TWI228254B - Optical information recording medium, original disc for optical information recording medium, and method of manufacturing the same - Google Patents

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TWI228254B
TWI228254B TW091114624A TW91114624A TWI228254B TW I228254 B TWI228254 B TW I228254B TW 091114624 A TW091114624 A TW 091114624A TW 91114624 A TW91114624 A TW 91114624A TW I228254 B TWI228254 B TW I228254B
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TW
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optical information
information recording
recording medium
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TW091114624A
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Hiroyuki Takemoto
Mitsuo Arima
Tadao Suzuki
Yoshihito Fukushima
Hiroshi Nakayama
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Sony Corp
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Description

1228254 ⑴ 玖、發明說明 (發明說明應敘明：發明所屬之技術領域、先前技術、内容、 技術領域 實施方式及圖式簡單說明) 本發明係關於一種光資訊記錄媒體，更詳細係關於一種 具有陸地及溝槽兩方作或#々立&、益 馮&己錄軌道的光資訊記錄媒體。 背景技術 可重寫且可移動光眘4 ϋ _ 貝戒兄錄媒體（以下簡稱為光碟）已 廣泛用作個人電腦用檔宏 m儲存器（file memory)等。為了應 其需求，開發了為了使印 + 、。己錄谷量增加的各種技術。就提高 記錄容量的方法而言，有 一 在徑向和周向提南記錄密度的手 法0 作為在徑向提高記錄 丁在度的方法，有使用陸地Γ芈扭 分）及溝槽（溝部分）雙方 、 一 乍為5己錄軌道的陸地、澄诚# 格式。此方法係藉由將以奸口 溝槽5己 .,, 住〆、以陸地或溝槽一方作兔々 執道者雙方都用作記絲心 々作為5己 '彔軌道’提高記錄密度的方 在此陸地、溝槽記錄 忐 # 口 f μ ^ Τ方法，不僅陸地及溝槽各自單獨 …的CNR(載波對雜訊比）、抖動 (crosstalk)成為問題， ）或串 aa b ^ 阳且路出記錄於鄰接執道的栌泸 的，即來自鄰接於陸地 、的k唬 ^ x, 的溝槽的串音或來自記錄於鄰接 溝槽的陸地的信號的 於^接 甲昔的影響。 此外’ 一般在陸地、 4 溝槽記錄方面，從再生雷射的入 面看在為凹面的陸地 由射的入 音的特性顯出差。❿道和為凸面的溝槽軌道之間，在 溝槽漏入陸地的信號且量有在二陸地一漏， 雜的設計即為現狀。 、® ’主思&些’-面作 I228254
(2) 此外，陸地及溝槽鄰接作為記錄執道，所CNR或抖動、 現象也更加複雜。 另一方面，作為在周向提高記錄密度的手法，有磁性超 解析（MSR-Magnetically Induced Super Resolution)。這是—種將 此再生光繞射極限細微記錄的記錄標記通過磁性形成於 上層（所謂的再生層）的開口讀出的技術。藉此，可分離讀 出在繞射極限以下鄰接的標記。 然而，組合此陸地、溝槽記錄和上述MSR時，陸地及溝 槽雙方的執道的串音和抖動及msr的磁性特性成為折衷 (trade-〇ff)關係，沒有使全部同時滿；1㈣計手法或最佳設 計的手法，是解決困難的問題。部分預料例如串音關係到 陸地及溝槽間的傾料角，拉氣 m卄動及M S R的磁性特性起因於陸 地面及溝槽面的算術平於4 ^十勾粗糙度和圖案的形狀。然而，未 得到關於這些的最佳租人七 1 、、且口或可控制的參數。 此外，由於未得到這種悬 ^ 裡敢佳組合，所以也未得到為了製 造#亥光負rfl s己錄媒體的朵次 的九貝矾記錄媒體用原盤及其製造 方法。 媒體 地及溝槽兩方為記錄軌 其目的係提供一種以 品質南的光資訊記錄 發明之揭示 上述課題由敘逃 光資訊記錄媒體 (1)即，本發明的 於下的關於本發明的光資訊記錄媒體 用原盤及其製造方法所達成。 光貝訊記錄媒體，其特徵在於：係在 1228254
(3) 基板上具有陸地及溝槽兩方作為記錄軌道，前 槽側面的傾斜角為25°以上40°以下，並且前述 面及溝槽面的算術平均粗糙度（Ra)均為0.2〜0, 種結構的光資訊記錄媒體具有良好的信號品1 好的抖動、消除磁場特性、串音特性。 上述（1)所載的光資訊記錄媒體最好該陸地 面的算術平均粗糙度（Ra)差為0.2 nm以下，這 資訊記錄媒體，陸地及溝槽間的磁性平衡佳， 信號品質特性。 此外，上述（1)所載的光資訊記錄媒體最好 解析（MSR)進行資訊的再生。這種結構的光資 藉由使用MSR，可以良好的信號品質特性進行 記錄。 (2) 此外，本發明的特徵在於：係轉印製作 溝槽兩方作為記錄執道的光資訊記錄媒體用 訊記錄媒體用原盤，與該溝槽側面對應的原盤 2 5 °以上4 0 °以下，並且與該陸地面及該溝槽面 面的算術平均粗糙度（Ra)均為0.2〜0.7 nm者。 構的光資訊記錄媒體原盤，可複製具有良好信 資訊記錄媒體。 (3) 本發明的光資訊記錄媒體用原盤的製造 徵在於：係轉印製作具有陸地及溝槽兩方作為 光資訊記錄媒體用基板，具備以下製程··在原 製作陸地及溝槽形狀；及，電漿蝕刻處理上述 述基板的溝 基板的陸地 7 nm者。這 ί特性，即良 面及該溝槽 種結構的光 具有良好的 使用磁性超 訊記錄媒體 更高密度的 具有陸地及 基板的光資 面傾斜角為 對應的原盤 藉由這種結 號品質的光 方法，其特 記錄軌道的 盤原料表面 形成陸地及 (4) 1228254
溝槽形狀的。原盤原料表面，以與該溝槽側面對應的原盤面 傾斜角為25°以上4〇。以下，並且以與該陸地面及溝槽面對 應的原盤面的算術平均粗糙度（Ra)均為〇·2〜〇·7 者。藉 由這種光> Λ圯錄媒體原盤的製造方法，可製造能複製具 有良好信號品質特性的光資訊記錄媒體的光資訊記錄媒 體用原盤。 此外，上述（3)所載的光資訊記錄媒體用原盤的製造方 法，其特徵在於：電漿蝕刻處理製程的電漿產生氣體為氬 、氮、氦或氧者。此外，上述（3)所載的光資訊記錄媒體 用原盤的製造方法最好以陸地面及溝槽面的算術平均粗 Μ度為〇_2_以下。藉由這種光資訊記錄、媒體原盤 的製造方法，可平衡佳地整頓陸地面和溝槽面的算術平均 粗糖度’可製作複製具有良好信號品質特性的光資訊記錄 媒體的光資訊記錄媒體用原盤。 附圖之簡單說明 γ 1為本發明光身訊記錄媒體一例的部分缺口透視圖。 ^為本务明光 > 矾記錄媒體一例的模式截面圖。 圖3為本發明光資訊記錄媒體的透明光碟基板 式透视圖。 圖4為本發明光資訊記錄媒體的 式截面圖。 元磲基板的部分 圖5為顯示實施例1 圖6為顯示實施例1、 圖7為顯示實施例1、 比較例1及2的抖動特性的圖表。 比較例1及2的消除磁場特性的圖表 比較例1及2的功率極限特性的圖表 1228254 (5) g正替換良 a 圖8 A至圖81為顯示本發明光資訊記錄媒體用原盤的製 造方法的製程截面圖。 圖9為習知例光資訊記錄媒體的透明光碟基板的部分模 式截面圖。 圖1 0為顯示本發明光資訊記錄媒體用原盤製程的電漿 蝕刻時間和與溝槽側面對應的原盤面傾斜角的關係的圖 表。
圖1 1為顯示本發明光資訊記錄媒體用原盤製程的電漿 蝕刻時間和與陸地面及溝槽面對應的原盤面的算術平均 粗糙度的關係的圖表。 實施發明之最佳形態 本發明的光資訊記錄媒體（簡稱為光碟）形成下述結構 :在基板上具有溝槽（溝）和陸地兩方作為記錄軌道，從該 基板背面照射雷射光而進行記錄及再生。
以下，雖然參考附圖說明本發明的光碟一例，但本發明 的光碟並不受實施形態或實施例限制。即，本發明的光碟 若是在基板上形成溝槽和陸地作為記錄執道者，則可適用 。例如除了光磁碟之外，可以是與記錄信號相應的預定細 微凹凸圖案形成於信號記錄層的再生專用光碟，也可以是 相變型或使用色素的光碟等。 第一實施形態 圖1為本實施形態的光資訊記錄媒體1 (以下簡稱為光碟） 的部分缺口透視圖。本發明的光碟1可進行多數次記錄信 號的記錄及再生，例如收容於光碟座（未圖示），對於記錄 -10- (6) 1228254 再生裝置f干闻 ^ 夏（不圖示）裝卸自如地使用。 本發日月μ ^ 、光碟1如圖2所示，係在透明光碟基板2上依次 曰噓a —介電層3、信號記錄、再生層4、第二介電層5、 熱擴政層6、保護層7所形成。信號記錄、再生層4包含再 生層、中間層及記錄層。 \月光碟基板2如圖3所示，係截面溝狀的溝槽&及截面 梯升的陸地2 b在周向形成螺旋狀。而且，光碟1如沿著溝 槽2a及陸地2b進行信號記錄及再生般地所構成。 在透明光碟基板2上形成沿著溝槽2a進行記錄信號記錄 再生的記錄用軌道。 而且’在關於本發明的透明光碟基板2進行溝槽及陸地 兩方的信號記錄。 圖4為模式顯示圖3的陸地一溝槽形狀的擴大截面之圖 。在第4圖，RaL、RaG分別表示陸地面的算術平均粗糙度 及溝槽面的算術平均粗糙度，溝槽側面的傾斜角0為溝槽 側面和透明光碟基板2的水平面形成的角。此處，溝槽側 面的傾斜角0為25°以上40。以下，並且陸地面的算術平均 粗糙度RaL及溝槽面的算術平均粗糙度RaG均為〇 2〜〇 7 在本發明，算術平均粗糙度（Ta)係從粗糙度曲線在其平 均線方向只抽出基準長度（/)，合計從其抽出部分的平均 線到測篁曲線的偏差絕對值而平均之值，以下述式求出： K^\{\f(x)\dx -11- 1228254 ⑺ 此外，本實施形態在上述紅 〜構的光碟1方面，資訊的再 生係用磁性超解析（MSR)進行。 在如以上所構成的透明光 來基板2上如圖2所示，以常用 法依次形成第一介電層3、 ^ ^號記錄、再生層4、第二介 電曰5、熱擴散層6、保護層 m ^ ^ 尽7,製作光碟1。例如第一介電 曰 ^口號5己錄、再生層4、塗-入 赫、+ 第一"電層5、熱擴散層6以濺 、又法形成，保護層7以旋塗法形成。 々各層的厚度係基板為i 2 mm，第—介電層叩⑷ :8〇 nm。信號記錄、再生層4包含再生層（⑽“ο) 4〇 nm 第一間層（GdFe) 30㈣及記錄層（TbFeC〇) 5〇謂。此外， 謹:介電層5(叫為2〇nm，熱擴散層6(ATi)為10nm’保 9 7 (紫外線硬化樹脂）為j 〇 光碟1的信號記錄、再生層4在本實施形態具備磁光 構：《。磁光記錄層可以以單層形成，或者也可以以多層 板=成。此外’在信號記錄、再生層4轉印透明光碟基 勺/冓槽2 a及陸地2 b的凹凸形狀。 tp 目 -、有如表1所示的陸地面及溝槽面的 度和滏她y 日7异術平均粗糙 槽側面的傾斜角的光碟基板進行評 場特祕 幵動、消除磁 ' 及功率極限特性的實驗，在圖5至圖7以岡主θ 膜姅Μ入 u /从圖表顯示。 爯王以同樣進行實驗。此處，比較例2羽 表1 ^白知品種
樣品 陸地面的算術 溝槽面的算術 —-^^ 平均粗糙度 平均粗糙度 ----\ 0.6 nm 0.55 nm 0.7 nm 0.65 nm -12 - 1228254
圖5顯示各例的抖動，圖6顯示消 示功率極限特性。此處，功率極限特性係結果顯示串音的 難產生度。關於實驗條件，作為全 王邛項目共同的條件，讀 取雷射光的波長為65 0 nm，ΝΑ(數值？丨辦、生Α v双值孔徑）為0·55，線速度 為每秒7.5 m。 (I) 關於抖動的實驗，按以下步驟進行： 1 ·消除陸地和其兩端的溝槽的記錄。
2·在陸地以最佳條件進行隨機記錄，以最佳條件再生而 測量抖動（所謂最佳條件，係抖動值成為最小的條件）。 上述1及2的步驟也可以在各步驟換成分別調換陸地及 溝槽的以下1’及2’的步驟進行： Γ消除溝槽和其兩端的陸地的記錄。 2 ’在溝槽以最佳條件進行隨機記錄，以最佳條件再生而 測量抖動（所謂最佳條件，係抖動值成為最小的條件）。
實驗結果如圖5所示。 (II) 消除磁場特性的實驗，按以下步驟進行： 1 .消除陸地和其兩端的溝槽的記錄。 2.在陸地以最佳功率記錄。 3 ·以最佳再生功率再生，測量抖動（以此為抖動6 〇 〇)。 4.以最大消除磁場（600 Oe)消除後，以最佳功率記錄。 5 .以最大消除磁場（3 0 0 Ο e)消除後’以最佳功率記錄。 6 ,以最佳功率再生，測量抖動（以此為抖動3 0 〇)。 7 .以（抖動3 0 0 /抖動6 0 0)測量消除率。 -13· 1228254 (9)
上述1及2的步驟也可以在各步驟換成分別調換陸地及 溝槽的以下1’及2’的步驟進行： Γ消除溝槽和其兩端的陸地的記錄。 2 '在溝槽以最佳功率記錄。 實驗結果如圖6所示。 (111)關於功率極限特性的實驗，按以下步驟進行： 1 ·消除陸地和其兩端的溝槽的記錄。 2 ·在陸地以最佳條件記錄。 3 _在兩端的溝槽以提高5 %最佳記錄功率記錄。 4·徑向傾斜= 3.5 mrad、離開軌道=使執道間距的5%移位 ，測量以下。 5 ·在陸地使再生功率變化而再生，測量抖動。 6·從抖動的下降（Prmin)測量抖動的上升（prniax)。 7.以？〇1^1^11={(?〇1^父氺1^1比)/?1"111111}父100%為又丁極限。 8 ·抖動的上升、下降為抖動值低於丨丨％時之值。 上述1、2、3及5的步驟也可以在各步驟換成分別調換陸 地及溝槽的以下Γ、2 ’、3，及5，的步驟進行。 Γ消除溝槽和其兩端的陸地的記錄。 2 1在溝槽以最佳條件記錄。 3 ’在兩端的陸地以提高5 %最佳記錄功率記錄。 5 ’在溝槽使用再生功率變化而再生，測量抖動。 其實驗結果如圖7所示。 茲研究圖5至圖7的實驗結果。 關於抖動，如圖5所示，就實施例1及比較例1的陸地及 -14- 1228254 0〇)
溝槽的抖動而言，得知調和地壓低其陸地及溝 。 %叉方的抖動 相反，在比較例2，雖然溝槽的抖動低， M ^ - 1一陸地的 灯動回，舁不上取得兩方的調和。這種不平 科動特性 不適於使用陸地及溝槽兩方作為記錄執道。 在實施例1可以說是因為陸地面的算術平均粗糙戶提古 ，和溝槽面的算術平均粗糙度的平衡變成良好。 门 觀察圖ό顯示的消除磁場特性，得知實施例丨及比 ’陸地及溝槽均比比較例2壓低。關於此原因，即：例將1 敍刻而陸地面的算術平均粗縫度提高，但儘管溝槽面的： 術平均粗糙度惡化’消除特性仍然提高的原因的詳 楚，但推測是因變成磁化反 、、、个 >月 高。 夂轉各易的面狀恶而消除特性提 圖7顯示功率極限，顯千 々不對於串音的抵抗力。溝 的傾斜角0 —般隨著變忐承I τ 目側面 遣成更加平緩而其串音增加，讀敢4主 性降低。即，推測功率椏职政y 只取特 無 力旱極限降低。然而，根據實施 貝驗結果，若是溝槽側面 、， 儿 的傾斜角25 ，則功率極限不亞 化而被維持。而且，可 心、 次保持陸地及溝槽雙方的平 對此，若是比較例丨的溝梯 十衡。 帽惡化。 側面的傾斜角19。’則功率極限大 1228254
的貫驗得知 狀 到 ，即诱日日丄 1 ’藉由控制記錄面 p逯明光碟基板的形狀，在弈 如下的效果： 先碟的磁性特性方面 形 得 i陸地面的抖動提高 成良好。 同時陸地及溝槽雙方間的平衡變 •陸地面、溝槽面均消除磁場特 3 ·可不使陸地面及溝槽面的功率 即，根據關於本發明的實施形態 9及陸地的形狀，可同時滿足至今 的軌道串音、抖動及磁性性能。 第二實施形態 性提高。 極限制性惡化而維持。 ’藉由控制基板面的溝 困難的陸地及溝槽雙方
本备明的光資訊記錄媒體丨雖然可使用具有如前 的透明# 光次 ’、土板2製作，但此光碟基板可製造如下所述的 、>貝戒自己錄媒體用原盤使用而得到。是因為成型後的 形狀（傾^ 针角、异術平均粗糙度）也成為原模（原盤）的相似 形。
/即’光資訊記錄媒體用原盤的製造方法，其特徵在於： 係轉印製作具有陸地及溝槽兩方作為記錄執道的光資訊 °己錄媒體基板’具備以下製程：在原盤原料表面製作陸地 及溝槽的形狀；及，電漿蝕刻處理形成該陸地及溝槽的原 ys 0^1 主 ’、竹表面’以與該溝槽側面對應的原盤面傾斜角為250 -16- 1228254
(12) ’微 以上4 0以下，並且以與該陸地面及該溝槽面對應的原盤 面的算術平均粗縫度（Ra)均為〇·2〜〇·7 nm者。 絲面參考圖8 A至圖81，一面敘述此光資訊記錄媒體用 原盤的製造方法。此方法包含以下步驟：
首先，研磨、洗滌成為製作原盤基礎的玻璃板丨〇表面（ 圖8A)，在玻璃板10表面塗佈光阻n(圖8B)。其次，對於 光阻1 1面如執道形狀留下般地以雷射束丨7曝光而進行切 割（圖8C)，使光阻U顯影後洗滌，完成在表面形成光阻剩 餘部分12的凹凸狀軌道的玻璃板(圖sd)。 在此玻璃板1 8的執道面，作為為了施以鍍鎳的準備，利 用例如濺鍍、無電鍍等使薄的鎳膜13附著，使表面導體化 (圖8E)，在其上施以鍍鎳而形成鍍鎳層14(圖8F)。 使該鐘錄層1 4從玻璃板丨8剝離，進行洗滌及背面研磨， 凡成錄製原盤15(圖8G、圖8H)。遍及此鎳製原盤15的表 面全面進行電漿蝕刻處理（圖81)。
在本實施形態的原盤原料表面製作陸地及溝槽的來狀 的製程（簡稱為第一製程）為上述圖8八至圖8H :'丸 v少•'鄉。關 於此步驟，在眾所周知技術可適用各種方法。 ^ ^ ϋ蜒所述的 、χ鎳方法為其一種。此外，原盤原料不限 十 %鎳材料。 在第一製程完成的鎳製原盤丨5的特徵係 的光阻表面電鍍其陸地面，所以與陸地面對應的原·、4棱 算術平均粗糙度粗糙。即，如圖9顯示其模’、盤面的 . 蜀^面圖，^4. 也面為比溝槽面粗糙的狀態，未保持與陸地面及 土 應的原盤面的算術平均粗糙度平衡。此 /槽面對 j的光碟為 -17- 1228254
習知例，相當於前述表1、2的比較例2。 本發明如圖81所示’再電疲餘刻處理形成陸地及溝槽形 狀的原盤原料表面。藉由此製程（稱為第二製程），使與溝 槽側面對應的原盤面傾斜角成為2 5。以上4 〇。以下，並且使 與陸地面及溝槽面對應的原盤面的算術平均粗糖度（Ra) 均成為0.2〜0.7 nm。
在本實施形態，使用平行平板型且設置基板陰極式的裝 置作為電漿#刻處理。使用的電漿蝕刻氣體為氬氣。 關於實施例1及比較例1的RF (射頻）功率、氬氣壓力、處 理時間分別為1 5 0瓦、1 〇帕、3 0分鐘（實施例丨）及丨5 〇瓦、 1 0帕、5分鐘（比較例1)。此條件的鎳膜蝕刻速率為約1 〇 nm/分，測量使用原子力顯微鏡（AFM = Atomic Force Microscope) 0
實驗的結果顯示於圖1 〇及圖u。圖1 〇為顯示本實施例的 電漿蝕刻時間和與溝槽侧面對應的原盤面傾斜角的關係 圖表，圖11為顯示本實施例的電漿蝕刻時間和與陸地面及 溝槽面對應的原盤面的算術平均粗糙度的關係的圖表。 如圖1 0所示，與溝槽側面對應的原盤面傾斜角0因非等 向性蝕刻的蝕刻速度的角度相關性而和蝕刻處理時間共 同鈍化下去。傾斜角雖然初期狀態為40°，但例如實施例1 的3分鐘則為約2 5 ° (圖1 〇的A部分），比較例1的5分鐘則為 19°(圖10的B部分）。 如圖1 1所示，與陸地面及溝槽面對應的原盤面的算術平 均粗糙度（Ra)基本上在於因離子衝擊而惡化下去的方 -18« 1228254 L... (14) 向。然而，陸地面在第一製礙十 、 I &電錢形成於面狀態粗糙的光 阻表面’所以在初期狀態粗私。 因此，在電漿蝕刻處理初
期’算術平均粗糙度提高。即，H 疋因為藉由電漿蝕刻處理， 粗糙的初期狀態的與陸地面 间對應的原盤面的算術平均粗 糙度暫時提高。其後，照樣繼續 m、、只電漿蝕刻處理，則因電漿 蝕刻的效果而表面粗糙下去，g p异術平均粗糙度單調增加 地提南下去。
因此，一定時間經過後停丨卜紅W 止飿刻，將算術平均粗糙度留 在陸地及溝槽均接近的狀態銶 心就有助於串音特性提高等信 號品質的提高。如此，使用雷將M W 4 h K用軍漿蝕刻法可控制與陸地面及 溝槽面對應的原盤面的算術平均粗糙度’這種算術平均粗 趟度的控制能使信號品質提高。 、又，在上述實施形態雖然使用氬氣的電漿蝕刻，但也可 以使用其他氣體種類，例如氮、氦、氧。 前：：以上製作的本發明光碟習知光碟的特性的比較，如 面的。_ ’實施例1係姓刻時間為3分鐘，溝槽侧 壓 ，’、'25 ，溝槽面及陸地面均算術平均粗糙度被 •而呆、平衡。因此，抖動等信號品質良好。 比較例2為習知σ ，從土 A ^ 妝& 白知〇口係未施以本發明的電漿蝕刻處理的 挿Γ:以溝槽侧面的傾斜角大，並且未保持陸地面及溝 佳，的算術平均粗糙度平衡。因此，雖然功率極限特性 ，但抖動和消除磁場特性卻不良。 乂本發明的姓刻處理時間為5分鐘而溝槽 面的傾斜角成A 10〇 ^ 战為1 9 ，所以功率極限特性降低。 -19- 1228254
如以上詳細說明，根據本發明的光資訊記錄媒體及光資 訊記錄媒體用原盤和其製造方法，可取得如下的效果。 ’ 根據本發明的光資訊記錄媒體，不使其記錄品質降低而 可在陸地及溝槽兩面記錄。即，可使陸地及溝槽兩面相關 的抖動、消除磁場特性及功率極限特性適當地平衡，並且 與信號記錄膜的性質無關，而只根據形狀使這些提高。本 發明的光資訊記錄媒體在周向提高記錄密度的M S R方 式，特別發揮其效果。 φ 此外，根據本發明的光資訊記錄媒體用原盤及其製造方 法，可大量生產上述記錄媒體，並且藉由使用電漿蝕刻， 容易控制與陸地面及溝槽面對應的原盤面的算術平均粗 糙度。
-20- 1228254 (16)
〈圖式代表符號說明〉 序號 元件符號編號 中文 1 1 光資訊記錄媒體 2 光碟 3 2 透明光碟基板 4 3 第一介電層 5 4 信號記錄、再生層 6 5 第二介電層 7 6 熱擴散層 8 7 保護層 9 2a 溝槽 10 2b 陸地 11 10 玻璃板 12 11 光阻 13 17 雷射束 14 18 玻璃板 15 13 鎳膜 16 14 鍍鎳層 17 15 原盤 18 19 20
-21 -

Claims (1)

1228254 孰 拾、申請專利範圍 1 . 一種光資訊記錄媒體，其特徵在於：係在基板 地及溝槽兩方作為記錄軌道，前述基板的溝槽 斜角為25°以上40°以下，並且前述基板的陸地 面的算術平均粗糙度（Ra)均為0.2〜0.7 nm者。 2 ·如申請專利範圍第1項之光資訊記錄媒體，其 地面及前述溝槽面的算術平均粗糙度（Ra)差^ 下。 3 .如申請專利範圍第1項之光資訊記錄媒體，其 性超解析（MSR)進行資訊的再生。 4 .如申請專利範圍第1項之光資訊記錄媒體，其 上依次形成第一介電層、信號記錄層、再生層 電層、熱擴散層、保護層。 5 . —種光資訊記錄媒體用原盤，其特徵在於：係 具有陸地及溝槽兩方作為記錄軌道的光資訊 用基板，與前述溝槽侧面對應的原盤面傾斜， 上40°以下，並且與前述陸地面及前述溝槽面 盤面的算術平均粗糙度（Ra)均為0.2〜0.7 nm者 6. —種光資訊記錄媒體用原盤的製造方法，其特 係轉印製作具有陸地及溝槽兩方作為記錄軌 訊記錄媒體用基板，具備以下製程：在原盤原 作陸地及溝槽形狀；及，電漿蝕刻處理前述形 溝槽形狀的原盤原料表面，以使與前述溝槽側 原盤面傾斜角為2 5 °以上4 0 °以下，並且使與前 及前述溝槽面對應的原盤面的算術平均粗糙 上具有陸 側面的傾 面及溝槽 中前述陸 ‘ 0.2 nm 以 中使用磁 中在基板 、第二介 轉印製作 記錄媒體 夸為2 5 °以 對應的原 〇 徵在於： 道的光資 料表面製 成陸地及 面對應的 述陸地面 度（Ra)均 1228254
為0.2〜0.7 nm者。 7.如申請專利範圍第6項之光資訊記錄媒體用原盤的製造 方法，其中前述電漿蝕刻處理製程的電漿產生氣體為氬 、氮、氦或氧。 8 .如申請專利範圍第6項之光資訊記錄媒體用原盤的製造 方法，其中係使與前述陸地面及前述溝槽面對應的原盤 面的算術平均粗糙度（Ra)差為0.2 nm以下。
9.如申請專利範圍第6項之光資訊記錄媒體用原盤的製造 方法，其中前述電漿蝕刻處理製程的蝕刻時間為超過0 分鐘並在3分鐘以下。
1228254 —— ! ·Γ ,/ 一：一- ： 4 、\ . 2 : . _、； 第091114624號專利申請案L...±—」:…〜上丨） UMt 中文圖式替換頁(93年9月） ~~——
10. 0 i斗 9. 5 9. 0 [%] 8.5 8· D 比較例2 實施例1 比較例1 圖5 抖 % 1·(Ι5-
•比較例2 實施例1 比較例1 (3000e/£：000e) 1 (,〇 0. !)5 圖6 15. 0¾ 極 限 10. 0¾ (:t%) (mt> 片:e〉 5,0¾
比較例2 實施例1 比較例1 20. 0¾ 0¾ 1228254 第0911M624號專利申請案/ 中文圖式替換頁(93年9月） 替換if j 疋，i 2v、 年]^日
圖9
50- 40 傾斜角(c )
20 25 姓刻時間(分) 圖10 面 粗 糙 0, 8 度 ,Ra 0· 6 (nm) 0. 4 0. 2
0 5 10 15 20 蝕刻時間(分） 圖11
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