JPH0765363A

JPH0765363A - 磁気記録媒体および磁気記録装置およびその製法

Info

Publication number: JPH0765363A
Application number: JP21157893A
Authority: JP
Inventors: Kyo Akagi; 協赤城; Reijirou Tsuchiya; 鈴二朗土屋; Yoshifumi Matsuda; 好文松田
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1993-08-26
Filing date: 1993-08-26
Publication date: 1995-03-10

Abstract

(57)【要約】【目的】現状より高い精度でサーボ情報を書き込める
ようにする。【構成】基板Ｓ上に形成された磁性膜Ｆのサーボ情報
領域１０に、非磁性領域としてのピット１４をデータト
ラック幅方向に間隔をおいて配置する。隣接するピット
１４の間に、サーボ情報を磁気的に記録した磁気信号領
域１５をピット１４に到達するように形成し、磁気信号
領域１５のデータトラック幅方向の両エッジがピット１
４によって形成されるようにする。【効果】磁気ディスクに従来より高い精度でサーボ情
報を書き込むことができる。磁気ヘッドのトラック追従
精度が改善される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、磁気記録媒体および
磁気記録装置およびその製法に関し、さらに詳しく言え
ば、データ面にサーボ情報が書き込まれた磁気記録媒体
と、その磁気記録媒体を用いて構成される、優れたトラ
ック追従精度を持つ磁気記録装置およびその製法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】いわゆる「データ面サーボ」方式の磁気
ディスク装置は、磁気ヘッドを磁気ディスクの所望デー
タトラックに追従させるためのサーボ情報を磁気ディス
クのデータ面に書き込んだものである。この方式に用い
る磁気ディスクでは、そのデータ面に、サーボ情報を記
録する複数のサーボセクタとデータを記録する複数のデ
ータセクタとが交互に配置されている（例えば、特公昭
５５−２０３０２号公報参照）。

【０００３】従来のこの種磁気ディスク装置では、磁気
ディスクへのサーボ情報の記録すなわち「物理フォーマ
ット」は、磁気ディスク、スピンドル、磁気ヘッド等の
各構成要素を組み立てた後にサーボトラック・ライタ
（ＳＴＷ）を用いて行なわれる。すなわち、磁気ディス
クを固定したスピンドルを回転させ、その状態で外部よ
り位置を測定しながら磁気ディスクのデータ面に、書き
込み用磁気ヘッドでサーボ情報を書き込む。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記従来のフォーマッ
ト方法では、サーボ情報の書き込み作業が比較的容易で
ある反面、サーボ情報の書き込み精度が磁気ディスク装
置自体の持つ機械的精度および特性に依存するため、書
き込み精度に限界があるという問題がある。この問題を
図１７を用いて説明する。

【０００５】図１７は、磁気ディスクのあるデータトラ
ックに属する２つのサーボセクタ間に生じるトラック中
心線（目標位置）のずれを模式的に示している。図１５
において、ｋ番サーボセクタのトラック中心線１１１の
位置は、その中心線１１１の両側に千鳥状に配置された
一対の磁気信号領域１０１ａにより規定される。同様
に、（ｋ＋ｘ）番サーボセクタのトラック中心線１１２
の位置は、その中心線１１２の両側に千鳥状に配置され
た一対の磁気信号領域１０１ｂにより規定される。デー
タ記録／再生用の磁気ヘッドは、一対の磁気信号領域１
０１ａまたは１０１ｂに記録されたサーボ情報（トラッ
ク追従情報）を読み出して中心線１１１または１１２上
に位置決めされ、中心線１１１または１１２に追従す
る。

【０００６】図１５に示すように、ｋ番セクタのトラッ
ク中心線１１１と（ｋ＋ｘ）番セクタのトラック中心線
１１２との間には、偏差ｅが生じている。したがって、
ｋ番セクタのサーボ情報により位置決めされる場合と
（ｋ＋ｘ）番セクタのサーボ情報により位置決めされる
場合とで、磁気ヘッドの目標位置にずれが生じる。

【０００７】前記偏差ｅは、磁気信号領域１０１ａおよ
び１０１ｂを書き込む際に、磁気ディスクの回転機構や
磁気ヘッドの移動機構の微小振動あるいは偏心などによ
り生じるものである。このため、前記の物理フォーマッ
ト方法を採用する限り、サーボ情報の書き込み精度をそ
の磁気ディスク装置の機械的精度以上に向上することは
できない。

【０００８】目標位置の変動は、磁気記録の特性や誤差
などによっても生じる。例えば、磁気ヘッドによって磁
性膜に形成される磁気信号領域１０１ａおよび１０１ｂ
のエッジ１０２ａおよび１０２ｂは、磁性膜内の粒界構
造などに起因して必ずしも直線的にはならず、多少なり
とも凹凸が存在する。このため、前述のように、エッジ
１０２ａおよび１０２ｂを検知して磁気ヘッドが追従す
る場合、その追従は不正確となりやすい。

【０００９】さらに、何らかの原因で磁気信号領域１０
１ａまたは１０１ｂのエッジ１０２ａおよび１０２ｂ
に、図１５のような磁気信号領域の突出部１０３が形成
されることもある。この場合、この突出部１０３によっ
ても目標位置が変動し、磁気ヘッドの追従が不正確とな
る。

【００１０】以上のように、従来の磁気ディスク装置で
は、サーボ情報の書き込み精度を現状よりも向上するこ
とが困難であるという問題がある。

【００１１】そこで、この発明の目的は、現状より高い
精度でサーボ情報を書き込むことができる磁気記録媒体
を提供することにある。

【００１２】この発明の他の目的は、磁気ヘッドの追従
精度が従来より良好な磁気記録装置およびその製法を提
供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】

（１）この発明の磁気記録媒体は、基材上に形成され
た磁性膜を備え、その磁性膜には複数のデータトラック
と、サーボ情報が記録されるサーボ情報領域と、データ
が磁気的に記録されるデータ領域とが形成されている磁
気記録媒体において、前記サーボ情報領域が、前記デー
タトラックに直交する方向に間隔をおいて配置された複
数の非磁性領域を含んでおり、しかも、それら非磁性領
域の間の領域には、前記非磁性領域に到達するように前
記サーボ情報を磁気的に記録することが可能であること
を特徴とする。

【００１４】前記非磁性領域は、好ましくは、前記磁性
膜に形成された透孔または窪みにより形成される。

【００１５】好ましくは、前記非磁性領域の列が前記デ
ータトラック方向に複数列配置され、前記データトラッ
クの各々について、前記列にそれぞれ属する複数の前記
非磁性領域が前記データトラック方向に千鳥状に配置さ
れる。

【００１６】好ましくは、前記非磁性領域の列が前記デ
ータトラック方向に複数列配置され、前記非磁性領域の
間の領域に磁気的に記録された前記サーボ情報により、
前記データトラックの各々について、位相が異なる複数
の磁気ヘッドの位置誤差信号を生成可能とする。

【００１７】前記サーボ情報領域が、ｎ（ｎは正の整
数）相のサーボ情報を記録可能である場合、前記データ
トラックの各々について、ｍ（ｍは正の整数で、ｍ≦
ｎ）相分のサーボ情報を生成するように前記非磁性領域
が形成されているのが好ましい。前記非磁性領域は、磁
気ヘッドの位置誤差を示す位置誤差信号を前記データト
ラックの各々について複数個生成するように形成されて
いてもよい。この場合、前記データトラックの各々につ
いて、複数の前記位置誤差信号の位相が互いにずれて生
成されるのが好ましい。

【００１８】前記非磁性領域の前記データトラック方向
の長さは、前記データトラックに直交する方向に沿って
変化していても、変化していなくてもよい。変化してい
る場合、その長さの変化に基づいて磁気ヘッドの位置誤
差信号を生成することが可能である。

【００１９】前記データトラック方向に互いに隣接する
前記非磁性領域は、互いに独立していてもよいし、互い
に連結されていてもよい。互いに連結されている場合、
前記サーボ情報を書き込む際に前記非磁性領域を検知す
ることが不要であるという利点がある。

【００２０】前記非磁性領域の前記データトラックに直
交する方向の長さは、前記データトラックのピッチより
も大きくすることができる。この場合、前記非磁性領域
の前記長さに依存することなく、前記データトラックの
ピッチを小さくすることが可能となる。

【００２１】前記サーボ情報領域は通常、同期用情報が
記録される同期用情報領域と、アドレスを示す情報が記
録されるアドレス用情報領域と、磁気ヘッドの前記デー
タトラックへの追従を制御する情報が記録される追従制
御用情報領域とを含んでいる。この場合、前記非磁性領
域の間の領域に磁気的に記録される情報を、前記追従用
制御情報とするのが好ましい。

【００２２】この場合、前記同期用情報および前記アド
レス用情報の少なくとも一方が、前記磁性膜に形成され
た第２の非磁性領域によって記録されているのが好まし
い。前記同期用情報や前記アドレス用情報を磁気的に書
き込むことが不要となる。

【００２３】前記第２の非磁性領域は、前記磁性膜に形
成された透孔により形成されるのが好ましい。前記第２
の非磁性領域を前記非磁性領域と同じ工程で形成するこ
とができる。

【００２４】前記データトラックのピッチは、１μｍ以
下とするのが好ましい。

【００２５】位置決めの基準となる外部から観察可能な
位置決め用マークを備えているのが好ましい。この磁気
記録媒体を複数個スピンドルに固定する際に、それらの
位置合わせが容易となる。

【００２６】（２）この発明の磁気記録装置は、前記
（１）に記載の磁気記録媒体のいずれかと、当該磁気記
録媒体を固定して回転せしめられるスピンドルと、前記
磁気記録媒体にデータを記録し且つ記録されたデータを
再生する磁気ヘッドとを備えてなることを特徴とする。

【００２７】前記磁気記録媒体は、前記サーボ情報を磁
気的に記録した磁気信号領域を前記非磁性領域の間の領
域に備えているのが好ましい。この場合、前記サーボ情
報は、前記非磁性領域によって形成された前記磁気信号
領域のエッジを利用して再生されるのが好ましい。

【００２８】前記磁気記録媒体の前記データトラック方
向に互いに隣接する前記非磁性領域および前記磁気信号
領域は、それぞれ互いに連結されていても独立していて
もよいが、連結されているのが好ましい。連結されてい
ると、前記サーボ情報を書き込む際に、前記非磁性領域
の位置を検知することが不要となる。

【００２９】前記磁気記録媒体を複数個備えており、そ
れら磁気記録媒体が位置決め用マークを有している場
合、それら磁気記録媒体は、前記位置決め用マークを利
用して前記スピンドルに整合して固定されているのが好
ましい。

【００３０】前記磁気記録媒体を複数個備えている場
合、それら磁気記録媒体の各々の前記非磁性領域の間の
位置ずれを補正すべく、それら磁気記録媒体の各々につ
いて設けられた前記磁気ヘッドを前記データトラックに
直交する方向に微動させる微動用アクチュエータを備え
ているのが好ましい。複数の前記磁気記録媒体の固定位
置が整合していなくても、その位置ずれを容易に補正す
ることができる。

【００３１】（３）この発明の磁気記録装置の製法
は、前記（２）に記載の磁気記録装置の製法であって、
光リソグラフィーおよびエッチング技術を用いて前記
（１）に記載のいずれかの磁気記録媒体を作製する第１
工程と、前記磁気記録媒体を前記スピンドルおよび前記
磁気ヘッドと共に組み立てる第２工程と、前記データト
ラックのピッチよりも大きいトラック幅を持つ書き込み
用磁気ヘッドを用いて、前記磁気記録媒体の磁性膜に磁
界を印加し、前記サーボ情報領域に前記サーボ情報を書
き込む第３工程とを備えてなることを特徴とする。

【００３２】前記サーボ情報を書き込む工程は、好まし
くは、一様磁界を印加して前記磁性膜の全面の情報を消
去する工程と、消去後の前記磁性膜から発生する磁束を
利用して前記非磁性領域の位置を検知しながら前記サー
ボ情報を前記磁性膜に書き込む工程とを含む。

【００３３】他方、前記サーボ情報を書き込む工程は、
前記非磁性領域の位置を検知しながら前記サーボ情報を
前記磁性膜に書き込む工程を含み、前記磁性膜の全面の
情報を消去する工程を含んでいなくてもよい。

【００３４】前記サーボ情報を書き込む工程は、前記磁
性膜にバースト状磁気信号を印加して行なわれるのが好
ましい。

【００３５】前記サーボ情報は、前記データトラック方
向の前記非磁性領域の配置状況に同期して書き込まれる
のが好ましい。

【００３６】

【作用】この発明の磁気記録媒体では、サーボ情報が磁
気的に記録される領域のエッジが非磁性領域によって形
成されるので、その非磁性領域を所望形状に形成すれ
ば、前記エッジをサーボ情報の読み出しに適した形状に
することができ、また前記エッジに磁気的な突起が生じ
ることもない。したがって、前記エッジを用いて前記サ
ーボ情報を読み取って、選択された前記データトラック
上にデータ記録／再生用の磁気ヘッドを位置決めするよ
うにすれば、その位置決めおよび追従は極めて正確なも
のになる。

【００３７】また、前記非磁性領域は、例えば、高精度
に非磁性領域のパターンを形成したマスクを用いて磁性
膜に転写することにより、極めて高精度に形成すること
ができる。その結果、磁気記録装置の機械的精度および
特性に依存せずに、極めて高い精度でサーボ情報を書き
込むことが可能である。

【００３８】この発明の磁気記録装置は、極めて高い精
度でサーボ情報が書き込まれた磁気記録媒体を備えてい
るので、所望データトラック上にへの磁気ヘッドの位置
決めおよびその追従は極めて正確なものになる。その結
果、トラック追従精度を従来よりも大幅に向上させるこ
とができる。

【００３９】この発明の磁気記録装置の製法では、光リ
ソグラフィーおよびエッチング技術を用いて前記磁気記
録媒体を作製した後、前記データトラックのピッチより
も大きいトラック幅を持つ書き込み用磁気ヘッドを用い
て前記サーボ情報を書き込むので、前記磁気記録装置を
容易に製造することができる。

【００４０】

【実施例】以下、添付図面に基づいてこの発明の実施例
を説明する。

【００４１】［磁気記録媒体の第１実施例］図１、２お
よび６は、この発明の磁気記録媒体の第１実施例を示
す。図６に示すように、この磁気ディスク１のデータ記
録用の磁性膜のデータ面には、同心円状に複数のデータ
トラックが形成されている。このデータ面は、等間隔に
形成された複数のデータセクタ２に分割されており、各
データセクタ２に隣接してサーボセクタ３が形成されて
いる。すなわち、データ面には、データトラックに沿っ
てデータセクタ２とサーボセクタ３とが交互に配置され
ている。各サーボセクタ３には、データトラック毎にサ
ーボ情報領域１０が形成されている。

【００４２】図６では、簡単化するため、ｎ番データト
ラック４と（ｎ＋ｘ）番データトラックのみが描かれ、
他のデータトラックは省略されている。ｎ番トラック４
の各データセクタ２に関するサーボ情報は、それらデー
タセクタ２に隣接するｎ番トラック４の各サーボ情報領
域１０に書き込まれている。（ｎ＋ｘ）番データトラッ
クについても同様である。

【００４３】サーボ情報領域１０に２相あるいはそれ以
上の多相のサーボ情報が記録される場合は、データトラ
ックの各々に属するすべてのサーボセクタ３にサーボ情
報領域１０を設けなくてもよい。例えば、ｎ番トラック
４については、そのトラック４に沿う複数のサーボセク
タ３に１個おきにサーボ情報領域１０を設け、（ｎ＋
ｘ）番トラック５については、ｎ番トラック４のサーボ
情報領域１０が設けられていないサーボセクタ３に、１
個おきにサーボ情報領域１０を設けてもよい。

【００４４】図１（ａ）は図６のサーボセクタ３のサー
ボ情報領域１０の全体構成を示し、図１（ｂ）および図
１（ｃ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面を示す。

【００４５】図１（ａ）に示すように、サーボ情報領域
１０は、同期用情報が記録される同期用情報領域１１
と、そのセクタのアドレスを示す情報が記録されるアド
レス用情報領域１２と、データ記録／再生用磁気ヘッド
のデータトラックへの位置決めおよび追従を制御する情
報が記録される追従制御用情報領域１３とから構成され
ている。１６は、当該サーボ情報領域１０に隣接するデ
ータセクタ２のデータトラックの中心線を示す。

【００４６】この実施例では、追従制御用情報は、デー
タトラック幅方向（換言すれば、データトラックに直交
する方向）に等間隔で磁性膜Ｆに形成された複数の矩形
のピット１４と、隣接するピット１４の間で磁性膜Ｆに
形成された矩形の磁気信号領域１５とにより記録されて
いる。ここでは、ピット１４と磁気信号領域１５の列は
データトラック幅方向に２列配置されており、第１列１
３ａの各ピット１４は第２列１３ｂの各ピット１４に対
してデータトラック幅方向にずれている。

【００４７】各ピット１４は、図１（ｂ）に示すような
矩形断面、あるいは図１（ｃ）に示すような台形断面を
持つ。すなわち、この磁気ディスクは、基板Ｓとその上
に形成された磁性膜Ｆとを備えて構成され、各ピット１
４が形成されている箇所では磁性膜Ｆおよび基板Ｓが選
択的に除去されている。各ピット１４の底部は、磁性膜
Ｆを貫通して基板Ｓの内部まで達している。このため、
ピット１４が形成されている箇所は非磁性領域となって
いる。ピット１４の深さは、その箇所が非磁性領域とな
れば足り、例えば５０ｎｍ以上とする。

【００４８】各磁気信号領域１５は、隣接するピット１
４の間の領域に形成されており、そのトラック方向の長
さはピット１４のそれよりも短くなっている。各磁気信
号領域１５には、数ｋＨｚ〜数ＭＨｚの周波数のバース
ト状信号が磁気的に書き込まれている。

【００４９】図２に詳細に示すように、第１列１３ａお
よび第２列１３ｂの各ピット１４の幅（データトラック
幅方向の長さ）はいずれもＰｗであり、データトラック
のピッチはＴｐである。ここでは、トラックピッチＴｐ
はピット幅Ｐｗの（１／２）に等しい。第１列１３ａの
ピット１４および磁気信号領域１５は、第２列１３ｂの
ピット１４および磁気信号領域１５に対して、データト
ラック幅方向（上下方向）にトラックピッチＴｐの（１
／２）すなわちピット幅Ｐｗだけずれて配置されてい
る。したがって、第１列１３ａの各磁気信号領域１５
は、第２列１３ｂの隣接する２つの磁気信号領域１５の
間に位置している。

【００５０】この実施例では、各磁気信号領域１５のト
ラック方向の幅を各ピット１４のトラック方向の幅より
も狭くしているが、これは再生時に情報を検出しやすく
なるからである。

【００５１】同期用情報は、図１（ａ）に示すように、
データトラック幅方向に延びる２本の溝１７により記録
されている。アドレス用情報は、データトラック幅方向
に延びる長さの異なる３本の溝１８により記録されてい
る。これらの溝１７および１８は、ピット１４と同様
に、図１（ｂ）または図１（ｃ）に示す断面を持つ。こ
れらの溝１７および１８の深さも、例えば５０ｎｍ以上
とする。なお、溝１７および１８を形成せずに、磁性膜
Ｆに磁気信号を記録して溝１７および１８と同様のパタ
ーンの磁気信号領域を形成してもよい。

【００５２】磁気ヘッドの追従制御用情報は、各データ
トラックの中心線１６に対して千鳥状に配置された、第
１列１３ａの１つの磁気信号領域１５と第２列１３ｂの
１つの磁気信号領域１５との組が提供する。すなわち、
図２に示すように、第１列１３ａの磁気信号領域１５の
下側エッジ１５ａと第２列１３ｂの磁気信号領域１５の
上側エッジ１５ａとが、当該データトラックのトラック
中心線１６の位置を規定する。データ記録／再生用の磁
気ヘッドは、これら両エッジ１５ａを基準として当該デ
ータトラック上に位置決めされ、当該データトラックに
追従する。

【００５３】この実施例では、磁気ヘッドの位置誤差信
号は図２に示す波形１９を持つ。図２より分かるよう
に、磁気ヘッドがデータトラック中心線１６上に正確に
位置していれば、位置誤差信号は０を示し、磁気ヘッド
がデータトラック幅方向（上方または下方）にずれる
と、それに伴って位置誤差信号は＋または−の方向に変
化する。よって、位置誤差信号が常に０になるようにフ
ィードバック制御すれば、磁気ヘッドをデータトラック
中心線１６上に正確に位置決めして追従させることがで
きる。

【００５４】この磁気ディスクでは、後述のように、２
つの列１３ａおよび１３ｂに属するピット１４が光リソ
グラフィーおよびエッチング技術により形成されるの
で、ピット１４と同様のパターンを磁気記録で形成する
従来の精度に比べて、ピット１４の形状ならびに配置の
精度は極めて高い。各磁気信号領域１５の上下両エッジ
１５ａは、ピット１４の上または下のエッジ１４ａによ
って形成されるため、極めて正確にトラック中心線１６
に平行な直線状になっており、しかも、従来のような磁
性膜Ｆの磁化の不規則性に起因する凹凸や磁化領域の突
出部が存在する恐れもない。このため、磁気ヘッドはデ
ータトラック中心線１６上により正確に位置決めされる
ことが可能となる。

【００５５】この点を実験により確認した結果、位置誤
差信号に含まれる、機械的特性などに起因する数ｋＨｚ
〜十数ｋＨｚの成分の振れが、従来の場合に比べて格段
に小さくなっていた。また、トラック幅方向の磁気信号
領域のエッジの変動がなくなっていた。

【００５６】ピット１４の上下両エッジ１４ａの形状
は、磁気信号領域１５を区画するため、正確に直線状で
あることが必要であるが、ピット１４の左右両エッジ１
４ｂの形状は任意である。また、磁気信号領域１５の左
右両エッジ１５ｂの形状も任意である。

【００５７】［磁気記録媒体の第２実施例］図３は、こ
の発明の磁気記録媒体の第２実施例を示す。この磁気デ
ィスクでは、第１実施例と同じ第１列２３ａおよび第２
列２３ｂのピット２４および磁気信号領域２５に加え、
これと同じパターンを持つ第３列２３ｃおよび第４列２
３ｄのピット３４および磁気信号領域３５が、追従制御
用情報領域２３に配置されている。第３列２３ｃおよび
第４列２３ｄのピット３４および磁気信号領域３５は、
第１列２３ａおよび第２列２３ｂのピット３４および磁
気信号領域３５に対して、データトラック幅方向にトラ
ックピッチＴｐの（１／４）（ピット幅Ｐｗの（１／
２））だけずれて配置されている。

【００５８】サーボ情報領域１０の他の領域すなわち、
同期用情報領域１１とアドレス用情報領域１２の構成
は、図示していないが、第１実施例の場合と同じであ
る。

【００５９】図３のｎ番データトラックの中心線１６
は、千鳥状に配置された、第１列２３ａおよび第２列２
３ｂの磁気信号領域２５の上下両エッジ２５ａによって
規定される。この場合、第３列２３ｃおよび第４列２３
ｄの磁気信号領域２５は使用されない。データトラック
が、図３のｎ’番データトラックのように、ｎ番トラッ
クに対して上方にトラックピッチＴｐの（１／４）だけ
ずれて形成されている場合は、第１列２３ａおよび第２
列２３ｂの磁気信号領域２５に代えて、第３列２３ｃお
よび第４列２３ｄの磁気信号領域２５を使用すればよ
い。

【００６０】このように、第２実施例の磁気ディスクで
は、第１列２３ａおよび第２列２３ｂ、あるいは第３列
２３ｃおよび第４列２３ｄの磁気信号領域２５を選択し
て使用することができる利点がある。

【００６１】この磁気ディスクでは、磁気信号領域２５
または３５によって位置誤差信号波形２７ａまたは２７
ｂが得られる。波形２７ａおよび２７ｂはいずれも波形
１７と同じであり、磁気ヘッドがデータトラック中心線
１６上に正確に位置していれば位置誤差信号は０を示
し、磁気ヘッドがデータトラック幅方向にずれると、そ
れに伴って位置誤差信号は＋または−の方向に変化す
る。磁気ヘッドの位置は、いずれかの位置誤差信号が常
に０になるようにフィードバック制御される。

【００６２】この磁気ディスクでは、磁気信号領域２５
および３５の両方を使用して磁気ヘッドの位置決めを行
なってもよい。この場合、磁気信号領域２５および３５
によって、２つの位置誤差信号波形２７ａおよび２７ｂ
が同時に得られる。波形２７ａおよび２７ｂは、トラッ
クピッチＴｐの（１／４）だけ互いに位相がずれている
ため、位相が９０゜だけずれた「２相」の位置誤差信号
が得られることになる。この場合、データトラックの各
々に属するすべてのサーボセクタ３にサーボ情報領域１
０を設けなくてもよいという利点が生じる。

【００６３】位置誤差信号波形２７ｂ（２７ａ）は、位
置誤差信号波形２７ａ（２７ｂ）の線形性補償用として
使用してもよい。

【００６４】［磁気記録媒体の第３実施例］図４は、こ
の発明の磁気記録媒体の第３実施例を示す。この磁気デ
ィスクでは、追従制御用情報領域４３に、第１実施例の
ピット１４および磁気信号領域１５と同じパターンを持
つ第１列〜第６列のピット４４および磁気信号領域４５
が形成されている。これらのピットの幅Ｐｗはトラック
ピッチＴｐの（１／２）である。隣接する各列のピット
および磁気信号領域は、データトラック幅方向にトラッ
クピッチＴｐの（１／６）だけ互いにずれている。図４
では、第１列４３ａ、第２列４３ｂ、第３列４３ｃおよ
び第４列４３ｄのピット４４および磁気信号領域４５の
みが描かれており、第５列および第６列のピット４４お
よび磁気信号領域４５は省略されている。

【００６５】図４のｎ１番データトラックの中心線１６
の位置は、第１列４３ａの磁気信号領域４５の上側エッ
ジ４５ａと第４列４３ｄの磁気信号領域４５の下側エッ
ジ４５ａによって規定される。ｎ１番データトラックに
対してトラックピッチＴｐの（１／６）だけ下方にずれ
ているｎ２番データトラックの中心線１６の位置は、第
２列４３ｂの磁気信号領域４５の上側エッジと図示しな
い第５列の磁気信号領域２５の下側エッジによって規定
される。ｎ２番データトラックに対してトラックピッチ
Ｔｐの（１／６）だけ下方にずれているｎ３番データト
ラックの中心線１６の位置は、第３列４３ｃの磁気信号
領域４５の下側エッジと図示しない第６列の磁気信号領
域２５の上側エッジによって規定される。

【００６６】ｎ４番データトラックと図示しないｎ５番
およびｎ６番データトラックについても、これと同様で
ある。すなわち、ｎ４番データトラックの中心線１６の
位置は、第１列４３ａの磁気信号領域４５の下側エッジ
４５ａと第４列４３ｄの磁気信号領域４５の上側エッジ
４５ａによって規定される。ｎ４番データトラックに対
してトラックピッチＴｐの（１／６）だけ下方にずれて
いるｎ５番データトラックの中心線（図示せず）の位置
は、第２列４３ｂの図示しない磁気信号領域４５の下側
エッジと図示しない第５列の磁気信号領域２５の上側エ
ッジによって規定される。ｎ５番データトラックに対し
てトラックピッチＴｐの（１／６）だけ下方にずれてい
るｎ６番データトラックの中心線（図示せず）の位置
は、第３列４３ｃの図示しない磁気信号領域４５の下側
エッジと図示しない第６列の磁気信号領域２５の上側エ
ッジによって規定される。

【００６７】したがって、磁気ヘッドをｎ１番トラック
上に位置決めしたい場合は、第１列４３ａと第４列４３
ｄのピット４４と磁気信号領域４５の組み合わせを使用
すればよい。ｎ２番，ｎ３番，ｎ４番，ｎ５番（図示せ
ず）およびｎ６番（図示せず）の各データトラック上に
位置決めしたい場合は、同様に、適当な２つの列のピッ
ト４４と磁気信号領域４５の組み合わせを使用すればよ
い。このように、第３実施例の磁気ディスクでも、第２
実施例と同様に、データトラックの位置に応じて、各列
の磁気信号領域４５を選択して使用することができる。

【００６８】この第３実施例の磁気ディスクでは、各列
の磁気信号領域４５によって、６つの位置誤差信号波形
が得られる。図４には、ｎ１番，ｎ２番およびｎ３番の
データトラックに関する位置誤差信号波形４７ａ，４７
ｂおよび４７ｃが描かれているが、ｎ４番，ｎ５番およ
びｎ６番のデータトラックに関する位置誤差信号も同様
の波形を持つ。磁気ヘッドの位置は、いずれかの位置誤
差信号が常に０になるようにフィードバック制御され
る。

【００６９】６列の磁気信号領域４５のすべてを使用し
て磁気ヘッドの位置決めを行なってもよい。この場合、
図４のような６つの位置誤差信号波形が同時に得られ
る。これらの波形は、いずれも第１実施例の位置誤差信
号波形１７と同じ形状を持つが、波形４７ａ，４７ｂお
よび４７ｃで示しているように、トラックピッチＴｐの
（１／６）だけ互いに位相がずれているため、トラック
幅方向には位相が６０゜だけずれた「６相」の位置誤差
信号が得られる。

【００７０】前述の第２実施例およびこの第３実施例か
ら分かるように、この発明の磁気記録媒体では、データ
トラック幅方向に並列されたピットと磁気信号領域から
なる列を適当数、データトラック方向に配置することに
より、図３のデータトラックｎおよびｎ’、図４のデー
タトラックｎ１，ｎ２，ｎ３，・・・のように、トラッ
クピッチＴｐをピット幅Ｐｗより小さく設定しても、ピ
ット幅Ｐｗより大きい場合と同様の位置誤差信号が得ら
れる。したがって、トラックピッチＴｐをピットの形成
精度の限界まで小さくしても、磁気ヘッドを正確に位置
決めおよび追従させることができるという利点がある。

【００７１】［磁気記録媒体の第４実施例］図５は、こ
の発明の磁気記録媒体の第４実施例を示す。この磁気デ
ィスクは、第３実施例の各データトラックを規定する、
データトラック方向（図では左右方向）に並んだ６個の
ピット４４同士および６個の磁気信号領域４５同士を、
それぞれ互いに連結したものに相当する。

【００７２】第３実施例の６列のピットは、トラック方
向に沿うピットエッジが直線的になっていれば、トラッ
ク幅方向に沿うエッジはいかなる形状でもよい。この磁
気ディスクは、この点を考慮し、追従制御用情報領域５
３に、各列のピット同士をトラック方向に連結して単一
のピット５４を形成したものである。それに対応して、
各列の磁気信号領域もトラック方向に連結され、単一の
磁気信号領域５５となっている。したがって、磁気信号
領域５５は、隣接するピット５４間の領域全体に分布し
ている。

【００７３】この磁気ディスクでは、磁気信号領域５５
へのバースト信号パターンの書き込みの際に、第１〜第
３実施例のように、各列のピットの位置を検知する必要
がなく、ピット５４とほぼ同じ幅でトラック方向に一様
に書き込むことができるため、磁気信号領域５５の形成
が容易であるという利点がある。

【００７４】［磁気記録媒体の第５実施例］図７は、こ
の発明の磁気記録媒体の第５実施例を示す。この磁気デ
ィスクは、追従制御用情報領域６３に、データトラック
の位置に応じてデータトラック方向の長さが変化するピ
ット６４を形成し、その周囲に磁気信号領域６５を形成
したものである。図７（ａ）に示すように、ピット６４
は、平面形状が直角三角形であり、直角を挟む２辺をデ
ータトラック方向およびデータトラック幅方向にそれぞ
れ平行に形成されている。ピット６４は、データトラッ
ク幅方向にその１つの頂点を直角の頂点に接触させて複
数個、配置されている。磁気信号領域６５は、それらピ
ット６４の列の周囲に一定の幅でデータトラック幅方向
に延びている。

【００７５】ｎ１番データトラック上では、ピット６４
の長さはＬ１であり、ｎ２番データトラック上ではＬ２
であり、ｎ３番データトラック上ではＬ３である。した
がって、磁気ヘッドは、ｎ１番データトラック上を通過
する際には、ピット６４の長さがＬ１であると認識す
る。同様に、ｎ２番およびｎ３番データトラック上を通
過する際は、それぞれＬ２およびＬ３と認識する。

【００７６】磁気ディスクは定速回転しているから、図
７（ｂ）に示すように、ｎ１番トラック上のピット通過
時間はｔ１、ｎ２番トラック上の通過時間はｔ２、ｎ３
番トラック上の通過時間はｔ３となり、ピット６４の長
さに応じて順に短くなる。この変化は線形であり、その
変化率はピット６４の斜辺部分の傾斜角度に依存する。
そこで、これら通過時間を検知してそれに応じた位置誤
差信号波形が得られるようにすれば、磁気ヘッドを任意
のデータトラック上に位置決めし、当該データトラック
に追従させることができる。

【００７７】この実施例では、ピット６４の長さすなわ
ち通過時間の変化に基づいて磁気ヘッドの位置誤差を検
知するので、その通過時間を示す信号の時間分解能の限
界まで、トラックｎ１，ｎ２，ｎ３・・・の間隔を狭め
ることが可能となる。

【００７８】［磁気記録装置の第１実施例］図８は、こ
の発明の磁気記録装置の第１実施例を模式的に示す。こ
の磁気記録装置は、図８（ａ）に示すように、４枚のこ
の発明の磁気ディスク７１ａ，７１ｂ，７１ｃおよび７
１ｄを間隔をおいてスピンドル７６に積層・固定してな
るものである。これら以外の構成要素、すなわち、スピ
ンドル７６を回転させる回転手段、各磁気ディスク７１
ａ，７１ｂ，７１ｃおよび７１ｄの各データ面に対向し
て設けられるデータ記録／再生用の磁気ヘッド、磁気ヘ
ッドを各磁気ディスク７１ａ，７１ｂ，７１ｃおよび７
１ｄの半径方向に移動させて所定のデータトラック上に
位置決めする磁気ヘッド移動手段、各磁気ディスク７１
ａ，７１ｂ，７１ｃおよび７１ｄにデータを記録する記
録信号と、各磁気ディスク７１ａ，７１ｂ，７１ｃおよ
び７１ｄに記録されているデータを再生する再生信号と
を処理する記録／再生信号処理系、これらの要素を収容
するケーシングなどは、従来のものを使用できるので、
ここでは省略している。

【００７９】各磁気ディスク７１ａ，７１ｂ，７１ｃお
よび７１ｄの表面には、それぞれ位置決めマーク７２
ａ，７２ｂ，７２ｃおよび７２ｄが形成されている。こ
れらのマーク７２ａ，７２ｂ，７２ｃおよび７２ｄは、
各磁気ディスク７１ａ，７１ｂ，７１ｃおよび７１ｄの
中心に対して同じ位置にある。マーク７２ａ，７２ｂ，
７２ｃおよび７２ｄは、いずれも図８（ｂ）に示すよう
なＬ字型の平面形状を持つピットであり、データトラッ
ク方向のエッジ７３とデータトラック幅方向のエッジ７
４とが互いに直交している。エッジ７３はデータトラッ
クの方向に、エッジ７４はデータトラック幅方向にそれ
ぞれ平行である。

【００８０】磁気ディスク７１ａ，７１ｂ，７１ｃおよ
び７１ｄをスピンドル７６に固定する場合、各磁気ディ
スク７１ａ，７１ｂ，７１ｃおよび７１ｄのサーボ情報
領域には予め、前述した第１〜第５実施例の磁気ディス
クのようなピットが形成されているため、積層された磁
気ディスク７１ａ，７１ｂ，７１ｃおよび７１ｄ相互間
でデータトラックの中心が一致しない「偏心」の問題や
回転の位相が一致しない「位相ずれ」の問題が生じやす
い。しかし、位置決めマーク７２ａ，７２ｂ，７２ｃお
よび７２ｄによりそのトラック方向とトラック幅方向と
が明示されているので、顕微鏡７５を用いてマーク７２
ａ，７２ｂ，７２ｃおよび７２ｄを監視しながら、それ
らのエッジ７３および７４が互いに一致するように固定
すれば、前述の問題は解決される。

【００８１】位置決めマーク７２ａ，７２ｂ，７２ｃお
よび７２ｄの形状や数などは、磁気ディスクの組込時の
前述の問題を解決できるものであれば、任意に変更可能
である。

【００８２】［磁気ディスク装置の第２実施例］図９
は、この発明の磁気記録装置の第２実施例を模式的に示
す。この磁気記録装置は、磁気ディスクに第１実施例の
ような位置決めマークを形成せず、それに代えて、前述
の偏心や位相ずれの問題を補正する手段を磁気ディスク
とは別個に設けたものである。

【００８３】この磁気記録装置は、第１実施例の磁気記
録装置と同様に、４枚のこの発明の磁気ディスク８１
ａ，８１ｂ，８１ｃおよび８１ｄを間隔をおいてスピン
ドル８６に積層・固定してなるものである。各磁気ディ
スク８１ａ，８１ｂ，８１ｃおよび８１ｄの各データ面
に対向して、データ記録／再生用の磁気ヘッド８２ａ，
８２ｂ，８２ｃおよび８２ｄがそれぞれ設けられてい
る。磁気ヘッド８２ａ，８２ｂ，８２ｃおよび８２ｄの
支持部材には、それぞれ、磁気ヘッド８２ａ，８２ｂ，
８２ｃおよび８２ｄを微小移動させるため、ピエゾ抵抗
素子などからなる微動アクチュエータ８３ａ，８３ｂ，
８３ｃおよび８３ｄがそれぞれ設けられている。磁気ヘ
ッド８２ａ，８２ｂ，８２ｃおよび８２ｄは、ボイスコ
イルモータなどからなる粗動アクチュエータ８４により
一体的に移動され、磁気ディスク８１ａ，８１ｂ，８１
ｃおよび８１ｄの所定のデータトラック上にアクセスさ
れる。その他の構成は、図８の第１実施例と同じであ
る。

【００８４】この実施例では、各磁気ディスク８１ａ，
８１ｂ，８１ｃおよび８１ｄに記録されたサーボトラッ
クが互いに偏心して固定されていても、また、固定の不
具合により回転の位相ずれが存在していても、微動アク
チュエータ８３ａ，８３ｂ，８３ｃおよび８３ｄにより
各磁気ヘッド毎に補正することができる。

【００８５】［磁気記録装置の製法の第１実施例］図１
０および図１２は、この発明の磁気記録装置の製法の第
１実施例を示す。図１０に示すように、まず、従来方法
により磁気ディスク用の基板Ｓ上にデータ記録用の磁性
膜Ｆを形成する（ステップＳ１）。他方、フォトレジス
トを塗布した基材にレーザ光を照射し、図２、図３また
は図４のパターンのピットが得られるようにパターンカ
ッティングを行なった後、この基材を現像およびエッチ
ングする。こうして、前記基材により、所定のピット・
パターンを持つピット形成用マスクを作製する（ステッ
プＳ２）。

【００８６】次に、前記磁性膜Ｆの上にフォトレジスト
を塗布した後、前記マスクを使用して露光する。フォト
レジストを現像した後、通常の方法で前記磁性膜Ｆをエ
ッチングすると、磁性膜Ｆに前記ピット・パターンが転
写された磁気ディスクが得られる（ステップＳ３）。そ
の後、磁性膜Ｆからフォトレジストを除去する。

【００８７】ここでは、ステップＳ１〜Ｓ３で磁性膜Ｆ
にピット・パターンを転写しているが、同様のピット・
パターンを有する基板Ｓを製作した後、その上に磁性膜
Ｆを形成するようにしてもよい。

【００８８】こうして得られたピット・パターン付きの
磁気ディスクは、例えば図８のようにスピンドルに積層
されて、磁気ヘッドなどと共に組み立てられる（ステッ
プＳ４）。

【００８９】次に、磁気ディスク装置の外部より、サー
ボ情報書き込み用磁気ヘッドにより、前記磁性膜Ｆの全
面のデータを直流（ＤＣ）消去法で消去する（ステップ
Ｓ５）。その後、磁気ディスク装置のデータ記録／再生
用磁気ヘッドを用いて、同期用情報領域のピットを基準
としてバースト信号のパターンを磁性膜Ｆに磁気的に書
き込み、磁気信号領域を形成する。こうして、サーボ情
報の書き込みが終了する（ステップＳ６）。

【００９０】以上の工程を図１２を用いて詳細に説明す
ると、次の通りである。ここでは、前述した第１実施例
の磁気ディスク（図１および図２のピット・パターンを
持つ）を使用した場合について述べる。

【００９１】ステップＳ３で、図１および図２のピット
・パターンを転写された磁性膜の各サーボ情報領域１０
は、図１２（ａ）のようになっている。すなわち、同期
用情報領域１１には同期用情報を記録する溝１７が、ア
ドレス用情報領域１２にはアドレス用情報を記録する溝
１８が、追従制御用情報領域１３にはピット１４がそれ
ぞれ記録されている。

【００９２】ステップＳ４でスピンドルに磁気ヘッドな
どと共に組み立てられた磁気ディスクは、データトラッ
クのピッチよりも幅の広いトラック幅を持つサーボ情報
書込み用の磁気ヘッド９０により、その磁性膜が全面に
わたって一方向に（データトラック方向に）直流消去法
で消去される。このステップにより磁性膜は一様に磁化
されるので、この時のトラック方向の磁化状態は図１２
（ｂ）のようになっている。図１２（ｂ）において、９
１は磁性膜Ｆから生じた磁束を示す。

【００９３】磁束９１を検知することにより、書込み用
の磁気ヘッド９０で同期用情報領域１１の溝１７のエッ
ジ部を認識することができる。そこで、この位置Ａを基
準として距離Ｌ１１だけ離れた位置と、そこからさらに
距離Ｌ１２だけ離れた位置とに追従制御用情報領域１３
のピット１４が存在することが分かっているので、位置
Ａから距離Ｌ１１および距離Ｌ１２だけ離れた箇所に、
それぞれバースト信号を所定パターンで磁気的に書き込
む。こうして、追従制御用情報領域１３の各ピット１４
間に、図１および図２に示すパターンを持つ磁気信号領
域１５が形成される。

【００９４】磁性膜Ｆに予め溝１７および１８が形成さ
れていないで、同期用情報あるいはアドレス情報が磁気
的に記録される場合は、磁気信号領域１５と同時にそれ
らの情報も記録される。

【００９５】［磁気記録装置の製法の第２実施例］図１
１は、この発明の磁気記録装置の製法の第２実施例を示
す。図１０の第１実施例の製法では、基板上に形成され
た磁性膜Ｆにピット・パターンを転写しているが、この
製法では、光ディスクのように、基板にピット・パター
ンを転写した後、その基板上に磁性膜Ｆを形成する。

【００９６】まず、磁気ディスクの基板Ｓを形成し（ス
テップＳ１’）、その基板ＳにステップＳ２’で形成し
たマスクからピット・パターンを転写する（ステップＳ
３’）。これにより、基板Ｓの表面に図１（ｂ）または
図１（ｃ）に示すようなピットが形成される。その後、
基板Ｓのピットが形成されている面に磁性膜Ｆを形成す
る（ステップＳ４’）。これにより、磁性膜Ｆには、基
板Ｓのピットを反映したピット・パターンが形成され
る。

【００９７】ここでは、ステップＳ１’〜Ｓ３’で基板
Ｓにピット・パターンを転写しているが、同様のピット
・パターンを有する基板Ｓを製作した後、転写工程を経
ることなくその上に磁性膜Ｆを形成するようにしてもよ
い。

【００９８】次に、こうして得られたピット・パターン
付きの磁気ディスクを組み立て（ステップＳ５’）た
後、磁性膜Ｆの全面のＤＣ消去（ステップＳ６’）、サ
ーボ情報の書き込み（ステップＳ７’）が行なわれる。
これらの工程は、図１０の第１実施例の場合と同じであ
る。

【００９９】［磁気記録装置の製法の第３実施例］図１
３、図１５および図１６は、この発明の磁気記録装置の
製法の第３実施例を示す。図１３に示すように、磁気デ
ィスク用の基板Ｓ上にデータ記録用の磁性膜Ｆを形成す
る工程（ステップＳ１１）、所定のピット・パターンを
持つピット形成用マスクを作製する工程（ステップＳ１
２）、ピット・パターンが転写された磁性膜を得る工程
（ステップＳ１３）、および、こうして得られたピット
・パターン付きの磁気ディスクを組み立てる工程（ステ
ップＳ１４）は、図１０の第１実施例の場合と同じであ
る。

【０１００】ここでも、ステップＳ１１〜Ｓ１３で磁性
膜Ｆにピット・パターンを転写しているが、同様のピッ
ト・パターンを有する基板Ｓを製作した後、その上に磁
性膜Ｆを形成するようにしてもよい。

【０１０１】この第３実施例では、前記磁性膜Ｆの全面
のデータを直流消去法で消去する工程（図１０のステッ
プＳ５と図１１のステップＳ６’）が存在しない。組み
立てられた磁気ディスクの磁性膜Ｆに直ちに、サーボ情
報書き込み用磁気ヘッドを用いてバースト信号を所定パ
ターンで磁気的に書き込む（ステップＳ１５）。

【０１０２】この方法は、第４実施例の磁気ディスク
（図５参照）に適用される。この磁気ディスクでは、図
１５に示すように、予め、サーボ情報領域５０同期用情
報領域５１には溝５７により同期用情報が記録され、ア
ドレス用情報領域５２には溝５８によりアドレス用情報
が記録され、追従制御用情報領域５３にはピット５４に
より追従制御用情報が記録されている。ステップＳ１５
では、トラックピッチよりも幅の広いトラック幅を持つ
サーボ情報書き込み用磁気ヘッド９２をトラック方向に
走行させ、磁性膜Ｆの全面にバースト信号を所定パター
ンで書き込み、磁気信号領域５５を形成する。

【０１０３】この製法では、第１実施例および第２実施
例の製法のようなバースト信号書き込み時の厳密な時間
管理が不要である利点がある。

【０１０４】図１５のように、ｎ１番データトラック上
を記録／再生用磁気ヘッド９３が走行すると、図１６の
ように、同期用情報９４、アドレス用情報９５および追
従制御用情報９６および９７を含む一連の電気信号が観
測される。追従制御用情報９６および９７により、磁気
ヘッド９３をｎ１番データトラック上に位置決めし、追
従させることが可能である。

【０１０５】［磁気記録装置の製法の第４実施例］図１
４は、この発明の磁気記録装置の製法の第４実施例を示
す。この実施例は、図１１の第２実施例と同様に、基板
にピット・パターンを転写した後、その基板上に磁性膜
Ｆを形成する。

【０１０６】まず、磁気ディスクの基板Ｓを形成し（ス
テップＳ１１’）、その基板ＳにステップＳ１２’で形
成したマスクからピット・パターンを転写する（ステッ
プＳ１３’）。これにより、基板Ｓの表面に図１（ｂ）
または図１（ｃ）に示すようなピットが形成される。そ
の後、基板Ｓのピットが形成されている面に磁性膜Ｆを
形成する（ステップＳ１４’）。これにより、磁性膜Ｆ
には、基板Ｓのピットを反映したピット・パターンが形
成される。

【０１０７】ここでも、ステップＳ１１’〜Ｓ１３’で
基板Ｓにピット・パターンを転写しているが、同様のピ
ット・パターンを有する基板Ｓを製作した後、転写工程
を経ることなくその上に磁性膜Ｆを形成するようにして
もよい。

【０１０８】次に、こうして得られたピット・パターン
付きの磁気ディスクを組み立て（ステップＳ１５’）た
後、直ちにサーボ情報の書き込み（ステップＳ１６’）
が行なわれる。これらの工程は、図１０の第１実施例の
場合と同じである。

【０１０９】前述した第１〜第４の実施例の製法では、
非磁性領域となるピットのパターンを磁気ディスクの磁
性膜や基板に転写した後、その磁性膜にサーボ情報を磁
気的に記録することにより、所定のサーボ情報が書き込
まれた磁気ディスクを得ている。このため、従来のよう
な、サーボ情報を書き込む際の機械的構成の振動などに
よる問題はまったく生じなくなる。

【０１１０】

【発明の効果】この発明の磁気記録媒体によれば、従来
より高い精度でサーボ情報を書き込むことができる。

【０１１１】この発明の磁気記録装置およびその製法に
よれば、磁気ヘッドのトラック追従精度が改善された磁
気記録装置が得られる。このため、記録密度をいっそう
向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）はこの発明の磁気記録媒体の第１実施例
のサーボ情報領域の構成を示す要部平面図、（ｂ）
（ｃ）はその部分断面図である。

【図２】図１の磁気記録媒体の詳細構成を示す平面図で
ある。

【図３】この発明の磁気記録媒体の第２実施例のサーボ
情報領域の構成を示す要部平面図である。

【図４】この発明の磁気記録媒体の第３実施例のサーボ
情報領域の構成を示す要部平面図である。

【図５】この発明の磁気記録媒体の第４実施例のサーボ
情報領域の構成を示す要部平面図である。

【図６】この発明の磁気記録媒体の全体構成を示す平面
図である。

【図７】（ａ）はこの発明の磁気記録媒体の第５実施例
のサーボ情報領域の構成を示す要部平面図、（ｂ）はそ
の信号波形図である。

【図８】（ａ）は複数の磁気記録媒体を積層する場合に
おいて各磁気記録媒体の位置を一致させて組み立てる方
法を示す斜視図、（ｂ）は各磁気記録媒体に形成される
位置決めマークの平面図である。

【図９】複数の磁気記録媒体を積層する場合において各
磁気記録媒体の偏心を補正して組み立てる方法を示す斜
視図である。

【図１０】この発明の磁気記録媒体の製法の第１実施例
を示すフローチャートである。

【図１１】この発明の磁気記録媒体の製法の第２実施例
を示すフローチャートである。

【図１２】（ａ）はこの発明の磁気記録媒体の製法の第
１および第２実施例により製造される磁気記録媒体のサ
ーボ情報領域の要部平面図、（ｂ）は各情報領域に記録
された情報に基づいてデータトラック位置を検知する方
法を示す説明図である。

【図１３】この発明の磁気記録媒体の製法の第３実施例
を示すフローチャートである。

【図１４】この発明の磁気記録媒体の製法の第４実施例
を示すフローチャートである。

【図１５】この発明の磁気記録媒体の製法の第３および
第４実施例により製造される磁気記録媒体のサーボ情報
領域の要部平面図である。

【図１６】この発明の磁気記録媒体の製法の第３および
第４実施例により製造される磁気記録媒体のサーボ情報
領域から得られる位置誤差信号を示す概念図である。

【図１７】従来の磁気ディスク装置において、同じデー
タトラックのｎ番セクタと（ｎ＋ｘ）番セクタでの目標
位置の変動を示す説明図である。

【符号の説明】

１磁気ディスクＦ磁性膜Ｓ基板２データセクタ３サーボセクタ４ｎ番データトラック５（ｎ＋ｘ）番データトラック１０サーボ情報領域１１同期用情報領域１２アドレス用情報領域１３追従制御用情報領域１３ａピットおよび磁気信号領域の第１列１３ｂピットおよび磁気信号領域の第２列１４ピット１４ａピットのデータトラック方向のエッジ１４ｂピットのデータトラック幅方向のエッジ１５磁気信号領域１５ａ磁気信号領域のデータトラック方向のエッジ１５ｂ磁気信号領域のデータトラック幅方向のエッジ１６データトラックの中心線１７，１８溝１９位置誤差信号波形Ｐｗピット幅Ｔｐデータトラックのピッチ２３追従制御用情報領域２３ａピットおよび磁気信号領域の第１列２３ｂピットおよび磁気信号領域の第２列２４ピット２４ａピットのデータトラック方向のエッジ２４ｂピットのデータトラック幅方向のエッジ２５磁気信号領域２５ａ磁気信号領域のデータトラック方向のエッジ２５ｂ磁気信号領域のデータトラック幅方向のエッジ２９ａ，２９ｂ位置誤差信号波形３３追従制御用情報領域３３ａピットおよび磁気信号領域の第３列３３ｂピットおよび磁気信号領域の第４列３４ピット３４ａピットのデータトラック方向のエッジ３４ｂピットのデータトラック幅方向のエッジ３５磁気信号領域３５ａ磁気信号領域のデータトラック方向のエッジ３５ｂ磁気信号領域のデータトラック幅方向のエッジ４３追従制御用情報領域４３ａピットおよび磁気信号領域の第１列４３ｂピットおよび磁気信号領域の第２列４３ｃピットおよび磁気信号領域の第３列４３ｄピットおよび磁気信号領域の第４列４４ピット４４ａピットのデータトラック方向のエッジ４４ｂピットのデータトラック幅方向のエッジ４５磁気信号領域４５ａ磁気信号領域のデータトラック方向のエッジ４５ｂ磁気信号領域のデータトラック幅方向のエッジ４９ａ，４９ｂ，４９ｃ位置誤差信号波形５３追従制御用情報領域５４ピット５４ａピットのデータトラック方向のエッジ５４ｂピットのデータトラック幅方向のエッジ５５磁気信号領域５５ａ磁気信号領域のデータトラック方向のエッジ６３追従制御用情報領域６４ピット６５磁気信号領域７１ａ，７１ｂ，７１ｃ，７１ｄ磁気ディスク７２ａ，７２ｂ，７２ｃ，７２ｄ位置決めマーク７３位置決めマークのデータトラック方向のエッジ７４位置決めマークのデータトラック幅方向のエッジ７５顕微鏡７６スピンドル８１ａ，８１ｂ，８１ｃ，８１ｄ磁気ディスク８２ａ，８２ｂ，８２ｃ，８２ｄ磁気ヘッド８３ａ，８３ｂ，８３ｃ，８３ｄ微動アクチュエータ８４粗動アクチュエータ８６スピンドル９０サーボ情報書き込み用磁気ヘッド９１磁束９２サーボ情報書き込み用磁気ヘッド９３データ記録／再生用磁気ヘッド９４同期用情報９５アドレス用情報９６，９７追従制御用情報１０１ａ，１０１ｂ磁気信号領域１０２ａ，１０２ｂ磁気信号領域のエッジ１０３ａ，１０３ｂ磁気信号領域の突出部１１１ｋ番セクタのトラック中心線１１２（ｋ＋ｘ）番セクタのトラック中心線

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基材上に形成された磁性膜を備え、その
磁性膜には複数のデータトラックと、サーボ情報が記録
されるサーボ情報領域と、データが磁気的に記録される
データ領域とが形成されている磁気記録媒体において、前記サーボ情報領域が、前記データトラックに直交する
方向に間隔をおいて配置された複数の非磁性領域を含ん
でおり、しかも、それら非磁性領域の間の領域には、前
記非磁性領域に到達するように前記サーボ情報を磁気的
に記録することが可能であることを特徴とする磁気記録
媒体。
【請求項２】前記非磁性領域が、前記磁性膜に形成さ
れた透孔または窪みにより形成されている請求項１に記
載の磁気記録媒体。
【請求項３】前記非磁性領域の列が、前記データトラ
ック方向に複数列配置されており、前記データトラック
の各々について、前記列にそれぞれ属する複数の前記非
磁性領域が前記データトラック方向に千鳥状に配置され
ている請求項１または２に記載の磁気記録媒体。
【請求項４】前記非磁性領域の列が、前記データトラ
ック方向に複数列配置されており、前記非磁性領域の間
の領域に磁気的に記録された前記サーボ情報により、前
記データトラックの各々について、位相が異なる複数の
磁気ヘッドの位置誤差信号を生成可能である請求項１〜
３のいずれかに記載の磁気記録媒体。
【請求項５】前記サーボ情報領域が、ｎ（ｎは正の整
数）相のサーボ情報を記録可能であり、前記データトラ
ックの各々について、ｍ（ｍは正の整数で、ｍ≦ｎ）相
分のサーボ情報を生成するように前記非磁性領域が形成
されている請求項１〜４のいずれかに記載の磁気記録媒
体。
【請求項６】前記非磁性領域が、磁気ヘッドの位置誤
差を示す位置誤差信号を前記データトラックの各々につ
いて複数個生成するように形成されている請求項１〜４
のいずれかに記載の磁気記録媒体。
【請求項７】前記データトラックの各々について、複
数の前記位置誤差信号の位相が互いにずれて生成される
請求項６に記載の磁気記録媒体。
【請求項８】前記非磁性領域の前記データトラック方
向の長さが、前記データトラックに直交する方向に沿っ
て変化している請求項１〜７のいずれかに記載の磁気記
録媒体。
【請求項９】前記データトラック方向に互いに隣接す
る前記非磁性領域が、互いに連結されている請求項３〜
８のいずれかに記載の磁気記録媒体。
【請求項１０】前記非磁性領域の前記データトラック
に直交する方向の長さが、前記データトラックのピッチ
よりも大きい請求項１〜９のいずれかに記載の磁気記録
媒体。
【請求項１１】前記サーボ情報領域が、同期用情報が
記録される同期用情報領域と、アドレスを示す情報が記
録されるアドレス用情報領域と、磁気ヘッドの前記デー
タトラックへの追従を制御する情報が記録される追従制
御用情報領域とを含んでおり、前記非磁性領域の間の領
域に磁気的に記録される情報が、前記追従用制御情報で
ある請求項１〜１０のいずれかに記載の磁気記録媒体。
【請求項１２】前記同期用情報および前記アドレス用
情報の少なくとも一方が、前記磁性膜に形成された第２
の非磁性領域によって記録されている請求項１１に記載
の磁気記録媒体。
【請求項１３】前記第２の非磁性領域が、前記磁性膜
に形成された透孔により形成されている請求項１２に記
載の磁気記録媒体。
【請求項１４】前記データトラックのピッチが１μｍ
以下である請求項１〜１３のいずれかに記載の磁気記録
媒体。
【請求項１５】位置決めの基準となる外部から観察可
能な位置決め用マークを備えている請求項１〜１４のい
ずれかに記載の磁気記録媒体。
【請求項１６】請求項１〜１５のいずれかに記載の磁
気記録媒体と、当該磁気記録媒体を固定して回転せしめ
られるスピンドルと、前記磁気記録媒体にデータを記録
し且つ記録されたデータを再生する磁気ヘッドとを備え
てなることを特徴とする磁気記録装置。
【請求項１７】前記磁気記録媒体が、前記サーボ情報
を磁気的に記録した磁気信号領域を前記非磁性領域の間
の領域に備えている請求項１６に記載の磁気記録装置。
【請求項１８】前記サーボ情報が、前記非磁性領域に
よって形成された前記磁気信号領域のエッジを利用して
再生される請求項１７に記載の磁気記録装置。
【請求項１９】前記磁気記録媒体の前記データトラッ
ク方向に互いに隣接する前記非磁性領域および前記磁気
信号領域が、それぞれ互いに連結されている請求項１６
〜１８のいずれかに記載の磁気記録装置。
【請求項２０】前記位置決め用マークを有する前記磁
気記録媒体を複数個備えており、それら磁気記録媒体
は、前記位置決め用マークを利用してスピンドルに整合
して固定されている請求項１６〜１９のいずれかに記載
の磁気記録装置。
【請求項２１】前記磁気記録媒体を複数個備えてお
り、さらに、それら磁気記録媒体の各々の前記非磁性領
域の間の位置ずれを補正すべく、それら磁気記録媒体の
各々について設けられた前記磁気ヘッドを前記データト
ラックに直交する方向に微動させる微動用アクチュエー
タを備えている請求項１６〜２０のいずれかに記載の磁
気記録装置。
【請求項２２】請求項１６に記載の磁気記録装置の製
法であって、光リソグラフィーおよびエッチング技術を用いて請求項
１〜１５のいずれかに記載の磁気記録媒体を作製する第
１工程と、前記磁気記録媒体を前記スピンドルおよび前記磁気ヘッ
ドと共に組み立てる第２工程と、前記データトラックのピッチよりも大きいトラック幅を
持つ書き込み用磁気ヘッドを用いて、前記磁気記録媒体
の磁性膜に磁界を印加し、前記サーボ情報領域に前記サ
ーボ情報を書き込む第３工程とを備えてなることを特徴
とする磁気記録装置の製法。
【請求項２３】前記サーボ情報を書き込む工程が、一
様磁界を印加して前記磁性膜の全面の情報を消去する工
程と、消去後の前記磁性膜から発生する磁束を利用して
前記非磁性領域の位置を検知しながら前記サーボ情報を
前記磁性膜に書き込む工程とを含んでいる請求項２２に
記載の製法。
【請求項２４】前記サーボ情報を書き込む工程が、前
記非磁性領域の位置を検知しながら前記サーボ情報を前
記磁性膜に書き込む工程を含み、前記磁性膜の全面の情
報を消去する工程を含んでいない請求項２２に記載の製
法。
【請求項２５】前記サーボ情報を書き込む工程が、前
記磁性膜にバースト状磁気信号を印加して行なわれる請
求項２２〜２４のいずれかに記載の製法。
【請求項２６】前記サーボ情報が、前記データトラッ
ク方向の前記非磁性領域の配置状況に同期して書き込ま
れる請求項２２〜２５のいずれかに記載の製法。