JP3332222B2 - スライダ用素材の製造方法、スライダの製造方法およびスライダ用素材 - Google Patents

スライダ用素材の製造方法、スライダの製造方法およびスライダ用素材

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    • Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
    • Y10T29/49053—Multitrack heads having integral holding means

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば薄膜磁気ヘ
ッド用のスライダを製造するために用いられるスライダ
の製造方法、スライダ用素材の製造方法およびスライダ
用素材に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置等に用いられる浮上型
薄膜磁気ヘッドは、一般的に、後端部に薄膜磁気ヘッド
素子が形成された薄膜磁気ヘッドスライダ（以下、単に
スライダとも言う。）によって構成されるようになって
いる。スライダは、一般的に、表面が媒体対向面（エア
ベアリング面）となるレール部を有すると共に、空気流
入側の端部近傍にテーパ部またはステップ部を有し、テ
ーパ部またはステップ部より流入する空気流によってレ
ール部が磁気ディスク等の記録媒体の表面からわずかに
浮上するようになっている。
【０００３】また、薄膜磁気ヘッド素子としては、書き
込み用の誘導型磁気変換素子と読み出し用の磁気抵抗
（以下、ＭＲ（Magnetoresistive ）と記す。）素子と
を積層した構造の複合型の薄膜磁気ヘッド素子が広く用
いられている。
【０００４】薄膜磁気ヘッドスライダは、一般に、それ
ぞれ薄膜磁気ヘッド素子を含むスライダとなる部分（以
下、スライダ部分と言う。）が複数列に配列されたウェ
ハを一方向に切断して、スライダ部分が一列に配列され
たバーと呼ばれるブロックを形成し、このバーに対して
レール部を形成した後に、バーを切断して各スライダに
分離することによって製造される。
【０００５】このようなスライダの製造工程には、バー
における媒体対向面となる面（以下、便宜上、媒体対向
面と言う。）に対して研削（グラインディング）や研磨
（ラッピング）等の加工を施す媒体対向面の加工工程
と、ウェハよりバーを切り出すバー切断工程とが含まれ
る。なお、バーの媒体対向面の加工工程とバー切断工程
の順序は、後で説明するように、バーの媒体対向面の加
工およびウェハからのバーの切り出しの方法によって異
なる。
【０００６】媒体対向面の加工工程では、バーに含まれ
る薄膜磁気ヘッド素子におけるＭＲハイトやスロートハ
イトを全て許容範囲内に収める必要があると共に、被加
工面の加工精度を所定の許容範囲内に収める必要があ
る。なお、ＭＲハイトとは、ＭＲ素子の媒体対向面側の
端部から反対側の端部までの長さ（高さ）を言う。ま
た、スロートハイトとは、誘導型磁気変換素子における
磁極部分の媒体対向面側の端部から反対側の端部までの
長さ（高さ）を言う。
【０００７】ところで、従来、バーの媒体対向面の加工
およびウェハからのバーの切り出しは、次のような方法
で行われることが多かった。その方法とは、ウェハか
ら、一列分のスライダ部分を含むバーを切り出し、この
バーにおける媒体対向面とは反対側の面を所定の治具に
接着することによりバーを治具に固定し、この治具に固
定されたバーにおける媒体対向面の加工を行うというも
のである。以下、この方法を第１の方法と言う。第１の
方法は、例えば特開平１０−２２８６１７号公報や、特
開平８−３１５３４１号公報や、特開平９−２７４７１
４号公報に示されている。
【０００８】また、従来、バーの媒体対向面の加工およ
びウェハからのバーの切り出しの方法としては、上述の
第１の方法の他にも、以下に示すような第２ないし第６
の方法が提案されていた。
【０００９】第２の方法は、例えば米国特許第５，４０
６，６９４号の第７図に示されるように、ウェハから、
数列分のスライダ部分を含む所定の長さのブロックを切
り出し、このブロックにおける媒体対向面とは反対側の
面を所定の治具に接着することによりブロックを治具に
固定し、この治具に固定されたブロックにおける媒体対
向面の加工を行った後、ブロックより、媒体対向面の加
工が済んだバーを切り出すというものである。
【００１０】第３の方法は、例えば特開平４−２８９５
１１号公報の図３に示されるように、ウェハを所定の治
具に固定し、この治具に取り付けられたウェハにおける
媒体対向面の加工を行った後、ウェハより、媒体対向面
の加工が済んだバーを切り出すというものである。
【００１１】第４の方法は、例えば特開平４−２８９５
１１号公報の図７に示されるように、ウェハ、またはウ
ェハより切り出された数列分のスライダ部分を含む所定
の長さのブロックにおける媒体対向面とは反対側の基準
面を加工した後、この基準面を所定の治具に接着するこ
とにより、ウェハまたはブロックを治具に固定し、その
後、媒体対向面となる位置で、ウェハまたはブロックを
切断することにより、治具に固定された状態でバーを切
り出し、このバーにおける媒体対向面の加工を行うとい
うものである。
【００１２】第５の方法は、例えば特開平４−２８９５
１１号公報の図８および図９に示されるように、隣り合
う列間で媒体対向面同士または媒体対向面とは反対側の
面同士が対向するようにスライダ部分が形成されたウェ
ハを、媒体対向面とは反対側の面同士が対向する位置で
切断することによって、ウェハより２列分のスライダ部
分を含むブロックを切り出し、このブロックにおける両
端面にそれぞれ所定の治具を接着により固定し、その
後、ブロックを、媒体対向面同士が対向する位置で切断
することによって、それぞれ治具に固定された２本のバ
ーに分離し、各バーにおける媒体対向面の加工を行うと
いうものである。
【００１３】第６の方法は、例えば特開平４−２８９５
１１号公報の図１０および図１１に示されるように、隣
り合う列間で媒体対向面同士または媒体対向面とは反対
側の面同士が対向するようにスライダ部分が形成された
ウェハを、媒体対向面同士が対向する位置で切断するこ
とによって、ウェハより２列分のスライダ部分を含むブ
ロックを切り出し、このブロックにおける一方の媒体対
向面に所定の治具を接着により固定して、他方の媒体対
向面の加工を行い、その後、加工の済んだ他方の媒体対
向面に所定の治具を接着により固定し、一方の媒体対向
面側より治具を取り外し、この一方の媒体対向面の加工
を行い、ブロックを、媒体対向面とは反対側の面同士が
対向する位置で切断することによって、２本のバーに分
離するというものである。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】上述の各種の方法のう
ち、第１の方法は、ウェハより１列分のスライダ部分を
含むバーを切り出し、このバーを治具に固定し、バー単
位で媒体対向面の加工を行うので、バーが、治具との間
の接着面の状態や接着による歪みの影響を受けて、湾曲
等の変形を生じやすい。そのため、バーの被加工面の加
工精度の劣化や、バー内における薄膜磁気ヘッド素子を
形成する各層（パターン）の湾曲等の変形が生じ易いと
共に、ＭＲ素子の抵抗値およびＭＲハイトや、スロート
ハイトを精度よく制御することが難しくなり、特性のよ
い薄膜磁気ヘッドスライダを精度よく製造することが難
しいという問題点がある。
【００１５】第５および第６の各方法では、ウェハより
２列分のスライダ部分を含むブロックを切り出し、この
ブロックを治具に固定するが、この場合でも、ブロック
は薄く、変形し易いので、上記の第１の方法と同様の問
題を生じる。また、第５および第６の各方法では、２列
分のスライダ部分を含むブロックにおいて、２つの列内
の薄膜磁気ヘッド素子が互いに反対方向を向いているの
で、媒体対向面の加工やバー切り出しに要する工数が多
くなるという問題点がある。
【００１６】これに対し、第２ないし第４の各方法で
は、ウェハより切り出された後のバーまたは２列分のス
ライダ部分を含むブロックを、独立した状態で、治具に
固定する工程がないので、上述の問題は低減される。
【００１７】しかしながら、第３および第４の各方法で
は、バーの切断毎に、ウェハあるいはブロックと治具と
の固定および分離の工程が必要となり、作業が煩雑で、
生産効率が悪いという問題点がある。また、第３の方法
では、ウェハに残るスライダ部分の列数によって、媒体
対向面の加工の際の被加工物であるウェハの形状が変化
するため、媒体対向面の加工時の取り扱いが不便である
という問題点がある。また、第４の方法でもウェハより
切り出されたバーが、一つ一つ長さが異なるため、媒体
対向面の加工時の取り扱いが不便であるという問題点が
ある。
【００１８】これに対し、第２の方法では、複数列分の
スライダ部分を含み、一定の幅を有し、各スライダ部分
内の薄膜磁気ヘッド素子が同一方向を向いたブロックを
用いて、媒体対向面の加工とバーの切り出しの処理を繰
り返し実行するので、これらの処理が容易である。
【００１９】ところで、例えば上記第２の方法で用いら
れような数列分のスライダ部分を含み、一定の幅を有す
るブロックは、矩形のウェハからは無駄なく取り出すこ
とができる。
【００２０】これに対し、円板状のウェハから一定の幅
を有するブロックを取り出す場合には、従来は、図１５
に示したように、円板状のウェハ２０１から１つの矩形
のブロック２０２を取り出すようにしていた。
【００２１】しかしながら、上述のようにブロック２０
２を取り出す場合には、ブロック２０２の外周からウェ
ハ２０１の外周までの比較的大きな部分が無駄になり、
１枚のウェハ２０１より製造できるスライダの数が少な
くなるという問題点があった。
【００２２】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、スライダとなる部分が複数列に配列
された円板状のウェハを用いてスライダを製造する場合
において、処理を容易にでき、且つ、できるだけ多くの
スライダを得ることができるようにしたスライダの製造
方法、スライダ用素材の製造方法およびスライダ用素材
を提供することにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】本発明のスライダ用素材
の製造方法は、所定の加工が施された媒体対向面を有す
るスライダの製造に用いられ、同一の姿勢で複数列に配
列されたスライダとなる部分を含み一定の幅を有するス
ライダ用素材を製造する方法であって、同一の姿勢で複
数列に配列されたスライダとなる部分を含む円板状のウ
ェハを製造する工程と、円板状のウェハより１つの矩形
のスライダ用素材を切り出す場合に比べて、スライダ用
素材として使用されない無駄な部分が少なくなるよう
に、円板状のウェハより互いに幅の異なる複数種類のス
ライダ用素材を切り出して、スライダ用素材を形成する
工程とを含むものである。
【００２４】本発明のスライダの製造方法は、所定の加
工が施された媒体対向面を有するスライダの製造方法で
あって、同一の姿勢で複数列に配列されたスライダとな
る部分を含む円板状のウェハを製造する工程と、円板状
のウェハより、同一の姿勢で複数列に配列されたスライ
ダとなる部分を含むと共に一定の幅を有する１つの矩形
のスライダ用素材を切り出す場合に比べて、スライダ用
素材として使用されない無駄な部分が少なくなるよう
に、円板状のウェハより、それぞれ同一の姿勢で複数列
に配列されたスライダとなる部分を含むと共にそれぞれ
一定の幅を有し、且つ互いに幅の異なる複数種類のスラ
イダ用素材を切り出して、スライダ用素材を形成する工
程と、スライダ用素材の一端側における１列分のスライ
ダとなる部分に対して所定の加工を行う工程と、加工後
のスライダ用素材を切断して、加工後の１列分のスライ
ダとなる部分からなるスライダ集合体を形成する工程
と、スライダ集合体を切断してスライダを形成する工程
とを含むものである。
【００２５】本発明のスライダ用素材は、同一の姿勢で
複数列に配列されたスライダとなる部分を含み一定の幅
を有するスライダ用素材であって、同一の姿勢で複数列
に配列されたスライダとなる部分を含む円板状のウェハ
より、互いに幅の異なる複数種類のスライダ用素材が得
られるように切り出されて得られたものである。
【００２６】本発明のスライダ用素材の製造方法、スラ
イダの製造方法またはスライダ用素材では、円板状のウ
ェハより互いに幅の異なる複数種類のスライダ用素材を
切り出すことによってスライダ用素材が形成されるの
で、円板状のウェハよりできるだけ多くのスライダを得
ることが可能になる。
【００２７】なお、本発明において、同一の姿勢という
のは、各スライダとなる部分における媒体対向面となる
部分が同一の方向を向いているということである。
【００２８】本発明のスライダ用素材の製造方法、スラ
イダの製造方法またはスライダ用素材において、円板状
のウェハの直径は、７６．２ｍｍ（３インチ）、１５
２．４ｍｍ（６インチ）または２０３．２ｍｍ（８イン
チ）であってもよい。
【００２９】また、本発明のスライダ用素材の製造方
法、スライダの製造方法またはスライダ用素材におい
て、スライダ用素材の種類の数は２であってもよい。こ
の場合、スライダ用素材の幅は、６９．６ｍｍ±６９．
６ｍｍ×０．０５と５７．６ｍｍ±５７．６ｍｍ×０．
０５の２種類であってもよい。
【００３０】また、本発明のスライダ用素材の製造方
法、スライダの製造方法またはスライダ用素材におい
て、スライダ用素材の種類の数は３であってもよい。こ
の場合、スライダ用素材の幅は、６９．６ｍｍ±６９．
６ｍｍ×０．０５と５７．６ｍｍ±５７．６ｍｍ×０．
０５と３８．４ｍｍ±３８．４ｍｍ×０．０５の３種類
であってもよい。
【００３１】また、本発明のスライダ用素材の製造方
法、スライダの製造方法またはスライダ用素材におい
て、スライダ用素材は４列ないし１０列のスライダとな
る部分を含んでいてもよい。
【００３２】また、本発明のスライダ用素材の製造方
法、スライダの製造方法またはスライダ用素材におい
て、スライダとなる部分は薄膜磁気ヘッド素子を含んで
いてもよい。
【００３３】また、本発明のスライダの製造方法におい
て、加工を行う工程は媒体対向面となる面の研磨を含ん
でいてもよい。
【００３４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。始めに、図１ないし
図５を参照して、本発明の一実施の形態に係るスライダ
用素材およびその製造方法について説明する。本実施の
形態に係るスライダ用素材は、薄膜磁気ヘッド素子を含
むとともに所定の加工が施された媒体対向面を有するス
ライダの製造に用いられ、同一の姿勢で複数列に配列さ
れたスライダとなる部分（以下、スライダ部分と言
う。）を含み一定の幅を有するものである。本実施の形
態に係るスライダ用素材の製造方法は、同一の姿勢で複
数列に配列されたスライダ部分を含む円板状のウェハを
製造する工程と、円板状のウェハより互いに幅の異なる
複数種類のスライダ用素材を切り出して、スライダ用素
材を形成する工程とを含む。
【００３５】本実施の形態において、円板状のウェハの
直径は、例えば、７６．２ｍｍ（３インチ）、１５２．
４ｍｍ（６インチ）または２０３．２ｍｍ（８インチ）
である。以下、直径が７６．２ｍｍ（３インチ）、１５
２．４ｍｍ（６インチ）、２０３．２ｍｍ（８インチ）
のウェハを、それぞれ、３インチウェハ、６インチウェ
ハ、８インチウェハと言う。また、本実施の形態におい
て、スライダ用素材の種類の数は、例えば２または３で
ある。
【００３６】図１は、３インチウェハより３種類のスラ
イダ用素材を切り出す場合におけるスライダ用素材の配
置の一例を示す説明図である。この例では、３インチウ
ェハ１ａより、３種類のスライダ用素材１１Ａ，１１
Ｂ，１１Ｃを切り出している。なお、図１ないし図５で
は、スライダ用素材１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃを、それぞ
れ簡略的に符号Ａ，Ｂ，Ｃでも表している。スライダ用
素材１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃは、それぞれ、同一の姿勢
で複数列に配列されたスライダ部分を含み一定の幅を有
している。図１において、スライダ部分の列は左右方向
に延び、このスライダ部分の列が上下方向に複数並んで
いる。また、スライダ用素材１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃの
幅とは、図１においてスライダ用素材１１Ａ，１１Ｂ，
１１Ｃの左右方向の長さである。スライダ用素材１１
Ａ，１１Ｂ，１１Ｃの中では、スライダ用素材１１Ａの
幅が最も大きく、次にスライダ用素材１１Ｂの幅が大き
く、スライダ用素材１１Ｃの幅が最も小さくなってい
る。
【００３７】図１に示した例では、３インチウェハ１ａ
内の上下方向の中央部分よりスライダ用素材１１Ａが切
り出され、スライダ用素材１１Ａの上側および下側より
それぞれスライダ用素材１１Ｂが切り出され、更にその
上側および下側よりそれぞれスライダ用素材１１Ｃが切
り出されている。３インチウェハ１ａの外周から内側へ
向かって所定の幅の領域は、スライダ用素材とする部分
から除いている。なお、図１において、破線は、３イン
チウェハ１ａより切り出される従来のブロックの大きさ
を示している。
【００３８】スライダ用素材１１Ａの幅は、例えば６
９．６ｍｍ±６９．６ｍｍ×０．０５とする。スライダ
用素材１１Ｂの幅は、例えば５７．６ｍｍ±５７．６ｍ
ｍ×０．０５とする。スライダ用素材１１Ｃの幅は、例
えば３８．４ｍｍ±３８．４ｍｍ×０．０５とする。各
スライダ用素材１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃにおいて、幅方
向の両端から内側へ向かって所定（スライダ部分２個分
程度）の幅の領域内のスライダ部分は無効とし、残りの
スライダ部分を有効とする。
【００３９】ここで、一例として、スライダ部分の列内
におけるスライダ部分の配置のピッチを１．１５ｍｍと
し、スライダ部分の列の配置のピッチを０．４８ｍｍと
する。この場合、図１に示した例では、スライダ用素材
１１Ａは、例えば、５６個の有効なスライダ部分を含む
列を６２列含んでいる。また、２つのスライダ用素材１
１Ｂはそれぞれ、例えば、４６個の有効なスライダ部分
を含む列を１９列含んでいる。また、２つのスライダ用
素材１１Ｃはそれぞれ、例えば、３０個の有効なスライ
ダ部分を含む列を１２列含んでいる。
【００４０】図２は、３インチウェハより２種類のスラ
イダ用素材を切り出す場合におけるスライダ用素材の配
置の一例を示す説明図である。この例では、３インチウ
ェハ１ａより、２種類のスライダ用素材１１Ａ，１１Ｂ
を切り出している。３インチウェハ１ａ内におけるスラ
イダ用素材１１Ａ，１１Ｂの位置は、図１に示した例と
同様である。
【００４１】図３は、６インチウェハより２種類のスラ
イダ用素材を切り出す場合におけるスライダ用素材の配
置の一例を示す説明図である。図３に示した例では、６
インチウェハ１ｂ内の上下方向の中央部分より、左右に
方向に並ぶ２つのスライダ用素材１１Ａ1が切り出され
ている。また、各スライダ用素材１１Ａ1の上側および
下側ではスライダ用素材１１Ｂが切り出されている。ま
た、上下の各スライダ用素材１１Ｂの上側および下側で
はスライダ用素材１１Ａ2が切り出されている。なお、
スライダ用素材１１Ａ1,１１Ａ2はスライダ用素材１１
Ａと同じ種類に属し、その幅はスライダ用素材１１Ａと
同じである。
【００４２】ここで、スライダ部分の列内におけるスラ
イダ部分の配置のピッチ、スライダ部分の列の配置のピ
ッチ、各スライダ用素材における１列内の有効なスライ
ダ部分の数を、図１に示した例と同様とする。この場
合、図３に示した例では、例えば、スライダ用素材１１
Ａ1はスライダ部分の列を１００列含み、スライダ用素
材１１Ａ2はスライダ部分の列を４０列含み、スライダ
用素材１１Ｂはスライダ部分の列を４２列含んでいる。
【００４３】なお、図３に示した例では、６インチウェ
ハより２種類のスライダ用素材を切り出したが、例えば
スライダ用素材１１Ａ2の代りにスライダ用素材１１Ｃ
を切り出すようにして、６インチウェハより３種類のス
ライダ用素材を切り出すようにしてもよい。
【００４４】図４は、８インチウェハより２種類のスラ
イダ用素材を切り出す場合におけるスライダ用素材の配
置の一例を示す説明図である。図４に示した例では、８
インチウェハ１ｃ内の上下方向の中央部分において、左
右方向の中央部分よりスライダ用素材１１Ｂ11が切り出
され、その左右両側よりそれぞれスライダ用素材１１Ａ
11が切り出されている。また、スライダ用素材１１
Ａ11，１１Ｂ11の上側および下側では、左右方向の中央
部分よりスライダ用素材１１Ａ12が切り出され、その左
右両側よりそれぞれスライダ用素材１１Ｂ12が切り出さ
れている。また、上下の各スライダ用素材１１Ａ12，１
１Ｂ12の上側および下側では、左右方向に並ぶ３つのス
ライダ用素材１１Ｂ13が切り出されている。また、上下
の各スライダ用素材１１Ｂ13の上側および下側では、左
右方向に並ぶ２つのスライダ用素材１１Ａ13が切り出さ
れている。また、上下の各スライダ用素材１１Ａ13の上
側および下側では、左右方向に並ぶ２つのスライダ用素
材１１Ｂ14が切り出されている。また、上下の各スライ
ダ用素材１１Ｂ14の上側および下側ではスライダ用素材
１１Ａ14が切り出されている。
【００４５】なお、スライダ用素材１１Ａ11,１１Ａ12,
１１Ａ13,１１Ａ14は、スライダ用素材１１Ａと同じ種
類に属し、その幅はスライダ用素材１１Ａと同じであ
る。同様に、スライダ用素材１１Ｂ11,１１Ｂ12,１１Ｂ
13,１１Ｂ14はスライダ用素材１１Ｂと同じ種類に属
し、その幅はスライダ用素材１１Ｂと同じである。
【００４６】ここで、スライダ部分の列内におけるスラ
イダ部分の配置のピッチ、スライダ部分の列の配置のピ
ッチ、各スライダ用素材における１列内の有効なスライ
ダ部分の数を、図１に示した例と同様とする。この場
合、図４に示した例では、例えば、スライダ用素材１１
Ａ11，１１Ｂ11はスライダ部分の列を７４列含み、スラ
イダ用素材１１Ａ12，１１Ｂ12はスライダ部分の列を４
８列含み、スライダ用素材１１Ｂ13はスライダ部分の列
を１９列含み、スライダ用素材１１Ａ13はスライダ部分
の列を４７列含み、スライダ用素材１１Ｂ14はスライダ
部分の列を２０列含み、スライダ用素材１１Ａ14はスラ
イダ部分の列を１９列含んでいる。
【００４７】図５は、８インチウェハより２種類のスラ
イダ用素材を切り出す場合におけるスライダ用素材の配
置の他の例を示す説明図である。図５に示した例では、
８インチウェハ１ｃ内の上下方向の中央部分において、
左右方向の中央部分よりスライダ用素材１１Ａ21が切り
出され、その左右両側よりそれぞれスライダ用素材１１
Ｂ21が切り出されている。また、スライダ用素材１１Ａ
21，１１Ｂ21の上側および下側では、左右方向に並ぶ３
つのスライダ用素材１１Ｂ22が切り出されている。ま
た、上下の各スライダ用素材１１Ｂ22の上側および下側
では、左右方向に並ぶ２つのスライダ用素材１１Ａ22が
切り出されている。また、上下の各スライダ用素材１１
Ａ22の上側および下側では、左右方向に並ぶ２つのスラ
イダ用素材１１Ｂ23が切り出されている。また、上下の
各スライダ用素材１１Ｂ23の上側および下側ではスライ
ダ用素材１１Ａ23が切り出されている。
【００４８】なお、スライダ用素材１１Ａ21,１１Ａ22,
１１Ａ23は、スライダ用素材１１Ａと同じ種類に属し、
その幅はスライダ用素材１１Ａと同じである。同様に、
スライダ用素材１１Ｂ21,１１Ｂ22,１１Ｂ23は、スライ
ダ用素材１１Ｂと同じ種類に属し、その幅はスライダ用
素材１１Ｂと同じである。
【００４９】ここで、スライダ部分の列内におけるスラ
イダ部分の配置のピッチ、スライダ部分の列の配置のピ
ッチ、各スライダ用素材における１列内の有効なスライ
ダ部分の数を、図１に示した例と同様とする。この場
合、図５に示した例では、例えば、スライダ用素材１１
Ａ21，１１Ｂ21はスライダ部分の列を１７０列含み、ス
ライダ用素材１１Ｂ22はスライダ部分の列を２０列含
み、スライダ用素材１１Ａ22はスライダ部分の列を４５
列含み、スライダ用素材１１Ｂ23はスライダ部分の列を
２０列含み、スライダ用素材１１Ａ23はスライダ部分の
列を２０列含んでいる。
【００５０】なお、図４に示した例および図５に示した
例では、８インチウェハより２種類のスライダ用素材を
切り出したが、例えば左右方向に並ぶ２つのスライダ用
素材１１Ｂ14や、２つのスライダ用素材１１Ｂ23の代り
に、３つのスライダ用素材１１Ｃを切り出すようにし
て、８インチウェハより３種類のスライダ用素材を切り
出すようにしてもよい。
【００５１】次に、図６を参照して、本実施の形態にお
けるウェハの構成について説明する。図６は本実施の形
態におけるウェハの一部を示したものである。本実施の
形態におけるウェハ１（ウェハ１ａ，１ｂ，１ｃを代表
する。）には、スライダ部分２が複数列に配列されてい
る。また、ウェハ１は、隣接する列間の切断位置となる
列間切断予定部３と、各列において隣接するスライダ部
分２間の切断位置となる列内切断予定部４とを有してい
る。
【００５２】各スライダ部分２には、それぞれ薄膜磁気
ヘッド素子２１が形成されている。各薄膜磁気ヘッド素
子２１は、それぞれ、誘導型磁気変換素子とＭＲ素子と
を含む素子部２２と、この素子部２２と外部との電気的
な接続のための複数の電極２３とを有している。ウェハ
１内では、スライダ部分２は同一の姿勢で配列されてお
り、各スライダ部分２内の薄膜磁気ヘッド素子２１は同
一方向を向いている。
【００５３】また、ウェハ１には、各列内切断予定部４
における媒体対向面側の端部近傍の位置に、加工量を検
出するための加工量検出素子２５が形成されている。ま
た、ウェハ１には、列間切断予定部３内に、各加工量検
出素子２５と外部との電気的な接続のためのモニタ用電
極２６ａ，２６ｂが形成されている。更に、ウェハ１内
には、各列内切断予定部４に、各加工量検出素子２５と
各モニタ用電極２６ａ，２６ｂとを電気的に接続する導
体部としての２本のモニタ用リード２７ａ，２７ｂが形
成されている。加工量検出素子２５としては、例えば、
その寸法に応じて抵抗値が変化する抵抗素子が用いられ
る。
【００５４】次に、図７ないし図１４を参照して、本発
明の一実施の形態に係るスライダ用素材の製造方法およ
び薄膜磁気ヘッドの製造方法について詳しく説明する。
本実施の形態に係るスライダ用素材の製造方法は、ウェ
ハ製造工程と、スライダ用素材形成工程とを含んでい
る。本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法は、
これらの工程に加え、加工工程と、スライダ集合体形成
工程と、スライダ形成工程とを含んでいる。
【００５５】ウェハ製造工程では、同一の姿勢で複数列
に配列されたスライダ部分を含む円板状のウェハ１を製
造する。スライダ用素材形成工程では、円板状のウェハ
１より、それぞれ同一の姿勢で複数列に配列されたスラ
イダ部分を含むと共にそれぞれ一定の幅を有し、且つ互
いに幅の異なる複数種類のスライダ用素材１１（１１Ａ
〜１１Ｃ，１１Ａ1，１１Ａ2，１１Ａ11〜１１Ａ14，１
１Ｂ11〜１１Ｂ14，１１Ａ21〜１１Ａ23，１１Ｂ21〜１
１Ｂ23を代表する。）を切り出して、スライダ用素材１
１を形成する。
【００５６】加工工程では、スライダ用素材１１の一端
側における１列分のスライダ部分に対して所定の加工を
行う。加工は媒体対向面となる面の研磨を含む。スライ
ダ集合体形成工程では、加工後のスライダ用素材を切断
して、加工後の１列分のスライダ部分からなるスライダ
集合体を形成する。スライダ形成工程では、スライダ集
合体を切断してスライダを形成する。
【００５７】以下、上記各工程について詳しく説明す
る。まず、図７および図８を参照してウェハ製造工程に
ついて説明する。図７はウェハ１内の薄膜磁気ヘッド素
子２１部分を示す断面図、図８はウェハ１の製造工程を
示す流れ図である。
【００５８】ウェハ１の製造工程では、まず、例えばア
ルティック（Ａｌ2 Ｏ3 ・ＴｉＣ）よりなる基板７２の
上に、例えばアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）よりなる絶縁膜７
３を形成する（ステップＳ１０１）。次に、絶縁膜７３
の上に、再生ヘッド用の下部シールド層７４を形成する
（ステップＳ１０２）。次に、下部シールド層７４の上
に、例えばアルミナよりなる下部シールドギャップ膜７
５を形成する（ステップＳ１０３）。次に、下部シール
ドギャップ膜７５の上に、再生用のＭＲ素子７６を形成
する。このとき、同時に、下部シールドギャップ膜７５
の上に、加工量検出素子２５を形成する（ステップＳ１
０４）。
【００５９】次に、下部シールドギャップ膜７５および
ＭＲ素子７６の上に、それぞれの一端部がＭＲ素子７６
に接続されるように、図示しない２本のリードを形成す
る。このとき、同時に、下部シールドギャップ膜７５お
よび加工量検出素子２５の上に、それぞれの一端部が加
工量検出素子２５に電気的に接続されるように、２本の
モニタ用リード２７ａ，２７ｂを形成する（ステップＳ
１０５）。
【００６０】次に、下部シールドギャップ膜７５および
ＭＲ素子７６の上に、上部シールドギャップ膜７７を形
成し（ステップＳ１０６）、ＭＲ素子７６をシールドギ
ャップ膜７５，７７内に埋設する。次に、上部シールド
ギャップ膜７７の上に、上部シールド層兼下部磁極層７
８を形成する（ステップＳ１０７）。次に、上部シール
ド層兼下部磁極層７８の上に、例えばアルミナよりなる
記録ギャップ層７９を形成する（ステップＳ１０８）。
次に、記録ギャップ層７９の上に、フォトレジスト層８
０を介して、薄膜コイル８１を形成する（ステップＳ１
０９）。更に、薄膜コイル８１をフォトレジスト層８０
によって覆う。次に、フォトレジスト層８０の上に、上
部磁極層８２を形成する（ステップＳ１１０）。なお、
上部磁極層８２は、後方（図７における右側）の位置に
おいて、上部シールド層兼下部磁極層７８と接触し、磁
気的に連結している。
【００６１】次に、ＭＲ素子７６に接続される図示しな
いバンプ（電極）と薄膜コイル８１に接続される図示し
ないバンプ（電極）を形成する。このとき、同時に、下
端部がモニタ用リード２７ａ，２７ｂに電気的に接続さ
れるように、モニタ用電極２６ａ，２６ｂとなる図示し
ないバンプ（電極）を形成する（ステップＳ１１１）。
次に、上部磁極層８２上に、例えばアルミナよりなる保
護層８３を形成する（ステップＳ１１２）。各バンプ
は、この保護層８３に覆われる。最後に、保護層８３の
上面を研磨して、各バンプを露出させる（ステップＳ１
１３）。
【００６２】次に、スライダ用素材形成工程では、既に
図１ないし図５を参照して説明したように、円板状のウ
ェハ１より複数種類のスライダ用素材１１を切り出し
て、スライダ用素材１１を形成する。ウェハ１の切断に
は、ダイヤモンド等のと粒が固着されたブレードを有す
る半導体製造用の切断装置が用いられる。
【００６３】次に、加工工程について説明する。加工工
程では、スライダ用素材１１の一端側における１列分の
スライダ部分に対して所定の加工を行う。この加工工程
では、後で説明するように、４列ないし１０列のスライ
ダ部分を含むスライダ用素材１１を用いるのが好まし
い。従って、スライダ用素材形成工程では、ウェハ１よ
り切り出されたスライダ用素材１１が多くの列数のスラ
イダ部分を含む場合には、それを、４列ないし１０列の
スライダ部分を含む複数のスライダ用素材に分割するの
が好ましい。
【００６４】加工工程では、まず、図９に示したよう
に、スライダ用素材１１において媒体対向面となる面が
現れている端面３１とは反対側の端面を加工用の冶具３
２に接合する。次に、冶具３２に接合されたスライダ用
素材１１における端面３１、すなわち媒体対向面となる
面に対して、研削装置を用いた研削（グラインディン
グ）や、図１０に示したような研磨装置３３を用いた研
磨（ラッピング）等を行い、ＭＲハイトやスロートハイ
トを正確に規定する。
【００６５】スライダ用素材１１における端面３１を研
磨する際には、端面３１を含む１列分のスライダ部分に
おける各モニタ用電極２６を介して得られる各加工量検
出素子２５の出力信号を監視し、この出力信号に応じて
スライダ用素材１１に対する押圧力を部分毎に調整する
ことによって、媒体対向面側の薄膜磁気ヘッド素子２１
のパターンの真直度を修正しながら、端面３１の研磨を
行う。これにより、列内の各薄膜磁気ヘッド素子２１に
おいて、ＭＲハイトやスロートハイトが正確に規定され
る。
【００６６】次に、スライダ集合体形成工程について説
明する。スライダ集合体形成工程では、まず、研磨され
た端面３１が傷ついたり腐食したりしないように、図１
１に示したように、端面３１を保護材３４で覆う。保護
材３４としては、例えば、半導体のダイシング工程から
マウンティング工程間で使用されるＩＣテープ（ウェハ
テープ）を用いることができる。また、薄膜磁気ヘッド
素子２１の静電破壊を防止できるように、保護材３４と
して、基材が導電性物質を含み帯電防止機能を有する帯
電防止テープを用いてもよい。また、保護材３４とし
て、フォトリソグラフィに用いられるドライフィルムレ
ジストを用いてもよい。この場合には、ドライフィルム
レジストを、後述するレール部の形成の際に使用するフ
ォトレジストとして利用することができる。
【００６７】スライダ集合体形成工程では、次に、図１
２に示したように、端面３１を保護材３４で覆った状態
で、切断装置によって、端面３１を含む１列分のスライ
ダ部分が残りのスライダ用素材１１より分離されるよう
にスライダ用素材１１を切断する。このとき、図６に示
した列間切断予定部３でスライダ用素材１１を切断す
る。スライダ用素材１１より分離された１列分のスライ
ダ部分は、加工後の１列分のスライダ部分からなるスラ
イダ集合体４１となる。スライダ集合体形成工程では、
スライダ用素材１１の残りがある限り、媒体対向面とな
る面の加工と切断を繰り返し実行する。
【００６８】スライダ集合体形成工程では、次に、図示
しないが、スライダ集合体４１の切断面における歪みを
除去するために切断面を研磨する。
【００６９】スライダ集合体形成工程では、次に、図１
３に示したように、複数のスライダ集合体４１を並べて
配置し、スライダ集合体４１の媒体対向面となる面に対
してエッチング用のフォトレジストパターンを形成し、
このフォトレジストパターンを用いてスライダ集合体４
１をドライエッチングによってエッチングして、スライ
ダ集合体４１における媒体対向面となる面にレール部を
形成する。
【００７０】次に、スライダ形成工程について説明す
る。スライダ形成工程では、図１４に示したように、レ
ール部が形成された複数のスライダ集合体４１を並べて
ＩＣテープに貼り付け、切断装置によって、スライダ集
合体４１を、図６に示した列内切断予定部４で切断し
て、スライダ５１を形成する。
【００７１】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、円板状のウェハ１より互いに幅の異なる複数種類の
スライダ用素材１１を切り出すことによってスライダ用
素材１１を形成するようにしたので、ウェハ１内におい
てスライダ用素材１１として使用されない無駄な部分を
少なくすることができ、円板状のウェハ１よりできるだ
け多くのスライダ５１を得ることが可能になる。本実施
の形態によれば、図１５に示したような従来の切り出し
方法に比べて、３インチウェハ１ａを使用する場合には
スライダ５１の取り個数を４０％以上多くすることも可
能であり、６インチウェハ１ｂを使用する場合にはスラ
イダ５１の取り個数を５０％以上多くすることも可能で
あり、８インチウェハ１ｃを使用する場合にはスライダ
５１の取り個数を６０％以上多くすることも可能であ
る。
【００７２】また、本実施の形態によれば、同一の姿勢
で複数列に配列されたスライダ部分を含み一定の幅を有
するスライダ用素材１１を用いて、媒体対向面となる面
の加工とスライダ集合体４１の切り出しの処理を繰り返
し実行することができ、これらの処理が容易になる。ま
た、本実施の形態によれば、スライダ用素材１１の状態
で媒体対向面の研磨を行うので、媒体対向面においてツ
イスト、キャンバー等の面の劣化を少なくでき、媒体対
向面の平坦度を向上させることができる。その結果、特
性のよい薄膜磁気ヘッドスライダを製造することができ
る。
【００７３】ところで、スライダ用素材１１の幅に応じ
てスライダ用素材１１の取り扱いが異なる工程がある場
合には、スライダ用素材１１の種類の数が多すぎるとス
ライダ用素材１１の取り扱いが煩雑になってしまう。本
実施の形態では、スライダ用素材１１の種類の数を２ま
たは３という少ない数にしたので、スライダ用素材１１
の取り扱いがそれほど煩雑になることなく、多くのスラ
イダ５１を得ることが可能になる。
【００７４】また、スライダ用素材１１に含まれるスラ
イダ部分の列数が、スライダ用素材１１毎に大きく異な
る場合にも、スライダ用素材１１の取り扱いが煩雑にな
ってしまう。そのため、スライダ用素材１１に含まれる
スライダ部分の列数は、所定の範囲内に収めるのが好ま
しい。なお、スライダ用素材１１に含まれるスライダ部
分の列数が少なすぎると、媒体対向面となる面の加工と
切断の処理の繰り返し回数が減るのでこれらの処理が煩
雑になる。スライダ用素材１１に含まれるスライダ部分
の列数が多すぎると、スライダ用素材１１に残っている
スライダ部分の列数が多いときと少なくなったときとで
スライダ用素材１１の状態が大きく異なり、加工や切断
の特性が変化する可能性がある。そのため、スライダ用
素材１１に含まれるスライダ部分の列数は４ないし１０
が好ましい。
【００７５】また、本実施の形態によれば、ウェハ１に
おいて、加工量検出素子２５に接続されたモニタ用電極
２６を、列間切断予定部３に形成したので、加工量検出
素子２５を用いた高精度の加工を可能としながら、列内
のスライダ部分２のピッチを小さくすることが可能とな
り、薄膜磁気ヘッドの取り個数を多くすることができ
る。
【００７６】また、本実施の形態によれば、加工量検出
素子２５およびモニタ用リード２７を、列内切断予定部
４に形成したので、更に、加工量検出素子２５に接続さ
れるモニタ用リード２７が残らないように薄膜磁気ヘッ
ドを製造することができる。これにより、モニタ用リー
ドがノイズを拾ったり、静電破壊の原因となったりする
ことを防止することができる。
【００７７】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れず、種々変更が可能である。例えば、スライダ用素材
１１の種類の数は４以上でもよい。また、スライダ用素
材１１の幅は、実施の形態で挙げたものに限らない。ま
た、スライダ用素材１１に含まれるスライダ部分の列数
は、２または３、あるいは１１以上でもよい。
【００７８】また、本発明は、薄膜磁気ヘッド用のスラ
イダに限らず、他の用途のスライダ、例えば光記録方式
や光磁気記録方式による情報の記録または再生を行うた
めのヘッド（ピックアップ）用のスライダにも適用する
ことが可能である。
【００７９】
【発明の効果】以上説明したように本発明のスライダ用
素材の製造方法、スライダの製造方法またはスライダ用
素材によれば、同一の姿勢で複数列に配列されたスライ
ダとなる部分を含む円板状のウェハより、互いに幅の異
なる複数種類のスライダ用素材を切り出すことによって
スライダ用素材を形成するようにしたので、円板状のウ
ェハを用いてスライダを製造する場合において、スライ
ダ用素材を用いることにより処理を容易にでき、且つ、
できるだけ多くのスライダを得ることができるという効
果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態において３インチウェハ
より３種類のスライダ用素材を切り出す場合におけるス
ライダ用素材の配置の一例を示す説明図である。
【図２】本発明の一実施の形態において３インチウェハ
より２種類のスライダ用素材を切り出す場合におけるス
ライダ用素材の配置の一例を示す説明図である。
【図３】本発明の一実施の形態において６インチウェハ
より２種類のスライダ用素材を切り出す場合におけるス
ライダ用素材の配置の一例を示す説明図である。
【図４】本発明の一実施の形態において８インチウェハ
より２種類のスライダ用素材を切り出す場合におけるス
ライダ用素材の配置の一例を示す説明図である。
【図５】本発明の一実施の形態において８インチウェハ
より２種類のスライダ用素材を切り出す場合におけるス
ライダ用素材の配置の他の例を示す説明図である。
【図６】本発明の一実施の形態におけるウェハの一部を
示す説明図である。
【図７】本発明の一実施の形態におけるウェハ内の薄膜
磁気ヘッド素子部分を示す断面図である。
【図８】本発明の一実施の形態におけるウェハの製造工
程を示す流れ図である。
【図９】本発明の一実施の形態におけるスライダ用素材
を加工用の冶具に接合した状態を示す斜視図である。
【図１０】本発明の一実施の形態におけるスライダ用素
材を研磨する工程を説明するための説明図である。
【図１１】本発明の一実施の形態におけるスライダ用素
材の端面を保護材で覆った状態を示す斜視図である。
【図１２】本発明の一実施の形態におけるスライダ用素
材を切断する工程を示す斜視図である。
【図１３】本発明の一実施の形態におけるスライダ集合
体の媒体対向面となる面にレール部を形成する工程を説
明するための説明図である。
【図１４】本発明の一実施の形態におけるスライダ集合
体を切断する工程を説明するための説明図である。
【図１５】円板状のウェハから矩形のブロックを切り出
す従来の方法を説明するための説明図である。
【符号の説明】
１…ウェハ、１ａ…３インチウェハ、１ｂ…６インチウ
ェハ、１ｃ…８インチウェハ、２…スライダ部分、１
１，１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ…スライダ用素材、２１…
薄膜磁気ヘッド素子。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 合議体 審判長 麻野 耕一 審判官 田良島 潔 審判官 内藤 二郎 (56)参考文献 特開 平７−320249（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−199377（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−289511（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−54912（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−21527（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−325326（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−235015（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−186064（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−63711（ＪＰ，Ａ)

Claims (25)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 所定の加工が施された媒体対向面を有す
    るスライダの製造に用いられ、同一の姿勢で複数列に配
    列されたスライダとなる部分を含み一定の幅を有するス
    ライダ用素材を製造する方法であって、 同一の姿勢で複数列に配列されたスライダとなる部分を
    含む円板状のウェハを製造する工程と、前記円板状のウェハより１つの矩形のスライダ用素材を
    切り出す場合に比べて、スライダ用素材として使用され
    ない無駄な部分が少なくなるように、 前記円板状のウェ
    ハより互いに幅の異なる複数種類のスライダ用素材を切
    り出して、スライダ用素材を形成する工程とを含むこと
    を特徴とするスライダ用素材の製造方法。
  2. 【請求項２】 前記円板状のウェハの直径は、７６．２
    ｍｍ、１５２．４ｍｍまたは２０３．２ｍｍであること
    を特徴とする請求項１記載のスライダ用素材の製造方
    法。
  3. 【請求項３】 前記スライダ用素材の種類の数は２であ
    ることを特徴とする請求項１または２記載のスライダ用
    素材の製造方法。
  4. 【請求項４】 前記スライダ用素材の幅は、６９．６ｍ
    ｍ±６９．６ｍｍ×０．０５と５７．６ｍｍ±５７．６
    ｍｍ×０．０５の２種類であることを特徴とする請求項
    ３記載のスライダ用素材の製造方法。
  5. 【請求項５】 前記スライダ用素材の種類の数は３であ
    ることを特徴とする請求項１または２記載のスライダ用
    素材の製造方法。
  6. 【請求項６】 前記スライダ用素材の幅は、６９．６ｍ
    ｍ±６９．６ｍｍ×０．０５と５７．６ｍｍ±５７．６
    ｍｍ×０．０５と３８．４ｍｍ±３８．４ｍｍ×０．０
    ５の３種類であることを特徴とする請求項５記載のスラ
    イダ用素材の製造方法。
  7. 【請求項７】 前記スライダ用素材は４列ないし１０列
    のスライダとなる部分を含むことを特徴とする請求項１
    ないし６のいずれかに記載のスライダ用素材の製造方
    法。
  8. 【請求項８】 前記スライダとなる部分は薄膜磁気ヘッ
    ド素子を含んでいることを特徴とする請求項１ないし７
    のいずれかに記載のスライダ用素材の製造方法。
  9. 【請求項９】 所定の加工が施された媒体対向面を有す
    るスライダの製造方法であって、 同一の姿勢で複数列に配列されたスライダとなる部分を
    含む円板状のウェハを製造する工程と、前記円板状のウェハより、同一の姿勢で複数列に配列さ
    れたスライダとなる部分を含むと共に一定の幅を有する
    １つの矩形のスライダ用素材を切り出す場合に比べて、
    スライダ用素材として使用されない無駄な部分が少なく
    なるように、 前記円板状のウェハより、それぞれ同一の
    姿勢で複数列に配列されたスライダとなる部分を含むと
    共にそれぞれ一定の幅を有し、且つ互いに幅の異なる複
    数種類のスライダ用素材を切り出して、スライダ用素材
    を形成する工程と、 前記スライダ用素材の一端側における１列分のスライダ
    となる部分に対して所定の加工を行う工程と、 加工後の前記スライダ用素材を切断して、加工後の１列
    分のスライダとなる部分からなるスライダ集合体を形成
    する工程と、 前記スライダ集合体を切断してスライダを形成する工程
    とを含むことを特徴とするスライダの製造方法。
  10. 【請求項１０】 前記円板状のウェハの直径は、７６．
    ２ｍｍ、１５２．４ｍｍまたは２０３．２ｍｍであるこ
    とを特徴とする請求項９記載のスライダの製造方法。
  11. 【請求項１１】 前記スライダ用素材の種類の数は２で
    あることを特徴とする請求項９または１０記載のスライ
    ダの製造方法。
  12. 【請求項１２】 前記スライダ用素材の幅は、６９．６
    ｍｍ±６９．６ｍｍ×０．０５と５７．６ｍｍ±５７．
    ６ｍｍ×０．０５の２種類であることを特徴とする請求
    項１１記載のスライダの製造方法。
  13. 【請求項１３】 前記スライダ用素材の種類の数は３で
    あることを特徴とする請求項９または１０記載のスライ
    ダの製造方法。
  14. 【請求項１４】 前記スライダ用素材の幅は、６９．６
    ｍｍ±６９．６ｍｍ×０．０５と５７．６ｍｍ±５７．
    ６ｍｍ×０．０５と３８．４ｍｍ±３８．４ｍｍ×０．
    ０５の３種類であることを特徴とする請求項１３記載の
    スライダの製造方法。
  15. 【請求項１５】 前記スライダ用素材は４列ないし１０
    列のスライダとなる部分を含むことを特徴とする請求項
    ９ないし１４のいずれかに記載のスライダの製造方法。
  16. 【請求項１６】 前記スライダとなる部分は薄膜磁気ヘ
    ッド素子を含んでいることを特徴とする請求項９ないし
    １５のいずれかに記載のスライダの製造方法。
  17. 【請求項１７】 前記加工を行う工程は媒体対向面とな
    る面の研磨を含むことを特徴とする請求項９ないし１６
    のいずれかに記載のスライダの製造方法。
  18. 【請求項１８】 同一の姿勢で複数列に配列されたスラ
    イダとなる部分を含み一定の幅を有するスライダ用素材
    であって、 同一の姿勢で複数列に配列されたスライダとなる部分を
    含む円板状のウェハより、互いに幅の異なる複数種類の
    スライダ用素材が得られるように切り出されて得られた
    ことを特徴とするスライダ用素材。
  19. 【請求項１９】 前記円板状のウェハの直径は、７６．
    ２ｍｍ、１５２．４ｍｍまたは２０３．２ｍｍであるこ
    とを特徴とする請求項１８記載のスライダ用素材。
  20. 【請求項２０】 前記スライダ用素材の種類の数は２で
    あることを特徴とする請求項１８または１９記載のスラ
    イダ用素材。
  21. 【請求項２１】 前記スライダ用素材の幅は、６９．６
    ｍｍ±６９．６ｍｍ×０．０５と５７．６ｍｍ±５７．
    ６ｍｍ×０．０５の２種類であることを特徴とする請求
    項２０記載のスライダ用素材。
  22. 【請求項２２】 前記スライダ用素材の種類の数は３で
    あることを特徴とする請求項１８または１９記載のスラ
    イダ用素材。
  23. 【請求項２３】 前記スライダ用素材の幅は、６９．６
    ｍｍ±６９．６ｍｍ×０．０５と５７．６ｍｍ±５７．
    ６ｍｍ×０．０５と３８．４ｍｍ±３８．４ｍｍ×０．
    ０５の３種類であることを特徴とする請求項２２記載の
    スライダ用素材。
  24. 【請求項２４】 前記スライダ用素材は４列ないし１０
    列のスライダとなる部分を含むことを特徴とする請求項
    １８ないし２３のいずれかに記載のスライダ用素材。
  25. 【請求項２５】 前記スライダとなる部分は薄膜磁気ヘ
    ッド素子を含んでいることを特徴とする請求項１８ない
    し２４のいずれかに記載のスライダ用素材。
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US8039363B2 (en) * 2003-12-23 2011-10-18 Tessera, Inc. Small chips with fan-out leads
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US5095613A (en) 1990-06-29 1992-03-17 Digital Equipment Corporation Thin film head slider fabrication process
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US5531017A (en) 1994-02-14 1996-07-02 International Business Machines Corporation Thin film magnetic head fabrication method
US5739048A (en) * 1994-05-23 1998-04-14 International Business Machines Corporation Method for forming rows of partially separated thin film elements
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JP3604559B2 (ja) * 1998-05-06 2004-12-22 Ｔｄｋ株式会社 スライダの製造方法および製造用補助具
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