JPH11339219A

JPH11339219A - 磁気ヘッド及びその製造方法

Info

Publication number: JPH11339219A
Application number: JP14467598A
Authority: JP
Inventors: Futoshi Yoshida; 太吉田
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1998-05-26
Filing date: 1998-05-26
Publication date: 1999-12-10

Abstract

(57)【要約】【課題】チップ化のための切断加工による接合界面へ
の影響を低減し、歩留まりを向上させるようにした、磁
気ヘッド及びその製造方法を提供すること。【解決手段】磁気記録媒体に接触すべき摺動面側の一
端にてギャップ２３を構成し、且つギャップの下方にて
巻線窓２１ａ，２２ａを形成するように、一対のコア半
体を互いに突き合わせて接合した、磁性材料から構成さ
れた磁気コア２１，２２を含んでおり、上記ギャップ
が、磁気コアの両側縁に設けられ且つ接触面にて側縁に
対して斜めに延びるトラック幅規制溝２４，２５によっ
て、所定トラック幅となるように、規制されていて、上
記摺動面２０ａが両側に形成された摺動幅規制溝２０
ｂ，２０ｃにより所定の摺動幅となるように、規制され
ている、磁気ヘッドであってさらに、上記摺動幅規制溝
の側縁が、少なくとも一つの段部２９を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ビデオテープレコ
ーダ（ＶＴＲ）やデジタルオーディオテープレコーダ
（ＤＡＴ）あるいはコンピュータ等のデータ記録再生の
ために、磁気テープ等の磁気記録媒体に対してデータの
記録再生するための磁気ヘッド及びその製造方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、このような磁気ヘッドは、例えば
図７に示すように、構成されている。図８において、磁
気ヘッド１は、所謂メタルインギャップ（ＭＩＧ）ヘッ
ドとして構成されており、互いに接合された二つのコア
半体２及び３から成る磁気コアを含んでいる。

【０００３】コア半体２，３は、それぞれフェライト等
の磁性材料から構成されていると共に、互いに接合され
るべき接合面のうち、少なくとも表面（磁気記録媒体に
対する接触面）寄りの所謂ギャップ形成面が、その間
に、ギャップ４を形成するようになっている。また、各
コア半体２，３は、その接合面に、コイルとして巻回さ
れる巻線を受容し且つギャップ４のデプスを規制するた
めの巻線溝２ａ，３ａを備えている。そして、この巻線
溝２ａ，３ａにより形成された巻線窓を通して、コア半
体２または３の少なくとも一方、例えばコア半体２に対
してコイル（図示せず）が巻回されている。

【０００４】ここで、上記ギャップ４は、そのトラック
幅方向に関して所定のトラック幅Ｔｗを有するように、
コア半体２，３の側縁に形成されたトラック幅規制溝
５，６により、規制されている。このトラック幅規制溝
５，６は、ギャップ４の両端縁からそれぞれデプス方向
に亘って円弧状に形成されている。

【０００５】各コア半体２，３は、そのギャップ形成面
及び巻線溝２ａ，３ａそしてトラック幅規制溝５，６の
内面に、高透磁率・磁束密度膜としての金属磁性膜及び
ギャップ膜７を備えている。図示の場合、各コア半体
２，３は、巻線溝２ａ，３ａ及びトラック幅規制溝５，
６の形成後に、ギャップ形成面，巻線溝２ａ，３ａ及び
トラック幅規制溝５，６の内面に、金属磁性膜７及びギ
ャップ膜８が形成され、その後トラック幅規制溝５，６
内に接合ガラス９が封入されることにより、コア半体
２，３が互いに接合されるようになっている。

【０００６】さらに、図８に示した磁気ヘッド１におい
ては、その磁気記録媒体のための摺動面１ａの摺動幅を
規制するための摺動幅規制溝１ｂ，１ｃが、前記ギャッ
プ４の両端縁を挟むように、形成されている。

【０００７】このように構成された磁気ヘッド１によれ
ば、記録時には、例えば図示しない磁気テープが、磁気
ヘッド１の摺動面１ａに沿って、矢印Ｔ方向に摺動する
と共に、外部から磁気ヘッド１のコア半体２に巻回され
たコイルに対して駆動電流が導入されることにより、こ
の駆動電流に対応した磁界がコイルに発生する。そし
て、このコイルに発生した磁界が、コア半体２，３の巻
線溝２ａ，３ａの周りを磁路として循環して、ギャップ
４を通過することにより、磁気テープに対して所望のデ
ータの磁気記録が行なわれる。また、再生時には、摺動
する磁気テープに記録された磁気信号に基づいて、ギャ
ップ４からコア半体２，３を循環する磁界が発生し、こ
の磁界に基づいて、コイルに信号電流が発生する。そし
て、このコイルに発生した信号電流が、外部に取り出さ
れ、適宜に処理されることより、磁気テープに記録され
たデータが再生されることになる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
構成の磁気ヘッド１は、製造に際して、図９及び図１０
に示すように製造される。先ず、図９（Ａ）に示すよう
に、例えばフェライトから成る板状の一対の基板１０
は、その上面（主面）１０ａの幅方向にトラック幅Ｔｗ
となるフェライト断面が残るように、トラック幅規制溝
１１（５，６）が形成される（図９（Ｂ）参照）。続い
て、この基板１０は、図９（Ｃ）に示すように、その上
面（主面）の長手方向に沿って、コイル巻線を受容し且
つギャップのデプスを規制するための巻線溝１２（２
ａ，３ａ）が形成される。ここで、基板１０の主面１０
ａ，トラック幅規制溝１１及び巻線溝１２の内面に、図
１０（Ａ）に示すように、高透磁率・磁束密度膜として
の金属磁性膜１３（７）が形成され、さらに少なくとも
ギャップ４を形成する突き合わせ面の領域に、規定のギ
ャップ長の約半分の厚さのギャップ膜１４（８）が形成
される。

【０００９】このように構成された一対の基板１０が、
図１０（Ｂ）に示すように、二つのコア半体ブロックと
して、ギャップスペーサを介して、互いに主面が接する
ように重ねられ、トラック合わせされた後、接合ガラス
１５がトラック幅規制溝１１に充填されて、二つの基板
１０が互いに接合される。その後、図１０（Ｃ）に示す
ように、磁気テープに対接する面が円筒研削されて、摺
動面１６（１ａ）が形成され、磁気コアブロック１７が
構成されることになると共に、図１１及び図１２に示す
ように、この摺動面１６の各トラック幅規制溝１１の間
の領域に、摺動幅規制溝１８（１ｂ，１ｃ）が形成され
る。最後に、図１３及び図１４に示すように、所定のチ
ップ厚及びチップ長となるように、長手方向に関して各
トラック幅規制溝１８毎に、例えばスライシングによっ
てチップ厚切断溝１９が形成された後、バック切断が行
なわれることにより、図８に示した磁気ヘッド１が完成
する。

【００１０】ところで、このような構成の磁気ヘッド１
においては、上記摺動幅規制溝１８の加工は、被加工物
に対する影響をできるだけ押さえるように例えば３乃至
８μｍ程度の砥粒径の細かい砥石により行なわれるが、
チップ厚切断及びバック切断の加工は、できるだけ加工
時間が短くなるように、例えば２０乃至３０μｍ程度の
砥粒径の砥石により行なわれる。このため、チップ厚切
断の際に、切断エッジのダメージが大きくなってしま
い、特に上述したＭＩＧヘッドのような三種類以上の材
料が互いに接合されている磁気ヘッドにおいては、その
接合界面で部分剥離が生じてしまうことになり、歩留ま
りが低下すると共に、信頼性が損なわれてしまうという
問題があった。

【００１１】これに対して、上記のように三段階の切断
加工をしないで、上記摺動幅規制溝１ｂ，１ｃの加工の
際に、細かい砥石によって、コア半体２，３及び接合ガ
ラス９と金属磁性膜７の接合部をすべて一度で切断加工
することも考えられる。しかし、この場合は、摺動幅規
制溝１ｂ，１ｃの加工深さが１００μｍ以上になってし
まう。そうすると、図１３のグラフに示すように、記録
波長域１μｍ以下にて記録再生出力が０．５ｄＢ以上低
下することが実験により確認されていることから、磁気
ヘッド特性が劣化してしまう。従って、このような加工
は採用することができなかった。

【００１２】本発明は、以上の点に鑑み、チップ化のた
めの切断加工による接合界面への影響を低減し、歩留ま
りを向上させるようにした、磁気ヘッド及びその製造方
法を提供することを目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的は、請求項１の
発明によれば、磁気記録媒体に接触すべき摺動面側の一
端にてギャップを構成し、かつギャップの裏側にて巻線
窓を形成するように、一対のコア半体を互いに突き合わ
せて接合した、磁性材料から構成された磁気コアを含ん
でおり、上記ギャップが、磁気コアの両側縁に設けられ
且つ接触面にて側縁に向かって延びるトラック幅規制溝
によって、所定トラック幅となるように、規制されてい
て、上記摺動面がその幅方向の両側に形成された摺動幅
規制溝により所定の摺動幅となるように、規制されてお
り、さらに、上記摺動幅規制溝の側縁が、少なくとも一
つの段部を備えている、磁気ヘッドにより、達成され
る。

【００１４】また、上記目的は、請求項３の発明によれ
ば、コア半体となる長い板状の磁性体でなる基板に対し
て、所定間隔ごとに幅方向に沿った溝を形成してトラッ
ク幅規制溝を設け、さらに長さ方向に沿って溝を形成す
ることで巻線溝を設ける第一の工程と、二つのコア半体
の上記各溝が形成された面が向き合うようにしてギャッ
プ材を挟んで対向させ、上記巻線溝により形成された巻
線窓に、それぞれ順次にガラス充填することにより、二
つのコア半体を互いに接合して、長い磁気コアブロック
を構成する第二の工程と、磁気コアブロックのテープ摺
動面となるべき一側の端面を研磨して、所定の曲率を有
する摺動面を加工すると共に、この摺動面の幅方向の両
側に摺動幅規制溝を形成する第三の工程と、上記摺動幅
規制溝内に、少なくとも一つの段部を成形する第四の工
程と、上記摺動幅規制溝及び段分によって分離された各
テープ摺動面毎に、チップ厚切断及びバック切断によ
り、磁気コアブロックを切断して、個々の磁気ヘッドを
切り出す第五の工程とを含む、磁気ヘッドの製造方法に
より、達成される。

【００１５】請求項１の構成によれば、摺動面を規制す
る摺動幅規制溝の側縁に沿って、少なくとも一つの段部
が形成されているので、チップ厚切断の際に形成される
チップ厚切断溝と摺動幅規制溝の間に、上記少なくとも
一つの段部が存在することによって、チップ厚切断によ
る摺動幅規制溝の接合界面への影響が、低減されること
になる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を図１乃至図６を参照しながら、詳細に説明する。尚、
以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例である
から、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、
本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定
する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるもの
ではない。

【００１７】図１は、本発明による磁気ヘッドの第一の
実施形態を示している。図１において、磁気ヘッド２０
は、互いに接合された二つのコア半体２１及び２２から
成る磁気コアを含んでいる。

【００１８】コア半体２１，２２は、それぞれフェライ
ト等の磁性材料から構成されていると共に、互いに接合
されるべき接合面のうち、少なくとも表面（磁気記録媒
体に対する接触面）寄りの所謂ギャップ形成面が、その
間に、ギャップ２３を形成するようになっている。ま
た、各コア半体２１，２２は、その接合面に、コイルと
して巻回される巻線を受容し且つギャップ２３のデプス
を規制するための巻線溝２１ａ，２２ａを備えている。
そして、この巻線溝２１ａ，２２ａにより形成された巻
線窓を通して、コア半体２１または２２の少なくとも一
方、例えばコア半体２１に対してコイル（図示せず）が
巻回されている。

【００１９】ここで、上記ギャップ２３は、そのトラッ
ク幅方向に関して所定のトラック幅Ｔｗを有するよう
に、コア半体２１，２２の側縁に形成されたトラック幅
規制溝２４，２５により、規制されている。このトラッ
ク幅規制溝２４，２５は、ギャップ２３の両端縁からそ
れぞれデプス方向に亘って円弧状に形成されている。

【００２０】さらに、各コア半体２１，２２は、そのギ
ャップ形成面に、高透磁率・磁束密度膜として、例えば
FeAlSi,FeReGa,FeTaN,等でなる金属磁性膜２６及び、例
えばSi0_2,Cr,Ai₂O₃,ZrO₂でなるギャップ膜２７を備え
ている。図示の場合、各コア半体２１，２２は、後述す
るように、巻線溝２１ａ，２２ａ及びトラック幅規制溝
２４，２５の形成後に、ギャップ形成面に、金属磁性膜
２６，２７が形成され、その後トラック幅規制溝２４，
２５内に接合ガラス２８が封入されることにより、コア
半体２１，２２が互いに接合されるようになっている。

【００２１】ここで、磁気ヘッド２０においては、その
磁気記録媒体のための摺動面２０ａの当たり幅を規制す
るための摺動幅規制溝２０ｂ，２０ｃが、前記ギャップ
２３の両端縁を挟むように、形成されている。

【００２２】以上の構成は、図８に示した従来の磁気ヘ
ッド１とほぼ同様の構成であるが、本実施形態による磁
気ヘッド２０においては、上記摺動幅規制溝２０ｂ，２
０ｃの側縁に沿って、少なくとも一つの段部２９が備え
られている。この段部２９は、後述するように、摺動幅
規制溝２０ｂ，２０ｃに対して、補助溝を加工すること
により、形成されている。ここで、この補助溝は、摺動
幅規制溝２０ｂ，２０ｃの加工を行なうための細かい、
例えば砥粒径３乃至８μｍ程度の砥石を使用することに
より、加工されるようになっている。これにより、補助
溝の加工の際に、摺動幅規制溝２０ｂ，２０ｃがダメー
ジを受けるようなことはない。

【００２３】このような構成の磁気ヘッド２０は、製造
に際して、以下に示すように製造される。先ず、図２
（Ａ）に示すように、例えばフェライトから成る板状の
一対の基板３０は、その上面（主面）３０ａの幅方向に
トラック幅Ｔｗとなるフェライト断面が残るように、長
さ方向に所定間隔をおいて、順次幅方向に削り取ること
によって、トラック幅規制溝３１（２４，２５）が形成
される（図２（Ｂ）参照）。続いて、この基板３０は、
図２（Ｃ）に示すように、その主面３０ａの長手方向に
沿って、コイル巻線を受容し且つギャップのデプスを規
制するための巻線溝３２（２１ａ，２２ａ）が形成され
る。

【００２４】ここで、基板３０の主面３０ａ，トラック
幅規制溝３１及び巻線溝３２の内面に、図３（Ａ）に示
すように、高透磁率・磁束密度膜としての金属磁性膜３
３が形成され、さらに少なくともギャップ２３を形成す
る突き合わせ面の領域に、規定のギャップ長の約半分の
厚さのギャップ膜３４（２７）が形成される。

【００２５】このように構成された一対の基板３０が、
図３（Ｂ）に示すように、二つのコア半体ブロックとし
て、ギャップスペーサを介して、互いに主面が接するよ
うに重ねられ、トラック合わせされた後、接合ガラス３
５がトラック幅規制溝３１に充填されて、二つの基板３
０が互いに接合される。その後、図２（Ｆ）に示すよう
に、磁気テープに対接する面が円筒研削されて、摺動面
３６（２０ａ）が形成され、磁気コアブロック３７が構
成されることになる。

【００２６】次に、図３及び図４に示すように、この摺
動面３６の各トラック幅規制溝３１の間の領域に、摺動
幅規制溝３８（２０ｂ，２０ｃ）が形成された後、各摺
動幅規制溝３８の中央付近にて、基板３０の幅方向に沿
って、段部２９を形成するための補助溝３９が形成され
る。ここで、上記摺動幅規制溝３８及び補助溝３９は、
共に例えば砥粒径３乃至８μｍ程度の細かい砥石を使用
することにより、加工される。従って、補助溝３９の加
工の際に、摺動幅規制溝３８がダメージを受け、接合界
面に部分剥離が生じるようなことはない。さらに、上記
摺動幅規制溝３８は、図１５のグラフに示すように、記
録再生出力の低下を回避するため、好ましくは１００μ
ｍ以下の深さに加工される。また、補助溝３９は、その
深さが図３にて点線ｃで示すように、ギャップ２３付近
の接合ガラス２８（３５）のある部分を加工できるよう
に、最小限の深さに選定される。ここで、図５に示すよ
うに、補助溝３９による残り幅、即ち段部２９の幅ｄ１
は、約１０μｍ程度に選定される。これは、この幅ｄ１
が１０μｍ以上あれば、摺動幅規制溝３８の底面３８ａ
の幅ｄ０に対して、加工ダメージが生じないことによ
る。

【００２７】最後に、所定のチップ厚及びチップ長とな
るように、幅方向に沿って各トラック幅規制溝３１毎
に、補助溝３９内にて、例えばスライシングによってチ
ップ厚切断溝４０が形成された後、バック切断が行なわ
れることにより、図１に示した磁気ヘッド２０が完成す
る。

【００２８】本実施形態による磁気ヘッド２０は、以上
のように構成されており、記録時には、図示しない磁気
テープが、磁気ヘッド２０の摺動面２０ａに沿って摺動
すると共に、外部から磁気ヘッド２０のコア半体２１に
巻回されたコイル（図示せず）に対して駆動電流が導入
されることにより、この駆動電流に対応した磁界がコイ
ルに発生する。そして、このコイルに発生した磁界が、
コア半体２１，２２の巻線溝２１ａ，２２ａの周りを磁
路として循環し、ギャップ２３を通過することにより、
磁気テープに対して所望のデータの磁気記録が行なわれ
る。

【００２９】また、再生時には、摺動する磁気テープに
記録された磁気信号に基づいて、ギャップ２３からコア
半体２１，２２を循環する磁界が発生し、この磁界に基
づいて、コイルに信号電流が発生する。そして、このコ
イルに発生した信号電流が、外部に取り出され、適宜に
処理されることより、磁気テープに記録されたデータが
再生されることになる。

【００３０】ここで、本実施形態による磁気ヘッド２０
においては、チップ厚切断の際に、例えば砥粒径２０乃
至３０μｍの砥石を使用したとしても、チップ厚切断溝
４０を加工する箇所である補助溝３９と摺動幅規制溝３
８との間には、段部２９が存在することから、摺動幅規
制溝３８にはダメージが発生せず、その接合界面におけ
る部分剥離が低減されるので、磁気ヘッドの磁気特性の
劣化がなく、信頼性が向上することになる。さらに、チ
ップ厚切断が迅速に行なわれることになり、磁気ヘッド
の生産効率が向上することになる。

【００３１】図６及び図７は、本発明による磁気ヘッド
の第二の実施形態を示している。図６及び図７において
は、磁気ヘッド５０は、図５に示すように、摺動幅規制
溝３８及び補助溝３９が形成された磁気コアブロック３
７に対して、その摺動面２０ａ，摺動幅規制溝３８及び
補助溝３９の表面に、耐食膜５１が形成された後、図５
にて点線で示すように、チップ厚加工溝４０が形成され
るようになっている。この耐食膜５１は、例えばＣｒや
ＳｉＯ２等をスパッタリングすることにより、１００ｎ
ｍの厚さに形成される。この構成によれば、補助溝３９
の底面に対して、チップ厚切断溝が加工される際、補助
溝３９の底面と摺動幅規制溝３８の底面との間には、段
部２９が存在することから、チップ厚切断溝の加工によ
る耐食膜５１のダメージは、補助溝３９の底面の領域に
限定されることになり、摺動幅規制溝３８の底面の耐食
膜５１はダメージを受けない。従って、磁気ヘッド５０
の信頼性が向上すると共に、磁気ヘッド５０の例えばチ
ップベースに対する接着強度が保持されることになる。

【００３２】上述した実施形態においては、補助溝３９
による段部が一つの場合について説明したが、これに限
らず、二つ以上の段部を備えるようにしてもよいことは
明らかである。ここで、段部の数が多い程、磁気特性の
劣化が低減されるが、加工に要する時間が長くなってし
まう。このため、段部の数は、磁気特性の劣化と加工時
間の増加を勘案して、適宜に設定されるものである。

【００３３】また、上述した実施形態においては、トラ
ック幅規制溝３１及び巻線溝３２は、金属磁性膜３３が
形成される前に形成されるようになっているが、これに
限らず、金属磁性膜３３が基板３０の主面３０ａに形成
された後に、トラック幅規制溝３１及び巻線溝３２が形
成されるようにしてもよいことは明らかである。

【００３４】さらに、上述した実施形態においては、ギ
ャップ２３がアジマス角を有する磁気ヘッド２０につい
て説明したが、これに限らず、アジマス角が０度である
磁気ヘッドについても、本発明を適用できることは明ら
かである。

【００３５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、チ
ップ化のための切断加工による接合界面への影響を低減
し、歩留まりを向上させるようにした、磁気ヘッド及び
その製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による磁気ヘッドの第一の実施形態の全
体構成を示す概略斜視図である。

【図２】図１の磁気ヘッドの製造工程における摺動幅規
制溝の加工前までの各工程を順次に示す概略斜視図であ
る。

【図３】図１の磁気ヘッドの製造工程における摺動幅規
制溝の加工前までの各工程を順次に示す概略斜視図であ
る。

【図４】図１の磁気ヘッドの製造工程における摺動幅規
制溝の加工工程を示す概略斜視図である。

【図５】図３の工程により加工される摺動幅規制溝を示
す磁気ヘッドの部分拡大正面図である。

【図６】本発明による磁気ヘッドの第二の実施形態の製
造工程における耐食膜形成工程を示す概略斜視図であ
る。

【図７】図５の工程により加工される耐食膜を示す磁気
ヘッドの部分拡大正面図である。

【図８】従来の磁気ヘッドの一例の全体構成を示す概略
斜視図である。

【図９】図７の磁気ヘッドの製造工程における摺動幅規
制溝の加工前までの各工程を順次に示す工程図である。

【図１０】図７の磁気ヘッドの製造工程における摺動幅
規制溝の加工前までの各工程を順次に示す工程図であ
る。

【図１１】図７の磁気ヘッドの製造工程における摺動幅
規制溝の加工工程を示す概略斜視図である。

【図１２】図９の工程により加工される摺動幅規制溝を
示す磁気ヘッドの部分拡大正面図である。

【図１３】図７の磁気ヘッドの製造工程におけるチップ
厚切断溝加工工程を示す概略斜視図である。

【図１４】図９の工程により加工されるチップ厚切断溝
を示す磁気ヘッドの部分拡大正面図である。

【図１５】磁気ヘッドにおける摺動幅加工深さと磁気ヘ
ッドの再生出力との関係を示すグラフである。

【符号の説明】

２０・・・磁気ヘッド、２１，２２・・・コア半体、２
１ａ，２２ａ・・・巻線溝、２３・・・ギャップ、２
４，２５・・・トラック幅規制溝、２６・・・金属磁性
膜、２７・・・ギャップ膜、２８・・・接合ガラス、２
９・・・段部、３０・・・基板、３１・・・トラック幅
規制溝、３２・・・巻線溝、３３・・・金属磁性膜、３
４・・・ギャップ膜、３５・・・接合ガラス、３６・・
・摺動面、３７・・・磁気コアブロック、３８・・・摺
動幅規制溝、３９・・・補助溝、４０・・・チップ厚切
断溝、５０・・・磁気ヘッド、５１・・・耐食膜。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気記録媒体に接触すべき摺動面側の一
端にてギャップを構成し、かつギャップの裏側にて巻線
窓を形成するように、一対のコア半体を互いに突き合わ
せて接合した、磁性材料から構成された磁気コアを含ん
でおり、上記ギャップが、磁気コアの両側縁に設けられ且つ接触
面にて側縁に向かって延びるトラック幅規制溝によっ
て、所定トラック幅となるように、規制されていて、上記摺動面がその幅方向の両側に形成された摺動幅規制
溝により所定の摺動幅となるように、規制されており、さらに、上記摺動幅規制溝の側縁が、少なくとも一つの
段部を備えていることを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】上記摺動面と、摺動幅規制溝及び段部の
表面に、耐食膜が形成されていることを特徴とする請求
項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項３】コア半体となる長い板状の磁性体でなる
基板に対して、所定間隔ごとに幅方向に沿った溝を形成
してトラック幅規制溝を設け、さらに長さ方向に沿って
溝を形成することで巻線溝を設ける第一の工程と、二つのコア半体の上記各溝が形成された面が向き合うよ
うにしてギャップ材を挟んで対向させ、上記巻線溝によ
り形成された巻線窓に、それぞれ順次にガラス充填する
ことにより、二つのコア半体を互いに接合して、長い磁
気コアブロックを構成する第二の工程と、磁気コアブロックのテープ摺動面となるべき一側の端面
を研磨して、所定の曲率を有する摺動面を加工すると共
に、この摺動面の幅方向の両側に摺動幅規制溝を形成す
る第三の工程と、上記摺動幅規制溝内に、少なくとも一つの段部を成形す
る第四の工程と、上記摺動幅規制溝及び段分によって分離された各テープ
摺動面毎に、チップ厚切断及びバック切断により、磁気
コアブロックを切断して、個々の磁気ヘッドを切り出す
第五の工程とを含んでいることを特徴とする磁気ヘッド
の製造方法。
【請求項４】上記第一の工程の後に、各コア半体の接
合面に、金属磁性膜及びギャップ膜を形成する工程を備
えていることを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッド
の製造方法。
【請求項５】上記第四の工程の後に、摺動面及び摺動
幅規制溝及び段部の表面に、耐食膜を形成する工程を備
えていることを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッド
の製造方法。