JPH07210847A - ラップ加工治具及びこれを用いた薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 低原価で高精度のラップ加工を行うことがで
き、ウェハ当たりの磁気ヘッドバーの取り数を向上させ
る生産性に優れたラップ加工治具及びこれを用いた薄膜
磁気ヘッドの製造方法の提供を目的とする。 【構成】 ラップ治具７と、ラップ治具７に対向したラ
ップ定盤８と、ラップ治具７とラップ定盤８との間に配
置されたラップ加工される磁気ヘッドバー３の全高より
浅い溝部６を有する弾性体５と、を備えた構成を有して
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はコンピュータ等の磁気記
録装置に用いられる磁気ヘッド、特に薄膜磁気ヘッド用
のラップ加工治具及びこれを用いた薄膜磁気ヘッドの製
造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ハードディスク装置の高容量化に
伴い、磁気ヘッドの小型化，狭トラック，狭ギャップ
化，低インダクタンス化が要求されている。この要望に
応えるものとして、薄膜磁気ヘッドが主流となってきて
おり、これらの製造工程で使用される磁気ヘッドバーの
ラップ加工装置においても、高精度で生産性の高いラッ
プ加工装置が要求されている。

【０００３】以下に従来のラップ加工装置について説明
する。図５は従来のラップ加工装置の要部断面図であ
る。１，２は磁気ヘッドバーの切断面等のラップ加工を
行う両面ラップ定盤、３は数個〜数十個の薄膜磁気ヘッ
ド素子部が配置された被ラップ加工を行う磁気ヘッドバ
ー、４は磁気ヘッドバー３を挟着固定して研磨加工を行
うラップキャリアである。

【０００４】以上のように構成されたラップ加工装置に
ついて、以下それを用いた薄膜磁気ヘッドの製造方法に
ついて説明する。まず、薄膜磁気ヘッド素子部が形成さ
れたウェハを切断し、磁気ヘッドブロックを切り出した
後、更に数個〜数十個の薄膜磁気ヘッド素子部が配置さ
れた磁気ヘッドバー３を切り出して、この磁気ヘッドバ
ー３の切断面（両面）のラップ加工を行うために両面ラ
ップ定盤１，２の間に複数個の磁気ヘッドバー３を配置
し、ラップキャリア４で挟着固定した後、両面ラップ定
盤１，２で押圧しながら磁気ヘッドバー３の両面をラッ
プ加工を行い切断面の歪を除去する。

【０００５】尚、ラップ加工装置によっては両面ラップ
定盤１，２に代えて、磁気ヘッドバー３のフロント面を
ラップ治具に貼り付けてバック面のみをラップ定盤によ
りラップ加工を行う場合もある。いずれの場合も磁気ヘ
ッドバー３のバック面にラップ加工を施すことにより、
フロント面のラップ加工後における磁気記録媒体対向面
に形成された空気ベアリング面（以下；ＡＢＳと略す）
の歪を無くし、ヘッドスライダー単体のクラウンを正ク
ラウンとし、良好なコンタクトスタートストップ（ＣＳ
Ｓ）特性を得るためである。

【０００６】次に、両面ラップ加工された磁気ヘッドバ
ー３はフロント面の溝加工を行い、ＡＢＳ規制により所
定のＡＢＳ寸法となるように加工を行う。ＡＢＳ加工を
施した磁気ヘッドバー３はバック面をラップ治具に貼り
付けてラップ定盤により各薄膜磁気ヘッドのギャップデ
プスが所定の寸法になるまでフロント面のラップ加工を
行う。次に、各薄膜磁気ヘッド単体に切断加工を施し薄
膜磁気ヘッドが完成する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、複数本の磁気ヘッドバーを同時にバック面
のラップ加工を行う際にウェハから切り出した各磁気ヘ
ッドバーの全高差が最大十数μｍ程度あり、これを揃え
るためにはラップ加工しろを大きく取る必要があり、ウ
ェハ当たりの磁気ヘッドバーの切り出せる本数が少なく
なり、生産性に欠けるという問題点があった。また、磁
気ヘッドバーの全高が等しいものを選別してラップ加工
を行う場合には、切り出した磁気ヘッドバーの全高を各
々測定し、これらのランク分けを行う必要があり、製造
工程を増大させるという問題点を有していた。

【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、低原価で高精度のラップ加工を行うことができ、ウ
ェハ当たりの磁気ヘッドバーの取り数を多くすることが
でき生産性に優れたラップ加工治具及びこれを用いた薄
膜磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１に記載のラップ加工治具は、ラップ
治具と、前記ラップ治具に対向したラップ定盤と、前記
ラップ治具と前記ラップ定盤との間に配置されたラップ
加工される磁気ヘッドバーの全高より浅い溝部を有する
弾性体と、を備えた構成を有している。

【００１０】請求項２に記載の薄膜磁気ヘッドの製造方
法は、対向するラップ治具とラップ定盤との間に磁気ヘ
ッドバーを挟着して前記磁気ヘッドバーのラップ加工を
行う磁気ヘッドバー加工工程を備えた薄膜磁気ヘッドバ
ーの製造方法であって、前記ラップ治具と前記ラップ定
盤との間に弾性体を配置して前記弾性体の溝部に前記磁
気ヘッドバーを嵌着して前記ラップ治具及び／又はラッ
プ定盤により前記弾性体及び前記磁気ヘッドバーを押圧
しながら前記磁気ヘッドバーのラップ加工を行う磁気ヘ
ッドバーラップ加工工程を備えた構成を有している。

【００１１】ここで、弾性体としては、天然ゴム，合成
ゴム等が用いられる。弾性体は磁気ヘッドバーを嵌着す
る溝部をラップ定盤側にして配置される。

【００１２】

【作用】この構成によって、微小寸法差を有する磁気ヘ
ッドバーであっても、弾性体がこの微小寸法差を吸収
し、磁気ヘッドバーの加工面がラップ定盤に均一に当接
し、各磁気ヘッドバーの加工量を一定にすることができ
る。また、ラップ液が磁気ヘッドバーと溝部との隙間に
充填し、磁気ヘッドバーがずれるのを防止することがで
きる。

【００１３】

【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。図１（ａ）は本発明の一実施例にお
けるラップ加工装置の要部底面図であり、図１（ｂ）は
本発明の一実施例における図１（ａ）のＸ−Ｘ′の要部
断面図である。３は磁気ヘッドバー、５はラップ治具７
に固定された弾性体、６は弾性体５に複数個形成された
磁気ヘッドバー３を嵌着するための溝部、８はラップ定
盤である。ここで、溝部６は磁気ヘッドバー３の全高よ
り浅く形成されている。

【００１４】以上のように構成されたラップ加工装置に
ついて、以下それを用いた薄膜磁気ヘッドの製造方法を
説明する。図２（ａ）は本発明の一実施例における磁気
ヘッドブロック切断工程を示す要部平面図であり、図２
（ｂ）は本発明の一実施例における磁気ヘッドバーの切
断工程を示す要部斜視図であり、図２（ｃ）は本発明の
一実施例における磁気ヘッドバーのラップ加工工程を示
す要部断面図である。９は電磁変換素子部を形成したウ
ェハを切断した磁気ヘッドブロックである。

【００１５】まず、磁気コア，コイル等の電磁変換素子
部が形成されたウェハから図２（ａ）に示すように磁気
ヘッドブロック９を切り出す。次に、図２（ｂ）に示す
ように磁気ヘッドブロック９から更に数個〜数十個の電
磁変換素子部が配置された磁気ヘッドバー３を切り出
す。次に、切り出された磁気ヘッドバー３は図２（ｃ）
に示すように本発明のラップ加工治具の弾性体５に形成
された溝部６に磁気ヘッドバー３のバック面が加工面と
なるように嵌着し、ラップ定盤８により磁気ヘッドバー
３のバック面のラップ加工を行い切断面の歪を除去す
る。この時、全高が異なる複数の磁気ヘッドバー３を同
時にラップ加工しても、弾性体５を介して磁気ヘッドバ
ー３に荷重をかけているために各磁気ヘッドバー３の全
高差を弾性体５の変形量で吸収し、各磁気ヘッドバー３
の加工面はラップ定盤８にそれぞれ等しく当接され、各
磁気ヘッドバー３の加工量は等しくなる。次に、図３に
よりＡＢＳの加工工程について説明する。図３（ａ）は
本発明の一実施例におけるＡＢＳ加工工程を示す要部斜
視図であり、図３（ｂ）は本発明の一実施例におけるギ
ャップデプス加工工程を示す要部断面図であり、図３
（ｃ）は本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッドの要
部斜視図である。ラップ加工された磁気ヘッドバー３
は、図３（ａ）に示すようにフロント面の溝加工を行
い、ＡＢＳ規制により所定のＡＢＳ寸法となるように加
工を行う。ＡＢＳ加工を施した磁気ヘッドバー３は、図
３（ｂ）に示すようにバック面をラップ治具に貼り付け
てラップ定盤８により各薄膜磁気ヘッドのギャップデプ
スが所定の寸法になるまでフロント面のラップ加工を行
う。この時、ラップ治具７に貼り付けた磁気ヘッドバー
３はワックスの応力により図４に示すように変形する。
図４（ａ）はワックスの応力による磁気ヘッドバーの変
形を示す要部断面図であり、図４（ｂ）磁気ヘッドバー
のラップ加工後の形状を示す要部断面図であり、図４
（ｃ）はラップ加工後ラップ治具から磁気ヘッドバーを
取り外した状態を示す要部断面図である。ラップ治具７
にワックスで貼り付けた磁気ヘッドバー３はワックスの
応力により図４（ａ）に示すように、凹形状に微少変形
する。このような状態でフロント面のラップ加工を施し
て図４（ｂ）に示すようにフラットな状態にした後、ラ
ップ治具７から取り外すと、磁気ヘッドバー３は、図４
（ｃ）に示すようにワックスの応力から開放されて、逆
に凸形状に微少変形するが、磁気ヘッドバー３のバック
面とフロント面の加工応力は等しいので、磁気ヘッドバ
ー３の変形に寄与するのはワックスの応力のみであり、
磁気ヘッドバー３の形状は微少であるが凸形状となる。
次に、図３（ｃ）に示すように各薄膜磁気ヘッド単体に
切断加工を施し、薄膜磁気ヘッド１０が完成する。

【００１６】また、ＴＰＣスライダー等のようにＡＢＳ
面をイオンミリング等の方法で形成する場合でもフロン
ト面をラップ加工し、所定のギャップデプス寸法を得て
凸面形状を形成し、その後、イオンミリング等の方法に
よりＡＢＳ形状を形成してもよい。

【００１７】以上のように本実施例によれば、磁気ヘッ
ドバー３の全高より浅い溝部６を複数有する弾性体５を
ラップ治具７とラップ定盤８との間に配置したラップ加
工装置を用いて、この弾性体５の溝部６に磁気ヘッドバ
ー３を嵌着してラップ加工を行うことにより微小寸法差
のある磁気ヘッドバー３を同時に一定量のラップ加工を
行うことができる。また、磁気ヘッドスライダーのＡＢ
Ｓ面の形状は、磁気ヘッドバー３の凸形状により正のク
ラウンとなり良好なＣＳＳ特性を得ることができる。

【００１８】

【発明の効果】以上のように本発明は、磁気ヘッドバー
のラップ加工装置において、対向するラップ治具とラッ
プ定盤との間に弾性体を配置し、磁気ヘッドバーの微小
寸法差をこの弾性体に吸収させることにより全高が異な
る複数の磁気ヘッドバーを同時にかつ一定量のラップ加
工を行うことができる低原価で高精度のラップ加工治具
及び加工しろが少なくてすむウェハ当たりの磁気ヘッド
バーの取り数を向上させる生産性に優れた薄膜磁気ヘッ
ドの製造方法を実現できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）本発明の一実施例におけるラップ加工装
置の要部底面図 （ｂ）図１（ａ）のＸ−Ｘ′の要部断面図

【図２】（ａ）本発明の一実施例における磁気ヘッドブ
ロック切断工程を示す要部平面図 （ｂ）本発明の一実施例における磁気ヘッドバーの切断
工程を示す要部斜視図 （ｃ）本発明の一実施例における磁気ヘッドバーのラッ
プ加工工程を示す要部断面図

【図３】（ａ）本発明の一実施例におけるＡＢＳ加工工
程を示す要部斜視図 （ｂ）本発明の一実施例におけるギャップデプス加工工
程を示す要部断面図 （ｃ）本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッドの要部
斜視図

【図４】（ａ）ワックスの応力による磁気ヘッドバーの
変形を示す要部断面図 （ｂ）磁気ヘッドバーのラップ加工後の形状を示す要部
断面図 （ｃ）ラップ加工後ラップ治具から磁気ヘッドバーを取
り外した状態を示す要部断面図

【図５】従来のラップ加工装置の要部断面図

【符号の説明】

１，２ 両面ラップ定盤 ３ 磁気ヘッドバー ４ ラップキャリア ５ 弾性体 ６ 溝部 ７ ラップ治具 ８ ラップ定盤 ９ 磁気ヘッドブロック １０ 薄膜磁気ヘッド

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ラップ治具と、前記ラップ治具に対向した
   ラップ定盤と、前記ラップ治具と前記ラップ定盤との間
   に配置されたラップ加工される磁気ヘッドバーの全高よ
   り浅い溝部を有する弾性体と、を備えたことを特徴とす
   るラップ加工治具。
2. 【請求項２】対向するラップ治具とラップ定盤との間に
   磁気ヘッドバーを挟着して前記磁気ヘッドバーのラップ
   加工を行う磁気ヘッドバー加工工程を備えた薄膜磁気ヘ
   ッドバーの製造方法であって、前記ラップ治具と前記ラ
   ップ定盤との間に弾性体を配置して前記弾性体の溝部に
   前記磁気ヘッドバーを嵌着して前記ラップ治具及び／又
   はラップ定盤により前記弾性体及び前記磁気ヘッドバー
   を押圧しながら前記磁気ヘッドバーのラップ加工を行う
   磁気ヘッドバーラップ加工工程を備えたことを特徴とす
   る薄膜磁気ヘッドの製造方法。