JPS60177483A - ベリ−ドサ−ボ方式用磁気２重層デイスクのサ−ボパタ−ン作製方法 - Google Patents
ベリ−ドサ−ボ方式用磁気２重層デイスクのサ−ボパタ−ン作製方法Info
- Publication number
- JPS60177483A JPS60177483A JP3172384A JP3172384A JPS60177483A JP S60177483 A JPS60177483 A JP S60177483A JP 3172384 A JP3172384 A JP 3172384A JP 3172384 A JP3172384 A JP 3172384A JP S60177483 A JPS60177483 A JP S60177483A
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- JP
- Japan
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- servo
- magnetic
- layer
- pattern
- servo pattern
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は磁気ディスク装置のトラ９．り追従サーホ方式
に関し、符に磁気２重層ディスク（ベリードサーボ方式
）におけるサーボパターン作製方法に関する。
に関し、符に磁気２重層ディスク（ベリードサーボ方式
）におけるサーボパターン作製方法に関する。
（従来技術）
従来、磁気ディスク装置ｆまサーボ曲す−ホカ式が主流
となっているが、このサーボ面サーボ方式ではサーボ用
ディスクとデータ用ディスクが別々のディスクとして配
置されている為に周囲の温度の相違により位置決め精良
に誤差を生じていた。
となっているが、このサーボ面サーボ方式ではサーボ用
ディスクとデータ用ディスクが別々のディスクとして配
置されている為に周囲の温度の相違により位置決め精良
に誤差を生じていた。
特にこのサーボ面サーボ方式で奢」尚トラ、７り密度に
なるに従って、磁気へ、ドの位置決め誤差は増大し、高
トラ、りＩ＃度化か困１１１１゛尚記録密紋を実 ′現
することが難しい等の欠点を佇していた。
なるに従って、磁気へ、ドの位置決め誤差は増大し、高
トラ、りＩ＃度化か困１１１１゛尚記録密紋を実 ′現
することが難しい等の欠点を佇していた。
最近、へ、ド位置決め精度を上げるためにデータ面サー
ボ方式が種々検討されている。、符にデータ面す−ホ方
式として、データ面の一部分を使用するセクターサーホ
方式、データ情報そのものを使用する方式および磁気２
に層ディスクを用い、下層磁性膜をサーホ情４％ｌ該体
とし、そのサーホ情報を使用する方式等が倹約されてい
る。、現在データ面す−ホ方式の中、磁気２班層を）１
４いたべり一ドサーボ方式が最もへ、ド位１声決めＩｔ
ｒ 度か商いと評価されている。
ボ方式が種々検討されている。、符にデータ面す−ホ方
式として、データ面の一部分を使用するセクターサーホ
方式、データ情報そのものを使用する方式および磁気２
に層ディスクを用い、下層磁性膜をサーホ情４％ｌ該体
とし、そのサーホ情報を使用する方式等が倹約されてい
る。、現在データ面す−ホ方式の中、磁気２班層を）１
４いたべり一ドサーボ方式が最もへ、ド位１声決めＩｔ
ｒ 度か商いと評価されている。
従来ベリードサーボ方式用磁気２１１層ディスクのサー
ボパターンの作製方法は磁気へ、ドによる記録、下層サ
ーボ媒体のパターンエ、ナング等が提案されている。磁
気へ、ドによるサーボパターンの記録は、高価なサーボ
パターンライタが必被であシ、製造コストがその分高く
なるという欠点を汀していた。又下層のサーボ用磁性媒
体層のパターン工、チングによる方法はサーボ用磁性媒
体層に幾何学的な凹凸をつけるために段差解消の技術が
必要となるので磁気２重層線体の製造コストが島くなる
と同時に工、チング等の処理によるデータ用磁性媒体層
の欠陥が多くなるという欠点を存している。
ボパターンの作製方法は磁気へ、ドによる記録、下層サ
ーボ媒体のパターンエ、ナング等が提案されている。磁
気へ、ドによるサーボパターンの記録は、高価なサーボ
パターンライタが必被であシ、製造コストがその分高く
なるという欠点を汀していた。又下層のサーボ用磁性媒
体層のパターン工、チングによる方法はサーボ用磁性媒
体層に幾何学的な凹凸をつけるために段差解消の技術が
必要となるので磁気２重層線体の製造コストが島くなる
と同時に工、チング等の処理によるデータ用磁性媒体層
の欠陥が多くなるという欠点を存している。
（発明の目的）
本発明の目的は従来のサーボパターン形成の間―点を改
善して、段差解消の技術の必要がなく。
善して、段差解消の技術の必要がなく。
製造コストが安く、さらにデータ用御性媒体〜の欠陥が
多くならないベリードサーホ力式用磁気２重層媒体のサ
ーボパターン作製方法を提供することにある。
多くならないベリードサーホ力式用磁気２重層媒体のサ
ーボパターン作製方法を提供することにある。
（発明の構成）
本発明による、ベリードサーボ方式用磁気２Ｍ層ディス
クのサーボパターン作製方法はマスクパターンと選択的
酸化法によりサーボパターンを作製することを特徴とす
る。
クのサーボパターン作製方法はマスクパターンと選択的
酸化法によりサーボパターンを作製することを特徴とす
る。
（発明の構成に関する説明）
本発明によれは磁気２ Ｊｌ、階ディスクのサーボ）Ｖ
磁性媒体層の上にフォトレジストを塗布し、そのフォト
レジストをサーボ用磁化パターンを形成するマスクと光
学４光により、サーボパターンに％１応したパターンに
形成する。その状態で、フォトンシストを介してサーボ
媒体層の露出している部分を湿式法（乾式でも可）によ
シ酸化することによシ、露出部分の磁性を消失させ、サ
ーボパターンを形成し、その後フォトレジストを除去し
、壕らに非磁性層、データ用憔性媒体階を頗次被覆する
。この様な湿式（又は乾式）＃化法によシサーボパター
ンを作製すると、サーボ磁性媒体１−の幾何学的凹凸を
なくすことができ、欠陥も少なく、製造コストも大幅に
安くすることかできる。
磁性媒体層の上にフォトレジストを塗布し、そのフォト
レジストをサーボ用磁化パターンを形成するマスクと光
学４光により、サーボパターンに％１応したパターンに
形成する。その状態で、フォトンシストを介してサーボ
媒体層の露出している部分を湿式法（乾式でも可）によ
シ酸化することによシ、露出部分の磁性を消失させ、サ
ーボパターンを形成し、その後フォトレジストを除去し
、壕らに非磁性層、データ用憔性媒体階を頗次被覆する
。この様な湿式（又は乾式）＃化法によシサーボパター
ンを作製すると、サーボ磁性媒体１−の幾何学的凹凸を
なくすことができ、欠陥も少なく、製造コストも大幅に
安くすることかできる。
以下本発明によるベリードサーボ方式用磁気２重層ディ
スクのサーボパターン作製方法の特徴を実施例により図
を参照して説明する。
スクのサーボパターン作製方法の特徴を実施例により図
を参照して説明する。
（ｓ）４Ｍ例）
第１図は、ベリードサーボ方式用磁気２重層ディスクの
断ｔｉｉ構濯ｉｆを示す。第１図において、基板ｌの上
にサーボ用磁性媒体層２（例：ＣｏＮ１−ｐ、Ｇｏ Ｎ
ｉ −Ｍｎ ｐ、Ｃｏ Ｎｉ’、Ｃｏ ｐ ＊のメッキ
膜又はＣｏ Ｎｉ 、 Ｃｏ−Ｐｔ 、 Ｇｏ −Ｐｔ
Ｍｅｔａｌ 叫の金属スバ、り１ｉｋ父はｌ！に着膜
）を被覆し、その上に非磁性ｆｉ３（例えは非磁性、Ｎ
１−ｐ合金５ＩＯ！＋”ｔ ＯＭ ＋その他非磁性材料
）を被覆し、さらにその上にデータ用磁性媒体層４と保
！＆ＭＫ７＊ ５を順次ｉＩＩ！覆した構造になってい
る。
断ｔｉｉ構濯ｉｆを示す。第１図において、基板ｌの上
にサーボ用磁性媒体層２（例：ＣｏＮ１−ｐ、Ｇｏ Ｎ
ｉ −Ｍｎ ｐ、Ｃｏ Ｎｉ’、Ｃｏ ｐ ＊のメッキ
膜又はＣｏ Ｎｉ 、 Ｃｏ−Ｐｔ 、 Ｇｏ −Ｐｔ
Ｍｅｔａｌ 叫の金属スバ、り１ｉｋ父はｌ！に着膜
）を被覆し、その上に非磁性ｆｉ３（例えは非磁性、Ｎ
１−ｐ合金５ＩＯ！＋”ｔ ＯＭ ＋その他非磁性材料
）を被覆し、さらにその上にデータ用磁性媒体層４と保
！＆ＭＫ７＊ ５を順次ｉＩＩ！覆した構造になってい
る。
この様な断面構造において、サーボ用磁性媒体）ｉ１２
にサーボパターンを第２Ｍに示す様に作製する。この第
２図のサーボパターンを作製する方法として従来、レジ
ストパターンによシサーボ用磁性媒体Ｍ２を選択工、テ
ングし、幾何学的に凹凸をつ６フだ第３図の様な構造が
提案されていた。
にサーボパターンを第２Ｍに示す様に作製する。この第
２図のサーボパターンを作製する方法として従来、レジ
ストパターンによシサーボ用磁性媒体Ｍ２を選択工、テ
ングし、幾何学的に凹凸をつ６フだ第３図の様な構造が
提案されていた。
しかしながら、この様な作製方法では、上層のデータ用
磁性媒体層の幾何学的凹凸をなくすために段差解消を行
なう必要があるのと同時にデータ用磁性媒体層の欠陥を
非常に多くするという欠点を存している。これらは結局
コスト的に非常に高くなる欠点ヲ存している。
磁性媒体層の幾何学的凹凸をなくすために段差解消を行
なう必要があるのと同時にデータ用磁性媒体層の欠陥を
非常に多くするという欠点を存している。これらは結局
コスト的に非常に高くなる欠点ヲ存している。
そこで第４図を用いて本発明のサーボパターン作製方法
を示す。基板ｌの上にサーボ用磁性媒体層２を被覆した
後、レジストを塗布し、その後光学電光等を用いて、レ
ジストのサーボパターンを作製し、その状態で、サーボ
用磁性媒体２が露出している部分だけ、選択的に酸化（
湿式反ひ乾式のどちらでも可）して、サーボ用磁性媒体
層２に酸化部分７を形成し、その部分を非磁性化する。
を示す。基板ｌの上にサーボ用磁性媒体層２を被覆した
後、レジストを塗布し、その後光学電光等を用いて、レ
ジストのサーボパターンを作製し、その状態で、サーボ
用磁性媒体２が露出している部分だけ、選択的に酸化（
湿式反ひ乾式のどちらでも可）して、サーボ用磁性媒体
層２に酸化部分７を形成し、その部分を非磁性化する。
酸化部分７以外は磁性部分８となっている。その後レジ
ストを除去して、第４図の状態にした後、第１図に示す
様に順次に非磁性層３．データ用磁性媒体層４及び保護
膜層５を被覆して、ベリードサーボ方式用磁気２重層デ
ィスクが出来上る。
ストを除去して、第４図の状態にした後、第１図に示す
様に順次に非磁性層３．データ用磁性媒体層４及び保護
膜層５を被覆して、ベリードサーボ方式用磁気２重層デ
ィスクが出来上る。
（発明の効果）
この様にサーボパター／の作製方法において選択的酸化
法を用いることにより、サーボ用磁性媒体層２に凹凸を
形成する必要がなく、七つ安価にサーボパターンを作製
することが出来、さらにデータ用磁性媒体）＠の欠陥を
多くすることがない優れた効果を有している。
法を用いることにより、サーボ用磁性媒体層２に凹凸を
形成する必要がなく、七つ安価にサーボパターンを作製
することが出来、さらにデータ用磁性媒体）＠の欠陥を
多くすることがない優れた効果を有している。
第１図はベリードサーポカ式用磁気２重層ディスクの断
面構造を示す図。第２図はサーボ用磁性媒体層のサーボ
パターンの作製状態を示す図、第３図に従来のパターン
エツチング法によυサーボパターンを作製した場合のサ
ーボ用磁性媒体層の断面構造を示す図。第４図は本発明
による選択酸化法によシサーホパターンを作製した場合
のサーボ用磁性媒体層の断面構造を示す図。 ｌは基板、２はサーボ用磁性媒体１層、３は非磁性層、
４Ｆｉデ一タ用磁性媒体層、５け保護膜層、７は酸化部
分、８は磁性部分である。 代理人弁理士 内原 晋 ７１ 図 ７２ 図
面構造を示す図。第２図はサーボ用磁性媒体層のサーボ
パターンの作製状態を示す図、第３図に従来のパターン
エツチング法によυサーボパターンを作製した場合のサ
ーボ用磁性媒体層の断面構造を示す図。第４図は本発明
による選択酸化法によシサーホパターンを作製した場合
のサーボ用磁性媒体層の断面構造を示す図。 ｌは基板、２はサーボ用磁性媒体１層、３は非磁性層、
４Ｆｉデ一タ用磁性媒体層、５け保護膜層、７は酸化部
分、８は磁性部分である。 代理人弁理士 内原 晋 ７１ 図 ７２ 図
Claims (1)
- 磁気ディスク装置のベリードサーボ方式用磁気２Ｍ層デ
ィスクのサーボパターン作製方法において、サーボ磁性
媒体騰に対１１選択的酸化法ＶＣよりサーホパターンを
作製する工程を育することを特徴とするベリードサーボ
方式用磁気２角（Ｊ−ディスクのサーボパターン作製方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3172384A JPS60177483A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | ベリ−ドサ−ボ方式用磁気２重層デイスクのサ−ボパタ−ン作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3172384A JPS60177483A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | ベリ−ドサ−ボ方式用磁気２重層デイスクのサ−ボパタ−ン作製方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60177483A true JPS60177483A (ja) | 1985-09-11 |
| JPH0547918B2 JPH0547918B2 (ja) | 1993-07-20 |
Family
ID=12338960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3172384A Granted JPS60177483A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | ベリ−ドサ−ボ方式用磁気２重層デイスクのサ−ボパタ−ン作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60177483A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62170085A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-27 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 金属被膜サーボ・パターンの形成方法 |
| JPS62232720A (ja) * | 1986-04-02 | 1987-10-13 | Nec Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| JPS62252514A (ja) * | 1986-04-25 | 1987-11-04 | Brother Ind Ltd | 磁気記録装置の磁気ヘツド位置決定装置 |
| WO2003019540A1 (fr) * | 2001-08-23 | 2003-03-06 | Hitachi, Ltd. | Support a disques magnetiques, procede de production associe et dispositif d'enregistrement magnetique |
| US7672075B2 (en) | 2005-03-10 | 2010-03-02 | Tdk Corporation | Magnetic recording medium, recording/reproducing apparatus, and stamper |
-
1984
- 1984-02-22 JP JP3172384A patent/JPS60177483A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62170085A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-27 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 金属被膜サーボ・パターンの形成方法 |
| JPH0529986B2 (ja) * | 1985-12-27 | 1993-05-06 | Intaanashonaru Bijinesu Mashiinzu Corp | |
| JPS62232720A (ja) * | 1986-04-02 | 1987-10-13 | Nec Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| JPS62252514A (ja) * | 1986-04-25 | 1987-11-04 | Brother Ind Ltd | 磁気記録装置の磁気ヘツド位置決定装置 |
| WO2003019540A1 (fr) * | 2001-08-23 | 2003-03-06 | Hitachi, Ltd. | Support a disques magnetiques, procede de production associe et dispositif d'enregistrement magnetique |
| US7672075B2 (en) | 2005-03-10 | 2010-03-02 | Tdk Corporation | Magnetic recording medium, recording/reproducing apparatus, and stamper |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0547918B2 (ja) | 1993-07-20 |
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