JPH10105930A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH10105930A JPH10105930A JP25272196A JP25272196A JPH10105930A JP H10105930 A JPH10105930 A JP H10105930A JP 25272196 A JP25272196 A JP 25272196A JP 25272196 A JP25272196 A JP 25272196A JP H10105930 A JPH10105930 A JP H10105930A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気ギャップ部の面性状が良好な磁気ヘッド
及びその製造方法を得ること。 【解決手段】 本発明の磁気ヘッドの製造方法は、先
ず、ＡＢＳ面研磨治具３０と研磨定盤４０とをともに、
例えば、時計方向に回転させてＡＢＳ面２Ａ、２Ｂをク
ラウン形状に仕上げ、その後、研磨定盤４０の回転を止
め、ＡＢＳ面研磨治具３０のみを回転させて、磁気ディ
スクに対向する磁気ギャップ部４（ＡＢＳ面２Ａ、２
Ｂ）の表面を研磨し、その磁気ヘッドの表面の研磨方向
を、その磁気ヘッドで形成される磁気トラックと平行な
一方向に限定して研磨することを特徴としている。
及びその製造方法を得ること。 【解決手段】 本発明の磁気ヘッドの製造方法は、先
ず、ＡＢＳ面研磨治具３０と研磨定盤４０とをともに、
例えば、時計方向に回転させてＡＢＳ面２Ａ、２Ｂをク
ラウン形状に仕上げ、その後、研磨定盤４０の回転を止
め、ＡＢＳ面研磨治具３０のみを回転させて、磁気ディ
スクに対向する磁気ギャップ部４（ＡＢＳ面２Ａ、２
Ｂ）の表面を研磨し、その磁気ヘッドの表面の研磨方向
を、その磁気ヘッドで形成される磁気トラックと平行な
一方向に限定して研磨することを特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッド、特
に、ＭＲ型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法に関し、そ
の磁気媒体に対向する磁気ヘッドの表面の面粗度を改善
できる磁気ヘッド及びその製造方法に関するものであ
る。
に、ＭＲ型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法に関し、そ
の磁気媒体に対向する磁気ヘッドの表面の面粗度を改善
できる磁気ヘッド及びその製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】先ず、図３乃至図１１を参照しながら、
従来技術の磁気ヘッド及びその製造方法を説明する。図
３は従来技術のＭＲ型薄膜磁気ヘッドの一例を示してい
て、同図Ａはその平面図、同図Ｂは同図ＡのＢ−Ｂ線上
における断面図、同図Ｃは同図Ａに示した磁気ヘッドの
磁気ギャップ部を示す拡大平面図であり、図４は多数の
磁気ヘッドチップが形成されているウエハの平面図であ
り、図５は図４に続く工程を示していて、図４に示した
ウエハから切断した１本の磁気ヘッドチップブロックを
示す斜視図であり、図６は図５に続く工程を示してい
て、図５に示した磁気ヘッドチップブロックのフロント
面の研磨工程を示す斜視図であり、図７は図６に続く工
程を示していて、図６に示した研磨工程で研磨された磁
気ヘッドチップブロックのフロント面に溝を形成する溝
加工工程を示す斜視図であり、図８は図７に続く切断工
程で切断して得られた１個の磁気ヘッドチップを示した
平面図であり、図９は図８で得た個々の磁気ヘッドチッ
プを治具の周面に固定した状態を示す平面図であり、図
１０は図９のＡＢＳ面研磨治具に固定された磁気ヘッド
チップの表面を研磨する従来技術の研磨方法を説明する
ための研磨定盤との平面図であり、そして図１１は従来
技術の研磨方法により研磨された磁気ヘッドチップの磁
気ギャップ部の表面性状を示す従来技術の磁気ヘッドチ
ップの磁気ギャップ部の拡大平面図である。
従来技術の磁気ヘッド及びその製造方法を説明する。図
３は従来技術のＭＲ型薄膜磁気ヘッドの一例を示してい
て、同図Ａはその平面図、同図Ｂは同図ＡのＢ−Ｂ線上
における断面図、同図Ｃは同図Ａに示した磁気ヘッドの
磁気ギャップ部を示す拡大平面図であり、図４は多数の
磁気ヘッドチップが形成されているウエハの平面図であ
り、図５は図４に続く工程を示していて、図４に示した
ウエハから切断した１本の磁気ヘッドチップブロックを
示す斜視図であり、図６は図５に続く工程を示してい
て、図５に示した磁気ヘッドチップブロックのフロント
面の研磨工程を示す斜視図であり、図７は図６に続く工
程を示していて、図６に示した研磨工程で研磨された磁
気ヘッドチップブロックのフロント面に溝を形成する溝
加工工程を示す斜視図であり、図８は図７に続く切断工
程で切断して得られた１個の磁気ヘッドチップを示した
平面図であり、図９は図８で得た個々の磁気ヘッドチッ
プを治具の周面に固定した状態を示す平面図であり、図
１０は図９のＡＢＳ面研磨治具に固定された磁気ヘッド
チップの表面を研磨する従来技術の研磨方法を説明する
ための研磨定盤との平面図であり、そして図１１は従来
技術の研磨方法により研磨された磁気ヘッドチップの磁
気ギャップ部の表面性状を示す従来技術の磁気ヘッドチ
ップの磁気ギャップ部の拡大平面図である。
【０００３】なお、本明細書では、「磁気ヘッド」の一
例として、通常、磁気ディスクに情報信号を記録し、ま
たは磁気ディスクに記録された情報信号を読み出すため
の磁気記録再生装置に、フライングヘッドとして組み込
まれている「ＭＲ（磁気リラクタンス）型薄膜磁気ヘッ
ド」を採り上げて説明する。しかし、以後、「ＭＲ型薄
膜磁気ヘッド」を単に「磁気ヘッド」と略記する。そし
てこの「磁気ヘッド」の磁気ディスクと対向する、磁気
ギャップ部が形成されている面を磁気ヘッドの「ＡＢＳ
面（エアベアリングサーフィス）」または「表面」と記
す。
例として、通常、磁気ディスクに情報信号を記録し、ま
たは磁気ディスクに記録された情報信号を読み出すため
の磁気記録再生装置に、フライングヘッドとして組み込
まれている「ＭＲ（磁気リラクタンス）型薄膜磁気ヘッ
ド」を採り上げて説明する。しかし、以後、「ＭＲ型薄
膜磁気ヘッド」を単に「磁気ヘッド」と略記する。そし
てこの「磁気ヘッド」の磁気ディスクと対向する、磁気
ギャップ部が形成されている面を磁気ヘッドの「ＡＢＳ
面（エアベアリングサーフィス）」または「表面」と記
す。
【０００４】先ず初めに、本明細書で採り上げる磁気ヘ
ッドの構造の一例を図３を用いて説明する。この磁気ヘ
ッド１は磁気媒体の一つである磁気ディスク（不図示）
と対面する面の両側にＡＢＳ面２Ａ、２Ｂが、中央部に
溝３が形成されており、そして一方のＡＢＳ面２Ａに磁
気ギャップ部４が形成されている。この磁気ギャップ部
４は、薄膜技術で磁性金属の長短３本のコア５Ａ、５
Ｂ、５Ｃが形成されており、コア５Ａとコア５Ｂとの間
で記録ギャップ６が、そしてコア５Ｂとコア５Ｃとの間
で再生ギャップ７が形成されている。磁気トラック幅は
これらコア５Ａ、５Ｂ、５Ｃの下層に形成されているＭ
Ｒ層（不図示）で規定されている。
ッドの構造の一例を図３を用いて説明する。この磁気ヘ
ッド１は磁気媒体の一つである磁気ディスク（不図示）
と対面する面の両側にＡＢＳ面２Ａ、２Ｂが、中央部に
溝３が形成されており、そして一方のＡＢＳ面２Ａに磁
気ギャップ部４が形成されている。この磁気ギャップ部
４は、薄膜技術で磁性金属の長短３本のコア５Ａ、５
Ｂ、５Ｃが形成されており、コア５Ａとコア５Ｂとの間
で記録ギャップ６が、そしてコア５Ｂとコア５Ｃとの間
で再生ギャップ７が形成されている。磁気トラック幅は
これらコア５Ａ、５Ｂ、５Ｃの下層に形成されているＭ
Ｒ層（不図示）で規定されている。
【０００５】このような構造の磁気ヘッド１は、図４乃
至図１１に示した加工工程で製造される。図４に多数の
磁気ヘッドチップ（以下、単に「ヘッドチップ」と略記
する）１０２がマトリックス状に形成されているウエハ
１０１を示した。これらのヘッドチップ１０２は成膜工
程でほぼ磁気ヘッドとして機能できる状態に既に加工さ
れているものである。
至図１１に示した加工工程で製造される。図４に多数の
磁気ヘッドチップ（以下、単に「ヘッドチップ」と略記
する）１０２がマトリックス状に形成されているウエハ
１０１を示した。これらのヘッドチップ１０２は成膜工
程でほぼ磁気ヘッドとして機能できる状態に既に加工さ
れているものである。
【０００６】次に、切断工程で、このウエハ１０１を一
行または一列毎に、図５に示したように、複数個のヘッ
ドチップ１０２が一列に並んだ状態のヘッドチップブロ
ック１０３に切断する。図５において、このヘッドチッ
プブロック１０３の上面をフロント面（磁気ギャップ部
４が形成されている面、ＡＢＳ面２Ａ、２Ｂが形成され
る面でもある）１０３Ａとし、従って、その反対面をバ
ック面１０３Ｂとする。
行または一列毎に、図５に示したように、複数個のヘッ
ドチップ１０２が一列に並んだ状態のヘッドチップブロ
ック１０３に切断する。図５において、このヘッドチッ
プブロック１０３の上面をフロント面（磁気ギャップ部
４が形成されている面、ＡＢＳ面２Ａ、２Ｂが形成され
る面でもある）１０３Ａとし、従って、その反対面をバ
ック面１０３Ｂとする。
【０００７】このヘッドチップブロック１０３は、次
に、図６に示したように、そのフロント面１０３Ａを上
にし、バック面１０３Ｂを下にしてデプス研磨治具２０
の表面に貼付け、固定する。そして、所定の深さのギャ
ップデプスが形成されるように、図示していない研磨工
具を用いてフロント面１０３Ａを所定の厚みになるまで
研磨する。
に、図６に示したように、そのフロント面１０３Ａを上
にし、バック面１０３Ｂを下にしてデプス研磨治具２０
の表面に貼付け、固定する。そして、所定の深さのギャ
ップデプスが形成されるように、図示していない研磨工
具を用いてフロント面１０３Ａを所定の厚みになるまで
研磨する。
【０００８】所定の深さのギャップデプスに仕上げられ
ると、次に、図７に示したように、その研磨されたヘッ
ドチップブロック１０３の各ヘッドチップ１０２のフロ
ント面１０３Ａ（ＡＢＳ面）に溝３を施す。この溝加工
は、通常、エッチングによって行われる。溝３が形成さ
れることにより、その溝３の両側に前記ＡＢＳ面２Ａ、
２Ｂが形成されることになる。
ると、次に、図７に示したように、その研磨されたヘッ
ドチップブロック１０３の各ヘッドチップ１０２のフロ
ント面１０３Ａ（ＡＢＳ面）に溝３を施す。この溝加工
は、通常、エッチングによって行われる。溝３が形成さ
れることにより、その溝３の両側に前記ＡＢＳ面２Ａ、
２Ｂが形成されることになる。
【０００９】溝加工が終了すると、次に、図８に示した
ように、ヘッドチップブロック１０３の各ヘッドチップ
１０２間を切断し、個々のヘッドチップ１０２に切り離
す。これらの個々のヘッドチップ１０２は、図９に示し
たように、それらのＡＢＳ面２Ａ、２Ｂを上側にして、
回転軸３１を中心にして回転する円盤状のＡＢＳ面研磨
治具３０の表面外周部に貼着、固定する。この固定に当
たっては、例えば、ＡＢＳ面２Ａ、２Ｂ及び溝３がＡＢ
Ｓ面研磨治具３０の法線方向を向くようにして各ヘッド
チップ１０２を固定する。
ように、ヘッドチップブロック１０３の各ヘッドチップ
１０２間を切断し、個々のヘッドチップ１０２に切り離
す。これらの個々のヘッドチップ１０２は、図９に示し
たように、それらのＡＢＳ面２Ａ、２Ｂを上側にして、
回転軸３１を中心にして回転する円盤状のＡＢＳ面研磨
治具３０の表面外周部に貼着、固定する。この固定に当
たっては、例えば、ＡＢＳ面２Ａ、２Ｂ及び溝３がＡＢ
Ｓ面研磨治具３０の法線方向を向くようにして各ヘッド
チップ１０２を固定する。
【００１０】次に、図１０に示したように、このＡＢＳ
面研磨治具３０に固定した複数のヘッドチップ１０２
を、それらのＡＢＳ面２Ａ、２Ｂを、ラップ機側に取り
付けられ、回転軸４１を中心にして、例えば、矢印の時
計方向に回転する研磨定盤４０の研磨面４２に対面する
ようにセットし、ＡＢＳ面研磨治具３０及び研磨定盤４
０を、例えば、矢印の時計方向に回転させ、各ヘッドチ
ップ１０２のＡＢＳ面２Ａ、２Ｂを最終研磨し、それら
をクラウン形状に仕上げる。このような加工工程を経て
完成したヘッドチップ１０２は組立工程に回され、ディ
スクドライブのような磁気記録再生装置に組み込まれ
る。
面研磨治具３０に固定した複数のヘッドチップ１０２
を、それらのＡＢＳ面２Ａ、２Ｂを、ラップ機側に取り
付けられ、回転軸４１を中心にして、例えば、矢印の時
計方向に回転する研磨定盤４０の研磨面４２に対面する
ようにセットし、ＡＢＳ面研磨治具３０及び研磨定盤４
０を、例えば、矢印の時計方向に回転させ、各ヘッドチ
ップ１０２のＡＢＳ面２Ａ、２Ｂを最終研磨し、それら
をクラウン形状に仕上げる。このような加工工程を経て
完成したヘッドチップ１０２は組立工程に回され、ディ
スクドライブのような磁気記録再生装置に組み込まれ
る。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】この最終工程のＡＢＳ
面の研磨に当たっては、前記のように、ＡＢＳ面研磨治
具３０及び研磨定盤４０を共に時計方向に回転させて、
ＡＢＳ面２Ａ、２Ｂを研磨するために、研磨痕の方向は
ランダムに発生し、各ヘッドチップ表面の面粗度を悪化
させていた。また、研磨傷Ｓもランダムに発生すること
から、特に、図１１に示したように（図１１にはＡＢＳ
面２Ａのみしか図示していない。ＡＢＳ面２Ｂも同
様）、磁気ギャップ部４にクロスするような研磨傷Ｓが
発生した場合には、磁気ヘッド１の磁気特性を劣化させ
る一要因にもなっていた。
面の研磨に当たっては、前記のように、ＡＢＳ面研磨治
具３０及び研磨定盤４０を共に時計方向に回転させて、
ＡＢＳ面２Ａ、２Ｂを研磨するために、研磨痕の方向は
ランダムに発生し、各ヘッドチップ表面の面粗度を悪化
させていた。また、研磨傷Ｓもランダムに発生すること
から、特に、図１１に示したように（図１１にはＡＢＳ
面２Ａのみしか図示していない。ＡＢＳ面２Ｂも同
様）、磁気ギャップ部４にクロスするような研磨傷Ｓが
発生した場合には、磁気ヘッド１の磁気特性を劣化させ
る一要因にもなっていた。
【００１２】本発明はこのような問題点を解決すること
を課題とするものであって、磁気ギャップ部の面性状が
良好な磁気ヘッド及びその製造方法を得ることを目的と
する。
を課題とするものであって、磁気ギャップ部の面性状が
良好な磁気ヘッド及びその製造方法を得ることを目的と
する。
【００１３】
【課題を解決するための手段】従って、本発明の磁気ヘ
ッドは、磁気ディスクのような磁気媒体に対向する磁気
ギャップ部における研磨痕が、該磁気ギャップにより形
成される磁気トラックと平行またはほぼ平行な一方向に
形成されている。また、本発明の磁気ヘッドの製造方法
は、磁気媒体に対向する磁気ギャップ部の表面を研磨す
るに当たり、前記磁気ヘッドの表面の研磨方向を一方向
に限定して研磨する方法を採って、前記課題を解決して
いる。
ッドは、磁気ディスクのような磁気媒体に対向する磁気
ギャップ部における研磨痕が、該磁気ギャップにより形
成される磁気トラックと平行またはほぼ平行な一方向に
形成されている。また、本発明の磁気ヘッドの製造方法
は、磁気媒体に対向する磁気ギャップ部の表面を研磨す
るに当たり、前記磁気ヘッドの表面の研磨方向を一方向
に限定して研磨する方法を採って、前記課題を解決して
いる。
【００１４】従って、本発明によれば、磁気ギャップ部
の研磨痕が磁気トラックとほぼ平行に揃えることがで
き、磁気ギャップ部の表面性状が向上する。
の研磨痕が磁気トラックとほぼ平行に揃えることがで
き、磁気ギャップ部の表面性状が向上する。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図１及び図２を参照しなが
ら、本発明の磁気ヘッド及びその製造方法を説明する。
図１は図９のＡＢＳ面研磨治具に固定された磁気ヘッド
チップのＡＢＳ面を研磨する本発明の研磨方法を説明す
るための研磨定盤とＡＢＳ面研磨治具との動作関係を示
していて、同図Ａは第１の研磨段階を示す平面図、同図
Ｂは第２の研磨段階を示す平面図であり、そして図２は
本発明の研磨方法により研磨された磁気ヘッドチップの
磁気ギャップ部の表面性状を示す本発明の磁気ヘッドチ
ップの磁気ギャップ部の拡大平面図である。
ら、本発明の磁気ヘッド及びその製造方法を説明する。
図１は図９のＡＢＳ面研磨治具に固定された磁気ヘッド
チップのＡＢＳ面を研磨する本発明の研磨方法を説明す
るための研磨定盤とＡＢＳ面研磨治具との動作関係を示
していて、同図Ａは第１の研磨段階を示す平面図、同図
Ｂは第２の研磨段階を示す平面図であり、そして図２は
本発明の研磨方法により研磨された磁気ヘッドチップの
磁気ギャップ部の表面性状を示す本発明の磁気ヘッドチ
ップの磁気ギャップ部の拡大平面図である。
【００１６】本発明の磁気ヘッドの製造方法において
は、図１０に示したＡＢＳ面の最終研磨工程を除いて、
図３乃至図９に示した他の諸工程は同一であるため、そ
れらの工程の説明は省略する。従って、図１には、その
最終工程であるヘッドチップのＡＢＳ面研磨工程のみを
示した。図１に示した各ヘッドチップ１０２のＡＢＳ面
研磨治具３０への固定の仕方、そのＡＢＳ面研磨治具３
０を研磨定盤４０にセットする関係は、図１０に示した
状態と同一である。
は、図１０に示したＡＢＳ面の最終研磨工程を除いて、
図３乃至図９に示した他の諸工程は同一であるため、そ
れらの工程の説明は省略する。従って、図１には、その
最終工程であるヘッドチップのＡＢＳ面研磨工程のみを
示した。図１に示した各ヘッドチップ１０２のＡＢＳ面
研磨治具３０への固定の仕方、そのＡＢＳ面研磨治具３
０を研磨定盤４０にセットする関係は、図１０に示した
状態と同一である。
【００１７】本発明の磁気ヘッドの製造方法における、
この最終ＡＢＳ面研磨工程では、先ず、図１Ａに示した
従来技術の最終ＡＢＳ面研磨工程と同様に、ＡＢＳ面研
磨治具３０及び研磨定盤４０を、例えば、時計方向に共
に回転させ、各ヘッドチップ１０２のＡＢＳ面２Ａ、２
Ｂを研磨し、それらをクラウン形状に仕上げる。その
後、図１Ｂに示したように、研磨定盤４０の回転を止
め、ＡＢＳ面研磨治具３０のみを回転させて研磨を行
う。なお、図１ＡにおけるＡＢＳ面研磨治具３０及び研
磨定盤４０の回転はともに時計方向、或いは反時計方向
に回転させるだけでなく、互いに反対方向に回転させて
もよく、また、図１ＢにおけるＡＢＳ面研磨治具３０の
回転は時計方向のみならず反時計方向に回転させてもよ
いことを付言しておく。
この最終ＡＢＳ面研磨工程では、先ず、図１Ａに示した
従来技術の最終ＡＢＳ面研磨工程と同様に、ＡＢＳ面研
磨治具３０及び研磨定盤４０を、例えば、時計方向に共
に回転させ、各ヘッドチップ１０２のＡＢＳ面２Ａ、２
Ｂを研磨し、それらをクラウン形状に仕上げる。その
後、図１Ｂに示したように、研磨定盤４０の回転を止
め、ＡＢＳ面研磨治具３０のみを回転させて研磨を行
う。なお、図１ＡにおけるＡＢＳ面研磨治具３０及び研
磨定盤４０の回転はともに時計方向、或いは反時計方向
に回転させるだけでなく、互いに反対方向に回転させて
もよく、また、図１ＢにおけるＡＢＳ面研磨治具３０の
回転は時計方向のみならず反時計方向に回転させてもよ
いことを付言しておく。
【００１８】このＡＢＳ面研磨治具３０のみが回転する
ことで、図２に示したように、各ヘッドチップ１０２の
磁気ギャップ部４表面に形成される研磨痕Ｐｔは一方向
に揃えることができ、その表面に研磨傷Ｓが付いても、
それらの研磨傷Ｓも全て同一の方向に揃えることができ
る。
ことで、図２に示したように、各ヘッドチップ１０２の
磁気ギャップ部４表面に形成される研磨痕Ｐｔは一方向
に揃えることができ、その表面に研磨傷Ｓが付いても、
それらの研磨傷Ｓも全て同一の方向に揃えることができ
る。
【００１９】このＡＢＳ面の研磨を行う当たって、図１
０に示した工程で、ヘッドチップ１０２をＡＢＳ面研磨
治具３０に貼り付ける際の貼り付け方向を、本発明の磁
気ヘッド１により磁気ディスクに形成される磁気トラッ
クと研磨痕Ｐｔとが平行に揃うように貼り付けておくこ
とで、研磨痕Ｐｔの方向を特定することができる。
０に示した工程で、ヘッドチップ１０２をＡＢＳ面研磨
治具３０に貼り付ける際の貼り付け方向を、本発明の磁
気ヘッド１により磁気ディスクに形成される磁気トラッ
クと研磨痕Ｐｔとが平行に揃うように貼り付けておくこ
とで、研磨痕Ｐｔの方向を特定することができる。
【００２０】
【発明の効果】以上、記したように、本発明の磁気ヘッ
ド及びその製造方法によれば、研磨痕Ｐｔが、磁気トラ
ックと平行に揃うことによって、図２に示したように、
記録ギャップ６部分及び再生ギャップ７部分を横切る研
磨傷Ｓの発生が皆無となり、磁気ヘッド１の磁気特性の
劣化を低減することができ、安定した磁気特性が得られ
る。また、ランダムに発生していた研磨傷が無くなり、
一方向に研磨傷Ｓも揃うことで、その磁気ギャップ部４
の表面粗度Ｒａを１ｎｍ以下と大幅に改善することがで
きた。
ド及びその製造方法によれば、研磨痕Ｐｔが、磁気トラ
ックと平行に揃うことによって、図２に示したように、
記録ギャップ６部分及び再生ギャップ７部分を横切る研
磨傷Ｓの発生が皆無となり、磁気ヘッド１の磁気特性の
劣化を低減することができ、安定した磁気特性が得られ
る。また、ランダムに発生していた研磨傷が無くなり、
一方向に研磨傷Ｓも揃うことで、その磁気ギャップ部４
の表面粗度Ｒａを１ｎｍ以下と大幅に改善することがで
きた。
【図１】 ＡＢＳ面研磨治具に固定された磁気ヘッドチ
ップのＡＢＳ面を研磨する本発明の研磨方法を説明する
ための研磨定盤とＡＢＳ面研磨治具との動作関係を示し
ていて、同図Ａは第１の研磨段階を示す平面図、同図Ｂ
は第２の研磨段階を示す平面図である。
ップのＡＢＳ面を研磨する本発明の研磨方法を説明する
ための研磨定盤とＡＢＳ面研磨治具との動作関係を示し
ていて、同図Ａは第１の研磨段階を示す平面図、同図Ｂ
は第２の研磨段階を示す平面図である。
【図２】 本発明の研磨方法により研磨された磁気ヘッ
ドチップの磁気ギャップ部の表面性状を示す本発明の磁
気ヘッドチップの磁気ギャップ部の拡大平面図である。
ドチップの磁気ギャップ部の表面性状を示す本発明の磁
気ヘッドチップの磁気ギャップ部の拡大平面図である。
【図３】 従来技術のＭＲ型薄膜磁気ヘッドの一例を示
していて、同図Ａはその平面図、同図Ｂは同図ＡのＢ−
Ｂ線上における断面図、同図Ｃは同図Ａに示した磁気ヘ
ッドの磁気ギャップ部を示す拡大平面図である。
していて、同図Ａはその平面図、同図Ｂは同図ＡのＢ−
Ｂ線上における断面図、同図Ｃは同図Ａに示した磁気ヘ
ッドの磁気ギャップ部を示す拡大平面図である。
【図４】 多数の磁気ヘッドチップが形成されているウ
エハの平面図である。
エハの平面図である。
【図５】 図４に続く工程を示していて、図４に示した
ウエハから切断した１本の磁気ヘッドチップブロックを
示す斜視図である。
ウエハから切断した１本の磁気ヘッドチップブロックを
示す斜視図である。
【図６】 図５に続く工程を示していて、図５に示した
磁気ヘッドチップブロックのフロント面の研磨工程を示
す斜視図である。
磁気ヘッドチップブロックのフロント面の研磨工程を示
す斜視図である。
【図７】 図６に続く工程を示していて、図６に示した
研磨工程で研磨された磁気ヘッドチップブロックのフロ
ント面に溝を形成する溝加工工程を示す斜視図である。
研磨工程で研磨された磁気ヘッドチップブロックのフロ
ント面に溝を形成する溝加工工程を示す斜視図である。
【図８】 図７に続く切断工程で切断して得られた１個
の磁気ヘッドチップを示した平面図である。
の磁気ヘッドチップを示した平面図である。
【図９】 図８で得た個々の磁気ヘッドチップを治具の
周面に固定した状態を示す平面図である。
周面に固定した状態を示す平面図である。
【図１０】 図９のＡＢＳ面研磨治具に固定された磁気
ヘッドチップの表面を研磨する従来技術の研磨方法を説
明するための研磨定盤との平面図である。
ヘッドチップの表面を研磨する従来技術の研磨方法を説
明するための研磨定盤との平面図である。
【図１１】 従来技術の研磨方法により研磨された磁気
ヘッドチップの磁気ギャップ部の表面性状を示す従来技
術の磁気ヘッドチップの磁気ギャップ部の拡大平面図で
ある。
ヘッドチップの磁気ギャップ部の表面性状を示す従来技
術の磁気ヘッドチップの磁気ギャップ部の拡大平面図で
ある。
１…磁気ヘッド、１０１…ウエハ、１０２…ヘッドチッ
プ、１０３…ヘッドチップブロック、２Ａ，２Ｂ…ＡＢ
Ｓ面、３…溝、４…磁気ギャップ部、５Ａ、５Ｂ、５Ｃ
…コア、６…記録ギャップ、７…再生ギャップ、３０…
ＡＢＳ面研磨治具、４０研磨定盤
プ、１０３…ヘッドチップブロック、２Ａ，２Ｂ…ＡＢ
Ｓ面、３…溝、４…磁気ギャップ部、５Ａ、５Ｂ、５Ｃ
…コア、６…記録ギャップ、７…再生ギャップ、３０…
ＡＢＳ面研磨治具、４０研磨定盤
Claims (2)
- 【請求項１】 磁気媒体に対向する磁気ギャップ部の研
磨痕が、該磁気ギャップにより形成される磁気トラック
と平行またはほぼ平行な一方向に形成されていることを
特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 磁気媒体に対向する磁気ヘッドの表面を
研磨するに当たり、前記磁気ヘッドの表面の研磨方向を
一方向に限定して研磨することを特徴とする磁気ヘッド
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25272196A JPH10105930A (ja) | 1996-09-25 | 1996-09-25 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25272196A JPH10105930A (ja) | 1996-09-25 | 1996-09-25 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10105930A true JPH10105930A (ja) | 1998-04-24 |
Family
ID=17241346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25272196A Pending JPH10105930A (ja) | 1996-09-25 | 1996-09-25 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10105930A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6458019B1 (en) | 2001-03-19 | 2002-10-01 | Fujitsu Limited | Method of manufacturing magnetic head |
| CN100341048C (zh) * | 2003-10-29 | 2007-10-03 | 新科实业有限公司 | 用于研磨薄膜磁头的装置和方法 |
| US8390962B2 (en) * | 2005-09-29 | 2013-03-05 | HGST Netherlands B.V. | Lapping method and station to achieve tight dimension controls for both read and write elements of magnetic recording heads and magnetic storage device formed thereby |
-
1996
- 1996-09-25 JP JP25272196A patent/JPH10105930A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6458019B1 (en) | 2001-03-19 | 2002-10-01 | Fujitsu Limited | Method of manufacturing magnetic head |
| CN100341048C (zh) * | 2003-10-29 | 2007-10-03 | 新科实业有限公司 | 用于研磨薄膜磁头的装置和方法 |
| US8390962B2 (en) * | 2005-09-29 | 2013-03-05 | HGST Netherlands B.V. | Lapping method and station to achieve tight dimension controls for both read and write elements of magnetic recording heads and magnetic storage device formed thereby |
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