JPH02247816A - 固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造
法に係り、特に、磁気ヘッドとしての総合的特性に優れ
たコアスライダを良好な生産性をもって製造するための
方法に関するものである。

（背景技術） 固定磁気ディスク装置（ＲＤＤ）に用いられる浮上型磁
気ヘッド用のコアスライダは、一般に、ディスク摺動面
に所定高さの左右一対の空気ベアリング部を備えたスラ
イダ本体と、そ、のスライダ本体に一体的に接合されて
、そのスライダ本体との間で閉磁路を形成すると共に、
ディスク摺動面に臨む磁路形成部位においてスライダ本
体との間で所定間隙の磁気ギャップを形成する少なくと
も一つのヨーク部とを含んで構成されており、そのディ
スク摺動面に、磁気ギャップを挟んでそれらスライダ本
体とヨーク部とに跨るように、所定幅のトラック部が形
成せしめられた構造を有している。

ところで、このようなコアスライダの一つとして、第１
３図に示されている如き、スライダ本体１とヨーク部２
とが一体に形成されたモノリシック型スライダが従来か
ら知られているが、かかるモノリシック型スライダは、
フェライトのみで構成されるところから、低価格である
といった優位性は備えているものの、左右の空気ベアリ
ング部３．３の中央位置において、磁気ギャップ４を挟
んでスライダ本体１とヨーク部２とに跨るようにセンタ
ーレール５が設けられて、そのセンターレール５の両側
面がテーパ面に加工されることによ、−）てトラック部
６が形成せしめられているものであるところから、トラ
ック幅精度が得難く、狭トラツク化が実現し難いといっ
た問題があった。

また、これに対し、非磁性材料製のスライダ本体に、別
途製作したコアを一体的に組み付けてなる、所謂コンポ
ジット型スライダも従来から知られている。このコンポ
ジット型スライダは、コアをスライダ本体から独立して
作製できるため、トラ・ンク幅精度を得易く、狭トラツ
ク化を実現し易いといった特長を有している。しかし、
かかるコンポジット型スライダは、スライダ本体とコア
とを別々に作製する必要があるが故に、その製造コスト
が高（なるといった問題があり、またスライダ本体とコ
アとの接合の際の位置決めが難しいといった問題も有し
ていた。

一方、このようなコンポジット型スライダと同様の特長
をより低価格で達成し得るコアスライダとして、特開昭
６２−１８６１５号公報において、フェライト製のスラ
イダ本体にフェライト製のヨーク部が一体的に接合され
て構成された構造のコアスライダが提案されている。そ
して、そこにおいて、そのようなコアスライダの製造手
法として、。

トラック幅を規定するためのトラック幅規定ギャップを
与えるトラック幅規定溝を予めヨーク部に切削形成して
、そのヨーク部をスライダ本体にガラス溶着した後、空
気ベアリング部および空気ベアリング部の延長部位に接
合されたヨーク部の左右両側面を傾斜面に切削形成して
、０的とするコアスライダを得るようにした手法が開示
されている。

しかしながら、かかる公報に開示のコアスライダの製造
手法にあっては、空気ベアリング部やトラック部の形状
加工を始めとする各部の加工が、専ら、時間を要するダ
イヤモンド砥石等による機械加工によって行なわれるよ
うになっていることから、その生産性が必ずしも良好と
は言い難（、量産品の製造手法としては未だ決して好ま
しいものとは言い難かった。また、かかる公報に開示の
手法に従って製造されるコアスライダは、前述のように
、トラック幅を規定するトラック幅規定溝がヨーク部側
だけに形成され、ヨーク部との間でトラック幅規定ギャ
ップを形成するスライダ本体の突合せ面が磁気ギャップ
形成面と面一の平坦面とされていることから、スライダ
本体側にトラック幅規定溝を形成しなくて済む分だけ、
その生産性は向上するものの、そのような構造に起因し
て、クロストークが生じ易くなり、高密度記録化を図る
上で不利になるといった不具合があった。

すなわち、トラック部の両側が磁気ギャップよりも離隔
距離の大きいトラック幅規定ギャップで規定される磁気
ヘッドでは、そのトラック幅規定ギャップを挟んで対向
する対向面に磁気ギャップと平行若しくは平行に近い部
分が存在すると、その部分が記録媒体としてのディスク
の他のトラックの信号を拾って、所謂クロストークを生
じ易くなるのであり、上述のような構造のコアスライダ
にあっては、ヨーク部と対向するスライダ本体側の面が
磁気ギャップと平行な平坦面として残されることから、
その平坦面部分がディスクの他のトラックの信号を拾う
ことに起因してクロストークを生じ易くなるのである。

従って、上述の如き構造のコアスライダでディスクのト
ラック密度を高めて記録密度の高度化を図ろうとすると
、そのクロストークによる雑音信号の増大によってＳＮ
比が著しく低下するといった不具合を招く恐れがあるの
である。

（解決課題） ここ比おいて、本発明は、以上めような事情を背景とし
て為されたものであり、その解決すべき課題とするとこ
ろは、前記公報（特開昭６２−１８６１５号）に開示さ
れている如き構造の固定磁気ディスク装置用コアスライ
ダ、すなわちディスク摺動面に所定高さの左右一対の空
気ベアリング部を備えたスライダ本体と、そのスライダ
本体に一体的に接合されて、そのスライダ本体との間で
閉磁路を形成すると共に、ディスク摺動面に臨む磁路形
成部位においてスライダ本体との間で所定間隙の磁気ギ
ャップを形成する少なくとも一つのヨーク部とを含み、
そのディスク摺動面に、前記磁気ギャップを挟んでそれ
らスライダ本体とヨーク部とに跨るように、その磁気ギ
ャップのギャップ長よりも離隔距離の大きいトラック幅
規定ギャップで両側を規定された状態で、所定幅のトラ
ック部が形成されてなる構造の固定磁気ディスク装置用
コアスライダであって、前記公報に開示のコアスライダ
よりもクロストークを小さく抑制し得て、高密度記録化
を有利に達成し得る構造のコアスライダを、前記公報に
開示のコアスライダよりも優れた生産性をもって製造し
得るようにすることにある。

（解決手段） そして、かかる課題を解決するために、本発明にあって
は、上述の如き構造の固定磁気ディスク装置用コアスラ
イダを、スライダ本体を与える第一のフェライトブロッ
クとヨーク部を与える第二のフェライトブロックとを突
き合わせて製造するに際して、（ａ）第一および第二の
フェライトブロックの突合せ面にそれぞれマスクを付与
してエツチングを施すことにより、それらフェライトブ
ロックの突合せ面に、幅方向両側面がそれぞれの突合せ
面に対して４０゜〜７５°の角度を為す傾斜面とされた
所定幅のトラック形成凸部を形成すると共に、該トラッ
ク形成凸部の両側に位置して、該トラック形成凸部より
も低い、連続した山形凸部をそれぞれ形成する工程と、
（ｂ）前記トラック形成凸部および山形凸部が互いに対
向するように、前記第一および第二のフェライトブロッ
クをその突合せ面で突き合わせて一体的に接合し、該ト
ラック形成凸部をディスク摺動面に臨む磁路形底部位と
する閉磁路を形成する一方、それらフェライトブロック
のトラック形成凸部にて所定ギャップ長の磁気ギャップ
を有するトラック部を形成すると共に、前記山形凸部が
形成されたフェライトブロックの突合せ面間において、
前記磁気ギャップよりも離隔距離の大きいトラック幅規
定ギャップを形成せしめる工程と、（Ｃ）該第一および
第二のフェライトブロックの接合体のディスク摺動面に
マスクを付与してエツチングを施すことにより、第一の
フェライトブロックのディスク摺動面の左右に所定高さ
の空気ベアリング部を形成する工程と、（ｄ）該空気ベ
アリング部が形成されたフェライトブロックの接合体か
ら、スライダ本体およびヨーク部からなる最終形状のコ
アスライダを切り出す工程とを、含むようにしたのであ
る。

なお、トラック部の磁気ギャップを所謂メタルインギャ
ップ構造となす場合には、前記第一のフェライトブロッ
クと第二のフェライトブロックとの突き合わせに先立っ
て、それらフェライトブロックの少なくとも一方の突合
せ面に、該突合せ面に形成されたトラック形成凸部の先
端面を少なくとも覆うように、所定厚さの金属磁性材層
を形成するようにすればよい。

（実施例） 以下、本発明をより一層具体的に明らかにするために、
その実施例を図面に基づいて詳細に説明する。

先ず、本発明に従って固定磁気ディスク装置用のコアス
ライダを製造するに際しては、第１図の（ａ）および［
有］）に示されている如き、それぞれ、後述のスライダ
本体５８およびヨーク部６０を与える第一のフェライト
ブロック１０と第二のフェライトブロック１２が準備さ
れる。

なお、これらフェライトブロック１０．１２のフェライ
ト材としては、従来からの高透磁率フェライト材、例え
ばＭｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト等の単
結晶体や多結晶体、或いはそれらの複合体が好適に採用
されることとなるが、フェライト材として単結晶体が用
いられる場合には、後述の空気ベアリング面（ディスク
摺動面３６）の結晶面と空気ベアリング部３８の長手稜
部（エツジ部）の結晶方位の組み合わせとして、（１０
０）と＜１００＞　、（１００）と（ｌ　ｌ　Ｏ＞　。

（１１０）　　と　＜１００＞　　、（１１０）　　と
　＜１１０＞。

（３１１）と＜３３２＞　、（３３２）と＜３１１＞。

（６１１）と＜３３１＞、（３３１）と＜６１１＞。

（２１１）と（１１１＞の組み合わせが好適に選択され
ることとなる。

また、ここでは、目的するコアスライダを２個切り出し
得るように、フェライトブロック１０゜１２の大きさが
それぞれ設定されている。

準備されたフェライトブロック１０．１２には、先ず、
それらの突合せ面１４．１４に対して、次工程のエツチ
ング処理のために、後述のマスクとしてのレジスト１６
の密着性および均一なサイドエッチ量を得るため等の表
面処理が適宜族される。

そして、その表面処理が°施されたフェライトブロツ、
り１０．１２の突合せ面１４．１４に、それぞれ所定の
レジスト１６が塗布される（第２図の（ａ）。

（ロ）参照）。

これらフェライトブロック１０．１２の突合せ面１４．
１４に塗布されたレジスト１６は、エツチング処理に先
立って、第２図の（ａ）および（ｂ）に示されている如
く、ディスク摺動面３６例の端面側部位において、短冊
状（長手矩形状）のフェライト露出部１８がフェライト
ブロック１０．１２の長手方向に複数配列形成されて、
後述の磁気ギャップ３０の各形成部位に対応する部位が
それぞれ幅の広い一つのレジスト残留部２０で覆われる
と共に、後述のトラック幅規定ギャップ３２の各形成部
位に対応する部位がそれよりも幅の狭い複数のレジスト
残留部２２で覆われるように、露光、現像される。そし
て、かかるレジスト１６の露光、現像後、各フェライト
露出部１８を介して、レジスト残留部２０で覆われた突
合せ面１４の先端面幅が目的とするトラック幅寸法とな
る深さまで、エツチング処理が施される。

そして、このエツチング操作により、第３図の（ａ）、
　（ｂ）、　（Ｃ）に示されているように、フェライト
ブロック１０．１２の突合せ面１４．１４の磁気ギヤツ
デ形成部位において、先端面（磁気ギャップ形成面）の
幅寸法が目的とするトラック幅寸法とされたトラック形
成凸部２４Ａ、２４Ｂが形成されると共に、それら磁気
ギャップ形成部位の両側において、該トラック形成凸部
２４Ａ、２４Ｂよりも頂部高さが５μｍ程度以上低い、
ｌｌ１ｍ程度以上の高さの三角状断面の山形凸部２６が
それぞれ複数形成され、また各トラック形成凸部２４Ａ
。

２４Ｂの両側面２８．２８が、磁気ギャップ形成面（突
合せ面１４）に対して、４０’〜７５゜好ましくは６０
’〜７５°の角度：θ、（第３図の（Ｃ）参照）を為す
傾斜面に形成されると共に、各山形凸部２６の両側面２
９．２９が、磁気ギャップ形成面（突合せ面１４）に対
して、１０°程度以上の角度：θ８　（第３図の（Ｃ）
参照）を為す傾斜面に形成せしめられる。

なお、山形凸部２６は、ここでは、後述のトラック幅規
定ギャップ３２の形成部位に対応する部位だけに形成さ
れるようになっているが、それらトラック幅規定ギャッ
プ３２の形成部位間の部位にも山形凸部２６を形成する
ようにしてもよい。

すなわち、最終的にヨーク部６０となる部位以上の幅に
山形凸部２６が形成されていれば良いのである。

また、上記トラック形成凸部２４Ａ、２４Ｂの両側面２
８．２８の傾斜角度：θ１や各山形凸部２６の両側面２
９．２９の傾斜角度：θ８は、フェライトブロック１０
．１２の結晶方向の選択や温度、濃度等のエツチング条
件等の選択によって、上述のような角度範囲に設定され
ることとなる。

上記エツチング処理操作が完了すると、レジスト１６が
フェライトブロック１０．１２から剥離された後、少な
くとも一方のフェライトブロック１０．１２の突合せ面
１４に対して再びレジストのマスクが付与され、そのレ
ジストの付与状態下に、後述の磁気ギャップ３０のギャ
ップ長を規定するための所定深さのエツチング処理がト
ラック形成凸部２４Ａ、２４Ｂの先端面に施される。そ
して、その磁気ギャップ３０を形成するためのエツチン
グ処理が完了すると、第４図の（ａ）および（ｂ）に示
されているように、フェライトブロック１０゜１２の突
合せ面１４．１４に、トラック形成凸部２４Ａ、２４Ｂ
および山形凸部２６の一端部を規定する状態で、フェラ
イトブロック１０．１２の長手方向（コアスライダの左
右方向）に延びるコイル巻線用の溝３４．３４が、それ
ぞれギャップデプス位置を規定するように切削形成され
、その後、トラック形成凸部２４Ａ、２４Ｂおよび山形
凸部２６がディスク摺動面３６側から臨まれる位置、例
えば第４図の（ａ）、　（ｂ）の３３．３５で示される
位置深さまで、ディスク摺動面３６側の面に研磨加工が
施される。

なお、コイル巻線用溝３４は、ここでは、フェライトブ
ロック１０．１２の両方に形成されるようになっている
が、フェライトブロック１０，１２の一方だけに形成す
るようにすることも可能である。また、上記エツチング
操作に代えて、トラック形成凸部２４Ａ、２４Ｂの少な
くとも一方の先端面に研磨加工を施したり、トラック形
成凸部２４Ａ、２４Ｂの少なくとも一方の先端面にギャ
ップ長相当の非金属磁性材層をスパッタリング手法等で
被着させたりすることによって、磁気ギャップ３０のギ
ャップ長を規定するようにすることも可能である。

ギャップデプス長を設定するための研磨加工およびコイ
ル巻線用溝３４の溝加工が完了すると、フェライトブロ
ック１０．１２は、第５図に示されている如く、トラッ
ク形成凸部２４Ａ、２４Ｂが互いに対向するように、ま
たコイル巻線用溝３４．３４が互いに対向するように、
それぞれの突合せ面１４．１４で突き合わされ、磁気ギ
ャップ３０および後述のトラック幅規定ギャップ３２゜
３２に相当する間隙、すなわち磁気ギャップ形成凸部２
４Ａ、２４Ｂ間の隙間および各対向する山形凸部２６．
２６間の隙間に、非磁性の充填接合材、例えばガラス４
２を流入、充填せしめられた状態で、ガラス溶着手法や
フェライトブロック１０．１２間士の固相反応手法等に
より、互いに一体的に接合せしめられる。そして、この
接合により、各突き合わされたコイル巻線用溝３４．３
４を取り囲むように環状の閉磁路が形成され、また各対
応するトラック形成凸部２４Ａ、２４Ｂ間において、所
定間隙の磁気ギャップ３０が形成されて、それらトラッ
ク形成凸部２４Ａ、２４Ｂによってトラック部４０が形
成されると共に、トラック形成凸部２４Ａ、２４Ｂの両
側の各対向する山形凸部２６の形成部位間において、磁
気ギャップ３０のギャップ長よりもギャップ長（離隔距
離）の大きい、トラック部４０の幅を規定するためのト
ラック幅規定ギャップ３２がそれぞれ形成される。

なお、かかるフェライトブロック１０．１２の接合に際
しては、各フェライトブロック１０，１２のガラス充填
部にガラス４２を先に充填させ、そのガラス４２の不要
部分を除去・研磨したのち、両フェライトブロック１０
．１２を突き合わせて一体に接合するようにすることも
できる。

このように二つのフェライトブロック１０．１２が接合
されると、その接合体４４のディスク摺動面３６に対し
て、磁気ギャップ３０のギャップデプスを所望の寸法に
設定するための研磨加工が施されると共に、次工程のエ
ツチング処理を行なうための表面処理が適宜節される。

そしてその後、その接合体４４のディスク摺動面３６に
レジスト４６が塗布されて、第６図に示されている如く
、目的とするコアスライダに形成すべき後述の空気ベア
リング部３８の形成部位および後述のヨーク部６０のデ
ィスク摺動面３６の略全面を覆うように、露光、現像さ
れる。

レジスト４６がこのように付与されると、かかるレジス
ト４６の付与状態で、接合体４４のディスク摺動面３６
のフェライト露出部分を介して所定深さのエツチングが
施され、これによって、第７図の（ａ）および（ｂ）に
示されている如く、レジスト４６の付与部分が非付与部
分から所定高さ突出させられて、互いに平行な長手矩形
状の空気ベアリング部３８が、１個のコアスライダにつ
いて２個ずつ、周りから所定高さで突出形成されると共
に、それら空気ベアリング部３８と同じ高さでヨーク部
６０の形成部位が周りから突出せしめられる。

また、かかる凸部の形成と同時に、その凸部を取り囲む
側面が、空気ベアリング面（ディスク摺動面３６）と４
５゜〜８０°程度、好ましくは６０’〜７５°程度の角
度を為す傾斜面４８に形成される。

なお、フェライトブロック１０．１２に対するこれまで
のエツチング処理操作は、通常の電解エツチング或いは
化学エツチングで行なうことが可能であるが、本願出願
人が特願昭６０−２２２３８８号において明らかにした
、リン酸主体水溶液を用いた化学エツチング処理にて特
に有利に実施されることとなる。

また、これまでのエツチング処理操作では、マスクとし
てフォトレジストが用いられていたが、かかるマスクと
しては、真空蒸着、スパッタリング、ＣＶＤ法等の他の
手法によって形成されるＣｒ等の金属やＳＳ１０１Ｓｉ
ｎ等の各種のマスクを採用することが可能である。

空気ベアリング部３８を周りから突出形成するためのエ
ツチング処理操作が完了すると、フェライトブロック１
０．１２の接合体４４の幅方向の両端部に対して、第７
図の（ａ）に示されている如き切断線５０．５２に沿っ
て、コアスライダの長さを決定するための切断加工が施
される。そして、その後、第８図に示されているように
、工・ンチングによって形成された各空気ベアリング部
３日のリーディング側の端部に対して、空気ベアリング
面（ディスク摺動面３６）に対する傾斜角度が緩やかな
テーパ部（リーディングランプ）５４が研磨加工され、
また接合体４４のディスク摺動面３６側のトレーリング
側端部に面取り加工としてのチャンバー加工が施されて
、テーバ面５６が形成される。

かかるリーディングランプ加工およびチャンバー加工に
よるテーパ部５４およびテーバ面５６の形成により、回
転開始時や回転停止時のディスクの摺接によって、空気
ベアリング部３８のリーディング側端部の稜部や後述の
ヨーク部６０のトレーリング側端部の稜部に欠けが生じ
ないようにされるのであり、またそれら稜部との摺接に
よって、ディスクが損傷せしめられないようにされるの
である。

なお、エツチングによって形成された凸部のトレーリン
グ側の端部に、第７図の（ａ）に示されているように、
そのエツチング操作によって傾斜面４８が形成され、か
かる傾斜面４８がテーパ面５６と同様の役割を果たし得
るときは、テーパ面５６を形成するためのチャンバー加
工は必ずしも行なう必要はない。

リーディングランプ加工およびチャンバー加工が完了す
ると、次に、第９図に示されているように、各空気ベア
リング部３８の延長部位において、目的とするコアスラ
イダのヨーク部形状を与えるように、フェライトブロッ
ク１０．１２の不要部分が切削除去されて、ヨーク部６
０が切出し形成され、その後、同図に示されている如き
切断線６２に沿って接合体４４が切断されて、第１Ｏ図
に示されている如き、目的とする固定磁気ディスク装置
用のコアスライダが切り出される。

すなわち、ディスク摺動面３６に所定高さの左右の一対
の空気ベアリング部３８．３８が形成されたスライダ本
体５８と、それら空気ベアリング部３８．３８のそれぞ
れの延長部位においてスライダ本体５８に一体的に接合
されて、該スライダ本体５８との間で環状の閉磁路を形
成すると共に、ディスク摺動面３６に臨む磁路形成部位
において該スライダ本体５８との間で所定間隙の磁気ギ
ャップ３０を形成する一対のヨーク部６０．６０とから
なり、そのディスク摺動面３６に、磁気ギャップ３０を
挟んでスライダ本体５８と各ヨーク部６０とに跨るよう
に、磁気ギャップ３０のギャップ長よりも離隔距離の大
きいトラック幅規定ギャップ３２で両側を規定された状
態で、所定幅のトラック部４０が形成された構造のコア
スライダが切り出されるのであり、これにより、目的と
する２個のコアスライダが得られるのである。

このようにして製造される固定磁気ディスク装置用コア
スライダは、前述のように、空気ベアリング部３８．３
８がエツチング操作によって周りから同時に突出形成さ
れ、しかもその形成と同時に、空気ベアリング部３８．
３８の左右の側面が傾斜面４８に形成されるため、空気
ベアリング部３８．３８を周りから突出形成するために
、また空気ベアリング部３８．３８の左右の側面を傾斜
面（４８）に形成して、ディスクとの摺接によって空気
ベアリング部３８．３８の長手稜部に欠け（チッピング
）が生じるようなことを回避するために、時間を要する
砥石を用いた機械加工を施す必要がないのであり、それ
故、前記公報（特開昭６２−１８６１５号公報）に開示
のコアスライダの製造手法に比べて、その生産性が大幅
に優れているのである。

また、このようにして製造されるコアスライダにおいて
は、前述のように、トラック部４０を形成するトラック
形成凸部２４Ａ、２４Ｂの両側面２８．２８が、それぞ
れ、それらトラック形成凸部２４Ａ、２４Ｂの先端面、
すなわち磁気ギャップ３０の形成面と、４０゜〜７５°
、好ましくは６０゛〜７５°の角度：θ１を為す状態で
形成されるため（第１１図参照）、記録時の絞込みおよ
び再生時の引込み効果を良好に抑制できると共に、記録
時において、有効記録幅を効果的に大きくできる一方で
、その有効記録幅が必要以上に大きくなることを良好に
回避できるといった利点があるのであり、またトラック
部４０の両側のトラック幅規定ギャップ３２．３２の形
成面であるスライダ本体５８とヨーク部６０との突合せ
面部位に、それぞれ、山形凸部２６が連続的に形成され
て、トラック幅規定ギャップ３２．３２の対向面が、そ
れぞれ、磁気ギャップ形成面に対して１０°以上の角度
：θ２を為す複数の傾斜面２９で構成されていることか
ら、コアスライダの生産性を良好に維持しつつ、再生時
におけるアジマスロスを確保して、クロストークの発生
を良好に防止できるといった利点もあるのである。

すなわち、トラック部４０を形成するトラック形成凸部
２４Ａ、２４Ｂの各側面２８．２８が磁気ギャップ形成
面となす角度：θ１が大き過ぎると、記録時において、
磁気ギャップ３０の両端部で磁気飽和が生じ易くなると
共に、再生時において、その磁気ギャップ３０の両端部
で磁気抵抗が大きくなって、再生効率が低下する、所謂
磁束の絞込み（記録時）・引込み（再生時）効果が顕著
になる一方、磁束の漏洩に基づくフリンジング効果が有
効に得られなくなって、フリンジング効果による有効記
録幅の増大化によってオフトラック特性を改善すること
が期待できな（なるといった問題が生じるのであるが、
ここでは、前述のように、エツチング操作によって角度
：θ１が７５゜よりも小さく設定されるため、上記磁束
の絞込み・引込み効果が良好に抑制されて、磁束の絞込
み・引込み効果に起因する磁気ヘッドとしての性能の低
下が良好に回避されると共に、フリンジング効果によっ
て有効記録幅が効果的に増大されて、゛良好なオフトラ
ック特性が得られるのである。

また、これとは逆に、上記角度：θ１が小さ過ぎると、
フリンジング効果によって有効記録幅が著しく大きくな
って、ディスクのトラック密度を高めることが困難にな
るといった不具合を生じるのであるが、ここでは、かか
る角度二０１が４０”よりも大きく設定されるため、フ
リンジング効果によって有効記録幅が必要以上に増大す
ることが良好に回避されるのであり、それ故、ディスク
のトラック密度を高めて、記録密度を効果的に高めるこ
とができるのである。

更に、このようなコアスライダにおいては、トラック幅
規定ギャップ３２．３２を挟んで対向するスライダ本体
５８およびヨーク部６０の対向面に磁気ギャップ３０と
平行乃至は平行に近い部分が存在すると、その磁気ギャ
ップ３０と平行乃至は平行に近い部分で他のトラックの
信号を再生して、クロストークを生じるといった不具合
が生じるのであるが、ここでは、かかるトラック幅規定
ギャップ３２の対向面が磁気ギャップ形成面とｌＯ゛以
上の角度：０２を為す傾斜面（２９）で構成されて、ア
ジマスロスが大きくなるようにされていることから、ト
ラック幅規定ギャップ３２゜３２部分でそのようなりロ
ストークが生じることを良好に回避できるのであり、ま
た蔓のような傾斜面（２９）が、トラック幅規定ギャッ
プ３２のギャップ長：１の１１５程度以下の高さ：Δｌ
（第１１図参照）の山形凸部２６の側面として形成され
て、トラック幅規定ギャップ３２を形成するトラック幅
規定溝が略同じ深さをもって形成されていることから、
そのようなアジマスロスを増大するための傾斜面（２９
）を一つの連続した面として形成するような場合に比べ
て、その傾斜面の形成の際のエツチング深さを浅くでき
るのであり、それ故、そのトラック幅規定溝を形成する
際のエツチング時間を有利に短縮できて、コアスライダ
の生産性を良好に維持できるのである。

なお、本実施例手法に従って製造されるコアスライダの
トラック幅規定ギャップ３２のギャップ長＝１が小さ過
ぎると、かかるトラック幅規定ギャップ３２が記録能を
有するようになるため、ここでは、前述のように、各フ
ェライトブロックＩＯ２１２のトラック部形成凸部２４
Ａ、２４Ｂの高さがそれぞれ略５μｍ程度以１の高さに
設定されて、トラック幅規定ギャップ３２のギャップ長
：！が１０μｍ程度以上の大きさに設定されるようにな
っている。トラック幅規定ギャップ３２のギャップ長：
２を１０μｍ程度以上の大きさに設定すれば、トラック
幅規定ギャップ３２での記録機能を実質的に無くすこと
ができるのである。

ところで、上記実施例手法に従って製造されるコアスラ
イダにおいては、スライダ本体５８とヨーク部６０との
フェライト面が、磁気ギャップ３０およびトラック幅規
定ギャップ３２に充填させられた充填材としてのガラス
４２を挟んで直接対向させられていたが、第１２図に示
すように、それら磁気ギャップ３０およびトラック幅規
定ギャップ３２を挟んで対向するスライダ本体５８とヨ
ーク部６０とのフェライト面に、それらスライダ本体５
８とヨーク部６０を構成するフェライト材よりも飽和磁
束密度の高い金属磁性材を被着させて、金属磁性材［６
４，６４を形成し、磁気ギャップ３０を所謂メタルイン
ギャップ構造となして、ディスクの高保持力化による磁
気記録密度の高密度化に対処させ得るようにすることも
可能である。

なお、磁気ギャップ３０をこのようなメタルインギャッ
プ構造とする場合には、磁気ギャップ３０のギャップ長
を規定するためのギャップ加工後、各フェライトブロッ
ク１０．１２の突合せ面１４゜１４の磁気ギャップ形成
部位およびトラック幅規定ギャップ形成部位に対して、
スパッタリング手法、イオンブレーティング法、ＣＶＤ
法、メツキ法等の適宜の手法で金属磁性材層６４．６４
が形成され、その後、両フェライトブロック１Ｏ１１２
が一体に接合されることとなる。

ここで、それら金属磁性材層６４の磁性材料としては、
例えばＦｅ−５ｉ系合金（Ｓｉ：６．５重量％）、Ｆｅ
−３ｉ−Ａｆ系合金（センダスト）、Ｎｔ−Ｆｅ系合金
（パーマロイ）等で代表される公知の結晶質合金が採用
可能であり、またＦｅ−Ｃｏ−３ｉ−Ｂ系で代表される
メタル−メタロイド系合金や、Ｃｏ−Ｚｒ系、Ｃｏ−１
Ｚｒ−Ｎｂ系等のメタル−メタル系合金等の非晶質合金
も、金属磁性材層４８の磁性材料として採用することが
可能であるが、Ｆｅ−３ｉ系合金（Ｓｉ：６．５重量％
）、Ｆｅ−３ｉ　−Ａｆ系合金を用いる場合には、通常
、耐食性向上のために、５重量％以下のＣｒ、ＴＩ、Ｔ
ａ等の元素が適宜添加されることとなる。

また、かかる金属磁性材層６４．６４の形成手法として
は、組成変動が小さく、被着物質が限定されないこと等
から、スパッタリング手法が有利に採用されることとな
る。

なお、金属磁性材Ｍ６４，６４の形成手法としてかかる
スパッタリング手法を採用した場合、トラック形成凸部
２４Ａ、２４Ｂの両側面２８，２８の磁気ギャップ形成
面に対する角度：θ、が大き過ぎると、それらトラック
形成凸部２４Ａ、２４Ｂの両側面２８．２８に被着され
る金属磁性材７１６４．６４が薄く且つ粗くなるため、
フェライトブロック１０．１２の接合時において、その
トラック形成凸部２４Ａ、２４Ｂの両側面２８，２８に
被着された金属磁性材層６４．６４が被着面から剥離し
てガラス４２中に分散乃至拡散され、そのガラス４２中
に分散乃至拡散された金属磁性材層６４の磁性材によっ
てトラック幅が実質的に変化させられる恐れがあるが、
ここでは、前述のように、角度：θ１が７５°以下に設
定されることから、金属磁性材層６４．６４をたとえス
パッタリング法で形成しても、そのトラック形成凸部２
４Ａ、２４Ｂの両側面２８．２８に金属磁性材Ｊｉｉ６
４，６４が充分厚く且つ密に被着されて、上述のような
不具合の発生が良好に回避されるといった利点がある。

また、スパッタリング手法で金属磁性材層６４゜６４を
形成する場合には、金属磁性材料の被着操作に先立って
、その金属磁性材料の密着性を向上させるために、ガラ
ス、あるいはＦｅ、Ｎｉ、ＣＯ等の磁性材の少なくとも
一種の元素をフェライトブロック１０．１２の突合せ面
に中間層として形成するようにすることも可能である。

ここで、ガラスの場合には、１００Å以下の厚さであれ
ば、擬似ギャップとしての作用は小さく、また磁性材の
場合には、１０００Å以下の厚さであれば、その磁性材
としての作用は小さく、実用上問題とならないのである
。

また、上述のような金属磁性材層６４は、磁気ギャップ
３０を隔てて対向する少なくとも一方のトラック形成凸
部２４Ａ、２４Ｂの先端面（磁気ギャップ形成面）だけ
に形成するようにしてもよい。

以上、本発明の幾つかの実施例を詳細に説明したが、こ
れらは文字通りの例示であり、本発明がそれらの具体例
に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で
、当業者の有する知識に基づいて、種々なる変更、修正
、改良等を施した態様で実施し得ることは、言うまでも
ないところである。

例えば、前記実施例では、第一および第二のフェライト
ブロック１０．１２を用いた一連の工程によって、目的
とするコアスライダが２個同時に製造されるようになっ
ていたが、そのような一連の工程によって３個以上のコ
アスライダを同時に製造するようにすることも可能であ
り、或いは単に１個のコアスライダだけを製造するよう
にすることも可能である。

また、前記実施例では、スライダ本体５８の左右の空気
ベアリング部３８．３８のそれぞれの延長部位にヨーク
部６０を備えたコアスライダを製造する場合について述
べたが、空気ベアリング部３８の一方の延長部位におい
て、単に一つのヨーク部６０が設けられる構造のコアス
ライダの製造や、左右の空気ベアリング部３８．３８の
中央部位に一つのヨーク部６０が一体的に接合されて、
かかるヨーク部６０とスライダ本体５８とに跨がってト
ラック部４０が形成される如き構造のコアスライダの製
造に本発明を適用することも可能である。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明手法によれば、
記録・再生時の絞込み・引込み効果が良好に抑制される
と共に、オフトラック特性がフリンジング効果に基づい
て効果的に改善され、しかもトラック幅規定ギャップに
おけるクロストークの発生が良好に抑制せしめられた、
磁気ヘッドとしての総合的性能に優れた固定磁気ディス
ク装置用のコアスライダが、エツチング手法の効果的な
採用によって良好な生産性をもって製造され得るのであ
り、前記公報（特開昭６２−１８６１５号）に開示のコ
アスライダよりも高密度記録化を有利に達成し得る構造
のコアスライダを、該公報に開示のコアスライダ製造手
法よりも優れた生産性をもって製造することができるの
である。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第１１図は、本発明の一実施例を説明するた
めの各工程の説明図であって、第１図の（ａ）および（
ｂ）は、それぞれ、組み合わされるフェライトブロック
を示す斜視図であり、第２図の（ａ）は、突合せ面にト
ラック形成凸部および山形凸部をエツチング形成するた
めのレジストを付与した状態のフェライトブロックの要
部を示す平面図であり、第２図のω）は、第２図の（ａ
）における■−■断面図であり、第３図の（ａ）は、ト
ラック形成凸部および山形凸部がエツチングにて形成さ
れた状態のフェライトブロックの要部を示す平面図であ
り、第３図の（ハ）は、第３図の（ａ）における■−■
断面要部図であり、第３図の（Ｃ）は、第３図の（ｂ）
における要部拡大図であり、第４図の（ａ）および（ｂ
）は、それぞれ、コイル巻線用溝が形成された第一のフ
ェライトブロックおよび第二のフェライトブロックを示
す斜視図であり、第５図は、二つのフェライトブロック
が一体的に接合された接合体を示す斜視図であり、第６
図は、ディスク摺動面に空気ベアリング部をエツチング
形成するためのレジストを付与した状態のフェライトブ
ロック接合体の要部を示す平面図であり、第７図の（ａ
）は、空気ベアリング部がエツチングにて形成された状
態のフェライトブロック接合体の要部を示す平面図であ
り、第７図の（＋））は、第７図の（ａ）における■−
■断面図であり、第８図は、空気ベアリング部の長手方
向のリープ。 イング側端部にリーディングランプ加工が施されると共
に、フェライトブロック接合体のトレーリング側端部に
チャンバー加工が施された状態を示すフェライトブロッ
ク接合体の要部を示す平面図であり、第９図は、不要部
分の切除加工にてヨーク部が形成された状態のフェライ
トブロック接合体の要部を示す平面図であり、第１０図
は、フェライトブロック接合体から切り出された最終形
状のコアスライダを示す平面図であり、第１１図は、第
１Ｏ図における要部拡大図である。第１２図は、本発明
の別の実施例を説明するための第１１図に対応する図で
ある。第１３図は、従来のコアスライダの一例を示す斜
視図である。 １０：第一のフェライトブロック １２：第二のフェライトブロック １４：突合せ面 １６．４６：レジスト（マスク） ２４Ａ、２４Ｂ：）ラック形成凸部 ２６シ山形凸部 ２８：側面（トラック形成凸部の） ２９：側面（山形凸部の） ３０：磁気ギャップ ３２ニドラック幅規定ギャップ ３４：コイル巻線用溝 ３６：ディスク摺動面 ３８：空気ベアリング部　　４０ニドラック部ニガラス ４８二傾斜面 ６０：ヨーク部 ：接合体 ５８ニスライダ本体 ６４：金属磁性材層

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ディスク摺動面に所定高さの左右一対の空気ベア
   リング部を備えたスライダ本体と、該スライダ本体に一
   体的に接合されて、該スライダ本体との間で閉磁路を形
   成すると共に、前記ディスク摺動面に臨む磁路形成部位
   において該スライダ本体との間で所定間隙の磁気ギャッ
   プを形成する少なくとも一つのヨーク部とを含み、その
   ディスク摺動面に、前記磁気ギャップを挟んでそれらス
   ライダ本体とヨーク部とに跨るように、該磁気ギャップ
   のギャップ長よりも離隔距離の大きいトラック幅規定ギ
   ャップで両側を規定された状態で、所定幅のトラック部
   が形成されてなる構造の固定磁気ディスク装置用コアス
   ライダを、前記スライダ本体を与える第一のフェライト
   ブロックと前記ヨーク部を与える第二のフェライトブロ
   ックとを突き合わせて製造するに際して、 前記第一および第二のフェライトブロックの突合せ面に
   それぞれマスクを付与してエッチングを施すことにより
   、それらフェライトブロックの突合せ面に、幅方向両側
   面がそれぞれの突合せ面に対して４０゜〜７５゜の角度
   を為す傾斜面とされた所定幅のトラック形成凸部を形成
   すると共に、該トラック形成凸部の両側に位置して、該
   トラック形成凸部よりも低い、連続した山形凸部をそれ
   ぞれ形成する工程と、 前記トラック形成凸部および山形凸部が互いに対向する
   ように、前記第一および第二のフェライトブロックをそ
   の突合せ面で突き合わせて一体的に接合し、該トラック
   形成凸部を前記ディスク摺動面に臨む磁路形成部位とす
   る前記閉磁路を形成する一方、それらフェライトブロッ
   クのトラック形成凸部にて前記磁気ギャップを有するト
   ラック部を形成すると共に、前記山形凸部が形成された
   フェライトブロックの突合せ面間において、前記トラッ
   ク幅規定ギャップを形成せしめる工程と、 該第一および第二のフェライトブロックの接合体のディ
   スク摺動面にマスクを付与してエッチングを施すことに
   より、前記第一のフェライトブロックのディスク摺動面
   に前記所定高さの空気ベアリング部を形成する工程と、 該空気ベアリング部が形成されたフェライトブロックの
   接合体から、前記スライダ本体およびヨーク部からなる
   最終形状のコアスライダを切り出す工程とを、 含むようにしたことを特徴とする固定磁気ディスク装置
   用コアスライダの製造法。
2. （２）前記第一のフェライトブロックと第二のフェライ
   トブロックとの突き合わせに先立って、それらフェライ
   トブロックの少なくとも一方の突合せ面に、該突合せ面
   に形成された前記トラック形成凸部の先端面を少なくと
   も覆うように、所定厚さの金属磁性材層を形成せしめる
   ことを特徴とする請求項（１）記載の製造法。