KR20090046969A - 광정보 기록매체, 광정보 기록매체용 원반 및 그 제조 방법 - Google Patents

광정보 기록매체, 광정보 기록매체용 원반 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR20090046969A
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미쓰오 아리마
다다오 스즈키
요시히토 후쿠시마
히로시 나카야마
아쓰시 다케우치
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소니 가부시끼 가이샤
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Abstract

랜드면 및 그루브면 양쪽을 기록트랙으로 하는 신호 품질이 높은 광정보 기록매체이다. 랜드 및 그루브 양쪽을 기록트랙으로서 기판 상에 가지고, 기판의 이면 측에서 레이저광을 조사하여 기록 및 재생을 행하는 광정보 기록매체로서, 그루브 측면의 경사각이 25°이상, 40°이하이고, 또한 상기 랜드면 및 상기 그루브면의 산술평균 거칠기(Ra)가 모두 0.2∼0.7 nm이다.
광디스크, 기록트랙, 랜드, 그루브

Description

광정보 기록매체, 광정보 기록매체용 원반 및 그 제조 방법{OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM, ORIGINAL DISK FOR OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM, AND METHOD OF MANUFACTURING THE ORIGINAL DISK}
본 발명은 광정보 기록매체에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 랜드 및 그루브의 양쪽을 기록트랙으로서 가지는 광정보 기록매체에 관한 것이다.
재기록 가능하고 소거 가능한 광정보 기록매체(이하, 광디스크라 약칭한다)는 퍼스널 컴퓨터용 파일메모리 등으로서 널리 사용되고 있다. 그 요구에 따르기 위해서 기록용량을 증가시키기 위한 여러 가지 기술이 개발되어 있다. 기록용량을 높이는 방법으로는 반경방향과 둘레방향에 기록밀도를 높이는 방법이 있다.
반경방향으로 기록밀도를 높이는 방법으로서, 랜드(평탄부분) 및 그루브(홈부분)의 쌍방을 기록트랙으로 사용하는 랜드·그루브 기록포맷이 있다. 이 방법은 종래, 랜드 또는 그루브의 한 쪽만을 기록트랙으로 하고 있었던 것을 양쪽 모두를 기록트랙으로 이용함으로써 기록 밀도를 높이는 방법이다.
이 랜드·그루브 기록방법에서는 랜드 및 그루브 각각 단독에서의 신호 품질인 CNR(Carrier to Noise Ratio)나, 지터(Jitter), 또는 크로스토크가 문제가 되는 것뿐만 아니라, 인접하는 트랙에 기록된 신호 사이의, 즉 랜드에 인접하는 그루브로부터의 크로스토크, 또는 그루브에 인접하는 랜드에 기록된 신호로부터의 크로스토크의 영향이 나타난다.
또한 일반적으로, 랜드·그루브 기록에서는, 재생레이저의 입사면에서 보아 오목면인 랜드 트랙과, 볼록면인 그루브 트랙 사이에서 크로스토크의 특성에 차이가 보인다. 그리고, 랜드로부터 그루브로 누출되는 신호량과 그루브로부터 랜드로 누출되는 신호량은 차이가 있어, 이들에 유의하면서 복잡한 설계가 이루어져 있는 것이 현재 상황이다.
또, 랜드 및 그루브가 기록트랙으로서 인접하고 있기 때문에, CNR나 지터의 현상도 보다 복잡하게 된다.
한편, 둘레방향으로 기록밀도를 높여 가는 방법으로서, 자기적 초해상(MSR= Magnetical1y Induced Super Resolution)이 있다. 이것은 재생광의 회절한계보다도 미세하게 기록된 기록마크를 상층(이른바 재생층)에 자기적으로 형성된 개구를 통해서 판독하는 기술이다. 이로 인해, 회절한계 이하에서 인접하는 마크를 분리하여 판독할 수 있게 된다.
그러나, 이 랜드·그루브 기록과 상기 MSR을 조합한 경우, 랜드 및 그루브 쌍방의 트랙에서의 크로스토크와 지터 및 MSR의 자기적인 특성은 서로 트레이드 오프의 관계로 되어 있어, 모두를 동시에 만족시키는 설계방법, 또는 최적설계의 방법이 없고, 이것은 해결이 곤란한 문제였다. 부분적으로는 예를 들면 크로스토크는 랜드 및 그루브 사이의 경사각에 관계하고, 지터 및 MSR의 자기적인 특성은 랜 드면 및 그루브면의 산술평균 거칠기와 패턴의 형상에 기인하는 것이 예상되어 있었다. 그러나, 이들에 대한 최적의 조합, 또는 제어가능한 파라미터는 얻어지지 않았다.
또, 그와 같은 최적의 조합이 얻어지고 있지 않기 때문에, 상기 광정보 기록매체를 제조하기 위한 광정보 기록매체용 원반 및 그 제조 방법도 얻어지고 있지 않았다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 랜드 및 그루브 양쪽을 기록트랙으로 하는 신호 품질이 높은 광정보 기록매체를 제공하는 것이다.
상기 과제는 이하에 설명하는 본 발명에 따른 광정보 기록매체, 광정보 기록매체용 원반 및 그 제조 방법에 의해서 달성된다.
(1) 즉, 본 발명의 광정보 기록매체는 랜드 및 그루브 양쪽을 기록트랙으로서 기판 상에 가지는 광정보 기록매체로서, 상기 기판의 그루브 측면의 경사각이 25°이상, 40°이하이고, 또 상기 기판의 랜드면 및 그루브면의 산술평균 거칠기(Ra)가 모두 0.2∼0.7nm인 것을 특징으로 한다. 이러한 구성의 광정보 기록매체는 양호한 신호 품질특성, 즉 양호한 지터, 소거자계 특성, 크로스토크 특성을 가진다.
상기 (1)에 기재된 광정보 기록매체는 상기 랜드면 및 상기 그루브면의 산술평균 거칠기(Ra)의 차이가 0.2nm 이하인 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의한 광정보 기록매체는, 랜드 및 그루브 사이에서의 자기적 밸런스가 양호해져 양호한 신호 품질특성을 가진다.
또, 상기 (1)에 기재된 광정보 기록매체는 정보의 재생이 자기적인 초해상(MSR)을 이용하여 행하여지는 것이 바람직하다. 이러한 구성의 광정보 기록매체 는 MSR의 사용에 의해 보다 고밀도인 기록을 양호한 신호 품질특성으로 행할 수 있다.
(2) 또, 본 발명은 랜드 및 그루브 양쪽을 기록트랙으로서 가지는 광정보 기록매체용 기판을 전사(轉寫) 제작하는 광정보 기록매체용 원반이며, 상기 그루브 측면에 대응하는 원반면의 경사각이 25°이상, 40°이하이고, 또 상기 랜드면 및 상기 그루브면에 대응하는 원반면의 산술평균 거칠기(Ra)가 모두 0.2∼0.7nm 인 것을 특징으로 한다. 이러한 구성의 광정보 기록매체의 원반에 의해서 양호한 신호 품질을 가지는 광정보 기록매체를 복제할 수 있다.
(3) 본 발명의 광정보 기록매체용 원반의 제조 방법은 랜드 및 그루브 양쪽을 기록트랙으로서 가지는 광정보 기록매체용 기판을 전사 제작하는 광정보 기록매체용 원반의 제조방법이며, 원반소재 표면에 랜드 및 그루브의 형상을 제작하는 공정과, 상기 랜드 및 상기 그루브의 형상이 형성된 원반소재 표면을 플라즈마 에칭처리하여 상기 그루브 측면에 대응하는 원반면의 경사각을 25°이상, 40°이하로 하고, 또 상기 랜드면 및 상기 그루브면에 대응하는 원반면의 산술평균 거칠기(Ra)를 모두 0.2∼0.7nm으로 하는 공정을 구비한 것을 특징으로 한다. 이러한 광정보 기록매체의 원반 제조방법에 따라 양호한 신호 품질특성을 가지는 광정보 기록매체를 복제할 수 있는 광정보 기록매체용 원반이 제조 가능하게 된다.
또, 상기 (3)에 기재된 광정보 기록매체용 원반의 제조방법은 플라즈마 에칭처리 공정에서의 플라즈마 발생가스가 Ar, N2, He 또는 O2인 것을 특징으로 한다. 또, 상기 (3)에 기재된 광정보 기록매체용 원반 제조방법에서는 랜드면 및 그루브면의 산술평균 거칠기(Ra)의 차이를 0.2nm 이하로 하는 것이 바람직하다. 이러한 광정보 기록매체의 원반 제조방법에 따라 랜드면과 그루브면의 산술평균 거칠기의 균형을 잘 잡을 수가 있어, 양호한 신호 품질특성을 가지는 광정보 기록매체를 복제하는 광정보 기록매체용 원반을 제작할 수 있다.
본 발명에 의한 광정보 기록매체, 및 광정보 기록매체용 원반과 그 제조 방법에 의하면, 다음과 같은 효과를 나타낼 수 있다.
본 발명의 광정보 기록매체에 따라 랜드 및 그루브 양면에서의 기록이 그 기록품질을 저하시키지 않고서 가능해졌다. 즉, 랜드 및 그루브 양면이 관련되는 지터, 소거자계 특성 및 전력여유 특성을 적합하게 균형 유지시키고, 또한, 신호기록막의 성질에 관계없이 형상에만 따라서 이들을 향상시킬 수 있다. 본 발명의 광정보 기록매체는 둘레방향에 기록밀도를 높이는 MSR 방식에 있어서 특히 그 효과가 발휘된다.
또, 본 발명의 광정보 기록매체용 원반 및 그 제조 방법에 의하면, 상기의 기록매체의 대량 생산이 가능해 지고, 또한 플라스마 에칭를 이용하는 것에 따라 랜드면 및 그루브면에 대응하는 원반면의 산술평균 거칠기의 제어가 용이하게 된다.
본 발명의 광정보 기록매체(광디스크라 약칭한다)는 그루브(홈)와 랜드 양쪽 을 기록트랙으로서 기판 상에 가지고 상기 기판의 이면(裏面) 측에서 레이저광을 조사하고 기록 및 재생을 행하는 구성으로 되어 있다.
이하, 본 발명의 광디스크의 일례를 도면을 참조하여 설명하지만, 본 발명의 광디스크는 실시예에 한정되지 않는다. 즉 본 발명의 광디스크는 기록트랙으로서 기판 상에 그루브와 랜드가 형성되어 이루어지는 것이면 적용 가능하다. 예를 들면, 광자기디스크 외에 기록신호에 따른 소정의 미세 요철패턴이 신호 기록층에 형성된 재생전용 광디스크라도 되고, 상변화형 또는 색소를 이용한 광디스크 등이라도 된다.
<제1 실시예>
도 1은 본 실시예에 따른 광정보 기록매체(1)(이하 광디스크라 약칭한다)의 부분 절개 사시도이다. 본 발명의 광디스크(1)는 기록신호의 기록 및 재생을 복수회 행할 수 있는 것이며, 예를 들면, 디스크 카트리지(도시하지 않음)에 수납되어 기록재생 장치(도시하지 않음)에 대하여 착탈 가능하게 이용된다.
본 발명의 광디스크(1)는 도 2에 도시한 바와 같이, 투명 디스크기판(2) 상에 제1 유전체층(3), 신호기록·재생층(4), 제2 유전체층(5), 열확산층(6), 보호층(7)이 순차 적층되어 형성된다. 신호기록·재생층(4)은 재생층, 중간층 및 기록층으로 이루어진다.
투명 디스크기판(2)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 단면이 홈형의 그루브(2a) 및 단면이 사다리꼴형의 랜드(2b)가 원주방향으로 나선상으로 형성되어 있다. 그리고, 광디스크(1)는 그루브(2a) 및 랜드(2b)를 따라 신호의 기록 및 재생이 행하 여지도록 구성되어 있다.
투명 디스크기판(2)에는 그루브(2a)를 따라 기록신호의 기록재생이 행하여지는 기록용 트랙이 형성되어 있다.
그리고, 본 발명에 따른 투명 디스크기판(2)에서는 그루브 및 랜드 양쪽에서 신호기록을 행한다.
도 4는 도 3에서의 랜드 그루브 형상의 확대단면을 모식적으로 도시한 도면이다. 도 4에서 RaL, RaG는 각각 랜드면의 산술평균 거칠기 및 그루브면의 산술평균 거칠기를 나타내고, 그루브 측면의 경사각(θ)은 그루브 측면이 투명 디스크기판(2)의 수평면과 이루는 각이다. 여기에서, 그루브 측면의 경사각(θ)은 25°이상, 40°이하며, 또한 랜드면의 산술평균 거칠기(RaL) 및 그루브면의 산술평균 거칠기(RaG)는 모두 0.2∼0.7nm 이다.
본 발명에서 산술평균 거칠기(Ra)는 거칠기 곡선으로부터 그 평균선의 방향으로 기준길이 만큼 빼내고, 그 빼낸 부분의 평균선으로부터 측정곡선까지의 편차의 절대치를 합계하여 평균한 값으로서, 하기식에서 구해진다.
Figure 112009020525692-PAT00001
또, 본 실시예에서는 상기 구성의 광디스크(1)에서 정보의 재생은 자기적인 초해상(MSR)을 이용하여 행했다.
이상과 같이 구성된 투명 디스크기판(2) 상에, 도 2에 도시한 바와 같이, 제 1 유전체층(3), 신호기록·재생층(4), 제2 유전체층(5), 열확산층(6), 보호층(7)을 통상의 방법에 의해 순차 형성하여 광디스크(1)를 제작했다. 예를 들면, 제1 유전체층(3), 신호기록·재생층(4), 제2 유전체층(5), 열확산층(6)은 스퍼터링법에 의해, 보호층(7)은 스핀 코팅법에 의해 형성했다.
여기서 각 층의 두께는, 기판은 1.2mm, 제1 유전체층(3)(SiN)은 80nm으로 했다. 신호기록·재생층(4)은 재생층(GdFeCo) 40nm, 중간층(GdFe)은 30nm, 그리고 기록층(TbFeCo)은 50nm로 이루어진다. 또, 제2 유전체층(5)(SiN)은 20nm, 열확산층(6)(A1Ti)은 10nm, 보호층(7)(자외선경화수지)은 10μm으로 했다.
광디스크(1)를 구성하는 신호기록·재생층(4)은 본 실시예에서는 광자기 기록층을 구비한다. 광자기 기록층은 단층으로 형성되어 있을 수도 있고, 또는 다층 구조로 형성되더라도 좋다. 또, 신호기록·재생층(4)에는 투명 디스크기판(2)의 그루브(2a) 및 랜드(2b)의 요철 형상이 전사되어 있다.
표 1에 도시한 바와 같은 랜드면 및 그루브면의 산술평균 거칠기 및 그루브 측면의 경사각을 가지는 디스크기판을 이용하여, 지터, 소거자계 특성 및 전력여유 특성을 평가하는 실험을 행하고, 도 5 내지 도 7에서 그래프로 나타내었다. 막구성은 모두 동일하게 실험을 행했다. 여기서 비교예 2는 종래품이다.
샘플 랜드면의 산술평균 거칠기 그루브면의 산술평균 거칠기 그루브 측면의 경사각
실시예 1 0.6 nm 0.55 nm 25°
비교예 1 0.7 nm 0.65 nm 19°
비교예 2 0.8 nm 0.4 nm 40°
도 5는 각 예의 지터를 나타내고, 도 6은 소거자계 특성을 나타내고, 그리고 도 7은 전력여유 특성을 나타낸다. 여기에서, 전력여유 특성은 크로스토크가 발생하기 어려움을 결과적으로 나타낸다. 실험조건에 관해서는, 전체 항목에 공통의 조건으로서, 판독 레이저광의 파장은 650nm, NA(개구수)는 0.55, 선속도는 매초 7.5m 이다.
(I) 지터에 관한 실험은 이하의 단계로 행했다.
1. 랜드와 그 양단의 그루브의 기록을 소거한다.
2. 랜드에 최적조건으로 랜덤기록을 행하고, 최적조건으로 재생하여 지터를 측정한다(최적조건이란 지터의 값이 최소가 되는 조건).
상기 1 및 2의 단계는 각 단계에 있어서 랜드 및 그루브를 각각 교체한 이하 1' 및 2'의 단계로 바꾸어서 실행해도 된다.
1'. 그루브와 그 양단의 랜드의 기록을 소거한다.
2'. 그루브에 최적조건으로 랜덤기록을 행하고, 최적조건으로 재생하여 지터를 측정한다(최적조건이란 지터의 값이 최소가 되는 조건).
실험결과는 도 5에 나타낸 것과 같다.
(II) 소거자계 특성의 실험은 이하의 단계로 실행했다.
1. 랜드와 그 양단의 그루브의 기록을 소거한다.
2. 랜드에 최적전력으로 기록한다.
3. 최적 재생전력으로 재생하여 지터를 계측한다(이것을 지터600으로 한다).
4. 최대 소거자계(60O Oe)로 소거 후, 최적전력으로 기록한다.
5. 소거자계(300 Oe)로 소거 후, 최적전력으로 기록한다.
6. 최적 재생전력으로 재생하여 지터를 계측한다(이것을 지터300으로 한다).
7. 소거율을 (지터300/지터600)로 계측한다.
상기 1 및 2의 단계는 각 단계에서 랜드 및 그루브를 각각 교체한 이하 1' 및 2'의 단계로 바꾸어서 실행해도 된다.
1'. 그루브와 그 양단의 랜드의 기록을 소거한다.
2'. 그루브에 최적전력으로 기록한다.
실험결과는 도 6에 나타내는 것과 같다.
(III) 전력여유 특성에 대한 실험은 이하의 단계로 실행했다.
1. 랜드와 그 양단의 그루브의 기록을 소거한다.
2. 랜드에 최적조건으로 기록한다.
3. 양단의 그루브에 최적 기록전력의 5% 이상으로 기록한다.
4. Radial Tilt=3.5mrad, Detrack=Track Pitch의 5%를 시프트시켜, 이하를 계측한다.
5. 랜드에서 재생전력을 변화시켜 재생하여 지터를 측정한다.
6. 지터의 하강(Prmin)으로부터 지터의 상승(Prmax)을 계측한다.
7. Prmargin={(Prmax-Prmin)/Prmin}×100%를 XT 여유로 한다.
8. 지터의 상승, 하강은 지터치가 11% 이하가 되었을 때의 값으로 한다.
상기 1, 2, 3 및 5의 단계는 각 단계에서 랜드 및 그루브를 각각 교체한 이하 1', 2', 3' 및 5'의 단계로 바꾸어서 실행해도 된다.
1'. 그루브와 그 양단의 랜드의 기록을 소거한다.
2'. 그루브에 최적조건으로 기록한다.
3'. 양단의 랜드에 최적 기록전력의 5% 이상으로 기록한다.
5'. 그루브에서 재생전력을 변화시켜 재생하여, 지터를 측정한다.
그 실험결과는 도 7에 나타내는 것과 같다.
도 5 내지 도 7의 실험결과를 고찰한다.
지터에 관해서는, 도 5에 도시한 바와 같이, 실시예 1 및 비교예 1에서의 랜드 및 그루브의 지터에 있어서는 그 랜드 및 그루브 쌍방의 지터가 조화적으로 낮게 눌려져 있는 것을 알 수 있다.
그것에 반하여, 비교예 2에서는 그루브에서의 지터는 낮지만 랜드에서의 지터는 높아, 양쪽의 조화가 얻어지고 있다고 말할 수 없다. 이러한 언밸런스의 지터 특성은 랜드 및 그루브 양쪽을 기록트랙으로서 사용하는 데에는 적합하지 않는다.
실시예 1에서는 랜드면의 산술평균 거칠기가 향상되어 그루브면의 산술평균 거칠기와의 밸런스가 양호해졌기 때문이라고 생각된다.
도 6이 나타내는 소거자계 특성을 보면, 실시예 1 및 비교예 1은 랜드 및 그루브에서 비교예 2보다도 낮게 눌려져 있는 것을 알 수 있다. 이 원인, 즉 플라스마 에칭에 의해서 랜드면의 산술평균 거칠기가 향상되었지만 그루브면의 산술평균 거칠기가 악화된 것에도 불구하고 소거특성이 향상된 원인에 대해서는 명확하지는 않지만 자화반전이 용이한 면상태로 되었기 때문에 소거특성이 향상되었다고 추측된다.
도 7은 전력여유 특성을 나타내고, 크로스토크에 대한 저항력을 나타낸다. 그루브 측면의 경사각(θ)은 일반적으로는 보다 완만하게 되는 것에 따라 그 크로스토크가 증가하여 판독 특성이 저하하는, 즉 전력여유가 저하하는 것으로 추측된다. 그러나, 실시예 1의 실험결과에 의하면, 그루브 측면의 경사각이 25°인데서는 전력여유가 악화되지 않고 유지되었다. 그리고, 랜드 및 그루브 쌍방의 밸런스가 얻어지고 있다고 할 수 있다. 이것에 대하여, 비교예 1의 그루브 측면의 경사각이 19°인데서는 전력여유가 크게 악화되었다.
이상의 결과를 정성적으로 통합하면 이하의 표 2와 같이 된다.
샘플 지터 소거 자계 특성 전력여유 특성
실시예 1 ○ ○ ○
비교예 1 ○ ○ ×
비교예 2 △ △ ○
(○: 양호, △: 불량, ×: 열악)
이상의 실험에서, 실시예 1에 의하면, 기록면의 형상, 즉 투명 디스크기판의 형상을 제어함으로써 광디스크의 자기적인 특성에 있어서 다음과 같은 효과를 얻을 수 있는 것을 알 수 있다.
1. 랜드면의 지터가 향상되는 것과 함께 랜드 및 그루브 쌍방사이의 밸런스가 양호해진다.
2. 랜드면과 그루브면도 함께 소거자계 특성이 향상된다.
3. 랜드면 및 그루브면의 전력여유 특성을 악화시키지 않고서 유지할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 실시예에 따라 기판면의 그루브 및 랜드의 형상 제어에 따라 지금까지 곤란한 랜드 및 그루브 쌍방의 트랙의 크로스토크와 지터 및 자기적인 성능을 동시에 만족하는 것이 가능하게 되었다.
<제2 실시예>
본 발명에 따른 광정보 기록매체(1)는 상술한 것 같은 형상을 가지는 투명 디스크기판(2)을 이용하여 제작할 수 있지만, 이 디스크기판은 다음에 설명하는 것 같은 광정보 기록매체용 원반을 제조하여 사용하여서 얻을 수 있다. 성형 후의 광 디스크의 형상(경사각·산술평균 거칠기)도 스탬퍼(원반)의 상사형(相似形)이 되기 때문이다.
즉, 광정보 기록매체용 원반의 제조방법은, 랜드 및 그루브 양쪽을 기록트랙으로서 가지는 광정보 기록매체의 기판을 전사 제작하는 광정보 기록매체용 원반의 제조방법으로서, 원반소재 표면에 랜드 및 그루브의 형상을 제작하는 공정과, 상기 랜드 및 그루브의 형상이 형성된 원반소재 표면을 플라스마 에칭처리하여 상기 그루브 측면에 대응하는 원반면의 경사각을 25°이상, 40°이하로 하고, 또 상기 랜드면 및 상기 그루브면에 대응하는 원반면의 산술평균 거칠기(Ra)를 모두 0.2∼0.7nm으로 하는 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.
이 광정보 기록매체용 원반의 제조방법을 도 8A 내지 도 8I를 참조하면서 설명한다. 이 방법은 이하의 단계로 이루어진다.
먼저, 원반제작의 기초가 되는 유리판(10)의 표면을 연마, 세정하고(도 8A) , 유리판(10)의 표면에 레지스트(11)를 도포한다(도 8B). 이어서, 레지스트(11)의 면에 대하여 트랙의 형상이 남도록 레이저 빔(17)으로 노광하여 커팅을 행하고(도 8C), 레지스트(11)를 현상하여 세정하여, 표면에 레지스트 잔부(12)에 의한 요철형의 트랙이 형성된 유리판(18)이 완성된다(도 8D).
이 유리판(18)의 트랙면에, 니켈도금을 실시하기 위한 준비로서, 예를 들면 스퍼터링 무전해도금 등에 따라서 얇은 니켈막(13)을 부착시켜, 표면을 도체화시키고(도 8E), 그 위에 니켈도금을 실시하여 니켈도금층(14)을 형성한다(도 8F).
그 니켈도금층(14)을 유리판(18)으로부터 박리시키고, 세정 및 이면 연마를 행하고, 니켈제의 원반(15)이 완성된다(도 8G, 도 8H). 이 니켈제의 원반(15)의 표면 전체면에 걸쳐 플라즈마 에칭처리를 행한다(도 8I).
본 실시예에서의 원반소재 표면에 랜드 및 그루브의 형상을 제작하는 공정(제1 공정이라 약칭한다)은 상기 도 8A 내지 도 8H의 단계이다. 이 단계에 관해서는 공지기술로 여러 가지 방법이 적용 가능하다. 여기서 설명한 니켈도금에 의한 방법은 그 하나이다. 또, 원반소재는 상기의 니켈재에 한정되지 않는다.
제 l 공정에서 완성된 니켈제의 원반(15)의 특징은 그 랜드면이 면상태의 거치른 레지스트 표면에 도금되어 있기 때문에, 랜드면에 대응하는 원반면의 산술평균 거칠기가 거친 것이다. 즉 도 9에 그 모식적 단면도를 나타낸 바와 같이, 랜드면은 그루브면보다도 거친 상태이며, 랜드면 및 그루브면에 대응하는 원반면의 산술평균 거칠기의 밸런스가 얻어지지 않는다. 여기서 얻은 광디스크는 종래예이며, 상기 표 1 및 2에서의 비교예 2에 상당한다.
본 발명에서는 도 8I에 도시한 바와 같이, 랜드 및 그루브의 형상이 형성된 원반소재 표면을 또 플라즈마 에칭처리한다. 이 공정(제2 공정이라고 함)에 따라 그루브 측면에 대응하는 원반면의 경사각을 25°이상, 40°이하로 하고, 또 랜드면 및 그루브면에 대응하는 원반면의 산술평균 거칠기(Ra)를 모두 0.2∼0.7 nm로 한다.
본 실시예에서는 플라즈마 에칭처리로서 평행 평판형으로 기판음극 설치 타입의 장치를 이용했다. 사용한 플라스마 에칭가스는 Ar 가스이다.
실시예 1 및 비교예 1에 대한 R F전력, Ar 가스압, 처리시간은 각각 150W, 10Pa, 3분(실시예 1), 및 150W, 10Pa, 5분(비교예 1)이다. 이 조건의 니켈막의 에칭율은 약 1O nm/분이며, 측정은 원자간 현미경(AFM=Atomic Force Microscope)을 이용했다.
실험의 결과는 도 10 및 도 11에 나타낸다. 도 10은 본 실시예에 의한 플라스마 에칭시간과 그루브 측면에 대응하는 원반면의 경사각의 관계를 나타내는 그래프이며, 도 11은 본 실시예에 의한 플라즈마 에칭시간과 랜드면 및 그루브면에 대응하는 원반면의 산술평균 거칠기의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 10에 도시한 바와 같이, 그루브 측면에 대응하는 원반면의 경사각(θ)은 이방성 에칭에서의 에칭속도의 각도 의존성에 의해 에칭 처리시간과 함께 둔화해 나간다. 경사각은 초기 상태는 40°이지만, 예를 들면 실시예 1의 3분에서는 약 25°(도 10의 A의 부분)이며, 비교예 1의 5분에서는 19°(도 10의 B의 부분)이다.
도 11에 도시한 바와 같이, 랜드면 및 그루브면에 대응하는 원반면의 산술평균 거칠기(Ra)는 기본적으로 이온의 충격으로 악화해 나가는 방향으로 있다. 그러나, 랜드면은 제1 공정에서 면상태의 거친 레지스트 표면에 도금되어 형성되었기 때문에 초기 상태에서는 거칠다. 이로 인해, 플라즈마 에칭처리의 초기에서는 산술평균 거칠기는 향상된다. 다시 말하면, 플라스마 에칭처리에 의해서 거칠던 초기 상태의 랜드면에 대응하는 원반면의 산술평균 거칠기가 일시적으로 향상되기 때문이다. 그 후, 그대로 플라즈마 에칭처리를 계속하면, 플라즈마 에칭의 효과에 의해서 표면은 황폐해져 간다, 즉 산술평균 거칠기는 단조 증가적으로 향상해 나간다.
그러므로, 일정시간 경과 후에 에칭을 정지하여, 산술평균 거칠기를 랜드 및 그루브 모두에 근접한 상태로 멈추는 것이 크로스토크특성의 향상 등 신호 품질의 향상에 이바지하는 것이 된다. 이와 같이 플라스마 에칭법을 이용하여 랜드면 및 그루브면에 대응하는 원반면의 산술평균 거칠기를 제어할 수 있고, 그와 같은 산술평균 거칠기의 제어가 신호품질을 향상시킨다.
또, 상기 실시예에서는 Ar 가스에 의한 플라스마 에칭를 이용했지만, 다른 가스 종류, 예를 들면 N2, He, O2를 이용할 수도 있다.
이상에 의해 제작한 본 발명의 디스크와 종래품의 디스크의 특성 비교는 상기 표 2에 나타낸 것과 같다. 즉 실시예 1은 에칭시간이 3분이며, 그루브 측면의 경사각이 25°이고, 그루브면 및 랜드면 모두 산술평균 거칠기는 낮게 눌려져 밸런스를 이루고 있다. 이로 인해, 지터 등의 신호 품질은 양호하다.
비교예 2는 종래품이며, 본 발명에서의 플라스마 에칭처리가 실시되지 않은 상태이므로, 그루브 측면의 경사각은 크고, 또 랜드면 및 그루브면의 산술평균 거칠기의 밸런스가 얻어지지 않는다. 그 때문에, 전력여유 특성은 우수하지만, 지터와 소거자계 특성은 불량이다.
비교예 1은 본 발명에서의 에칭처리 시간을 5분간으로 했기 때문에, 그루브 측면의 경사각이 19°가 되어 전력여유 특성이 떨어졌다.
도 1은, 본 발명에 따른 광정보 기록매체의 일례의 부분 절개 사시도.
도 2는, 본 발명에 따른 광정보 기록매체의 일례의 모식적 단면도.
도 3은, 본 발명에 따른 광정보 기록매체의 투명 디스크기판의 부분모식 사시도.
도 4는, 본 발명에 따른 광정보 기록매체의 투명 디스크기판의 부분모식 단면도.
도 5는, 실시예 1, 비교예 1 및 2의 지터특성을 나타내는 그래프도.
도 6은, 실시예 1, 비교예 1 및 2의 소거자계 특성을 나타내는 그래프도.
도 7은, 실시예 1, 비교예 l 및 2의 전력여유 특성을 나타내는 그래프도.
도 8A 내지 8I는, 본 발명에 따른 광정보 기록매체용 원반의 제조방법을 나타내는 공정단면도.
도 9는, 종래예에 따른 광정보 기록매체의 투명 디스크기판의 부분모식 단면도.
도 10은, 본 발명에 따른 광정보 기록매체용 원반의 제조공정에서의 플라즈마 에칭시간과 그루브 측면에 대응하는 원반면의 경사각의 관계를 나타내는 그래프도.
도 11은, 본 발명에 따른 광정보 기록매체용 원반의 제조공정에서의 플라스마 에칭시간과 랜드면 및 그루브면에 대응하는 원반면의 산술평균 거칠기의 관계를 나타내는 그래프도.

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  1. 광정보 기록매체.
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4244527B2 (ja) * 2001-04-06 2009-03-25 ソニー株式会社 光ディスクの製造方法
JP4147753B2 (ja) 2001-07-02 2008-09-10 ソニー株式会社 光情報記録媒体、光情報記録媒体用原盤およびその製造方法
CN1221962C (zh) * 2002-04-26 2005-10-05 Tdk股份有限公司 光记录介质和在其中对数据进行光记录的方法
JP4282285B2 (ja) * 2002-08-12 2009-06-17 Ｔｄｋ株式会社 光記録媒体及び光記録方法
US20050188397A1 (en) * 2002-12-24 2005-08-25 Fujitsu Limited Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording medium substrate manufacturing method
US20040202097A1 (en) * 2003-04-08 2004-10-14 Tdk Corporation Optical recording disk
JP2004355783A (ja) * 2003-05-30 2004-12-16 Sharp Corp 光情報記録媒体とその再生方法
JP2005235358A (ja) * 2004-02-23 2005-09-02 Tdk Corp 磁気記録媒体
JP4665531B2 (ja) * 2005-01-27 2011-04-06 日立電線株式会社 配線板の製造方法
JP4468191B2 (ja) * 2005-01-27 2010-05-26 株式会社日立製作所 金属構造体及びその製造方法
JP2007035164A (ja) * 2005-07-27 2007-02-08 Toshiba Corp 凹凸パターン基板およびその製造方法、磁気記録媒体、ならびに磁気記録装置
JP4585476B2 (ja) * 2006-03-16 2010-11-24 株式会社東芝 パターンド媒体および磁気記録装置
US20080038705A1 (en) * 2006-07-14 2008-02-14 Kerns Daniel R System and method for assessing student progress and delivering appropriate content
JP2008142895A (ja) * 2006-12-05 2008-06-26 Fujifilm Corp モールド構造体
JP4621898B2 (ja) * 2007-09-21 2011-01-26 独立行政法人産業技術総合研究所 超解像再生を行うための光記録媒体及びその光記録再生方法
CN101946401B (zh) * 2008-02-18 2014-09-03 精工电子水晶科技股份有限公司 压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0648546B2 (ja) * 1984-07-14 1994-06-22 日本ビクター株式会社 情報記録担体の製造法
JPS6486344A (en) * 1987-09-29 1989-03-31 Victor Company Of Japan Information recording carrier and production thereof
JPH01205744A (ja) * 1988-02-12 1989-08-18 Victor Co Of Japan Ltd スタンパ複製用原盤とその製造方法
JP2506967B2 (ja) * 1988-08-03 1996-06-12 松下電器産業株式会社 光ディスク原盤の製造方法
DE68921453T2 (de) * 1988-12-28 1995-07-13 Canon Kk Informationsaufzeichnungsträger.
JPH0554440A (ja) 1991-08-20 1993-03-05 Sanyo Electric Co Ltd 光デイスク用スタンパの製造方法
US5768075A (en) * 1991-12-17 1998-06-16 Baradun R&D Ltd. Disk medium w/magnetically filled features aligned in rows and columns
JPH05198016A (ja) * 1992-01-21 1993-08-06 Sharp Corp 光メモリ素子用原盤及びその製造方法
JPH05250742A (ja) 1992-03-04 1993-09-28 Kuraray Co Ltd 光磁気記録媒体およびその製造に用いるスタンパー
US5763037A (en) * 1994-04-18 1998-06-09 Sony Corporation Base for optical recording medium and stamper for manufacturing base of optical recording medium
JPH09161336A (ja) 1995-12-05 1997-06-20 Teijin Ltd 光記録媒体用スタンパの製造方法
KR20000005288A (ko) * 1996-04-10 2000-01-25 사토 도리 광기록매체_
JPH1064131A (ja) 1996-08-19 1998-03-06 Fujitsu Ltd 光磁気記録媒体及びその製造方法
JPH1092016A (ja) * 1996-09-12 1998-04-10 Nikon Corp 光ディスク
KR100230449B1 (ko) 1996-10-10 1999-11-15 윤종용 광기록매체
JP3255051B2 (ja) 1996-12-05 2002-02-12 三菱化学株式会社 光学的情報記録用媒体
KR19990023151A (ko) * 1997-08-27 1999-03-25 사토 도리 광자기기록매체 및 그 재생방법
US6177175B1 (en) * 1997-10-16 2001-01-23 Canon Kabushiki Kaisha Magneto-optical medium utilizing domain wall displacement
JP3472158B2 (ja) 1997-10-16 2003-12-02 キヤノン株式会社 光磁気記録媒体
US6814897B2 (en) * 1998-03-27 2004-11-09 Discovision Associates Method for manufacturing a molding tool used for substrate molding
JPH11353711A (ja) 1998-06-04 1999-12-24 Victor Co Of Japan Ltd 光ディスク
JP2000104184A (ja) 1998-07-06 2000-04-11 Victor Co Of Japan Ltd ドライエッチング装置、ドライエッチング方法、被ドライエッチング部材
JP2000048401A (ja) 1998-07-31 2000-02-18 Victor Co Of Japan Ltd 光情報記録媒体
JP2000293901A (ja) 1999-04-02 2000-10-20 Canon Inc 情報記録媒体及びその製造方法
JP2000339778A (ja) * 1999-05-26 2000-12-08 Sony Corp 光ディスク用原盤およびその製造方法、並びに、光ディスク用原盤の製造装置
JP2001126328A (ja) 1999-10-29 2001-05-11 Sony Corp 光磁気記録媒体
TW526474B (en) * 2000-02-14 2003-04-01 Taiyo Yuden Kk Optical information recording medium
US6501728B2 (en) * 2000-04-21 2002-12-31 Sony Corporation Optical disc having groove and land tracks
JP4244527B2 (ja) * 2001-04-06 2009-03-25 ソニー株式会社 光ディスクの製造方法
JP4147753B2 (ja) 2001-07-02 2008-09-10 ソニー株式会社 光情報記録媒体、光情報記録媒体用原盤およびその製造方法
TW200511296A (en) * 2003-09-01 2005-03-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method for manufacturing stamper, stamper and optical recording medium

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