JP2948598B2 - 磁気ヘッドのコアスライダ製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドのコアスライダ製造方法Info
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- JP2948598B2 JP2948598B2 JP1017798A JP1779889A JP2948598B2 JP 2948598 B2 JP2948598 B2 JP 2948598B2 JP 1017798 A JP1017798 A JP 1017798A JP 1779889 A JP1779889 A JP 1779889A JP 2948598 B2 JP2948598 B2 JP 2948598B2
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- core slider
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は磁気ディスク装置等に用いられる磁気ヘッド
のコアスライダ製造方法にかかり、特にコアスライダの
浮上面側周辺部（外レール、内レール、空気流入／流出
端）を微小面取り（以下、チャンファと称する）するの
に好適なコアスライダ製造方法に関する。
のコアスライダ製造方法にかかり、特にコアスライダの
浮上面側周辺部（外レール、内レール、空気流入／流出
端）を微小面取り（以下、チャンファと称する）するの
に好適なコアスライダ製造方法に関する。
［従来の技術］ 従来の磁気ヘッドのコアスライダ製造方法としては、
例えば特開昭60−197359号公報に開示されてたものが知
られている。上記公報によれば、第５図に示すコアスラ
イダにおいて、まずコアスライダのレール1aをチャンフ
ァ加工し、次にコアスライダの内レール1bをチャンファ
加工し、次に空気流入／流出端1cをチャンファ加工して
いた。これらのチャンファ加工は、第６図（ａ），
（ｂ），（ｃ）に示すように、外レール加工ガイド2a、
内レール加工ガイド2b、空気流入／流出端加工ガイド2c
の治具を用い、これらの治具2a,2b,2cとコアスライダの
間に研磨テープ３を介在させて行っていた。
例えば特開昭60−197359号公報に開示されてたものが知
られている。上記公報によれば、第５図に示すコアスラ
イダにおいて、まずコアスライダのレール1aをチャンフ
ァ加工し、次にコアスライダの内レール1bをチャンファ
加工し、次に空気流入／流出端1cをチャンファ加工して
いた。これらのチャンファ加工は、第６図（ａ），
（ｂ），（ｃ）に示すように、外レール加工ガイド2a、
内レール加工ガイド2b、空気流入／流出端加工ガイド2c
の治具を用い、これらの治具2a,2b,2cとコアスライダの
間に研磨テープ３を介在させて行っていた。
［発明が解決しようとする課題］ 上記した従来技術においては、コアスライダの外寸が
数ミリ角であり、コアスライダを保持治具に取り付ける
必要があり、かつ各コアスライダ毎に加工を行う必要が
あるため、多大の手間と時間を要し、生産性が悪いとい
う問題点があった。
数ミリ角であり、コアスライダを保持治具に取り付ける
必要があり、かつ各コアスライダ毎に加工を行う必要が
あるため、多大の手間と時間を要し、生産性が悪いとい
う問題点があった。
また、上記した従来技術においては、各コアスライダ
毎に保持治具に取り付けて加工が行われるため、コアス
ライダ間の位置関係の調整の困難性から、チャンファ加
工が不均一になるという問題点があった。特に、削り過
ぎた場合（面取りが大の場合）には、磁気ヘッドの浮上
特性に悪影響を与えるという問題点があった。特開昭59
−129662号公報及び特開昭61−196487号公報に記載の各
方法においても同様の問題点があった。
毎に保持治具に取り付けて加工が行われるため、コアス
ライダ間の位置関係の調整の困難性から、チャンファ加
工が不均一になるという問題点があった。特に、削り過
ぎた場合（面取りが大の場合）には、磁気ヘッドの浮上
特性に悪影響を与えるという問題点があった。特開昭59
−129662号公報及び特開昭61−196487号公報に記載の各
方法においても同様の問題点があった。
なお従来、研磨テープの裏面側から弾性体を当てがい
上記研磨テープの表面に浮動式磁気ヘッド（コアスライ
ダ）を所定の押圧力で押し付けながらその磁気ヘッドを
回転させて研磨することにより、その磁気ヘッドのレー
ルの少なくとも内側縁部および外側縁部の面取り加工を
行うようにしたものもある（特開昭62−165724号公報参
照）。しかしこの方法では、個々の浮動式磁気ヘッド
（コアスライダ）を回転させて研磨するので浮動式磁気
ヘッド（コアスライダ）の位置によって加工距離の差が
生じ、複数の浮動式磁気ヘッド（コアスライダ）を同時
に均一な品質を有するように研磨することはできなかっ
た。
上記研磨テープの表面に浮動式磁気ヘッド（コアスライ
ダ）を所定の押圧力で押し付けながらその磁気ヘッドを
回転させて研磨することにより、その磁気ヘッドのレー
ルの少なくとも内側縁部および外側縁部の面取り加工を
行うようにしたものもある（特開昭62−165724号公報参
照）。しかしこの方法では、個々の浮動式磁気ヘッド
（コアスライダ）を回転させて研磨するので浮動式磁気
ヘッド（コアスライダ）の位置によって加工距離の差が
生じ、複数の浮動式磁気ヘッド（コアスライダ）を同時
に均一な品質を有するように研磨することはできなかっ
た。
本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑み成された
もので、磁気ヘッドの浮上特性を好適なものにする均一
な品質を有するコアスライダを同時に大量生産すること
を可能にした磁気ヘッドのコアスライダ製造方法を提供
することにある。
もので、磁気ヘッドの浮上特性を好適なものにする均一
な品質を有するコアスライダを同時に大量生産すること
を可能にした磁気ヘッドのコアスライダ製造方法を提供
することにある。
［課題を解決するための手段］ この発明の磁気ヘッドのコアスライダ製造方法は、治
具上であらかじめ定められた間隔を有するように個々の
コアスライダに分割された複数のコアスライダを当該治
具を介して加工テーブルに固定し、上記加工テーブルを
Ｘ軸・Ｙ軸についてそれぞれ揺動運動（いわゆるならい
運動）させ、クッション材を介してあらかじめ定められ
た圧力で押圧された研磨テープを上記複数のコアスライ
ダに当接して研磨することにより、上記コアスライダの
周辺端部の面取加工を行うことを特徴としている。
具上であらかじめ定められた間隔を有するように個々の
コアスライダに分割された複数のコアスライダを当該治
具を介して加工テーブルに固定し、上記加工テーブルを
Ｘ軸・Ｙ軸についてそれぞれ揺動運動（いわゆるならい
運動）させ、クッション材を介してあらかじめ定められ
た圧力で押圧された研磨テープを上記複数のコアスライ
ダに当接して研磨することにより、上記コアスライダの
周辺端部の面取加工を行うことを特徴としている。
［作用］ 上記した本発明の構成において、上記クッション材の
バネ定数をＫ（N/mm3）、研磨テープのテープテンショ
ンをＴ（N/mm）、ラップ圧力をＰ（N/mm2）、隣接する
コアスライダレールまでの距離をｄ（mm）とすると、コ
アスライダの浮上面に対するクッション材の変形の角度
（すなわち、コアスライダエッジの研磨角度）θは、近
似的に次の（１）式で表される。
バネ定数をＫ（N/mm3）、研磨テープのテープテンショ
ンをＴ（N/mm）、ラップ圧力をＰ（N/mm2）、隣接する
コアスライダレールまでの距離をｄ（mm）とすると、コ
アスライダの浮上面に対するクッション材の変形の角度
（すなわち、コアスライダエッジの研磨角度）θは、近
似的に次の（１）式で表される。
したがって、この発明によれば、上記したK,T,P,dを
適宜選定することにより、理想的なコアスライダのエッ
ジ曲率にチャンファ加工することができる。しかも、多
数のコアスライダを同時に加工することができるので、
生産性も大幅に向上する。
適宜選定することにより、理想的なコアスライダのエッ
ジ曲率にチャンファ加工することができる。しかも、多
数のコアスライダを同時に加工することができるので、
生産性も大幅に向上する。
［実施例］ 以下添付の図面に示す実施例により、さらに詳細に本
発明について説明する。第１図はこの発明の一実施例を
示す説明図である。第１図に示すように、複数のコアス
ライダ4a〜4nが治具７上にワックスで固定され、各コア
スライダ4a〜4nは内レールピッチd1を有し、かつ各コア
スライダ4a〜4nはピッチd2で配列されている。さらに、
このコアスライダ4a〜4nを搭載している治具７は、圧力
Ｐによって加圧されたテープガイド５の働きによって、
クッション材６を介して研磨テープ３と接している。上
記テープガイド５のクッション材６の対抗面は平面で形
成されている。そして、上記治具７はＸ軸5,Y軸両方向
について揺動運動する、いわゆるならい運動を行う。こ
れによって、各コアスライダの外レール・内レール・空
気流入／流出端は、それぞれチャンファ加工される。
発明について説明する。第１図はこの発明の一実施例を
示す説明図である。第１図に示すように、複数のコアス
ライダ4a〜4nが治具７上にワックスで固定され、各コア
スライダ4a〜4nは内レールピッチd1を有し、かつ各コア
スライダ4a〜4nはピッチd2で配列されている。さらに、
このコアスライダ4a〜4nを搭載している治具７は、圧力
Ｐによって加圧されたテープガイド５の働きによって、
クッション材６を介して研磨テープ３と接している。上
記テープガイド５のクッション材６の対抗面は平面で形
成されている。そして、上記治具７はＸ軸5,Y軸両方向
について揺動運動する、いわゆるならい運動を行う。こ
れによって、各コアスライダの外レール・内レール・空
気流入／流出端は、それぞれチャンファ加工される。
第１図において、例えばコアスライダ4aのチャンファ
角θは、 と表される。したがって、前記したように、磁気ヘッド
の浮上特性に最適な形状とすることができる。他のコア
スライダ4b〜4nについても同様であり、本実施例によれ
ば、多数個同時に理想的なコアスライダレールのチャン
ファ加工を行うことができる。
角θは、 と表される。したがって、前記したように、磁気ヘッド
の浮上特性に最適な形状とすることができる。他のコア
スライダ4b〜4nについても同様であり、本実施例によれ
ば、多数個同時に理想的なコアスライダレールのチャン
ファ加工を行うことができる。
第２図及び第３図は、上記したならい運動を行って、
コアスライダをチャンファ加工するチャンファ加工装置
を示す説明図である。第２図及び第３図に示すように、
治具７を搭載したワーク保持機構８は、X,Yステージ11
上において、Ｘ軸,Y軸をそれぞれ中心として、ならい軸
受け9,10によって揺動するように形成されている。そし
て、治具７上には、複数のコアスライダ4a〜4nが搭載さ
れている。また、治具７の上方には、テープテンション
13によって張力が付与された研磨テープ３がテープガイ
ド５に設けられたクッション材６に接して配置されてい
る。このテープガイド５とクッション材６と研磨テープ
３からなる押圧部は矢印12に示す上下方向に可動可能に
形成されている。これによって、コアスライダ4a〜4nは
加圧され、上記したならい運動によりチャンファ加工さ
れる。ここで、各ならい軸受け9,10及び押圧機構は、理
想的なラップ圧を付加するために、エアー軸受け等の摩
擦の少ない軸を利用することが望ましい。
コアスライダをチャンファ加工するチャンファ加工装置
を示す説明図である。第２図及び第３図に示すように、
治具７を搭載したワーク保持機構８は、X,Yステージ11
上において、Ｘ軸,Y軸をそれぞれ中心として、ならい軸
受け9,10によって揺動するように形成されている。そし
て、治具７上には、複数のコアスライダ4a〜4nが搭載さ
れている。また、治具７の上方には、テープテンション
13によって張力が付与された研磨テープ３がテープガイ
ド５に設けられたクッション材６に接して配置されてい
る。このテープガイド５とクッション材６と研磨テープ
３からなる押圧部は矢印12に示す上下方向に可動可能に
形成されている。これによって、コアスライダ4a〜4nは
加圧され、上記したならい運動によりチャンファ加工さ
れる。ここで、各ならい軸受け9,10及び押圧機構は、理
想的なラップ圧を付加するために、エアー軸受け等の摩
擦の少ない軸を利用することが望ましい。
第４図は、この発明の方法によって形成されたコアス
ライダについて、その浮上面周辺部のチャンファ深さdp
を縦軸にとり、チャンファ幅１を横軸にとったグラフを
示す。図示するように、dp/1が50〜25の理想的なチャン
ファ形状が得られていることがわかる。
ライダについて、その浮上面周辺部のチャンファ深さdp
を縦軸にとり、チャンファ幅１を横軸にとったグラフを
示す。図示するように、dp/1が50〜25の理想的なチャン
ファ形状が得られていることがわかる。
［発明の効果］ 本発明によれば、多数のコアスライダを同時にチャン
ファ加工することができるので、コアスライダの生産性
を大幅に向上させることができる。また、多数のコアス
ライダを均一かつ適正にチャンファ加工することが出来
るので、品質の高いコアスライダを同時に大量に生産す
ることができる。特に、加工（研磨）はＸ軸・Ｙ軸方向
で行うので、回転させて研磨する従来方法で生じたコア
スライダの位置による加工距離の差は生ぜず、したがっ
てこれによっても複数のコアスライダにつき均一な加工
ができることになり、特に複数のコアスライダを複数列
配置して加工する場合に顕著な均一加工効果が得られ
る。また、研磨テープの全面を用いてチャンファ加工す
るため、研磨テープの寿命が大幅に長くなる効果もあ
る。さらに、コアスライダをクッション材を介して加工
するため、その応力関係によって、磁気ヘッドの浮上特
性に適合した形状にチャンファ加工することができる。
ファ加工することができるので、コアスライダの生産性
を大幅に向上させることができる。また、多数のコアス
ライダを均一かつ適正にチャンファ加工することが出来
るので、品質の高いコアスライダを同時に大量に生産す
ることができる。特に、加工（研磨）はＸ軸・Ｙ軸方向
で行うので、回転させて研磨する従来方法で生じたコア
スライダの位置による加工距離の差は生ぜず、したがっ
てこれによっても複数のコアスライダにつき均一な加工
ができることになり、特に複数のコアスライダを複数列
配置して加工する場合に顕著な均一加工効果が得られ
る。また、研磨テープの全面を用いてチャンファ加工す
るため、研磨テープの寿命が大幅に長くなる効果もあ
る。さらに、コアスライダをクッション材を介して加工
するため、その応力関係によって、磁気ヘッドの浮上特
性に適合した形状にチャンファ加工することができる。
第１図はこの発明の一実施例を示す説明図、第２図及び
第３図はこの発明を実施するチャンファ加工装置の一例
を示す説明図、第４図はこの発明の方法によって形成さ
れたコアスライダについて、その浮上面周辺部のチャン
ファ深さdpを縦軸にとりチャンファ幅ｌを横軸にとった
場合の実験結果を示す図、第５図はコアスライダの一例
を示す斜視図、第６図（ａ），（ｂ），（ｃ）は従来の
コアスライダのチャンファ加工の例を示す説明図であ
る。 ３…研磨テープ、4a〜4n…コアスライダ、５…テープガ
イド、６…クッション材、７…治具、８…ワーク保持機
構、9,10…ならい軸受け、13…テープテンション。
第３図はこの発明を実施するチャンファ加工装置の一例
を示す説明図、第４図はこの発明の方法によって形成さ
れたコアスライダについて、その浮上面周辺部のチャン
ファ深さdpを縦軸にとりチャンファ幅ｌを横軸にとった
場合の実験結果を示す図、第５図はコアスライダの一例
を示す斜視図、第６図（ａ），（ｂ），（ｃ）は従来の
コアスライダのチャンファ加工の例を示す説明図であ
る。 ３…研磨テープ、4a〜4n…コアスライダ、５…テープガ
イド、６…クッション材、７…治具、８…ワーク保持機
構、9,10…ならい軸受け、13…テープテンション。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小島 康生 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (72)発明者 山崎 静男 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (72)発明者 鈴木 信男 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式 会社日立製作所小田原工場内 (56)参考文献 特開 昭59−129662（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−165724（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−196487（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】治具上であらかじめ定められた間隔を有す
るように個々のコアスライダに分割された複数のコアス
ライダを当該治具を介して加工テーブルに固定し、上記
加工テーブルをＸ軸・Ｙ軸についてそれぞれならい運動
させ、クッション材を介してあらかじめ定められた圧力
で押圧された研磨テープを上記複数のコアスライダに当
接して研磨することにより、上記コアスライダの周辺端
部の面取加工を行うことを特徴とする磁気ヘッドのコア
スライダ製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1017798A JP2948598B2 (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | 磁気ヘッドのコアスライダ製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1017798A JP2948598B2 (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | 磁気ヘッドのコアスライダ製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02199614A JPH02199614A (ja) | 1990-08-08 |
| JP2948598B2 true JP2948598B2 (ja) | 1999-09-13 |
Family
ID=11953732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1017798A Expired - Fee Related JP2948598B2 (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | 磁気ヘッドのコアスライダ製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2948598B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6643100B2 (en) | 2000-08-30 | 2003-11-04 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic head having a chamfer thereof oriented toward medium and method for manufacturing the same |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5301077A (en) * | 1992-06-26 | 1994-04-05 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head |
| JP3740186B2 (ja) | 1995-05-17 | 2006-02-01 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 磁気ヘッドスライダの製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59129662A (ja) * | 1983-01-14 | 1984-07-26 | Hitachi Ltd | ラツピング方法及びその装置 |
| JPS62165724A (ja) * | 1986-01-17 | 1987-07-22 | Alps Electric Co Ltd | 浮動式磁気ヘツドの製造方法 |
-
1989
- 1989-01-30 JP JP1017798A patent/JP2948598B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6643100B2 (en) | 2000-08-30 | 2003-11-04 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic head having a chamfer thereof oriented toward medium and method for manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02199614A (ja) | 1990-08-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |