JPH0529986B2 - - Google Patents

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JPH0529986B2
JPH0529986B2 JP61243324A JP24332486A JPH0529986B2 JP H0529986 B2 JPH0529986 B2 JP H0529986B2 JP 61243324 A JP61243324 A JP 61243324A JP 24332486 A JP24332486 A JP 24332486A JP H0529986 B2 JPH0529986 B2 JP H0529986B2
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Haaman Deisutefuano Toomasu
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    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 A 産業上の利用分野 本発明はデータ記録媒体の表面に光学的又は容
量的サーボ制御パターンを形成する方法に関す
る。
B 従来技術 磁気記録装置用サーボ制御システムは、読み書
きヘツドの動的位置決めのために、デイスクやテ
ープの上に制御パターンを形成しておくことを必
要としている。制御パターンは、使用される磁気
記録媒体に適合し且つヘツドによつて容易に検知
される態様で形成されなければならない。理想的
には、制御パターンは、磁気的に記録されている
信号の読取りに影響を及ぼさないことが必要であ
る。
これまでに使用されている1つの技術は、サー
ボ・システムのための位置決めの情報をデータと
同様に記憶しておくものである。しかしながら、
この技術は、位置決め情報の記録のために、貴重
なデータ記録領域が用いられることと、記録され
た位置決め情報がデータの読取りを防害すること
に鑑み、好ましいものではなかつた。
記録領域をデータの記録のために有効に利用し
つつサーボ制御パターンを組むことを目的として
種々の技術が開発されている。
例えばアイ・ビー・エム・テクニカル・デイス
クロージヤ・ブレテイン(IBM Technical
Disclosure Bulletin)Vol.21No.1(1979年3月)
の第4259乃至4260頁には、隆起したサーボ制御ト
ラツクを有する磁気デイスクが開示されている。
又、米国特許第4150398号には、光学的デイスク
に関して、レーザによつてフオトレジスト薄膜の
露光を行つて、底部に凹凸を有する溝を形成する
技術が開示されている。しかしながら、これらの
従来技術は、いずれもデータの取り扱いについて
十分正確で敏感な機構をもたらしているとは言え
ない。
特開昭60−261083号公報には、データ記録層
(光学的又は磁気的)の上面又は下面にサーボ制
御トラツク用の金属層を設けた記録媒体が開示さ
れている。金属層の厚さは、容量等の電磁的特性
の変化によつてサーボ情報が読出されるように部
分的に異なつている。この金属層パターンは、ス
パツタ・エツチング、ホト・レジスト・マスクの
使用による選択的エツチング又は選択的付着、或
いは陽極酸化により形成できる。この種のホト・
レジスト・マスクを利用してサーボ金属パターン
を磁気デイスク上に陽極酸化法又は付着法により
形成する方法は、特開昭60−177483号公報及び実
開昭55−128278号にも開示されている。
C 発明が解決しようとする問題点 多くの従来的技術は、主として、静止状態に保
持された個別の磁気デイスク基板にサーボ金属パ
ターンを形成するのに適した方法を開示してい
る。
本発明の主な目的は、多数の磁気デイスク基板
に連続的に金属被膜サーボ・パターンを形成する
方法を提供することである。
本発明の他の目的は、磁気デイスクに切断する
前のウエブ状の磁性層基板上に金属皮膜サーボ・
パターンを機械的印刷法及びリフト・オフ法によ
り形成する方法を提供することである。
D 問題点を解決するための手段 本発明によれば、リフト・オフ法による金属被
膜サーボ・パターンの形成方法は、ゼラチン、水
性アクリル重合体、ワニス等の水溶性のレジス
ト・インクで給送中のウエブ上にパターンを連続
的に機械的に印刷する段階、上記ウエブを、乾燥
後及び必要により清浄後に、金属蒸着雰囲気中を
通して全面に金属皮膜を付着する段階並びにこの
金属被膜ウエブを水性溶媒中に浸漬して上記レジ
ストを溶解させ、レジスト上の金属被膜を除去す
る段階を含んでいる。ウエブ上には、レジスト・
パターンの陰画状に金属被膜が残存する。次に、
最終製品であるフロツピイ・デイスクのために金
属被膜のサーボ・パターンの中心にフロツピイ・
デイスクの中央孔の開孔をあける。最後にウエブ
からデイスクを打ち抜く。
本発明の構成は、次の通りである。
少なくとも片面が磁性層で被覆されるべき又は
既に被覆されている可撓性ウエブのロールを準備
する工程、 該ロールの巻戻しにより連続的に給送中のウエ
ブ上に印刷位置において水溶性レジスト材のマー
クを所定パターン状に連続的に機械的に印刷し、
次に乾燥位置を通して乾燥させてレジスト印刷ウ
エブを形成する工程、 該レジスト・マーク印刷ウエブを金属蒸着雰囲
気中を通して給送してレジスト・マーク印刷ウエ
ブ上に全面に亘つて金属被膜を均一に付着して金
属被膜ウエブを形成する工程、 該金属被膜ウエブを水性媒に浸漬させながら給
送してレジスト・マーク印刷パターンを溶解させ
て該パターンの陰画状に金属被膜をウエブ上に残
存させる工程、 金属被膜サーボ・パターンを形成した後に磁性
層被覆のウエブから所定形態の可撓性デイスクを
打ち抜く工程、 から成る可撓性磁気デイスクに金属被膜のサー
ボ・パターンを形成する方法。
E 実施例 本発明の方法の実施において、レジストの印刷
は種々の印刷技法に従つて実行可能である。例え
ば、標準的なオフセツト印刷、転写印刷、イン
ク・ジエツト印刷、グラビア印刷等の技法が用い
られる。
本発明の第1の方法では、所望のサーボ・パタ
ーンと相補的な関係にあるパターンを成すレジス
トを印刷してから金属層を付着させ、レジストを
除去することにより不必要な金属層部分を除去す
るようになつている。一方、第2の方法では、最
初に金属層を付着させてから、所望のサーボ・パ
ターンに対応するパターンを成すレジストを印刷
し、レジストによつて覆われていない不必要な金
属層 部分をエツチングにより除去するようになつてい
る。
金属層は1層構造及び2層構造のいずれでもよ
く、種々の金属が使用可能である。
これから詳しく説明する実施例は前述の第1の
方法に従つたものである。サーボ・パターン金属
層の形成のみならず、ウエブから個々の記録媒体
を形成するまでのプロセスの概要は次のとおりで
ある。
(1) 磁気記録媒体用の一巻きのウエブを印刷装置
にセツトする。
(2) ウエブにレジストを印刷する。
(3) 印刷後のウエブを乾燥器に通す。
(4) ウエブを真空処理室に入れる。
(5) プラズマによつてウエブを清浄にする。
(6) ウエブに第1の金属層(付着促進層)を付着
させる。
(7) 第1の金属層の上に第2の金属層を付着させ
る。
(8) 現像液を用いて金属層を伴つたレジストを除
去する。
(9) ウエブ上の金属層のパターンの中心に孔をあ
ける。
(10) ウエブからデイスクを打ち抜く。
第1図は磁気記録媒体用ウエブ1にレジスト・
パターンを印刷するプロセスの第1の工程を示し
ている。ウエブ1は供給ロール2としてローラ3
に巻かれており、そこから連続的に給送される。
ウエブ1はポリエチレンテレフタレートの片面又
は両面に磁性粒子を塗布して成る標準的なフロツ
ピイ・デイスク用材料である。
ウエブ1はオフセツト印刷装置5へ送られる。
オフセツト印刷装置5はインク・スプール5a、
印刷ローラ5b、案内ローラ5cを有する。容器
7は印刷のためのレジスト(ゼラチン)を溜めて
いる。動作中、インク・スプール5aは容器7内
で回転して、レジストによつて覆われる。そし
て、スプール5aの周りのレジストは印刷ローラ
5bへ転送され、更にそこからウエブ1の上にレ
ジスト・パターンとして転写される。案内ローラ
5cは印刷ローラ5bに関連して給送兼加圧手段
として働く。
印刷剤のウエブ1は、レジストの硬化(架橋で
はない)のために乾燥器11を通過する。乾燥器
11は熱源11b及び吸気部11cを有する。乾
燥されたウエブ1はローラ17の回りに巻取りロ
ール15として巻きつけられる。途中にあるロー
ラ9及び13は、テープに対する不必要な張力の
印加及びそれに基くテープの伸長なしにウエブ1
を適正に送るための遊びローラである。
当技術分野の専門家にとつて、第1図のプロセ
スを実行するために種々の印刷機構を使用しうる
ことは容易に理解される筈である。例えば、レジ
スト・パターンをウエブ上に形成するには、余分
なレジスタを除去する接触印刷、レジストの露光
及び現象による印刷、ジエツト印刷等の技法が使
用可能である。又、ゼラチン、水溶性アクリル重
合体、ワニス・レジスト等の種々のレジストが使
用可能である。
第2図は第1図の工程において印刷されたウエ
ブ1aに関する表面処理及び金属付着の工程を示
している。処理装置21は整列した3つの室2
3,37,39を有する。3つの室は、それぞれ
に関連した第1、第2及び第3のポンプ(図示せ
ず)によつて排気されて真空状態に維持される。
第1図においてロール15として巻取られたウ
エブ1aは、第2図の最初の室23においてロー
ラ25に接着され、そこから給送される。遊びロ
ーラ27はウエブ1の張力を適正に維持する。室
23において、ウエブ1aはRF酸素プラズマに
よる表面処理を受ける。酸素は供給管29を通し
て室内に供給され、プラズマ雰囲気はRFプラズ
マ発生器31によつて生成される。プラズマ雰囲
気中での処理により、ウエブの表面の汚染物は除
去され、後でウエブに対して金属を付着させる際
の付着力が改善される。
ウエブ1aは次に差動ポンプ室37を通過す
る。この際、ウエブ1aは隔壁35及び41の開
口33及び43を通り抜ける。ウエブ1aは次の
室39に進み、ここでは、先ずRF蒸着装置45
の働きによりウエブ1aの磁性層上に付着促進層
としての第1の金属層が形成される。付着促進層
はチタン、クロム、アルミニウム、マグネシウ
ム、マンガン、シリコン等のうちから選択される
材料から成り、50Åの厚さを有する。
続いて、もう1つのRF蒸着装置47の働きに
より、付着促進層の上に厚い第2の金属層が形成
される。この金属層は耐摩耗性及び耐食性を有す
る金属から成り、約100乃至1000Åの厚さを有す
る。金属材料としては、チタン、すず、タンタ
ル、バナジウム、パラジウム、白金、タングステ
ン、ニオブ、アルミニウム、クロム、ニツケル
等、あるいは、これらの金属の合金である
CuAg、CuNi、AgPd、TiAl等が使用可能であ
る。1つの例として、クロムから成る厚さ10Åの
付着促進層の上に、チタンから成る厚さ300Åの
金属層が蒸着される。これらの層の蒸着にあた
り、層の厚さの制御のために光学的反射率モニタ
を使用することもできる。ウエブ1aは最終的に
ロール53としてローラ51の周りに巻きつけら
れる。
第3図は第2図の被覆プロセスの結果として得
られたロール53の金属化ウエブ1bに関するレ
ジスト除去工程を示すものである。ウエブ1bは
遊びロール55及び57を通過して容器59内の
現像液に浸される。現像液は、使用されている特
定のレジストに応じて選択される。例えば、ゼラ
チン・レジストが使用されている場合、レジスト
及びその上の金属層を剥取るためには、湯が使用
され、レジストの存在しない部分に付着している
金属層は残存する。遊びローラ61及び63はウ
エブ1bを現像液中に維持する。現像後のウエブ
1bは遊びローラ65及び69によつて案内され
て乾燥器73の下を通過し、最終的にロール69
としてローラ71の周りに巻きつけられる。その
後、通常の打き抜き技法によつてロール69のウ
エブから可撓性デイスクが形成される。
相次ぐ工程におけるウエブの断面構造は第4A
図乃至第4D図に示されている。第4A図はポリ
エチレンテレフタレートから成る基体81及び磁
性層(磁気記録層)83を有する初期状態のウエ
ブの断面図である。第4B図は第1図の工程によ
りレジスト85をオフセツト印刷した結果のウエ
ブの構造を示している。第4C図は第2図の工程
により第4B図の構造に金属層87a及び87b
を付着させた状態を示している。第4D図は第3
図の工程により第4C図の構造からレジスト85
及びその上の金属層87bを剥取つた状態を示し
ている。磁性層83に接している金属層87aは
残存している。
本発明に従つてサーボ制御パターンを形成した
可撓性記録媒体の例は、厚さ2.54×10-10cmのポ
リエチレンテレフタレート基体上に、クロム添加
ガンマ酸化鉄粒子を含む厚さ2.29×10-3cmの磁性
層を有するものである。パターンは標準的な黒い
ゴム性インクを用いる通常のオフセツト印刷技法
により磁性層上に印刷された。パターンの線及び
スペースの幅は2.54×10-3cmであつた。パターン
は1時間にわたり空気中で乾燥され、その後、厚
さ300Åのチタン層がパターン印刷面に付着させ
られた。次に、インク及びその上のチタン層を除
去するために、ウエブは超音波振動を受けるキシ
レン中に30秒間浸された。黒い磁性層上に残存す
るチタン層のパターンは5乃至45%の反射率変調
をもたらすことが、波長6328Åのレーザー光を用
いる単純な光学的検出器によつて検出された。ウ
エブより打ち抜いた8インチのデイスクを回転さ
せながら、光学的検出器によつてサーボ制御信号
を得ることができた。
実施例では、サーボ・パターンは磁性層上に形
成されたが、本発明はこれに限定されるわけでは
ないことに注意されたい。即ち、サーボ・パター
ンは基体上に磁性層が形成される前及び後のいず
れにおいても形成可能である。パターンは厚さに
基く光学的変化又は容量変化をもたらすので、ヘ
ツドの位置決めに際して、これらの変化は磁性層
の上及び下のいずれにおいても同様に検出可能で
ある。
F 発明の効果 本発明によれば、磁気記録媒体用のサーボ・パ
ターン金属層を簡単且つ効率良く形成することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は磁気記録媒体用ウエブにレジスト・パ
ターンを印刷する工程を示す図、第2図は第1図
の工程を経たウエブに関する表面処理及び金属層
付着の工程を示す図、第3図は第2図の工程を経
たウエブに関するレジスト除去工程を示す図、第
4A図、第4B図、第4C図及び第4D図は相次
ぐ工程におけるウエブ構造の断面図である。 1,1a及び1b……磁気記録媒体用ウエブ、
5……オフセツト印刷装置、11……乾燥器、2
1……処理装置、31……RFプラズマ発生器、
45及び47……RF蒸着装置、59……現像装
置、59,73……乾燥器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 少なくとも片面が磁性層で被覆されるべき又
    は既に被覆されている可撓性ウエブのロールを準
    備する工程、 該ロールの巻戻しにより連続的に給送中のウエ
    ブ上に印刷位置において水溶性レジスト材のマー
    クを所定パターン状に連続的に機械的に印刷し、
    次に乾燥位置を通して乾燥させてレジスト印刷ウ
    エブを形成する工程、 該レジスト・マーク印刷ウエブを金属蒸着雰囲
    気中を通して給送してレジスト・マーク印刷ウエ
    ブ上に全面に亘つて金属被膜を均一に付着して金
    属被膜ウエブを形成する工程、 該金属被膜ウエブを水性溶媒に浸漬させながら
    給送してレジスト・マーク印刷パターンを溶解さ
    せて該パターンの陰画状に金属被膜をウエブ上に
    残存させる工程、 金属被膜サーボ・パターンを形成した後に、磁
    性層被膜のウエブから所定形態の可撓性デイスク
    を打ち抜く工程、 から成る可撓性磁気デイスクに金属被膜のサー
    ボ・パターンを形成する方法。
JP61243324A 1985-12-27 1986-10-15 金属被膜サーボ・パターンの形成方法 Granted JPS62170085A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

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US06/814,349 US4684547A (en) 1985-12-27 1985-12-27 Format patterning method for magnetic recording media
US814349 1985-12-27

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JPS62170085A JPS62170085A (ja) 1987-07-27
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EP (1) EP0230566B1 (ja)
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