CN1465055A - 光信息记录媒体、光信息记录媒体用原盘及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供以脊面与槽面两者作为记录道的高信号质量的光信息记录媒体，它是在基片上具有将脊与槽两方作为记录道而从基片后侧以激光照射进行记录与再生的光信息记录媒体，上述槽侧面的倾角大于等于25°且小于等于40°，并且上述脊面与槽面两者的算术平均糙度(Ra)都为0.2～0.7nm。

Description

光信息记录媒体、光信息记录媒体用原盘及其制造方法
技术领域
本发明涉及光信息记录媒体，更详细地说，涉及具有以脊与槽两者作为记录道的光信息记录媒体。
背景技术
可改写的且能更换的光信息记录媒体(以后简作光盘)，已广泛作为个人计算机用的文件存储器。为适应需求，正开发用以增加记录容量的种种技术。作为提高记录容量的方法有沿径向与圆周方向提高记录密度的方法。
作为沿径向提高记录密度的方法，有将脊(平坦部分)与槽(沟部分)两者用作记录道的脊-槽记录格式。这种方法是把过去只以脊或槽的一方作为记录道的情形，通过将此两方都用作记录道来提高记录密度的方法。
在此种脊-槽记录方法中，不仅是脊与槽分别有信号质量CNR(载波噪声比)、抖动或道间串扰等问题，而且还表现为相邻道中记录的信号之间即来自与脊邻接的槽的道间串扰或来自与槽邻接的脊之中记录的信号的道间串扰的影响。
一般，在脊-槽记录中，从再生激光的入射面来看，在凹面的脊道与凸面的槽道之间可以看到道间串扰特性的不同。此外，从脊漏入槽的信号量和从槽漏入脊的信号量是不同的，在注意到上述情形下进行复杂的设计乃是当前的状况。
脊与槽作为记录道是相邻的，因此CNR与抖动现象也更为复杂。
另一方面，作为沿圆周方向提高记录密度的方法有磁感应超分辨法(MSR)。这是使比再生光的衍射极限更细微的记录标志磁性地通过于上层(即所谓再生层)中形成的孔而读出的技术。由此能将在衍射极限以下的相邻标志分离地读出。
但在将这种脊-槽记录与上述MSR相组合时，脊与槽两者在道中的道间串扰与抖动以及MSR的磁性质成为折衷关系，不存在完全同时满足两种情况的设计方法或最佳设计方法，因而成为难以解决的问题，曾设想过，这部分地是由于例如道间串扰与脊和槽间的倾角有关，抖动与MSR的磁性则与脊面和槽面的算术平均糙度以及图案的形状有关。然而并未能求得它们的最优组合或可控参数。
由于未能求得这种最优组合，也就没有求得制造这种光信息记录媒体的光信息记录媒体用原盘以及它的制造方法。
本发明正是鉴于上述事实而提出的，其目的在于提供以脊与槽两方作为记录道的信号质量高的光信息记录媒体。
发明内容
上述课题可由下述的本发明的光信息记录媒体、光信息记录媒体用原盘及其制造方法实现。
(1)具体地说，本发明的光信息记录媒体是在基片上具有将脊与槽两方作为记录道的光信息记录媒体，其特征在于，上述基片的槽侧面的倾角大于等于25°且小于等于40°，并且上述基片的脊面与槽面的算术平均值糙度(Ra)都为0.2～0.7nm。具备这样结构的光信息记录媒体具有良好的信号质量特性，即具有良好的抖动，消磁特性与道间串扰特性。
上述(1)中记述的光信息记录媒体中该脊面与该槽面的算术平均糙度(Ra)的差最好小于等于0.2nm。具备这种结构的光信息记录媒体，在脊与槽之间的磁平衡良好，具有良好的信号质量特性。
上述(1)中记述的光信息记录媒体中，信息的再生最好用磁感应超分辨法(MSR)进行。具有这种结构的光信息记录媒体，通过使用MSR，能以良好的信号质量特性进行更高密度的记录。
(2)本发明涉及到对具有将脊与槽两方作为记录道的光信息记录媒体用基片进行复制制作的光信息记录媒体用原盘，其特征在于，与该槽侧面对应的原盘面的倾角大于等于25°且小于等于40°，并且该脊面与该槽面对应的原盘面的算术平均糙度(Ra)都为0.2～0.7nm。利用这种结构的光信息记录媒体用原盘，能够复制具有良好信号质量的光信息记录媒体。
(3)本发明的光信息记录媒体用原盘的制造方法是将具有以脊与槽两方作为记录道的光信息记录媒体用基片进行复制制作的光信息记录用原盘的制造方法，其特征在于包括：于原盘坯件表面上制成脊与槽形状的步骤；对形成了该脊与槽形状的原盘坯件表面进行等离子蚀刻处理，使该槽侧面对应的原盘面的倾角大于等于25°且小于等于40°，同时使该脊面与该槽面对应的原盘面的算术平均糙度(Ra)都为0.2～0.7nm的步骤。通过这种制造光信息记录媒体原盘的方法，能制成可复制具有良好信号质量特性的光信息记录媒体的光信息记录媒体用原盘。
上述(3)中记述的光信息记录媒体用原盘的制造方法的特征还在于，所述等离子蚀刻处理步骤中的等离子发生气体是Ar、N2、He或O2。此外，上述(3)中记述的光信息记录媒体用原盘的制造方法中最好是使脊面与槽面的算术平均糙度(Ra)的差小于等于0.2nm。通过这种制造光信息记录媒体原盘的方法，能良好地平衡调节脊面与槽面的算术平均糙度，可以制成复制具有良好信号质量特性的光信息记录媒体的光信息记录媒体用原盘。
附图说明
图1是将本发明光信息记录媒体一例的一部分切除的透视图。
图2是本发明光信息记录媒体一例的模式剖面图。
图3是本发明光信息记录媒体一例的透明盘基片的部分透视图。
图4是本发明光信息记录媒体一例的透明盘基片的部分剖面图。
图5是示明实施例1、比较例1与2的抖动特性的曲线图。
图6是示明实施例1、比较例1与2的消除磁场特性的曲线图。
图7是示明实施例1、比较例1与2的功率裕度特性的曲线图。
图8A-8I是示明本发明光信息记录媒体用原盘制造方法的工艺的剖面图。
图9是已有例的光信息记录媒体的透明盘基片的部分模式剖面图。
图10是示明本发明的光信息记录媒体用原盘的制造工艺中等离子蚀刻时间与槽侧面对应的原盘面的倾角关系的曲线图。
图11是示明本发明的光信息记录媒体用原盘的制造工艺中等离子蚀刻时间与槽侧面对应的原盘面的算术平均糙度的关系。
具体实施形式
本发明的光信息记录媒体(简作光盘)构成为在基片上具有以槽与脊两方作为记录道，而从该基片的背面照射激光进行记录与再生。
下面参看附图说明本发明光盘的一例，但本发明的光盘不限于实施形式或实施例。也就是说，本发明的光盘只要是在基片上用槽与脊形成为记录道的情形都可适用。例如除光磁盘之外，既可以是根据记录信号将预定的微细凹凸图案形成于信号记录层上的再生专用光盘，也可以是相变型或应用色素的光盘。
第一实施形式
图1是本实施形式的光信息记录媒体1(以后简作光盘)经部分切除的透视图。本发明的光盘1能进行多次的记录信号的记录与再生。例如能装纳于光盘盒(未图示)，可用来相对于记录再生装置(未图示)自由地装卸。
本发明的光盘1如图2所示，于透明光盘基片2上顺次叠层第一电介质层3、信号记录/再生层4、第二电介质层5、热扩散层6与保护层7而形成。信号记录/再生层4由再生层、中间层而后是记录层组成。
透明光盘基片2如图3所示，剖面呈沟状的槽2a与剖面呈台状的脊2b沿圆周方向形成螺旋状。光盘1则构成为沿着槽2a与脊2b进行信号的记录与再生。
于透明光盘基片2中，沿着槽2a形成进行记录信号的记录再生的记录用道。
在本发明的透明光盘基片2中，于槽和脊两方进行信号记录。
图4中模式地示明了图3中脊-槽形状的放大剖面。图4中的RaL、RaG分别示明脊面的算术平均糙度与槽面的算术平均糙度，槽侧面的倾角θ是槽侧面与透明光盘基片2的水平面相交的角度。在此，槽侧面的倾角大于等于25°而小于等于40°，此外脊面的算术平均糙度RaL与槽面的算术平均糙度RaG都为0.2～0.7nm。
本发明的算术平均糙度是从糙度曲线沿其平均线方向选择基准长度(1)，计算从此择取部分的平均线到测定曲线的偏差的绝对值即平均值，可由下式求出： Ra = 1 l ∫ 0 l | f ( x ) | dx
在本实施形式中，上述结构的光盘1是用磁感应超分辨法(MSR)进行信息的再生。
在取上述结构的透明光盘基片2上，如图2所示，由常规方法顺次形成第一电介质层3、信号记录/再生层4、第二电介质层5、热扩散层6与保护层7而制成光盘。例如可由溅射法形成第一电介质层3、信号记录/再生层4、第二电介质层5与热扩散层6，而由旋涂法形成保护层7。
这里各个层的厚度，基片为1.2mm，第一电介质层3(SiN)为80nm。信号记录/再生层4由再生层(GdFeCo)40nm，中间层(GdFe)30nm，而后是记录层(TbFeCo)50nm组成。第二电介质层5(SiN)为20nm，热扩散层6(AlTi)为10nm，保护层7(紫外光固化树脂)为10μm。
应用具有表1所示的脊面与槽面的算术平均糙度与槽侧面倾角的光盘基片，进行了评价抖动、消除磁场特性与功率裕度特性的试验，在图5-7中以曲线图示明了其结果，对膜层结构进行了完全相同的试验。这里的比较例2是已有的制品。
表1
    试样   脊面的算术平均糙度   槽面的算术平均糙度     槽侧面的倾角
    实施例1   0.6nm   0.55nm     25°
    比较例1   0.7nm   0.65nm     19°
    比较例2   0.8nm   0.4nm     40°
图5示明各例的抖动特性，图6示明其消除磁场特性而图7示明其功率裕度特性。这里的功率裕度特性最终表明道间串扰发生时的难易程度。在试验条件中作为所有试验项目的共同条件是，读取用激光的波长为650nm，NA(数值孔径)为0.55，线速度为7.5m/see。
(I)有关抖动的试验，按以下步骤进行。
1.消除脊与其两端的槽的记录。
2.于最优条件下对脊进行随机记录，由最优条件再生，测定抖动(所谓最优条件即抖动值为最小的条件)。
于上述1与2的步骤中可将各步骤中的脊与槽交换而置换为下述的1′与2′的步骤。
1′.消除槽与其两端的脊的记录。
2′.于最优条件下对槽进行随机记录，由最优条件再生，测定抖动(所谓最优条件即抖动值为最小的条件)。
试验结果如图5所示。
(II)消除磁场特性的试验按以下步骤进行。
1.消除脊与其两端的槽的记录。
2.于脊中以最佳功率记录。
3.以最佳再生功率再生，测量抖动(将其设为抖动600)。
4.以最大消除磁场(600 Oe)消除后，用最佳功率记录。
5.以消除磁场(300 Oe)消除后，用最佳功率记录。
6.以最佳再生功率再生，测量抖动(将其设为抖动300)。
7.以(抖动300/抖动600)测量消除率。
于上述1与2的步骤中可将各步骤中的脊与槽交换而转换为下述的1′与2′的步骤。
1′.消除槽与其两端的脊的记录。
2′.于槽中以最佳功率记录。
试验结果如图6所示。
(III)有关功率裕度特性的试验按以下步骤进行。
1.消除脊与其两端的槽的记录。
2.于脊中以最佳条件记录。
3.于两端的槽中，以最佳记录功率的至少5％进行记录。
4.于Radial Tilt(径向倾角)＝3.5mrad和Detrack(位移)＝道距的5％进行偏移，测量如下。
5.于脊中使再生功率变化而再生，测定抖动。
6.从抖动的下降(Prmin)到抖动的上升(Prmax)进行测量。
7.将Prmorgin＝{(Prmax-Prmin)/Prmin}×100％设为XT余量。
8.将抖动上升、抖动下降设定为抖动值达到11％时的值。
于上述1、2、3与5的步骤中可将各步骤中的脊与槽交换而转换为下述1′、2′、3′、与5′的步骤：
1′.消去槽与其两端的脊的记录。
2′.于槽中以最佳条件记录。
3′.于两端的槽中，以最佳记录功率的至少5％进行记录。
5′.于槽中使再生功率变化而再生，测定抖动。
试验结果如图7所示。
现在研究图5至图7的试验结果。
关于抖动，如图5所示。对于实施例1与比较例1中脊与槽的抖动，可知其脊与槽双方的抖动能协调地压低。
与此相反，在比较例2中，槽处的抖动虽然低，但脊处的抖动则高，故不能使两者协调，这种不平衡的抖动特性是不适宜将脊与槽两方用作为记录道的。
在实施例1中，脊面的算术平均糙度提高，这是为了能与槽面的算术平均糙度有良好的平衡。
观察图6所示的消除磁场特性，即知实施例1与比较例1两者的脊与槽都压制得比比较例2的低。其原因即是，由于等离子蚀刻，致使脊面的算术平均糙度加大，而与槽面的算术平均糙度恶化无关，有关消除特性改进原因的详情尚不明了，但可推测为由于反磁化成为容易实现的表面状态而改进了消除特性。
图7示明了功率裕度特性，表明了相对于道间串扰的阻力。由于槽侧面的倾角θ一般较平缓，故其道间串扰加大使读取特性降低，也即可推测出功率裕度降低。但据实施例1的试验结果可知，当槽侧面的倾角为25°，功率裕度不会变差而保持住。这样，脊与槽的双方可以认为取平衡态。与上述相反，比较例1的槽侧面的倾角为19°，功率裕度大幅度减少。
定性地总结上述结果则如下表2所示。
表2
    试样     抖动     消除磁场特性     功率裕度特性
    实施例1     ○     ○     ○
    比较例1     ○     ○     ×
    比较例2     △     △     ○
(○：良，△：差，×恶劣)。
从以上试验结果可知，根据实施例1，通过控制记录面的形状即透明盘基片的形状，可知对光盘的磁性可取得以下效果。
1.在改进脊面的抖动的同时，脊与槽双方间的平衡良好。
2.脊面与槽面一齐改进了消除磁场特性。
3.能使脊面与槽面的功率裕度特性保持成不劣化。
这就是说，根据本发明的实施形式，通过控制基片表面的槽与脊的形状，对于此前成为困惑问题的脊与槽双方的道间串扰与抖动以及磁性能都能同时解决。
第二实施形式
本发明的光信息记录媒体1虽可采用具有前述形状的透明光盘基片2制作，但此光盘基片也可通过制造和使用下述的光信息记录媒体用原盘而获得。这是由于成型后光盘的形状(倾角与算术平均糙度)都与压模(原盘)的形状相似。
具体地说，光信息记录媒体用原盘的制造方法是对于具有以脊与槽双方作为记录道的光信息记录媒体的基片进行复制制作的光信息记录媒体用原盘的制造方法，其特征在于包括：于原盘坯件表面上制作成脊与槽形状的步骤；以及对形成有该脊与槽形状的原盘坯件表面进行等离子蚀刻处理，使对应于该槽侧面的原盘面的倾角大于等于25°和小于等于40°，且使该脊面与该槽面所对应的原盘面的算术平均糙度(Ra)都成为0.2～0.7nm的步骤。
下面参看图8A-8I描述此光信息记录媒体用原盘的制造方法。此方法包括以下各步骤。
首先将用作原盘制造的玻璃板10的表面进行研磨、洗净(图8A)；于玻璃板10的表面上涂布抗蚀剂11(图8B)。然后相对抗蚀剂11的表面，以激光束17曝光进行切削以留下道的形状(图8C)；使抗蚀剂11显象。洗净，制成于表面上形成有由抗蚀剂残余部12构成了凹凸状道的玻璃板18(图D)。
于此玻璃板18的道的表面上，为了进行镀镍的准备，例如通过溅射形成非电解电镀而附着上薄的镍膜13以使表面导体化(图8E)，再在其上进行镀镍而形成镍镀层14(图8F)。
将此镍镀层14从玻璃板18上剥离、洗净并进行背面研磨，而制成镍制的原盘15(图G、图H)。再于此镍制原盘15的整个表面上进行等离子蚀刻处理(图8I)。
本实施形式中于原盘坯件表面上形成脊与槽形状的步骤(简称为第一步骤)包括上述图8A至图8H的各步骤。对于这种步骤可采用周知技术中的种种方法，这里所述的镀镍方法乃是其中之一。此外，原盘坯件不局限于上述镍材。
由上述第一步骤制成的镍制原盘15的特性是，由于此脊面是在表面状态粗糙的抗蚀剂表面进行镀层的结果，故对应于脊面的原盘面的算术平均糙度大。亦即如图9中它的模式剖面图所示，脊面是处在比槽面为粗的状态下，脊面与对应于槽面的原盘面的算术平均糙度不平衡。至此所得的光盘乃是已有的例子，相当于前述表1、2中的比较例2。
本发明中，如图8I所示，对形成了脊与槽状的原盘坯件表面再作等离子蚀刻处理。根据这一步骤(称作第二步骤)，使对应于槽侧面的原盘面的倾角大于等于25°而小于等于40°，同时使脊面与槽面对应的原盘面的算术平均糙度(Ra)都为0.2～0.7nm。
在本实施形式中是把由平行平板设置基片阴极型的装置用作等离子蚀刻处理，所用的等离子蚀刻气体为氩(Ar)气.
实施例1与比较例1的RF功率、Ar气压、处理时间分别为150W、10Pa、3min(实施例1)，以及150W、10Pa、5min(比较例1)。此条件下的镍膜蚀刻速率约为10nm/min，  测定采用原子力显微镜(AFM＝Atomic Force Microscope)。
试验结果如图10与11所示。图10是示明本实施例的等离子蚀刻时间与槽侧面对应的原盘面倾角关系的曲线图，图11是示明本实施例的等离子蚀刻时间与和脊面及槽面对应的原盘面的算术平均糙度的关系。
如图10所示，对应于槽侧面的原盘面的倾角θ，由于各向异性蚀刻中蚀刻速度对角度的相关性，随着蚀刻处理时间的加长而钝化。此倾角于初始状态为40°，例如在实施例1的3分钟下约25°(图10中A的部分)，而在比较例1的5分钟下则为19°(图10中的B的部分)。
如图11所示，与脊面和槽面相对应的原盘面的算术平均糙度(Ra)基本上存在于因离子冲击而劣化的方向。但脊面在第一步骤中，由于在表面状态粗的抗蚀剂的表面上形成了镀层，在初始状态下是粗糙的。因此，在等离子蚀刻的初期，算术平均糙度加大。这就是说，因等离子蚀刻处理而糙化的初始状态的脊面所对应的原盘面的算术平均糙度暂时加大。这以后，仍旧继续进行等离子蚀刻处理，由于等离子蚀刻的结果，表面粗糙化，亦即算术平均糙度单调地增大。
于是，经过一定时间后，停止蚀刻，使得脊与槽两者的算术平均糙度停留于相互接近的状态，而有助于道间串扰特性提高等信号质量的改进。这样，用等离子蚀刻法可以控制和脊面与槽面对应的原盘面的算术平均糙度，而控制这种算术平均糙度便得以提高信号质量。
此外，上述实施形式中是用Ar气进行的等离子蚀刻，但也可用其他种类气体如N2、He与O2等。
根据以上所述制作的本发明的光盘与已有的光盘在特性方面的比较，如前述的表2所示。即在实施例1中，蚀刻的时间为3分钟，槽侧面的倾角为25°，槽面与脊面两者的算术平均糙度都减小而且平衡。因此，抖动等信号质量良好。
比较例2是已有的制品，由于处在未施加本发明的等离子蚀刻处理的状态下，槽侧面的倾角加大，且脊面与槽面的算术平均糙度未能平衡。因此虽然功率剩余特性优越，但抖动与消除磁场特性不良。
比较例1由于将本发明的蚀刻处理时间取为5分钟，槽侧面的倾角成为19°，因此功率剩余特性变差。
如以上所详细说明的，根据本发明的光信息记录媒体与光信息记录媒体用原盘及其制造方法，可取得下述效果。
采用本发明的光信息记录媒体，能于脊和侧面方面进行记录且不会降低其记录质量。也就是说，能使与脊和槽两方面相关的抖动，消除磁场特性与功率剩余特性恰当地平衡，而且能与信号记录膜的性质无关，仅仅通过形状就可改进上述特性。本发明的光信息记录媒体在沿圆周方向提高记录密度的MSR方式中特别能发挥其效果。
此外，根据本发明的光信息记录媒体用原盘及其制造方法，能进行上述记录媒体的大批量生产，而通过采用等离子蚀刻，使和脊面与槽面对应的原盘面的算术平均糙度容易控制。

Claims (9)

1.一种光信息记录媒体，它是在基片上具有将脊与槽两方都作为记录道的光信息记录媒体，其特征在于，上述基片的槽侧面的倾角大于等于25°且小于等于40°，并且上述基片的脊面与槽面的算述平均糙度(Ra)都为0.2～0.7nm。
2.权利要求1所述的光信息记录媒体，其特征在于，上述脊面与槽面的算述平均糙度(Ra)之差小于等于0.2nm。
3.权利要求1所述的光信息记录媒体，其特征在于，信息的再生是用磁感应超分辨法(MSR)进行的。
4.权利要求1所述的光信息记录媒体，其特征在于，在上述基片上顺次形成第一电介质层、信号记录层，再生层，第二电介质层、热扩散层与保护层。
5.一种光信息记录媒体用原盘，它是对具有将脊与槽两方作为记录道的光信息记录媒体用基片进行复制制作的光信息记录媒体用原盘，其特征在于，与上述槽侧面对应的原盘面的倾角大于等于25°且小于等于40°，且和上述脊面与槽面两者对应的原盘面的算术平均糙度(Ra)都为0.2～0.7nm。
6.一种光信息记录媒体用原盘的制造方法，它是将具有以脊与槽两方作为记录道的光信息记录媒体用基片进行复制制作的光信息记录用原盘的制造方法，其特征在于包括：
于原盘坯件表面上制成脊与槽形状的步骤；
对形成了上述脊与槽形状的原盘坯件表面进行等离子蚀刻处理，使上述槽侧面对应的原盘面的倾角大于等于25°且小于等于40°，同时使上述脊面与槽面两者对应的原盘面的算术平均糙度(Ra)都为0.2～0.7nm的步骤。
7.权利要求6所述的光信息记录媒体用原盘的制造方法，其特征在于，上述等离子蚀刻处理步骤中的等离子发生气体是Ar、N2、He或O2。
8.权利要求6所述的光信息记录媒体用原盘的制造方法，其特征在于，和上述脊面与槽面两者对应的原盘面的算术平均糙度(Ra)之差小于等于0.2nm。
9.权利要求6所述的光信息记录媒体用原盘的制造方法，其特征在于，上述等离子蚀刻处理步骤中的蚀刻时间超过0分钟而且小于等于3分钟。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100343902C (zh) * 2004-02-23 2007-10-17 Tdk股份有限公司 磁记录介质

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4244527B2 (ja) * 2001-04-06 2009-03-25 ソニー株式会社 光ディスクの製造方法
JP4147753B2 (ja) 2001-07-02 2008-09-10 ソニー株式会社 光情報記録媒体、光情報記録媒体用原盤およびその製造方法
TWI254934B (en) * 2002-04-26 2006-05-11 Tdk Corp Optical recording medium and method for optically recording data in the same
JP4282285B2 (ja) * 2002-08-12 2009-06-17 Ｔｄｋ株式会社 光記録媒体及び光記録方法
US20050188397A1 (en) * 2002-12-24 2005-08-25 Fujitsu Limited Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording medium substrate manufacturing method
US20040202097A1 (en) * 2003-04-08 2004-10-14 Tdk Corporation Optical recording disk
JP2004355783A (ja) * 2003-05-30 2004-12-16 Sharp Corp 光情報記録媒体とその再生方法
JP4665531B2 (ja) * 2005-01-27 2011-04-06 日立電線株式会社 配線板の製造方法
JP4468191B2 (ja) * 2005-01-27 2010-05-26 株式会社日立製作所 金属構造体及びその製造方法
JP2007035164A (ja) * 2005-07-27 2007-02-08 Toshiba Corp 凹凸パターン基板およびその製造方法、磁気記録媒体、ならびに磁気記録装置
JP4585476B2 (ja) * 2006-03-16 2010-11-24 株式会社東芝 パターンド媒体および磁気記録装置
US20080038705A1 (en) * 2006-07-14 2008-02-14 Kerns Daniel R System and method for assessing student progress and delivering appropriate content
JP2008142895A (ja) * 2006-12-05 2008-06-26 Fujifilm Corp モールド構造体
JP4621898B2 (ja) * 2007-09-21 2011-01-26 独立行政法人産業技術総合研究所 超解像再生を行うための光記録媒体及びその光記録再生方法
JP5147868B2 (ja) * 2008-02-18 2013-02-20 セイコーインスツル株式会社 圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0648546B2 (ja) * 1984-07-14 1994-06-22 日本ビクター株式会社 情報記録担体の製造法
JPS6486344A (en) * 1987-09-29 1989-03-31 Victor Company Of Japan Information recording carrier and production thereof
JPH01205744A (ja) * 1988-02-12 1989-08-18 Victor Co Of Japan Ltd スタンパ複製用原盤とその製造方法
JP2506967B2 (ja) * 1988-08-03 1996-06-12 松下電器産業株式会社 光ディスク原盤の製造方法
EP0376678B1 (en) * 1988-12-28 1995-03-01 Canon Kabushiki Kaisha Information recording medium
JPH0554440A (ja) 1991-08-20 1993-03-05 Sanyo Electric Co Ltd 光デイスク用スタンパの製造方法
US5768075A (en) * 1991-12-17 1998-06-16 Baradun R&D Ltd. Disk medium w/magnetically filled features aligned in rows and columns
JPH05198016A (ja) * 1992-01-21 1993-08-06 Sharp Corp 光メモリ素子用原盤及びその製造方法
JPH05250742A (ja) 1992-03-04 1993-09-28 Kuraray Co Ltd 光磁気記録媒体およびその製造に用いるスタンパー
WO1995028705A1 (fr) * 1994-04-18 1995-10-26 Sony Corporation Substrat pour support d'enregistrement optique et dispositif d'estampage pour fabriquer un substrat pour support d'enregistrement optique
JPH09161336A (ja) 1995-12-05 1997-06-20 Teijin Ltd 光記録媒体用スタンパの製造方法
WO1997038421A1 (en) * 1996-04-10 1997-10-16 Hitachi Maxell, Ltd. Optical recording medium
JPH1064131A (ja) 1996-08-19 1998-03-06 Fujitsu Ltd 光磁気記録媒体及びその製造方法
JPH1092016A (ja) * 1996-09-12 1998-04-10 Nikon Corp 光ディスク
KR100230449B1 (ko) 1996-10-10 1999-11-15 윤종용 광기록매체
JP3255051B2 (ja) 1996-12-05 2002-02-12 三菱化学株式会社 光学的情報記録用媒体
KR19990023151A (ko) * 1997-08-27 1999-03-25 사토 도리 광자기기록매체 및 그 재생방법
JP3472158B2 (ja) 1997-10-16 2003-12-02 キヤノン株式会社 光磁気記録媒体
US6177175B1 (en) * 1997-10-16 2001-01-23 Canon Kabushiki Kaisha Magneto-optical medium utilizing domain wall displacement
US6814897B2 (en) * 1998-03-27 2004-11-09 Discovision Associates Method for manufacturing a molding tool used for substrate molding
JPH11353711A (ja) 1998-06-04 1999-12-24 Victor Co Of Japan Ltd 光ディスク
JP2000104184A (ja) 1998-07-06 2000-04-11 Victor Co Of Japan Ltd ドライエッチング装置、ドライエッチング方法、被ドライエッチング部材
JP2000048401A (ja) 1998-07-31 2000-02-18 Victor Co Of Japan Ltd 光情報記録媒体
JP2000293901A (ja) 1999-04-02 2000-10-20 Canon Inc 情報記録媒体及びその製造方法
JP2000339778A (ja) * 1999-05-26 2000-12-08 Sony Corp 光ディスク用原盤およびその製造方法、並びに、光ディスク用原盤の製造装置
JP2001126328A (ja) 1999-10-29 2001-05-11 Sony Corp 光磁気記録媒体
TW526474B (en) * 2000-02-14 2003-04-01 Taiyo Yuden Kk Optical information recording medium
US6501728B2 (en) * 2000-04-21 2002-12-31 Sony Corporation Optical disc having groove and land tracks
JP4244527B2 (ja) * 2001-04-06 2009-03-25 ソニー株式会社 光ディスクの製造方法
JP4147753B2 (ja) 2001-07-02 2008-09-10 ソニー株式会社 光情報記録媒体、光情報記録媒体用原盤およびその製造方法
TW200511296A (en) * 2003-09-01 2005-03-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method for manufacturing stamper, stamper and optical recording medium

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100343902C (zh) * 2004-02-23 2007-10-17 Tdk股份有限公司 磁记录介质

Also Published As

Publication number Publication date
EP1406253A4 (en) 2008-03-05
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US20040066732A1 (en) 2004-04-08

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