JPH0696429A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明はハードディスクドライブ装置に搭載さ
れる磁気ヘッド及びその製造方法に関し、製造時におけ
る歩留りの向上を図りうると共に浮上特性の向上を図る
ことを目的とする。 【構成】トラック幅Ｄを規制するトラック幅規制溝３
４，３５を磁気ヘッド部２１より空気ベアリング面２
８，２９に連続して形成する。また、磁気ヘッドの製造
方法において、磁気ヘッド部２１をスライダ２２の装着
部３１に固定した後、磁気ヘッド部２１のトラック幅を
規制するトラック幅規制溝３４，３５を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッド及びその製造
方法に係り、特にハードディスクドライブ装置に搭載さ
れる磁気ヘッド及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にコンピュータ，ワードプロセッサ
等の記憶装置としてハードディスクドライブ装置が知ら
れている。従来、このハードディスクドライブ装置に搭
載れさている磁気ヘッドの構造を図７及び図８に示す。

【０００３】同図に示す磁気ヘッド１は、コンポジット
タイプと呼ばれているものである。同図中、２は磁気ヘ
ッド部、３はスライダである。磁気ヘッド部２は第１の
磁気ヘッドコア４と、第２の磁気ヘッドコア５とにより
構成されている。この一対の磁気ヘッドコア４，５は、
ギャップ材となるガラス材を介して突き合わされ、この
ガラス材により固定されて磁気ヘッド部２が形成され
る。また、第１の磁気ヘッドコア４及び第２の磁気ヘッ
ドコア５の上部は、所定のトラック幅（図中、矢印Ｄで
示す）となるよう磁気ヘッド部２の製造工程において予
め高精度に加工されている。

【０００４】一方、スライダ３はセラミックにより形成
されており、磁気ディスク上で磁気ヘッド７が浮動する
よう空気ベアリング面９，１０が形成されると共に、こ
の空気ベアリング面９，１０の間位置には浮動時に空気
が流通することにより磁気ヘッド７の安定化を図る空気
溝１１が形成されている。また、磁気ヘッド部２が配設
される位置には、溝状の装着部１２が形成されている。
磁気ヘッド部２はこの装着部１２に装着された上で、ガ
ラス材１３にてスライダ３に固定される構成とされてい
た。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかるに上記従来の磁
気ヘッド１では、磁気ヘッド部２の製造工程において第
１の磁気ヘッドコア４及び第２の磁気ヘッドコア５の上
部にトラック幅加工を行った後にスライダ３にガラス封
止する製造方法が採られていたため、トラック幅加工時
及び磁気ヘッド部２を装着部１２に装着する時に各磁気
ヘッドコア４，５のトラック形成部が欠けてしまい歩留
りが低下するおそれがあるという問題点があった。ま
た、形状の小さな第１の磁気ヘッドコア４及び第２の磁
気ヘッドコア５の上部にトラック幅加工を行わなければ
ならず、トラック幅の精度が出し難いという問題点もあ
った。特に近年、ハードディスクドライブ装置は高密度
記録化が進んでおり、トラック幅は狭くなってきてい
る。よって、上記問題は重要である。

【０００６】また、上記従来の磁気ヘッド１では、スラ
イダ３に形成されている空気ベアリング面９，１０は単
に平滑面とされていたため、安定した浮上特性が得られ
ないという問題点があった。

【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、製造時における歩留りの向上を図りうると共に浮
上特性の向上を図った磁気ヘッド及びその製造方法を提
供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、磁気
ヘッドコアにより構成されており所定トラック幅の記録
再生部が形成されてなる磁気ヘッド部と、浮動を行うた
めの空気ベアリング面を有すると共に該磁気ヘッドコア
を装着する装着部を有するスライダとにより構成される
磁気ヘッドにおいて、該磁気ヘッド部を該空気ベアリン
グ面に連続して切削することによりトラック幅を所定ト
ラック幅とするトラック幅規制加工部を有することを特
徴とするものである。

【０００９】請求項２の発明は、磁気ギャップを有する
磁気ヘッド部を形成する工程と、スライダに浮動を行な
うための空気ベアリング面及び該磁気ヘッド部を装着す
る装着部を形成する工程と、該装着部に該磁気ヘッド部
を装着し、固定する工程とを有する磁気ヘッドの製造方
法において、前記磁気ヘッド部を前記スライダに形成さ
れた装着部に固定した後、前記磁気ヘッド部のトラック
幅を所定のトラック幅に規制するトラック幅規制加工部
を形成することを特徴とするものである。

【００１０】

【作用】請求項１の発明によれば、磁気ヘッド部から空
気ベアリング面に連続してトラック幅を所定トラック幅
とするトラック幅規制加工部が形成されるため、所定の
トラック幅が得られると共に菊再生時の磁気ヘッドの浮
上特性を安定させ得る。また、請求項２の発明によれ
ば、トラック幅規制加工部は磁気ヘッドコアをスライダ
の装着部に固定した後に形成されるため、磁気ヘッド部
単体でトラック幅の加工を行う構成に比べて磁気ヘッド
のトラック形成位置近傍における機械的強度を向上させ
得る。このため、トラック幅規制加工部の加工時に磁気
ヘッド部の破損等を防止できると共に狭幅トラックの形
成が容易に行なえ、安価に記録密度の向上を図り得る。

【００１１】

【実施例】次に本発明の実施例について図面と共に説明
する。図１は、本発明の第１実施例である磁気ヘッド２
０を示している。この磁気ヘッド２０はハードディスク
ドライブ装置に搭載れさるものであり、大略すると磁気
ヘッド部２１とスライダ２２とにより構成されている。

【００１２】磁気ヘッド部２１は、図１に加え図４に示
すように、第１の磁気ヘッドコア２３と第２の磁気ヘッ
ドコア２４とにより構成されている。この一対の磁気ヘ
ッドコア２３，２４は、ギャップ２５の形成位置にギャ
ップ材（例えばガラス）を介して突き合わされ、低融点
ガラス２６により接合されている。また、２７はコイル
巻回部であり、この部位に図示しないコイルが巻回され
る。

【００１３】一方、スライダ２２は窒化珪素等よりなる
セラミックにより形成されており、磁気ディスク上で磁
気ヘッド２０が浮動するよう空気ベアリング面２８，２
９が形成されると共に、この空気ベアリング面２８，２
９の間位置には浮動時に空気が流通することにより磁気
ヘッド２０の安定化を図る空気溝３０が形成されてい
る。また、上記の磁気ヘッド部２１が配設される位置
（本実施例では空気ベアリング面２８側の所定位置）に
は、溝状の装着部３１が形成されており、磁気ヘッド部
２１はこの装着部１２内にガラス材３３により固定され
ている。

【００１４】更に、上記磁気ヘッド部２１が配設される
空気ベアリング面２８には、磁気ヘッド部２１のトラッ
ク幅を規制するトラック幅規制溝３４，３５が形成され
ている。このトラック幅規制溝３４，３５は、共に断面
Ｖ字状の溝（Ｖ溝）であり、トラック幅規制溝３４，３
５を形成することにより磁気ヘッド部２１の上部は所定
のトラック幅寸法（図中矢印Ｄで示す）とされる。ま
た、トラック幅規制溝３４，３５は、磁気ヘッド部２１
から空気ベアリング面２８（スライダ２２）に連続的に
形成されており、空気ベアリング面２８を長手方向に貫
通する状態で形成されている。

【００１５】一方、空気ベアリング面２８と対を成すよ
う形成されている空気ベアリング面２９にも、トラック
幅規制溝３４，３５と同一構成の負圧発生溝３６，３７
が形成されている。このように、空気ベアリング面２
８，２９にトラック幅規制溝３４，３５及び負圧発生溝
３６，３７を設けることにより、磁気記録再生時に磁気
ディスクに対し浮動する磁気ヘッド２０の安定性を図る
ことができる。以下、この理由について説明する。

【００１６】図２は、磁気ヘッド２０が搭載れさるハー
ドディスクドライブ装置３８の概略構成を示している。
同図において、３９はケース，４０は磁気ディスク，４
１はアクチュエータを示している。アクチュエータ４１
は、軸４２に回動自在に軸承されたアーム４３，このア
ーム４３を回動駆動するボイスコイルモータ（ＶＣＭ）
４４，アーム４３の先端に取り付けられたスプリングア
ーム４５、磁気ディスク４０を回動するスピンドルモー
タ４７等により構成されており、磁気ヘッド２０はスプ
リングアーム４５の先端に設けられたジンバルプレート
４６に搭載されている。

【００１７】ＶＣＭ４４が駆動することによりアーム４
３は軸４２を中心として回動し、これに伴い磁気ヘッド
２０も移動することにより、磁気ヘッド２０は磁気ディ
スク４０に形成されている所定トラックに位置決めされ
る構成とされている。

【００１８】スピンドルモータ４７により磁気ディスク
４０が回動されることにより、磁気ディスク４０上には
周方向に対する空気の流れが発生する。磁気ヘッド２０
には空気ベアリング面２８，２９が形成されており、こ
の空気ベアリング面２８，２９により磁気ヘッド２０と
磁気ディスク４０との間には上記空気の流れが進入して
空気軸受が構成され、よって磁気ヘッド２０は浮上す
る。

【００１９】上記構成のハードディスクドライブ装置３
８において、アーム４３は軸４２を中心として同図に矢
印で示す方向に回動変位するため、磁気ヘッド２０は常
に磁気ディスク４０の回転により発生する空気の流れに
沿った方向に向くのではなく、この方向に対し斜めに磁
気ヘッド２０が向く場合が生じる。換言すれば、空気の
流れ方向が磁気ヘッド２０に形成されているトラック幅
規制溝３６，３７及び負圧発生溝３６，３７の延在方向
と異なる方向となる場合が生じる。

【００２０】このように、トラック幅規制溝３６，３７
及び負圧発生溝３６，３７の延在方向と異なる方向に空
気が流れる場合、図３に示すように磁気ディスク４０の
回転により流れる空気（同図中、参照符号４８で示す）
により、トラック幅規制溝３６，３７及び負圧発生溝３
６，３７内に存在する空気は吸い出され（吸い出される
空気を同図中、参照符号４９，５０で示す）、トラック
幅規制溝３６，３７及び負圧発生溝３６，３７内には負
圧が発生する。即ち、トラック幅規制溝３６，３７及び
負圧発生溝３６，３７が設けられたスライダ２２は負圧
スライダーとして機能する。

【００２１】上記の如く発生する負圧は、磁気ヘッド２
０を磁気ディスク４０に吸引する力として作用する。従
って、磁気ヘッド２０の浮動量は低く制御され安定した
浮上特性を得ることができ、磁気記録再生特性の安定化
を図ることができる。

【００２２】続いて、上記構成を有する磁気ヘッド２０
の製造方法について説明する。

【００２３】磁気ヘッド２０は、大略すると磁気ヘッド
部２１及びスライダ２２を夫々別個に製造し、両者を組
み合わせた上で本発明の特徴となる溝加工を行うことに
より製造される。

【００２４】磁気ヘッド部２１を製造するには、先ずフ
ェライトよりなるコアブロックを加工することにより、
所定形状の第１及び第２の磁気ヘッドコア２３，２４を
形成する。続いて、この第１及び第２の磁気ヘッドコア
２３，２４を、ギャップ２５の形成位置にギャップ材を
介在させた上で突き合わせ、低融点ガラス２６等の接合
材で接合する。次に磁気ディスク４０との対向面となる
上面部を鏡面研磨することにより磁気ヘッド部２１が形
成される。

【００２５】従来では、この磁気ヘッド部の製造工程に
おいて、磁気ヘッド部上部にトラック幅加工が実施され
ていた。磁気ヘッド部は、単体状態（スライダへの組み
込み前の状態）においては機械的強度が弱いものであ
り、このように機械的強度が弱い磁気ヘッド部に幅寸法
の狭いトラック幅を加工するのは非常に困難であり、磁
気ヘッド部の欠け等の損傷事故が頻繁に発生していた。

【００２６】しかるに、本発明方法では磁気ヘッド部２
１の製造工程においてはトラック幅加工は行わず、よっ
て磁気ヘッド部２１が製造された状態において、磁気ヘ
ッド部２１の幅寸法（図中、矢印ｄで示す）はトラック
幅寸法Ｄ（図１参照）よりも厚い寸法（ｄ＞Ｄ）となっ
ている。よって、本発明方法における磁気ヘッド部２１
の製造工程において、磁気ヘッド部２１に欠け等の損傷
事故が発生するようなことはない。

【００２７】一方、スライダ２２は従来より行われてい
る製造方法に従って製造される。即ち、生地状の窒化珪
素等のセラミック素材を所定形状に成形した上で焼成
し、続いて焼成されたスライダブロックに空気溝３０，
装着部３１等を形成して図４に示す形状のスライダ２２
を製造する。

【００２８】上記のように製造された磁気ヘッド部２１
及びスライダ２２は、磁気ヘッド部２１をスライダ２２
に形成されている装着部３１に位置決めしつつ装着し、
両者間に形成される間隙部分にガラス材３３を装填する
ことにより一体化される。図５は磁気ヘッド部２１とス
ライダ２２が一体化された状態を示している。続いて、
磁気ヘッド部２１とスライダ２２が一体化した状態にお
いて、空気溝３０の両側部位に鏡面研磨加工が実施され
空気ベアリング面２８，２９が形成される。

【００２９】続いて、このように形成された空気ベアリ
ング面２８，２９に対し、本発明の特徴となる溝加工が
実施され、トラック幅規制溝３４，３５及び負圧発生溝
３６，３７が形成される。図６は、トラック幅規制溝３
４，３５を形成した状態を示している。

【００３０】トラック幅規制溝３４，３５及び負圧発生
溝３６，３７は、ダイシングソーを用いた切削加工によ
り行われる。この各溝３４〜３７の加工時においては、
磁気ヘッド部２１及びスライダ２２には切削による大き
な応力が印加される。しかるに、単体状態においては機
械的強度の弱い磁気ヘッド部２１であっても、スライダ
２２と一体化することによりスライダ２２及びガラス材
３３により保持されその機械的強度は向上しているた
め、トラック幅加工を実施しても磁気ヘッド部２１に欠
け等の損傷が発生するようなことはない。

【００３１】このように、磁気ヘッド部２１をスライダ
２２に一体化した後にトラック幅加工を実施する製造方
法とすることにより、磁気ヘッド２０の製造歩留りを向
上させることができる。また、ダイシングソーの切削形
状をＶ字状となるよう選定しておくことにより、トラッ
ク幅Ｄを容易に狭くすることが可能となり、高密度記録
対応の磁気ヘッド２０を容易に製造することが可能とな
る。また、前記したように負圧スライダとして機能する
トラック幅規制溝３４，３５及び負圧発生溝３６，３７
を同一工程が製造することができるため、複数の溝を形
成するにも拘わらず、短時間で容易に溝加工を行うこと
ができ、製造効率を向上させることができる。

【００３２】図７に本発明の第２実施例である磁気ヘッ
ド５０の斜視図を示す。この磁気ヘッド５０は第１実施
例の磁気ヘッド２０と同様ハードディスクドライブ装置
に搭載されるものであり、大略すると磁気ヘッド部５１
とスライダ５２とにより構成されている。

【００３３】磁気ヘッド部５１は図７及び図８に示すよ
うに第１の磁気ヘッドコア５３と第２の磁気ヘッドコア
５４とにより構成されている。この一対の磁気ヘッドコ
ア５３，５４はギャップ５５の形成位置にギャップ材
（例えばガラス材）を介して突き合わされ、低融点ガラ
ス等の接合材５６により接合される。５７はコイル巻回
部であり、この部位にコイルが巻回される。

【００３４】スライダ５２は窒化珪素等よりなるセラミ
ックにより形成されており、磁気ディスク上で磁気ヘッ
ド５０が浮動するよう空気ベアリング面５８が形成され
ている。

【００３５】スライダ５２には磁気ヘッド部５１を一体
的に装着するための装着部５９が形成されていて、磁気
ヘッド部５１は装着部５９内にガラス材等の接合材６０
により固定される。

【００３６】また、スライダ５２の空気ベアリング面５
８には磁気ヘッド部５１のトラック幅を規制するトラッ
ク幅規制溝６１，５６２が形成されている。

【００３７】このトラック幅規制溝６１，６２は共にそ
の断面形状がＶ字状をなし、トラック幅規制溝６１，６
２により磁気ヘッド部５１の上部は所定のトラック幅Ｄ
とされる。また、トラック幅規制溝６１，６２は磁気ヘ
ッド部５１から空気ベアリング面５８に連続して形成さ
れており、空気ベアリング面５８を長手方向（矢印Ａ方
向）に貫通する状態で形成されている。

【００３８】次に、上記構成の磁気ヘッド５０の製造方
法について図８乃至図１０と共に説明する。

【００３９】磁気ヘッド５０は、第１実施例の磁気ヘッ
ド２０と略同じ製造工程で製造され大略すると磁気ヘッ
ド部５１及びスライダ５２を夫々別個に製造し、両者を
組み合わせた上で本発明の特徴となる溝加工を行うこと
により製造される。

【００４０】磁気ヘッド部５１を製造するには、先ずフ
ェライトよりなるコアブロックを加工することにより、
所定形状の第１及び第２の磁気ヘッドコア５３，５４を
形成する。続いて、この第１及び第２の磁気ヘッドコア
５３，５４を、ギャップ５５の形成位置にギャップ材を
介在させた上で突き合わせ、低融点ガラス等の接合材５
６で接合する。次に磁気ディスク４０との対向面となる
上面部を鏡面研磨することにより磁気ヘッド部５１が形
成される。

【００４１】一方、スライダ５２は生地状の窒化珪素等
のセラミック素材を所定形状に成形した上で焼成し、続
いて焼成されたスライダブロックに装着部５９を形成し
て図８に示す形状とされる。

【００４２】上記のように製造された磁気ヘッド部５１
及びスライダ５２は、磁気ヘッド部５１をスライダ５２
に形成されている装着部５９に位置決めしつつ装着し、
両者間に形成される間隙部分に接合材６０を装填するこ
とにより一体化される。磁気ヘッド部５１とスライダ５
２が一体化した状態において、鏡面研磨加工が実施され
空気ベアリング面５８が形成される。図９は磁気ヘッド
５１とスライダ５２とが一体化され、空気ベアリング面
５８が形成された状態を示している。

【００４３】続いて、このように形成された空気ベアリ
ング面５８に対し、本発明の特徴となるダイシングソー
等を用いた切削加工により溝加工が実施され、トラック
幅規制溝６１，６２が形成される。図１０は、トラック
幅規制溝６１のみを形成した状態を示している。

【００４４】以上の構成により第１実施例と同様な効果
が得られる。

【００４５】また、本実施例ではトラック幅規制溝６
１，６２が空気溝、負圧発生溝としても作用しており、
空気溝、負圧発生溝を形成しない分第１実施例の磁気ヘ
ッド２０より容易に加工できる。

【００４６】図１１に本発明の第３実施例になる磁気ヘ
ッド７０の斜視図を示す。本実施例の磁気ヘッド７０は
第１及び第２実施例の磁気ヘッド２０，５０と同様ハー
ドディスクドライブ装置に搭載されるもので、磁気ヘッ
ド部７１、及び、スライダ７２より構成されている。

【００４７】磁気ヘッド部７１は図１１及び図１２に示
すように第１の磁気ヘッドコア７３、及び第２の磁気ヘ
ッドコア７４より構成され、ギャップ７５の形成位置に
ギャップ材を介して突合わされ、接合材７６により接合
される。コイルはコイル巻回部７７に巻回され、信号の
記録再生が行われる。

【００４８】スライダ７２はセラミック等により形成さ
れ、磁気ヘッド７０を浮動させるための空気ベアリング
面７８及び磁気ヘッド部７１を一体に装着するために装
着部７９が形成されている。

【００４９】磁気ヘッド部７１は装着部７９内に接合材
８０により固定される。

【００５０】また、スライダ７２の空気ベアリング面７
８には磁気ヘッド部７１のトラック幅を規制するための
１本のトラック幅規制溝８１が形成される。

【００５１】このトラック幅規制溝８１は断面形状がＶ
字状をなし、磁気ヘッド部７１のギャップ７５を所定の
トラック幅Ｄに規制する。またトラック幅規制溝８１は
スライダ７２に連続して形成され、空気溝、負圧溝とし
て作用する。

【００５２】次に、上記構成の磁気ヘッド７０の製造方
法について図１２及び図１３と共に説明する。

【００５３】磁気ヘッド７０は、第１及び第２実施例の
磁気ヘッド２０，５０と略同じ製造工程で製造され大略
すると磁気ヘッド部７１及びスライダ７２を夫々別個に
製造し、両者を組み合わせた上で本発明の特徴となる溝
加工を行うことにより製造される。

【００５４】磁気ヘッド部７１を製造するには、先ずフ
ェライトよりなるコアブロックを加工することにより、
所定形状の第１及び第２の磁気ヘッドコア７３，７４を
形成する。続いて、この第１及び第２の磁気ヘッドコア
７３，７４を、ギャップ７５の形成位置にギャップ材を
介在させた上で突き合わせ、低融点ガラス等の接合材７
６で接合する。次に磁気ディスク４０との対向面となる
上面部を鏡面研磨することにより磁気ヘッド部７１が形
成される。

【００５５】一方、スライダ７２は生地状の窒化珪素等
のセラミック素材を所定形状に成形した上で焼成し、続
いて焼成されたスライダブロックに装着部７９を形成し
て図１２に示す形状とされる。

【００５６】上記のように製造された磁気ヘッド部７１
及びスライダ７２は、図１３に示すように磁気ヘッド部
７１をスライダ７２に形成されている装着部７９に位置
決めしつつ装着し、両者間に形成される間隙部分に接合
材８０を装填することにより一体化される。磁気ヘッド
部７１とスライダ７２が一体化した状態において、鏡面
研磨加工が実施され空気ベアリング面７８が形成され
る。

【００５７】続いて、このように形成された空気ベアリ
ング面７８に対し、本発明の特徴となるダイシングソー
等を用いた切削加工により溝加工が実施され、トラック
幅規制溝８１が形成される。

【００５８】以上の構成により第１及び第２実施例と同
様な効果が得られる。

【００５９】また、本実施例ではトラック幅規制溝８１
を一本とし、かつ、空気溝、負圧発生溝として作用させ
ることにより、磁気ヘッド２０，５０より容易に加工で
きる構成とされている。

【００６０】図１４に本発明の第４実施例になる磁気ヘ
ッド９０の斜視図を示す。本実施例の磁気ヘッド９０は
第１，第２，第３実施例の磁気ヘッド２０，５０，７０
と同様ハードディスクドライブ装置に搭載されるもの
で、磁気ヘッド部９１、及び、スライダ９２より構成さ
れている。

【００６１】磁気ヘッド部９１は図１４及び図１５に示
すように第１の磁気ヘッドコア９３、及び第２の磁気ヘ
ッドコア９４より構成され、ギャップ９５の形成位置に
ギャップ材を介して突合わされ、接合材９６により接合
される。コイルはコイル巻回部９７に巻回され、信号の
記録再生が行われる。

【００６２】スライダ９２はセラミック等により形成さ
れ、磁気ヘッド９０を浮動させるための空気ベアリング
面９８及び磁気ヘッド部９１を一体に装着するために装
着部９９が形成されている。

【００６３】磁気ヘッド部９１は装着部９９内に接合材
１００により固定される。

【００６４】また、スライダ９２の空気ベアリング面の
周縁部９８には磁気ヘッド部９１のトラック幅を規制す
るためのトラック幅規制テーパ部１０１が形成される。

【００６５】このトラック幅規制テーパ部１０１は空気
ベアリング面９８の縁部をテーパ状に切削してなり、磁
気ヘッド部９１のギャップ９５を所定のトラック幅Ｄに
規制する。またトラック幅規制テーパ部１０１はスライ
ダ９２の他の縁部のテーパ加工と同一工程によりスライ
ダ９２に連続して形成される。

【００６６】次に、上記構成の磁気ヘッド９０の製造方
法について図１５及び図１６と共に説明する。

【００６７】磁気ヘッド９０は、大略すると磁気ヘッド
部９１及びスライダ９２を夫々別個に製造し、両者を組
み合わせた上でスライダ９２周縁部に本発明の特徴とな
るテーパ加工を行うことにより製造される。

【００６８】磁気ヘッド部９１を製造するには、先ずフ
ェライトよりなるコアブロックを加工することにより、
所定形状の第１及び第２の磁気ヘッドコア９３，９４を
形成する。続いて、この第１及び第２の磁気ヘッドコア
９３，９４を、ギャップ９５の形成位置にギャップ材を
介在させた上で突き合わせ、低融点ガラス等の接合材９
６で接合する。次に磁気ディスク４０との対向面となる
上面部を鏡面研磨することにより磁気ヘッド部９１が形
成される。

【００６９】一方、スライダ９２は生地状の窒化珪素等
のセラミック素材を所定形状に成形した上で焼成し、続
いて焼成されたスライダブロックに装着部９９を形成し
て図１５に示す形状とされる。

【００７０】上記のように製造された磁気ヘッド部９１
及びスライダ９２は、磁気ヘッド部９１をスライダ９２
に形成されている装着部９９に位置決めしつつ装着し、
両者間に形成される間隙部分に接合材１００を装填する
ことにより一体化される。磁気ヘッド部９１とスライダ
９２が一体化した状態において、鏡面研磨加工が実施さ
れ空気ベアリング面９８が形成される。

【００７１】続いて、このように形成された空気ベアリ
ング面９８の周縁部がテーパ状に加工される。このと
き、トラック幅規制テーパ部１０１が同一工程で形成さ
れる。以上の構成により第１実施例と同様な効果が得ら
れる。

【００７２】また、本実施例では溝加工が一切不要とな
るため、磁気ヘッド２０，５０，７０より容易に加工で
きることになる。

【００７３】尚、上記した第１乃至第４実施例では、所
謂コンポジットタイプの磁気ヘッドを例に挙げて説明し
たが、本発明方法は２レール或いは３レールタイプでモ
ノリシックタイプの磁気ヘッドの製造方法に適用するこ
とも可能である。

【００７４】また、上記した第１及び第３実施例では各
溝の溝形状を断面Ｖ字状としたが、溝の断面形状はＶ字
状に限定されるものではなく、他の形状としてもよい。
更に、溝の形成方法は、機械加工以外にも、例えばレー
ザ，エッチング，イオンミリング等の方法を用いること
も可能である。

【００７５】

【発明の効果】上述の如く請求項１の発明によれば、空
気ベアリング面にトラック幅規制加工部が磁気ヘッド部
からスライダに連続して形成されるため、このトラック
幅規制加工部により記録再生時において磁気ヘッドの空
気の流れは安定したものとなり媒体（磁気ディスク）に
向け安定した付勢力が作用し、これにより磁気ヘッドの
浮動量は低く制御され安定した浮上特性を得ることがで
きる。

【００７６】また請求項２の発明によれば、トラック幅
規制加工部は磁気ヘッドコアを装着部に装着し、固定材
によりスライダに固定された後に形成されるため、磁気
ヘッド部単体の状態でトラック幅の加工を行う構成に比
べて磁気ヘッド部のトラック形成位置近傍における機械
的強度は向上するため、トラック幅規制加工部の形成時
において磁気ヘッド部が欠ける等の損傷発生を防止する
ことができると共に、狭幅トラックの形成が可能となり
記録密度の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例である磁気ヘッドの斜視図
である。

【図２】本発明の第１実施例である磁気ヘッドを搭載し
たハードディスクドライブ装置を示す図である。

【図３】各溝部を形成することにより負圧スライダが構
成される理由を説明するための図である。

【図４】本発明になる第１実施例の磁気ヘッドの製造方
法を説明するための図である。

【図５】本発明になる第１実施例の磁気ヘッドの製造方
法を説明するための図である。

【図６】本発明になる第１実施例の磁気ヘッドの製造方
法を説明するための図である。

【図７】本発明の第２実施例である磁気ヘッドの斜視図
である。

【図８】本発明になる第２実施例の磁気ヘッドの製造方
法を説明するための図である。

【図９】本発明になる第２実施例の磁気ヘッドの製造方
法を説明するための図である。

【図１０】本発明になる第２実施例の磁気ヘッドの製造
方法を説明するための図である。

【図１１】本発明の第３実施例である磁気ヘッドの斜視
図である。

【図１２】本発明になる第３実施例の磁気ヘッドの製造
方法を説明するための図である。

【図１３】本発明になる第３実施例の磁気ヘッドの製造
方法を説明するための図である。

【図１４】本発明の第４実施例である磁気ヘッドの斜視
図である。

【図１５】本発明になる第４実施例の磁気ヘッドの製造
方法を説明するための図である。

【図１６】本発明になる第４実施例の磁気ヘッドの製造
方法を説明するための図である。

【図１７】従来の磁気ヘッドの一例を示す斜視図であ
る。

【図１８】従来の磁気ヘッドの一例を示す分解斜視図で
ある。

【符号の説明】

２０，５０，７０，９０ 磁気ヘッド ２１，５１，７１，９１ 磁気ヘッド部 ２２，５２，７２，９２ スライダ ２３，５３，７３，９３ 第１の磁気ヘッドコア ２４，５４，７４，９４ 第２の磁気ヘッドコア ２５，５５，７５，９５ ギャップ ２８，２９，５８，７８，９８ 空気ベアリング面 ３１，５９，７９，９９ 装着部 ３４，３５，６１，６２，８１ トラック幅規制溝 １０１ トラック幅規制テーパ部 ３６，３７ 負圧発生溝 ３８ ハードディスクドライブ装置 ４０ 磁気ディスク ４１ アクチュエータ ４３ アーム ４４ ＶＣＭ ４５ スプリングアーム

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気ヘッドコアにより構成されており所
   定トラック幅の記録再生部が形成されてなる磁気ヘッド
   部と、浮動を行うための空気ベアリング面を有すると共
   に該磁気ヘッドコアを装着する装着部を有するスライダ
   とにより構成される磁気ヘッドにおいて、 該磁気ヘッド部を該空気ベアリング面に連続して切削す
   ることによりトラック幅を所定トラック幅とするトラッ
   ク幅規制加工部を有することを特徴とする磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 磁気ギャップを有する磁気ヘッド部を形
   成する工程と、スライダに浮動を行なうための空気ベア
   リング面及び該磁気ヘッド部を装着する装着部を形成す
   る工程と、該装着部に該磁気ヘッド部を装着し、固定す
   る工程とを有する磁気ヘッドの製造方法において、 前記磁気ヘッド部を前記スライダに形成された装着部に
   固定した後、前記磁気ヘッド部のトラック幅を所定のト
   ラック幅に規制するトラック幅規制加工部を形成するこ
   とを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。