JPS6374116A

JPS6374116A - 磁気ヘツド

Info

Publication number: JPS6374116A
Application number: JP21719586A
Authority: JP
Inventors: Masataka Fujii; 正孝藤井; Hiroshi Tsuchiya; 洋土屋
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1986-09-17
Filing date: 1986-09-17
Publication date: 1988-04-04

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、磁気ディスク装置等の磁気記憶装置に搭載す
る磁気ヘッドに係り、特に、高抗磁力磁気記録媒体と組
合わせて使用して好適な磁気ヘッドに関する。

〔従来の技術〕

磁気ディスク装置等の磁気記憶装置に対する大容量化の
要求は高く、それに伴い、磁気記録媒体の高抗磁力化が
進んでいる。そして、磁気ヘッドとしても、高飽和磁束
密度の磁性材料の研究、開発が進められ、これらの材料
を用いた磁気ヘッドの開発が行われている。この種の高
抗磁力磁気記録媒体に対応する磁気ヘッドに関する従来
技術として、特開昭６０−９５７０４号公報に記載され
た技術が知られている。

以下、この種従来技術による磁気ヘッドを図面により説
明する。

第９図は従来技術によるヘッドコアを示す斜視図、第１
０図は第９図に示すヘッドコアをスライダー部に組込ん
だ場合の斜視図であり、第９図。

第１０図において、１はへラドコア、２はＣコア用基板
、２′はｌコア用基板、３．３′は高飽和磁密度磁性膜
、４はガラス、５はギャップ、６は＠線窓、７はトラッ
ク幅、８はスライダーＡ、　９はスライダーＢ１１０は
磁気ヘッド、１４．１４’はスライダーシュー面である
。

ヘッドコア１は、巻線窓６を有するＣコアと、ｌコアを
ギャップ５をはさんでガラスボンディングにより接合す
ることにより一体に構成される。

ＣコアおよびＩコアは、磁性材料または非磁性材料めＣ
コア用基板２およびＩコア周基板２′上に高飽和磁束密
度の磁性材料を蒸着またはスパッタリングにより被着し
て磁性膜３，３′を形成して構成される。ヘッドコア１
は、さらに、この磁性膜３．３′がコア用基板２．２′
からはがれるのを防止するため、トラック幅７を有する
ギャップ５の両側にガラス４が充填されて構成される。

このような構成のへラドコア１は、実際に磁気記憶装置
例えば、フロッピーディスク装置に使用される場合、第
１０図に示すように、非磁性材のスライダーとともに一
体化されて磁気ヘッドに構成される。すなわち、第１０
図に示す磁気ヘッド１０は、非磁性材料からなり、かつ
溝部を有するスライダーＡ８、ヘッドコア１、非磁性材
料からなるスライダーＢ９が積層接着されて構成され、
記録媒体面とスライダーシュー面１４．１４’が接触し
て、記録再生を行う、磁性膜３．３′としては、高飽和
磁束密度材料であるセンダスト合金膜や非晶質合金膜等
が用いられる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、前記従来技術における磁気ヘッド１０は、磁性
膜３，３′としてセンダスト合金膜を用いた場合、セン
ダスト合金の線膨張係数がコア用基板２８２′に用いら
れる通常の磁性材料または非磁性材料に比較して大きい
ため、機械的な歪により、クラックが発生したり、合金
膜３．３′の磁気特性が劣化し易いという問題点がある
。また、磁性膜３，３′として非晶質合金膜を用いた場
合、非晶質合金が高温で結晶化して磁気特性を劣化させ
るため、前述したスライダーＡ８、ヘッドコア１および
スライダーＢ９の積層接合は、ガラスボンデングにより
行うことが困難であり、有機接着剤によって接合せざる
を得なかった。すなわち、スライダーＡ８、ヘッドコア
１およびスライダーＢ９の積層接合をガラスボンディン
グにより行う場合、ヘッドコア１のギャップ５の両側に
充填するガラス４は、ガラスボンディングに使用するガ
ラスよりも軟化温度の大きなものを使用しなければなら
ない、このため、このガラス４の高軟化温度により、非
晶質合金膜による磁性膜３．３′が結晶化してしまい、
磁気へラド１０は、その磁気特性が著しく劣化してしま
う、この様な磁気特性の劣化を回避するため、前記従来
技術による磁気ヘッド１０は、前述したように有機接着
剤を用いてｆＩＮ接合するが、この場合も、接金時の加
熱により充填されているガラス４にクラックが発生しを
杓　？→゛２↓が開く等の問題点があ＾、さらご二、経
時変化ご二より、スラく５−７二−Ｌ１４゜１４′とへ
ラドコア１のギャップ５の面とが、スライダーＡ８．８
９とへラドコア１との境界部で段差を生じ、記録媒体面
を損傷させる等の問題があった。

本発明の目的は、前述したような従来技術の問題点を解
決し、信頗性の高い、高抗磁力磁気記録媒体に対応でき
る磁気ヘッドを提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によれば、前記目的は、ヘッドコアの基板の材料
として非磁性材料を使用し、この基板に磁性膜形成用溝
を設け、この溝に高飽和磁束密度の磁性材料を蒸着また
はスパッタリングして磁性膜を形成し、このようにして
得た２個のコアを突合わせてギャップと磁路を有するヘ
ッドコアを形成するとともに、前記非磁性材料によりス
ライダー部をヘッドコアと一体に形成することにより達
成される。

ｆ、Ｊ乍　　甲１３Ｌ玉ら、↑ケ、較料そイヲー用−７こ・　：！　　ニ
ー　Ｂ　ｃ−、Ｅ緊ｉ牟ｌ辷ご−（Ｓ磁性膜形成用溝を
設け、この溝に高飽和磁束密度の磁性材料を蒸着または
スパッタリングして磁性膜を形成し、このようにして得
た２個のコアを突合わせて接合することにより、ギャッ
プとヘッドコアおよびスライダー部を構成できるので、
この接合をガラスボンデングで行う場合、磁性膜により
形成されるギャップの両側は、直接基板同志間でガラス
ボンディングにより接合が行われて強固なものとなり、
磁性膜のはがれやクシツクの発生を防止することができ
、スライダーとへラドコアが一体となって接合部を無く
しているので、境界部での段差の発生もなくすことがで
きる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面により詳細に説明する。

第１図は本発明による磁気ヘッドの第１の実施例を示す
斜視図、第２図は本発明による磁気ヘッドの第２の実施
例を示す斜視図、第３図は本発明による磁気ヘッドの第
３の実施例のためのへラドコアの斜視図、第４回、第５
図、第６図、第７図及び第８図は本発明による磁気ヘッ
ドの製造方法を説明する図である。第１図〜第８図にお
いて１゜２．２’、３．３’、４．５．６．７．１０及
び１４．１４’は第９図及び第１０図で説明した場合と
同一であり、ｌｌａ〜ｌｉｄ及び１１′ａ〜１１′ｄは
磁性膜形成用溝、１２は巻線窓用溝、１３．１３’は流
入側テーバ面、１５．１５’は流出側テーバ面、１６は
媒体対向面、１７はスライダー溝、１８．１８’はスラ
イダー部である。

第１図はフロッピーディスク用の磁気ヘッドを示す本発
明の第１の実施例であり、磁気ヘッド１０は、巻線窓６
を有するＣコア用基板２とスライダー部１８とが一体と
された部材と、■コア用基板２′とスライダー部１８′
とが一体化された部材が、ギャップ５を挟んでガラス４
により接合され一体化されて構成される。これらの部材
は、非磁性材料により構成され、これらの部材に磁性膜
形成用溝を設け、その溝内に高飽和磁束密度材料の磁性
Ｍ３．３’を蒸着またはスパッタリングにより形成し、
ガラス４によりこれらの部材が接合一体化された場合に
、磁性膜３．３′の接合部にトラック幅７を有する磁気
ギャップが構成され、さらに磁性膜３．３′による磁路
が構成されるように形成される。この場合、磁性膜３，
３′の接合部に構成される磁気ギャップは、５ｔｏｔ膜
またはガラス膜により形成される。第１図に示す磁気ヘ
ッド１０は、さらに、媒体対向面１６を双胴形とするた
めに、スライダーシュー面１４．１４’の中央部にスラ
イダー溝１７が設けられて構成されている。

第２図はハードディスク装置用のテーバフラット形スラ
イダーを有する磁気ヘッドを示す本発明の第２の実施例
である。この実施例の磁気ヘッド１０は、コア用基板と
スライダー部が一体とされて構成される点及び磁性膜３
．３’、ギャップ５及び磁路の形成方法の点で第１図に
示した実施例の場合と同様である。そして、この磁気ヘ
ッド１０は、媒体対向面１６に流入側テーパ１３．１３
’、流出側テーパ１５．１５’、スライダーシュー面１
４．１４’の中央部にスライダー溝１７が設けられて構
成され、さらに、磁性膜３．３′による２組の磁気ギャ
ップが設けられて構成される。

第３図は、本発明による第３の実施例のための磁気コア
を示しており、この場合スライダーは、第１０図により
説明した従来技術と同様にして図示へラドコア１の両側
に接合される。この第３図に示すヘッドコアは、磁性膜
３，３′の接合面により形成される磁気ギャップの両側
で、Ｃコア周基Ｆｉ２とＩコア用基板２′が直接ガラス
ボンデング等により接合されているので、第９図に示し
た従来技術によるヘッドコアに比較して強度的に優れた
ものとなる。

次に、本発明による磁気ヘッドの製造方法を第４図〜第
８図を参照して説明する。

（１）非磁性材料のＣコア用基板２を用意し、該基板２
上に磁性膜３を形成するための台形の磁性膜形成用溝１
１ａ〜ｌｉｄを研削により加工するとともに、巻線窓用
溝１２を加工形成する（第４図）。

（２）非磁性材料の！コア用基板２′を用意し、該基板
２′上に磁性膜３′を形成するための台形の磁性膜形成
用溝１１′ａ〜１１′ｄを加工形成する（第５図）。

（３）磁性膜形成用溝の加工後、高飽和磁束密度材料と
して、センダストあるいは非晶質合金をＣコア周基Ｆｉ
２の溝加工した面に蒸着あるいはスパッタリングするこ
とにより磁性膜３を形成する（第６図）。

（４）■コア用基板２′に対しても前記（３）と同様に
して磁性膜３′を形成する（図示せず）。

（５）Ｃコア用基板２に形成した磁性膜３が、記録媒体
との対向面１６で磁性膜形成用溝１１ａ〜ｌｉｄ内での
み残るように、かつ溝幅がトラック幅７となるように、
磁性膜形成面をラップにより仕上げ、Ｃコア合わせ面を
加工する（第７図）。

（６）磁性膜３′が形成された■コア用基板２′に対し
ても前記（５）と同様にして１３７合わせ面を加工する
（図示せず）。

（７）Ｃコア用基板２およびＩコア用基板２′の合わせ
面のラップ加工終了後、ギャップ５を形成するため、合
わせ面にｓｉｏ、ｌＩ！またはガラス膜をスパッタリン
グにより形成し、Ｃコア用基板２、■コア用基板２′の
合わせ面を突き合わせ、トラック幅７を有する磁性１！
３．３’の位置合わせを行いガラス４により両基板２．
２′を接合一体化する（第８図）。

（８）Ｃコア用基板２、■コア用基板２′が接合され一
体化された第８図に示すブロックを適宜加工し形状を整
えることにより、第１図〜第３図に示す磁気ヘッドある
いはへラドコアとする。

前述の製造方法により、第１図に示すフロッピーディス
ク装置用の磁気ヘッドを製造する場合、前記製造方法（
１）、　　（２）において、巻線窓用：＄１２、磁性膜
用：ｎ１１ａ、１１’ａのみを形成して製造を進め、製
造方法（７）で第８図に示すようなく但し、この場合磁
性膜３．３′により構成される磁気ギャップは１個のみ
である）接合体を製作後、トラック幅７を有する磁気ギ
ャップの位置が規定の位置になるように、第１図に点線
に示す部分を含むブロック状に切断加工する。その後、
媒体対向面１６を双胴形とするため、スライダーシュー
面１４．１４’の中央部にスライダー溝１７を加工する
とともに、媒体対向面１６と反対の面も第１図に示す点
線部分を切断し、巻線を行い得るようにするための加工
を行う。これにより、ヘッドコアとスライダー部が一体
となったモノリシックタイプの磁気ヘッド１０を製造す
ることができる。

また、前述の製造方法により第２図に示すハードディス
ク用のテーバフラット形スライダーを有する磁気ヘッド
を製造する場合、製造方法（７）で製作された第８図に
示す接合体の中央部にスライダー溝１７を加工するとと
もに、ｅ線を行い得るようにＣコア用基板のスライダー
溝に続く部分を切除し、スライダーシュー面１４．１４
’に流入側テーバ面１３，１３’、流出側テーパ面１５
゜１５′を加工形成する。この場合、製造方法（１）。

（２）において、磁性膜用溝１１ｂ、ＩＩＣ及び１１’
ｂ、ｌｌ’ｃは、形成してもしな（でもよい。

この様にして製造された、第１図及び第２図に示す本発
明の磁気ヘッドの実施例は、ヘッドコアとスライダー部
が一体となって構成されているので、従来技術の場合に
起り勝ちであったヘッドコアとスライダー部の接合部で
の段差の発生や、ヘッドコアとスライダー部の接合時の
加熱による磁性膜の磁気特性７の劣化という問題点を解
決した信較性の高いものである。

さらに、前記製造方法（７）で製作された第８図に示す
接合体を図示一点鎖線で切断すれば、第３図に示すよう
なヘッドコアを製造することができる。この本発明によ
る第３の実施例のためのへラドコアの特徴は、すでに述
べたとおりである。

また、本発明による磁気ヘッドは、前述した実施例ばか
りでなく、磁気テープ用の多ヘツド形の磁気ヘッドにも
構成することができる。この場合、第８図に示す接合体
において、磁性膜３，３′により構成される複数の磁気
ギャップ間のＣコア用基板２を切除して、各磁気ギャッ
プに対応して巻線可能な形状とすればよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、ヘッドコアとス
ライダー部が一体化された構造の磁気ヘッドを提供する
ことができ、これにより、ヘッドコアとスライダー部の
接合部での段差の発生や、ヘッドコアとスライダー部の
接合時の加熱による磁性膜の磁気特性の劣化を起すこと
のない、信鯨性の高い磁気ヘッドを提供することができ
る。また、ヘッドコアとして構成した場合にも、磁性膜
による磁気ギャップの両側が直接基板同志でガラスボン
デングにより接合されるので、ヘッドコアの強度を向上
させることができ、スライダー部との接合に際しても、
接合面に充填ガラス等がないため、充填ガラスのクラッ
ク発生等を考慮することなく接合を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による磁気ヘッドの第１の実施例を示す
斜視図、第２図は本発明による磁気ヘッドの第２の実施
例を示す斜視図、第３図は本発明による磁気ヘッドの第
３の実施例のためのへラドコアの斜視図、第４図、第５
図、第６図、第７図及び第８図は本発明による磁気ヘッ
ドの製造方法の説明図、第９図は従来技術によるヘッド
コアを示す斜視図、第１０図は第９図に示すヘッドコア
をスライダーに組込んだ磁気ヘッドの斜視図である。１・・・ヘッドコア、２・・・Ｃコア用基板、２′・・
・■コア用基板、３．３′・・・高飽和磁束密度磁性膜
、４・・・ガラス、５・・・ギャップ、６・・・巻線窓
、７・・・トラック幅、８・・・スライダーＡ、９・・
・スライダーＢ１１０・−・ｍ気ヘッド、ｌｌａ〜ｌｌ
ｄ、ｌｌ’ａ〜１１′ｄ・・・・磁性膜形成用溝、１２
・・・巻線窓用溝、１３．１３’・・・流入側テーパ、
１４゜１４′・・・スライダーシュー面、１５．１５’
・・・流出側テーパ面、１６・・・媒体対向面、１７・
・・スライダー溝、１８．１８’・・・スライダー部。第１図４・・・７７’う入５・・・６ツデ６・・・８＃ぞ１０・°°石翫員へ、ド１７・・・スライダー）翫１８−１８町・・　フξフ１ダーΦ 第２図第３図第４図＋１ｄ第５図＋ｔ’ｄ第６図第７図第８図第９図３′ 第１０図

Claims

【特許請求の範囲】

１、非磁性材料の基板上に磁性膜を形成して磁路を構成
する磁気ヘッドにおいて、非磁性材料の基板に溝を設け
、この溝に磁性膜を形成するとともに、非磁性材料の基
板によりスライダー部を形成して一体化構造としたこと
を特徴とする磁気ヘッド。