気ディスクの内周側において平坦性が良好となるようなエッチング条件で磁気ディスクの内周側から外周側までの全域をエッチング処理したときには、凸部の突端面の回転方向に沿った長さが比較的長い外周側のサーボパターン領域において、凸部が厚手の記録材料(以下、凸部の上に残留する記録材料についても「残留物」ともいう)によって覆われた状態となることに起因して、磁気ディスクの平坦性が外周側において(中心Oからの距離が長くなるほど)著しく悪化するという問題が生じる。また、凸部の突端面の回転方向に沿った長さが比較的長い外周側のサーボパターン領域において凸部上の記録材料が除去されるまでエッチング処理を継続して実行したときには、凸部の突端面の回転方向に沿った長さが比較的短い内周側のサーボパターン領域において(中心Oからの距離が短いほど)、凸部(非記録材料)がエッチングされて、磁気ディスクの平坦性が著しく悪化するという問題が生じる。
このような問題点を解決すべく、出願人は、サーボパターンを構成する凹凸パターンをデータトラックパターンと同心の複数の環状領域に区分けすると共に、各環状領域内における単位凸部長の平均長をデータトラックパターンの中心から環状領域までの距離で除した値が内周側の環状領域よりも外周側の環状領域ほど小さくなるように各環状領域毎に単位凸部長を規定してサーボパターン(サーボパターンを構成する凹凸パターン)を形成した磁気ディスクを開発している(特開2006−120299号公報参照)。この出願人が開発した磁気ディスクによれば、単位凸部長がその内周側から外周側に向けて中心からの距離に比例して徐々に長くなるように凹凸パターンが形成されている上記の磁気ディスク10xと比較して、外周側の環状領域における単位凸部長を十分に短くすることが可能となっている。
したがって、出願人が開発した磁気ディスクでは、その製造時において、単位凸部長の回転方向に沿った長さが比較的短い内周側のサーボパターン領域において凸部上の残留物(非記録材料)が除去されてその磁気ディスクの内周側において平坦性が良好となるようなエッチング条件で磁気ディスクの内周側から外周側までの全域をエッチング処理したときに、外周側の環状領域における凸部の上の残留物の厚みと内周側の環状領域における凸部の上の残留物の厚みとの差(すなわち、情報記録媒体の内周側の凸部上における残留物の厚みと情報記録媒体の外周側の凸部上における残留物の厚みとの差)が大きくなる事態を回避することが可能となっている。また、出願人が開発した磁気ディスクでは、その製造時において、単位凸部長の回転方向に沿った長さが比較的長い外周側のサーボパターン領域において凸部上の非記録材料が除去されるまでエッチング処理を継続して実行したとき、内周側の環状領域内において非記録材料だけでなく凸部が過剰にエッチングされる事態を招くことなく各凸部の上の残留物を取り除くことができるため、情報記録媒体の平坦性を全域に亘って良好に維持することが可能となっている。
特開平9−97419号公報(第6−12頁、第1−19図) 特開2006−120299号公報(第12−28頁、第1−28図)
ところが、出願人が開発した磁気ディスクには、以下の改善すべき課題がある。すなわち、出願人が開発した磁気ディスクでは、サーボパターンを構成する凹凸パターンを複数の環状領域に区分けすると共に、各環状領域内における単位凸部長の平均長を中心から環状領域までの距離で除した値が外周側の環状領域ほど小さくなるように各環状領域毎に単位凸部長を規定することで外周側の環状領域における単位凸部長を短くする構成が採用されている。この場合、出願人が開発した磁気ディスクでは、一例として各環状領域の半径方向に沿った長さがすべての環状領域で等しい長さとなるように規定されている。
したがって、出願人が開発した磁気ディスクでは、1つの環状領域内において検出用クロック信号の周波数を変更することなく、サーボデータの読み出しを実行するために、各環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に比例して単位凸部長および単位凹部長が長くなる構成(各環状領域内において外周側ほど単位凸部長および単位凹部長が長くなる構成)を採用したときには、内周側の環状領域における最内周の単位凸部長および単位凹部長と各環状領域における最外周の単位凸部長および単位凹部長との差が大きくなる事態(内周側の環状領域における内周側の単位凸部長および単位凹部長が短くなる事態)、または、各環状領域における最内周の単位凸部長および単位凹部長と内周側の環状領域における最外周の単位凸部長および単位凹部長との差が大きくなる事態(内周側の環状領域における外周側の単位凸部長および単位凹部長が長くなる事態)のいずれかが生じる。
具体的には、図28に示す磁気ディスク10axでは、出願人が開発した上記の磁気ディスクと同様にして、サーボパターンを構成する凹凸パターン20sax(サーボパターン領域Asax)およびデータトラックパターンを構成する凹凸パターン20t(データトラックパターン領域At)が環状領域A1x〜A4x(以下、区別しないときには、「環状領域Ax」ともいう)の4つに区分けされて形成されている。この場合、各環状領域Axの半径方向の長さLxが互いに等しいこの磁気ディスク10axでは、各環状領域Axにおいてデータトラックパターン領域At(凹凸パターン20t)の中心Oからの距離に比例して単位凸部長および単位凹部長が長くなる構成(各環状領域Ax内において外周側ほど単位凸部長および単位凹部長が長くなる構成)を採用しつつ、各環状領域Axにおける最外周の単位凸部長や単位凹部長を互いに等しい長さに規定したときに、各環状領域Axにおける最内周の単位凸部長や単位凹部長が、内周側の環状領域Axほど短くなる。したがって、この磁気ディスク10axでは、最内周の環状領域A1xから最外周の環状領域A4xまでの全域において最も長い単位凸部長および単位凹部長(この例では、各環状領域Axにおける最外周の単位凸部長および単位凹部長)と、全域において最も短い単位凸部長および単位凹部長(この例では、環状領域A1xにおける最内周の単位凸部長および単位凹部長)との長さの差が大きくなっている。
一方、図29に示す磁気ディスク10bxでは、出願人が開発した上記の磁気ディスクや上記の磁気ディスク10axと同様にして、サーボパターンを構成する凹凸パターン20sbx(サーボパターン領域Asbx)およびデータトラックパターンを構成する凹凸パターン20t(データトラックパターン領域At)が環状領域A1x〜A4xの4つに区分けされて形成されている。この場合、各環状領域Axの半径方向の長さLxが互いに等しいこの磁気ディスク10bxでは、各環状領域Axにおいてデータトラックパターン領域At(凹凸パターン20t)の中心Oからの距離に比例して単位凸部長および単位凹部長が長くなる構成(各環状領域Ax内において外周側ほど単位凸部長および単位凹部長が長くなる構成)を採用しつつ、各環状領域Axにおける最内周の単位凸部長や単位凹部長を互いに等しい長さに規定したときに、各環状領域Axにおける最外周の単位凸部長や単位凹部長が、内周側の環状領域Axほど長くなる。したがって、この磁気ディスク10bxでは、最内周の環状領域A1xから最外周の環状領域A4xまでの全域において最も短い単位凸部長および単位凹部長(この例では、各環状領域Axにおける最内周の単位凸部長および単位凹部長)と、全域において最も長い単位凸部長および単位凹部長(この例では、環状領域A1xにおける最外周の単位凸部長および単位凹部長)との長さの差が大きくなっている。
この場合、上記の磁気ディスク10ax,10bxのように、全域において最も長い単位凸部長と最も短い単位凸部長との長さの差が大きいときには、その磁気ディスクの製造時において、例えば、単位凸部長が最も短い領域(磁気ディスク10axの環状領域A1xにおける内周側や、磁気ディスク10bxの各環状領域Axにおける内周側)において凸部上の残留物(非記録材料)が除去されて単位凸部長が最も短い領域において平坦性が良好となるようなエッチング条件で磁気ディスクの内周側から外周側までの全域をエッチング処理したときには、単位凸部長が最も長い領域(磁気ディスク10axの各環状領域Axにおける外周側や、磁気ディスク10bxの環状領域A1xにおける外周側)において、凸部が厚手の非記録材料によって覆われた状態となることに起因して、磁気ディスクの平坦性が悪化するおそれがある。また、単位凸部長が最も長い領域において凸部上の非記録材料が除去されるまでエッチング処理を継続して実行したときには、単位凸部長が最も短い領域において凹部内の非記録材料がエッチングされたり、非記録材料だけでなく凸部(記録材料)が過剰にエッチングされることに起因して、この領域において磁気ディスクの平坦性が著しく悪化したり、サーボデータの正常な読み取りが困難となったりするおそれがある。
この場合、磁気ディスクの製造時において、凹凸パターンの上に十分に厚い非記録材料の層を形成し、この非記録材料の層をエッチング処理して凸部を露出させる製造方法を採用することにより、その下方に存在する凸部の突端面が広い部位(凸部の突端面の回転方向に沿った長さおよび半径方向に沿った長さが長い部位)、およびその下方に存在する凸部の突端面が狭い部位(凸部の突端面の回転方向に沿った長さおよび半径方向に沿った長さのいずれかが短い部位)の双方において、エッチングの進行が同程度となる可能性がある。したがって、このような製造方法を採用することにより、単位凸部長が長い領域において凸部の上に厚手の非記録材料が残留する事態や、単位凸部長が短い領域において凹部内の非記録材料がエッチングされたり、凸部が過剰にエッチングされたりする事態を回避することができる可能性がある。しかしながら、このような製造方法を採用した場合には、厚手の非記録材料の層を形成するのに長い時間を要すると共に、この厚手の非記録材料の層をエッチングするのにも長い時間を要することとなり、磁気ディスクの製造コストが高騰するおそれがある。また、エッチング処理によって除去する非記録材料の量が多くなることに起因して、磁気ディスクの製造コストが高騰するおそれもある。
また、上記の磁気ディスク10ax,10bxのように、全域において最も長い単位凹部長と最も短い単位凹部長との長さの差が大きいときには、その磁気ディスクの製造時において、インプリント法によってエッチング処理用のマスクパターンを形成してサーボパターン用の凹凸パターンやデータトラックパターン用の凹凸パターンを形成する際に、スタンパーに形成されている凸部をマスクパターン用の樹脂材料に対して全域において均等に押し込むのが困難となるおそれがあり、これに起因して、所望の開口長の凹部を樹脂材料の層に形成するのが困難となるおそれがある。具体的には、上記の磁気ディスク10ax,10bxにおけるデータトラックパターン領域Atやサーボパターン領域Asax,Asbxには、その開口面が狭い凹部(一例として、磁気ディスク10ax,10bxの回転方向に沿った開口長、および磁気ディスク10ax,10bxの半径方向に沿った開口長のいずれかが短い凹部)や、開口面が広い凹部(一例として、回転方向に沿った開口長および半径方向に沿った開口長の双方が長い凹部)などの各種の凹部が形成されている。
また、この磁気ディスク10ax,10bxを製造するためのインプリント処理用のスタンパーでは、磁気ディスク10ax,10bxにおける単位凹部長が短い領域(凹部の開口面が狭い領域)に対応する領域において、形成すべき凹部の開口長に応じて凸部が短くなっている(凸部の突端面が狭くなっている)。これに対して、磁気ディスク10ax,10bxにおける単位凹部長が長い領域(凹部の開口面が広い領域)に対応する領域では、形成すべき凹部の開口長に応じて凸部が長くなっている(凸部の突端面が広くなっている)。したがって、インプリント処理に際して、このようなスタンパーをその全域に亘って均等な押圧力で樹脂材料の層に押し付けたときには、スタンパーにおける突端面が狭い凸部(この例では、突端面の回転方向に沿った長さが短い凸部)については、樹脂材料の層に対して十分に奥深くまで押し込むことができるものの、突端面が広い凸部(この例では、突端面の回転方向に沿った長さが長い凸部)については、樹脂材料の層に対して十分に押し込むのが困難となり、この長い凸部を押し込んだ部位に厚手の残渣(樹脂材料)が生じるおそれがある。
この場合、スタンパーの凹凸パターンを押し付けて形成したマスクパターン(樹脂材料の層)を用いてエッチング処理によって磁気ディスクに凹凸パターンを形成する際には、マスクパターン(樹脂材料の層に形成した凹凸パターン)における各凹部の底面の残渣を取り除く必要がある。したがって、上記のようなスタンパーを用いたインプリント処理によってマスクパターンを形成したときには、凸部を十分に押し込むことができなかった領域(突端面が広い凸部(突端面の回転方向に沿った長さが長い凸部)を押し込んだ領域:開口面が広い凹部(開口面の回転方向に沿った長さが長い凹部)を形成すべき領域)における残渣の厚みが厚いことに起因して、この厚手の残渣を取り除くのに長時間を要することとなる。また、この厚手の残渣を取り除くために長時間に亘ってエッチング処理を継続して実行したときには、残渣の厚みが薄い領域(突端面が狭い凸部(突端面の回転方向に沿った長さが短い凸部)を押し込んだ領域:開口面が狭い凹部(開口面の回転方向に沿った長さが短い凹部)を形成すべき領域)において、残渣の取り除きが完了した後にもエッチング処理が継続して実行されることによって、凹部の内側壁が浸食されてその回転方向の長さおよび半径方向の長さ(開口長)が拡がってしまう。
このため、最も長い単位凹部長と最も短い単位凹部長との長さの差が大きい磁気ディスクをインプリント法によって製造する際には、単位凸部長が最も短く規定されている領域においてマスクパターンにおける凹部の開口長を所望の開口長にするのが困難になるおそれがある。したがって、最も長い単位凹部長と最も短い単位凹部長との長さの差が大きい磁気ディスクでは、所望の開口長とは相違する開口長の凹部を有するマスクパターンを用いて製造されることにより、サーボパターン用の凹凸パターンにおける凹部の開口長が所望の開口長とは相違する開口長となり、これに起因して、サーボデータの正常な読み出しが困難となるおそれがある。
さらに、上記の磁気ディスク10ax,10bxのように、全域において最も長い単位凹部長と最も短い単位凹部長との長さの差が大きいときには、上記のように形成したマスクパターンを用いてエッチング処理によって磁気ディスク用の中間体に凹凸パターンを形成する際に、単位凹部長が長い領域(開口面が広い凹部を形成すべき領域)において、単位凹部長が短い領域(開口面が狭い凹部を形成すべき領域)よりも中間体が深くエッチングされる事態が生じるおそれがある。したがって、開口面が広い凹部ほどその深さが深い凹凸パターンが中間体に形成されることに起因して、磁気ディスクの平坦性が悪化するおそれがある。このように、最も長い単位凸部長と最も短い単位凸部長との長さの差が大きい磁気ディスクや、最も長い単位凹部長と最も短い単位凹部長との長さの差が大きい磁気ディスクでは、全域に亘って平坦性を良好にするのが困難となるおそれがあるため、この点を改善するのが好ましい。
なお、磁気ディスク10ax,10bxと同様の構成を採用しつつ、環状領域Axの数(分割数)を多くして、各環状領域Axにおける半径方向の長さを十分に短くすることで、全域において最も長い単位凸部長と最も短い単位凸部長との長さの差や、全域において最も長い単位凹部長と最も短い単位凹部長との長さの差を小さくすることが可能となる。しかしながら、このような構成を採用した場合には、環状領域Axの数だけ検出用クロック信号の周波数の種類を多くする必要が生じることから、トラッキングサーボ制御が困難となるおそれがある。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、内周側から外周側までの全域において平坦性が良好で、サーボデータの正常な読み出しが可能な情報記録媒体、平坦性が良好で、サーボデータの正常な読み出しが可能な情報記録媒体を有する記録再生装置、および平坦性が良好で、サーボデータの正常な読み出しが可能な情報記録媒体を製造し得るスタンパーを提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく本発明に係る情報記録媒体は、少なくとも突端部が記録材料および非記録材料のいずれか一方で形成された複数の凸部を有する凹凸パターンによってデータトラックパターンおよびサーボパターンが基材の少なくとも一面側に形成されると共に当該凹凸パターンの各凹部に当該記録材料および当該非記録材料の他方が埋め込まれ、
前記データトラックパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記各凸部および前記各凹部が同心円状または螺旋状となるように形成され、前記データトラックパターンおよび前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、当該データトラックパターンと同心の複数の環状領域に区分けされ、前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長および当該回転方向に沿った単位凹部長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど長くなり、かつ、当該単位凸部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値と、当該単位凹部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値とが内周側の当該環状領域よりも外周側の当該環状領域ほど小さくなるように当該各環状領域毎に当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定され、前記複数の環状領域は、最内周の当該環状領域と、最外周の当該環状領域と、前記最内周の環状領域および前記最外周の環状領域の間の複数の第1の環状領域とで構成され、前記第1の環状領域は、前記基材の半径方向に沿った長さが外周側の当該第1の環状領域ほど長く規定されている。
なお、本明細書における「記録材料」とは、「記録された磁気的信号を読み出し可能に保持し得る領域を構成可能な材料(つまり磁気的信号を読み出し可能に保持する能力を有する材料)」を意味する。この場合、「記録領域構成用の記録材料」とは、記録領域を構成するための材料、すなわち、記録領域を構成している主たる材料(記録領域が上記の能力を有するために主として寄与している材料)を意味する。また、本明細書における「非記録材料」とは、「磁気的信号を読み出し可能に保持する上記の能力が記録領域の能力よりも低い領域、または、その能力を実質的に有しない領域を構成可能な材料」を意味する。具体的には、本明細書における「非記録材料」とは、「その材料で構成された領域に磁気的信号を記録した状態において、その領域から発生する磁界が上記の記録材料で構成された領域よりも小さくなる材料、または、その材料で構成された領域から発生する磁界が実質的には存在しない材料」を意味する。この場合、「非記録領域構成用の非記録材料」とは、非記録領域を構成するための材料、すなわち、非記録領域を構成している主たる材料(非記録領域の上記の能力が所望の状態となるように主として寄与している材料)を意味する。
また、本明細書における「各凸部が同心円状または螺旋状となるように形成されたデータトラックパターン」には、凹凸パターンの凹部によって情報記録媒体における半径方向および回転方向の双方に対して分離された記録要素としての凸部(少なくとも突端部が記録材料で形成された凸部)が同心円状または螺旋状に配列させられているパターンド媒体のデータトラックパターンが含まれる。同様にして、本明細書における「各凹部が同心円状または螺旋状となるように形成されたデータトラックパターン」には、凹凸パターンの凸部によって情報記録媒体における半径方向および回転方向の双方に対して分離された記録要素としての凹部(記録材料が埋め込まれた凹部)が同心円状または螺旋状に配列させられているパターンド媒体のデータトラックパターンが含まれる。
また、本明細書における「単位凸部長」とは、情報記録媒体からの磁気信号の読み取りに際して「1つの凸部有り」と検出するための基準の長さをいう。したがって、実際の情報記録媒体では、サーボデータの内容に応じて、単位凸部長の整数倍の長さの凸部が形成されてサーボパターンが構成される。なお、「1つの凸部有り」と検出するための基準の長さについては、サーボパターン全体において1つの共通する長さに規定してもよいし、サーボパターンを構成する各種パターンの種類(プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターン等)に応じて各パターン毎に相違する長さに規定することもできる。この場合、凸部の突端部を記録材料で形成した構成においては、凸部の形成部位が「検出信号の出力有り」または「信号レベルがHighの検出信号」として検出され、凸部の突端部を非記録材料で形成した構成においては、凸部の形成部位が「検出信号の出力なし」または「信号レベルがLow の検出信号」として検出される。この場合、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凸部長がいずれかの環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に対して比例する長さとは僅かに相違する長さ(中心からの距離に対して比例する長さとほぼ等しい長さ)になったとしても、その凹凸パターンにおける単位凸部長は、中心からの距離に比例している長さの範疇に含まれるものとする。
また、本明細書における「単位凹部長」とは、情報記録媒体からの磁気信号の読み取りに際して「1つの凹部有り」と検出するための基準の長さをいう。したがって、実際の情報記録媒体では、サーボデータの内容に応じて、単位凹部長の整数倍の長さの凹部が形成されてサーボパターンが構成される。なお、「1つの凹部有り」と検出するための基準の長さについては、サーボパターン全体において1つの共通する長さに規定してもよいし、サーボパターンを構成する各種パターンの種類(プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターン等)に応じて各パターン毎に相違する長さに規定することもできる。この場合、凹部に非記録材料を埋め込んだ構成においては、凹部の形成部位が「検出信号の出力なし」または「信号レベルがLow の検出信号」として検出され、凹部に記録材料を埋め込んだ構成においては、凹部の形成部位が「検出信号の出力有り」または「信号レベルがHighの検出信号」として検出される。この場合、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、凹凸パターンにおける単位凹部長がいずれかの環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に対して比例する長さとは僅かに相違する長さ(中心からの距離に対して比例する長さとほぼ等しい長さ)になったとしても、その凹凸パターンにおける単位凹部長は、中心からの距離に比例している長さの範疇に含まれるものとする。
さらに、本明細書における「データトラックパターンの中心から環状領域までの距離」とは、例えば、「データトラックパターンの中心から、環状領域の最内周部位までの距離」や、「データトラックパターンの中心から、環状領域の最外周部位までの距離」だけでなく、「データトラックパターンの中心から、環状領域の半径方向における中央部位などの任意の部位までの距離」などがこれに含まれる。ただし、この距離を規定する部位はすべての環状領域において同じ部位とする。また、本明細書における「単位凸部長の各環状領域内における平均長」とは、例えば、「各環状領域の最内周から最外周までの各サーボトラック毎の単位凸部長の合計長をその環状領域内のサーボトラック数で除した値」だけでなく、「環状領域の最内周における単位凸部長と、その環状領域の最外周における単位凸部長との合計長を2で除した値」がこれに含まれる。同様にして、本明細書における「単位凹部長の各環状領域内における平均長」とは、例えば、「各環状領域の最内周から最外周までの各サーボトラック毎の単位凹部長の合計長をその環状領域内のサーボトラック数で除した値」だけでなく、「環状領域の最内周における単位凹部長と、その環状領域の最外周における単位凹部長との合計長を2で除した値」がこれに含まれる。
また、本発明に係る情報記録媒体は、少なくとも突端部が記録材料および非記録材料のいずれか一方で形成された複数の凸部を有する凹凸パターンによってデータトラックパターンおよびサーボパターンが基材の少なくとも一面側に形成されると共に当該凹凸パターンの各凹部に当該記録材料および当該非記録材料の他方が埋め込まれ、前記データトラックパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記各凸部および前記各凹部が同心円状または螺旋状となるように形成され、前記データトラックパターンおよび前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、当該データトラックパターンと同心の複数の環状領域に区分けされ、前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長および当該回転方向に沿った単位凹部長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど長くなり、かつ、当該単位凸部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値と、当該単位凹部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値とが内周側の当該環状領域よりも外周側の当該環状領域ほど小さくなるように当該各環状領域毎に当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定され、前記複数の環状領域は、第1の環状領域と、第2の環状領域とで構成され、
前記第1の環状領域は、前記基材の半径方向に沿った長さが外周側の当該第1の環状領域ほど長く規定され、前記第2の環状領域は、当該第2の環状領域の最内周における前記単位凸部長が前記各第1の環状領域の最内周における前記単位凸部長のうちの最も短い長さ以上の長さで当該第2の環状領域の最外周における前記単位凸部長が当該各第1の環状領域の最外周における前記単位凸部長のうちの最も長い長さ以下の長さとなるように当該単位凸部長が規定されると共に、当該第2の環状領域の最内周における前記単位凹部長が前記各第1の環状領域の最内周における前記単位凹部長のうちの最も短い長さ以上の長さで当該第2の環状領域の最外周における前記単位凹部長が当該各第1の環状領域の最外周における前記単位凹部長のうちの最も長い長さ以下の長さとなるように当該単位凹部長が規定されている。
また、本発明に係る情報記録媒体は、前記第1の環状領域の最内周における前記単位凸部長に対する当該第1の環状領域の最外周における前記単位凸部長の比がすべての当該第1の環状領域において等しい比となるように当該単位凸部長が規定されると共に、前記第1の環状領域の最内周における前記単位凹部長に対する当該第1の環状領域の最外周における前記単位凹部長の比がすべての当該第1の環状領域において等しい比となるように当該単位凹部長が規定されている。なお、本明細書において、「環状領域の最内周」は「環状領域内における最内周」を意味すると共に、「環状領域の最外周」は「環状領域内における最外周」を意味する。また、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、「第1の環状領域の最内周における単位凸部長に対する第1の環状領域の最外周における単位凸部長の比」が各第1の環状領域毎に僅かにばらついた状態(上記の「比」が「ほぼ等しい比」の状態)になったとしても、そのような状態は、「各第1の環状領域において等しい比となっている状態」に含まれるものとする。同様にして、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、「第1の環状領域の最内周における単位凹部長に対する第1の環状領域の最外周における単位凹部長の比」が各第1の環状領域毎に僅かにばらついた状態(上記の「比」が「ほぼ等しい比」の状態)になったとしても、そのような状態は、「各第1の環状領域において等しい比となっている状態」に含まれるものとする。
さらに、本発明に係る情報記録媒体は、前記第1の環状領域の最外周における前記単位凸部長がすべての当該第1の環状領域において等しい長さとなるように当該単位凸部長が規定されると共に、前記第1の環状領域の最外周における前記単位凹部長がすべての当該第1の環状領域において等しい長さとなるように当該単位凹部長が規定されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、第1の環状領域の最外周における単位凸部長や第1の環状領域の最外周における単位凹部長がいずれかの第1の環状領域内において僅かにばらついた状態(第1の環状領域の最外周における単位凸部長が各第1の環状領域においてほぼ等しい長さの状態、および第1の環状領域の最外周における単位凹部長が各第1の環状領域においてほぼ等しい長さの状態)になったとしても、それらの長さは等しい長さの範疇に含まれるものとする。
また、本発明に係る情報記録媒体は、前記第1の環状領域の最内周における前記単位凸部長がすべての当該第1の環状領域において等しい長さとなるように当該単位凸部長が規定されると共に、前記第1の環状領域の最内周における前記単位凹部長がすべての当該第1の環状領域において等しい長さとなるように当該単位凹部長が規定されている。なお、本発明では、極く僅かな程度の製造誤差が生じて、第1の環状領域の最内周における単位凸部長や第1の環状領域の最外周における単位凹部長がいずれかの第1の環状領域内において僅かにばらついた状態(第1の環状領域の最内周における単位凸部長が各第1の環状領域においてほぼ等しい長さの状態、および第1の環状領域の最内周における単位凹部長が各第1の環状領域においてほぼ等しい長さの状態)になったとしても、それらの長さは等しい長さの範疇に含まれるものとする。
また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの情報記録媒体と、前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部とを備えている。
また、本発明に係るスタンパーは、上記のいずれかの情報記録媒体における前記凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、前記情報記録媒体における前記凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凹凸パターンが形成されている。
本発明に係る情報記録媒体では、単位凸部長および単位凹部長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなり、かつ、単位凸部長の各環状領域内における平均長をデータトラックパターンの中心から環状領域までの距離で除した値と、単位凹部長の各環状領域内における平均長をデータトラックパターンの中心から環状領域までの距離で除した値とが内周側の環状領域よりも外周側の環状領域ほど小さくなるように各環状領域毎に単位凸部長および単位凹部長が規定されると共に、各第1の環状領域における半径方向に沿った長さが外周側の第1の環状領域ほど長く規定されている。
また、本発明に係る情報記録媒体では、単位凸部長および単位凹部長が環状領域内においてデータトラックパターンの中心からの距離に比例して環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなり、かつ、単位凸部長の各環状領域内における平均長をデータトラックパターンの中心から環状領域までの距離で除した値と、単位凹部長の各環状領域内における平均長をデータトラックパターンの中心から環状領域までの距離で除した値とが内周側の環状領域よりも外周側の環状領域ほど小さくなるように各環状領域毎に単位凸部長および単位凹部長を規定すると共に、第1の環状領域は、半径方向に沿った長さが外周側の第1の環状領域ほど長く規定され、第2の環状領域は、第2の環状領域の最内周における単位凸部長が各第1の環状領域の最内周における単位凸部長のうちの最も短い長さ以上の長さで第2の環状領域の最外周における単位凸部長が各第1の環状領域の最外周における単位凸部長のうちの最も長い長さ以下の長さとなるように単位凸部長が規定されると共に、第2の環状領域の最内周における単位凹部長が各第1の環状領域の最内周における単位凹部長のうちの最も短い長さ以上の長さで第2の環状領域の最外周における単位凹部長が各第1の環状領域の最外周における単位凹部長のうちの最も長い長さ以下の長さとなるように単位凹部長が規定されている。
さらに、本発明に係る記録再生装置では、上記の情報記録媒体と、サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部とを備えている。
したがって、本発明に係る情報記録媒体および本発明に係る記録再生装置によれば、各環状領域Axの半径方向の長さLxが互いに等しくなるように規定されていることで内周側の環状領域Axにおける最内周の単位凸部長や単位凹部長が他の部位の単位凸部長や単位凹部長よりも短くなる傾向がある磁気ディスク10axや、内周側の環状領域Axにおける最外周の単位凸部長や単位凹部長が他の部位の単位凸部長や単位凹部長よりも長くなる傾向がある磁気ディスク10bxと比較して、内周側の第1の環状領域から外周側の第1の環状領域までの全域において最も短い単位凸部長と、内周側の第1の環状領域から外周側の第1の環状領域までの全域において最も長い単位凸部長との長さの差を十分に小さくすることができると共に、内周側の第1の環状領域から外周側の第1の環状領域までの全域において最も短い単位凹部長と、内周側の第1の環状領域から外周側の第1の環状領域までの全域において最も長い単位凹部長との長さの差を十分に小さくすることができる。
このため、この情報記録媒体および記録再生装置によれば、インプリント法によって製造する際にスタンパーの各凸部をマスクパターン形成用の樹脂材料の層に対して全域に亘ってほぼ均等に押し込むことができるため、残渣の取り除き時にいずれかの凹部の開口長が所望の開口長とは相違する開口長となる事態を回避することができる。したがって、この情報記録媒体および記録再生装置によれば、所望の開口長となっている凹部を有するマスクパターンを用いて製造することができるため、サーボパターン用の凹部の開口長を所望の開口長とすることができる結果、サーボデータを正常に読み出すことができる。
また、この情報記録媒体および記録再生装置によれば、例えばマスクパターンを用いてエッチング処理を行うことで凹凸パターンを形成する際に、開口面が広い凹部と開口面が狭い凹部との開口面の広さの差を十分に小さくすることができるため、形成される凹部のいずれかが過剰に深くなる事態を回避することができる。また、各凸部を覆うようにして形成した非記録材料の層(または、記録材料の層)をエッチング処理する際に、非記録材料の層(または、記録材料の層)の下方に存在する凹凸パターンの突端面が広い凸部と突端面が狭い凸部との突端面の広さの差を十分に小さくすることができるため、内周側の第1の環状領域における最外周の凸部上の残留物の厚みとそのほかの部位に形成された凸部上の残留物の厚みとの差が大きくなる事態を回避することができる。また、内周側の第1の環状領域から外周側の第1の環状領域までの全域において各凸部の上に残留物が残留することのないように非記録材料(または記録材料)をエッチング処理したときに、例えば内周側の第1の環状領域内の内周側において平坦性が悪化したり、凸部が過剰にエッチングされたりする事態を招くことなく各凸部の上の残留物を取り除くことができる。したがって、情報記録媒体の平坦性を各第1の環状領域において良好に維持することができる。このため、本発明に係る情報記録媒体が磁気記録媒体(磁気ディスク)の場合には、各第1の環状領域において、磁気記録媒体に対する磁気ヘッドの浮上量をほぼ同等に維持することができる結果、この磁気記録媒体を搭載した記録再生装置によれば、安定した記録再生を実行することができる。
さらに、単位凸部長および単位凹部長が環状領域内において中心からの距離に比例して環状領域の内周側からその環状領域の外周側に向かうほど長くなるように規定されているこの情報記録媒体および記録再生装置によれば、単位凸部長と単位凹部長との合計長(すなわち、凸部の形成ピッチ、および凹部の形成ピッチ)が中心からの距離に比例して環状領域内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるため、情報記録媒体を角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域からサーボデータを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報(読み出し周波数情報)を一つの環状領域内において変化させることなく、環状領域における最内周から最外周までの全域においてサーボパターン領域からサーボデータを確実に読み出す(検出する)ことができる。
また、本発明に係る情報記録媒体および本発明に係る記録再生装置によれば、第1の環状領域の最内周における単位凸部長に対する第1の環状領域の最外周における単位凸部長の比をすべての第1の環状領域において等しい比となるように単位凸部長を規定すると共に、第1の環状領域の最内周における単位凹部長に対する第1の環状領域の最外周における単位凹部長の比をすべての第1の環状領域において等しい比となるように単位凹部長を規定したことにより、各第1の環状領域毎に平坦性にばらつきを生じさせることなく、内周側の第1の環状領域から外周側の第1の環状領域までのすべての第1の環状領域における平坦性を一層良好に維持することができる。この結果、本発明に係る情報記録媒体が磁気記録媒体(磁気ディスク)の場合には、その全域において、磁気記録媒体に対する磁気ヘッドの浮上量を一層均一に維持することができる。
さらに、本発明に係る情報記録媒体および本発明に係る記録再生装置では、第1の環状領域の最外周における単位凸部長をすべての第1の環状領域において等しい長さとなるように単位凸部長を規定すると共に、第1の環状領域の最外周における単位凹部長をすべての第1の環状領域において等しい長さとなるように単位凹部長を規定している。また、本発明に係る情報記録媒体および本発明に係る記録再生装置では、第1の環状領域の最内周における単位凸部長をすべての第1の環状領域において等しい長さとなるように単位凸部長を規定すると共に、第1の環状領域の最内周における単位凹部長をすべての第1の環状領域において等しい長さとなるように単位凹部長を規定している。したがって、本発明に係る情報記録媒体および本発明に係る記録再生装置によれば、すべての第1の環状領域において最も長い単位凸部長とすべての第1の環状領域において最も短い単位凸部長との長さの差を一層小さくすることができると共に、すべての第1の環状領域において最も長い単位凹部長とすべての第1の環状領域において最も短い単位凹部長との長さの差を一層小さくすることができるため、情報記録媒体の製造時における加工ばらつきを一層小さくできる結果、その平坦性を一層良好にすることができる。
また、本発明に係るスタンパーによれば、上記のいずれかの情報記録媒体における凹凸パターンの凹部に対応して形成した凸部と、情報記録媒体における凹凸パターンの凸部に対応して形成した凹部とを有する凹凸パターンを備えたことにより、例えば、電子線描画装置を用いて情報記録媒体製造用の中間体における樹脂層に露光パターンを描画して現像処理することでエッチング処理用のマスクパターン(サーボパターン等を形成するエッチング処理時にマスクとして使用する凹凸パターン)を形成する製造方法とは異なり、樹脂層にスタンパーの凹凸パターンを押し付けるだけでエッチング処理用のマスクパターンを短時間で容易に形成することができる。また、1枚のスタンパーによって多数の中間体にエッチング処理用のマスクパターンを形成することができる。したがって、情報記録媒体の製造コストを十分に低減することができる。さらに、所望の開口幅となるように形成された凹部を有するエッチング処理用のマスクパターンを形成することができる。
以下、本発明に係る情報記録媒体、記録再生装置およびスタンパーの最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
図1に示すハードディスクドライブ1は、本発明に係る記録再生装置の一例としての磁気記録再生装置であって、スピンドルモータ2、磁気ヘッド3、信号変換部4、検出用クロック出力部5、サーボデータ検出部6、ドライバ7、制御部8、ROM9および磁気ディスク10を備えて構成されている。この場合、磁気ディスク10は、一例として、垂直記録方式で記録データを記録可能なディスクリートトラック型の磁気ディスク(パターンド媒体)であって、本発明における情報記録媒体に相当する。具体的には、図2に示すように、この磁気ディスク10は、軟磁性層12、中間層13および磁性層14がガラス基板11の上にこの順で形成されている。なお、同図では、磁気ディスク10の層構造についての理解を容易とするために、その表面が平坦となっている状態(凹凸していない状態)を図示しているが、実際には、図7,9に示すように、その表面には、製造時に生じる極く小さな凹凸が存在する場合がある。また、この磁気ディスク10および後述する磁気ディスク10a〜10dでは、実際には、ガラス基板11(11a)の表裏両面に上記の軟磁性層12、中間層13および磁性層14等が形成されてサーボパターンやデータトラックパターンが形成されているが、本発明についての理解を容易とするために、ガラス基板11(11a)の一面側についてのみ図示して説明する。
この場合、中間層13の上に形成されている磁性層14は、磁性材料(本発明における記録材料の一例)で形成された凸部21,21・・と凹部22,22・・とが交互に形成されることによって所定の凹凸パターン20を構成する。また、凹部22,22・・には、SiO、C(炭素)、Si、Ge、非磁性金属材料および樹脂材料等の非磁性材料15(本発明における非記録材料の一例)が埋め込まれている。さらに、凹部22に埋め込まれた非磁性材料15、および凸部21の上には、一例としてダイヤモンドライクカーボン(DLC)の薄膜がCVD法によって成膜されて厚みが2nm程度の保護層(DLC膜)16が形成されている。また、この磁気ディスク10では、保護層16の表面に潤滑剤(一例として、フッ素系の潤滑剤)が塗布されている。
ガラス基板11は、本発明における基材に相当し、直径1.8インチのガラス板を表面粗さRaが0.2〜0.3nm程度となるように表面研磨して厚みが0.6mm程度となるように形成されている。なお、本発明における基材は、ガラス材料に限定されるものではなく、アルミニウムやセラミックなどの各種非記録材料(非磁性材料)で形成することができる。軟磁性層12は、CoZrNb合金などの軟磁性材料をスパッタリングすることによって厚みが100nm〜200nm程度となるように形成されている。中間層13は、磁性層14を形成するための下地層として機能する層であって、CrやCoCr非磁性合金などの中間層形成用材料をスパッタリングすることによって厚みが40nm程度となるように形成されている。磁性層14は、記録材料(磁性材料)で形成された凸部21,21・・で構成された層であって、後述するように、例えばCoCrPt合金をスパッタリングする処理と、レジストパターン等をマスクとして用いてエッチング処理して凹部22,22・・を形成する処理とがこの順で実行されることによって、凸部21,21・・(凹凸パターン20)が形成されて構成されている。
この磁気ディスク10では、図3に示すように、凹凸パターン20(凹凸パターン20t)の中心Oを中心とする同心円状の(すなわち、凹凸パターン20tと同心の)5つの環状領域Az,A1〜A4(以下、区別しないときには、環状領域Aともいう)に区分けされて凹凸パターン20(凹凸パターン20t、凹凸パターン20s)が形成されている。なお、このハードディスクドライブ1では、環状領域Azが本発明における「最内周の環状領域」および「第2の環状領域」に相当し、環状領域A1〜A3が本発明における「第1の環状領域」に相当し、環状領域A4が本発明における「最外周の環状領域」および「第1の環状領域」に相当する。この場合、本発明における「第1の環状領域」に相当する領域の数は上記の例に限定されず、磁気ディスク10の最内周から最外周までの間(凹凸パターン20t,20sが形成されている領域)に2つ以上の任意の数の第1の環状領域を設けることができる。また、本発明における「第2の環状領域」に相当する領域の数についても、上記の例に限定されず、磁気ディスク10の最内周から最外周までの間に2つ以上の任意の数の第2の環状領域を設けることができる。
この場合、この磁気ディスク10では、図4に示すように、各環状領域A1〜A4(すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域Aおよび最外周の環状領域Aのいずれかまたは双方を除く環状領域A:この例では、すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域A(環状領域Az)を除く環状領域A)における磁気ディスク10の半径方向に沿った長さL1〜L4が外周側の環状領域Aほど長く規定されている。具体的には、図17に示すように、この磁気ディスク10では、一例として、環状領域A1の半径方向に沿った長さL1が2.122mmで、環状領域A2の半径方向に沿った長さL2が2.546mmで、環状領域A3の半径方向に沿った長さL3が3.056mmで、環状領域A4の半径方向に沿った長さL1が3.667mmとなっている。この場合、この磁気ディスク10では、環状領域A1の長さL1に対する環状領域A2の長さL2の比と、環状領域A2の長さL2に対する環状領域A3の長さL3の比と、環状領域A3の長さL3に対する環状領域A4の長さL4の比とが互いに等しい比率(この例では、1:1.2)となっている。なお、図4や、後に参照する図18,19では、本発明についての理解を容易とするために、各環状領域Aの半径方向に沿った長さの比を実際の長さの比とは相違する比で図示している。また、この磁気ディスク10では、最内周の環状領域Azの半径方向に沿った長さLzが0.610mmで、その外周側に規定された環状領域A1の半径方向に沿った長さL1(2.122mm)よりも短くなっている。なお、この磁気ディスク10では、環状領域Azの長さLzに対する環状領域A1の長さL1の比が1:3.5となっている。
また、図3に示すように、この磁気ディスク10では、データトラックパターン領域At,Atの間にサーボパターン領域Asが設けられてデータトラックパターン領域Atおよびサーボパターン領域Asが磁気ディスク10の回転方向(矢印Rの向き)において交互に並ぶように形成されている。この場合、図6,8に示すように、データトラックパターン領域At(各環状領域Aにおける内周側の内周側データトラックパターン領域Ati、および各環状領域Aにおける外周側の外周側データトラックパターン領域Ato)には、データトラックパターンとしての凹凸パターン20tが形成されている。この凹凸パターン20tは、磁気ディスク10の回転中心を中心O(図3,4参照)とする同心円状の多数の凸部21t,21t・・(データ記録用トラック)と、各凸部21t,21t・・の間の凹部22t,22t・・とで構成されている。なお、磁気ディスク10の回転中心と凹凸パターン20tの中心Oとが一致しているのが好ましいが、実際には、製造誤差に起因する30〜50μm程度の極く小さなずれが生じることがある。しかし、この程度のずれ量であれば磁気ヘッド3に対するトラッキングサーボ制御が十分に可能であるため、回転中心と中心Oとは、実質的には同様であるといえる。また、凹凸パターン20tの凹部22t,22t・・には、非磁性材料15が埋め込まれてデータトラックパターン領域Atの表面が平坦化されている。
さらに、図6,8に示すように、サーボパターン領域As(各環状領域Aにおける内周側の内周側サーボパターン領域Asi、および各環状領域Aにおける外周側の外周側サーボパターン領域Aso)には、サーボパターンとしての凹凸パターン20sが形成されている。この場合、この磁気ディスク10では、図5に示すように、各環状領域A1〜A4における最内周の各サーボパターン領域Asの回転方向に沿った長さL8iが互いに等しく、かつ、各環状領域A1〜A4における最外周の各サーボパターン領域Asの回転方向に沿った長さL8oが互いに等しくなるように規定されている。また、最内周の環状領域Azにおける最内周のサーボパターン領域Asの回転方向に沿った長さは上記の長さL8iよりも長く、環状領域Azにおける最外周のサーボパターン領域Asの回転方向に沿った長さは上記の長さL8oと等しくなるように規定されている。
また、図6〜9に示すように、この磁気ディスク10では、プリアンブルパターン、アドレスパターンおよびバーストパターンなどの各種サーボパターンを構成する凹凸パターン20sが、凸部21s,21s・・(凸部21siおよび凸部21so)並びに凹部22s,22s・・(凹部22siおよび凹部22so)で構成されている。この場合、この磁気ディスク10では、一例として、プリアンブルパターンを構成する凹凸パターン20sの回転方向における先頭部分(プリアンブルパターン用の各凸部21sのうちの回転方向において先頭の凸部21sの回転方向における先頭側の辺)が、最内周の環状領域Azから最外周のA4まで連続している。つまり、この磁気ディスク10では、環状領域Az〜A4におけるサーボパターンの回転方向の先頭位置が連続的に揃った状態となっている。
なお、図6〜9では、本発明についての理解を容易とするために、その回転方向に沿った長さが単位凸部長の凸部21s(凸部21si,21so)、および、その回転方向に沿った長さが単位凹部長の凹部22s(凹部22si,22so)だけで凹凸パターン20sが構成されている例を図示している。したがって、以下の説明においては、凸部21sの回転方向の長さを単位凸部長とし、凹部22sの回転方向の長さを単位凹部長とするが、実際の磁気ディスク10では、凸部21sや凹部22sの形成数、形成位置および回転方向に沿った長さなどが各図に示す状態とは異なり、トラッキングサーボ制御に必要なトラックアドレスおよびセクターアドレス等の情報(パターン)を含む各種の制御用データに対応して、凸部21sや凹部22sのそれぞれの形成数、形成位置および回転方向に沿った長さが規定されて凹凸パターン20sが形成されている。具体的には、凸部21sや凹部22sの実際の長さは、各図に示す凸部21sや凹部22sの長さ(単位凸部長および単位凹部長)の整数倍の長さとなる。
この場合、この磁気ディスク10では、一例として、中心Oからの距離が等しい同一半径位置において、単位凸部長(凸部21sの回転方向に沿った長さ:図7,9に示す長さL5i,L5o)と、単位凹部長(凹部22sの回転方向に沿った長さ:図7,9に示す長さL6i,L6o)とが互いに等しい長さとなるように規定されている。また、この磁気ディスク10では、単位凸部長および単位凹部長が各環状領域A内において凹凸パターン20tの中心Oからの距離に比例してその内周側からその外周側に向けて徐々に長くなるように規定されている。したがって、この磁気ディスク10では、単位凸部長と単位凹部長との合計長(図6〜9に示す長さL7i,L7o:凸部21sの形成ピッチ、および凹部22sの形成ピッチ)が各環状領域A内において凹凸パターン20tの中心Oからの距離に比例してその内周側からその外周側に向けて徐々に長くなっている。このため、後述するように、この磁気ディスク10では、角速度一定の条件で回転させた際に、1つの環状領域A内においては、検出用クロック信号の周波数を変更することなく、サーボデータおよび記録データの読み出しや記録データの書き込みを実行することが可能となっている。
また、この磁気ディスク10では、図17に示すように、各環状領域A1〜A4(すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域Aおよび最外周の環状領域Aのいずれかまたは双方を除く環状領域A:この例では、すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域A(環状領域Az)を除く環状領域A)における最内周の単位凸部長が互いに等しい長さとなり、かつ、各環状領域A1〜A4における最内周の単位凹部長が互いに等しい長さ(この例では、単位凸部長および単位凹部長の双方が50.00nm)となっている。さらに、この磁気ディスク10では、各環状領域A1〜A4(すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域Aおよび最外周の環状領域Aのいずれかまたは双方を除く環状領域A:この例では、すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域A(環状領域Az)を除く環状領域A)における最外周の単位凸部長も互いに等しい長さとなり、かつ、各環状領域A1〜A4における最外周の単位凹部長も互いに等しい長さ(この例では、単位凸部長および単位凹部長の双方が60.00nm)となっている。したがって、この磁気ディスク10では、各環状領域A1〜A4における最内周の単位凸部長と最外周の単位凸部長との長さの差が10.00nmで、各環状領域A1〜A4における最内周の単位凹部長と最外周の単位凹部長との長さの差も10.00nmと非常に小さくなっている。
また、この磁気ディスク10では、各環状領域A1〜A4(すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域Aおよび最外周の環状領域Aのいずれかまたは双方を除く環状領域A:この例では、すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域A(環状領域Az)を除く環状領域A)における最内周の単位凸部長のうちの最も長い単位凸部長(この例では、各環状領域A1〜A4における最内周の互いに等しい単位凸部長である50.00nm)が各環状領域A1〜A4における最外周の単位凸部長のうちの最も短い単位凸部長(この例では、各環状領域A1〜A4における最外周の互いに等しい単位凸部長である60.00nm)よりも短く規定されている。同様にして、この磁気ディスク10では、各環状領域A1〜A4(すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域Aおよび最外周の環状領域Aのいずれかまたは双方を除く環状領域A:この例では、すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域A(環状領域Az)を除く環状領域A)における最内周の単位凹部長のうちの最も長い単位凹部長(この例では、各環状領域A1〜A4における最内周の互いに等しい単位凹部長である50.00nm)が各環状領域A1〜A4における最外周の単位凹部長のうちの最も短い単位凹部長(この例では、各環状領域A1〜A4における最外周の互いに等しい単位凹部長である60.00nm)よりも短く規定されている。
さらに、この磁気ディスク10では、すべての環状領域Az,A1〜A4における最内周の単位凸部長のうちの最も長い単位凸部長(この例では、環状領域Azにおける最内周の単位凸部長である56.55nm)がすべての環状領域Az,A1〜A4における最外周の単位凸部長のうちの最も短い単位凸部長(この例では、環状領域Az,A1〜A4における最外周の互いに等しい単位凸部長である60.00nm)よりも短く規定されている。同様にして、この磁気ディスク10では、すべての環状領域Az,A1〜A4における最内周の単位凹部長のうちの最も長い単位凹部長(この例では、環状領域Azにおける最内周の単位凹部長である56.55nm)がすべての環状領域Az,A1〜A4における最外周の単位凹部長のうちの最も短い単位凹部長(この例では、環状領域Az,A1〜A4における最外周の互いに等しい単位凹部長である60.00nm)よりも短く規定されている。
また、この磁気ディスク10では、各環状領域A1〜A4の単位凸部長の平均長(一例として、各環状領域Aにおける最内周の単位凸部長と最外周の単位凸部長との和を2で除した値)、および各環状領域A1〜A4の単位凹部長の平均長(一例として、各環状領域Aにおける最内周の単位凹部長と最外周の単位凹部長との和を2で除した値)が互いに等しい長さ(この例では、55.00nm)となっている。このため、この磁気ディスク10では、単位凸部長の環状領域A内における平均長を中心Oからその環状領域Aまでの距離(一例として、その環状領域Aの最内周部と中心Oとの間の距離)で除した値、および、単位凹部長の環状領域A内における平均長を中心Oからその環状領域Aまでの距離で除した値が、内周側の環状領域Aから外周側の環状領域Aに向かうほど小さくなっている。
また、最内周の単位凸部長が環状領域A1〜A4において互いに等しくなるように規定されると共に、最外周の単位凸部長が環状領域A1〜A4において互いに等しくなるように規定されているこの磁気ディスク10では、環状領域Aの最内周における単位凸部長に対する環状領域Aの最外周における単位凸部長の比が各環状領域A1〜A4(すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域Aおよび最外周の環状領域Aのいずれかまたは双方を除く環状領域A:この例では、すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域A(環状領域Az)を除く環状領域A)において等しい比(この例では、1:1.2)となっている。同様にして、最内周の単位凹部長が環状領域A1〜A4において互いに等しくなるように規定されると共に、最外周の単位凹部長が環状領域A1〜A4において互いに等しくなるように規定されているこの磁気ディスク10では、環状領域Aの最内周における単位凹部長に対する環状領域Aの最外周における単位凹部長の比も各環状領域A1〜A4(すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域Aおよび最外周の環状領域Aのいずれかまたは双方を除く環状領域A:この例では、すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域A(環状領域Az)を除く環状領域A)において等しい比(この例では、1:1.2)となっている。
この場合、最内周の環状領域Azにおいては、環状領域Azの最内周における単位凸部長が環状領域A1〜A4の最内周における単位凸部長のうちの最も短い長さ以上の長さで、環状領域Azの最外周における単位凸部長が環状領域A1〜A4の最外周における単位凸部長のうちの最も長い長さ以下の長さとなるように単位凸部長が規定されると共に、環状領域Azの最内周における単位凹部長が環状領域A1〜A4の最内周における単位凹部長のうちの最も短い長さ以上の長さで、環状領域Azの最外周における単位凹部長が環状領域A1〜A4の最外周における単位凹部長のうちの最も長い長さ以下の長さとなるように単位凹部長が規定されている。具体的には、最内周の環状領域Azにおいては、一例として、その最外周の単位凸部長および単位凹部長が各環状領域A1〜A4における最外周の単位凸部長および単位凹部長と等しい60.00nmとなり、その最内周の単位凸部長および単位凹部長が各環状領域A1〜A4における最内周の単位凸部長および単位凹部長よりも長い56.55nmとなっている。
また、環状領域Azにおける単位凸部長の平均長(58.28nm)、および単位凹部長の平均長(58.28nm)を中心Oからの距離(10.00mm)で除した値(5.83)は、その外周側の環状領域A1における単位凸部長の平均長(55.00nm)、および単位凹部長の平均長(55.00nm)を中心Oからの距離(10.61mm)で除した値(5.18)よりも大きくなっている。なお、各環状領域A内の単位凸部長および単位凹部長についての数値例は、一例として、サーボパターン領域Asにおけるプリアンブルパターンの形成領域における凸部21sおよび凹部22sの回転方向に沿った長さである。
このように、この磁気ディスク10では、各環状領域Az,A1〜A4のすべてにおいて最も長い単位凸部長(この例では、各環状領域Az,A1〜A4における最外周の単位凸部長である60.00nm)と、各環状領域Az,A1〜A4のすべてにおいて最も短い単位凸部長(この例では、各環状領域A1〜A4における最内周の単位凸部長である50.00nm)との長さの差が10.00nmと非常に小さくなっている。同様にして、この磁気ディスク10では、各環状領域Az,A1〜A4のすべてにおいて最も長い単位凹部長(この例では、各環状領域Az,A1〜A4における最外周の単位凹部長である60.00nm)と、各環状領域Az,A1〜A4のすべてにおいて最も短い単位凹部長(この例では、各環状領域A1〜A4における最内周の単位凹部長である50.00nm)との長さの差が10.00nmと非常に小さくなっている。
一方、スピンドルモータ2は、制御部8の制御下で磁気ディスク10を一例として3600rpm程度の回転数で定速回転させる。磁気ヘッド3は、図1に示すように、スイングアーム3aを介してアクチュエータ3bに取り付けられて磁気ディスク10に対する記録データの記録再生時において磁気ディスク10上を移動させられる。また、磁気ヘッド3は、磁気ディスク10の各環状領域Aにおけるサーボパターン領域Asからのサーボデータの読み出しと、各環状領域Aにおけるデータトラックパターン領域At(凸部21t,21t・・)に対する記録データの磁気的な書き込みと、各環状領域Aにおけるデータトラックパターン領域Atに磁気的に書き込まれている記録データの読み出しとを実行する。なお、磁気ヘッド3は、実際には磁気ディスク10に対して磁気ヘッド3を浮上させるためのスライダの底面(エアベアリング面)に形成されているが、このスライダについての説明および図示を省略する。アクチュエータ3bは、制御部8の制御下でドライバ7から供給される駆動電流によってスイングアーム3aをスイングさせることにより、磁気ヘッド3を磁気ディスク10上の任意の記録再生位置に移動させる。
信号変換部4は、アンプ、LPF(Low Pass Filter)およびA/D変換器等(図示せず)を備え、磁気ヘッド3によって磁気ディスク10から取得された各種信号を増幅してノイズを除去した後にA/D変換して出力する。ROM9は、制御部8が出力すべき読み出し周波数情報についてのクロックデータDclを各環状領域A毎に記憶している。この場合、制御部8は、後述するように、クロックデータDclに基づき、一例として、1つの環状領域A内では周波数を変化させず、かつ、凹凸パターン20tの中心Oから離れている環状領域A内の記録トラックにオントラックさせるときほど周波数が高くなるように読み出し周波数情報の周波数を変化させて検出用クロック出力部5に出力する。検出用クロック出力部5は、制御部8がクロックデータDclに基づいて出力する読み出し周波数情報を取得すると共に、信号変換部4から出力されたデジタルデータのうちから、磁気ヘッド3を介して各環状領域Aのサーボパターン領域Asから読み出されたプリアンブル用のデータ(信号)を取得(検出)する。また、検出用クロック出力部5は、読み出し周波数情報とプリアンブル用のデータとに基づいて位相や周波数等の調整を行うことにより、実際のサーボデータ検出時に使用される検出用クロックClsを生成してサーボデータ検出部6に出力する。
この場合、この磁気ディスク10では、前述したように、環状領域A1〜A4における最内周の単位凸部長および単位凹部長が互いに等しく、かつ環状領域A1〜A4における最外周の単位凸部長および単位凹部長が互いに等しくなるように(環状領域Azにおいては、最外周の単位凸部長および単位凹部長が環状領域A1〜A4の最外周の単位凸部長および単位凹部長と等しくなるように)サーボパターン領域Asに凹凸パターン20sが形成されている。このため、磁気ディスク10を角速度一定の回転速度で定速回転させたときには、磁気ヘッド3の下方を単位凸部長の凸部21sおよび単位凹部長の凹部22sが通過させられる時間が外周側の環状領域Aほど短時間となる。したがって、制御部8は、一例として、磁気ディスク10が3600rpm程度で定速回転させられている状態において、磁気ヘッド3が環状領域Az内の記録トラック(凸部21t)にオントラックさせられているときには、33.3MHzの読み出し周波数情報を出力し、磁気ヘッド3が環状領域A1内の記録トラックにオントラックさせられているときには、40.0MHzの読み出し周波数情報を出力し、磁気ヘッド3が環状領域A2内の記録トラックにオントラックさせられているときには、48.0MHzの読み出し周波数情報を出力し、環状領域A3内の記録トラックにオントラックさせられているときには、57.6MHzの読み出し周波数情報を出力し、環状領域A4内の記録トラックにオントラックさせられているときには、69.1MHzの読み出し周波数情報を出力する。
サーボデータ検出部6は、検出用クロック出力部5から出力された検出用クロックClsに同期して読み込むことにより、信号変換部4から出力されたデジタルデータからサーボデータDsを取得(検出)して制御部8に出力する。ドライバ7は、制御部8からの制御信号に従ってアクチュエータ3bを制御して磁気ヘッド3を所望の記録トラック(凸部21t)にオントラックさせる。制御部8は、ハードディスクドライブ1を総括的に制御する。また、制御部8は、サーボデータ検出部6から出力されるヘッド位置情報に基づいて磁気ヘッド3が磁気ディスク10上の内周側の各環状領域Azから外周側の各環状領域A4までの間のいずれの環状領域A内の記録トラックにオントラックしているかを特定すると共に、所望の磁気ヘッド3の位置(磁気ヘッド3を移動させようとする環状領域Aおよび記録トラックの位置)に応じて、環状領域A毎に予め規定されてROM9に記憶させられているクロックデータDcl(周波数変更条件についてのデータ)に応じて前述したように読み出し周波数情報の周波数を変化させて検出用クロック出力部5に出力する。さらに、制御部8は、サーボデータ検出部6から出力されたサーボデータDsに基づいてドライバ7を制御する。
次に、磁気ディスク10の製造方法、および使用方法について、図面を参照して説明する。
まず、ガラス基板11の上にCoZrNb合金をスパッタリングすることによって軟磁性層12を形成した後に、軟磁性層12の上に中間層形成用材料をスパッタリングすることによって中間層13を形成する。次いで、中間層13の上にCoCrPt合金をスパッタリングすることによって厚みが15nm程度の磁性層14を形成する。続いて、磁性層14の上に、例えば、スパッタリング法によって厚み12nm程度のC(炭素)マスク層17を形成すると共に、Cマスク層17の上にスパッタリング法によって厚み4nm程度のSiマスク層18を形成する。次いで、Siマスク層18の上にポジ型の電子線レジストをスピンコートして厚みが130nm程度の樹脂層19(マスク形成用機能層)を形成する。これにより、図10に示すように、磁気ディスク10を製造するための中間体30が完成する。次いで、本発明に係るスタンパーの一例であるスタンパー35(図16参照)を用いたインプリント法によって中間体30の樹脂層19に凹凸パターン41を形成する。
この場合、図16に示すように、スタンパー35は、磁気ディスク10における凹凸パターン20(凹凸パターン20t,20s)とは凹凸位置関係が反転している凹凸パターン39が形成されている。なお、スタンパー35の凹凸パターン39は、凸部39a,39a・・が磁気ディスク10の凹凸パターン20における凹部22,22・・に対応し、凹部39b,39b・・が凹凸パターン20における凸部21,21・・に対応して形成されている。このため、このスタンパー35では、凸部39aの回転方向に沿った長さが凹凸パターン20における凹部22の回転方向に沿った長さとほぼ等しく、かつ凹部39bの回転方向に沿った長さが凹凸パターン20における凸部21の回転方向に沿った長さとほぼ等しくなっている。
また、このスタンパー35では、凹凸パターン39において磁気ディスク10における凹凸パターン20t(データトラックパターン)に対応する部位の凹部39bおよび凸部39aが同心円状または螺旋状となるように形成されている。さらに、このスタンパー35では、凹凸パターン39において磁気ディスク10における凹凸パターン20t,20s(データトラックパターンおよびサーボパターン)に対応する部位が、磁気ディスク10の環状領域Az,A1〜A4に対応して、上記の凹凸パターン20t(同心円状または螺旋状となるように形成された凹部39bおよび凸部39a)と同心の5つの環状領域に区分けされている。この場合、上記の各環状領域のうちの磁気ディスク10における環状領域A1〜A4(すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域Aおよび最外周の環状領域Aのいずれかまたは双方を除く環状領域A:この例では、すべての環状領域Aのうちの最内周の環状領域Azを除く環状領域A:本発明における第1の環状領域)に対応する環状領域における半径方向に沿った長さは、磁気ディスク10の環状領域A1〜A4の半径方向に沿った長さに対応して外周側の環状領域ほど長くなるように規定されている。
また、このスタンパー35では、「磁気ディスク10の環状領域A1に対応する環状領域の半径方向の長さ」に対する「環状領域A2に対応する環状領域の半径方向の長さ」の比と、「環状領域A2に対応する環状領域の半径方向の長さ」に対する「環状領域A3に対応する環状領域の半径方向の長さ」の比と、「環状領域A3に対応する環状領域の半径方向の長さ」に対する「環状領域A4に対応する環状領域の半径方向の長さ」の比とが互いに等しい比率となっている。さらに、このスタンパー35では、「磁気ディスク10における単位凸部長に対応する凹部39bの長さ」、および「磁気ディスク10における単位凹部長に対応する凸部39aの長さ」が上記の各環状領域内において凹凸パターン20sに対応するパターンの中心からの距離に比例して環状領域の内周側から環状領域の外周側に向かうほど長くなっている。
また、このスタンパー35では、「磁気ディスク10における単位凸部長に対応する凹部39bの各環状領域内における平均長」を凹凸パターン20sに対応するパターンの中心から環状領域までの距離で除した値と、「磁気ディスク10における単位凹部長に対応する凸部39aの各環状領域内における平均長」を凹凸パターン20sに対応するパターンの中心から環状領域までの距離で除した値とが内周側の環状領域よりも外周側の環状領域ほど小さくなるように各環状領域毎に「単位凸部長に対応する凹部39bの長さ」、および「単位凹部長に対応する凸部39aの長さ」が規定されている。さらに、このスタンパー35では、上記の各環状領域のうちの環状領域A1〜A4に対応するすべての環状領域において、環状領域の最内周における「単位凸部長に対応する凹部39bの長さ」に対する環状領域の最外周における「単位凸部長に対応する凹部39bの長さ」の比が互いに等しい比となるように「単位凸部長に対応する凹部39bの長さ」が規定されると共に、環状領域の最内周における「単位凹部長に対応する凸部39aの長さ」に対する環状領域の最外周における「単位凹部長に対応する凸部39aの長さ」の比が互いに等しい比となるように「単位凹部長に対応する凸部39aの長さ」が規定されている。
さらに、このスタンパー35では、上記の各環状領域のうちの環状領域A1〜A4に対応するすべての環状領域において、環状領域の最外周における「単位凸部長に対応する凹部39bの長さ」が互いに等しい長さとなるように「単位凸部長に対応する凹部39bの長さ」が規定されると共に、環状領域の最外周における「単位凹部長に対応する凸部39aの長さ」が互いに等しい長さとなるように「単位凹部長に対応する凸部39aの長さ」が規定されている。また、このスタンパー35では、上記の各環状領域のうちの環状領域A1〜A4に対応するすべての環状領域において、環状領域の最内周における「単位凸部長に対応する凹部39bの長さ」が互いに等しい長さとなるように「単位凸部長に対応する凹部39bの長さ」が規定されると共に、環状領域の最内周における「単位凹部長に対応する凸部39aの長さ」が互いに等しい長さとなるように「単位凹部長に対応する凸部39aの長さ」が規定されている。
また、このスタンパー35では、上記の各環状領域のうちの環状領域Azに対応する環状領域の最内周における「単位凸部長に対応する凹部39bの長さ」が環状領域A1〜A4に対応する環状領域の最内周における「単位凸部長に対応する凹部39bの長さのうちの最も短い長さ以上の長さ」で、環状領域Azに対応する環状領域の最外周における「単位凸部長に対応する凹部39bの長さ」が環状領域A1〜A4に対応する環状領域の最外周における「単位凸部長に対応する凹部39bのうちの最も長い長さ以下の長さ」となるように「単位凸部長に対応する凹部39bの長さ」が規定されている。さらに、このスタンパー35では、上記の各環状領域のうちの環状領域Azに対応する環状領域の最内周における「単位凹部長に対応する凸部39aの長さ」が環状領域A1〜A4に対応する環状領域の最内周における「単位凹部長に対応する凸部39aの長さのうちの最も短い長さ以上の長さ」で、環状領域Azに対応する環状領域の最外周における「単位凹部長に対応する凸部39aの長さ」が環状領域A1〜A4に対応する環状領域の最外周における「単位凹部長に対応する凸部39aの長さのうちの最も長い長さ以下の長さ」となるように「単位凹部長に対応する凸部39aの長さ」が規定されている。なお、このスタンパー35の製造方法については、特に限定されず、公知の各種製造方法によって製造することができる。
このスタンパー35を用いた磁気ディスク10の製造に際しては、図16に示すように、まず、中間体30の樹脂層19にスタンパー35の凹凸パターン39をインプリント法によって転写する。具体的には、スタンパー35における凹凸パターン39の形成面を中間体30の樹脂層19に押し付けることにより、凹凸パターン39の凸部39a,39a・・を中間体30の樹脂層19に押し込む。
この際に、スタンパー35を用いて製造する磁気ディスク10では、前述したように、各環状領域A1〜A4における最内周の単位凹部長が互いに等しい長さとなり、かつ、各環状領域A1〜A4における最外周の単位凹部長も互いに等しい長さとなっているため、各環状領域A1〜A4における最内周の単位凹部長と最外周の単位凹部長との長さの差が非常に小さくなっている。また、スタンパー35を用いて製造する磁気ディスク10では、最内周の環状領域Azにおいては、その最外周の単位凸部長および単位凹部長が各環状領域A1〜A4における最外周の単位凸部長および単位凹部長と等しい長さに規定されている。したがって、磁気ディスク10の凹凸パターン20に対応する凹凸パターン39を有するスタンパー35では、各凸部39aの回転方向に沿った長さのうちの最長の長さと最短の長さとの差が非常に小さくなっている。このため、スタンパー35の全域に亘ってほぼ均等な押圧力で樹脂層19に押し付けることにより、スタンパー35の各凸部39aが樹脂層19に対して同程度だけ十分に押し込まれる。これにより、いずれかの凸部39aの押し込み部位だけに厚手の残渣が生じる事態が回避される。
次いで、中間体30からスタンパー35を剥離し、さらに、底面に残存する樹脂(残渣:図示せず)を酸素プラズマ処理によって除去する。これにより、図12に示すように、中間体30におけるSiマスク層18の上に凹凸パターン41が形成される。この際に、上記したように、各凸部39aの押し込み部位において残渣の厚みがほぼ一定となっているため、中間体30の全域に対して同様の条件に従って酸素プラズマ処理を実行することで、中間体30の全域においてほぼ同じ処理時間内で残渣の除去が完了する。これにより、いずれかの凸部39aの押し込み部位だけで凹部42bの内壁面が浸食されてその回転方向の長さ(開口長)が拡がる事態が回避されるため、各凹部42bが所望の開口幅に形成される。
続いて、凹凸パターン41(樹脂層19)をマスクとして用いてアルゴン(Ar)ガスによるイオンビームエッチング処理を行うことにより、凹凸パターン41における凹部41b,41b・・の底部においてマスク(凸部41a,41a・・)から露出しているSiマスク層18をエッチングして、図13に示すように、Siマスク層18に凹凸パターン42(Siマスクパターン)を形成する。次いで、凹凸パターン42をマスクとして用いて酸素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング処理を行うことにより、凹凸パターン42における凹部42b,42b・・の底部においてマスク(凸部42a,42a・・)から露出しているCマスク層17をエッチングして、図14に示すように、Cマスク層17に凹凸パターン43(Cマスクパターン)を形成する。この際に、上記したように、凹凸パターン42の各凹部42bが所望の開口幅に形成されているため、凹凸パターン42を用いて形成した凹凸パターン43における凹部43bも所望の開口幅に形成される。
次いで、凹凸パターン43をマスクとして用いて、アルゴン(Ar)ガスによるイオンビームエッチング処理を行う。これにより、図15に示すように、磁性層14においてマスクパターンによって覆われていた部位(凹凸パターン43の凸部43a,43a・・によって覆われていた部位)が凸部21,21・・となり、マスクパターンから露出していた部位(凹凸パターン43の凹部43b,43b・・の底部において露出していた部位)が凹部22,22・・となって中間層13の上に凹凸パターン20(凹凸パターン20s,20t)が形成される。この際に、上記したように、凹凸パターン43の各凹部43bが所望の開口幅に形成されているため、凹凸パターン43を用いて形成した凹凸パターン20における凹部22も所望の開口幅に形成される。
また、上記したように、磁気ディスク10では、各環状領域A1〜A4における最内周の凹部22siの長さL6iと、各環状領域A1〜A4における最外周の凹部22soの長さL6oとの差が非常に小さくなっており、しかも、各環状領域A1〜A4内における凹部22sの平均長が各環状領域A1〜A4の全領域において等しくなるように規定されている。また、環状領域A1よりも内周側の環状領域Azは、その最外周の凹部22soの長さ(単位凹部長)が各環状領域A1〜A4における最外周の凹部22soの長さ(単位凹部長)と等しい長さとなっており、かつ、環状領域Azにおける最内周の凹部22siの長さ(単位凹部長)が、各環状領域A1〜A4における最内周の凹部22siの長さ以上の長さで各環状領域A1〜A4における最外周の凹部22soの長さ以下の長さとなっている。したがって、各凹部22sの深さが大きくばらつくことなく、ほぼ一定の深さとなるように形成される。続いて、凸部21,21・・の上に残存しているCマスク層17(Cマスクパターン)に対して酸素ガスを反応ガスとする反応性イオンエッチング処理を行うことにより、凸部21,21・・の上面を露出させる(残存しているCマスク層17を除去する)。
次いで、例えば150W程度のバイアス電力を中間体30に印加しつつ、アルゴン(Ar)ガスの圧力を例えば0.3Paに設定して非磁性材料15としてのSiOをスパッタリングする。この際には、非磁性材料15によって凹部22,22・・を完全に埋め尽くし、かつ、凸部21,21・・の上面に例えば厚みが60nm程度の非磁性材料15の層が形成されるように非磁性材料15を十分にスパッタリングする。この場合、中間体30に対してバイアス電力を印加した状態で非磁性材料15をスパッタリングすることにより、表面が大きく凹凸することなく非磁性材料15の層が形成される。続いて、アルゴン(Ar)ガスの圧力を例えば0.04Paに設定すると共に、中間体30(非磁性材料15の層)の表面に対するイオンビームの入射角度を2度に設定した状態で磁性層14の上(凸部21,21・・の上、凹部22,22の上、および凹部22,22の内部)の非磁性材料15の層をイオンビームエッチング処理する。
この場合、上記したように、磁気ディスク10では、各環状領域A1〜A4における最内周の凸部21siの長さL5iと、各環状領域A1〜A4における最外周の凸部21soの長さL5oとの差が非常に小さくなっており、しかも、各環状領域A1〜A4内における凸部21sの平均長が各環状領域A1〜A4の全領域において等しくなるように規定されている。また、環状領域A1よりも内周側の環状領域Azは、その最外周の凸部21soの長さ(単位凸部長)が各環状領域A1〜A4における最外周の凸部21soの長さ(単位凸部長)と等しい長さとなっており、かつ、環状領域Azにおける最内周の凸部21siの長さ(単位凸部長)が、各環状領域A1〜A4における最内周の凸部21siの長さ以上の長さで各環状領域A1〜A4における最外周の凸部21soの長さ以下の長さとなっている。
したがって、非磁性材料15をイオンビームエッチング処理する際に、一例として、環状領域A1においてその外周側の各凸部21so,21so・・の上面が非磁性材料15から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続することで、環状領域A1内の各凸部21si,21si・・の上面が非磁性材料15から露出すると共に、環状領域A1よりも外周側の環状領域A2〜A4や環状領域A1よりも内周側の環状領域Azにおいても、その外周側の各凸部21so,21so・・の上面およびその内周側の各凸部21si,21si・・の上面が非磁性材料15から露出する(内周側から外周側の各環状領域Aにおいて、その内周側から外周側までのすべての凸部21sがほぼ同時に非磁性材料15から露出する)。
このため、磁気ディスク10の製造に際しては、上記のエッチング条件で非磁性材料15をエッチング処理することにより、各環状領域Aに亘って凸部21s,21s・・上の残留物(非磁性材料15)の除去がほぼ同じ処理時間内で完了する。これにより、非磁性材料15の層に対するイオンビームエッチング処理が完了して中間体30の表面が平坦化される。続いて、中間体30の表面を覆うようにしてCVD法によってダイヤモンドライクカーボン(DLC)の薄膜を成膜することによって保護層16を形成した後に、保護層16の表面にフッ素系の潤滑剤を平均厚さが例えば2nm程度となるように塗布する。これにより、図2に示すように、磁気ディスク10が完成する。
この磁気ディスク10では、上記したように、磁気ディスク10の全域に亘って(すべての環状領域Aにおいて)各凸部21s,21s・・の上の残留物(非磁性材料15)が同様に除去されているため、磁気ディスク10の表面における凹凸の高低差(環状領域Aにおける最内周での高低差Hiおよび最外周での高低差Ho:図7,9参照)が磁気ディスク10の全域(すべての環状領域A)においてほぼ均一となる。具体的には、例えば環状領域A1における内周側サーボパターン領域Asiの磁気ディスク10の表面の凹凸度合い、すなわち、表面粗さRaが0.7nm程度で、環状領域A1における外周側サーボパターン領域Asoの磁気ディスク10の表面粗さRaが0.8nm程度となった(その他の環状領域Aにおいても、内周側サーボパターン領域Asiの表面粗さRa、および外周側サーボパターン領域Asoの表面粗さRaが0.7〜0.8nm程度となった)。したがって、磁気ディスク10の内周側から外周側までの各環状領域Aにおいて磁気ヘッド3(スライダ)の浮上量がほぼ一定となって、安定した記録再生が可能となる。なお、上記の表面粗さRaを測定した磁気ディスク10は、一例として、回転方向に沿った長さが単位凸部長の凸部21s、回転方向に沿った長さが単位凸部長の2倍の長さの凸部21s、回転方向に沿った開口長が単位凹部長の凹部22s、および回転方向に沿った開口長が単位凹部長の2倍の長さの凹部22sによって各サーボパターン領域As内にアドレスパターン等が記録されている。
また、この磁気ディスク10を搭載したハードディスクドライブ1では、各環状領域A毎に予め規定された読み出し周波数情報に基づいて制御部8がサーボデータ検出部6を制御して磁気ディスク10からサーボパターンに対応付けられているサーボデータDsを読み出す。したがって、例えば、磁気ディスク10の内周側の環状領域Azから外周側の環状領域A4まで磁気ヘッド3をシーク動作させる際における読み出し周波数情報の周波数切替え処理の回数を4回だけに止めることができる。これにより、シーク動作を短時間で実行することができるため、データアクセスを高速に行うことができる。また、読み出し周波数情報として環状領域Aの数(この例では5つ)に対応する種類の周波数情報を出力できればよいため、簡易な構成の制御部(検出用クロック出力部5および制御部8)によってトラッキングサーボを行うことが可能となっている。
この場合、このハードディスクドライブ1では、各環状領域Aのうちのいずれかに磁気ヘッド3が位置している状態において、他の環状領域Aに磁気ヘッド3を移動させる際に、制御部8が、まず、磁気ヘッド3が位置している記録トラックと、磁気ヘッド3を移動させるべき記録トラックとを特定して、磁気ヘッド3を移動させるべき距離を演算する。この際に、制御部8は、磁気ディスク10の記録トラックのトラックピッチと、磁気ヘッド3を移動させるべきトラック数(磁気ヘッド3が横切るべきトラック数)とに基づいて上記の距離を演算する。次いで、制御部8は、予め規定された駆動電流プロファイルテーブルに従って、磁気ヘッド3を所望の距離だけ移動させるのに必要なVCM駆動電流を特定し、ドライバ7を制御して、特定したVCM駆動電流をアクチュエータ3bに対して出力させる。これにより、アクチュエータ3bがスイングアーム3aを所定量だけスイングさせ、磁気ヘッド3が所定の記録トラックに移動させられる。この際に、制御部8は、検出用クロック出力部5を制御して、磁気ヘッド3を移動させた環状領域Aに対応する検出用クロックClsをサーボデータ検出部6に出力させる。これにより、移動後の環状領域Aにおいて、検出用クロックClsに基づいてサーボデータDsが読み出される。
このように、この磁気ディスク10では、単位凸部長(凸部21sの回転方向に沿った長さ)および単位凹部長(凹部22の回転方向に沿った長さ)が環状領域A内においてデータトラックパターンの中心Oからの距離に比例して環状領域Aの内周側から環状領域Aの外周側に向かうほど長くなり、かつ、単位凸部長の各環状領域A内における平均長をデータトラックパターンの中心Oから環状領域Aまでの距離で除した値と、単位凹部長の各環状領域A内における平均長をデータトラックパターンの中心Oから環状領域Aまでの距離で除した値とが内周側の環状領域Aよりも外周側の環状領域Aほど小さくなるように各環状領域A毎に単位凸部長および単位凹部長が規定されると共に、各環状領域A1〜A3(第1の環状領域)における半径方向に沿った長さL1〜L3が外周側の環状領域Aほど長く規定されている。
また、この磁気ディスク10では、単位凸部長(凸部21sの回転方向に沿った長さ)および単位凹部長(凹部22の回転方向に沿った長さ)が環状領域A内においてデータトラックパターンの中心Oからの距離に比例して環状領域Aの内周側から環状領域Aの外周側に向かうほど長くなり、かつ、単位凸部長の各環状領域A内における平均長をデータトラックパターンの中心Oから環状領域Aまでの距離で除した値と、単位凹部長の各環状領域A内における平均長をデータトラックパターンの中心Oから環状領域Aまでの距離で除した値とが内周側の環状領域Aよりも外周側の環状領域Aほど小さくなるように各環状領域A毎に単位凸部長および単位凹部長が規定されると共に、各環状領域A1〜A4(第1の環状領域)は、半径方向に沿った長さL1〜L4が外周側の環状領域Aほど長く規定され、環状領域Az(第2の環状領域)は、環状領域Azの最内周における単位凸部長が環状領域A1〜A4の最内周における単位凸部長のうちの最も短い長さ以上の長さで環状領域Azの最外周における単位凸部長が環状領域A1〜A4の最外周における単位凸部長のうちの最も長い長さ以下の長さとなるように単位凸部長が規定されると共に、環状領域Azの最内周における単位凹部長が環状領域A1〜A4の最内周における単位凹部長のうちの最も短い長さ以上の長さで環状領域Azの最外周における単位凹部長が環状領域A1〜A4の最外周における単位凹部長のうちの最も長い長さ以下の長さとなるように単位凹部長が規定されている。
さらに、このハードディスクドライブ1では、上記の磁気ディスク10と、サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部8とを備えている。
したがって、この磁気ディスク10およびハードディスクドライブ1によれば、各環状領域Axの半径方向の長さLxが互いに等しくなるように規定されていることで内周側の環状領域Axにおける最内周の単位凸部長や単位凹部長が他の部位の単位凸部長や単位凹部長よりも短くなる傾向がある磁気ディスク10axや、内周側の環状領域Axにおける最外周の単位凸部長や単位凹部長が他の部位の単位凸部長や単位凹部長よりも長くなる傾向がある磁気ディスク10bxと比較して、内周側の環状領域A1から外周側の環状領域A4までの全域において最も短い単位凸部長と、環状領域A1から環状領域A4までの全域において最も長い単位凸部長との長さの差を十分に小さくすることができると共に、環状領域A1から環状領域A4までの全域において最も短い単位凹部長と、環状領域A1から環状領域A4までの全域において最も長い単位凹部長との長さの差を十分に小さくすることができる。
このため、この磁気ディスク10およびハードディスクドライブ1によれば、インプリント法によって製造する際にスタンパー35の各凸部39aをマスクパターン形成用の樹脂層19に対して全域に亘ってほぼ均等に押し込むことができるため、残渣の取り除き時にいずれかの凹部41bの開口長が所望の開口長とは相違する開口長となる事態を回避することができる。したがって、この磁気ディスク10およびハードディスクドライブ1によれば、所望の開口長となっている凹部41bを有する凹凸パターン41(マスクパターン)を用いて製造することができるため、サーボパターン用(凹凸パターン20s)の凹部22sの開口長を所望の開口長とすることができる結果、サーボデータを正常に読み出すことができる。
また、この磁気ディスク10およびハードディスクドライブ1によれば、凹凸パターン43をマスクとして用いてエッチング処理を行うことで凹凸パターン20(凹凸パターン20s,20t)を形成する際に、開口面が広い凹部22と開口面が狭い凹部22との開口面の広さの差を十分に小さくすることができるため、形成される凹部22sのいずれかが過剰に深くなる事態を回避することができる。また、各凸部21,21・・を覆うようにして形成した非磁性材料15の層をエッチング処理する際に、非磁性材料15の層の下方に存在する凹凸パターン20の突端面が広い凸部21と突端面が狭い凸部21との突端面の広さの差を十分に小さくすることができるため、内周側の環状領域A1における最外周の凸部21s上の残留物の厚みとそのほかの部位に形成された凸部21s上の残留物の厚みとの差が大きくなる事態を回避することができる。また、内周側の環状領域A1から外周側の環状領域A4までの全域において各凸部21s,21s・・の上に残留物(非磁性材料15)が存在しないように非磁性材料15をエッチング処理したときに、例えば内周側の環状領域A1内の内周側において平坦性が悪化したり、凸部21s(磁性材料)が過剰にエッチングされたりする事態を招くことなく各凸部21s,21s・・の上の残留物を取り除くことができる。したがって、磁気ディスク10の平坦性を環状領域A1〜A4の全域に亘って良好に維持することができる。このため、環状領域A1〜A4内において、磁気ディスク10に対する磁気ヘッド3の浮上量をほぼ同等に維持することができる結果、この磁気ディスク10を搭載したハードディスクドライブ1によれば、安定した記録再生を実行することができる。
さらに、単位凸部長および単位凹部長が環状領域A内において中心Oからの距離に比例して環状領域Aの内周側からその環状領域Aの外周側に向かうほど長くなるように規定されているこの磁気ディスク10およびハードディスクドライブ1によれば、単位凸部長と単位凹部長との合計長(すなわち、凸部21sの形成ピッチ、および凹部22sの形成ピッチ)が中心Oからの距離に比例して環状領域A内においてその内周側からその外周側に向かうほど長くなるため、磁気ディスク10を角速度一定の条件で回転させつつサーボパターン領域AsからサーボデータDsを読み出す際に使用されるクロックの基準となる周波数情報(読み出し周波数情報)を一つの環状領域A内において変化させることなく、環状領域Aにおける最内周から最外周までの全域においてサーボパターン領域AsからサーボデータDsを確実に読み出す(検出する)ことができる。
また、この磁気ディスク10およびハードディスクドライブ1によれば、環状領域A1〜A4の最内周における単位凸部長に対する環状領域A1〜A4の最外周における単位凸部長の比をすべての環状領域A1〜A4において等しい比となるように単位凸部長を規定すると共に、環状領域A1〜A4の最内周における単位凹部長に対する環状領域A1〜A4の最外周における単位凹部長の比をすべての環状領域A1〜A4において等しい比となるように単位凹部長を規定したことにより、環状領域A1〜A4毎に平坦性にばらつきを生じさせることなく、内周側の環状領域A1から外周側の環状領域A4までのすべての環状領域Aにおける平坦性を一層良好に維持することができる。この結果、環状領域A1〜A4の全域において、磁気ディスク10に対する磁気ヘッド3の浮上量を一層均一に維持することができる。
さらに、この磁気ディスク10およびハードディスクドライブ1では、環状領域A1〜A4の最外周における単位凸部長をすべての環状領域A1〜A4において等しい長さとなるように単位凸部長を規定すると共に、環状領域A1〜A4の最外周における単位凹部長をすべての環状領域A1〜A4において等しい長さとなるように単位凹部長を規定している。また、この磁気ディスク10およびハードディスクドライブ1では、環状領域A1〜A4の最内周における単位凸部長をすべての環状領域A1〜A4において等しい長さとなるように単位凸部長を規定すると共に、環状領域A1〜A4の最内周における単位凹部長をすべての環状領域A1〜A4において等しい長さとなるように単位凹部長を規定している。したがって、この磁気ディスク10およびハードディスクドライブ1によれば、環状領域A1〜A4のすべてにおいて最も長い単位凸部長と環状領域A1〜A4のすべてにおいて最も短い単位凸部長との長さの差を一層小さくすることができると共に、環状領域A1〜A4のすべてにおいて最も長い単位凹部長と環状領域A1〜A4のすべてにおいて最も短い単位凹部長との長さの差を一層小さくすることができるため、磁気ディスク10の製造時における加工ばらつきを一層小さくできる結果、その平坦性を一層良好にすることができる。
また、磁気ディスク10を製造するためのスタンパー35によれば、磁気ディスク10における凹凸パターン20(凹凸パターン20t,20s)の凹部22,22・・に対応して形成された凸部39a,39a・・と、磁気ディスク10における凹凸パターン20の凸部21,21・・に対応して形成された凹部39b,39b・・とを有する凹凸パターン39を形成したことにより、例えば、電子線描画装置を用いて中間体30の樹脂層19に凹凸パターン20s,20tと平面形状が同じ露光パターンを描画して現像処理することで凹凸パターン41を形成する製造方法とは異なり、樹脂層19にスタンパー35の凹凸パターン39を押し付けるだけで凹凸パターン41を短時間で容易に形成することができる。また、1枚のスタンパー35によって多数の中間体30に凹凸パターン41を形成することができる。したがって、磁気ディスク10の製造コストを十分に低減することができる。さらに、所望の開口幅となるように形成された凹部42bを有する凹凸パターン42(エッチング処理用のマスクパターン)を形成することができる。
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、本発明における第1の環状領域に相当する環状領域A1〜A4の他に、本発明における第1の環状領域ではない環状領域Az(本発明における第2の環状領域:この例では、その最内周の単位凸部長および単位凹部長が環状領域A1〜A4における最内周の単位凸部長および単位凹部長とは相違する領域)を有する磁気ディスク10を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明における第1の環状領域(上記の例における環状領域A1〜A4)だけを有して本発明における第2の環状領域(上記の例における環状領域Az)を有さない構成を採用することもできる。
また、本発明における第2の環状領域に相当する環状領域Azを有する構成においても、環状領域Azの位置は、磁気ディスク10のように環状領域A1〜A4よりも内周側に限定されるものではない。具体的には、図18に示す磁気ディスク10aのように、本発明における第1の環状領域に相当する環状領域A1〜A4よりも外側(最外周部)に本発明における第1の環状領域ではない環状領域Az(第2の環状領域)を設ける構成を採用することができる。また、本発明における第1の環状領域に相当する環状領域A1〜A4よりも内周側および外周側の双方に本発明における第1の環状領域ではない環状領域Az(第2の環状領域)を設ける構成(図示せず)を採用することができる。
さらに、図19に示す磁気ディスク10bのように、本発明における第1の環状領域に相当する環状領域A1〜A4の間(この例では、環状領域A2と環状領域A3との間)に本発明における第1の環状領域ではない環状領域Az(第2の環状領域)を設ける構成を採用することができる。このように、本発明における第1の環状領域ではない環状領域Az(第2の環状領域)をいずれの位置に設けたとしても、本発明に係る情報記録媒体の条件に従って環状領域A1〜A4を規定すると共に、各環状領域A毎に本発明に係る情報記録媒体の条件に従って単位凸部長および単位凹部長を規定することで、上記の磁気ディスク10と同様の効果を奏することができる。なお、磁気ディスク10a,10bにおいて前述した磁気ディスク10と同一の機能を有する構成要素については同一の符号を付して重複する説明を省略する。
また、上記の磁気ディスク10,10a,10bでは、凹凸パターン20における各凸部21,21・・の基端部から突端部までが磁性材料(記録材料)で形成されているが、本発明はこれに限定されず、図20に示す磁気ディスク10cのように、ガラス基板11aに形成した凹凸パターンを覆うようにして磁性層14aを形成することにより、その表面が磁性層14aで形成された凸部21a,21a・・と底面が磁性層14aで形成された凹部22a,22a・・とによって凹凸パターン20aを構成することもできる。この場合、ガラス基板11aの凹凸パターンについては、前述した磁気ディスク10等における凹凸パターン20の形成方法と同様にして、例えば磁性層14のエッチングに際してマスクとして使用した凹凸パターン43を用いてガラス基板11aをエッチングすることで形成することができる。また、例えばスタンパー35と同様のスタンパーを用いたプレス成形や射出成形によってガラス基板11aに凹凸パターンを形成することもできる。
さらに、図21に示す磁気ディスク10dのように、各凸部21b,21b・・を構成する磁性層14bと各凸部21b,21b・・間の凹部22b,22b・・の底面を構成する磁性層14bを連続させて凹凸パターン20bを構成することもできる。また、本発明におけるサーボパターンは上記の例に限定されず、磁気ディスク10,10a,10bのサーボパターン領域Asにおける凹凸パターン20sの凹凸形状を反転させると共に、本発明における各種条件を満たすように単位凸部長および単位凹部長を規定してサーボパターンを形成することもできる。なお、図20,21では、磁気ディスク10c,10dの層構造についての理解を容易とするために、その表面が平坦となっている状態(凹凸していない状態)を図示しているが、実際には、その表面には、製造時に生じる極く小さな凹凸が存在する場合がある。
さらに、少なくとも突端部が磁性材料(記録材料)で形成された凸部21,21a,21bと、非磁性材料15(非記録材料)が埋め込まれた凹部22,22a,22bとで構成された凹凸パターン20,20a,20bを有する磁気ディスク10,10a〜10dについて説明したが、本発明に係る情報記録媒体の構成はこれに限定されない。具体的には、非記録材料(非磁性材料)で形成された凸部と、記録材料(磁性材料)が埋め込まれた凹部とで構成された凹凸パターン(図示せず)を備えて磁気ディスクを構成することもできる。このような構成を採用した場合であっても、本発明に係る情報記録媒体の条件に従って環状領域A1〜A4を規定すると共に、各環状領域A毎に本発明に係る情報記録媒体の条件に従って単位凸部長および単位凹部長を規定することで、上記の磁気ディスク10,10a〜10dと同様の効果を奏することができる。また、磁気ディスク10,10a〜10dは、垂直記録方式の磁気ディスクであるが、面内記録方式の磁気ディスクに本発明を適用することもできる。
また、スタンパー35を用いたインプリント法によって中間体30の樹脂層19に凹凸パターン41を形成して磁気ディスク10を製造する方法について説明したが、本発明に係る情報記録媒体の製造方法はこれに限定されない。具体的には、一例として、中間体30の樹脂層19に電子線描画装置を用いて電子ビームEBを照射することによって、図11に示すように、凹凸パターン20sおよび凹凸パターン20tと平面形状が同じ露光パターンを樹脂層19に描画し、その後に、露光パターンの描画が完了した樹脂層19を現像処理することによって、図12に示すように、Siマスク層18の上に凹凸パターン41(レジストパターン)を形成して磁気ディスクを製造する方法を採用することができる。
ハードディスクドライブ1の構成を示すブロック図である。 磁気ディスク10,10a,10bの層構造を示す断面図である。 磁気ディスク10の平面図である。 磁気ディスク10におけるサーボパターン領域Asの平面図である。 磁気ディスク10におけるサーボパターン領域Asの他の平面図である。 環状領域A内における内周側サーボパターン領域Asiの平面図である。 内周側サーボパターン領域Asiの断面図である。 環状領域A内における外周側サーボパターン領域Asoの平面図である。 外周側サーボパターン領域Asoの断面図である。 磁気ディスク10を製造するための中間体30の断面図である。 電子ビームEBを照射して樹脂層19に露光パターンを描画した状態の中間体30の断面図である。 スタンパー35の凹凸パターン39を樹脂層19に転写した状態の中間体30、および図11に示す状態の樹脂層19を現像処理した中間体30の断面図である。 凹凸パターン41をマスクとしてSiマスク層18をエッチング処理してCマスク層17の上に凹凸パターン42(Siマスク)を形成した状態の中間体30の断面図である。 凹凸パターン42をマスクとしてCマスク層17をエッチング処理して磁性層14の上に凹凸パターン43(Cマスク)を形成した状態の中間体30の断面図である。 凹凸パターン43をマスクとして磁性層14をエッチング処理して中間層13の上に凹凸パターン20を形成した状態の中間体30の断面図である。 樹脂層19にスタンパー35の凹凸パターン39を押し付けた(樹脂層19に凸部39a,39a・・を押し込んだ)状態の中間体30およびスタンパー35の断面図である。 磁気ディスク10における環状領域Az,A1〜A4の半径方向に沿った長さ、半径方向において隣接する環状領域Aの半径方向に沿った長さの比、中心Oからの距離毎の単位凸部長および単位凹部長、各環状領域A毎の単位凸部長および単位凹部長の平均長、単位凸部長および単位凹部長の平均長を中心Oからの距離で除した値、並びに、各環状領域A毎の読み出し周波数の一例について説明するための説明図である。 磁気ディスク10aにおけるサーボパターン領域Asの平面図である。 磁気ディスク10bにおけるサーボパターン領域Asの平面図である。 磁気ディスク10cの層構造を示す断面図である。 磁気ディスク10dの層構造を示す断面図である。 従来の磁気ディスク10xの平面図である。 磁気ディスク10xにおけるサーボパターン領域Asxの平面図である。 磁気ディスク10xにおける内周側サーボパターン領域Asxiの平面図である。 内周側サーボパターン領域Asxiの断面図である。 磁気ディスク10xにおける外周側サーボパターン領域Asxoの平面図である。 外周側サーボパターン領域Asxoの断面図である。 出願人が開発した磁気ディスク10axにおけるサーボパターン領域Asaxの平面図である。 出願人が開発した磁気ディスク10bxにおけるサーボパターン領域Asbxの平面図である。
符号の説明
1 ハードディスクドライブ
3 磁気ヘッド
6 サーボデータ検出部
8 制御部
10,10a〜10d 磁気ディスク
11,11a ガラス基板
14,14a,14b 磁性層
15 非磁性材料
17,18 マスク層
19 樹脂層
20,20a,20b,20s,20t,39 凹凸パターン
21,21a,21b,21s,21si,21so,21t,39a 凸部
22,22a,22b,22s,22si,22so,22t,39b 凹部
30 中間体
35 スタンパー
A1〜A4,Az 環状領域
As サーボパターン領域
Asi 内周側サーボパターン領域
Aso 外周側サーボパターン領域
At データトラックパターン領域
Cls 検出用クロック
Dcl クロックデータ
Ds サーボデータ
Hi,Ho 高低差
L1〜L4,Lz,L5i,L5o,L6i,L6o,L7i,L7o,L8i,L8o 長さ
O 中心

Claims (7)

  1. 少なくとも突端部が記録材料および非記録材料のいずれか一方で形成された複数の凸部を有する凹凸パターンによってデータトラックパターンおよびサーボパターンが基材の少なくとも一面側に形成されると共に当該凹凸パターンの各凹部に当該記録材料および当該非記録材料の他方が埋め込まれ、
    前記データトラックパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記各凸部および前記各凹部が同心円状または螺旋状となるように形成され、
    前記データトラックパターンおよび前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、当該データトラックパターンと同心の複数の環状領域に区分けされ、
    前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長および当該回転方向に沿った単位凹部長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど長くなり、かつ、当該単位凸部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値と、当該単位凹部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値とが内周側の当該環状領域よりも外周側の当該環状領域ほど小さくなるように当該各環状領域毎に当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定され、
    前記複数の環状領域は、最内周の当該環状領域と、最外周の当該環状領域と、前記最内周の環状領域および前記最外周の環状領域の間の複数の第1の環状領域とで構成され、
    前記第1の環状領域は、前記基材の半径方向に沿った長さが外周側の当該第1の環状領域ほど長く規定されている情報記録媒体。
  2. 少なくとも突端部が記録材料および非記録材料のいずれか一方で形成された複数の凸部を有する凹凸パターンによってデータトラックパターンおよびサーボパターンが基材の少なくとも一面側に形成されると共に当該凹凸パターンの各凹部に当該記録材料および当該非記録材料の他方が埋め込まれ、
    前記データトラックパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記各凸部および前記各凹部が同心円状または螺旋状となるように形成され、
    前記データトラックパターンおよび前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、当該データトラックパターンと同心の複数の環状領域に区分けされ、
    前記サーボパターンを構成する前記凹凸パターンは、前記基材の回転方向に沿った単位凸部長および当該回転方向に沿った単位凹部長が前記環状領域内において前記データトラックパターンの中心からの距離に比例して当該環状領域の内周側から当該環状領域の外周側に向かうほど長くなり、かつ、当該単位凸部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値と、当該単位凹部長の当該各環状領域内における平均長を当該データトラックパターンの中心から当該環状領域までの距離で除した値とが内周側の当該環状領域よりも外周側の当該環状領域ほど小さくなるように当該各環状領域毎に当該単位凸部長および当該単位凹部長が規定され、
    前記複数の環状領域は、第1の環状領域と、第2の環状領域とで構成され、
    前記第1の環状領域は、前記基材の半径方向に沿った長さが外周側の当該第1の環状領域ほど長く規定され、
    前記第2の環状領域は、当該第2の環状領域の最内周における前記単位凸部長が前記各第1の環状領域の最内周における前記単位凸部長のうちの最も短い長さ以上の長さで当該第2の環状領域の最外周における前記単位凸部長が当該各第1の環状領域の最外周における前記単位凸部長のうちの最も長い長さ以下の長さとなるように当該単位凸部長が規定されると共に、当該第2の環状領域の最内周における前記単位凹部長が前記各第1の環状領域の最内周における前記単位凹部長のうちの最も短い長さ以上の長さで当該第2の環状領域の最外周における前記単位凹部長が当該各第1の環状領域の最外周における前記単位凹部長のうちの最も長い長さ以下の長さとなるように当該単位凹部長が規定されている情報記録媒体。
  3. 前記第1の環状領域の最内周における前記単位凸部長に対する当該第1の環状領域の最外周における前記単位凸部長の比がすべての当該第1の環状領域において等しい比となるように当該単位凸部長が規定されると共に、前記第1の環状領域の最内周における前記単位凹部長に対する当該第1の環状領域の最外周における前記単位凹部長の比がすべての当該第1の環状領域において等しい比となるように当該単位凹部長が規定されている請求項1または2記載の情報記録媒体。
  4. 前記第1の環状領域の最外周における前記単位凸部長がすべての当該第1の環状領域において等しい長さとなるように当該単位凸部長が規定されると共に、前記第1の環状領域の最外周における前記単位凹部長がすべての当該第1の環状領域において等しい長さとなるように当該単位凹部長が規定されている請求項1から3のいずれかに記載の情報記録媒体。
  5. 前記第1の環状領域の最内周における前記単位凸部長がすべての当該第1の環状領域において等しい長さとなるように当該単位凸部長が規定されると共に、前記第1の環状領域の最内周における前記単位凹部長がすべての当該第1の環状領域において等しい長さとなるように当該単位凹部長が規定されている請求項1から4のいずれかに記載の情報記録媒体。
  6. 請求項1から5のいずれかに記載の情報記録媒体と、前記サーボパターンに対応付けられているサーボデータに基づいてサーボ制御を実行する制御部とを備えている記録再生装置。
  7. 請求項1から5のいずれかに記載の情報記録媒体における前記凹凸パターンの凹部に対応して形成された凸部と、前記情報記録媒体における前記凹凸パターンの凸部に対応して形成された凹部とを有する凹凸パターンが形成された情報記録媒体製造用のスタンパー。
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