JP2759059B2 - 磁気記録装置 - Google Patents

磁気記録装置

Info

Publication number
JP2759059B2
JP2759059B2 JP7055658A JP5565895A JP2759059B2 JP 2759059 B2 JP2759059 B2 JP 2759059B2 JP 7055658 A JP7055658 A JP 7055658A JP 5565895 A JP5565895 A JP 5565895A JP 2759059 B2 JP2759059 B2 JP 2759059B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
magnetic recording
substrate
disk
recording
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP7055658A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0887745A (ja
Inventor
重雄 加藤
銕造 松永
洋一 川久保
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP7055658A priority Critical patent/JP2759059B2/ja
Publication of JPH0887745A publication Critical patent/JPH0887745A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2759059B2 publication Critical patent/JP2759059B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Paints Or Removers (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は電子計算機の周辺におい
て、計算に必要な多くの情報を磁気的に記録する磁気記
録装置に関する。 【0002】 【従来の技術】磁気記録装置における磁気記録ディスク
は、図1に示すように、基板1の表面にγ−Fe23
るいはCo等の磁性物質2を樹脂と共に塗布したり、あ
るいは直接スパッタ法で固定したものである。 【0003】従来の磁気記録ディスクの断面構造の一例
を図2に示す。Al合金の基板21の表面(図では片面
のみ示す)に、酸化鉄(γ−Fe23)等の磁性物質2
2が樹脂23で固定されている。これを磁性膜24と呼
ぶことにする。しかし、磁性膜だけでは、信号を書き込
み・読み出しする一般に磁気ヘッドと呼ばれる摺動体が
磁性膜に強く接触すると磁性膜にキズがつき、記録情報
が破壊されてしまう。 【0004】そこで、これを防止するため、例えば特開
昭47−466号公報に記載のように、フィラと呼ばれ
るアルミナ等の硬度の大きな粒子25を樹脂23に混入
している。フィラ粒子25の大きさは磁性膜24の厚さ
の2倍程度に大きくしてあるので、フィラ粒子25の一
部26は磁性膜の表面から突き出ている。この部分は研
磨加工等で除去されて、ほぼ平らにされる。磁気ヘッド
が磁性膜24に接触しようとすると、磁性膜表面よりも
わずかに上方に突出しているフィラ粒子25の平らな上
面に当るので、磁気ヘッドが磁性膜24に接触すること
がないとされていた。 【0005】 【発明が解決しようとする課題】しかし、実際の従来の
磁気ディスクは、樹脂の中に、磁性物質と共に硬度の大
きい粒子(フィラ)を混合して基板に固定する方式を取
つているため、次のような問題点があった。 (1)樹脂と磁性物質とフィラをよく混合してもばらつ
きが生じ、フィラの密度が粗いところでは、磁気ヘッド
の接触が起きた場合磁性膜にキズがつき、磁気的記録が
壊され、一方、フィラの密度が密のところでは、磁性物
質の量が減るため、磁気的記録の誤差が生じ易かった。 (2)混入された状態のフィラは、その一部を磁性膜上
に突起として突出させている。磁気ヘッドが滑らかに浮
上し、かつ磁性膜には接触しないためには、フィラの突
起部分は平らで、一様な高さで磁性膜面から突出してい
なければならない。しかし、フィラは、磁気ヘッドが磁
性膜に接触するのを防ぐために非常に硬度が大きい。し
たがって、その突起部分を平らに、しかも一様な高さに
機械加工するのはきわめて困難であった。 【0006】本発明の目的は、磁気ヘッドがディスク面
に接触しても磁性膜が破壊されず、かつディスク面全体
にわたって磁気記録特性が一様なすぐれた磁気記録を可
能ならしめる磁気記録装置、特にそれに適したディスク
構造を提供することにある。 【0007】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の磁気記録装置に使用される磁気ディスクに
おいては、フィラ粒子を磁性物質と混合して樹脂によっ
て基板に固定し、しかる後に、フィラ粒子の突起部分を
平らに機械加工すると云う方法で得られる従来のディス
ク構造に代り、次のような方法によって得られる新規か
つ独自のディスク構造を採用している。 (1)基板にフォトレジスト膜を付け、マスクを使つた
露光または位置を制御できるレーザ光の露光等で、フォ
トレジスト膜にその大きさと分布が最適になるように小
孔をあける。ここを通じて、SiO2 ,Al23等の硬
い物質をスパッタリング等で基板に直接固定する。フォ
トレジストを洗い落すと、表面が平らでしかも高さが一
様な硬い微小固体が残る。この周辺に磁性物質を塗布ま
たはスパッタリングまたはメッキ等で固定し、次に硬い
微小固体の上に付いた磁性物質だけを除去する。 (2)まず初めに、基板上全面に磁性膜を塗布またはス
パッタリングまたはメッキ等で固定しておく。その後、
この上にフォトレジスト膜をつけ、(1)のように写真
製法で小孔をあける。ここに、SiO2 ,Al23等の
硬い物質をスパッタリング等で充填する。磁性膜上の硬
い物質はフォトレジストを洗い落すことによつて除去す
る。 【0008】 【作用】以上に述べた(1)もしくは(2)の方法によ
って、磁性膜の周辺に、高さが一様で頭部に突起のない
硬い微小固体を最適の分布状態で配置することができ、
磁気特性にすぐれ、かつ、磁気ヘッドとの接触による磁
気記録情報の破壊の無い磁気記録ディスクが得られる。 【0009】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。図3,図4は、本発明の磁気記録ディスク
の一部断面図である。図3は、γ−Fe23を磁性物質
として用いるものである。アルミナ合金等でできた基板
31に、すでに述べたような写真製法を使つて、Al2
3 ,SiO2等の硬い微小固体32を直接固定する。
写真製法のため、微小固体の高さは一定で、しかも頭部
は平らである。微小固体の周辺にはγ−Fe23の磁性
物質33と樹脂34を混合したものを基板上に塗布す
る。通常の状態では、微小固体は円柱形状をしていて、
基板上に一様に分布されるのが適切である。 【0010】図4は、磁性物質としてCo,Fe−N
i,Fe−Co,CrO2 等を用いるものである。完成
構造そのものは、図3に示したものと殆ど違いは無い。
まず、基板41上に、Al23 ,SiO2等の硬い微小
固体42を直接固定する。次いで、微小固体42の周辺
の基板上に、Co,Fe−Ni等の磁性物質43をスパ
ッタリングまたはメッキ等により固定する。磁気ヘッド
との接触の際のすべりをよくするために、磁性膜と微小
固体の上にごく薄く潤滑膜をつけることも有効である
が、これは図示していない。また、基板41の両面に磁
性膜と微小固体とを設けてもよいことは当然である。 【0011】図5は、本発明の磁気記録ディスクの製造
過程を示したものである。 (a)基板51表面上にフォトレジスト52を塗布す
る。 (b)マスクを使つた露光または照射位置を制御できる
レーザ光を使つた露光でフォトレジスト面に小孔53を
あけた。この小孔は一般的にはディスク面全面にわた
り、一様に分布させるのが適当である。 (c)スパッタリング等によりAl23 ,SiO2等の
硬い物質(54,55)を上面に付着させる。 (d)フォトレジスト52をレジスト除去液で除去する
と、レジスト上に付着している硬い物質54はレジスト
と共に除去され、小孔53を通じて基板面に直接固定さ
れている硬い物質(微小固体)55のみが残る。 (e)磁性物質56,57を樹脂と共に塗布するか、そ
のままをスパッタリングもしくはメッキによって上面に
付着させる。 (f)最後に、砥粒のついたテープ等で上面を研磨加工
すると、微小固体55の上に付着している磁性物質57
だけが除去され、平らな頭部をもつ微小固体55が周辺
の磁性物質56の面からわずかに上方に突出している構
造が得られることになる。 【0012】図6は基板上に先に磁性物質を固定した
後、微小固体を基板に固定する本発明の第二の製造過程
を示したものである。 (a)基板61上にまず磁性物質62を固定する。 (b)磁性物質62の上にフォトレジスト63を塗布す
る。 (c)マスクを使つた露光または照射位置を制御できる
レーザ光を使つた露光でフォトレジスト面に小孔64を
あける。 (d)イオンビーム等を使つて小孔の下の磁性物質に孔
65をあけ、基板面まで貫通させる。 (e)SiO2 ,Al23等の硬い物質66,67をス
パッタリング等で付着させる。 (f)レジスト除去液でフォトレジスト63を除去する
とフォトレジスト上の硬い物質66も一緒に除去され、
基板に固定された硬い物質(微小固体)67が磁性膜6
2の上面から一部突出した状態のディスク構造が得られ
る。 【0013】以上の様にして製造された磁気記録ディス
クは任意の記録密度の装置の用途に使用し得るが、予め
記録トラック・ピッチが知られている場合には、更に以
下の様な改良パターンが考えられる。すなわち、一つの
パターンとしては、高硬度微小固体を基板上に一定幅
(例えば、トラック・ピッチの2割)で一定間隔で同心
円状に形成し、この部分を各記録部分間に挟まれた非記
録部分とするものがある。これにより全面を磁性体と
した時従来問題となっていた磁気ヘッドの位置決め誤
差による雑音信号を大きく低減すること、更には記録
部分にはフィラや微小固体等からなる非磁性部分を作る
必要がなくなり、雑音信号を低減することが可能となる
ため、前述のパターンを小円形状として基板面全面に均
一に分布させた場合よりも、電気的性能がさらに向上す
る。 【0014】また、別のパターンとして、磁気ヘッドの
位置決め信号のパターンを上記した非記録部分における
高硬度微小固体の形成パターンに含ませるものがある。
この様にすることにより、耐摺動性向上のための高硬度
微小固体パターンの形成時に位置決め信号パターンも
れと同時に上記非記録部分内に形成されるため、磁気記
録ディスクを装置に組込後に位置決め信号を書き込む必
要が無くなって工程が簡素化される上に、位置決め信号
パターンの形成精度も向上する。 【0015】本発明の上記実施例によれば、 (1)硬度の大きい微小固体の固定方法として写真製法
を用いた。これにより、高さが一定で頭部の平らな微小
固体をディスク面にわたって一様に分布させることがで
きた。その結果、磁気ヘッドが磁性膜に接触しようとし
ても、微小固体の頭部によって必ず妨害されるようにな
り、磁性膜の破壊事故が無くなった。 (2)微小固体を完全に一様に分布させることができる
ため、磁性物質の分布も一様となり、記録誤差が生じな
くなった。 (3)従来法では微小固体の突起を最終的には機械加工
しなければならないという問題があったが、本発明によ
れば、製造中に微小固体の頭部は平らとなるため、硬い
微小固体を機械加工する必要がなくなり、精度の高い磁
気記録ディスクの製造が可能となった。等の効果が得ら
れる。 【0016】 【発明の効果】本発明によれば、磁気ヘッドがディスク
面に接触しても磁性膜が破壊されず、かつ、ディスク面
全体にわたって磁気記録特性が一様なすぐれた磁気記録
を可能ならしめ得る磁気記録装置が得られる。
【図面の簡単な説明】 【図1】磁気記録ディスクの全体図。 【図2】従来の磁気記録ディスクの断面図。 【図3】本発明の一実施例になる磁気記録ディスクの断
面図。 【図4】本発明の他の一実施例になる磁気記録ディスク
の断面図。 【図5】本発明の磁気記録ディスクの製造過程の一例を
示す断面説明図。 【図6】本発明の磁気記録ディスクの製造過程の他の一
例を示す断面説明図。 【符号の説明】 31…基板、 32…微小固体、 33…磁性物
質、 34…樹脂、41…基板、 42…微小固
体、 43…磁性物質。

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 1.磁気記録ディスクと、該磁気記録ディスクに信号を
    書き込むために上記磁気記録ディスク面に対向配置され
    た磁気ヘッドとを有する磁気記録装置であって、上記磁
    気記録ディスクは、基板上に形成された磁性材料薄膜か
    らなる複数の記録領域と、該複数の記録領域の各間に設
    けられた非磁性の高硬度微小固体からなる非記録領域
    と、上記記録領域に対する上記磁気ヘッドの位置決め用
    パターンとを有してなり、該位置決め用パターンは上記
    非記録領域を該位置決め用パターンの非磁性部分として
    使用したものであることを特徴とする磁気記録装置。
JP7055658A 1995-03-15 1995-03-15 磁気記録装置 Expired - Lifetime JP2759059B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7055658A JP2759059B2 (ja) 1995-03-15 1995-03-15 磁気記録装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7055658A JP2759059B2 (ja) 1995-03-15 1995-03-15 磁気記録装置

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60120471A Division JPH0831207B2 (ja) 1985-06-05 1985-06-05 磁気記録装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0887745A JPH0887745A (ja) 1996-04-02
JP2759059B2 true JP2759059B2 (ja) 1998-05-28

Family

ID=13004950

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7055658A Expired - Lifetime JP2759059B2 (ja) 1995-03-15 1995-03-15 磁気記録装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2759059B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0887745A (ja) 1996-04-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6567227B2 (en) Master information carrier, method for producing the carrier, method and apparatus for writing information into magnetic record medium using the carrier
US6703099B2 (en) Perpendicular magnetic recording media with patterned soft magnetic underlayer
US7180706B2 (en) Magnetic heads and semiconductor devices and surface planarization processes for the fabrication thereof
US6611388B1 (en) Master information magnetic recorder
US6858328B1 (en) Master information support
KR100581487B1 (ko) 함몰부, 융기된 형상, 또는 함몰부와 융기된 형상을 포함하는 저장 디스크
JP2759059B2 (ja) 磁気記録装置
US7526856B2 (en) Method for fabricating a magnetic head using a ferrofluid mask
US6258515B1 (en) Pattern forming method
US7170699B2 (en) Master disk having grooves of different depths for magnetic printing and manufacturing method therefor
JPH0831207B2 (ja) 磁気記録装置
JPH0334133B2 (ja)
US6368519B1 (en) Etching method and a method of manufacturing a magnetic head
US6859339B2 (en) Master information magnetic recording apparatus and method for manufacturing magnetic recording medium in which information is recorded by using this
US20050064346A1 (en) Method for forming resist pattern, method for manufacturing master information carrier, magnetic recording medium, and magnetic recording/reproducing apparatus, and magnetic recording/reproducing apparatus
JP2958200B2 (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JP2655887B2 (ja) 格子作製方法
EP1150280A2 (en) Magnetic transfer method
JPS62229512A (ja) 薄膜磁気ヘツド及びその製造方法
JP2002373417A (ja) 磁気記録媒体
JPS6325406B2 (ja)
JP4576954B2 (ja) レジストパターン形成方法、マスター情報担体の製造方法
JPH06124437A (ja) 磁気記録媒体および磁気記録装置
JPH022218B2 (ja)
JPS6224851B2 (ja)