JPS62232720A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、磁気ディスク、磁気カード、フロッピーデ
ィスク、磁気テープ等の磁気記録媒体と、その製造方法
に関するものである。

（従来技術） 従来の磁気記録媒体は、ディスク、カード、テープ等の
形状に仕上げられた基体表面全体に、保磁力Ｈｅが３０
００ｅ以上の磁性膜を均一に形成したものであった。こ
のような磁気記録媒体に対し、トラック密度をさらに向
上させようとすると、隣接トラック間の混信が生ずる。

この混信を極力少くするために、各トラックの間に非磁
性層を設けたディスクリートトラック方式が提案されて
いる。この方法は、前記混信を削減するという点で、極
めて有効な手法であるが、狭トラツク１ゴのディスクリ
ートトラック方式を実用化しようとすると、磁気ヘッド
の位置決め用のサーボ信号が何ら得られないため、磁気
ヘッド位置決めが十分なされず、信頼度を十分に上げら
れないままであった。

さらに、データの記録又は再生時には、基準クロック信
号を検出する必要があり、一本のトラック内に基準信号
発生用のビットや、番地を示すビット等を記録したセク
ター情報が一定の規則のもとに配置されているが、磁気
記録媒体の移動速度の変動のため、このセクター情報を
消してしまうことがある。このことはデータの信頼性が
何ら保証されなくなるので、重大な障害をもたらす。

（発明が解決しようとする問題点） この発明は、磁気記録媒像上に不変のパターンを形成す
ることによってサーボ情報又はセクター情報或いはその
両方を信頼度高く検出し、トラックの位置決めの為のサ
ーボ情報と、データの記録再生時のセクター情報のいず
れか一方又はその両方を正確にしかも何ら後で変更され
るおそれの無い形で出力し得る高信頼度の磁気記録媒体
を提供することを目的とする。またこのような磁気記録
媒体の製造方法を提供することも本発明の目的である。

（問題点を解決するための手段） この発明の要旨とするところは、磁気記録媒体の基体ま
たは、その上に形成された磁性膜のいずれかに孔または
非磁性部の列の形でトラック巾、サーボ情報、セクター
情報のいずれか或いはこれらを組合せたパターンを予め
形成しておくことにある。前記パターンは、使用中磁気
ヘッドが誤って消そうとしても消されずに必ず残るため
、常に正しいサーボ情報又はセクター情報が得られる。

本発明について図面を参照して説明する。第１図は本発
明の基本構成を示すもので、同図（ａ）は基体１上に磁
性膜２の一部にトラック巾Ｗに合せてＷ毎にサーボ情報
に合せた孔の列１１，１２，１３・・・が形成されてい
る。磁気記録媒体としての移動方向は図の矢印で示され
ており、孔の列１１，１２．１３はトラック間間隙ｇと
等しい１１を持つ。同図（ｂ）基体１′に予め孔の列１
１．１２．１３を形成しておき、その上に磁性膜２を形
成したもので、基体１′の孔に応じて、磁性膜２にも孔
が出来る。同図（ｅ）は基体１上の磁性膜２の一部が非
磁性膜化していて列１１’　、１２’　、１３’　を形
成している。

第２図は本発明で使用する、トラック巾Ｗとサーボ情報
に合せたパターンの一例を示すもので、第１図で示した
孔又は非磁性部１１″、１２“および１３“がそれぞれ
、ピッチＰＩＬＰＩＩ’　；ＰＩ３．Ｐ１２’　および
ＰＩ３゜Ｐ１３′　でかつ巾は、トラック間間隙ｇｌｌ
、ｇ１２．ｇ１３を有しトラック巾ｗ１２．ｗ１３・・
・毎に、形成されている。

第３図は本発明で使用するトラックｒｌｌ　ｗとセクタ
ー情報３０に合せたノ々ターンの−（ＩＡＩを云すｉ、
ので、同図（ａ）はディスク形状の磁気記録媒体に適用
するものである。すなわち、磁性膜２上にディスクの中
心を通る放射線上の一定角度θ（必ずしも等角度でなく
てもよい）おきに、セクター情報３０が形成されている
。このセクター情報の拡大図が同図（ｂ）であり、第１
図で示した孔又は非磁性部１１″、１２”および１３″
がセクター情報３０として、トラック巾ｗ１１゜ｗ１２
．ｗ１３に等しい巾でトラック間間隙ｇｌｌ、ｇ１２を
隔てたパターンで形成されている。

第４図は、本発明で使用するセクター情報とサーボ情報
に合せたパターンの一例を示すもので、第１図で示した
孔又は非磁性部１１”　、１２”　、１３“がそれぞれ
トラック巾ｗ１２．ｗ１３、トラック間間隙ｇｌｌ、ｇ
１２゜ｇ１３を基準に形成されている。等に同図（ａ）
は、トラック間間隙ｇ１１．ｇ１２．ｇ１３の間にサー
ボ情報部２４゜２５とセクタ情報部３０を形成した例を
示し、図（ｂ）はセクター情報部３０と、サーボ情報部
２４，２５をそれぞれ、トラック１ｌｌｔ、／１２．Ｗ
１３およびトラック間間隙ｇ１１゜ｇ１２．ｇ１３内に
形成した例を示す。

このようなサーボ情報又はセクター情報或いは両方の情
報を持ついずれがのパターン（以下単にパターンと略）
を形成するには （１）、平坦な基体上に磁性膜を形成しく磁性膜の形成
工程と略）、次いでこの磁性膜上に、エツチング用のマ
スクを形成しくマスク形成工程と略）。次いで、このマ
スクを介して、磁性膜の一部を除去する（孔を形成する
工程と略）こと。次いで、このマスクを除去する。

（２）、磁性膜の形成工程後磁性膜もしくはレーザービ
ームを相対的に移動しながら前記パターンに合せて断続
的に照射し、孔を形成する。

（３）、基体を樹脂に這び、予め、前記パターンの凸凹
反対の凸凹を有する母型に前記樹脂の溶融体を注入固化
し、硬化後前記号型から剥離し、（基体を形成する工程
と略）次いで磁性膜の形成工程を経る。

（４）、平坦な基体上に前記マスク形成工程を経て基体
表面をエツチングし基体表面に凸凹のパターンを形成（
孔を形成する工程）後、磁性膜の形成工程を経る。

（５）、平坦な基体上に磁性膜を形成する工程後、磁性
膜上に前記パターンに合せたマスク形成工程を経た後、
表面から酸化、窒化、水酸化、硫化等の化学反応を起さ
せ、反応した領域を非磁性化し、前記マスクを除去する
（非磁性部工程と略） （６）、　　（５）の非磁性部形成工程で、化学反応に
代り、イオン注入法を用いて非磁性化する。

（７）、　　（５）の非磁性部形成工程で、化学反応に
代り、電子ビーム又は、レーザービームによる加熱を行
い、相変化により非磁性化する。

（８）、　　（２）の孔を形成する工程に代り、磁性膜
にイオン注入法により、磁性膜の一部を非磁性化するか
、電子ビーム又はレーザービームで加熱し、磁性膜の一
部を非磁性化するかによって、前記パターンを形成する
。

かのいずれかが適する。

また、必要に応じて、磁性膜上に保護膜又は潤滑膜又は
その両方を形成し、磁性膜自体の劣化（機械的及び化学
的）を防ぐこともある。

この発明で用いられる材料の一例について述べるならば
、基体としては、Ａ１合金、Ａ１合金の上にＮｉＰをメ
ッキとしたもの、Ａ１合金の上に酸化物を形成したもの
、セラミックス、ガラス、Ｓｉ単結晶、等の表面の平ら
なもの、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミド等の表
面の平らな樹脂フィルム、母型に注入して基板を形成す
る場合には、ＰＭＭＡ。

ＰＣ等の周知の材料が適する。

磁性膜としては、ｙ−Ｆｅ２０３．Ｃｏ被着Ｆｅ２Ｏ３
，Ｆｅ３Ｏ４゜Ｂａ−フェライト、ＣｒＯ２，Ｆｅ−Ｃ
ｏ−Ｎｉ合金、等の微粒子を塗布法で形成するもの、こ
れらの材料を蒸着もしくは、スパッタ法で形成したもの
、ＣｏＣｒ、ＣｏＮｉ。

ＣｏＮ１Ｐ、ＣｏＰ、ＣｏＣｒ、ＣｏＶ、Ｃｏｏ、Ｆｅ
Ｏ、ｙ−Ｆｅ２０３．Ｆｅ２Ｏ４，Ｂａ−フェライト等
やＣｏをベースとする合金ＦｅＮｄ等のＦｅをベースと
する合金の蒸着又はスパッタ法で形成したもの、等が適
する。

保護膜としては、各種酸化物、（Ａｌ２Ｏ２，５ｉ０２
．Ｐ２Ｏ５゜Ｂ２Ｏ３，５ｎ０２．ＩｎＯ２，等）や窒
化物（ＢＮ、Ｓｉ３Ｎ４．ＡＩＮ、等）、炭化物（Ｃ，
ＢＣ，ＷＣ，ＳｉＣ，等）が適する。

潤滑膜としては、固体潤滑剤（弗化炭素、　Ｃ，ＭｏＳ
。

ＢＮ、ＰｂＯ，モノステアリン等）や液体潤滑剤（弗化
炭素、シリコーン、炭化水素等）が適する。

（作用） 本発明は、磁気記録媒体内に、サーボ情報又はセクター
情報或いはその両方が半永久的に記録されている。従っ
て、書込み時誤ってサーボ情報又は、セクター情報或い
はその両方に重ね書きしても消えることはない。万一出
力が無くなった時は、磁気ヘッドで一方向に直流電流を
流しながら直流消磁するか、又は、永久磁石で、一方向
に着磁させるかにより、完全に元の信号レベルが復帰す
る。なお、出荷時にはこの磁気記録媒体を直流磁場中で
着磁しておくことが望ましい。

このような磁気記録媒体上を、巾 Ｗ（２ｇ＋ｗ≧Ｗ　＞　ｗ、但し、Ｗはトラック巾、ｇ
はトラック間間隙）のサーボヘッドが移動（実際には磁
気記録媒体が移動）すると磁性膜中の不連続的に変化し
ている所から漏洩フラックスが出ているのを検出するの
で、例えば第２図、第４図（ａ）及び（ｂ）のトラック
ｗ１□にヘッドがあるとトラック間間隙ｇ１□とｇ１□
の信号が同時に検出される。ｇ１□とｇ＋２上の信号は
、ピッチが異なるので、フィルターにより、両方の周波
数を分離して検出すれば、ｇ１□寄りにヘッドが偏って
いる時は、ｇｏの出力が大きくｇ１２の出力が小さくな
り、逆にｇ工２寄りになっていれば、ｇ１□の出力は小
さく、ｇｘ２の出力が大きくなる。ｇ１□とｇ工２の出
力の差が即ち、サーボ信号となる。セクター情報に関し
ては、第３図及び第４図（ａ）、（ｂ）のセクター情報
部３０に磁気ヘッドが来たとき、セクター信号が検出さ
れる。但し、第４図（ａ）の場合は、サーボ情報とも兼
ねているので、パターンの周期の変化を検出する必要が
あり、周期変化が検出された時セクター情報が入ったと
判断して処理する。

（実施例） 以下簡単のために磁気ディスク試作例を述べる。媒体形
状の異なる磁気テープ、磁気カード、フロッピーディス
ク等は、それぞれ基体が若干具なるのみで、本質的な差
異は無い。又材料はそれぞれ一例を挙げるにとどめる。

（実施例１） Ａ１合金ディスク上にＮｉＰメッキを施し、平面研摩後
これを基体となし磁性膜としてＣ０８０ｃｒ２０合金を
スパッタ法で２００ＯＡ形成し、この上に７オトレジス
トをスピン塗布後、第３図に示したようなノ゛々ターン
を持つエツチング用のマスクをフォトマスクと露光器を
使って露光現像により形成した。ここでｇ　＝　３ｐｍ
、ｗ　＝　１５ｐｍとした。その後、希硝酸に数分浸漬
し、露光部を除去し、次いで、フォトレジストを除去し
て磁気記録媒体とした。

（実施例２） 実施例１と同様に磁性膜を形成後、レーザーパワー５０
ｍＷのＨｅＮｅレーザーを絞り、ディスクを回転しなが
ら、磁性膜の一部に孔を形成し、磁気記録媒体とした。

（実施例３） 予め、Ｎｉ合金で第４図（ａ）のようなパターンに合せ
た凸凹を形成した母型を作製後、この中に溶融ＰＭＭＡ
を注入し、固化後、母型から剥離し、次いで、実施例１
と同様に磁性膜を作成し磁気記録媒体とした。

（実施例４） 実施例１と同様の基体に実施例１と同様の手続きで、エ
ツチング用マスクを形成し、希硝酸でエツチング後、フ
ォトレジストを除去し、基体となり、実施例１と同様の
磁性膜を形成し、磁気記録媒体とした。

（実施例５） 実施例１と同様に磁性膜とマスクを形成後、酸化クロム
水溶液中に浸漬し、後、マスクを除去し磁気記録媒体と
した。なお、酸化クロム水溶液に触れた所は非磁性にな
っていることをＶＳＭ（振動試料磁力計）で確認した。

（実施例６） 実施例５と同様に磁気記録媒体を形成した。但し、酸化
クロム水溶液浸漬法に代り、０２イオンを３００ＫｅＶ
で１０１７ドーズ注入した。なお、０２イオンの注入さ
れた領域をＶＳＭで評価したところ、ＣｏＣｒ磁性膜の
Ｂｓの１／１０以下であった。

（実施例７） 実施例５と同様に磁気記録媒体を作製した。但し、磁性
膜として、Ｆｅ３Ｏ４をＡｒ中でスパッタし、Ｆｅ３Ｏ
４膜を形成後、３００°Ｃで除々に酸化することにより
得た厚さ１０００人のｙ−Ｆｅ２０３膜を用い、水溶液
浸漬法に代りｌ０ＫＶ、５ｍＡの電子ビームで約３５０
°Ｃまで加熱する方法を採用した。電子ビームの当った
所を、ビッタ−法で調べたところ非磁性に近いことを確
認した。

（実施例８） 実施例７と同様に磁気記録媒体を作製した。但し、電子
ビームに代り５０ｍＷのＨｅＮｅレーザービームを用い
た。レーザービームの当った所も実施例７と同様に確認
した。

（実施例９） 実施例１と同様の基体に磁性膜としてｙ−Ｆｅ２０３膜
を実施例７と同様の方法で作製し、このディスクを一定
速度で回転しながら、ｌ０ＫＶ５ｍＡの電子ビームを断
続的に注入して、パターンを形成した。非磁性化は、実
施例７と同様に確認した。

（実施例１０） 実施例９と同様に磁気記録媒体を作製した。但し電子ビ
ームに代り５０ｍＷのＨｅＮｅレーザーを用いた。非磁
性化の確認は実施例７と同様に行った。

（実施例１１） 実施例１と同様に磁性膜まで形成後、３００ＫｅＶに加
速した０２イオンを１０１７ドーズ相当になるようパタ
ーンに合せてディスクを回転しながら断続して注入した
。非磁性化の確認は実施例７と同様にして行った。

（実施例１２） 実施例１乃至１１の方法で作られた磁気記録媒体に保護
膜として５ｉ０２膜を、１０００人スパッタ法で形成し
磁気記録媒体とした。

（実施例１３） 実施例１乃至１１の方法で作られた磁気記録媒体に潤滑
膜として弗化炭素（商品名ＫＲＹＴＯＸ）を塗布し磁気
記録媒体とした。

（実施例１４） 実施例１２で作られた磁気記録媒体上に、潤滑膜として
弗化炭素（商品名ＫＲＹＴＯＸ）を塗布し磁気記録媒体
とした。

（発明の効果） 実施例１乃至１４で作製された磁気記録媒体（磁気ディ
スク）は、サーボ信号は、半永久的であり、書込ヘッド
の重ね書きに対しても何ら障害なく動作し、サーボ情報
の精度として、±０．１１１ｍ以下であることが電気的
信号振幅から推定できた。このような精度は従来のディ
スクでは達成されておらず、また、単にディスクリート
トラックとしても、トラック間間隙ｇの約半分（本実施
例では１．５ｐｍ）位であった。

実施例では、第２図のパターンを使用したが、第３図及
び第４図のパターンを使用しても、セクター情報、及び
サーボ情報とセクター情報が共に正確に検出された。セ
クター情報に関しては、予め正確なパターンで記録され
ているためクロック周波数の安定化にも役立つことが分
った。

実施例１乃至、４の磁気記録媒体に潤滑膜を形成した実
施例１０又は１１の磁気記録媒体では、液体潤滑剤であ
るＫＲＹＴＯＸ（７）溜めとして、孔１１，１２．１３
　力作用し、潤滑剤不足が解消されるという副次的効果
も生まれて来た。

本発明は実施例のみに限るものでなく、素材、製法それ
ぞれ他の組合せも可能であり、極めて広′範囲に応用が
可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の概略を示す図、第２図は本発明の一実
施例でサーボ情報を示すパターンの一例を示す図、第３
図は本発明の一実施例でセクター情報を示すパターンの
一例を示す図、第４図は、本発明の一実施例でサーボ情
報とセクター情報を共に示すパターンの一例を示す図、
第５図乃至第７図は、本発明の実施例の断面構造を示す
図である。図において、 １．１′・・・基体、　　　２・・・磁性膜、３・・・
保護膜、　　　　４・・・潤滑膜、１１’　、１２，１
３・・・孔、　　１１’　、１２’　、１３’・・・非
磁性部、１１″、１２”　、１３”・・・孔又は非磁性
部、２１．２２，２３，２４，２５・・・サーボ情報部
、３０・・・セクター情報部である。 半　　１　　　面 ／、／’−、−−５，１条　　　　　　　　？！１ｆ−
）う・２７テｉフ２−−−−−一基１ヒ隈　　　　　（
Ｊ−）−ラフ２間間隠／／、１２．１３−−−　）ム 亭　　１　　　図 １−＝−一基１１− ２−−−−−御名ａ毬謄 ／Ｉ：　ｔｚ）ｔｓ′−ａ挺ａｍ ソー＝−＝−トラックψ （Ｊ　　−−−−−−トラックＭＭ隙 千　　　２　　　図 ２１　、２２．２３・−・ザーボ積量部多　　３　　　
図 １′ ｔ、ｔ’・・・・・１−隣　イオζ　　　　　　　　　
／１，１２，１３　・・・・ｊし２−・・・・４虫・庄
刈１　　　ｖ・・鉛トラッ７ヤ３・・−・・−イ罎４看
＃　　　　（７−−−−−）−ラックＭ％＾陳享　　　
５　　　図 ／−−−−一基１＊　　　　ｕ、’ｔｚ、’ｔｓ’−、
非砥社都２、−＝４１ｋａｍ　　　　　　ｕｊ　−−−
−＝−−−ｈ’ｙ　ッｊ　中３、−＝＝４”＃ｎ１Ｍ’
ｌｌ：　　　　　　　９−−−−−−　）うＺ／７７４
間ａ多　　ｂ　　図 Ｈｔｚ　　　　　／Ｊ ｔ、　　ｔ　’−−９．コー１１参　　　　　　　　　
　　１１，１２．１３−Ｊム２−−−−−−　！裕」貴
　　　　　ｒ−＝−トラック巾４−・−−−ミ九ロ隋則
塾　　　　　　９−−−−　トラック開閉ｐ−半　　乙
　　図 １　　＋＋＋＋＋　ＪＩＥｃ　　ＩＩ＄−２−−−−一
翻ｉ往順 ４−−−−一肩涜渠 ｔｔ：　ｔｚ：　１３’−−−１ｍ４庄８１５四−トラ
ック巾 （７−−−−−トラック間間隙 亭　　７　　面 ｔ、ｔ’、−、ｘ−ｎ−４−、−、ｖｓ盾ｓ２−’−Ｚ
、Ｔａｔ＆Ｗ！−１１，１２，１３−Ｌ３・−ｆ糟！１
礒 ｎ’　　　　ｔｚ’　　　ｔｓ’ １　＋＋＋＋＋＋＋＋−纂１参 ２−−＝−−−−ａ姓購 Ｊ　　−−−−−−−−・　イ１民護片−１４−−−−
−−−−−湖＃黒 ｕ：ｔｚ：ノ３：、−詐イシ閏杷姓ξリロＷ　−＝−−
一−−トラックや

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１、）基体上に磁性膜を有する磁気記録媒体であって
   、しかも前記磁性膜の一部に、トラック巾とサーボ情報
   に合せた孔を有することを特徴とする磁気記録媒体。 （２、）基体上に磁性膜を有する磁気記録媒体であって
   、しかも前記基体の一部にトラック巾とサーボ情報に合
   せた孔を有し、この孔に応じて前記磁性膜が凹みを有す
   ることを特徴とする磁気記録媒体。 （３、）基体上に磁性膜を有する磁気記録媒体であって
   、しかも前記磁性膜の一部にトラック巾とサーボ情報に
   合せて前記磁性膜を非磁性化した非磁性化した非磁性層
   とを有することを特徴とする磁気記録媒体。 （４、）基体上に磁性膜を有する磁気記録媒体であって
   、しかも前記磁性膜の一部に、トラック巾とセクター情
   報に合せた孔を有することを特徴とする磁気記録媒体。 （５、）基体上に磁性膜を有する磁気記録媒体であって
   、しかも前記基体の一部にトラック巾とセクター情報に
   合せた孔を有し、この孔に応じて前記磁性膜が凹みを有
   することを特徴とする磁気記録媒体。 （６、）基体上に磁性膜を有する磁気記録媒体であって
   、しかも前記磁性膜の一部にトラック巾とセクター情報
   に合せて前記磁性膜を非磁性化した非磁性化した非磁性
   層とを有することを特徴とする磁気記録媒体。 （７、）基体上に磁性膜を有する磁気記録媒体であって
   、しかも前記磁性膜の一部に、セクター情報とサーボ情
   報に合せた孔を有することを特徴とする磁気記録媒体。 （８、）基体上に磁性膜を有する磁気記録媒体であって
   、しかも前記基体の一部にセクター情報とサーボ情報に
   合せた孔を有し、この孔に応じて前記磁性膜が凹みを有
   することを特徴とする磁気記録媒体。 （９、）基体上に磁性膜を有する磁気記録媒体であって
   、しかも前記磁性膜の一部にセクター情報とサーボ情報
   に合せて前記磁性膜を非磁性化した非磁性化した非磁性
   層とを有することを特徴とする磁気記録媒体。 （１０、）平坦な基体上に磁性膜を形成する工程と、前
   記磁性膜上にトラック巾とサーボ情報に合せたパターン
   、トラック巾とセクター情報に合せたパターンまたは、
   セクター情報とサーボ情報とに合せたパターンのいずれ
   かを有するエッチング用のマスクを形成する工程と、前
   記マスクを介して前記磁性膜に孔を形成する工程とを含
   む、磁気記録媒体の製造方法。 （１１、）平坦な基体上に磁性膜を形成する工程と、前
   記磁性膜にレーザービームを用いてトラック巾とサーボ
   情報に合せたパターン、 トラック巾とセクター情報に合せたパターンまたは、セ
   クター情報とサーボ情報とに合せたパターンのいずれか
   に従う孔を形成する工程とを含む磁気記録媒体の製造方
   法。 （１２、）トラック巾とサーボ情報に合せた凸凹パター
   ン、トラック巾とセクター情報に合せた凸凹パターン、
   またはセクター情報とサーボ情報とに合せた凸凹パター
   ンのいずれかを有する母型に樹脂を注入固化して基体を
   形成する工程と前記基体上に磁性膜を形成する工程とを
   含む磁気記録媒体の製造方法。 （１３、）平坦な基体上にトラック巾とサーボ情報に合
   せたパターン、トラック巾とセクター情報に合せたパタ
   ーンまたは、セクター情報とサーボ情報とに合せたパタ
   ーンのいずれかを有するエッチング用のマスクを形成す
   る工程と、前記マスクを介して前記基体上に孔を形成す
   る工程と、前記基体上に磁性膜を形成する工程とを含む
   磁気記録媒体の製造方法。 （１４、）平坦な基体上に磁性膜を形成する工程と、前
   記磁性膜上に、トラック巾とサーボ情報に合せたパター
   ン、トラック巾とセクター情報に合せたパターンまたは
   、セクター情報とサーボ情報とに合せたパターンのいず
   れかを有するマスクを形成する工程と、前記マスクを介
   して選択的に化学反応を起させ、非磁性部を形成する工
   程とを含む磁気記録媒体の製造方法。 （１５、）平坦な基体上に磁性膜を形成する工程と、前
   記磁性膜上に、トラック巾とサーボ情報に合せたパター
   ン、トラック巾とセクター情報に合せたパターンまたは
   、セクター情報とサーボ情報とに合せたパターンのいず
   れかを有するマスクを形成する工程と、前記マスクを介
   してイオン注入を行い非磁性部を形成する工程とを含む
   磁気記録媒体の製造方法。 （１６、）平坦な基体上に磁性膜を形成する工程と、前
   記磁性膜上に、トラック巾とサーボ情報に合せたパター
   ン、トラック巾とセクター情報に合せたパターンまたは
   、セクター情報とサーボ情報とに合せたパターンのいず
   れかを有するマスクを形成する工程と、前記マスクを介
   して電子ビームまたはレーザービームによる加熱を行い
   非磁性部を形成する工程とを含む磁気記録媒体の製造方
   法。 （１７、）平坦な基体上に磁性膜を形成する工程と、前
   記磁性膜にイオン注入により前記磁性膜を非磁性化する
   か電子ビームまたは、レーザービームにより加熱し前記
   磁性膜を非磁性化するかによってトラック巾とサーボ情
   報に合せたパターン、トラック巾とセクター情報に合せ
   たパターンまたは、セクター情報とサーボ情報とに合せ
   たパターンのいずれかに従う非磁性部を形成する工程と
   を含む磁気記録媒体の製造方法。 （１８、）磁性膜の上に保護膜を有することを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項乃至第９項記載の磁気記録媒体
   。 （１９、）磁性膜の上に潤滑膜を有することを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項乃至第９項記載の磁気記録媒体
   。 （２０、）磁性膜の上に保護膜と潤滑膜とを有すること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第９項記載の磁
   気記録媒体。