JPH0658723B2 - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

磁気ヘツドの製造方法

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JPH0658723B2
JPH0658723B2 JP59226464A JP22646484A JPH0658723B2 JP H0658723 B2 JPH0658723 B2 JP H0658723B2 JP 59226464 A JP59226464 A JP 59226464A JP 22646484 A JP22646484 A JP 22646484A JP H0658723 B2 JPH0658723 B2 JP H0658723B2
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    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ヘツドの製造方法に関し、特に磁気ギヤ
ツプ近傍部が強磁性金属薄膜で形成されている、いわゆ
る複合型の磁気ヘツドの製造方法に関するものである。
〔従来の技術〕
例えばVTR(ビデオテープレコーダ)等の磁気記録再
生装置においては、記録信号の高密度化や高周波数化等
が進められており、この高密度記録化に対応して磁気記
録媒体として磁性粉にFe,Co,Ni等の強磁性金属
又はその合金の粉末を用いた所謂メタルテープや強磁性
金属材料を蒸着によりベースフイルム上に被着した所謂
蒸着テープ等が使用されるようになつている。そして、
この種の磁気記録媒体は高い抗磁力Hcを有するため
に、記録再生に用いる磁気ヘツドのヘツド材料にも高い
飽和磁束密度Bsを有することが要求されている。例え
ば、従来磁気ヘツド材料として多用されているフエライ
ト材では飽和磁束密度Bsが低く、また、パーマロイで
は耐摩耗性に問題がある。
そこで従来、例えばセラミツクス等の非磁性基板上に強
磁性金属薄膜を被着形成しこれをトラツク部分とした複
合型磁気ヘツドが提案されているが、この種の磁気ヘツ
ドでは磁路が膜厚の薄い強磁性金属薄膜のみにより構成
されるので磁気抵抗が大きく効率上好ましくなく、また
上記強磁性金属薄膜の膜形成を膜成長速度が極めて遅い
真空薄膜形成技術で行うため、磁気ヘツド作製に時間を
要する等の問題があつた。
一方、磁気コア部がフエライト等の強磁性酸化物からな
り、これら各磁気コア部の磁気ギヤツプ形成面に強磁性
金属薄膜を被着した複合型磁気ヘツドも提案されている
が、この場合には磁路と上記金属薄膜とが直交する方向
に位置するため渦電流損失が発生し再生出力の低下を招
く虞れがあり、また上記磁気コア部と上記金属薄膜間に
疑似ギヤツプが形成され、十分な信頼性が得られない等
の問題がある。
そこで本願出願人は、先に特願昭58−250988号
明細書において例えばメタルテープ等の高い抗磁力を有
する磁気テープに高密度記録するのに適した磁気ヘツド
を提案した。この磁気ヘツドは、第19図に示すよう
に、一対の磁気コア半体101,102をMn-Znフエラ
イト等の強磁性酸化物により形成するとともに、これら
磁気コア半体101,102の突き合わせ面を斜めに切
り欠き、この斜面103,104上に真空薄膜形成技術
によりセンダスト等の強磁性金属薄膜105,106を
被着形成し、これら強磁性金属薄膜105,106を当
接することにより磁気ギヤツプ107を形成し、さらに
トラツク幅規制溝内にテープ摺接面を確保し強磁性金属
薄膜105,106の摩耗を防止するために低融点ガラ
ス108,109あるいは高融点ガラス110,111
を充填して構成されるものであつて、信頼性や磁気特
性、耐摩耗性等の点で優れた特性を有するものである。
ところで、この種の磁気ヘツドを作製するには、通常、
強磁性酸化物基板に対して、第1の溝加工工程、第1の
ガラス充填工程、第2の溝加工工程、強磁性金属薄膜形
成工程、第2のガラス充填工程、鏡面加工工程等を経て
コアブロックを作成し、これを接合した後各チツプに切
断するという方法が採られている。
しかしながら、上述の製造方法では磁気ギヤツプ近傍部
の強磁性酸化物の先端位置を精度良く加工することが困
難であり、したがつて磁気ギヤツプからの磁束が最短距
離を通るような形状の磁気ヘツドを歩留良く製造するこ
とは難しく再生出力やQが低下するという欠点を有して
いる。また、その製造工程も煩雑である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
そこで本発明は、前述の従来の実情に鑑みて提案された
ものであつて、磁気ギヤツプ近傍部における強磁性酸化
物の先端位置を精度良く加工することが可能で、したが
つて出力やQの大きな磁気ヘツドを歩留良く製造でき、
さらに製造工程の削減が可能な磁気ヘツドの製造方法を
提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
強磁性酸化物よりなる基板に対し、第1の溝加工を施
し、上記基板の磁気ギャップ形成面となるべき面と20
゜〜80゜の角度で傾斜する斜面を形成する工程と、少
なくとも第1の溝内の斜面上に真空溝膜形成技術により
強磁性金属薄膜を成膜する工程と、上記第1の溝内に強
磁性金属膜の上から非磁性材を充填する工程と、上記斜
面に近接してトラック幅を規制するための第2の溝加工
を施す工程とによりコアブロックを作成し、このコアブ
ロック同志を接合した後、所定の位置で切断することを
特徴とするものである。
〔作用〕
このように、磁気ギヤツプ面となる面に対し20゜〜8
0゜の角度を有する斜面を形成し、その斜面上に強磁性
金属薄膜を形成して、この強磁性金属薄膜を押さえ込む
ように第1の溝内に非磁性材を充填した後、上記斜面に
近接してトラツク幅を規制するための第2の溝を形成す
ることを特徴として磁気ヘツドを製造することにより、
磁気ギヤツプ近傍部の強磁性酸化物の先端位置を精度良
く作ることができ、製造工程の簡略化を図ることもでき
る。また、第2の溝を加工するに際しては、第1の溝内
の傾斜面上に成膜された強磁性金属薄膜が非磁性材によ
って押さえ込まれているので、この第2の溝加時におけ
る加工応力によって当該強磁性金属薄膜が膜剥がれを起
こすようなことが防止される。
〔実施例〕
本発明による磁気ヘツドの製造方法の一実施例を図面を
参照にしながら説明する。
先ず、表面をラツプ処理等により平行度良くかつ平滑度
良く加工され例えばMn−Znフエライトよりなる強磁
性酸化物基板1を用意する。そして第1図に示すように
この強磁性酸化物基板1の磁気ギヤツプ形成面に対応す
る上面1aに、第1の溝2を回転砥石加工等により全幅
に亘つて複数平行に形成する。
上記第1の溝2を設けることにより、上記基板1には強
磁性金属薄膜形成面に対応する斜面3が形成される。こ
の斜面3は、上記基板1の上面1aに対し角度θで傾斜
しているが、この角度θは、20゜〜80゜程度の範囲に設
定することが好ましい。ここで20゜以下の角度である
と、隣接トラツクからのクロストークが大きくなり、望
ましくは30゜以上の角度を持たせるのがよい。また、上
記傾斜角度を90゜にした場合は、耐摩耗性が劣ることか
ら、80゜程度以下とするのがよい。また、傾斜角度を90
゜にすると、磁気ギヤツプの近傍部に形成される後述の
強磁性金属薄膜5の膜厚をトラツク幅に等しく形成する
必要があり、真空薄膜形成技術を用いて薄膜を形成する
にあたつて、多くの時間を要してしまうことや、膜構造
が不均一化してしまう点で好ましくない。
すなわち、上記強磁性酸化物基板1に被着形成される強
磁性金属薄膜5の膜厚tは、 t=Twsinθ でよいことから、トラツク幅に相当する膜厚を膜付けす
る必要がなく、ヘツド作製に要する時間を短縮すること
ができる。ここで、Twはトラツク幅であり、θは上記
強磁性金属薄膜形成面に対応する斜面3と磁気ギヤツプ
形成面に対応する上面1aとのなす角度である。
次いで、上記強磁性酸化物基板1に対し真空薄膜形成技
術により強磁性金属を被着し、第2図に示すように第1
の溝2内の斜面3を含めた基板1全面に強磁性金属薄膜
5を形成する。
上記強磁性金属薄膜5の材質としては、強磁性非晶質金
属合金いわゆるアモルフアス合金(たとえばFe,N
i,Coの1つ以上の元素とP,C,B,Siの1つ以
上の元素とからなる合金または、これを主成分としA
l,Ge,Be,Sn,In,Mo,W,Ti,Mn,
Cr,Zr,Hf,Nb等を含んだ合金)、Fe−Al
−Si系合金であるセンダスト合金、Fe−Al系合
金、Fe−Si系合金、パーマロイ等が使用可能であ
り、その膜付け方法としても、フラツシュ蒸着、ガス中
蒸着、イオンプレーテイング、スパツタリング、クラス
ター・イオンビーム法等に代表される真空薄膜形成技術
が採用される。
そして、第3図に示すように、上記強磁性酸化物基板1
の強磁性金属薄膜5によつて覆われた第1の溝2内に、
ガラス等の非磁性材6を充填し、その上面1aの余分な
強磁性金属薄膜5を平面研削して除去する。この結果、
基板1の上面1aに強磁性金属薄膜5の端面が露出する
と共に、当該強磁性金属薄膜5が非磁性材6によって押
さえ付けられた形となる。
さらに、第4図に示すように、強磁性金属薄膜5を被着
した斜面3と隣接し、上記第1の溝2と平行な複数の第
2の溝7を形成する。このとき上記第2の溝7の切削位
置は、この溝7が上記斜面3上に形成される強磁性金属
薄膜5の端部5aとほぼ一致するように設定されてい
る。また、この第2の溝7を強磁性金属薄膜5に近接し
て形成すると、加工応力によって斜面3上に成膜された
強磁性金属薄膜5が剥がれ易くなるが、本例では非磁性
材6によって強磁性金属薄膜5が押さえ付けられている
ので、膜剥がれを生じるような不都合が発生しない。次
いで上面1aを平面研摩し、さらに鏡面仕上げを行な
い、トラツク幅Twの矯正を行うとともに、上面1aす
なわち磁気ギヤツプ形成面に第1の溝2と第2の溝7に
よりトラツク幅が規制された強磁性金属薄膜5が臨むよ
うなコアブロツク15を作成する。上記基板1の上面1
aを平面研磨、鏡面研磨すると、やはり強磁性金属薄膜
5を斜面3から剥離するような外力が加わるが、本例で
は当該強磁性金属薄膜5は非磁性材6によって押さえ付
けられていることから、簡単に剥離するようなことはな
い。
以上の工程により、第4図に示すコアブロツク15を2
個作製する。そして、これら一対のコアブロツク15,
15のうち一方のブロツク15に対し、第5図に示すよ
うに、上記第1の切溝2及び第2の切溝7に直交するよ
うな巻線溝11とガラス溝12を平行に形成し、コアブ
ロック16を作成する。上記巻線溝11とガラス溝16
を形成する際には、やはり強磁性金属薄巻5に応力が加
わることから、当該強磁性金属薄巻5の巻剥がれが発生
し易いが、該強磁性金属薄巻5は非磁性材6によって押
さえ付けられているので巻剥がれが発生しない。
次に、第4図に示すコアブロツク15の磁気ギヤツプ形
成面となる上面15aと第5図に示すように巻線溝11
及びガラス溝12を設けたコアブロツク16の磁気ギヤ
ツプ形成面となる上面16aとを、これら上面15a,
16aのいずれか一方に膜付けされるギヤツプスペーサ
を介して、第6図に示すように、それぞれの磁気ギヤツ
プ形成面に臨む強磁性金属薄膜5,5が一致するように
重ね合わせる。そして、巻線溝11とガラス溝12から
ガラス等の非磁性材13を溶融しこれら一対のコアブロ
ック15、16を融着するとともにこの非磁性材13を
各第2の溝7内に充填する。なお、上記ギヤツプスペー
サとしては、SiO2,ZrO2,Ta25,Cr等を用
いることができる。
最後に、ガラス融着により一体化されたコアブロツク1
5,16を、バツクギヤツプ側のガラス融着用に設けら
れたガラス溝12付近を切断除去するとともに、第6図
中a−a線、a′−a′線の位置でスライシング加工
し、複数個のヘツドチツプを切り出した後、磁気テープ
摺接面を円筒研磨して第7図に示すような強磁性金属薄
膜5が所要角度で傾斜し、かつ磁気ギヤツプ23が上記
強磁性金属薄膜5のみで構成され、さらに強磁性酸化物
により形成される磁気コア21、22が磁気ギヤツプ近
傍部において精度良く加工され、そのため磁束が最短距
離を通る磁気ヘツドが得られる。
なお、上述の実施例において、第4図における工程で第
2の溝7を形成した後、あらかじめこの溝7内にガラス
等の非磁性材を充填し、上面1aを平面研摩し、トラツ
ク幅Twの矯正を行なつてコアブロツクを作成し、これ
らコアブロツク同志を接合するようにしてもよい。
ところで、本発明によれば、第4図に示すような第2の
溝7を形成する工程において、この第2の溝7の切削位
置を調節することにより、第8図ないし第10図の正面
図に示す強磁性酸化物ブロツク1が得られる。
第8図は、前述の実施例で作製されたものの断面図であ
り、第1の溝2と第2の溝7が磁気ギヤツプ形成面であ
る強磁性酸化物基板1の上面1aで接する場合である。
第9図は、第1の溝2と第2の溝7が上面1aで離れて
いる場合である。第10図は、第1の溝2と第2の溝7
がオーバーラツプしている場合であり、第1の溝2に被
着されている強磁性金属薄膜5の一部が第2の溝7内に
露出している。
そこで、上記3種類の強磁性酸化物ブロツクを種々組合
せることにより前述の実施例と同様の製造工程で第11
図図ないし第16図に磁気テープ摺接面を示す磁気ヘツ
ドを得ることができる。以上のように、本発明では、第
1の溝2を形成し、そこに強磁性金属薄膜5を被着した
後、トラツク幅Twを規制するための第2の溝7を形成
するという製造工程であるため、上記のような磁気ギヤ
ツプ面を有する様々な磁気ヘツドを作製することが可能
である。
また、第17図に示すように強磁性金属薄膜30,30
とガラス31,31の反応を防止するために、強磁性金
属薄膜30,30とガラス31,31の間に保護膜3
3,33を形成しても良い。さらに第18図に示すよう
に、強磁性金属薄膜30,30が第2の溝34,34に
より一部切欠かれている場合には、上記の保護膜33,
33以外に保護膜35,35を形成しても良い。上記保
護膜33,33,35,35はTa25,Cr,SiO
2,TiO2等の非磁性硬質膜またはその多層膜が使用可
能であり、その膜付け方法としても、フラツシュ蒸着、
ガス中蒸着、イオンプレーテイング、スパツタリング、
クラスター・イオンビーム法等に代表される真空薄膜形
成技術が採用される。なお、本発明は上記保護膜33,
33,35,35を形成しても何らさしつかえがないこ
とは明白である。また、これら保護膜33,33,3
5,35は、強磁性金属薄膜30形成後、あるいは第2
の溝34,34形成後に上述の手法により被着形成する
ことにより簡単に作成される。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように、本発明は磁気コア半体
対を強磁性酸化物で形成し、これに所要角度を有する斜
面を形成してこの斜面上に強磁性金属薄膜を被着せし
め、該強磁性金属薄膜を押さえ付ける形で溝内に非磁性
材を充填した後、トラック幅を規制するための第2の溝
を形成するという製造工程を有している。
このため、第2の溝の切削位置を調節することによりト
ラツク幅を精度良く製造することが可能となり、強磁性
金属薄膜だけで構成された磁気ギヤツプ部から最短距離
を通つて強磁性酸化物に磁束を通す形状の磁気ヘツドを
歩留り良く製造できるとともに、Qが大きくなり、出力
も大きくなり、生産性や信頼性、製造コストの点で有利
である。また、本発明では、第1の溝の斜面に成膜した
強磁性金属薄膜を非磁性材によって押さえ付けているの
で、その後の第2の溝形成加工や平面研磨加工、鏡面研
磨加工、ガラス溝形成加工、巻線溝形成加工工程で大き
な加工応力が加わっても当該強磁性金属薄巻が巻剥がれ
を生じるようなことがなく、その後の工程を進めること
ができる。
また、第2の溝にガラス等の非磁性材を充填する工程を
一対の強磁性酸化物ブロツクの融着と同時に行うことが
できるので、この充填する工程を削減することができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第6図は本発明による磁気ヘツドの製造方
法の一実施例をその工程順序に従つて示す概略的な斜視
図、第7図は上記製造方法により作製された磁気ヘツド
の斜視図、第8図ないし第10図は第1の溝と第2の溝
の位置関係を示す断面図、第11図ないし第16図は第
8図ないし第10図に示す位置関係の溝を有するコアブ
ロツクを組み合せて得られる磁気ヘツドの磁気テープ摺
接面を示す要部平面図、第17図および第18図は保護
膜が形成された磁気ヘツドの磁気テープ摺接面を示す要
部平面図、第19図は従来の製造方法によつて作製され
る磁気ヘツドの斜視図である。 1……強磁性酸化物基板 2……第1の溝 3……斜面 5……強磁性金属薄膜 7……第2の溝

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】強磁性酸化物よりなる基板に対し、第1の
    溝加工を施し、上記基板の磁気ギャップ形成面となるべ
    き面と20゜〜80゜の角度で傾斜する斜面を形成する
    工程と、少なくとも第1の溝内の斜面上に真空薄膜形成
    技術により強磁性金属薄膜を成膜する工程と、上記第1
    の溝内に強磁性金属膜の上から非磁性材を充填する工程
    と、上記斜面に近接してトラック幅を規制するための第
    2の溝加工を施す工程とによりコアブロックを作成し、
    このコアブロック同志を接合した後、所定の位置で切断
    することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
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