JPH08180350A

JPH08180350A - 磁気記録媒体とその製造方法及び磁気記録装置

Info

Publication number: JPH08180350A
Application number: JP32029894A
Authority: JP
Inventors: Kyo Akagi; 協赤城; Akito Sakamoto; 章人酒本; Fumio Kugiya; 文雄釘屋; Hiroshi Kaede; 弘志楓; Migaku Komoda; 琢薦田
Original assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Maxell Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Maxell Holdings Ltd
Priority date: 1994-12-22
Filing date: 1994-12-22
Publication date: 1996-07-12

Abstract

(57)【要約】【目的】高い精度でサーボ情報を書き込めるようにす
る。【構成】基板Ｓ上に形成された磁性膜Ｆのサーボ情報
領域１０に、ピット１４を情報記録再生用トラック幅方
向に間隔をおいて配置する。隣接するピット１４の間
に、サーボ情報を磁気的に記録した磁気信号領域１５を
ピット１４に到達するように形成し、磁気信号領域１５
の情報記録再生用トラック幅方向の両エッジがピット１
４によって形成されるようにする。磁気信号領域１５に
は１個又は数個の磁化反転１５ｂを記録する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体とその製
造方法及び磁気記録装置に関し、さらに詳細には、デー
タ面にサーボ情報が書き込まれた磁気記録媒体とその製
造方法及びその磁気記録媒体を用いた磁気記録装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】いわゆる「データ面サーボ」方式の磁気
ディスク装置は、磁気ヘッドを磁気ディスクの所望デー
タトラックに追従させるためのサーボ情報を磁気ディス
クのデータ面に書き込んだものである。この方式に用い
る磁気ディスクには、そのデータ面に、サーボ情報を記
録する複数のサーボセクタとデータを記録する複数のデ
ータセクタとが交互に配置されている（例えば、特公昭
５５−２０３０２号公報参照）。

【０００３】従来この種の磁気ディスク装置では、磁気
ディスクへのサーボ情報の記録すなわち「物理フォーマ
ット」は、磁気ディスク、スピンドル、磁気ヘッド等の
各構成要素を組み立てた後にサーボ・トラック・ライタ
（ＳＴＷ）を用いて行われる。すなわち、磁気ディスク
を固定したスピンドルを回転させ、その状態で外部より
位置を計測しながら磁気ディスクのデータ面に、書き込
み用磁気ヘッドでサーボ情報を書き込む。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記従来のフォーマッ
ト方法では、サーボ情報の書き込み作業が比較的容易で
ある反面、サーボ情報の書き込み精度が磁気ディスク自
体の持つ機械的精度及び特性に依存するため、書き込み
精度に限界があるという問題がある。この問題を図１４
を用いて説明する。

【０００５】図１４は、磁気ディスクのあるデータトラ
ックに属する２つのサーボセクタ間に生じるトラック中
心線（目標位置）のずれを模式的に示している。図１４
において、ｋ番サーボセクタのトラック中心線１５１の
位置は、その中心線１５１の両側に千鳥状に配置された
一対の磁気信号領域（磁化反転を約１０個乃至数十個個
連続記録したいわゆるバーストパターン）１４１ａによ
り規定される。同様に、（ｋ＋ｘ）番サーボセクタのト
ラック中心線１５２の位置は、その中心線１５２の両側
に千鳥状に配置された一対の磁気信号領域１４１ｂによ
り規定される。データ記録／再生用の磁気ヘッドは、一
対の磁気信号領域１４１ａ又は１４１ｂに記録されたサ
ーボ情報（トラック追従情報）を読み出して中心線１５
１又は１５２上に位置決めされ、中心線１５１又は１５
２に追従する。

【０００６】図１４に示すように、ｋ番セクタのトラッ
ク中心線１５１と（ｋ＋ｘ）番セクタのトラック中心線
１５２との間には、偏差ｅが生じている。従って、ｋ番
セクタのサーボ情報により位置決めされる場合と（ｋ＋
ｘ）番セクタのサーボ情報により位置決めされる場合と
で、磁気ヘッドの目標位置にずれが生じる。前記偏差ｅ
は、磁気信号領域１４１ａ及び１４１ｂを書き込む際
に、磁気ディスクの回転機構や磁気ヘッドの移動機構の
微少振動あるいは偏心などにより生じるものである。こ
のため、前記の物理フォーマット方法を採用する限り、
サーボ情報の書き込み精度をその磁気ディスク装置の機
械的精度以上に向上することはできない。

【０００７】目標位置の変動は、磁気記録の特性や誤差
などによっても生じる。例えば、磁気ヘッドによって磁
性膜に形成される磁気信号領域１４１ａ及び１４１ｂの
エッジ１４２ａ及び１４２ｂは、磁性膜内の粒界構造な
どに起因して必ずしも直線的にはならず、多少なりとも
凹凸が存在する。このため、前述のように、エッジ１４
２ａ及び１４２ｂを検知して磁気ヘッドが追従する場
合、その追従は不正確となりやすい。

【０００８】さらに何らかの原因で磁気信号領域１４１
ａ又は１４１ｂのエッジ１４２ａ及び１４２ｂに、図１
４のような磁気信号領域の突出部１４３が形成されるこ
ともある。この場合、この突出部１４３によっても目標
位置が変動し、磁気ヘッドの追従が不正確となる。以上
のように、従来の磁気ディスク装置では、サーボ情報の
書き込み精度を向上させることが困難であるという問題
がある。また、サーボ情報をバーストパターンで書き込
んでいるため、それに見合った領域が必要となり、全体
としてデータ領域が圧迫され、データ効率が劣化すると
いう問題がある。

【０００９】本発明の目的は、高い精度でサーボ情報を
書き込むことができる磁気記録媒体及びその製造方法を
提供することにある。本発明の他の目的は、サーボ情報
によるデータ領域の圧迫を極力回避した磁気記録媒体を
提供することにある。また、本発明の他の目的は、磁気
ヘッドの追従精度が従来より良好な磁気記録装置を提供
することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明においては、基板
上に形成された磁性膜を備え、磁性膜には複数の情報記
録再生用トラックが設定され、前記トラックはサーボ情
報が記録されたサーボ情報領域とデータが磁気的に記録
されるデータ領域とに領域分離されている磁気記録媒体
において、サーボ情報を記録する磁気信号領域のエッジ
を凹所や非磁性領域によって形成することにより前記目
的を達成する。

【００１１】具体的には、サーボ情報領域は、トラック
方向に平行な２つのエッジが凹所によって形成された複
数の磁気信号領域を含み、前記複数の磁気信号領域には
１個又は数個の磁化反転が前記２つのエッジに到るよう
に記録されていることを特徴とする。凹所の底部には磁
性膜が形成されていてもよいし、形成されていなくても
よい。エッジは、凹所の代わりに磁性膜にＳｉ，Ｂ，
Ｃ，Ｐ又はＧｅを拡散させた非磁性領域によって形成し
てもよい。

【００１２】サーボ情報領域の磁気信号領域の列がトラ
ック方向に複数列配置され、トラックの各々について、
前記列にそれぞれ属する複数の磁気信号領域がトラック
方向に千鳥状に配置されていてもよい。また、複数の磁
気信号領域に記録された磁化反転をサーボ情報として、
トラックの各々について位相が異なる位置誤差信号を生
成可能とすることができる。サーボ情報領域は、ｎ（ｎ
は正の整数）相のサーボ情報を記録可能であり、サーボ
セクタの各々について、ｍ（ｍは正の整数で、ｍ≦ｎ）
相分のサーボ情報を生成するように、複数の磁気信号領
域及び磁化反転が設けられていてもよい。

【００１３】磁気信号領域及び磁化反転は、磁気ヘッド
の位置誤差を示す位置誤差信号を前記トラックの各々に
ついて複数個生成するように形成されていてもよい。磁
気信号領域はトラック方向に交差する方向の少なくとも
一部にもエッジを有することができ、トラック方向に直
交する方向に隣接する磁気信号領域の間隔はトラックの
ピッチよりも大きくてもよい。

【００１４】サーボ情報領域は通常、同期情報が記録さ
れる同期用情報領域と、アドレスを示す情報が記録され
るアドレス用情報領域と、シーク動作のための符号が記
録されるシーク領域と、磁気ヘッドの前記情報記録再生
用トラックへの追従を制御する情報が記録される追従制
御用情報領域とを含んでおり、前記磁気信号領域に磁気
的に記録される情報を追従用制御情報とするのが好まし
い。

【００１５】また、同期情報、アドレス用情報及びシー
ク情報の少なくとも１つを、磁性膜に形成された凹所又
は非磁性領域によって記録すると、それらの情報を磁気
的に書き込むことが不要となる。トラックのピッチは
３．５μｍ以下とするのが好ましい。前記磁気記録媒体
は、基板上にフォトレジストを塗布し、所定のパターン
で露光、現像後、エッチングして、サーボ情報領域の追
従制御用情報領域に形成されるべき複数の磁気信号領域
のトラック方向に平行なエッジを定める凹所を含む凹所
を形成する第１の工程と、前記凹所が形成された基板に
磁性膜を含む膜を積層する第２の工程と、磁気記録媒体
のトラックピッチよりも幅の大きな書き込み用磁気ヘッ
ドを用いて前記磁性膜に磁界を印加し、サーボ情報領域
にサーボ情報を書き込む第３の工程とを含むことができ
る。

【００１６】基板表面の凹凸パターンは光リソグラフィ
工程の代わりに、スタンパを用いて形成してもよい。ま
た、凹凸パターンを形成する工程と、磁性膜を含む膜を
塗布する工程は順序を逆にしてもよい。サーボ情報の書
き込みは、一様磁界を印加して磁性膜の全面を一方向磁
化した後、磁性膜から発生する磁束を利用して凹所又は
非磁性領域の位置を検出しながら、その配置状況に同期
して磁化反転を書き込むことにより行うことができる。
あるいは、磁性膜の全面を一方向磁化することなく、磁
化反転を複数個連続して書き込むことによって行うこと
ができる。

【００１７】本発明による磁気記録装置は、前記磁気記
録媒体を組み込んだものであり、磁気記録媒体のサーボ
領域から発生される磁束を検知して、同期情報、アドレ
ス用情報及びシーク情報を読みとり、また、サーボ領域
の磁気信号領域に記録された磁化反転を検知して磁気ヘ
ッドの位置決め動作を行うものである。磁気ヘッドの位
置決め動作を行う手段は、磁気信号領域に記録された磁
化反転を検出した信号を全波整流する手段と、全波整流
した信号を積分する手段と、積分された信号を保持する
第１及び第２のサンプルホールド手段と、第１及び第２
のサンプルホールド手段へのサンプルホールドのタイミ
ングを決定する手段と、第１及び第２のサンプルホール
ド手段に保持された信号の差を出力する差動回路と、差
動回路の出力を誤差信号として前記磁気ヘッドを駆動す
る手段とを含むことができる。

【００１８】

【作用】本発明の磁気記録媒体では、サーボ情報が磁気
的に記録される領域のトラック幅を規定するエッジが凹
部又は非磁性領域によって形成されるので、凹部又は非
磁性領域を所望形状に形成すればエッジをサーボ情報の
読み出しに適した形状にすることができ、またエッジに
磁気的な凹凸が生じることもない。従って、前記エッジ
を用いてサーボ情報を読みとって、選択された情報記録
再生用トラック上にデータ記録／再生用の磁気ヘッドを
位置決めするようにすれば、その位置決め及び追従の精
度が向上する。

【００１９】前記凹部は、例えば、高精度にパターンを
形成したマスクもしくはスタンパを用いて基板又は磁性
膜に転写することにより、極めて高精度に形成すること
ができる。非磁性領域も、フォトリソグラフィやエッチ
ング技術を用いて磁性膜中にＳｉ，Ｂ，Ｃ，Ｐ又はＧｅ
を拡散させることにより高精度に形成することができ
る。その結果、磁気記録装置の機械的精度や特性に依存
することなく、極めて高い精度でサーボ情報を書き込む
ことが可能となる。

【００２０】本発明の磁気記録装置は、極めて高い精度
でサーボ情報が書き込まれた磁気記録媒体を備えている
ので、所望情報記録再生用トラック上への磁気ヘッドの
位置決め精度が向上し、その結果、トラック追従精度を
従来よりも大幅に向上させることができる。本発明の磁
気記録媒体の製造方法では、光リソグラフィやエッチン
グ技術を用いて磁気記録媒体を作製した後、情報記録再
生用トラックのピッチよりも大きいトラック幅を持つ書
き込み用磁気ヘッドを用いてサーボ情報を書き込むの
で、サーボ情報が高精度に記録された磁気記録媒体を容
易に製造することができる。

【００２１】

【実施例】以下、添付図面に基づいて本発明の実施例を
説明する。〔磁気記録媒体の第１実施例〕図１、２及び８は、本発
明の磁気記録媒体の第１実施例を示す。図８に示すよう
に、本実施例による磁気ディスク１のデータ記録用の磁
性膜のデータ面には、同心円状に複数の情報記録再生用
トラックが形成されている。データ面は、等間隔に形成
された複数のデータセクタ２に分割されており、各デー
タセクタ２に隣接してサーボセクタ３が形成されてい
る。すなわち、データ面には、情報記録再生用トラック
に沿ってデータセクタ２とサーボセクタ３とが交互に配
置されている。各サーボセクタ３には、情報記録再生用
トラック毎にサーボ情報領域１０が形成されている。

【００２２】図８では、説明を簡単にするため、ｎ番情
報記録再生用トラック４と（ｎ＋ｘ）番情報記録再生用
トラック５のみが描かれ、他の情報記録再生用トラック
は省略されている。ｎ番トラック４の各データセクタ２
に関するサーボ情報は、それらデータセクタ２に隣接す
るｎ番トラック４の各サーボ情報領域１０に書き込まれ
ている。（ｎ＋ｘ）番情報記録再生用トラック５につい
ても同様である。

【００２３】サーボ情報領域１０に２相あるいはそれ以
上の多相のサーボ情報が記録される場合は、情報記録再
生用トラックの各々に属するすべてのサーボセクタ３に
サーボ情報領域１０のすべてのサーボ情報を設けなくて
もよい。例えば、２相サーボ方式において、ｎ番トラッ
ク４についてはそのトラック４に沿う複数のサーボセク
タ３に交互にＡ相と、これと位相が９０゜ずれたＢ相の
サーボ情報を設けてもよい。３相サーボ方式において
は、トラック４に沿う複数のサーボセクタ３の３個毎に
位相が６０゜ずつずれたＡ相、Ｂ相、Ｃ相のサーボ情報
を設けてもよい。その他の多相サーボ方式の場合も同様
である。

【００２４】図１（ａ）は図８のサーボセクタ３のサー
ボ情報領域１０の全体構成を示し、図１（ｂ）〜（ｅ）
は図１（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面の例を示す。ここ
で、図１（ａ）における斜線部分は、ディスク表面より
も窪んでいる。図１（ａ）に示すように、サーボ情報領
域１０は、同期用情報が記録される同期用情報領域１１
と、そのセクタのアドレスを示す情報や、ヘッドシーク
のための情報が記録されているアドレス及びシーク情報
領域１２と、データ記録／再生用磁気ヘッドの情報記録
再生用トラックへの位置決め及び追従を制御する情報が
記録される追従制御用情報領域１３とから構成されてい
る。１６は、当該サーボ情報領域１０に隣接するデータ
領域２０の情報記録再生用トラックの中心線を示す。

【００２５】本実施例では、追従制御用情報は、情報記
録再生用トラック幅方向（換言すれば、情報記録再生用
トラックに直交する方向）に等間隔で磁性膜Ｆに形成さ
れた複数の矩形のピット１４と、隣接するピット１４の
間で磁性膜Ｆに形成された磁気信号領域１５とにより記
録されている。磁気信号領域１５には、磁化の向き１５
ａが互いにトラック方向に逆向きの磁化反転１５ｂが１
ヶ所記録されている。ここでは、ピット１４と磁気信号
領域１５の列は情報記録再生用トラック幅方向に２列配
置されており、第１列１３ａの各ピット１４は第２列１
３ｂの各ピット１４に対して情報記録再生用トラック幅
方向にずれている。

【００２６】各ピット１４は、図１（ｂ）に示すような
矩形断面、あるいは図１（ｃ）に示すような台形断面を
持つ。すなわち、この磁気ディスクは、基板Ｓとその上
に形成された磁性膜Ｆとを備えて構成され、各ピット１
４が形成されている箇所では基板Ｓのみが選択的に除去
され、磁性膜Ｆがその上に形成されている。もしくは各
ピット１４は、図１（ｄ）に示すような矩形断面、又は
図１（ｅ）に示すような台形断面を持つ。この場合に
は、磁気ディスクは、基板Ｓとその上に形成された磁性
膜Ｆとを備えて構成され、各ピット１４が形成されてい
る箇所では基板Ｓ及び磁性膜Ｆが選択的に除去されてい
る。あるいは、基板Ｓに凹凸をつけ、その凸部のみに磁
性膜Ｆが形成されている。

【００２７】図２に詳細に示すように、第１列１３ａ及
び第２列１３ｂの各ピット１４の幅（情報記録再生用ト
ラック幅方向の長さ）はいずれもＰｗであり、情報記録
再生用トラックのピッチはＴｐである。ここでは、トラ
ックピッチＴｐはピット幅Ｐｗに等しい。第１列１３ａ
のピット１４及び磁気信号領域１５は、第２列１３ｂの
ピット１４及び磁気信号領域１５に対して、情報記録再
生用トラック幅方向（図の上下方向）にトラックピッチ
Ｔｐすなわちピット幅Ｐｗだけずれて配置されている。
従って、第１列１３ａの各磁気信号領域１５は、第２列
１３ｂの隣接する２つの磁気信号領域１５の間に位置し
ている。

【００２８】同期用情報は、図１（ａ）に示すように、
情報記録再生用トラック幅方向に延びる溝１７により記
録されている。アドレス及びシーク情報等は、情報記録
再生用トラック幅方向に延びるいくつかの溝１８により
記録されている。これらの溝１７及び１８を形成せず
に、磁性膜Ｆに磁気信号を記録して溝１７及び１８と同
様のパターンの磁気信号領域を形成してもよい。

【００２９】磁気ヘッドの追従制御用情報は、各情報記
録再生用トラックの中心線１６に対して千鳥状に配置さ
れた、第１列１３ａの一つの磁気信号領域１５と第２列
１３ｂの一つの磁気信号領域１５との組が提供する。す
なわち、図２に示すように、第１列１３ａの磁気信号領
域１５の下側エッジ１５ｃと第２列１３ｂの磁気信号領
域１５の上側エッジ１５ｃが組になって、あるいは第１
列１３ａの磁気信号領域の上側エッジと第２列１３ｂの
磁気信号領域の下側エッジが組になって、情報記録再生
用トラックのトラック中心線１６の位置を規定する。デ
ータ記録／再生用の磁気ヘッドは、これら両エッジ１５
ｃを基準として当該情報記録再生用トラック上に位置決
めされ、当該情報記録再生用トラックに追従する。

【００３０】本実施例では、磁気ヘッド２１の位置誤差
信号は図２に示す波形１９を持つ。図２よりわかるよう
に、磁気ヘッド２１が情報記録再生用トラック中心線１
６上に正確に位置していれば、位置誤差信号は０を示
し、磁気ヘッド２１が情報記録再生用トラック幅方向
（図の上方又は下方）にずれると、それに伴って位置誤
差信号は（＋）又は（−）の方向に変化する。よって、
位置誤差信号が常に０になるようにフィードバック制御
すれば、磁気ヘッド２１を情報記録再生用トラック中心
線１６上に正確に位置決めして追従させることができ
る。

【００３１】この磁気ディスクでは、後述のように、２
つの列１３ａ及び１３ｂに属するピット１４が光リソグ
ラフィ及びエッチング技術により形成されるので、ピッ
ト１４と同様のパターンを磁気記録で形成する従来の精
度に比べて、ピット１４の形状ならびに配置の精度は極
めて高い。各磁気信号領域１５の上下両エッジ１５ｃ
は、ピット１４の上又は下のエッジ１４ａによって形成
されるため、極めて正確にトラック中心線１６に平行な
直線状になっており、しかも従来のような磁性膜Ｆの磁
化の不規則性に起因する凹凸や磁化領域の突出部が存在
するおそれもない。このため、磁気ヘッドは情報記録再
生用トラック中心線１６に、より正確に位置決めするこ
とが可能となる。

【００３２】この点を実験により確認した結果、位置誤
差信号に含まれる、信号書き込みの際の機械的特性に起
因する数十Ｈｚ〜十数ｋＨｚの成分の振れが、従来の場
合に比べて小さくなっていた。ピット１４の上下両エッ
ジ１４ａの形状は、磁気信号領域１５を区画するため、
正確に直線状であることが必要であるが、ピット１４の
左右両エッジ１４ｂの形状は任意である。

【００３３】〔磁気記録媒体の第２実施例〕図３は、本
発明の磁気記録媒体の第２実施例を示す。図１（ａ）に
示した凹部と凸部とは、構造的に凹凸形状が逆でもよ
い。すなわち図３に示すように、サーボ情報領域３０
は、同期用情報が記録される同期用情報領域３１と、そ
のセクタのアドレスを示す情報や、ヘッドシークのため
の情報が記録されているアドレス及びシーク情報領域３
２と、データ記録／再生用磁気ヘッドの情報記録再生用
トラックへの位置決め及び追従を制御する情報が記録さ
れる追従制御用情報領域３３とから構成されている。図
３における斜線表示部分は、ディスク表面よりも窪んで
いることを示す。

【００３４】本実施例では、追従制御用情報は、情報記
録再生用トラック幅方向に等間隔で磁性膜Ｆに形成され
た凹部３４に挟まれた、複数の矩形の磁気信号領域３５
に記録されている。磁気信号領域３５には、磁化の向き
３５ａが互いにトラック方向に逆向きの磁化反転３５ｂ
が１ヶ所記録されている。３６は、当該サーボ情報領域
３０に隣接するデータ領域２０の情報記録再生用トラッ
クの中心線を示す。前記同期情報領域３１は、溝３７に
より、前記アドレス及びシーク情報領域３２は、パター
ン３８によりそれぞれ形成される。図１（ａ）と図３と
は、ディスク表面の凹凸構造は異なるが、各情報の信号
品質や、読みとり方法は同じであるので、説明の詳細は
省略する。

【００３５】〔磁気記録媒体の第３実施例〕図４は、本
発明の磁気記録媒体の第３実施例を示す。本実施例によ
る磁気ディスクの追従制御用情報領域は、第１実施例の
情報記録再生用トラックを規定するための第１列と第２
列のピット１４同士の一部を互いに連結したものに相当
する。

【００３６】図４に示すように、サーボ情報領域４０
は、同期用情報が記録される同期用情報領域４１と、そ
のセクタのアドレスを示す情報やヘッドシークのための
情報が記録されているアドレス及びシーク情報領域４２
と、データ記録／再生用磁気ヘッドの情報記録再生用ト
ラックへの位置決め及び追従を制御する情報が記録され
る追従制御用情報領域４３とから構成されている。

【００３７】本実施例では、追従制御用情報は、情報記
録再生用トラック幅方向に等間隔で磁性膜Ｆに形成され
たピット４４と、隣接するピット４４の間で磁性膜Ｆに
形成された磁気信号領域４５とにより記録されている。
磁気信号領域４５には、磁化の向き４５ａが互いにトラ
ック方向に逆向きの磁化反転４５ｂが１ヶ所記録されて
いる。４６は、当該サーボ情報領域４０に隣接するデー
タ領域２０の情報記録再生用トラックの中心線を示す。
図１（ａ）と図４とは、構造は異なるが、各情報の信号
品質や、読みとり方法は同じである。本実施例の磁気記
録媒体は、前記実施例と凹凸の構造が異なっているが、
その動作や特性は前記第１実施例と同じであるので、説
明の詳細は省略する。

【００３８】〔磁気記録媒体の第４実施例〕図５は、本
発明の磁気記録媒体の第４実施例を示す。図５に示すよ
うに、サーボ情報領域５０は、同期用情報が記録される
同期用情報領域５１と、そのセクタのアドレスを示す情
報やヘッドシークのための情報が記録されているアドレ
ス及びシーク情報領域５２と、データ記録／再生用磁気
ヘッドの情報記録再生用トラックへの位置決め及び追従
を制御する情報が記録される追従制御用情報領域５３と
から構成されている。５６は、当該サーボ情報領域５０
に隣接するデータ領域２０の情報記録再生用トラックの
中心線を示す。

【００３９】本実施例では、追従制御用情報は、磁性膜
Ｆの情報記録再生用トラック幅方向に形成された段差の
ついた溝（トラック方向の長さが２段階になった溝）５
４と、隣接する溝５４の間で磁性膜Ｆに形成された磁気
信号領域５５とにより記録されている。磁気信号領域５
５には、磁化の向き５５ａが互いにトラック方向に逆向
きの磁化反転５５ｂが１ヶ所記録されている。ここで
は、段差溝５４の列は情報記録再生用トラック幅方向に
２列配置されており、段差溝５４の情報記録再生用トラ
ック方向に沿ったエッジ５４ａと５４ｂとによって、第
１実施例〜第３実施例に示したのと同様の方法により、
情報記録再生用トラックに位置決めし、追従動作を行
う。図１（ａ）と図５とは、構造は異なるが、各情報の
信号品質や、読みとり方法は同じである。本実施例の磁
気記録媒体は、前記実施例と凹凸の構造が異なっている
が、その動作や特性は前記第１実施例と同じであるの
で、説明の詳細は省略する。

【００４０】〔磁気記録媒体の第５実施例〕第１実施例
〜第４実施例は、千鳥配置パターンを基本としたいわゆ
る１相ダイビットパターンの例である。信号を取得した
後は、基本的には従来よく知られた方式にて位置決め動
作が可能である。また、従来の２相サーボ方式等の方式
の採用も可能である。ここでは、前記第３実施例にて説
明したパターンの応用として、２相サーボ方式の実施例
を説明する。

【００４１】図６（ａ）は、本発明の磁気記録媒体の第
５実施例を示す。本実施例の磁気ディスクでは、追従制
御用情報領域６３に、情報記録再生用トラック幅の１／
２ずつの段差のついた段差溝６４が、情報記録再生用ト
ラック方向に形成されている。これらの溝幅Ｐｗはトラ
ックピッチＴｐとほぼ同じである。本実施例では、追従
制御用情報は、情報記録再生用トラック幅方向に磁性膜
Ｆに形成された段差のついた溝６４と、隣接する溝６４
の間で磁性膜Ｆに形成された磁気信号領域６５とにより
記録されている。磁気信号領域６５には、磁化の向き６
５ａが互いにトラック方向に逆向きの磁化反転６５ｂが
１ヶ所記録されている。ここでは、段差溝６４の列は情
報記録再生用トラック幅方向に４列配置されており、段
差溝６４の情報記録再生用トラック方向に沿ったエッジ
６４ａと６４ｂとによって、第１実施例〜第４実施例に
示したのと同様の方法により、情報記録再生用トラック
に位置決めし、追従動作を行う。

【００４２】図６（ａ）のｎ１番情報記録再生用トラッ
クの中心線６６の位置は、第１列６３ａの磁気信号領域
６５の下側エッジ６４ａと第３列６３ｃの磁気信号領域
６５の上側エッジ６４ａによって規定される。ｎ２番及
びｎ３番情報記録再生用トラックの中心線６６の位置に
ついても同様である。従って、磁気ヘッドをｎ１番トラ
ック上に位置決めしたい場合には、第１列６３ａと第３
列６３ｃの段差溝６４と磁気信号領域６５の組み合わせ
を使用すればよい。ｎ２番、ｎ３番の各情報記録再生用
トラック上に位置決めしたい場合には、同様に、適当な
２つの列の段差溝６４と磁気信号領域６５の組み合わせ
を使用すればよい。

【００４３】一方、各トラック中心線６６間の、さらに
中心線（図示せず）を規定することができる。すなわ
ち、図６（ａ）のｎ１番情報記録再生用トラックとｎ２
番情報記録再生用トラックとの間の中心線（図示せず）
の位置は、第２列６３ｂの磁気信号領域６５の下側エッ
ジ６４ｂと第４列６３ｄの磁気信号領域６５の上側エッ
ジ６４ａによって規定される。ｎ２番トラックとｎ３番
情報記録再生用トラックの中心線（図示せず）の位置に
ついても同様である。

【００４４】上記トラック中心線等の規定は、トラック
ピッチＴｐにほぼ等しいトラック幅の磁気ヘッドにて上
記磁気信号領域の磁気信号を再生した場合、各組み合わ
せどうしの差をとることにより得られるから、この例で
は、６７ａ及び６７ｂと２種類の位置誤差信号波形が得
られることになる。本発明の磁気記録媒体では、情報記
録再生用トラック幅方向に並列された溝と磁気信号領域
からなる列を適当数、情報記録再生用トラック方向に配
置することにより、トラックピッチＴｐを溝幅Ｐｗより
小さく設定することが可能である。従って、トラックピ
ッチＴｐを溝の段差の形成精度の限界より小さくして
も、磁気ヘッドを正確に位置決め及び追従させることが
できるという利点がある。図６（ｂ）にその一例を示
す。但し、図６（ｂ）には、上記追従制御用情報領域の
みを図示してある。

【００４５】図６（ｂ）において、追従制御用情報領域
６０３に、情報記録再生用トラックピッチＴｐの１／２
ずつの段差のついた溝幅Ｐｗの段差溝６０４が、情報記
録再生用トラック方向に形成されている。これらの溝幅
ＰｗはトラックピッチＴｐの約２倍である。図６（ｂ）
のｎ１番情報記録再生用トラックの中心線６０６の位置
は、第１列６０３ａの磁気信号領域６０５の上側エッジ
６０５ａと第５列６０３ｅの磁気信号領域６０５の下側
エッジ６０５ａによって規定される。ｎ２番情報記録再
生用トラックの中心線６０６の位置は、第１列６０３ａ
の磁気信号領域６０５の上側エッジ６０５ｂと第３列６
０３ｃの磁気信号領域６０５の上側エッジ６０５ｂによ
って規定される。ｎ３番情報記録再生用トラックの中心
線６０６の位置は、第３列６０３ｃの磁気信号領域６０
５の下側エッジ６０５ｃと第５列６０３ｅの磁気信号領
域６０５の上側エッジ６０５ｃによって規定される。

【００４６】従って、磁気ヘッドをｎ１番トラック上に
位置決めしたい場合は、第１列６０３ａの磁気信号領域
６０５の上側エッジと第５列６０３ｅの磁気信号領域６
０５の下側エッジの組み合わせを使用すればよい。ま
た、ｎ２番トラック上に位置決めしたい場合は、第３列
６０３ｃの磁気信号領域６０５の上側エッジと第１列６
０３ａの磁気信号領域の６０５の下側エッジの組み合わ
せを使用すればよい。さらに、ｎ３番トラック上に位置
決めしたい場合は、第５列６０３ｅの磁気信号領域６０
５の上側エッジと第３列６０３ｃの磁気信号領域６０５
の下側エッジの組み合わせを使用すればよい。上記トラ
ック中心線等の規定は、トラックピッチＴｐにほぼ等し
いトラック幅の磁気ヘッドにて上記磁気信号領域の磁気
信号を再生した場合、各組み合わせどうしの差をとるこ
とにより得られるから、この例では、６０７ａ，６０７
ｂ及び６０７ｃと３種類の位置誤差信号波形が得られる
ことになる。

【００４７】〔磁気記録媒体の第６実施例〕ピットある
いは凹所の代わりに非磁性領域によって、サーボ情報領
域の磁気信号領域のエッジを形成した。本実施例による
サーボ情報領域の部分断面を図７に示す。基板として表
面にＮｉＰメッキされたＡｌ合金基板７１を用い、その
上にＣｒ下地膜７２を膜厚約５０ｎｍで全面被着し、さ
らにその上にＳｉ膜を膜厚約２０ｎｍに成膜した。次い
で、Ｓｉ膜をフレオン系の反応性イオンエッチング法で
パターニングし、図１（ａ）の領域１４に相当する個所
にのみＳｉ膜を残した。この上にＣｏＣｒＴａ磁性膜７
３を膜厚４０ｎｍに、カーボン保護膜７４を膜厚約１０
ｎｍに順次成膜した後、石英管中にて４００℃で１時間
熱処理した。この熱処理によってＳｉ元素が磁性膜中に
熱拡散した。

【００４８】磁気記録媒体と同時に作製したテストピー
スを用い、Ｓｉ元素を拡散させた領域７５と拡散させな
い領域の磁性膜の残留磁束密度Ｂｒと膜厚の積（Ｂｒ・
δ）を振動型試料磁化測定装置（ＶＳＭ）で測定したと
ころ、Ｓｉ元素を拡散させていない磁性膜の領域では設
定値の９０Ｇ・μｍであり、Ｓｉ元素を拡散させた磁性
膜の領域では０であった。

【００４９】本実施例においても、光リソグラフィ及び
エッチング技術により形成される寸法精度の極めて高い
非磁性領域によって磁気信号領域のトラック方向に平行
な２つのエッジが形成されるので、磁気ヘッドの正確な
位置決めが可能となる。第１実施例と同様にして非磁性
領域で挟まれた磁気信号領域に磁化反転を１ヶ所記録し
て追従制御用サーボ情報としたところ、位置誤差信号に
含まれる、信号書き込みの際の機械的特性に起因する数
十Ｈｚ〜十数ｋＨｚの成分の振れが、従来の場合に比べ
て小さくなっており、前記第１実施例と同様の効果が得
られた。

【００５０】Ｓｉの代わりに、Ｂ，Ｃ，Ｐ，Ｇｅを磁性
膜中に拡散して非磁性領域を形成しても同様の結果が得
られた。非磁性領域は、図１のパターン以外に図３〜図
６と同様のパターンとすることもできる。また、同期用
情報領域、アドレス及びシーク情報領域の溝を同様に非
磁性領域で形成してサーボ情報を得ることもできる。上
記第１〜第６実施例のように、本発明の磁気記録媒体は
サーボ情報領域の追従制御用情報領域に１個ないし数個
の磁化反転を記録するものである。

【００５１】〔磁気記録装置の実施例〕図９は、本発明
による磁気記録装置の実施例を示す。図９（ａ）には、
本発明の磁気記録装置の情報記録再生系及び位置決め系
の概略を示す。インタフェース９１を介して、外部より
電源が投入され、電源コントローラ９２によりスピンド
ルモータ及び各回路が駆動される。さらにインタフェー
ス９１を介して、種々の制御信号や、データ等のアドレ
スがコントローラ９３に送られ、ヘッド位置決めや、記
録／再生の制御を行う。ここで位置決めは、磁気記録媒
体から取得された位置情報や速度情報をもとに、位置決
め回路部９４において、サーボ信号をヘッドアクチュエ
ータに与えることにより行う。ヘッドが所定のトラック
に位置決めされた後、インタフェース９１を介して、記
録／再生回路部９５において、磁気データ情報が記録／
再生される。

【００５２】ここで、磁気記録媒体からの位置情報は、
次のように処理される。図９（ｂ）は、前記追従制御用
情報領域より得られた情報を、前記位置誤差信号に変換
する回路のブロック図である。磁気ヘッド９６にて取得
した前記追従制御用情報は、アンプ９７により増幅さ
れ、全波整流回路９８により全波整流される。全波整流
された信号は、積分回路９９により積分され、位相検出
回路１００に送られて、タイミング発生回路１０１によ
りゲート信号が生成される。一方、積分された信号は、
一対の追従制御用信号のそれぞれに対してサンプルホー
ルド回路１０２によりサンプルホールドされ、それぞれ
のホールド信号の差を差動回路１０３においてとること
により、前記位置誤差信号が得られる。

【００５３】〔磁気記録媒体の製造方法の第１実施例〕
図１０及び図１１は、本発明の磁気記録媒体及び磁気記
録装置の製造方法の第１実施例を示す。図１０に示すよ
うに、まず、フォトレジストを塗布した基材にレーザ光
又は電子ビーム等を照射し、図１〜図７のパターンが得
られるようにパターン形成（カッティング）を行った
後、この基材を現像及びエッチングする。こうして、前
記基材により、所定のパターンを持つマスク又はスタン
パを作製する（ステップＳ１）。

【００５４】次に、ガラスやＳｉ等の磁気記録媒体用基
板の上にフォトレジストを塗布した後、前記マスクを使
用して露光する。これを現像した後、通常の方法で前記
磁気記録媒体用基板をエッチングすると、磁気記録媒体
用基板に前記ピットパターンが転写された磁気ディスク
が得られる（ステップＳ２）。その後、磁気記録媒体用
基板からフォトレジストを除去する。なお、ステップＳ
１でスタンパを作製し、ステップＳ２でそのスタンパを
使用する場合には、光ディスクのように、ピット形状の
凹凸を基板に型どりすることで、磁気記録媒体基板にピ
ットパターンを形成することができる。

【００５５】次に、前記磁気記録媒体用基板上に磁性膜
Ｆを形成して、磁気記録媒体が得られる（ステップＳ
３）。ここでは、ステップＳ１〜Ｓ３で磁気記録媒体用
基板にピットパターンを転写した後、磁性膜を形成して
いるが、磁気記録媒体用基板上に磁性膜を形成した後、
磁性膜上にピットパターンを転写してもよい。ステップ
３で作製された磁気記録媒体は、例えば磁気ディスク装
置などの装置に組み込まれる（ステップＳ４）。

【００５６】次に、磁気ディスク装置の外部より、サー
ボ情報書き込み用磁気ヘッドにより、前記磁性膜Ｆの全
面を直流磁界により一方向に磁化する（ステップＳ
５）。その後、磁気ディスク装置のデータ記録／再生用
磁気ヘッドを用いて、同期用情報領域のピットを基準と
して、前記磁気信号領域に、１個ないし複数個の磁化反
転を書き込む。こうして、サーボ情報の書き込みが終了
する（ステップＳ６）。

【００５７】以上の工程を図１１を用いて詳細に説明す
ると、次の通りである。ここでは、前述した第１実施例
の磁気ディスク（図１及び図２のピットパターンを持
つ）を使用した場合について述べる。ステップＳ３で、
図１及び図２のピットパターンを転写された磁性膜の各
サーボ情報領域１０は、図１１（ａ）のようになってい
る。すなわち、同期用情報領域１１には同期用情報を記
録する溝１７が、アドレス用情報領域１２にはアドレス
用情報を記録する溝１８が、追従制御用情報領域１３に
は、ピット１４がそれぞれ形成されている。

【００５８】ステップＳ４で、スピンドルに磁気ヘッド
などと共に組み立てられた磁気記録媒体は、情報記録再
生用トラックのピッチよりも幅の広いトラック幅を持つ
サーボ情報書き込み用の磁気ヘッド１１０により、その
磁性膜が全面にわたって一方向に（情報記録再生用トラ
ック方向に）直流磁化される。このステップにより、磁
性膜は一様に磁化されるので、このときのトラック方向
の磁化状態は図１１（ｂ）のようになっている。図１１
（ｂ）において、１１１は磁性膜Ｆから生じた磁束を示
す。

【００５９】磁束１１１を検知することにより、書き込
み用の磁気ヘッド１１０で同期用情報領域１１の溝１７
のエッジ部を認識することができる。そこで、この位置
Ａを基準として距離Ｌ１１だけ離れた位置と、そこから
さらに距離Ｌ１２だけ離れた位置とに追従制御用情報領
域１３のピット１４が存在することがわかっているの
で、位置Ａから距離Ｌ１１及び距離Ｌ１２だけ離れた箇
所に、それぞれ磁化反転を所定パターンで磁気的に書き
込む。こうして、追従制御用情報領域１３の各ピット１
４間に、図１及び図２に示すパターンを持つ磁気信号領
域１５が形成される。磁性膜Ｆにあらかじめ溝１７及び
１８が形成されていないで、同期用情報あるいはアドレ
ス情報が磁気的に記録される場合は、磁気信号領域１５
と同時にそれらの情報も記録される。

【００６０】〔磁気記録媒体の製造方法の第２実施例〕
図１２及び図１３は、本発明の磁気記録媒体及び磁気記
録装置の製造方法の第２実施例を示す。図１２に示すよ
うに、所定のピットパターンを持つピット形成用マスク
（又はスタンパ）を作製する工程（ステップＳ１１）、
ピットパターンが転写された磁気ディスク用の基板を得
る工程（ステップＳ１２）、基板上にデータ記録用の磁
性膜を形成する工程（ステップＳ１３）、及び、こうし
て得られたピットパターン付きの磁気ディスクを組み立
てる工程（ステップＳ１４）は、図１０の第１実施例の
場合と同じである。

【００６１】この第２実施例では、前記磁性膜Ｆの全面
を一方向に直流磁化する工程（図１０のステップＳ５）
が存在しない。組み立てられた磁気ディスクの磁性膜Ｆ
に直ちに、サーボ情報書き込み用ヘッドを用いて、磁化
反転を所定のパターンで磁気的に書き込む（ステップＳ
１５）。この場合の磁化反転は数個を連続して書き込む
のが望ましい。

【００６２】この方法を磁気記録媒体の第５実施例〔図
６（ａ）参照〕に適用すると、以下のようになる。この
磁気ディスクのサーボ領域６０には、図１３に示すよう
に、同期用情報領域６３には溝６７により同期用情報が
記録され、アドレス及びシーク情報領域６２には溝６８
によりアドレス及びシーク情報が予め記録され、追従制
御用情報領域６３には段差溝６４により追従制御用情報
が記録されている。ステップＳ１５では、トラックピッ
チと同等もしくは、トラックピッチよりも幅の広いトラ
ック幅を持つサーボ情報書き込み用磁気ヘッド１１０を
トラック方向に走行させ、磁性膜Ｆの全面に磁化反転を
所定パターンで書き込み、磁気信号領域６５を形成す
る。

【００６３】この製造方法では、前記製造方法の第１実
施例のような磁化反転書き込み時の厳密な時間管理が不
要である利点がある。前述した製造方法の第１、第２実
施例では、非磁性領域となるピットパターンを磁気ディ
スクの磁性膜や基板に転写した後、その磁性膜にサーボ
情報を磁気的に記録することにより、所定のサーボ情報
が書き込まれた磁気ディスクを得ている。このため、従
来のような、サーボ情報を書き込む際の機械的構成の振
動などによる問題は全く生じなくなる。

【００６４】

【発明の効果】本発明の磁気記録媒体によれば、従来よ
り高い精度でデータ領域を圧迫することなくサーボ情報
を書き込むことができる。本発明の磁気記録媒体の製造
方法によれば、サーボ情報が高精度に記録された磁気記
録媒体を容易に製造することができる。また、本発明の
磁気記録装置によれば、磁気ヘッドのトラック追従精度
が改善された磁気記録装置が得られる。このため、記録
密度をいっそう向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は磁気記録媒体の第１実施例のサーボ情
報領域の構成を示す要部平面図、（ｂ）〜（ｅ）はその
部分断面図。

【図２】図１の磁気記録媒体の詳細構成図を示す平面
図。

【図３】磁気記録媒体の第２実施例のサーボ情報領域の
構成を示す要部平面図。

【図４】磁気記録媒体の第３実施例のサーボ情報領域の
構成を示す要部平面図。

【図５】磁気記録媒体の第４実施例のサーボ情報領域の
構成を示す要部平面図。

【図６】（ａ）は磁気記録媒体の第５実施例のサーボ情
報領域の構成を示す要部平面図、（ｂ）はその別の形態
の構成を示す要部平面図。

【図７】磁気記録媒体の第６実施例の部分断面図。

【図８】磁気記録媒体の全体構成を示す平面図。

【図９】（ａ）は磁気記録装置の主な回路構成を示すブ
ロック図、（ｂ）は位置決め回路部において位置信号を
生成するための回路ブロック図。

【図１０】磁気記録媒体の製造方法の第１実施例を示す
フローチャート。

【図１１】（ａ）は磁気記録媒体の製造方法の第１実施
例により製造される磁気記録媒体のサーボ情報領域の要
部平面図、（ｂ）はトラック方向の磁化状態を示す説明
図。

【図１２】磁気記録媒体の製造方法の第２実施例を示す
フローチャート。

【図１３】磁気記録媒体の製造方法の第２実施例により
製造される磁気記録媒体のサーボ情報領域の要部平面
図。

【図１４】従来の磁気ディスクにおいて、同じ情報記録
再生用トラックのｎ番セクタと第（ｎ＋ｘ）番セクタで
の、位置決め目標位置の変動要因を示す説明図。

【符号の説明】

１…磁気ディスク、２…データセクタ、３…サーボセク
タ、４…ｎ番情報記録再生用トラック、５…（ｎ＋ｘ）
番情報記録再生用トラック、１０…サーボ情報領域、１
１…同期用情報領域、１２…アドレス及びシーク情報領
域、１３…追従制御用情報領域、１３ａ…追従制御用情
報第１列、１３ｂ…追従制御用情報第２列、１４…ピッ
ト、１４ａ，１４ｂ…エッジ、１５…磁気信号領域、１
５ａ…磁化の向き、１５ｂ…磁化反転、１５ｃ…エッ
ジ、１６…トラック中心線、１７，１８…溝、１９…位
置誤差信号波形、２０…データ領域、２１…磁気ヘッ
ド、３０…サーボ情報領域、３１…同期用情報領域、３
２…アドレス及びシーク情報領域、３３…追従制御用情
報領域、３４…凹部、３５…磁気信号領域、３５ａ…磁
化の向き、３５ｂ…磁化反転、３６…トラック中心線、
３７…凸部パターン、３８…凸部パターン、４０…サー
ボ情報領域、４１…同期用情報領域、４２…アドレス及
びシーク情報領域、４３…追従制御用情報領域、４４…
ピット、４５…磁気信号領域、４５ａ…磁化の向き、４
５ｂ…磁化反転、４６…トラック中心線、４７，４８…
溝、５０…サーボ情報領域、５１…同期用情報領域、５
２…アドレス及びシーク情報領域、５３…追従制御用情
報領域、５３ａ…追従制御用情報第１列、５３ｂ…追従
制御用情報第２列、５４…段差溝、５４ａ，５４ｂ…エ
ッジ、５５…磁気信号領域、５５ａ…磁化の向き、５５
ｂ…磁化反転、５６…トラック中心線、５７，５８…
溝、６０…サーボ情報領域、６１…同期用情報領域、６
２…アドレス及びシーク情報領域、６３…追従制御用情
報領域、６３ａ…追従制御用情報第１列、６３ｂ…追従
制御用情報第２列、６３ｃ…追従制御用情報第３列、６
３ｄ…追従制御用情報第４列、６４…段差溝、６４ａ，
６４ｂ…エッジ、６５…磁気信号領域、６５ａ…磁化の
向き、６５ｂ…磁化反転、６６…トラック中心線、６
７，６８…溝、７１…基板、７２…下地膜、７３…磁性
膜、７４…保護膜、７５…Ｓｉ拡散領域、９１…インタ
フェース、９２…電源コントローラ、９３…コントロー
ラ、９４…位置決め回路部、９５…記録／再生回路部、
９６…ヘッド、９７…アンプ、９８…全波整流、９９…
積分、１００…位相検出、１０１…タイミング発生、１
０２…サンプルホールド、１０３…差動、１１０…書き
込み用ヘッド、１１１…磁束、１４１ａ，１４１ｂ…磁
気信号領域、１４２ａ，１４２ｂ…磁気信号領域のエッ
ジ、１４３…磁気信号領域の突出部、１５１…ｋ番トラ
ックの中心線、１５２…（ｋ＋ｘ）番トラックの中心
線、６０３…追従制御用情報領域、６０３ａ…追従制御
用情報第１列、６０３ｂ…追従制御用情報第２列、６０
３ｃ…追従制御用情報第３列、６０３ｄ…追従制御用情
報第４列、６０３ｅ…追従制御用情報第５列、６０３ｆ
…追従制御用情報第６列、６０４…段差溝、６０４ａ…
磁化の向き、６０４ｂ…磁化反転、６０５…磁気信号領
域、６０５ａ…エッジ、６０５ｂ…エッジ、６０５ｃ…
エッジ、６０６…トラック中心線、Ｆ…磁性膜、Ｓ…基
板、Ｔｐ…情報記録再生用トラックのピッチ、Ｐｗ…ピ
ット幅

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者釘屋文雄東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者楓弘志東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者薦田琢東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板上に形成された磁性膜を備え、前記
磁性膜には複数の情報記録再生用トラックが設定され、
前記トラックはサーボ情報が記録されたサーボ情報領域
とデータが磁気的に記録されるデータ領域とに領域分離
されている磁気記録媒体において、前記サーボ情報領域は、トラック方向に平行な２つのエ
ッジが凹所によって形成された複数の磁気信号領域を含
み、前記複数の磁気信号領域には１個又は数個の磁化反
転が前記２つのエッジに到るように記録されていること
を特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】前記凹所は底部に磁性膜が形成されてい
ることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項３】前記凹所の底部には磁性膜が形成されて
いないことを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。
【請求項４】基板上に形成された磁性膜を備え、前記
磁性膜には複数の情報記録再生用トラックが設定され、
前記トラックはサーボ情報が記録されたサーボ情報領域
とデータが磁気的に記録されるデータ領域とに領域分離
されている磁気記録媒体において、前記サーボ情報領域は、トラック方向に平行な２つのエ
ッジが非磁性領域によって形成された複数の磁気信号領
域を含み、前記複数の磁気信号領域には１個又は数個の
磁化反転が前記２つのエッジに到るように記録されてい
ることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項５】前記非磁性領域は磁性膜にＳｉ，Ｂ，
Ｃ，Ｐ又はＧｅを拡散させることにより形成したもので
あることを特徴とする請求項４記載の磁気記録媒体。
【請求項６】前記磁気信号領域の列がトラック方向に
複数列配置されており、前記トラックの各々について、
前記列にそれぞれ属する複数の磁気信号領域がトラック
方向に千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項
１〜５のいずれか１項記載の磁気記録媒体。
【請求項７】前記磁気信号領域の列がトラック方向に
複数列配置されており、前記複数の磁気信号領域に記録
された磁化反転をサーボ情報として前記トラックの各々
について位相が異なる位置誤差信号を生成可能であるこ
とを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項記載の磁気
記録媒体。
【請求項８】前記サーボ情報領域が、ｎ（ｎは正の整
数）相のサーボ情報を記録可能であり、サーボセクタの
各々について、ｍ（ｍは正の整数で、ｍ≦ｎ）相分のサ
ーボ情報を生成するように、前記複数の磁気信号領域及
び磁化反転が設けられていることを特徴とする請求項１
〜７のいずれか１項記載の磁気記録媒体。
【請求項９】前記磁気信号領域及び磁化反転は、磁気
ヘッドの位置誤差を示す位置誤差信号を前記トラックの
各々について複数個生成するように形成されていること
を特徴とする請求項１〜７のいずれか１項記載の磁気記
録媒体。
【請求項１０】前記磁気信号領域はトラック方向に交
差する方向の少なくとも一部にもエッジを有することを
特徴とする請求項１〜９のいずれか１項記載の磁気記録
媒体。
【請求項１１】トラック方向に直交する方向に隣接す
る磁気信号領域の間隔が前記トラックのピッチよりも大
きいことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項記
載の磁気記録媒体。
【請求項１２】前記サーボ情報領域は、同期情報が記
録される同期用情報領域と、アドレスを示す情報が記録
されるアドレス用情報領域と、シーク動作のための符号
が記録されるシーク領域と、磁気ヘッドの前記情報記録
再生用トラックへの追従を制御する情報が記録される追
従制御用情報領域とを含んでおり、前記磁気信号領域に
記録された磁化反転による情報は前記追従制御用情報で
あることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項記
載の磁気記録媒体。
【請求項１３】前記同期情報、アドレス用情報及びシ
ーク情報の少なくとも１つが、前記磁性膜に形成された
凹所によって記録されていることを特徴とする請求項１
２記載の磁気記録媒体。
【請求項１４】前記同期情報、アドレス用情報及びシ
ーク情報の少なくとも１つが、前記磁性膜に形成された
非磁性領域によって記録されていることを特徴とする請
求項１２記載の磁気記録媒体。
【請求項１５】前記トラックのピッチが３．５μｍ以
下であることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１
項記載の磁気記録媒体。
【請求項１６】基板上にフォトレジストを塗布し、所
定のパターンで露光、現像後、エッチングして、サーボ
情報領域の追従制御用情報領域に形成されるべき複数の
磁気信号領域のトラック方向に平行なエッジを定める凹
所を含む凹所を形成する第１の工程と、前記凹所が形成
された基板に磁性膜を含む膜を積層する第２の工程と、
磁気記録媒体のトラックピッチと同等もしくは、トラッ
クピッチよりも幅の大きな書き込み用磁気ヘッドを用い
て前記磁性膜に磁界を印加し、サーボ情報領域にサーボ
情報を書き込む第３の工程とを含むことを特徴とする請
求項１又は２記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１７】基板表面にスタンパによってサーボ情
報領域の追従制御用情報領域に形成されるべき複数の磁
気信号領域のトラック方向に平行なエッジを定める凹所
を含む凹所を形成する第１の工程と、前記凹所が形成さ
れた基板に磁性膜を含む膜を積層する第２の工程と、磁
気記録媒体のトラックピッチと同等もしくは、トラック
ピッチよりも幅の大きな書き込み用磁気ヘッドを用いて
前記磁性膜に磁界を印加し、サーボ情報領域にサーボ情
報を書き込む工程と含むことを特徴とする請求項１又は
２記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１８】基板に磁性膜を含む膜を積層する第１
の工程と、その上にフォトレジストを塗布し、所定のパ
ターンで露光、現像後、エッチングして、サーボ情報領
域の追従制御用情報領域に形成されるべき複数の磁気信
号領域のトラック方向に平行なエッジを定める凹所を含
む凹所を形成する第２の工程と、磁気記録媒体のトラッ
クピッチと同等もしくは、トラックピッチよりも幅の大
きな書き込み用磁気ヘッドを用いて前記磁性膜に磁界を
印加し、サーボ情報領域にサーボ情報を書き込む第３の
工程とを備えてなることを特徴とする請求項１又は３記
載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１９】前記サーボ情報を書き込む工程が、一
様磁界を印加して前記磁性膜の全面を一方向磁化する工
程と、一方向磁化後の磁性膜から発生する磁束を利用し
て前記凹所の位置を検出しながら磁化反転を磁性膜に書
き込む工程とを含むことを特徴とする請求項１６、１７
又は１８記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項２０】前記サーボ情報を書き込む工程が、磁
化反転を複数個連続して書き込む工程を含み、磁性膜の
全面を一方向磁化する工程を含まないことを特徴とする
請求項１６、１７又は１８記載の磁気記録媒体の製造方
法。
【請求項２１】請求項１〜１５のいずれか１項に記載
の磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体を駆動する手段
と、前記磁気記録媒体に対してデータの記録及び再生を
行う磁気ヘッドと、前記磁気記録媒体に対して前記磁気
ヘッドを位置決めする手段とを含むことを特徴とする磁
気記録装置。
【請求項２２】前記磁気記録媒体の同期用情報領域、
アドレス用情報領域及びシーク領域から発生される磁束
を検知して、前記同期情報、アドレス用情報及びシーク
情報を読みとる手段と、前記磁気信号領域に記録された
磁化反転を検知して磁気ヘッドの位置決め動作を行う手
段とを含むことを特徴とする請求項２１記載の磁気記録
装置。
【請求項２３】前記磁気ヘッドの位置決め動作を行う
手段は、前記磁気信号領域に記録された磁化反転を検出
した信号を全波整流する手段と、全波整流した信号を積
分する手段と、積分された信号を保持する第１及び第２
のサンプルホールド手段と、前記第１及び第２のサンプ
ルホールド手段へのサンプルホールドのタイミングを決
定する手段と、第１及び第２のサンプルホールド手段に
保持された信号の差を出力する差動回路と、前記差動回
路の出力を誤差信号として前記磁気ヘッドを駆動する手
段とを含むことを特徴とする請求項２２記載の磁気記録
装置。