JP2000215429A - 磁気ヘッドスライダの研磨方法および研磨治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気ヘッドスライダの空気摺動面にポジティ
ブなクラウンとポジティブなキャンバを形成するための
工程において、生産性の向上および品質の向上を可能と
した磁気ヘッドスライダの研磨方法および研磨治具を提
供すること。 【解決手段】 研磨治具に複数個の磁気ヘッド素子から
なるＲＯＷ状態のブロックを保持し、磁気ヘッドスライ
ダの空気摺動面を一括して研磨処理する。又、素子分割
する切断位置に切り込みを入れ、クラウン方向およびキ
ャンバー方向に個々の曲率でクラウン形成する。さら
に、クラウン形成後に空気摺動面のレール溝を形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録再生用装
置に用いられるハードディスクドライブ用の磁気ヘッド
スライダの製造方法に関し、特に磁気ヘッドスライダの
空気摺動面の研磨方法および研磨治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ハードディスクドライブの磁気ヘ
ッドスライダは、より高密度で記録再生するため小型化
と高性能化が要求されている。具体的には、安定した低
浮上量化の促進、ＣＳＳ（コンタクト・スタート・スト
ップ）の高信頼性、および磁気ヘッドスライダが磁気記
録メディア表面に対しての貼り付け等の防止対策が求め
られている。

【０００３】そこで、これらの要求を満足するための方
策としては、磁気ヘッドスライダの空気摺動面には、図
３に示すように、磁気ヘッドスライダ１０の長さ方向に
おいて緩やかな曲率を持った凸面Ｃ１（以下、クラウン
と記載する）に形成する。またスライダの幅方向におい
ても緩やかな曲率を持った凸面Ｃ２（以下、キャンバと
記載する）に形成する。

【０００４】従来の技術では、図２（ａ）に示す凹球面
型の研磨面１ａを有する研磨定盤１を使用して、図２
（ｂ）に示すような研磨治具７に磁気ヘッドスライダ１
０をひとつづつ同心円上に配置して、空気摺動面１０ａ
を研磨している。すなわち、研磨定盤１の凹球面形状
を、磁気ヘッドスライダ１０の空気摺動面１０ａに凸球
面に転写して、ポジティブなクラウンおよびポジティブ
なキャンバを形成している。

【０００５】また、空気摺動面のレール形状は、安定し
た低浮上量を得るため、負圧（スライダを記録メディア
に吸い付ける力）を発生させるように設計されている。
従来の製造工程では、スライダ１０のレール溝１０ｂ
は、磁気ヘッド素子１３に対しての位置ズレ誤差、及び
生産性を考慮して、複数個の磁気ヘッド素子１３からな
るＲＯＷ状態のブロックをイオンミリング加工すること
により形成している。その後、前記ＲＯＷ状態のブロッ
クを個々の磁気ヘッドスライダに切断し、前記従来の技
術によりクラウン形成を行っている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
研磨方法では図２（ｂ）に示したように、研磨治具７に
磁気ヘッドスライダ１０をひとつづつ同心円上に配置し
て研磨加工するため生産性が低いという課題を有してい
る。

【０００７】また、従来の研磨方法では、研磨定盤１の
研磨面１ａと同一の曲面をクラウン方向およびキャンバ
方向に形成するだけであり、クラウン方向およびキャン
バ方向を個々の曲率で形成することは不可能であった。

【０００８】また、負圧スライダでは、空気摺動面１０
ａのレール溝１０ｂを形成した後に、空気摺動面１０ａ
のクラウン形成を行っているため、空気摺動面１０ａの
形状により磁気ヘッドスライダ内の研磨圧力に差が生
じ、レール溝１０ｂの深さを均一に保ちながら研磨除去
することが困難であり、安定した浮上特性を得られない
という課題を有している。

【０００９】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、生産性の向上および品質の向上を可能とした磁気ヘ
ッドスライダの研磨方法および研磨治具を提供すること
を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために本発明のうちで、請求項１記載の発明の磁気ヘッ
ドスライダの研磨方法は、薄膜磁気ヘッドウエハから、
ＲＯＷ（素子列）切断、治具接着、研削、研磨を経てポ
ールハイト加工に至る製造工程から成る磁気ヘッドスラ
イダ加工であって、磁気ヘッドスライダの裏面を研磨治
具に保持して、前記磁気ヘッドスライダの空気摺動面を
凹球面型の研磨面を有する研磨定盤上で研磨し、前記研
磨定盤の凹球面形状を前記磁気ヘッドスライダの空気摺
動面に凸球面を転写することによって、前記磁気ヘッド
スライダの空気摺動面にポジティブなクラウンとポジテ
ィブなキャンバとを形成する磁気ヘッドスライダの研磨
方法において、複数個の磁気ヘッド素子からなるＲＯＷ
状態のブロックを前記研磨治具に保持し、複数個の磁気
ヘッドスライダの空気摺動面を同時に一括して研磨処理
することを特徴とする。

【００１１】また、請求項２記載の発明の磁気ヘッドス
ライダの研磨方法は、請求項１記載の磁気ヘッドスライ
ダの研磨方法において、複数個の磁気ヘッド素子からな
るＲＯＷ状態のブロックを研磨治具に保持する際、素子
分割する切断位置に切り込みを入れ、該切り込み深さを
調整することにより、クラウン方向とキャンバ方向を個
々の曲率で形成することを特徴とする。

【００１２】さらに、請求項３記載の発明における磁気
ヘッドスライダの研磨方法は、請求項１記載の磁気ヘッ
ドスライダの研磨方法において、前記研磨治具には、前
記磁気ヘッドスライダが着脱可能な粘着力を有したシー
ト状の粘着弾性部材を設け、前記磁気ヘッドスライダの
裏面を前記シート状の粘着弾性部材で粘着保持すること
を特徴とする。

【００１３】さらに、請求項４記載の発明における磁気
ヘッドスライダの研磨方法は、請求項１記載の磁気ヘッ
ドスライダの研磨方法において、複数個の磁気ヘッド素
子からなるＲＯＷ状態のフロックを、同時に一括してク
ラウン形成した後、空気摺動面のレール溝を形成するこ
とを特徴とする。

【００１４】さらに、請求項５記載の発明における磁気
ヘッドスライダの研磨治具は、請求項１記載の磁気ヘッ
ドスライダの研磨方法において使用する研磨治具であっ
て、前記磁気ヘッドスライダが着脱可能な粘着力を有し
たシート状の粘着弾性部材を設け、前記磁気ヘッドスラ
イダの裏面を前記シート状の粘着弾性部材で粘着保持す
るように構成されていることを特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を基に本発明の実施形
態を詳述する。図１（ａ）は、本発明による磁気ヘッド
スライダの研磨治具を示しており、図１（ｂ）は、図１
（ａ）に示すＡ部の部分拡大図である。図１（ａ）に示
すように、研磨治具２０の一端には、複数個の磁気ヘッ
ド素子１３からなり、磁気ヘッドスライダ１０が形成さ
れるＲＯＷ状態の被加工物であるブロック１５が貼り付
け台２６に粘着保持させてあり、他端には、調整部材９
が配置させてある。そして、図２（ａ）に示す凹球面型
の研磨面１ａを有する研磨定盤１に前記研磨治具２０に
保持させてある複数個の磁気ヘッドスライダ１０の空気
摺動面１０ａを押し当て、回転させながら研磨する。す
なわち、研磨定盤１の凹球面形状を、磁気ヘッドスライ
ダ１０の空気摺動面１０ａに凸球面に転写してポジティ
ブなクラウンおよびポジティブなキャンバを形成してい
る。ところで、被加工物貼り付け台２６の磁気ヘッドス
ライダ１０が形成されるブロック１５を保持する上面２
６ａについては、あらかじめ凹球面型の研磨面１ａを有
する研磨定盤１上で摺り合わせて研磨してあり、研磨定
盤１の研磨面１ａを転写させた凸面となっている。

【００１６】複数個の磁気ヘッドスライダ１０が形成さ
れる複数個の磁気ヘッド素子１３からなるＲＯＷ状態の
ブロック１５を研磨治具２０に保持させる手段として
は、磁気ヘッドスライダ１０が形成されるブロック１５
が着脱可能な粘着力を有するシート状の粘着弾性部材１
６を被加工物貼り付け台２６の上面２６ａに設けてい
る。複数個の磁気ヘッドスライダ１０が形成されるブロ
ック１５は、粘着弾性部材１６の粘着力によって粘着保
持している。

【００１７】また、シート状の粘着弾性部材１６は、次
の様な弾性体からなるシート状の粘着弾性部材としてい
る。磁気ヘッドスライダ１０の空気摺動面１０ａに所定
の研磨圧力を与えた際に生じるシート状の厚み方向への
弾性圧縮変形量が、同時に一括して研磨処理する複数個
の磁気ヘッドスライダ１０の厚みバラツキ量よりも充分
に大きい弾性体の粘着部材としている。すなわち、前記
シート状の粘着弾性部材１６は磁気ヘッドスライダ１０
の厚みバラツキ、および被加工物貼り付け台２６の磁気
ヘッドスライダ１０を保持する面と研磨定盤１の研磨面
１ａとの形状誤差に起因する空気摺動面１０ａの研磨除
去量のバラツキを抑制し、複数個の磁気ヘッドスライダ
１０の空気摺動面１０ａを凹球面型の研磨面１ａを有す
る研磨定盤１に均等に当接させている。

【００１８】次に、キャンバ量のコントロール方法を、
図面を基に詳述する。図１（ｂ）は、図１（ａ）におけ
る研磨治具２０のＡ部を示す部分拡大図である。複数個
の磁気ヘッド素子１３からなるＲＯＷ状態のブロック１
５を素子分割して複数の磁気ヘッドスライダ１０を形成
するための切断位置に切り込み１１を入れ、該切り込み
深さを調整することにより、磁気ヘッドスライダ１０の
キャンバー量をコントロールすることが可能である。本
実施形態では、切り込み深さを三つの条件で変化させ
て、三種類のクラウン形状を形成した例を示す。

【００１９】図４は、研磨定盤を半径Ｒ＝６．４ｍの凹
球面形状とし、素子分割する際の切り込み深さを変化さ
せたときの切り込み深さと平坦度（クラウン量およびキ
ャンバ量）の関係を示したグラフである。なお、グラフ
の横軸は素子分割する際の切り込み深さとし、磁気ヘッ
ドスライダのサイズは、幅１．６ｍｍ×長さ２．０５ｍ
ｍ×厚み０．４３ｍｍである。切り込み深さ０．２ｍｍ
では、キャンバー量０．０２４μｍ／１．５ｍｍ、切り
込み深さ０．３ｍｍでは、キャンバー量０．０３８μｍ
／１．６ｍｍが得られている。以上のように本実施形態
における磁気ヘッドスライダの研磨方法によれば、素子
分割する際の切り込み深さを調整することでキャンバー
量をコントロールすることが可能である。

【００２０】次に、本発明の磁気ヘッドスライダの製造
工程を、図面を基に詳述する。図５（ａ）ないし（ｅ）
は、ポールハイト加工からの本発明の実施形態による製
造方法の工程図である。図５（ａ）に示す第１の工程に
おいては、薄膜磁気ヘッドウエハから、ＲＯＷ（素子
列）切断、治具接着、研削、研磨を経て所定の寸法にポ
ールハイト加工を行った複数個の磁気ヘッド素子１３か
らなるＲＯＷ状態のブロック１５である。図５（ｂ）に
示す第２の工程においては、複数の磁気ヘッドスライダ
を形成するために前記ブロック１５を素子分割する切断
位置に所望するキャンバ量を得られるように切り込み１
１を入れる。次に、図５（ｃ）に示す第３の工程におい
ては、前述した本発明の実施形態における研磨方法によ
り、複数個の磁気ヘッド素子１３からなるＲＯＷ状態の
ブロック１５に、複数の磁気ヘッドスライダの空気摺動
面１０ａのクラウン形成を行う。その後、研磨治具より
前記ブロック１５を粘着剥離し、図５（ｄ）に示す第４
の工程においては、複数個の磁気ヘッド素子１３からな
るＲＯＷ状態のブロック１５に磁気ヘッドスライダ１０
の空気摺動面１０ａのレール溝１０ｂをイオンミリング
加工等により形成する。次に、図５（ｅ）に示す第５の
工程においては、前記ブロツク１５を個々の磁気ヘッド
スライダに切断して磁気ヘッドスライダ１０を完成させ
る。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気ヘッ
ドスライダの研磨方法及び研磨治具によれば、本発明に
おける研磨治具に、複数個の磁気ヘッド素子からなるＲ
ＯＷ状態で保持し、磁気ヘッドスライダの空気摺動面を
同時に一括して研磨処理することができ、生産性が向上
する。

【００２２】さらに、複数個の磁気ヘッド素子からなる
ＲＯＷ状態のブロックを研磨治具に粘着保持する際、素
子分割する切断位置に切り込みを入れ、該切り込み深さ
を調整することにより、磁気ヘッドスライダのキャンバ
量をコントロールすることができ、クラウン方向とキャ
ンバ方向を個々の曲率で形成することができる。

【００２３】さらに、磁気ヘッドスライダの裏面を粘着
力を有するシート状の粘着弾性部材で粘着保持すること
により、複数個の磁気ヘッドスライダの空気摺動面が研
磨定盤に均一に当接し、各磁気ヘッドスライダ全体に亘
って均一な研磨を行うことができ、ポールハイト寸法を
劣化させない信頼性の高い磁気ヘッドスライダが得られ
る。

【００２４】さらに、複数個の磁気ヘッド素子からなる
ＲＯＷ状態のブロックに磁気ヘッドスライダの空気摺動
面をクラウン形成した後、空気摺動面のレール溝を形成
することにより、安定した空気摺動面形状が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態におけるクラウン加工用治具
の説明図である。

【図２】従来技術におけるクラウン加工方法の説明図で
ある。

【図３】磁気ヘッドスライダの空気摺動面におけるクラ
ウンおよびキャンバを示す説明図である。

【図４】本発明の実施形態における研磨方法による切り
込み深さと平坦度の関係を示したグラフである。

【図５】本発明の実施形態における磁気ヘッドスライダ
の製造工程図である。

【符号の説明】

１ 研磨定盤 ７ 研磨治具 ９ 調整部材 １０ 磁気ヘッド １０ａ 空気摺動面 １０ｂ レール溝 １１ 切り込み １３ 磁気ヘッド素子 １５ ブロック １６ 粘着弾性部材 ２６ 被加工物貼り付け台

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄膜磁気ヘッドウエハから、ＲＯＷ（素
   子列）切断、治具接着、研削、研磨を経てポールハイト
   加工に至る製造工程から成る磁気ヘッドスライダ加工で
   あって、磁気ヘッドスライダの裏面を研磨治具に保持し
   て、前記磁気ヘッドスライダの空気摺動面を凹球面型の
   研磨面を有する研磨定盤上で研磨し、前記研磨定盤の凹
   球面形状を前記磁気ヘッドスライダの空気摺動面に凸球
   面を転写することによって、前記磁気ヘッドスライダの
   空気摺動面にポジティブなクラウンとポジティブなキャ
   ンバとを形成する磁気ヘッドスライダの研磨方法におい
   て、複数個の磁気ヘッド素子からなるＲＯＷ状態のブロ
   ックを前記研磨治具に保持し、複数個の磁気ヘッドスラ
   イダの空気摺動面を同時に一括して研磨処理することを
   特徴とする磁気ヘッドスライダの研磨方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の磁気ヘッドスライダの研
   磨方法において、複数個の磁気ヘッド素子からなるＲＯ
   Ｗ状態のブロックを研磨治具に保持する際、素子分割す
   る切断位置に切り込みを入れ、該切り込み深さを調整す
   ることにより、クラウン方向とキャンバ方向を個々の曲
   率で形成することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッ
   ドスライダの研磨方法。
3. 【請求項３】 請求項１記載の磁気ヘッドスライダの研
   磨方法において、前記研磨治具には、前記磁気ヘッドス
   ライダが着脱可能な粘着力を有したシート状の粘着弾性
   部材を設け、前記磁気ヘッドスライダの裏面を前記シー
   ト状の粘着弾性部材で粘着保持することを特徴とする請
   求項１記載の磁気ヘッドスライダの研磨方法。
4. 【請求項４】 請求項１記載の磁気ヘッドスライダの研
   磨方法において、複数個の磁気ヘッド素子からなるＲＯ
   Ｗ状態のフロックを、同時に一括してクラウン形成した
   後、空気摺動面のレール溝を形成することを特徴とした
   請求項１記載の磁気ヘッドスライダの研磨方法。
5. 【請求項５】 請求項１記載の磁気ヘッドスライダの研
   磨方法において使用する研磨治具であって、前記磁気ヘ
   ッドスライダが着脱可能な粘着力を有したシート状の粘
   着弾性部材を設け、前記磁気ヘッドスライダの裏面を前
   記シート状の粘着弾性部材で粘着保持するように構成さ
   れていることを特徴とする磁気ヘッドスライダの研磨治
   具。