JP2532747B2 - 浮動型磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

浮動型磁気ヘッドの製造方法

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JP2532747B2 JP2339892A JP33989290A JP2532747B2 JP 2532747 B2 JP2532747 B2 JP 2532747B2 JP 2339892 A JP2339892 A JP 2339892A JP 33989290 A JP33989290 A JP 33989290A JP 2532747 B2 JP2532747 B2 JP 2532747B2
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は例えば、コンピュータ等の外部記憶装置であ
る固定磁気ディスク装置に使用される浮動型磁気ヘッド
の製造方法に関する。
従来の技術 コンピュータ等の外部記憶装置として使用される固定
磁気ディスク装置では、ディスク状の磁気記録媒体が30
00〜3600rpmの高速で回転するため、磁気ヘッドを磁気
記録媒体から0.3μm程度わずかに浮上させた状態で情
報の記録・再生を行うようになっている。
上記固定ディスク装置で使用される磁気ヘッドの製造
方法の従来例を第7図ないし第11図を参照しながら説明
する まず、第7図に示すように耐摩耗性を有し、非磁性ア
ルミナチタンカーバイトなどからなるセラミックの一対
のスライダブロック1,2を用意する。そして、一方のス
ライダブロック1の接合面1aの全面に、センダストなど
の金属磁性膜3をスパッタリング等により所定の膜厚で
被着させて形成する。ここで、上記金属磁性膜3の膜
厚,すなわちコア厚みが後述のトラック幅となる。
次に第8図に示すように、一対のスライダブロック1,
2をその接合面同士を衝合させてガラス溶着等により接
着一体化して第1コアブロック5を得る。この第1コア
ブロック5と同様にして製作された第2コアブロック6
に、コイル7を巻くための巻線溝8を形成する。そし
て、第9図に示すように上記第1ブロック5と第2ブロ
ック6をギャップスペーサとなるSiO2等の非磁性対薄膜
(図示せず)を介して第1,第2コア4,9を位置合わせ
し、ガラス溶着などにより接着一体化する。その後、第
10図に示すように第1コアブロック5の下面5aに磁気ヘ
ッドを浮上させるための溝10およびスライダすべり面11
を形成する。
以上のようにして製造された浮動型磁気ヘッドは、第
11図に示すように第1コアブロック5の上面5aが磁気記
録媒体12に対して浮上状態で対向する面であり、第2コ
アブロック6側を相対的進行方向でみて、後方として図
中矢印方向に上記磁気記録媒体12が走行し、第1コア4
と第2コア9との間に形成された磁気ギャップgにて情
報の記録・再生が行われている。
発明が解決しようとする課題 ところで、前述した従来の浮動型磁気ヘッドの製造方
法は、第1コアブロック5の第1コア4を一方のスライ
ダブロック1の接合面1aの全面に亘って金属磁性膜3を
被着することにより形成している。このように上記第1
コア4がスライダブロック1の全面にあると、その後方
の磁気ギャップgで情報の記録・再生を行う際にロスが
大きくなって磁気ヘッドの特性が低下する。
そこで、上記第1コア4をスライダブロック1の全面
1aに形成せず、第12図に示すように上記スライダブロッ
ク1の後方,すなわち第2コアブロック6側の一部のみ
に第1コア4′を形成する手段が考えられる。
しかしながら、このスライダブロック1ともう一方の
スライダブロック2とをその接合面同士を衝合させて接
着一体化した場合、第13図に示すように第1コア4′の
厚みにより生じる段差で、その第1コアブロック5の磁
気記録媒体12と対向する面5aに空隙Kが形成されてしま
う。一方、固定磁気ディスク装置に使用される浮動型磁
気ヘッドと磁気記録媒体は、媒体回転中は浮上して接触
していない媒体が停止した場合は両者は接触する。
従って、通常の使用において、媒体の回転を起動,あ
るいは停止する際に媒体と磁気ヘッドの接触が起こり、
媒体対向面に形成されてしまった空隙により、スライダ
の浮上姿勢が不安定となり、媒体を傷つけ、信頼性が悪
くなり、構造上問題がある。
課題を解決するための手段 この発明の浮動型磁気ヘッドは、スライダブロックの
接触面の一部分にセンダストなどの金属磁性膜を所定の
膜厚だけ被着させる工程と、スライダブロックの接合面
の全面にAl2O3などの非磁性体膜を金属磁性膜の膜厚よ
り十分厚く被着させる工程と、この上記の面を平坦化す
る工程と、上記の金属磁性膜を形成した一方のスライダ
ブロックに他方のスライダブロックをその接合面同士を
衝合して接合一体化する工程と、一対のスライダブロッ
クより、所定のコア幅となるようにスライスし、第1コ
アブロックと第2コアブロックと形成する工程と、第2
コアブロックにコイルを巻くための溝を形成する工程
と、第1コアブロックと第2コアブロックをギャップス
ペーサとなる非磁性体膜を介して第1コアと第2コアの
位置合わせ状態で接着一体化する工程と、第1コアブロ
ックに磁気ヘッドを浮上させるためのエア溝,テーパを
形成する工程とを含んでいる。さらに、この発明の浮動
型磁気ヘッドの製造方法は、非磁性体からなる一方のス
ライダブロックの接合面の一部に、コア厚さ相当のコア
埋め込み用溝を形成する工程と、 このコア埋め込み用溝の形成されたスライダブロック
の接合目に、金属磁性膜をコア厚さに相当する厚さ被着
する工程と、 この金属磁性膜が形成されたスライダブロックの接合
面を平坦化する工程と、 上記金属磁性膜を形成した一方のスライダブロックに
他方のスライダブロックをその接合面同士を衝合して接
合一体化する工程と、 接合一体化したスライダブロックから第1コアブロッ
クと第2コアブロックとを形成する工程と、 第2コアブロックにコイルを巻くための溝を形成し、
第1コアブロックの第1コアと第2コアブロックの第2
コアをギャップスペーサを介して第1,第2のコアの位置
合わせ状態で接着一体化する工程と、 を含む浮動型磁気ヘッドの製造方法を提供する。
作用 本発明方法では、一方のスライダブロックの接合面の
一部のみに形成された金属磁性膜からなる厚みの段差を
解消すべく、上記の全面に非磁性膜を形成し、上記のス
ライダブロックの接合面を平坦になるように加工するこ
とによって、このスライダブロックともう一方のスライ
ダブロックとをその接合面を衝合させて接着一体化して
も上記接合面には空隙が生じることはない。
実施例 本発明に係る浮動型磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を第1図(a)〜(c)ないし第5図を参照しながら説
明する。
まず、従来と同様、非磁体でアルミナチタンカーバイ
トなどからなるセラミックの一対のスライダブロックを
用意する。そして、第1図(a)に示すように一方のス
ライダブロック21の接合面21aの一部分にセンダストな
どの金属磁性膜22を形成する。この時に、上記金属磁性
膜22の膜厚をコア厚み分,すなわちトラック幅寸法に設
定する。次に、第1図(b)に示すように、Al2O3など
の非磁性膜をスパッタリング等により被着形成する。こ
の時に、上記非磁性膜23は、後述の作業を容易にするた
め、金属磁性膜22の厚みより十分厚く形成する。次に、
第1図(c)に示すようにスライダブロック21の接合面
21aをエッチング処理,あるいは研磨により平坦化す
る。
上述のようにして一方のスライダブロック21に金属磁
性膜22を形成した後、第2図に示すように上記スライダ
ブロック21と他方のスライダブロック24を用意する。そ
して、上記スライダブロック21,24をその接合面同士を
衝合させて、ガラス溶着などにより接着一体化する。こ
の時、前述したように、スライダブロック21の接合面21
aが平坦化されているため、スライダブロック21,24の接
合面間に空隙が生じることはない。
次に、第3図に示すように、上記の接着一体化したブ
ロックから所定の幅の第1コアブロック25と第2コアブ
ロック26を切出し、第1コアブロックと第2コアブロッ
クの接合面の第2コアブロック26側にコイルを巻くため
の溝27を形成し、略C字形の形状にする。
そして、第4図に示すように、上記第1コアブロック
25と第2コアブロック26をギャップスペーサとなるSiO2
等の非磁性体薄膜(図示せず)を介してガラス溶着など
により、第1,第2コア28,29の位置合わせ状態で接着一
体化する。
最後に、第5図に示すように、第1コアブロック25の
記録媒体対向面25aに空気混入方向に溝30を形成し、こ
の溝30によって分割された磁気コアを有するセンタート
ラック31とスライダすべり面32を形成し、浮動型磁気ヘ
ッドを得る。
この実施例によれば、第1コアをスライダブロックの
接合面の全面ではなく、第2コアブロック側の一部に形
成したことによって、記録・再生時の効率が良くなると
いう利点がある。
実施例2 第6図はこの発明の第2実施例の斜視図である。この
実施例は前記第1の実施例のスライダブロック21の接合
面21aの一部分に金属磁性膜22を形成したスライダブロ
ック21と、他のスライダブロックを接合面同士を衝合さ
せて接着した際、接合面間に空隙を生じさせないため
に、スライダブロックに金属磁性膜を形成する方法を第
6図(a)〜(c)に示す方法で行っていた。
また、第6図で示した点を除いては第1の実施例と同
様であるため同一部分には同一参照符号を付してその説
明を省略する。
以下、第6図(a)〜(c)を参照しながら説明す
る。
まず、従来、第1実施例と同様、アルミナチタンカー
バイトなどのセラミックからなる非磁性体の一対のスラ
イダブロックを用意する。そして第6図(a)に示すよ
うに、一方のスライダブロック21の接合面21aにダイシ
ングソーによりコア厚さ相当のコア埋め込み用溝33を形
成させる。次に、第6図(b)に示すように、金属磁性
膜22をコア厚さに相当する厚さを被着させる。次に、第
6図(c)に示すように、研磨によってスライダブロッ
ク21の接合面21aは、金属磁性膜22の形成部位とそれ以
外の部位とで同一平面となって平坦化される。従って、
上記スライダブロック21と他のスライダブロックを接合
面同士接着一体化しても、接合面間には空隙が生じるこ
とはない。また、第1コアをスライダブロックの接合面
の全面ではなく、第2コアブロック側の一部に形成した
ことによって、記録・再生時の高率が良くなるという利
点がある。
発明の効果 以上説明したように、本発明方法によれば、第1コア
をスライダブロックの接合面の全面ではなく、第2コア
ブロック側の一部に形成するので、第1と第2コア間の
磁気ギャップでの情報を記録・再生時にロスが少なくで
きて磁気ヘッドの記録・再生特性の低下を未然に防止で
きる。而も、上記スライダブロックの接合面を非磁性膜
で平坦化することで、もう一方のスライダブロックと接
着一体化してもその接合面間に空隙が生じることがな
く、この空隙が原因による磁気記録媒体への加傷も回避
できて、良品質で信頼性の高い磁気ヘッドを提供でき
る。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)〜(c)ないし第5図は本発明の一実施例
を説明するためのもので、第1図(a)〜(c)は一方
のスライダブロックに金属磁性膜を形成する各工程での
スライダブロックを示す斜視図、第2図は接合一体化し
た一対のスライダブロックを示す斜視図、第3図は第1
コアブロックと第2コアブロックを示す斜視図、第4図
は第1コアブロックと第2コアブロックを接合一体化し
た磁気ヘッドを示す斜視図、第5図は本発明の一実施例
によって作られた磁気ヘッドを示す斜視図である。 第6図(a)〜(c)は本発明の第2の実施例を示す斜
視図である。第7図ないし第13図は浮動型磁気ヘッドの
製造方法の従来例を説明するためのもので、第7図は一
対のスライダブロックを示す斜視図、第8図は第1コア
を形成したスライダブロックともう一方のスライダブロ
ックを示す斜視図、第9図は接合一体化した第1コアブ
ロックと第2コアブロックを示す斜視図、第10図は第1,
第2コアブロックを接合一体化した磁気ヘッドを示す斜
視図、第11図は第10図の磁気ヘッドと磁気記録媒体を示
す側面図、第12,13図は第1コアを接合面の一部に形成
したスライダブロックともう一方のスライダブロックを
示す斜視図である。 21……一方のスライダブロック、 21a……接合面、 22……金属磁性膜、 23……非磁性体膜、 24……他方のスライダブロック、 25……第1コアブロック、 25a……記録媒体対向面、 26……第2コアブロック、 27……巻線溝、 28……第1コア、 29……第2コア、 30……溝、 31……センタートラック、 32……スライダすべり面、 33……コア埋め込み用溝。

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】非磁性体からなる一方のスライダブロック
    の接合面の一部に金属性膜をコア厚み分の厚膜で被着
    し、形成する工程と、 上記スライダブロックの接合面の全面に非磁性体をコア
    厚み分以上の膜厚で被着形成する工程と、 上記スライダブロックの接合面を平坦化する工程と、 上記金属磁性膜を形成した一方のスライダブロックに他
    方のスライダブロックをその接合同士を衝合して接合一
    体化する工程と、 上記一体化したスライダブロックから第1コアブロック
    と第2コアブロックとを形成する工程と、 第2コアブロックにコイルを巻くための溝を形成し、第
    1コアブロックの第1コアと第2コアブロックの第2コ
    アをギャップスペーサを介して第1,第2コアの位置合わ
    せ状態で接着一体化する工程とを含むことを特徴とする
    浮動型磁気ヘッドの製造方法。
  2. 【請求項2】前記スライダブロックの接合面を平坦化す
    る工程が接合面の全面をエッチング,あるいは研磨によ
    り平坦化することを特徴とする請求項1に記載浮動型磁
    気ヘッドの製造方法。
  3. 【請求項3】非磁性体からなる一方のスライダブロック
    の接合面の一部に、コア厚さ相当のコア埋め込み用溝を
    形成する工程と、 このコア埋め込み用溝の形成されたスライダブロックの
    接合目に、金属磁性膜をコア厚さに相当する厚さ被着す
    る工程と、 この金属磁性膜が形成されたスライダブロックの接合面
    を平坦化する工程と、 上記金属磁性膜を形成した一方のスライダブロックに他
    方のスライダブロックをその接合面同士を衝合して接合
    一体化する工程と、 接合一体化したスライダブロックから第1コアブロック
    と第2コアブロックとを形成する工程と、 第2コアブロックにコイルを巻くための溝を形成し、第
    1コアブロックの第1コアと第2コアブロックの第2コ
    アをギャップスペーサを介して第1,第2のコアの位置合
    わせ状態で接着一体化する工程と、 を含む浮動型磁気ヘッドの製造方法。
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