JP2003187420A - 磁気パターン転写用のマスター体及び磁気記録媒体 - Google Patents

磁気パターン転写用のマスター体及び磁気記録媒体

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JP2003187420A JP2001381324A JP2001381324A JP2003187420A JP 2003187420 A JP2003187420 A JP 2003187420A JP 2001381324 A JP2001381324 A JP 2001381324A JP 2001381324 A JP2001381324 A JP 2001381324A JP 2003187420 A JP2003187420 A JP 2003187420A
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pattern transfer
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Yutaka Nakamura
裕 中村
Hitoshi Komoriya
均 小森谷
Hiroyuki Suzuki
啓之 鈴木
Takao Hirahara
隆生 平原
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気記録媒体との密着及び分離が容易に実現
でき、しかもゴミ等にも対応できるマスター体を提供す
る。 【解決手段】 磁気情報が記録可能な磁気記録媒体へ所
定の磁気パターンを転写するためのマスター体であっ
て、前記磁気パターンが形成されている以外のブランク
領域の少なくとも一部に、ゴミを収容できる窪み部を形
成している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータの外
部記憶装置等として広く採用されている磁気記憶装置に
搭載されている磁気ディスク等の磁気記録媒体へ所定の
磁気パターンを転写する際に用いるマスター体に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気記憶装置は著しく大容量化、
高記録密度化されて来ている。情報量の増加と共に多量
の情報を記録することが可能であり大容量で、再生時の
アクセス時間が短く、安価な磁気記録媒体が求められて
いる。このような大容量な磁気記録媒体を実現するため
には狭トラック幅としても精度良く磁気ヘッドが走査で
きるように所謂トラッキングサーボ技術が用いられてい
る。
【０００３】大容量の磁気記録媒体においては、例えば
磁気ディスクの１周中のある間隔でトラッキング用のサ
ーボ信号等の磁気パターンが所謂プリフォーマットされ
ている。磁気ヘッドはこの磁気パターンを読取って自己
の位置を修正して高精度にトラック上を走行する。
【０００４】従来においては、上記のような所定の磁気
パターンを有する磁気記録媒体を作製するために、磁気
記録媒体専用のサーボ情報記録装置を用いて１枚ずつ、
１トラックずつ記録することにより行われている。上記
サーボ情報記録装置は記録ヘッドを高精度に位置決めす
る機構が必要であり、高価である。また、磁気記録媒体
の容量が大きくなるに従って磁気パターンを記録するの
に要する時間も長時間となるので、大容量の磁気記録媒
体の製造においては、磁気パターン記録工程が製造工程
において占める割合が大きくなり、製造コストを上昇さ
せることとなっていた。
【０００５】上記のような状況に対して、最近、１トラ
ックずつ磁気パターンの記録を行わずに、磁気パターン
に応じてパターニングした磁性層を有するディスク（マ
スター体と称する）を準備し、このマスター体を介して
製品となる磁気記録媒体へ磁気パターンを転写するよう
にした技術の提案がなされている。
【０００６】上記マスター体を用いる転写法は、プリフ
ォーマットする磁気記録媒体に十分密着させた状態で外
部磁界を供給することで上記磁性層が励磁されて磁気的
な転写がなされ、短時間に所定の磁気パターンを有する
磁気記録媒体を作製できるので製造工程の簡素化と低コ
スト化を図ることができる。
【０００７】図１は、従来のマスター体を用いる磁気パ
ターン転写装置１００の一例を示した図である。磁気記
録媒体１２０上にマスター体１１０が配置され、磁界発
生手段となる磁石１０１から磁界１０５が供給されるよ
うになっている。マスター体１１０にはサーボ信号等に
基づいた所定の磁気パターンに対応して磁性層１１１が
形成されている。図１の状態で、上記磁界１０５を受け
ることで磁性層１１１が励磁され、上記磁性層１１１の
パターンが磁気記録媒体１２０側へ転写パターン１２１
として転写される。
【０００８】図１に示す磁気パターン転写装置１００で
は、マスター体１１０の磁性層１１１を磁気記録媒体１
２０に十分接近させて磁界１０５を供給することで、マ
スター体１１０の有する磁気パターンを磁気記録媒体１
２０側へ精度良く転写できる。そのためには、マスター
体１１０の下面１１０Ａを磁気記録媒体１２０の上面１
２０Ａに密着させることが重要である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
マスター体１１０では磁気記録媒体１２０と接触する下
面は全体に平坦である。磁気記録媒体１２０側の上面も
一般に平坦である。
【００１０】そのために、図２で模式的に示すようにマ
スター体１１０と磁気記録媒体１２０との間にゴミＤＡ
Ｓが存在した場合には、この両者を十分に密着させるこ
とができず、適正な転写が実現できないという問題が生
じる。
【００１１】また、一般に平坦な面同士の間に空気、水
分等が介在すると十分に密着させることが困難である。
そして、その逆に一度、平坦な面同士が密着状態になる
と空気や水分の表面張力により、今度は引き離すこと
（剥離）が困難になるという問題も生じる。
【００１２】したがって、本発明の目的は被転写される
側となる磁気記録媒体との密着及び分離が容易に実現で
き、しかもゴミ等にも対応できるマスター体を提供する
ことである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的は請求項１に記
載の如く、磁気情報が記録可能な磁気記録媒体へ所定の
磁気パターンを転写するためのマスター体であって、前
記磁気パターンが形成されている以外のブランク領域の
少なくとも一部に窪み部を形成した磁気パターン転写用
のマスター体により達成される。
【００１４】請求項１記載の発明によれば、マスター体
に形成した窪み部内にゴミを収容するような状態を実現
して、磁気パターンが形成された部分と磁気記録媒体と
を密着できる。上記ブランク領域はマスター体に広範囲
に存在しているので、前述したゴミによる障害を大幅に
低減できる。
【００１５】また、マスター体に前記窪み部を形成して
おくことで、マスター体と磁気記録媒体との接触面積が
減少するので、この両者を密着させること及び密着後に
剥離することを容易に行えるようになる。
【００１６】上記窪み部は必要に応じた個数、形状で形
成すればよい。また、一つの広いブランク領域の場合に
は複数の窪み部を形成してもよい。
【００１７】また、請求項２に記載の如く、請求項１に
記載の磁気パターン転写用のマスター体において、前記
窪み部を形成した領域内に、該窪み部を補強するための
補強部材が配設されている構成を採用してもよい。
【００１８】上記窪み部がある程度の大きさを越えた場
合には、磁気記録媒体にマスター体を密着させるために
外力を加えたときに変形する虞があるので、この変形を
防止するために補強することが好ましい。本請求項２に
記載の発明によると、補強部材により窪み部の変形が防
止される。前記補強部材は、窪み部内に別の補強用材を
形成するようにしてもよいが、マスター体の一部を残す
状態に一体形成すると、製造工程を簡素化し、低コスト
で本マスター体を製作できる。
【００１９】また、請求項３に記載の如く、請求項２に
記載の磁気パターン転写用のマスター体において、前記
補強部材は、前記窪み部内で幅方向に延びる梁状又は前
記窪み部内に点在する柱状に形成してもよい。
【００２０】上記補強部材の形状に特に限定はないが、
梁状や柱状に形成すると簡易に加工することができる。
【００２１】また、請求項４に記載の如く、請求項３に
記載の磁気パターン転写用のマスター体において、幅を
細くした前記梁状部材が所定間隔を持って複数配設され
ている形態を採用してもよい。
【００２２】また、同様に磁気パターン転写用のマスタ
ー体において、柱径を小さくした前記柱状部材が所定間
隔を持って複数配設されている形態を採用してもよい。
【００２３】窪み部内に補強部材を一体に形成すると、
マスター体の製造工程によっては磁性材料が補強部材側
にも形成されてしまう場合がある。このような場合に
は、請求項４に記載の発明によると、補強部材を小さく
分割化することで磁性材料が存在していることによる影
響を抑制しつつ、前記窪み部を確実に補強できる。
【００２４】また、請求項５に記載の如く、請求項１か
ら４のいずれかに記載の磁気パターン転写用のマスター
体によって磁気パターンが転写された磁気記録媒体であ
れば、正確な磁気パターンがプリフォーマットされ、精
度良く磁気ヘッドを走査できる。
【００２５】
【発明の実施の形態】本発明は密着される２つの平坦面
の一方側に窪みを設けるという構成で、前述した従来の
問題を解決する。本発明は特に、転写用の磁気パターン
はマスター体の下面全体に存在するのではなく、その逆
に磁気パターンが形成されていない領域（ブランク領域
と称する）の方が広い面積を占めるという点に着目して
いる。このブランク領域に窪みを形成し、マスター体と
磁気記録媒体との間に存在したゴミをこの窪み部内に収
容することで障害に対処する。上記のように、マスター
体にはブランク領域が極めて広いので、この部分を窪ま
せることがゴミの影響を除くことに関して極めて有効で
ある。
【００２６】また、上記構成のマスター体を用いれば、
前述した磁気記録媒体へマスター体を密着及び剥離する
ことが困難であるという問題も同時に解消できる。
【００２７】以下、図面に基づいて本発明に係る複数の
実施例を説明する。
【００２８】図３は第１実施例のマスター体の構成を拡
大して模式的に示した図である。この図３は、マスター
体の１つのトラックを側面から見た構成である。また、
図３ではマスター体１０がその下で磁気記録媒体２０と
接し、ゴミＤＡＳが存在した場合の状態を示している。
【００２９】本実施例のマスター体１０は、磁気パター
ンに応じて形成されている磁性層１１が存在する以外の
ブランク領域ＢＬが窪み部１３として形成されている。
【００３０】前述したようにマスター体１０ではブラン
ク領域ＢＬが、磁性層１１が存在する磁気パターン部分
よりも広い面積を占めるので、微小なゴミＤＡＳが進入
した場合でもブランク領域ＢＬに存在する確率が高い。
この広いブランク領域ＢＬを窪み部１３としておくこと
で、ゴミＤＡＳによりマスター体１０を磁気記録媒体２
０に密着できないという障害を大幅に低減できる。
【００３１】また、このように窪み部１３を形成するこ
とで磁性層１１が存在するマスター体１０の下面１０Ａ
を、磁気記録媒体２０の上面２０Ａと容易に密着させ、
さらに剥離することもできる。よって、２つの広い平坦
面を密着させる際の問題及び剥離する際の問題も生じな
い。
【００３２】上記窪み部１３はブランク領域が点在する
ときは、そのブランク領域毎に１つの窪み部１３を設け
てもよいし、１つのブランク領域が広い面積となる場合
は複数の窪み部１３を形成してもよい。
【００３３】本実施例のマスター体１０は、半導体製造
等で用いられているリソグラフィー技術を用いて作製で
きる。例えばＳｉＯ２等の基板上にフォトレジストを塗
布、磁化パターン応じたフォトマスクを用いて露光、現
像、エッチングし、軟磁性材料をスパッタリングして磁
性層１１を形成する工程等を経て作製できる。このエッ
チングの際に、窪み部１３を同時に形成するようにすれ
ば一体に形成できる。よって、従来と同様な工程で本実
施例のマスター体１０を作製できる。
【００３４】図４は第２実施例のマスター体の構成を図
３と同様に模式的に示した図である。本第２実施例では
第１実施例について示した図３と同様の部位に図４でも
同一の符号を用い、重複する説明を省略して本実施例の
特徴部分を中心に説明する。この点については本実施例
以後の実施例でも同様とする。
【００３５】本第２実施例では、窪み部１３内に半径方
向に延在する梁状の補強部材１５を新たに配設してい
る。磁気パターンを転写する際には、マスター体１０を
磁気記録媒体２０に密着させるために、外力が加えられ
る。その際、窪み部１３の面積が広くなると変形するこ
とが想定される。そこで、本実施例では窪み部１３内に
補強部材として上記梁状補強部材１５を配設して変形の
防止を図っている。
【００３６】上記梁状補強部材１５は、窪み部１３の形
状に応じて適宜、幅や長さを設定すればよい。図５はマ
スター体の窪み部１３での梁状補強部材１５の配置を例
示している。図５の１５Ａで示すように１つの長い梁状
補強部材としてもよいし、１５Ｂ〜１５Ｄに示すように
分割した状態で配置してもよい。さらに、図示はしない
が梁状補強部材１５は直線的である必要はなく曲線的で
もよい。
【００３７】図６及び図７は、第３実施例のマスター体
の構成を図３と同様に模式的に示した図である。本第３
実施例は、マスター体１０を製造する工程で上記梁状補
強部材１５の端部に磁性部分１５ＭＡが形成されてしま
う場合に、本来の磁気パターンに影響が無いように修正
する形態である。
【００３８】前述したように、マスター体１０は薄膜形
成技術を応用して製作することができる。その作製手順
には種々の組合せが存在する。例えば、マスター用基板
表面を磁気パターンに応じてエッチングしてから、その
エッチング部分にスパッタリング法等で軟磁性材料を形
成するプロセスを採用できる。この場合に上記梁状補強
部材１５を同時に形成するようにしても、この梁状補強
部材１５側に磁性部分が形成されることはない。
【００３９】しかし、例えば基板表面の全面に軟磁性材
料を形成した後にエッチングして磁気パターンを形成す
る場合は問題となる。製作工程の簡素化を図るために、
梁状補強部材１５もエッチングで一体形成しようとする
と、梁状補強部材１５の前端に磁性部分が残ってしま
う。このような磁性部分が存在すると、本来の磁気パタ
ーンを転写する時に一緒に磁気記録媒体２０側へ転写さ
れてしまう。
【００４０】そこで、図６に示す本第３実施例のマスタ
ー体１０は、磁性部分１５ＭＡが存在するが梁状補強部
材１５の梁幅ＢＷを細く形成して不要な転写を抑制でき
るようにしている。このように誤転写を抑制できる細く
形成する梁状補強部材１５の梁幅ＢＷは磁気パターン幅
の１／２程度までとするのが好ましい。
【００４１】図７は上記細い梁状補強部材１５を複数接
近させて配設した第３実施例の他の例について示す図で
ある。本例のように細い梁状補強部材１５を複数接近さ
せて配設すること、細い梁状補強部材１５への圧力の集
中を緩和し、磁性部分１５ＭＡの影響も抑制しつつ窪み
部１３の補強をより確実に行うことができる。図７に示
すような細い梁状補強部材１５は、図４に示した１つの
梁状部材の幅よりも広い幅の範囲に、互いの間隔をその
梁状補強部材の幅と同程度として配置することが好まし
い。
【００４２】さらに、以下に示す図８から図１１では、
第２及び第３実施例で用いた梁状補強部材１５に替え
て、柱状補強部材１６を窪み部１３内に点在させた場合
の実施例である。
【００４３】図８は第４実施例のマスター体の構成を図
４と同様に模式的に示した図である。本第４実施例で
は、窪み部１３内に柱状補強部材１６を点在させて、窪
み部１３の変形防止を図っている。この柱状補強部材１
６は、窪み部１３の形状に応じて適宜、柱径や設定数を
定めればよい。また、図９はマスター体の窪み部１３で
の柱状補強部材１６の配置を例示している。図９の１６
Ａで示すように柱状補強部材をマスター体１０の半径方
向に連続して配置してもよいし、１６Ｂ、１６Ｃに示す
ように千鳥、或いは順次ずらして配置してもよい。ま
た、図示はしないが柱径の異なる複数の柱状補強部材１
６を用いてもよい。
【００４４】図１０及び図１１は、第５実施例のマスタ
ー体の構成を前記図６及び図７と同様に模式的に示した
図である。本第５実施例は、前記第３実施例と同様にマ
スター体１０を製造する工程で柱状補強部材１６の端部
に磁性部分１６ＭＡが形成されてしまう場合に修正する
形態である。
【００４５】図１０に示す本第５実施例のマスター体１
０は、磁性部分１６ＭＡが存在するが柱状補強部材１６
の柱径ＨＷを小さく形成して不要な転写を抑制できるよ
うしている。このように誤転写を抑制できる柱径ＨＷは
磁気パターン幅の１／２程度である。
【００４６】図１１は上記小さい柱状補強部材１６を複
数接近させて配設した例である。本例のように複数配設
することで細い柱状補強部材１６への圧力の集中を緩和
しつつ、磁性部分１６ＭＡの影響を抑制して窪み部１３
の補強を行うことができる。図１１に示すような小さい
柱状補強部材１６は、図８に示した１つの柱状部材の径
よりも大きい範囲に、互いの間隔をその柱状補強部材の
幅と程度として配設することが好ましい。
【００４７】上記第４及び第５実施例では、柱状補強部
材１６は円柱状となっているが楕円、角状でもよい。ま
た、前述した実施例を組合せて梁状補強部材と柱状補強
部材とを組合せて用いてもよい。
【００４８】以上説明したマスター体１０は、サーボ信
号の転写のために限らず、アドレス信号、再生クロック
信号、さらにはデータ等を予め磁気記録媒体へ転写する
際にも用いることができる。
【００４９】以上本発明の好ましい実施例について詳述
したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるもの
ではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の
範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００５０】なお、以上の説明に関して更に以下の付記
を開示する。
【００５１】（付記１） 磁気情報が記録可能な磁気記
録媒体へ所定の磁気パターンを転写するためのマスター
体であって、前記磁気パターンが形成されている以外の
ブランク領域の少なくとも一部に窪み部を形成した、こ
とを特徴とする磁気パターン転写用のマスター体。
【００５２】（付記２） 付記１に記載の磁気パターン
転写用のマスター体において、前記窪み部を形成した領
域内に、該窪み部を補強するための補強部材が配設され
ている、ことを特徴とする磁気パターン転写用のマスタ
ー体。
【００５３】（付記３） 付記２に記載の磁気パターン
転写用のマスター体において、前記補強部材は、前記窪
み部内で幅方向に延びる梁状又は前記窪み部内に点在す
る柱状に形成されている、ことを特徴とする磁気パター
ン転写用のマスター体。
【００５４】（付記４） 付記３に記載の磁気パターン
転写用のマスター体において、幅を細くした前記梁状部
材が所定間隔を持って複数配設されている、ことを特徴
とする磁気パターン転写用のマスター体。
【００５５】（付記５） 付記３に記載の磁気パターン
転写用のマスター体において、柱径を小さくした前記柱
状部材が所定間隔を持って複数配設されている、ことを
特徴とする磁気パターン転写用のマスター体。
【００５６】（付記６） 付記１から５のいずれかに記
載の磁気パターン転写用のマスター体によって磁気パタ
ーンが転写された、ことを特徴とする磁気記録媒体。
【００５７】
【発明の効果】以上詳述したところから明らかなよう
に、請求項１記載の発明によれば、マスター体に形成し
た窪み部内にゴミを収容できる形態であるので、ゴミが
存在した場合でもこれを障害とすることなく磁気パター
ンが形成された部分と磁気記録媒体とを密着させること
ができる。
【００５８】また、マスター体に上記窪み部が形成され
ることで、マスター体と磁気記録媒体との接触面積が減
少するので、この両者を密着させること及び密着後に剥
離することを容易に行えるようになる。
【００５９】また、請求項２及び３に記載の発明による
と、補強部材により窪み部の変形を防止することができ
る。この補強部材は、窪み部内にマスター体の一部を残
す状態にして一体形成すると製造工程を簡素化して、低
コストで製作できる。
【００６０】また、請求項４に記載の発明によると、補
強部材を分割化することで存在する磁性材料の影響を抑
制しつつ、前記窪み部を確実に補強できる。
【００６１】さらに、請求項５に記載の発明による磁気
記録媒体は、正確な磁気パターンがプリフォーマットさ
れ、精度良く磁気ヘッドを走査できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のマスター体を用いる磁気パターン転写装
置の一例を示した図である。
【図２】従来のマスター体と磁気記録媒体との間にゴミ
ＤＡＳが存在した場合の様子を示した図である。
【図３】第１実施例のマスター体の構成を拡大して模式
的に示した図である。
【図４】第２実施例のマスター体の構成を拡大して模式
的に示した図である。
【図５】マスター体の窪み部での梁状補強部材の配置を
例示した図である。
【図６】第３実施例のマスター体の構成を拡大して模式
的に示した図である。
【図７】第３実施例のマスター体の他の構成を拡大して
模式的に示した図である。
【図８】第４実施例のマスター体の構成を拡大して模式
的に示した図である。
【図９】マスター体の窪み部での柱状補強部材の配置を
例示した図である。
【図１０】第５実施例のマスター体の構成を拡大して模
式的に示した図である。
【図１１】第５実施例のマスター体の他の構成を拡大し
て模式的に示した図である。
【符号の説明】
１０ マスター体 １１ 磁性層 １３ 窪み部 ２０ 磁気記録媒体 ＢＬ ブランク領域 ＤＡＳ ゴミ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 啓之 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 平原 隆生 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 5D006 BB07 DA03

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 磁気情報が記録可能な磁気記録媒体へ所
    定の磁気パターンを転写するためのマスター体であっ
    て、 前記磁気パターンが形成されている以外のブランク領域
    の少なくとも一部に窪み部を形成した、ことを特徴とす
    る磁気パターン転写用のマスター体。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の磁気パターン転写用の
    マスター体において、 前記窪み部を形成した領域内に、該窪み部を補強するた
    めの補強部材が配設されている、ことを特徴とする磁気
    パターン転写用のマスター体。
  3. 【請求項３】 請求項２に記載の磁気パターン転写用の
    マスター体において、 前記補強部材は、前記窪み部内で幅方向に延びる梁状又
    は前記窪み部内に点在する柱状に形成されている、こと
    を特徴とする磁気パターン転写用のマスター体。
  4. 【請求項４】 請求項３に記載の磁気パターン転写用の
    マスター体において、 幅を細くした前記梁状部材が所定間隔を持って複数配設
    されている、ことを特徴とする磁気パターン転写用のマ
    スター体。
  5. 【請求項５】 請求項１から４のいずれかに記載の磁気
    パターン転写用のマスター体によって磁気パターンが転
    写された、ことを特徴とする磁気記録媒体。
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