JPH04134717A - 浮上型磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
浮上型磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH04134717A JPH04134717A JP26023090A JP26023090A JPH04134717A JP H04134717 A JPH04134717 A JP H04134717A JP 26023090 A JP26023090 A JP 26023090A JP 26023090 A JP26023090 A JP 26023090A JP H04134717 A JPH04134717 A JP H04134717A
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- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、浮上型磁気ヘッドの製造方法に関し、磁気変
換素子を設けたベツドピースの空気ベアリング面を研磨
する研磨工程を、第１の研磨工程と第２の研磨工程とに
分け、Ｎ１の研磨工程と第２の研磨工程との間でエージ
ング処理を行なうことにより、Ｎ１の研磨工程までの各
工程において蓄積された歪を開放し、第２の研磨工程後
に得られる空気ベアリング面の平面度を向上させ、極低
浮上量で、高度の耐久性を有する浮上型磁気ヘッドを提
供できるようにしたものである。
換素子を設けたベツドピースの空気ベアリング面を研磨
する研磨工程を、第１の研磨工程と第２の研磨工程とに
分け、Ｎ１の研磨工程と第２の研磨工程との間でエージ
ング処理を行なうことにより、Ｎ１の研磨工程までの各
工程において蓄積された歪を開放し、第２の研磨工程後
に得られる空気ベアリング面の平面度を向上させ、極低
浮上量で、高度の耐久性を有する浮上型磁気ヘッドを提
供できるようにしたものである。
〈従来の技術〉
浮上型磁気ヘッドは、磁気記録媒体の走行によって生じ
る動圧を利用して、磁気記録媒体との間に微小な空気ベ
アリングによる間ＭＪ（以下浮上量と称する）を保って
浮上しながら磁気記録再生を行なう。従フて、浮上型磁
気ヘッド及び磁気記録媒体との間の衝突を回避し、ヘッ
ドクラッシュや媒体損傷を防止し、耐久性を向上させる
ためには、媒体対向面側の空気ベアリング面（以下ＡＢ
Ｓ面と称する）を高精度の平面度となるように研磨する
必要がある。ＡＢＳ面研磨の公知文献としては、特開昭
６３−１９１３０９号公報が知られている。！９図は上
記公開公報等で知られる浮上型磁気ヘッドの製造工程を
示す図である。
る動圧を利用して、磁気記録媒体との間に微小な空気ベ
アリングによる間ＭＪ（以下浮上量と称する）を保って
浮上しながら磁気記録再生を行なう。従フて、浮上型磁
気ヘッド及び磁気記録媒体との間の衝突を回避し、ヘッ
ドクラッシュや媒体損傷を防止し、耐久性を向上させる
ためには、媒体対向面側の空気ベアリング面（以下ＡＢ
Ｓ面と称する）を高精度の平面度となるように研磨する
必要がある。ＡＢＳ面研磨の公知文献としては、特開昭
６３−１９１３０９号公報が知られている。！９図は上
記公開公報等で知られる浮上型磁気ヘッドの製造工程を
示す図である。
まず、薄膜磁気変換素子を整列して形成したウェハーを
、何個かの薄膜磁気変換素子を列単位で含むように切断
して、バー状のヘッドブロックを取り出す。このヘッド
ブロックを加工治具に接着等の手段によって取付けた後
、ヘッドブロックの空気ベアリング面（以下ＡＢＳ面と
称する）にレール部等を形成するための溝加工を施す。
、何個かの薄膜磁気変換素子を列単位で含むように切断
して、バー状のヘッドブロックを取り出す。このヘッド
ブロックを加工治具に接着等の手段によって取付けた後
、ヘッドブロックの空気ベアリング面（以下ＡＢＳ面と
称する）にレール部等を形成するための溝加工を施す。
次に、所定数の薄膜磁気変換素子を含むようにして、ヘ
ッドブロックを切断する。
ッドブロックを切断する。
次に、エージング処理を施した後、ヘットブロックを接
着したままで、加工治具を研磨治具に取付け、ＡＢＳ面
を研磨（ラップ）する。この後、各ヘッドピースを治具
から剥離して、浮上型磁気ヘッドの単体を取出す。
着したままで、加工治具を研磨治具に取付け、ＡＢＳ面
を研磨（ラップ）する。この後、各ヘッドピースを治具
から剥離して、浮上型磁気ヘッドの単体を取出す。
〈発明が解決しようとする課題〉
浮上型磁気ヘッドの浮上量は、スペーシングロスを減少
させて高密度記録を達成するために、できるたけ小さく
する必要がある。
させて高密度記録を達成するために、できるたけ小さく
する必要がある。
ところが、上述した従来公知技術に開示された製造方法
によって得られる浮上型磁気ヘッドは、ＡＢＳ面の平面
度０．０２〜０．０４ａｍが限度であった。ＡＢＳ面の
表面性は研磨精度を上げることによって向上させること
ができるから、加工治具にヘットピースを接着した状態
では、研磨加工精度による高度の表面性とほぼ等しい平
面度を確保できる。しかし、第９図の最終工程において
、治具からヘッドピースを剥離すると、ＡＢＳ面の平面
度が剥離前よりも悪くなる。これは、第９図に示す工程
において、エージング処理した後、ＡＢＳ面研磨を行な
うので、研磨歪が蓄積され、最終工程においてへラドピ
ースを加工治具から剥離したときに、蓄積された研磨歪
が剥離と同時に開放されるためと推測される。
によって得られる浮上型磁気ヘッドは、ＡＢＳ面の平面
度０．０２〜０．０４ａｍが限度であった。ＡＢＳ面の
表面性は研磨精度を上げることによって向上させること
ができるから、加工治具にヘットピースを接着した状態
では、研磨加工精度による高度の表面性とほぼ等しい平
面度を確保できる。しかし、第９図の最終工程において
、治具からヘッドピースを剥離すると、ＡＢＳ面の平面
度が剥離前よりも悪くなる。これは、第９図に示す工程
において、エージング処理した後、ＡＢＳ面研磨を行な
うので、研磨歪が蓄積され、最終工程においてへラドピ
ースを加工治具から剥離したときに、蓄積された研磨歪
が剥離と同時に開放されるためと推測される。
このため、浮上量も０．３〜０．５μｍが限度であって
、これよりも小さい浮上量では、浮上型磁気ヘッドと磁
気記録媒体との間の衝突、それに伴うヘッドクラッシュ
もしくは磁気記録媒体損傷等を生じ易くなり、耐久性が
低下してしまうという問題点があった。
、これよりも小さい浮上量では、浮上型磁気ヘッドと磁
気記録媒体との間の衝突、それに伴うヘッドクラッシュ
もしくは磁気記録媒体損傷等を生じ易くなり、耐久性が
低下してしまうという問題点があった。
そこで、本発明の課題は、上述する従来の問題点を解決
し、極低浮上量で、高度の耐久性を有する浮上型磁気ヘ
ッドを製造し得る製造方法を提供することである。
し、極低浮上量で、高度の耐久性を有する浮上型磁気ヘ
ッドを製造し得る製造方法を提供することである。
く課題を解決するための手段〉
上述する課題解決のため、本発明は、セラミック構造体
上に磁気変換素子を設けたベツドピースのＡＢＳ面を研
磨する工程を含む浮上型磁気ヘッドの製造方法であって
、 前記研磨工程は、第１の研磨工程と′ｉ４２の研磨工程
に別れており、第１の研磨工程と第２の研磨工程との間
にエージング工程を含むことを特徴とする。
上に磁気変換素子を設けたベツドピースのＡＢＳ面を研
磨する工程を含む浮上型磁気ヘッドの製造方法であって
、 前記研磨工程は、第１の研磨工程と′ｉ４２の研磨工程
に別れており、第１の研磨工程と第２の研磨工程との間
にエージング工程を含むことを特徴とする。
〈作用〉
研磨工程は、第１の研磨工程と第２の研磨工程に別れて
おり、第１の研磨工程と第２の研磨工程との間にエージ
ング工程を含むから、第１の研磨工程までの各工程にお
いて蓄積された歪がエージング工程において緩和もしく
は開放される。
おり、第１の研磨工程と第２の研磨工程との間にエージ
ング工程を含むから、第１の研磨工程までの各工程にお
いて蓄積された歪がエージング工程において緩和もしく
は開放される。
第２の研磨工程は研磨量の小さい精ラップ工程とするこ
とができるから、この第２研磨工程で生じる歪は殆ど無
視できる。このため、第２の研磨工程後に得られるＡＢ
Ｓ面の平面度を向上させ、極低浮上量で、高度の耐久性
を有する浮上型磁気ヘッドが得られる。
とができるから、この第２研磨工程で生じる歪は殆ど無
視できる。このため、第２の研磨工程後に得られるＡＢ
Ｓ面の平面度を向上させ、極低浮上量で、高度の耐久性
を有する浮上型磁気ヘッドが得られる。
〈実施例〉
第１図は本発明に係る浮上型磁気ヘッドの製造方法を示
す図である。第９図に示した従来工程との差異は、ＡＢ
Ｓ面の研磨工程にある。この研磨工程は、第１の研磨工
程と第２の研磨工程に別れており、第１の研磨工程と第
２の研磨工程との間にエージング工程を含む。
す図である。第９図に示した従来工程との差異は、ＡＢ
Ｓ面の研磨工程にある。この研磨工程は、第１の研磨工
程と第２の研磨工程に別れており、第１の研磨工程と第
２の研磨工程との間にエージング工程を含む。
エージングは３０℃〜５０℃の温度条件で行なう。３０
℃未満の温度条件では充分なエージング作用が得られな
い。または、工業的に見て許容できない不当なエージン
グ時間を必要とする。
℃未満の温度条件では充分なエージング作用が得られな
い。または、工業的に見て許容できない不当なエージン
グ時間を必要とする。
５０℃を超過すると、ヘッドピースを加工治具に接着し
ている接着剤が軟化し、ヘッドピースが位置ズレを起す
。エージングは上述の温度条件の下で、大気中で１時間
〜１０時間行なう。
ている接着剤が軟化し、ヘッドピースが位置ズレを起す
。エージングは上述の温度条件の下で、大気中で１時間
〜１０時間行なう。
第１の研磨工程は一般には粗ラップ工程であり、第２の
研磨工程は精うツブ工程である。第１の研磨工程による
研磨量は５〜１５μｍの範囲が適当であり、第２の研磨
工程による研磨量は０．１〜１μｍの範囲が適当である
。
研磨工程は精うツブ工程である。第１の研磨工程による
研磨量は５〜１５μｍの範囲が適当であり、第２の研磨
工程による研磨量は０．１〜１μｍの範囲が適当である
。
上記工程によると、第１の研磨工程までの各工程におい
て蓄積された歪、例えばヘッドブロックを加工治具に接
着している接着側歪、溝加工歪、切断加工歪及び第１の
研磨工程における研削もしくは研磨量等がエージング工
程において緩和もしくは開放される。第２の研磨工程に
おいて生じる歪は殆ど無視できる。
て蓄積された歪、例えばヘッドブロックを加工治具に接
着している接着側歪、溝加工歪、切断加工歪及び第１の
研磨工程における研削もしくは研磨量等がエージング工
程において緩和もしくは開放される。第２の研磨工程に
おいて生じる歪は殆ど無視できる。
第２図は特開昭６３−１９１３０９号公報等で開示され
た従来技術によって得られた磁気ヘッドのＡＢＳ面の平
面度を示す図、第３図は本発明に係る製造方法によって
得られた磁気ヘッドのＡＢＳ面の平面度を示す図である
。
た従来技術によって得られた磁気ヘッドのＡＢＳ面の平
面度を示す図、第３図は本発明に係る製造方法によって
得られた磁気ヘッドのＡＢＳ面の平面度を示す図である
。
図示するように、従来は５０ｎｍ程度の平面度であった
ものが、本発明では１０ｎｍ〜２０ｒ＋ｍの高精度の平
面度を有するように改善されている。
ものが、本発明では１０ｎｍ〜２０ｒ＋ｍの高精度の平
面度を有するように改善されている。
次に、第１図に示す各工程の詳細について説明する。第
４図（ａ）はウェハーから取出されたヘッドブロックの
斜視図である。図において、１はヘッドブロックである
。ヘッドブロック１はスライダ部材となるセラミック構
造体１０を共用して、複数の磁気変換素子１１を一方向
に整列して形成したものである。磁気変換素子１１は薄
膜素子である。
４図（ａ）はウェハーから取出されたヘッドブロックの
斜視図である。図において、１はヘッドブロックである
。ヘッドブロック１はスライダ部材となるセラミック構
造体１０を共用して、複数の磁気変換素子１１を一方向
に整列して形成したものである。磁気変換素子１１は薄
膜素子である。
第４図（ｂ）はヘッドブロックを加工治具に接着した状
態を示す斜視図である。２は加工治具である。加工治具
２の１面上に接着剤３を用いてヘッドブロック１を接着
しである。取付面ＩＢとは反対側の端面ＩＡがＡＢＳ面
となる。第４図（ｂ）はＡＢＳ面ＩＡに溝加工を施した
後の状態を示している。１２は溝を示している。
態を示す斜視図である。２は加工治具である。加工治具
２の１面上に接着剤３を用いてヘッドブロック１を接着
しである。取付面ＩＢとは反対側の端面ＩＡがＡＢＳ面
となる。第４図（ｂ）はＡＢＳ面ＩＡに溝加工を施した
後の状態を示している。１２は溝を示している。
第４図（ｅ）は切断加工後の斜視図を示している。この
切断加工工程では２つの磁気変換素子１１を含むように
して、切断線１３の位置でヘッドブロック１を切断しで
ある。ただし、切断工程は第１の研磨工程後、エージン
グ前に行なってもよい。
切断加工工程では２つの磁気変換素子１１を含むように
して、切断線１３の位置でヘッドブロック１を切断しで
ある。ただし、切断工程は第１の研磨工程後、エージン
グ前に行なってもよい。
この後、研磨工程に付される。第５図はヘッドブロック
を取付けた研磨治具の正面断面図、第６図は同じくその
底面図である。実施例では、ヘッドブロック１を有する
例えば４個の加工治具２を、共通の研磨治具４に取付け
である。５は基準片、６は接着剤である。
を取付けた研磨治具の正面断面図、第６図は同じくその
底面図である。実施例では、ヘッドブロック１を有する
例えば４個の加工治具２を、共通の研磨治具４に取付け
である。５は基準片、６は接着剤である。
第７図及び第８図は研磨の具体例を示している。図にお
いて、７は回転体である０回転体７は図示しないモータ
等により、矢印で示すａ１方向に回転駆動される。この
回転体７は、例えば錫等の軟質金属部材を用いて円板状
に形成された研磨部材７１の背面に、例えばステンレス
等の金属材料によって円板状に形成された支持部材７２
を、接着剤７３によって一体的に面接合させである。
いて、７は回転体である０回転体７は図示しないモータ
等により、矢印で示すａ１方向に回転駆動される。この
回転体７は、例えば錫等の軟質金属部材を用いて円板状
に形成された研磨部材７１の背面に、例えばステンレス
等の金属材料によって円板状に形成された支持部材７２
を、接着剤７３によって一体的に面接合させである。
支持部材７２は、スズ等の軟質金属材料で構成されてい
て機械的強度の不充分な研磨部材７１を支持するために
設けられたものである。
て機械的強度の不充分な研磨部材７１を支持するために
設けられたものである。
研磨に当っては、回転体７を矢印ａ、力方向面回転させ
、かつ、研磨部材７１の表面（イ）にダイヤモンド粒子
等を含む研磨材を供給しながら、研磨部材７１の表面（
イ）にヘッドブロック１の下面を接触させる。研磨治具
４は矢印ｂ１またはｂ２で示す回転半径方向に平行移動
させ、研磨部材７１の表面（イ）の全面で研磨が行なわ
れるようにする。矢印ａ２は研磨治具４及びヘッドブロ
ック１の自転の方向を示している。加工治具２及び研磨
研磨治具４の構造及びヘッドブロック１の取付技術に関
しては、前掲の特開平５１−１５７２６４号公報、特開
平１−１５７２６５号公報等に記載された技術が適用で
きる。
、かつ、研磨部材７１の表面（イ）にダイヤモンド粒子
等を含む研磨材を供給しながら、研磨部材７１の表面（
イ）にヘッドブロック１の下面を接触させる。研磨治具
４は矢印ｂ１またはｂ２で示す回転半径方向に平行移動
させ、研磨部材７１の表面（イ）の全面で研磨が行なわ
れるようにする。矢印ａ２は研磨治具４及びヘッドブロ
ック１の自転の方向を示している。加工治具２及び研磨
研磨治具４の構造及びヘッドブロック１の取付技術に関
しては、前掲の特開平５１−１５７２６４号公報、特開
平１−１５７２６５号公報等に記載された技術が適用で
きる。
上述の研磨工程を′ｓ１の研磨工程である粗ラップ工程
と、第２の研磨工程である精ラップ工程とに分け、第１
の研磨工程と第２の研磨工程との間でエージング処理を
行なうことは前述した通りである。
と、第２の研磨工程である精ラップ工程とに分け、第１
の研磨工程と第２の研磨工程との間でエージング処理を
行なうことは前述した通りである。
〈発明の効果〉
以上述べたように、本発明は、磁気変換素子を設けたベ
ツドピースの空気ベアリング面を研磨する研磨工程を、
第１の研磨工程とｉ４２の研磨工程とに分け、第１の研
磨工程と第２の研磨工程との間でエージング処理を行な
うことにより、第１の研磨工程までの各工程において蓄
積された歪を開放し、第２の研磨工程後に得られる空気
ベアリング面の平面度を向上させ、極低浮上量で高度の
耐久性を有する浮上型磁気ヘッドを提供できる。
ツドピースの空気ベアリング面を研磨する研磨工程を、
第１の研磨工程とｉ４２の研磨工程とに分け、第１の研
磨工程と第２の研磨工程との間でエージング処理を行な
うことにより、第１の研磨工程までの各工程において蓄
積された歪を開放し、第２の研磨工程後に得られる空気
ベアリング面の平面度を向上させ、極低浮上量で高度の
耐久性を有する浮上型磁気ヘッドを提供できる。
第１図は本発明に係る浮上型磁気ヘッドの製造方法を示
す図、第２図は従来技術によって得られた磁気ヘッドの
ＡＢＳ面の平面度を示す図、第３図は本発明に係る製造
方法によって得られた磁気ヘッドのＡＢＳ面の平面度を
示す図、第４図（ａ）〜（ｃ）は製造工程の１例を示す
各斜視図、第５図は加工治具を取付けた研磨治具の正面
断面図、第６図は同じくその底面図、第７図及び第８図
は研磨の具体例を示す図、第９図は従来の磁気ヘッドの
製造方法を示す図である。 １・・・ヘッドブロック ２・・・加工治具 ４・・・研磨治具 第１図 第２図 第３図 第４図 （ａ） 第４図 第４図 （ｃ）
す図、第２図は従来技術によって得られた磁気ヘッドの
ＡＢＳ面の平面度を示す図、第３図は本発明に係る製造
方法によって得られた磁気ヘッドのＡＢＳ面の平面度を
示す図、第４図（ａ）〜（ｃ）は製造工程の１例を示す
各斜視図、第５図は加工治具を取付けた研磨治具の正面
断面図、第６図は同じくその底面図、第７図及び第８図
は研磨の具体例を示す図、第９図は従来の磁気ヘッドの
製造方法を示す図である。 １・・・ヘッドブロック ２・・・加工治具 ４・・・研磨治具 第１図 第２図 第３図 第４図 （ａ） 第４図 第４図 （ｃ）
Claims (4)
- （１）セラミック構造体上に磁気変換素子を設けたヘッ
ドピースの空気ベアリング面を研磨する工程を含む浮上
型磁気ヘッドの製造方法であって、 前記研磨工程は、第１の研磨工程と第２の研磨工程に別
れており、第１の研磨工程と第２の研磨工程との間にエ
ージング工程を含むこと を特徴とする浮上型磁気ヘッドの製造方法。 - （２）前記エージング工程は、３０℃〜５０℃の温度条
件で行なうことを特徴とする請求項１に記載の浮上型磁
気ヘッドの製造方法。 - （３）前記エージング工程は、大気中で行なうことを特
徴とする請求項１または２に記載の浮上型磁気ヘッドの
製造方法。 - （４）前記エージング工程は、１時間〜１０時間行なう
ことを特徴とする請求項１、２または３に記載の浮上型
磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26023090A JPH04134717A (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 | 浮上型磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26023090A JPH04134717A (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 | 浮上型磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04134717A true JPH04134717A (ja) | 1992-05-08 |
Family
ID=17345162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26023090A Pending JPH04134717A (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 | 浮上型磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04134717A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0583985A2 (en) * | 1992-08-19 | 1994-02-23 | Komag, Inc. | Method of making magnetic recording head slider and the resulting slider |
| US5673156A (en) * | 1993-06-21 | 1997-09-30 | Komag, Inc. | Hard disk drive system having virtual contact recording |
| US6081991A (en) * | 1997-09-12 | 2000-07-04 | Tdk Corporation | Manufacturing method of magnetic head apparatus |
-
1990
- 1990-09-27 JP JP26023090A patent/JPH04134717A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0583985A2 (en) * | 1992-08-19 | 1994-02-23 | Komag, Inc. | Method of making magnetic recording head slider and the resulting slider |
| EP0583985A3 (en) * | 1992-08-19 | 1995-08-09 | Komag Inc | Method of manufacturing the slider of a magnetic recording head and the resulting head. |
| US5673156A (en) * | 1993-06-21 | 1997-09-30 | Komag, Inc. | Hard disk drive system having virtual contact recording |
| US6081991A (en) * | 1997-09-12 | 2000-07-04 | Tdk Corporation | Manufacturing method of magnetic head apparatus |
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