JP3604559B2 - スライダの製造方法および製造用補助具 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜磁気ヘッド等に用いられるスライダの製造方法およびスライダの製造工程中で用いられるスライダの製造用補助具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置等に用いられる浮上型薄膜磁気ヘッドは、一般的に、後端部に薄膜磁気ヘッド素子が形成された薄膜磁気ヘッドスライダ（以下、単にスライダとも言う。）によって構成されるようになっている。スライダは、一般的に、表面が媒体対向面（エアベアリング面）となるレール部を有すると共に、空気流入側の端部近傍にテーパ部またはステップ部を有し、テーパ部またはステップ部より流入する空気流によってレール部が磁気ディスク等の記録媒体の表面からわずかに浮上するようになっている。
【０００３】
また、薄膜磁気ヘッド素子としては、書き込み用の誘導型磁気変換素子と読み出し用の磁気抵抗（以下、ＭＲ（Ｍａｇｎｅｔｏ Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ ）と記す。）素子とを積層した構造の複合型の薄膜磁気ヘッド素子が広く用いられている。
【０００４】
薄膜磁気ヘッドスライダは、一般に、それぞれ薄膜磁気ヘッド素子を含むスライダとなる部分（以下、スライダ部分と言う。）が複数列に配列されたウェハを一方向に切断して、スライダ部分が一列に配列されたバーと呼ばれるブロックを形成し、このバーに対してレール部を形成した後に、バーを切断して各スライダに分離することによって製造される。
【０００５】
このようなスライダの製造工程には、バーの媒体対向面に対して研削（グラインディング）や研磨（ラッピング）等の加工を施す媒体対向面の加工工程と、ウェハよりバーを切り出すバー切断工程とが含まれる。なお、バーの媒体対向面の加工工程とバー切断工程の順序は、後で説明するように、バーの媒体対向面の加工およびウェハからのバーの切り出しの方法によって異なる。
【０００６】
媒体対向面の加工工程では、バーに含まれる薄膜磁気ヘッド素子におけるＭＲハイトやスロートハイトを全て許容範囲内に収める必要があると共に、被加工面の加工精度を所定の許容範囲内に収める必要がある。なお、ＭＲハイトとは、ＭＲ素子の媒体対向面側の端部から反対側の端部までの長さ（高さ）を言う。また、スロートハイトとは、誘導型磁気変換素子において、媒体対向面から、誘導型磁気変換素子における磁極部分の長さ（高さ）を言う。
【０００７】
ところで、従来、バーの媒体対向面の加工およびウェハからのバーの切り出しは、次のような方法で行われることが多かった。その方法とは、ウェハから、一列分のスライダ部分を含むバーを切り出し、このバーにおける媒体対向面とは反対側の面を所定の治具に接着することによりバーを治具に固定し、この治具に固定されたバーにおける媒体対向面の加工を行うというものである。以下、この方法を第１の方法と言う。
【０００８】
また、従来、バーの媒体対向面の加工およびウェハからのバーの切り出しの方法としては、上述の第１の方法の他にも、以下に示すような第２ないし第６の方法が提案されていた。
【０００９】
第２の方法は、例えば米国特許第５，４０６，６９４号の第７図に示されるように、ウェハから、数列分のスライダ部分を含む所定の長さのブロックを切り出し、このブロックにおける媒体対向面とは反対側の面を所定の治具に接着することによりブロックを治具に固定し、この治具に固定されたブロックにおける媒体対向面の加工を行った後、ブロックより、媒体対向面の加工が済んだバーを切り出すというものである。
【００１０】
第３の方法は、例えば特開平４−２８９５１１号公報の図３に示されるように、ウェハを所定の治具に固定し、この治具に取り付けられたウェハにおける媒体対向面の加工を行った後、ウェハより、媒体対向面の加工が済んだバーを切り出すというものである。
【００１１】
第４の方法は、例えば特開平４−２８９５１１号公報の図７に示されるように、ウェハ、またはウェハより切り出された数列分のスライダ部分を含む所定の長さのブロックにおける媒体対向面とは反対側の基準面を加工した後、この基準面を所定の治具に接着することにより、ウェハまたはブロックを治具に固定し、その後、媒体対向面となる位置で、ウェハまたはブロックを切断することにより、治具に固定された状態でバーを切り出し、このバーにおける媒体対向面の加工を行うというものである。
【００１２】
第５の方法は、例えば特開平４−２８９５１１号公報の図８および図９に示されるように、隣り合う列間で媒体対向面同士または媒体対向面とは反対側の面同士が対向するようにスライダ部分が形成されたウェハを、媒体対向面とは反対側の面同士が対向する位置で切断することによって、ウェハより２列分のスライダ部分を含むブロックを切り出し、このブロックにおける両端面にそれぞれ所定の治具を接着により固定し、その後、ブロックを、媒体対向面同士が対向する位置で切断することによって、それぞれ治具に固定された２本のバーに分離し、各バーにおける媒体対向面の加工を行うというものである。
【００１３】
第６の方法は、例えば特開平４−２８９５１１号公報の図１０および図１１に示されるように、隣り合う列間で媒体対向面同士または媒体対向面とは反対側の面同士が対向するようにスライダ部分が形成されたウェハを、媒体対向面同士が対向する位置で切断することによって、ウェハより２列分のスライダ部分を含むブロックを切り出し、このブロックにおける一方の媒体対向面に所定の治具を接着により固定して、他方の媒体対向面の加工を行い、その後、加工の済んだ他方の媒体対向面に所定の治具を接着により固定し、一方の媒体対向面側より治具を取り外し、この一方の媒体対向面の加工を行い、ブロックを、媒体対向面とは反対側の面同士が対向する位置で切断することによって、２本のバーに分離するというものである。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上述の各種の方法のうち、第１の方法は、ウェハより１列分のスライダ部分を含むバーを切り出し、このバーを治具に固定し、バー単位で媒体対向面の加工を行うので、バーが、治具との間の接着面の状態や接着による歪みの影響を受けて、湾曲等の変形を生じやすい。そのため、バーの被加工面の加工精度の劣化や、バー内における薄膜磁気ヘッド素子を形成する各層（パターン）の湾曲等の変形が生じ易いと共に、ＭＲ素子の抵抗値およびＭＲハイトや、スロートハイトを精度よく制御することが難しくなり、特性のよい薄膜磁気ヘッドスライダを精度よく製造することが難しいという問題点がある。
【００１５】
第５および第６の各方法では、ウェハより２列分のスライダ部分を含むブロックを切り出し、このブロックを治具に固定するが、この場合でも、ブロックは薄く、変形し易いので、上記の第１の方法と同様の問題を生じる。
【００１６】
これに対し、第２ないし第４の各方法では、ウェハより切り出された後のバーまたは２列分のスライダ部分を含むブロックを、独立した状態で、治具に固定する工程がないので、上述の問題は低減される。しかしながら、これらの各方法でも、ウェハまたはブロックからのバーの切り出しが進み、ウェハまたはブロックに残るスライダ部分の列数が少なくなると、上述した問題が生じてしまう。特に、第３および第４の各方法では、バーの切断毎に、バーあるいはブロックと治具との固定、およびバーあるいはブロックと治具との分離を行うため、ウェハまたはブロックからのバーの切り出しが進み、ウェハまたはブロックに残るスライダ部分の列数が少なくなると、少ない列数のスライダ部分を含む薄いブロックを、独立した状態で、治具に固定する必要が生じるため、問題が顕著に現れる。
【００１７】
更に、第３および第４の各方法では、バーの切断毎に、ウェハあるいはブロックと治具との固定および分離の工程が必要となり、作業が煩雑で、生産効率が悪いという問題点もある。また、第３の方法では、ウェハに残るスライダ部分の列数によって、媒体対向面の加工の際の被加工物であるウェハの形状が変化するため、媒体対向面の加工時の取り扱いが不便であると共に、切り出されたバーの長さも不均一になるため、後工程への引き渡しの際や後工程における取り扱いが不便である。
【００１８】
また、第１ないし第６のいずれの方法の場合も、媒体対向面の加工後のバーは、治具から取り外されて、独立した状態で、後工程に引き渡されるため、後工程への引き渡しの際や後工程において、搬送用のアームやバー固定用の部材が、直接、バーに接触し、これによる薄膜磁気ヘッドの不良が生じ易いという問題点がある。
【００１９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、特性のよいスライダを精度よく製造することを可能にすると共に、生産効率がよく、スライダの製造工程中における中間製造物の取り扱いを容易にすることのできるスライダの製造方法および製造用補助具を提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明のスライダの製造方法は、媒体対向面を有するスライダとなる部分が複数列に配列された素材より、スライダとなる部分が一列に配列され、媒体対向面に対して所定の加工が施されたスライダ集合体を製造するスライダの製造方法であって、素材における全てのスライダとなる部分の一面を含む面に対して、素材における全てのスライダとなる部分を支持するための支持部材を接合する第１の工程と、支持部材に接合された素材の一端側における一列分のスライダとなる部分の媒体対向面に対して所定の加工を施す加工工程と、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分が素材より分離されてスライダ集合体となるように、素材と支持部材とを一緒に切断する切断工程とを含み、加工工程および切断工程を繰り返し実行する第２の工程とを備えたものである。
【００２１】
このスライダの製造方法では、第１の工程によって、素材における全てのスライダとなる部分の一面を含む面に対して、素材における全てのスライダとなる部分を支持するための支持部材が接合され、第２の工程によって、支持部材に接合された素材の一端側における一列分のスライダとなる部分の媒体対向面に対して所定の加工を施す加工工程と、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分が素材より分離されてスライダ集合体となるように、素材と支持部材とを一緒に切断する切断工程とが、繰り返し実行されて、スライダ集合体が製造される。
【００２２】
本発明のスライダの製造方法では、第１の工程が、素材の他端側に、素材を補助的に支持するための補助支持部材を配置し、素材の他端側の面と補助支持部材とを接合すると共に、支持部材と補助支持部材とを接合することを含んでいてもよい。
【００２３】
本発明のスライダの製造方法では、支持部材は、素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、素材の幅よりも大きいことが好ましい。
【００２４】
本発明のスライダの製造方法では、補助支持部材は、素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、素材の幅と等しいことが好ましい。
【００２５】
本発明のスライダの製造方法では、支持部材は、素材の主要な部分と同じ材質で形成されていることが好ましい。
【００２６】
本発明のスライダの製造方法では、加工工程は、例えば、媒体対向面の研磨を含んでいる。
【００２７】
本発明のスライダの製造方法では、スライダとなる部分は、例えば、薄膜磁気ヘッド素子を含んでいる。
【００２８】
本発明のスライダの製造用補助具は、媒体対向面を有するスライダとなる部分が複数列に配列された素材より、スライダとなる部分が一列に配列され、媒体対向面に対して所定の加工が施されたスライダ集合体を製造する際に使用されるスライダの製造用補助具であって、素材における全てのスライダとなる部分を支持するために、素材における全てのスライダとなる部分の一面を含む面に対して接合され、素材の一端側における、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分を、素材より分離してスライダ集合体とする際に、素材と一緒に切断される支持部材を備えたものである。
【００２９】
このスライダの製造用補助具における支持部材は、素材における全てのスライダとなる部分を支持すると共に、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分を、素材より分離してスライダ集合体とする際に、素材と一緒に切断される。
【００３０】
本発明のスライダの製造用補助具は、更に、素材を補助的に支持するために、素材の他端側に配置されると共に、素材の他端側の面および支持部材に対して接合される補助支持部材を備えていてもよい。
【００３１】
このスライダの製造用補助具では、支持部材が、素材における全てのスライダとなる部分を支持し、補助支持部材が、素材の他端側の面に接合されて、素材を補助的に支持する。
【００３２】
本発明のスライダの製造用補助具では、支持部材は、素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、素材の幅よりも大きいことが好ましい。
【００３３】
本発明のスライダの製造用補助具では、補助支持部材は、素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、素材の幅と等しいことが好ましい。
【００３４】
本発明のスライダの製造用補助具では、支持部材は、素材の主要な部分と同じ材質で形成されていることが好ましい。
【００３５】
本発明のスライダの製造用補助具では、支持部材は、素材と接合される面に、素材との接合用の接着剤を逃がすための溝が形成されていることが好ましい。
【００３６】
本発明のスライダの製造用補助具では、補助支持部材は、素材と接合される面に、素材との接合用の接着剤を逃がすための溝が形成されていることが好ましい。
【００３７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図１を参照して、本発明の一実施の形態に係るスライダの製造方法について簡単に説明する。図１は、本実施の形態に係るスライダの製造方法の実施に使用されるスライダの加工装置の一例を示す斜視図である。
【００３８】
本実施例に係るスライダの製造方法は、それぞれ薄膜磁気ヘッド素子を含むと共に媒体対向面を有するスライダとなる部分（以下、スライダ部分と言う。）が複数列に配列された素材としてのウェハブロック２１より、スライダ部分が一列に配列され、媒体対向面に対して所定の加工が施されたスライダ集合体としてのバー５１を製造する方法である。本実施例に係るスライダの製造方法は、第１の工程と第２の工程とを備えている。
【００３９】
第１の工程では、まず、スライダ部分が複数列に配列されたウェハより、ウェハブロック２１を形成する。次に、ウェハブロック２１における全てのスライダ部分の一面を含む面のうち、薄膜磁気ヘッド素子が形成されている面とは反対側の面に対して、ウェハブロック２１における全てのスライダ部分を支持するための支持部材としてのサポート板２２を接合する。また、第１の工程では、ウェハブロック２１における媒体対向面とは反対側に、ウェハブロック２１を補助的に支持するための補助支持部材としてのダミーブロック２３を配置し、ウェハブロック２１における媒体対向面とは反対側の面とダミーブロック２３とを接合すると共に、サポート板２２とダミーブロック２３とを接合する。
【００４０】
第２の工程は、サポート板２２に接合されたウェハブロック２１の媒体対向面側における一列分のスライダ部分の媒体対向面に対して所定の加工を施す加工工程と、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダ部分がウェハブロック２１より分離されてバー５１となるように、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断する切断工程とを含み、加工工程および切断工程を繰り返し実行する。
【００４１】
本実施の形態におけるスライダの製造用補助具は、サポート板２２およびダミーブロック２３からなる。
【００４２】
図１に示したスライダの加工装置は、上記第２の工程中の切断工程の実施に使用される装置である。この加工装置は、ウェハブロック２１の切断作業を行う切断機構部１と、ウェハブロック２１より分離されたバー５１の収納作業を行う収納部２とを備えている。
【００４３】
切断機構部１は、装置本体３と、この装置本体３の上部に設けられ、左右方向に延びるガイドレール４と、図示しない駆動装置によって駆動され、ガイドレール４に沿って移動可能な可動部５と、この可動部５上に設けられ、ウェハブロック２１が接合されたサポート板２２を吸着して保持するためのサポート板保持部６と、このサポート板保持部６上の一側部側に設け、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断する際にウェハブロック２１における媒体対向面に貼り付けられるテープ２４を吸着して保持するためのテープ保持部７と、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断するための切断ブレード８と、この切断ブレード８の回転軸８ａを支持するブレード支持部９とを備えている。ブレード支持部９内には、切断ブレード８の回転軸８ａを回転させるための図示しないモータが設けられている。また、サポート板保持部６には、サポート板２２を吸引するために用いられる吸引用管１０が接続されている。
【００４４】
収納部２は、ベース部１１と、このベース部１１上に設けられ、トレイ１３が載置されると共に、図示しない駆動装置によって駆動されて前後方向に移動可能なトレイ台１２と、ウェハブロック２１より分離されたバー５１をトレイ１３に収納するバキュームピンセット１４と、ベース部１１上に設けられ、バキュームピンセット１４を上下左右方向に移動させる駆動装置１５とを備えている。バキュームピンセット１４には、吸引用管１６が接続されている。
【００４５】
次に、図２の流れ図を参照して、本実施例に係るスライダの製造方法について説明する。本実施例に係るスライダの製造方法では、まず、それぞれ薄膜磁気ヘッド素子を含むスライダ部分が複数列に配列されたウェハより、ウェハブロック２１を形成し（ステップＳ１０１）、次に、このウェハブロック２１をサポート板２２に接合する（ステップＳ１０２）。次に、サポート板２２に接合されたウェハブロック２１の媒体対向面側における一列分のスライダ部分の媒体対向面に対して所定の加工を施し（ステップＳ１０３）、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダ部分がウェハブロック２１より分離されてバー５１となるように、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断する（ステップＳ１０４）。次に、ウェハブロック２１の残りがあるか否かを判断し（ステップＳ１０５）、残りがある場合（Ｙ）には、ステップＳ１０３に戻り、残りがない場合（Ｎ）には、バー５１の製造に関する処理を終了する。図２において、ステップＳ１０１およびステップＳ１０２は、第１の工程に対応し、ステップＳ１０３ないしステップＳ１０５は、第２の工程に対応する。
【００４６】
以下、図２における各工程について、順に、詳しく説明する。
【００４７】
まず、図３を参照して、ウェハブロック２１を形成する工程（図２のステップＳ１０１）について説明する。図３は、それぞれ薄膜磁気ヘッド素子１８を含むスライダ部分が複数列に配列されたウェハ２０を示している。このウェハ２０の主要な部分は、例えばアルティック（Ａｌ２ Ｏ３ ・ＴｉＣ）によって形成され、薄膜磁気ヘッド素子１８を囲う一部分が、例えばアルミナ（Ａｌ２ Ｏ３ ）によって形成されている。本実施例では、ウェハ２０を切断して、スライダ部分が複数列に配列された複数のウェハブロック２１を形成する。各ウェハブロック２１は、全てのスライダ部分の一面を含む面（図３に現れている面）が矩形の板状をなしている。なお、本実施の形態において、ウェハブロック２１に含まれるスライダ部分の列数は、２以上であればよいが、４以上が好ましく、１０〜２０の範囲内がより好ましい。
【００４８】
次に、図４ないし図９を参照して、ウェハブロック２１をサポート板２２に接合する工程（図２のステップＳ１０２）について説明する。この工程では、図４（ａ）に示したように、ウェハブロック２１と、ウェハブロック２１における全てのスライダ部分を支持するためのサポート板２２と、ウェハブロック２１を補助的に支持するためのダミーブロック２３とを用意し、図４（ｂ）に示したように、これらを互いに接合する。具体的には、サポート板２２上に、ウェハブロック２１における全てのスライダ部分の一面を含む面がサポート板２２の上面と対向するようにウェハブロック２１を配置すると共に、サポート板２２上において、ウェハブロック２１における媒体対向面２１ａとは反対側にダミーブロック２３を配置し、ウェハブロック２１とサポート板２２の互いに対向する面同士、ウェハブロック２１とダミーブロック２３の互いに対向する面同士、およびダミーブロック２３とサポート板２２の互いに対向する面同士を、それぞれ接着剤によって接合する。なお、ウェハブロック２１は、サポート板２２に接合する際、薄膜磁気ヘッド素子１８が形成された面とは反対側の面がサポート板２２に対向するように配置する。
【００４９】
ここで、サポート板２２は、ウェハブロック２１における全てのスライダ部分を支持する必要があるため、ウェハブロック２１における各列のスライダ部分の配列方向についての幅が、ウェハブロック２１の幅以上である必要がある。特に、サポート板２２の幅は、ウェハブロック２１の幅よりも大きいことが好ましい。これは、サポート板２２の幅が、ウェハブロック２１の幅よりも大きいと、サポート板２２に接合された状態のウェハブロック２１に所定の加工を施す際に、ウェハブロック２１に直接触れることなく、サポート板２２を介して、治具にウェハブロック２１を固定することが可能になる等、ウェハブロック２１の取り扱いが容易になるからである。サポート板２２の幅は、ウェハブロック２１の幅に対して、片側について少なくとも２〜３ｍｍ程度、全体で少なくとも４〜６ｍｍ程度大きいのが好ましい。サポート板２２の厚みは、強度や取り扱いの容易さ等を考慮して適宜に設定される。
【００５０】
また、サポート板２２の材質は、サポート板２２がウェハブロック２１と一緒に切断されることを考慮すると、精度よく切断可能なセラミックスが好ましい。また、ウェハブロック２１とサポート板２２とは、広い面積で接して接合され、接着剤として熱可塑性の接着剤を用いる場合にはウェハブロック２１とサポート板２２が加熱されることから、サポート板２２の材質は、ウェハブロック２１と熱膨張率が近いものが好ましく、特に、ウェハブロック２１の主要な部分と同じ材質すなわち例えばアルティックであることが好ましい。また、被加工物によって切断時の条件が異なるので、サポート板２２の材質がウェハブロック２１の主要な部分と同じ材質であると、切断時の条件の設定が容易になり、この点からも、サポート板２２の材質がウェハブロック２１の主要な部分と同じ材質であることが好ましい。
【００５１】
一方、ダミーブロック２３は、ウェハブロック２１における各列のスライダ部分の配列方向についての幅が、ウェハブロック２１の幅に近ければよいが、取り扱いの容易さから、特に、ウェハブロック２１の幅と等しいことが好ましい。また、ダミーブロック２３の厚みは、ウェハブロック２１の同程度が好ましい。
【００５２】
ウェハブロック２１は、図３に示したように、円形のウェハ２０より切り出されるため、図５（ａ）に示したように幅の大きいものや、図５（ｂ）に示したように幅の小さいものが存在する。そこで、ウェハブロック２１の幅に合わせて、幅の異なる複数のダミーブロック２３を用意しておき、図５（ａ），（ｂ）に示したように、ウェハブロック２１の幅と等しい幅のダミーブロック２３を、ウェハブロック２１に対して接合するのが好ましい。
【００５３】
また、ダミーブロック２３の材質は、ある程度の強度を持った変形しにくい材質であればよいが、精度よく形成可能なセラミックス、例えばアルティック、アルミナ、ジルコニア（ＺｒＯ２ ）等が好ましい。接着剤として熱可塑性の接着剤を用いる場合にはウェハブロック２１とダミーブロック２３が加熱されることから、ダミーブロック２３の材質は、ウェハブロック２１と熱膨張率が近いものが好ましく、特に、ウェハブロック２１の主要な部分と同じ材質すなわち例えばアルティックであることが好ましい。
【００５４】
次に、図６および図７を参照して、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３の接合作業時における位置決めの方法の一例について説明する。図６は、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３の接合作業時の状態を示す平面図、図７は図６のＡ−Ａ′線断面図である。この例では、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３の位置決め用の台３２を用いている。この台３２の上には、ウェハブロック２１における各列のスライダ部分の配列方向に直交する方向についてのウェハブロック２１とサポート板２２の位置を規定する規定部３３と、スライダ部分の配列方向についてのウェハブロック２１とダミーブロック２３の位置を規定する規定部３４，３４とが設けられている。
【００５５】
ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３を固定する際には、これらにおける互いに接合する面の少なくとも一方に、接着剤を塗布した後、図６および図７に示したように、台３２の上に、サポート板２２を載置し、このサポート板２２の上に、ウェハブロック２１およびダミーブロック２３を載置する。そして、スライダ部分の配列方向に直交する方向についてのウェハブロック２１とサポート板２２の端部を、規定部３３に突き当てると共に、スライダ部分の配列方向についてのウェハブロック２１とダミーブロック２３の各端部を、それぞれ、規定部３４，３４に突き当てる。これにより、スライダ部分の配列方向に直交する方向についてのウェハブロック２１とサポート板２２の端部の位置が揃えられると共に、スライダ部分の配列方向についてのウェハブロック２１とダミーブロック２３の端部の位置が揃えられ、この状態で、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３が互いに接合される。なお、図７に示したように、規定部３３は、ウェハブロック２１の端部およびサポート板２２の端部に当接する位置に配置されていると共に、ウェハブロック２１とサポート板２２に当接する端部において、ウェハブロック２１とサポート板２２の境界部分に対応する部分に、接着剤を逃がすための溝部３３ａが形成されている。一方、規定部３４，３４は、サポート板２２には接触せずに、それぞれウェハブロック２１の端部とダミーブロック２３の端部にのみ接触する位置に配置されている。
【００５６】
ここで、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３の接合のための接着剤としては、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３の材質等に応じて、熱可塑性の接着剤やシアノアクリル系の接着剤等が適宜選択されて使用される。
【００５７】
次に、図８および図９を参照して、サポート板２２およびダミーブロック２３の表面の形状の一例について説明する。図８において、（ａ）はサポート板２２の平面図、（ｂ）はサポート板２２の側面図である。また、図９において、（ａ）はダミーブロック２３の平面図、（ｂ）はダミーブロック２３の側面図である。これらの図に示したように、本例では、サポート板２２におけるウェハブロック２１と接合される面には、ウェハブロック２１との接合用の接着剤を逃がすための溝３６が複数本形成されている。また、ダミーブロック２３におけるウェハブロック２１と接合される面には、ウェハブロック２１との接合用の接着剤を逃がすための溝３７が複数本形成されている。
【００５８】
これらの溝３６，３７を設けることにより、ウェハブロック２１とサポート板２２との間、およびウェハブロック２１とダミーブロック２３との間の接着剤の層を薄くすることができ、接合された状態のウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３の強度を向上させることができる。
【００５９】
ここで、サポート板２２上の溝３６は、ウェハブロック２１における各列のスライダ部分の配列方向に直交する方向に延びるように形成するのが好ましい。それは、このように溝３６を形成することにより、ウェハブロック２１よりバー５１を切り出した後に、各バー５１について、バー５１とサポート板２２の断片との間の接合面積が均一になるからである。
【００６０】
また、サポート板２２上の複数本の溝３６は、ウェハブロック２１における各列のスライダ部分の配置のピッチと等しいピッチで形成するのが好ましい。更に、このように形成された溝３６が、ウェハブロック２１中の各列における隣接するスライダ部分間の分離位置に配置されるように、ウェハブロック２１とサポート板２２とを位置決めするのが好ましい。これは、このようにすることにより、各スライダ部分について、スライダ部分とサポート板２２との間の接合面積が均一になるからである。なお、各列のスライダ部分の配置のピッチは、例えば１ｍｍ程度である。
【００６１】
ダミーブロック２３上の複数本の溝３７は、サポート板２２上の複数本の溝３６と同様に、ウェハブロック２１における各列のスライダ部分の配置のピッチと等しいピッチで形成するのが好ましく、更に、このように形成された溝３７が、ウェハブロック２１中の各列における隣接するスライダ部分間の分離位置に配置されるように、ウェハブロック２１とダミーブロック２３とを位置決めするのが好ましい。
【００６２】
各溝３６，３７の深さおよび幅は、共に、０．１〜０．２ｍｍ程度が好ましい。
【００６３】
次に、図１０および図１１を参照して、サポート板２２に接合されたウェハブロック２１の媒体対向面側における一列分のスライダ部分の媒体対向面に対して所定の加工を施す工程（図２のステップＳ１０３）について説明する。この工程では、研削装置を用いた研削（グラインディング）や、研磨装置を用いた研磨（ラッピング）等を行い、最終的にはＭＲ素子の抵抗値およびＭＲハイトや、スロートハイトを正確に規定する。
【００６４】
本実施の形態では、上記工程を行う際には、図１０に示したように、一体化されたウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３を、加工用の治具としてのホルダ３８に対して固定する。この固定の際には、例えばクランプ（締め付け具）３９，３９を用いて、サポート板２２を保持するようにする。これにより、ウェハブロック２１に直接振れることなく、ウェハブロック２１をホルダ３８に固定することができる。
【００６５】
図１１は、ウェハブロック２１の媒体対向面側における一列分のスライダ部分の媒体対向面を研磨する工程を簡単に示したものである。この工程では、図１０に示したようにウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３が固定されたホルダ３８は、研磨装置における被研磨物の保持部４０に取り付けられ、研磨定盤４１上に配置され、回転する研磨定盤４１によって、ウェハブロック２１の媒体対向面側における一列分のスライダ部分の媒体対向面が研磨される。この研磨の際には、ＭＲ素子の抵抗値およびＭＲハイトや、スロートハイトを正確に規定するために、電気的ラッピングガイドや光学的ラッピングガイドを用いて研磨量が制御される。
【００６６】
次に、図１２ないし図２２を参照して、ウェハブロック２１とサポート板２２を切断する工程（図２のステップＳ１０４）について説明する。
【００６７】
この工程では、図１２に示したように、媒体対向面２１ａに対して所定の加工が施された一列分のスライダ部分３１が、ウェハブロック２１より分離されてバー５１となるように、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断する。本実施の形態では、この切断の際に媒体対向面２１ａを保護するために、切断を行う際に、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａとこの媒体対向面２１ａと一緒に加工が施されたサポート板２２の端面とを覆うように、テープ２４を配置する。この場合、テープ２４として粘着力を有するものを用い、切断を行う前に、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａとサポート板２２の端面にテープ２４を貼り付けておくのが好ましい。また、テープ２４は、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａに対する衝撃を和らげるように、弾性を有するものが好ましい。
【００６８】
テープ２４が貼り付けられた状態のウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３は、図１に示した加工装置におけるサポート板保持部６上に載置される。
【００６９】
図１３は、図１に示した加工装置におけるサポート板保持部６およびテープ保持部７を示す斜視図、図１４は、図１に示した加工装置におけるサポート板保持部６およびテープ保持部７を示す断面図である。これらの図に示したように、サポート板保持部６の上面には、サポート板２２が載置される位置に、長円形状の凹部からなる吸着部５５が形成されている。この吸着部５５には、吸引用管１０が連通している。また、テープ保持部７におけるテープ２４が当接される位置には、長円形状の凹部からなる吸着部５６が形成されている。この吸着部５６には、吸引用管５７が連通している。なお、図１３に示した例では、吸引用管５７の端部側が３本に分岐され、各分岐部分の端部が吸着部５６に接続されている。吸引用管１０，５７は、それぞれ図示しない吸引装置に接続されるようになっている。
【００７０】
テープ２４が貼り付けられ、サポート板保持部６上に載置されたウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３は、サポート板２２が吸着部５５によって吸着され、テープ２４が吸着部５６によって吸着されて、サポート板保持部６およびテープ保持部７に対して固定される。この状態で、図１４に示したように、媒体対向面２１ａに対して所定の加工が施された一列分のスライダ部分３１が、ウェハブロック２１より分離されてバー５１となるように、ブレード８によって、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断する。切断時には、切断部分に研削液が吹きつけられる。この切断後、バー５１およびサポート板２２の断片５２は、テープ２４と共にテープ保持部７によって保持される。なお、サポート板保持部６とテープ保持部７との間には、ブレード８に対向する位置に、ブレード８の先端部を収納するための凹部５８が形成されている。
【００７１】
図１５ないし図２０は、テープ２４のいくつかの種類を示したものである。なお、図１５、図１６、図１７および図１９は、テープにおける長手方向に直交する断面を示したものである。これに対し、図２０は、テープの平面図を表している。
【００７２】
図１５に示したテープ２４Ａは、一方の面側より、基材２４１、粘着剤層２４２、セパレータ（カバーフィルム）２４３が、この順に積層されたものである。テープ２４Ａの全体の厚みは、０．１ｍｍ程度である。基材２４１を構成する材質としては、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリオレフィン系等の有機系材質の他、紙や布等も用いることができる。粘着剤層２４２を構成する粘着剤には、例えば、一般的なアクリル系粘着剤等の有機系粘着剤を用いることができる。
【００７３】
図１５に示したテープ２４Ａは、使用の際には、セパレータ２４３が剥がされ、その結果露出した粘着剤層２４２に、ウェハブロック２１およびサポート板２２の端面が接着される。
【００７４】
また、テープ２４Ａとしては、粘着剤層２４２が紫外線（ＵＶ）硬化型の材質からなる紫外線硬化型テープを用いてもよい。このような紫外線硬化型テープとしては、例えば、リンテック株式会社製のＵＶ硬化型ダイシングテープ“Ｄシリーズ”（商品名）がある。このような紫外線硬化型テープでは、紫外線が照射されると、粘着剤層２４２の粘着力が低下する。従って、テープ２４Ａとして、このような紫外線硬化型テープを用いることにより、バー５１からテープ２４Ａを剥離する際に、テープ２４Ａに紫外線を照射することで、粘着剤の残り（以下、糊残りと言う。）がなく、容易にバー５１からテープ２４Ａを剥離することが可能となる。
【００７５】
また、テープ２４Ａとしては、粘着剤層２４２が加熱剥離型の材質からなる加熱剥離型テープを用いてもよい。このような加熱剥離型テープとしては、例えば、日化精工株式会社製の“スカイシート”（商品名）や、日東電工株式会社製の“リバアルファ”（商品名）がある。このような加熱剥離型テープでは、加熱されると、粘着剤層２４２の粘着力が低下する。従って、テープ２４Ａとして、このような加熱剥離型テープを用いることにより、バー５１からテープ２４Ａを剥離する際に、テープ２４Ａを加熱することで、糊残りがなく、容易にバー５１からテープ２４Ａを剥離することが可能となる。
【００７６】
また、テープ２４Ａとしては、基材２４１が導電性物質を含み帯電防止機能を有する帯電防止テープを用いてもよい。このような帯電防止テープとしては、東洋化学株式会社製のエレグリップ“Ｅシリーズ”（商品名）がある。テープ２４Ａとして、このような帯電防止テープを用い、このテープによって、スライダ部分の媒体対向面を保護することにより、バー５１内におけるスライダの静電破壊、特に、人のハンドリング等によるバー５１内における薄膜磁気ヘッド素子の静電破壊を防止することが可能となる。
【００７７】
図１６に示したテープ２４Ｂは、基材２４１中に、強度補強用のワイヤ２４４，２４４を入れたものであり、その他の構成および作用は、図１５に示したテープ２４Ａと同様である。ワイヤ２４４の材質としては、ナイロン（商品名）や金属等を用いることができる。
【００７８】
図１７に示したテープ２４Ｃは、基材２４１の粘着剤層２４２とは反対側の面に、強度補強用の補強層２４５を貼り付けたものであり、その他の構成および作用は、図１５に示したテープ２４Ａと同様である。補強層２４５の材質としては、ナイロン（商品名）や紙等を用いることができる。
【００７９】
図１６や図１７に示したような強度が補強されたテープ２４Ｂ，２４Ｃを用いる場合には、図１８に示したように、一方のリール２４６に巻回されたテープ２４Ｂ，２４Ｃを、他方のリール２４７に巻き取るように、テープ２４Ｂ，２４Ｃを搬送するように構成し、テープ２４Ｂ，２４Ｃにバー５１およびサポート板２２の断片５２を接合したまま、テープ２４Ｂ，２４Ｃを搬送することにより、切断後のバー５１およびサポート板２２の断片５２を自動搬送することが可能となる。
【００８０】
図１９に示したテープ２４Ｄは、フォトリソグラフィに用いられるドライフィルムレジストを利用したものである。このテープ２４Ｄは、フォトレジスト材料よりなるレジスト層２４８と、カバーフィルム２４９とを積層した構造になっている。このようなドライフィルムレジストとしては、例えば、フジフィルムオーリン株式会社製の“バンクスドライフィルムフォトレジストＵ−１２０”（商品名）がある。テープ２４Ｄとして、このようなドライフィルムレジストを用いる場合には、レジスト層２４８に、ウェハブロック２１およびサポート板２２の端面が、例えば熱圧着により接着される。
【００８１】
図２０に示したテープ２４Ｅは、粘着剤層を有しないテープ、すなわち、粘着力を有しないテープである。このテープ２４Ｅの材質としては、例えばテープ２４Ａにおける基材２４１と同様のものを用いることができる。このテープ２４Ｅには、長手方向に沿って、複数の孔２５０が形成されている。このテープ２４Ｅは、ウェハブロック２１およびサポート板２２の切断時に、ウェハブロック２１およびサポート板２２の端面と、テープ保持部５６の吸着部５６と間に介挿される。この状態で、吸引用管５７を介して吸着部５６より空気を吸引すると、テープ２４Ｅの孔２５０を介して、ウェハブロック２１およびサポート板２２の端面が吸着部５６側に吸引される。その結果、テープ２４Ｅは、吸着部５６とウェハブロック２１およびサポート板２２の端面との間に保持される。
【００８２】
ウェハブロック２１とサポート板２２の切断が行われて、バー５１およびサポート板２２の断片５２が得られたら、ウェハブロック２１の残りがある限り、残りのウェハブロック２１について、再度、媒体対向面の加工（図２のステップＳ１０３）と、ウェハブロック２１とサポート板２２の切断（図２のステップＳ１０４）が、繰り返し実行される。なお、ウェハブロック２１の薄膜磁気ヘッド素子が形成されている面には切断位置の基準となる加工マーカが形成されており、ウェハブロック２１とサポート板２２の切断の際には、この加工マーカを基準にして、切断位置を合わせる。
【００８３】
図２１は、上記のステップＳ１０３とステップＳ１０４の繰り返しを表したものである。この図において、（ａ）は、サポート板２２に接合された状態でのウェハブロック２１の媒体対向面の加工を表しており、この加工が終了したら、（ｂ）に示したように、媒体対向面に対して加工が施された一列分のスライダ部分がウェハブロック２１より分離されてバー５１となるように、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断する。そして、（ｃ）に示したように、得られたバー５１およびサポート板２２の断片５２は、後工程に回される。また、ウェハブロック２１の残りがある場合には、残りのウェハブロック２１について、再度、（ａ）に示したように媒体対向面の加工が行われる。
【００８４】
図２２は、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断して得られるバー５１およびサポート板２２の断片５２を表したものである。図１に示した加工装置において、ウェハブロック２１とサポート板２２の切断後、バー５１およびサポート板２２の断片５２は、テープ２４と共にテープ保持部７によって保持されている。図１に示した加工装置では、その後、可動部５が収納部２側に移動し、バキュームピンセット１４が切断機構部１側に移動し、バキュームピンセット１４がバー５１およびサポート板２２の断片５２を保持し、トレイ１３に収納する。ここで、バキュームピンセット１４は、バー５１およびサポート板２２の断片５２を保持する際に、サポート板２２の断片５２を吸着して保持するようになっている。
【００８５】
次に、図２３ないし図２９を参照して、バー５１に対する後工程について説明する。
【００８６】
本実施の形態では、まず、切断後のバー５１に対して、切断部分、すなわち、媒体対向面とは反対側の面の歪みを除去するために、媒体対向面とは反対側の面の研磨が行われる。図２３および図２４は、この研磨用の治具にバー５１を装着した状態を示す断面図である。この図に示したように、研磨用の治具は、キャリア６１と、荷重付加部材６２とを備えている。キャリア６１は、肉厚の円筒形状の円筒部６３と、この円筒部６３の下端部を閉塞するように形成された円板状の円板部６４とを有している。円板部６４には、被加工物を収容するための複数の孔６５が形成されている。荷重付加部材６２は、キャリア６１の円筒部６３内に挿入される凸部６６を有している。この凸部６６の下端部には、パッド６７が取り付けられている。
【００８７】
バー５１の媒体対向面とは反対側の面の研磨を行う場合には、キャリア６１を研磨定盤６８上に載置し、キャリア６１の円板部６４の孔６５内に、バー５１およびサポート板２２の断片５２が、媒体対向面とは反対側の面が下側となるように収容する。そして、キャリア６１の円筒部６３内に、荷重付加部材６２の凸部６６を挿入する。円板部６４の厚みは、例えば０．２ｍｍ程度であり、バー５１の厚みは、例えば０．３ｍｍ程度である。従って、荷重付加部材６２の凸部６６の下端部は、円板部６４まで達しない。これにより、バー５１に、荷重付加部材６２による荷重が付加されることになる。そして、この状態で、回転する研磨定盤６８上で、キャリア６１を回転させることにより、バー５１の媒体対向面とは反対側の面の研磨が行われる。
【００８８】
上述の研磨により、バー５１の媒体対向面とは反対側の面の歪みを除去したら、図２５に示したように、バー５１およびサポート板２２の断片５２より、テープ２４を剥がす。その際、テープ２４として紫外線硬化型テープを用いている場合には、テープ２４に紫外線を照射し、テープ２４として加熱剥離型テープを用いている場合には、テープ２４を加熱して、テープ２４の粘着力を低下させてから、テープ２４を剥がす。なお、図２０に示したテープ２４Ｅを用いた場合には、バー５１およびサポート板２２の断片５２よりテープ２４を剥がす工程は不要である。
【００８９】
次に、図２６に示したように、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３を接合した接着剤の種類に応じた方法で、バー５１とサポート板２２の断片５２とを分離して、単独のバー５１を得る。次に、このバー５１を、アセトン内での超音波洗浄や、スクラブ洗浄等により、簡易的に洗浄する。その後、バー５１の媒体対向面にレール部が形成される。レール部の形成には、例えば、反応性イオンエッチング、イオンミリング等のドライエッチングが用いられる。
【００９０】
また、図１９に示したテープ（ドライフィルムレジスト）２４Ｄを用いた場合には、テープ２４Ｄをレール部の形成工程におけるフォトレジストとして利用できるため、レール部の形成工程まで、テープ２４Ｄを残しておいてもよい。ここで、図２７ないし図２９を参照して、テープ２４Ｄを利用したレール部の形成工程について簡単に説明する。このレール部の形成工程では、まず、図２７に示したように、バー５１に接合されているテープ２４Ｄより、カバーフィルム２４９を剥がし、バー５１の媒体対向面上に、レジスト層２４８のみを残す。次に、図２８に示したように、露光用マスクを介してレジスト層２４８を露光して、レール部に対応したパターンのフォトレジストマスク２５１を形成する。次に、図２９に示したように、フォトレジストマスク２５１をエッチングマスクとして、例えば、反応性イオンエッチング、イオンミリング等のドライエッチングを行って、レール部７１，７１を形成する。次に、フォトレジストマスク２５１を除去する。
【００９１】
以上説明したように、本実施の形態によれば、ウェハブロック２１における全てのスライダ部分の一面を含む面に対してサポート板２２を接合し、サポート板２２に接合されたウェハブロック２１の媒体対向面側における一列分のスライダ部分の媒体対向面に対して所定の加工を施し、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダ部分がウェハブロック２１より分離されてバー５１となるように、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断するようにしている。従って、バー５１を、独立した状態で、媒体対向面の加工用の治具に固定して媒体対向面の加工を行うことがないので、バー５１の変形を防止でき、特性のよいスライダを精度よく製造することが可能になる。具体的には、バー５１の被加工面の加工精度の劣化や、バー５１内における薄膜磁気ヘッド素子を形成する各層（パターン）の湾曲等の変形を防止できると共に、ＭＲ素子の抵抗値およびＭＲハイトや、スロートハイトを精度よく制御することが可能となる。更には、後工程であるレール部の形成も精度よく行うことが可能となる。
【００９２】
しかも、本実施の形態によれば、ウェハブロック２１の切断の度にウェハブロック２１とサポート板２２の接合や分離を繰り返す必要がないので、生産効率がよい。また、ウェハブロック２１はサポート板２２に接合され、また、切断工程後のバー５１もサポート板２２の断片５２に接合された状態となっているので、スライダの製造工程中における中間製造物としてのウェハブロック２１やバー５１の取り扱いが容易になる。すなわち、サポート板２２の幅をウェハブロック２１の幅よりも大きくすることで、ウェハブロック２１の幅が変化しても、接合された状態のウェハブロック２１とサポート板２２や、接合された状態のバー５１およびサポート板２２の断片５２は、幅が一定になり、これらを幅が一定の物として扱うことができる。
【００９３】
また、本実施の形態によれば、ウェハブロック２１の媒体対向面とは反対側に、ウェハブロック２１を補助的に支持するためのダミーブロック２３を配置し、ウェハブロック２１とダミーブロック２３とを接合すると共に、サポート板２２とダミーブロック２３とを接合するようにしたので、更に、ウェハブロック２１に残るスライダ部分の列数が少なくなったときでも、ウェハブロック２１に関して、ウェハブロック２１に残るスライダ部分の列数が多いときと同様の剛性や精度を維持することができる。そのため、ウェハブロック２１に残るスライダ部分の列数が少なくなったときでも、特性のよいスライダを、より精度よく製造することが可能になる。
【００９４】
また、本実施の形態では、サポート板２２を、ウェハブロック２１の主要な部分と同じ材質で形成されたものとすることにより、サポート板２２とウェハブロック２１の材質の違いによるウェハブロック２１の変形を防止でき、特性のよいスライダを、より精度よく製造することが可能になる。
【００９５】
また、本実施の形態によれば、ウェハブロック２１はサポート板２２に接合され、また、切断工程後のバー５１もサポート板２２の断片５２に接合された状態となっているので、ウェハブロック２１やバー５１に直接触れることなく、ウェハブロック２１やバー５１を扱うことが可能となるので、取り扱いによるスライダの不良を低減でき、スライダの歩留りを大きくすることが可能となる。
【００９６】
また、本実施の形態によれば、ウェハブロック２１を切断する際に、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａを保護するために、媒体対向面２１ａを覆うようにテープ２４を配置したので、ウェハブロック２１の切断時における水溶性研削液による磁極部分の腐食や、媒体対向面２１ａに機械的に発生する傷（スクラッチ）や、媒体対向面２１ａに対するごみの付着等を防止することができる。また、テープ２４を、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａに接着することにより、更に、切断後のバー５１の取り扱い時におけるバー５１の欠け（チッピング）等の不良を防止することができる。
【００９７】
また、本実施の形態では、ウェハブロック２１の切断の度に、ウェハブロック２１の切断前にウェハブロック２１の媒体対向面２１ａと専用の治具とを接着したり、ウェハブロック２１の切断後に専用の治具からバー５１を剥離する必要がないので、これらの接着や剥離の時間を省略でき、生産効率が向上する。
【００９８】
また、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａにテープ２４を接着し、剥離した場合でも、媒体対向面２１ａと専用の治具とを熱硬化性樹脂や熱可塑性接着剤等の結合剤によって接着し、剥離する場合に比べると、媒体対向面２１ａにおける糊残りが少なく、洗浄性（洗浄の効率および洗浄後の状態）が向上する。特に、テープ２４として、紫外線硬化型テープや加熱剥離型テープを用いることにより、媒体対向面２１ａにおける糊残りをほとんどなくすことができる。
【００９９】
また、テープ２４を、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａに接着することにより、専用治具を必要とすることなく、テープ２４を介してバー５１を保持することが可能となるため、バー５１のハンドリングが容易になり、切断後のバー５１に対する処理の自動化が容易になる。
【０１００】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、例えば、本発明は、薄膜磁気ヘッド用のスライダに限らず、他の用途のスライダ、例えば光記録方式や光磁気記録方式による情報の記録または再生を行うためのヘッド（ピックアップ）用のスライダにも適用することが可能である。
【０１０１】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１ないし７のいずれかに記載のスライダの製造方法によれば、素材における全てのスライダとなる部分の一面を含む面に対して支持部材を接合し、支持部材に接合された素材の一端側における一列分のスライダとなる部分の媒体対向面に対して所定の加工を施し、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分が素材より分離されてスライダ集合体となるように、素材と支持部材とを一緒に切断するようにしたので、スライダ集合体の変形を防止でき、特性のよいスライダを精度よく製造することが可能になるという効果を奏する。しかも、素材の切断の度に素材と支持部材の接合や分離を繰り返す必要がないので、生産効率がよいと共に、素材は支持部材に接合され、また、切断工程後のスライダ集合体も支持部材の断片に接合された状態となっているので、スライダの製造工程中における中間製造物としての素材やスライダ集合体の取り扱いが容易になるという効果を奏する。
【０１０２】
また、請求項２記載のスライダの製造方法によれば、第１の工程が、素材の他端側に、素材を補助的に支持するための補助支持部材を配置し、素材の他端側の面と補助支持部材とを接合すると共に、支持部材と補助支持部材とを接合することを含むようにしたので、更に、素材に残るスライダとなる部分の列数が少なくなったときでも、素材の変形を防止でき、特性のよいスライダを、より精度よく製造することが可能になるという効果を奏する。
【０１０３】
また、請求項３記載のスライダの製造方法によれば、支持部材を、素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、素材の幅よりも大きいものとしたので、更に、中間製造物としての素材の取り扱いがより容易になるという効果を奏する。
【０１０４】
また、請求項５記載のスライダの製造方法によれば、支持部材を、素材の主要な部分と同じ材質で形成されたものとしたので、更に、支持部材と素材の材質の違いによる素材の変形を防止でき、特性のよいスライダを、より精度よく製造することが可能になるという効果を奏する。
【０１０５】
また、請求項８ないし１４のいずれかに記載のスライダの製造用補助具によれば、素材における全てのスライダとなる部分を支持するために、素材における全てのスライダとなる部分の一面を含む面に対して接合され、素材の一端側における、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分を、素材より分離してスライダ集合体とする際に、素材と一緒に切断される支持部材を備えたので、スライダ集合体の変形が防止され、特性のよいスライダを精度よく製造することが可能になるという効果を奏する。しかも、素材の切断の度に素材と支持部材の接合や分離を繰り返す必要がないので、生産効率がよいと共に、素材は支持部材に接合され、また、切断工程後のスライダ集合体も支持部材の断片に接合された状態となっているので、スライダの製造工程中における中間製造物としての素材やスライダ集合体の取り扱いが容易になるという効果を奏する。
【０１０６】
また、請求項９記載のスライダの製造用補助具によれば、更に、素材を補助的に支持するために、素材の他端側に配置されると共に、素材の他端側の面および支持部材に対して接合される補助支持部材を備えたので、更に、素材に残るスライダとなる部分の列数が少なくなったときでも、素材の変形を防止でき、特性のよいスライダを、より精度よく製造することが可能になるという効果を奏する。
【０１０７】
また、請求項１０記載のスライダの製造用補助具によれば、支持部材を、素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、素材の幅よりも大きいものとしたので、更に、中間製造物としての素材の取り扱いがより容易になるという効果を奏する。
【０１０８】
また、請求項１２記載のスライダの製造用補助具によれば、支持部材を、素材の主要な部分と同じ材質で形成されたものとしたので、更に、支持部材と素材の材質の違いによる素材の変形を防止でき、特性のよいスライダを、より精度よく製造することが可能になるという効果を奏する。
【０１０９】
また、請求項１３記載のスライダの製造用補助具によれば、支持部材を、素材と接合される面に、素材との接合用の接着剤を逃がすための溝が形成されたものとしたので、更に、接合された状態の素材および支持部材の強度を向上させることができるという効果を奏する。
【０１１０】
また、請求項１４記載のスライダの製造用補助具によれば、補助支持部材を、素材と接合される面に、素材との接合用の接着剤を逃がすための溝が形成されたものとしたので、更に、接合された状態の素材および補助支持部材の強度を向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るスライダの製造方法の実施に使用されるスライダの加工装置の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施例に係るスライダの製造方法を示す流れ図である。
【図３】本発明の一実施例におけるウェハブロックを形成する工程を説明するための説明図である。
【図４】本発明の一実施例におけるウェハブロックをサポート板に接合する工程を説明するための斜視図である。
【図５】本発明の一実施例における幅の異なるウェハブロックの取り扱いを説明するたの説明図である。
【図６】本発明の一実施例におけるウェハブロック、サポート板およびダミーブロックの接合作業時の状態を示す平面図である。
【図７】図６のＡ−Ａ′線断面図である。
【図８】本発明の一実施例におけるサポート板の表面の形状の一例を示す説明図である。
【図９】本発明の一実施例におけるダミーブロックの表面の形状の一例を示す説明図である。
【図１０】本発明の一実施例におけるウェハブロック、サポート板およびダミーブロックをホルダに対して固定した状態を示す斜視図である。
【図１１】本発明の一実施例におけるウェハブロックの媒体対向面に対して所定の加工を施す工程を説明するための斜視図である。
【図１２】本発明の一実施例においてウェハブロックの媒体対向面にテープを接着する様子を示す斜視図である。
【図１３】図１に示した加工装置におけるサポート板保持部およびテープ保持部を示す斜視図である。
【図１４】図１に示した加工装置におけるサポート板保持部およびテープ保持部を示す断面図である。
【図１５】本発明の一実施例におけるテープの一例を示す断面図である。
【図１６】本発明の一実施例におけるテープの他の例を示す断面図である。
【図１７】本発明の一実施例におけるテープの更に他の例を示す断面図である。
【図１８】本発明の一実施例においてテープを用いてバーを自動搬送する例を示す説明図である。
【図１９】本発明の一実施例におけるテープの更に他の例を示す断面図である。
【図２０】本発明の一実施例におけるテープの更に他の例を示す平面図である。
【図２１】本発明の一実施例におけるウェハブロックの媒体対向面の加工と切断の工程を示す説明図である。
【図２２】本発明の一実施例におけるバーおよびサポート板の断片を示す斜視図である。
【図２３】本発明の一実施例において切断後のバーの歪みを除去するための研磨用の治具にバーを装着した状態を示す断面図である。
【図２４】本発明の一実施例において切断後のバーの歪みを除去する工程を説明するための斜視図である。
【図２５】本発明の一実施例においてバーおよびサポート板の断片よりテープを剥がす工程を示す斜視図である。
【図２６】本発明の一実施例においてバーとサポート板の断片とを分離する工程を示す斜視図である。
【図２７】本発明の一実施例においてテープを利用したレール部の形成工程について説明するための断面図である。
【図２８】本発明の一実施例においてテープを利用したレール部の形成工程について説明するための断面図である。
【図２９】本発明の一実施例においてテープを利用したレール部の形成工程について説明するための断面図である。
【符号の説明】
１…切断機構部、２…収納部、６…サポート板保持部、７…テープ保持部、８…ブレード、２１…ウェハブロック、２２…サポート板、２３…ダミーブロック、２４…テープ、５１…バー。
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜磁気ヘッド等に用いられるスライダの製造方法およびスライダの製造工程中で用いられるスライダの製造用補助具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置等に用いられる浮上型薄膜磁気ヘッドは、一般的に、後端部に薄膜磁気ヘッド素子が形成された薄膜磁気ヘッドスライダ（以下、単にスライダとも言う。）によって構成されるようになっている。スライダは、一般的に、表面が媒体対向面（エアベアリング面）となるレール部を有すると共に、空気流入側の端部近傍にテーパ部またはステップ部を有し、テーパ部またはステップ部より流入する空気流によってレール部が磁気ディスク等の記録媒体の表面からわずかに浮上するようになっている。
【０００３】
また、薄膜磁気ヘッド素子としては、書き込み用の誘導型磁気変換素子と読み出し用の磁気抵抗（以下、ＭＲ（Ｍａｇｎｅｔｏ Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ ）と記す。）素子とを積層した構造の複合型の薄膜磁気ヘッド素子が広く用いられている。
【０００４】
薄膜磁気ヘッドスライダは、一般に、それぞれ薄膜磁気ヘッド素子を含むスライダとなる部分（以下、スライダ部分と言う。）が複数列に配列されたウェハを一方向に切断して、スライダ部分が一列に配列されたバーと呼ばれるブロックを形成し、このバーに対してレール部を形成した後に、バーを切断して各スライダに分離することによって製造される。
【０００５】
このようなスライダの製造工程には、バーの媒体対向面に対して研削（グラインディング）や研磨（ラッピング）等の加工を施す媒体対向面の加工工程と、ウェハよりバーを切り出すバー切断工程とが含まれる。なお、バーの媒体対向面の加工工程とバー切断工程の順序は、後で説明するように、バーの媒体対向面の加工およびウェハからのバーの切り出しの方法によって異なる。
【０００６】
媒体対向面の加工工程では、バーに含まれる薄膜磁気ヘッド素子におけるＭＲハイトやスロートハイトを全て許容範囲内に収める必要があると共に、被加工面の加工精度を所定の許容範囲内に収める必要がある。なお、ＭＲハイトとは、ＭＲ素子の媒体対向面側の端部から反対側の端部までの長さ（高さ）を言う。また、スロートハイトとは、誘導型磁気変換素子において、媒体対向面から、誘導型磁気変換素子における磁極部分の長さ（高さ）を言う。
【０００７】
ところで、従来、バーの媒体対向面の加工およびウェハからのバーの切り出しは、次のような方法で行われることが多かった。その方法とは、ウェハから、一列分のスライダ部分を含むバーを切り出し、このバーにおける媒体対向面とは反対側の面を所定の治具に接着することによりバーを治具に固定し、この治具に固定されたバーにおける媒体対向面の加工を行うというものである。以下、この方法を第１の方法と言う。
【０００８】
また、従来、バーの媒体対向面の加工およびウェハからのバーの切り出しの方法としては、上述の第１の方法の他にも、以下に示すような第２ないし第６の方法が提案されていた。
【０００９】
第２の方法は、例えば米国特許第５，４０６，６９４号の第７図に示されるように、ウェハから、数列分のスライダ部分を含む所定の長さのブロックを切り出し、このブロックにおける媒体対向面とは反対側の面を所定の治具に接着することによりブロックを治具に固定し、この治具に固定されたブロックにおける媒体対向面の加工を行った後、ブロックより、媒体対向面の加工が済んだバーを切り出すというものである。
【００１０】
第３の方法は、例えば特開平４−２８９５１１号公報の図３に示されるように、ウェハを所定の治具に固定し、この治具に取り付けられたウェハにおける媒体対向面の加工を行った後、ウェハより、媒体対向面の加工が済んだバーを切り出すというものである。
【００１１】
第４の方法は、例えば特開平４−２８９５１１号公報の図７に示されるように、ウェハ、またはウェハより切り出された数列分のスライダ部分を含む所定の長さのブロックにおける媒体対向面とは反対側の基準面を加工した後、この基準面を所定の治具に接着することにより、ウェハまたはブロックを治具に固定し、その後、媒体対向面となる位置で、ウェハまたはブロックを切断することにより、治具に固定された状態でバーを切り出し、このバーにおける媒体対向面の加工を行うというものである。
【００１２】
第５の方法は、例えば特開平４−２８９５１１号公報の図８および図９に示されるように、隣り合う列間で媒体対向面同士または媒体対向面とは反対側の面同士が対向するようにスライダ部分が形成されたウェハを、媒体対向面とは反対側の面同士が対向する位置で切断することによって、ウェハより２列分のスライダ部分を含むブロックを切り出し、このブロックにおける両端面にそれぞれ所定の治具を接着により固定し、その後、ブロックを、媒体対向面同士が対向する位置で切断することによって、それぞれ治具に固定された２本のバーに分離し、各バーにおける媒体対向面の加工を行うというものである。
【００１３】
第６の方法は、例えば特開平４−２８９５１１号公報の図１０および図１１に示されるように、隣り合う列間で媒体対向面同士または媒体対向面とは反対側の面同士が対向するようにスライダ部分が形成されたウェハを、媒体対向面同士が対向する位置で切断することによって、ウェハより２列分のスライダ部分を含むブロックを切り出し、このブロックにおける一方の媒体対向面に所定の治具を接着により固定して、他方の媒体対向面の加工を行い、その後、加工の済んだ他方の媒体対向面に所定の治具を接着により固定し、一方の媒体対向面側より治具を取り外し、この一方の媒体対向面の加工を行い、ブロックを、媒体対向面とは反対側の面同士が対向する位置で切断することによって、２本のバーに分離するというものである。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上述の各種の方法のうち、第１の方法は、ウェハより１列分のスライダ部分を含むバーを切り出し、このバーを治具に固定し、バー単位で媒体対向面の加工を行うので、バーが、治具との間の接着面の状態や接着による歪みの影響を受けて、湾曲等の変形を生じやすい。そのため、バーの被加工面の加工精度の劣化や、バー内における薄膜磁気ヘッド素子を形成する各層（パターン）の湾曲等の変形が生じ易いと共に、ＭＲ素子の抵抗値およびＭＲハイトや、スロートハイトを精度よく制御することが難しくなり、特性のよい薄膜磁気ヘッドスライダを精度よく製造することが難しいという問題点がある。
【００１５】
第５および第６の各方法では、ウェハより２列分のスライダ部分を含むブロックを切り出し、このブロックを治具に固定するが、この場合でも、ブロックは薄く、変形し易いので、上記の第１の方法と同様の問題を生じる。
【００１６】
これに対し、第２ないし第４の各方法では、ウェハより切り出された後のバーまたは２列分のスライダ部分を含むブロックを、独立した状態で、治具に固定する工程がないので、上述の問題は低減される。しかしながら、これらの各方法でも、ウェハまたはブロックからのバーの切り出しが進み、ウェハまたはブロックに残るスライダ部分の列数が少なくなると、上述した問題が生じてしまう。特に、第３および第４の各方法では、バーの切断毎に、バーあるいはブロックと治具との固定、およびバーあるいはブロックと治具との分離を行うため、ウェハまたはブロックからのバーの切り出しが進み、ウェハまたはブロックに残るスライダ部分の列数が少なくなると、少ない列数のスライダ部分を含む薄いブロックを、独立した状態で、治具に固定する必要が生じるため、問題が顕著に現れる。
【００１７】
更に、第３および第４の各方法では、バーの切断毎に、ウェハあるいはブロックと治具との固定および分離の工程が必要となり、作業が煩雑で、生産効率が悪いという問題点もある。また、第３の方法では、ウェハに残るスライダ部分の列数によって、媒体対向面の加工の際の被加工物であるウェハの形状が変化するため、媒体対向面の加工時の取り扱いが不便であると共に、切り出されたバーの長さも不均一になるため、後工程への引き渡しの際や後工程における取り扱いが不便である。
【００１８】
また、第１ないし第６のいずれの方法の場合も、媒体対向面の加工後のバーは、治具から取り外されて、独立した状態で、後工程に引き渡されるため、後工程への引き渡しの際や後工程において、搬送用のアームやバー固定用の部材が、直接、バーに接触し、これによる薄膜磁気ヘッドの不良が生じ易いという問題点がある。
【００１９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、特性のよいスライダを精度よく製造することを可能にすると共に、生産効率がよく、スライダの製造工程中における中間製造物の取り扱いを容易にすることのできるスライダの製造方法および製造用補助具を提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明のスライダの製造方法は、媒体対向面を有するスライダとなる部分が複数列に配列された素材より、スライダとなる部分が一列に配列され、媒体対向面に対して所定の加工が施されたスライダ集合体を製造するスライダの製造方法であって、素材における全てのスライダとなる部分の一面を含む面に対して、素材における全てのスライダとなる部分を支持するための支持部材を接合する第１の工程と、支持部材に接合された素材の一端側における一列分のスライダとなる部分の媒体対向面に対して所定の加工を施す加工工程と、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分が素材より分離されてスライダ集合体となるように、素材と支持部材とを一緒に切断する切断工程とを含み、加工工程および切断工程を繰り返し実行する第２の工程とを備えたものである。
【００２１】
このスライダの製造方法では、第１の工程によって、素材における全てのスライダとなる部分の一面を含む面に対して、素材における全てのスライダとなる部分を支持するための支持部材が接合され、第２の工程によって、支持部材に接合された素材の一端側における一列分のスライダとなる部分の媒体対向面に対して所定の加工を施す加工工程と、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分が素材より分離されてスライダ集合体となるように、素材と支持部材とを一緒に切断する切断工程とが、繰り返し実行されて、スライダ集合体が製造される。
【００２２】
本発明のスライダの製造方法では、第１の工程が、素材の他端側に、素材を補助的に支持するための補助支持部材を配置し、素材の他端側の面と補助支持部材とを接合すると共に、支持部材と補助支持部材とを接合することを含んでいてもよい。
【００２３】
本発明のスライダの製造方法では、支持部材は、素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、素材の幅よりも大きいことが好ましい。
【００２４】
本発明のスライダの製造方法では、補助支持部材は、素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、素材の幅と等しいことが好ましい。
【００２５】
本発明のスライダの製造方法では、支持部材は、素材の主要な部分と同じ材質で形成されていることが好ましい。
【００２６】
本発明のスライダの製造方法では、加工工程は、例えば、媒体対向面の研磨を含んでいる。
【００２７】
本発明のスライダの製造方法では、スライダとなる部分は、例えば、薄膜磁気ヘッド素子を含んでいる。
【００２８】
本発明のスライダの製造用補助具は、媒体対向面を有するスライダとなる部分が複数列に配列された素材より、スライダとなる部分が一列に配列され、媒体対向面に対して所定の加工が施されたスライダ集合体を製造する際に使用されるスライダの製造用補助具であって、素材における全てのスライダとなる部分を支持するために、素材における全てのスライダとなる部分の一面を含む面に対して接合され、素材の一端側における、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分を、素材より分離してスライダ集合体とする際に、素材と一緒に切断される支持部材を備えたものである。
【００２９】
このスライダの製造用補助具における支持部材は、素材における全てのスライダとなる部分を支持すると共に、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分を、素材より分離してスライダ集合体とする際に、素材と一緒に切断される。
【００３０】
本発明のスライダの製造用補助具は、更に、素材を補助的に支持するために、素材の他端側に配置されると共に、素材の他端側の面および支持部材に対して接合される補助支持部材を備えていてもよい。
【００３１】
このスライダの製造用補助具では、支持部材が、素材における全てのスライダとなる部分を支持し、補助支持部材が、素材の他端側の面に接合されて、素材を補助的に支持する。
【００３２】
本発明のスライダの製造用補助具では、支持部材は、素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、素材の幅よりも大きいことが好ましい。
【００３３】
本発明のスライダの製造用補助具では、補助支持部材は、素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、素材の幅と等しいことが好ましい。
【００３４】
本発明のスライダの製造用補助具では、支持部材は、素材の主要な部分と同じ材質で形成されていることが好ましい。
【００３５】
本発明のスライダの製造用補助具では、支持部材は、素材と接合される面に、素材との接合用の接着剤を逃がすための溝が形成されていることが好ましい。
【００３６】
本発明のスライダの製造用補助具では、補助支持部材は、素材と接合される面に、素材との接合用の接着剤を逃がすための溝が形成されていることが好ましい。
【００３７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図１を参照して、本発明の一実施の形態に係るスライダの製造方法について簡単に説明する。図１は、本実施の形態に係るスライダの製造方法の実施に使用されるスライダの加工装置の一例を示す斜視図である。
【００３８】
本実施例に係るスライダの製造方法は、それぞれ薄膜磁気ヘッド素子を含むと共に媒体対向面を有するスライダとなる部分（以下、スライダ部分と言う。）が複数列に配列された素材としてのウェハブロック２１より、スライダ部分が一列に配列され、媒体対向面に対して所定の加工が施されたスライダ集合体としてのバー５１を製造する方法である。本実施例に係るスライダの製造方法は、第１の工程と第２の工程とを備えている。
【００３９】
第１の工程では、まず、スライダ部分が複数列に配列されたウェハより、ウェハブロック２１を形成する。次に、ウェハブロック２１における全てのスライダ部分の一面を含む面のうち、薄膜磁気ヘッド素子が形成されている面とは反対側の面に対して、ウェハブロック２１における全てのスライダ部分を支持するための支持部材としてのサポート板２２を接合する。また、第１の工程では、ウェハブロック２１における媒体対向面とは反対側に、ウェハブロック２１を補助的に支持するための補助支持部材としてのダミーブロック２３を配置し、ウェハブロック２１における媒体対向面とは反対側の面とダミーブロック２３とを接合すると共に、サポート板２２とダミーブロック２３とを接合する。
【００４０】
第２の工程は、サポート板２２に接合されたウェハブロック２１の媒体対向面側における一列分のスライダ部分の媒体対向面に対して所定の加工を施す加工工程と、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダ部分がウェハブロック２１より分離されてバー５１となるように、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断する切断工程とを含み、加工工程および切断工程を繰り返し実行する。
【００４１】
本実施の形態におけるスライダの製造用補助具は、サポート板２２およびダミーブロック２３からなる。
【００４２】
図１に示したスライダの加工装置は、上記第２の工程中の切断工程の実施に使用される装置である。この加工装置は、ウェハブロック２１の切断作業を行う切断機構部１と、ウェハブロック２１より分離されたバー５１の収納作業を行う収納部２とを備えている。
【００４３】
切断機構部１は、装置本体３と、この装置本体３の上部に設けられ、左右方向に延びるガイドレール４と、図示しない駆動装置によって駆動され、ガイドレール４に沿って移動可能な可動部５と、この可動部５上に設けられ、ウェハブロック２１が接合されたサポート板２２を吸着して保持するためのサポート板保持部６と、このサポート板保持部６上の一側部側に設け、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断する際にウェハブロック２１における媒体対向面に貼り付けられるテープ２４を吸着して保持するためのテープ保持部７と、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断するための切断ブレード８と、この切断ブレード８の回転軸８ａを支持するブレード支持部９とを備えている。ブレード支持部９内には、切断ブレード８の回転軸８ａを回転させるための図示しないモータが設けられている。また、サポート板保持部６には、サポート板２２を吸引するために用いられる吸引用管１０が接続されている。
【００４４】
収納部２は、ベース部１１と、このベース部１１上に設けられ、トレイ１３が載置されると共に、図示しない駆動装置によって駆動されて前後方向に移動可能なトレイ台１２と、ウェハブロック２１より分離されたバー５１をトレイ１３に収納するバキュームピンセット１４と、ベース部１１上に設けられ、バキュームピンセット１４を上下左右方向に移動させる駆動装置１５とを備えている。バキュームピンセット１４には、吸引用管１６が接続されている。
【００４５】
次に、図２の流れ図を参照して、本実施例に係るスライダの製造方法について説明する。本実施例に係るスライダの製造方法では、まず、それぞれ薄膜磁気ヘッド素子を含むスライダ部分が複数列に配列されたウェハより、ウェハブロック２１を形成し（ステップＳ１０１）、次に、このウェハブロック２１をサポート板２２に接合する（ステップＳ１０２）。次に、サポート板２２に接合されたウェハブロック２１の媒体対向面側における一列分のスライダ部分の媒体対向面に対して所定の加工を施し（ステップＳ１０３）、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダ部分がウェハブロック２１より分離されてバー５１となるように、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断する（ステップＳ１０４）。次に、ウェハブロック２１の残りがあるか否かを判断し（ステップＳ１０５）、残りがある場合（Ｙ）には、ステップＳ１０３に戻り、残りがない場合（Ｎ）には、バー５１の製造に関する処理を終了する。図２において、ステップＳ１０１およびステップＳ１０２は、第１の工程に対応し、ステップＳ１０３ないしステップＳ１０５は、第２の工程に対応する。
【００４６】
以下、図２における各工程について、順に、詳しく説明する。
【００４７】
まず、図３を参照して、ウェハブロック２１を形成する工程（図２のステップＳ１０１）について説明する。図３は、それぞれ薄膜磁気ヘッド素子１８を含むスライダ部分が複数列に配列されたウェハ２０を示している。このウェハ２０の主要な部分は、例えばアルティック（Ａｌ２ Ｏ３ ・ＴｉＣ）によって形成され、薄膜磁気ヘッド素子１８を囲う一部分が、例えばアルミナ（Ａｌ２ Ｏ３ ）によって形成されている。本実施例では、ウェハ２０を切断して、スライダ部分が複数列に配列された複数のウェハブロック２１を形成する。各ウェハブロック２１は、全てのスライダ部分の一面を含む面（図３に現れている面）が矩形の板状をなしている。なお、本実施の形態において、ウェハブロック２１に含まれるスライダ部分の列数は、２以上であればよいが、４以上が好ましく、１０〜２０の範囲内がより好ましい。
【００４８】
次に、図４ないし図９を参照して、ウェハブロック２１をサポート板２２に接合する工程（図２のステップＳ１０２）について説明する。この工程では、図４（ａ）に示したように、ウェハブロック２１と、ウェハブロック２１における全てのスライダ部分を支持するためのサポート板２２と、ウェハブロック２１を補助的に支持するためのダミーブロック２３とを用意し、図４（ｂ）に示したように、これらを互いに接合する。具体的には、サポート板２２上に、ウェハブロック２１における全てのスライダ部分の一面を含む面がサポート板２２の上面と対向するようにウェハブロック２１を配置すると共に、サポート板２２上において、ウェハブロック２１における媒体対向面２１ａとは反対側にダミーブロック２３を配置し、ウェハブロック２１とサポート板２２の互いに対向する面同士、ウェハブロック２１とダミーブロック２３の互いに対向する面同士、およびダミーブロック２３とサポート板２２の互いに対向する面同士を、それぞれ接着剤によって接合する。なお、ウェハブロック２１は、サポート板２２に接合する際、薄膜磁気ヘッド素子１８が形成された面とは反対側の面がサポート板２２に対向するように配置する。
【００４９】
ここで、サポート板２２は、ウェハブロック２１における全てのスライダ部分を支持する必要があるため、ウェハブロック２１における各列のスライダ部分の配列方向についての幅が、ウェハブロック２１の幅以上である必要がある。特に、サポート板２２の幅は、ウェハブロック２１の幅よりも大きいことが好ましい。これは、サポート板２２の幅が、ウェハブロック２１の幅よりも大きいと、サポート板２２に接合された状態のウェハブロック２１に所定の加工を施す際に、ウェハブロック２１に直接触れることなく、サポート板２２を介して、治具にウェハブロック２１を固定することが可能になる等、ウェハブロック２１の取り扱いが容易になるからである。サポート板２２の幅は、ウェハブロック２１の幅に対して、片側について少なくとも２〜３ｍｍ程度、全体で少なくとも４〜６ｍｍ程度大きいのが好ましい。サポート板２２の厚みは、強度や取り扱いの容易さ等を考慮して適宜に設定される。
【００５０】
また、サポート板２２の材質は、サポート板２２がウェハブロック２１と一緒に切断されることを考慮すると、精度よく切断可能なセラミックスが好ましい。また、ウェハブロック２１とサポート板２２とは、広い面積で接して接合され、接着剤として熱可塑性の接着剤を用いる場合にはウェハブロック２１とサポート板２２が加熱されることから、サポート板２２の材質は、ウェハブロック２１と熱膨張率が近いものが好ましく、特に、ウェハブロック２１の主要な部分と同じ材質すなわち例えばアルティックであることが好ましい。また、被加工物によって切断時の条件が異なるので、サポート板２２の材質がウェハブロック２１の主要な部分と同じ材質であると、切断時の条件の設定が容易になり、この点からも、サポート板２２の材質がウェハブロック２１の主要な部分と同じ材質であることが好ましい。
【００５１】
一方、ダミーブロック２３は、ウェハブロック２１における各列のスライダ部分の配列方向についての幅が、ウェハブロック２１の幅に近ければよいが、取り扱いの容易さから、特に、ウェハブロック２１の幅と等しいことが好ましい。また、ダミーブロック２３の厚みは、ウェハブロック２１の同程度が好ましい。
【００５２】
ウェハブロック２１は、図３に示したように、円形のウェハ２０より切り出されるため、図５（ａ）に示したように幅の大きいものや、図５（ｂ）に示したように幅の小さいものが存在する。そこで、ウェハブロック２１の幅に合わせて、幅の異なる複数のダミーブロック２３を用意しておき、図５（ａ），（ｂ）に示したように、ウェハブロック２１の幅と等しい幅のダミーブロック２３を、ウェハブロック２１に対して接合するのが好ましい。
【００５３】
また、ダミーブロック２３の材質は、ある程度の強度を持った変形しにくい材質であればよいが、精度よく形成可能なセラミックス、例えばアルティック、アルミナ、ジルコニア（ＺｒＯ２ ）等が好ましい。接着剤として熱可塑性の接着剤を用いる場合にはウェハブロック２１とダミーブロック２３が加熱されることから、ダミーブロック２３の材質は、ウェハブロック２１と熱膨張率が近いものが好ましく、特に、ウェハブロック２１の主要な部分と同じ材質すなわち例えばアルティックであることが好ましい。
【００５４】
次に、図６および図７を参照して、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３の接合作業時における位置決めの方法の一例について説明する。図６は、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３の接合作業時の状態を示す平面図、図７は図６のＡ−Ａ′線断面図である。この例では、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３の位置決め用の台３２を用いている。この台３２の上には、ウェハブロック２１における各列のスライダ部分の配列方向に直交する方向についてのウェハブロック２１とサポート板２２の位置を規定する規定部３３と、スライダ部分の配列方向についてのウェハブロック２１とダミーブロック２３の位置を規定する規定部３４，３４とが設けられている。
【００５５】
ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３を固定する際には、これらにおける互いに接合する面の少なくとも一方に、接着剤を塗布した後、図６および図７に示したように、台３２の上に、サポート板２２を載置し、このサポート板２２の上に、ウェハブロック２１およびダミーブロック２３を載置する。そして、スライダ部分の配列方向に直交する方向についてのウェハブロック２１とサポート板２２の端部を、規定部３３に突き当てると共に、スライダ部分の配列方向についてのウェハブロック２１とダミーブロック２３の各端部を、それぞれ、規定部３４，３４に突き当てる。これにより、スライダ部分の配列方向に直交する方向についてのウェハブロック２１とサポート板２２の端部の位置が揃えられると共に、スライダ部分の配列方向についてのウェハブロック２１とダミーブロック２３の端部の位置が揃えられ、この状態で、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３が互いに接合される。なお、図７に示したように、規定部３３は、ウェハブロック２１の端部およびサポート板２２の端部に当接する位置に配置されていると共に、ウェハブロック２１とサポート板２２に当接する端部において、ウェハブロック２１とサポート板２２の境界部分に対応する部分に、接着剤を逃がすための溝部３３ａが形成されている。一方、規定部３４，３４は、サポート板２２には接触せずに、それぞれウェハブロック２１の端部とダミーブロック２３の端部にのみ接触する位置に配置されている。
【００５６】
ここで、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３の接合のための接着剤としては、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３の材質等に応じて、熱可塑性の接着剤やシアノアクリル系の接着剤等が適宜選択されて使用される。
【００５７】
次に、図８および図９を参照して、サポート板２２およびダミーブロック２３の表面の形状の一例について説明する。図８において、（ａ）はサポート板２２の平面図、（ｂ）はサポート板２２の側面図である。また、図９において、（ａ）はダミーブロック２３の平面図、（ｂ）はダミーブロック２３の側面図である。これらの図に示したように、本例では、サポート板２２におけるウェハブロック２１と接合される面には、ウェハブロック２１との接合用の接着剤を逃がすための溝３６が複数本形成されている。また、ダミーブロック２３におけるウェハブロック２１と接合される面には、ウェハブロック２１との接合用の接着剤を逃がすための溝３７が複数本形成されている。
【００５８】
これらの溝３６，３７を設けることにより、ウェハブロック２１とサポート板２２との間、およびウェハブロック２１とダミーブロック２３との間の接着剤の層を薄くすることができ、接合された状態のウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３の強度を向上させることができる。
【００５９】
ここで、サポート板２２上の溝３６は、ウェハブロック２１における各列のスライダ部分の配列方向に直交する方向に延びるように形成するのが好ましい。それは、このように溝３６を形成することにより、ウェハブロック２１よりバー５１を切り出した後に、各バー５１について、バー５１とサポート板２２の断片との間の接合面積が均一になるからである。
【００６０】
また、サポート板２２上の複数本の溝３６は、ウェハブロック２１における各列のスライダ部分の配置のピッチと等しいピッチで形成するのが好ましい。更に、このように形成された溝３６が、ウェハブロック２１中の各列における隣接するスライダ部分間の分離位置に配置されるように、ウェハブロック２１とサポート板２２とを位置決めするのが好ましい。これは、このようにすることにより、各スライダ部分について、スライダ部分とサポート板２２との間の接合面積が均一になるからである。なお、各列のスライダ部分の配置のピッチは、例えば１ｍｍ程度である。
【００６１】
ダミーブロック２３上の複数本の溝３７は、サポート板２２上の複数本の溝３６と同様に、ウェハブロック２１における各列のスライダ部分の配置のピッチと等しいピッチで形成するのが好ましく、更に、このように形成された溝３７が、ウェハブロック２１中の各列における隣接するスライダ部分間の分離位置に配置されるように、ウェハブロック２１とダミーブロック２３とを位置決めするのが好ましい。
【００６２】
各溝３６，３７の深さおよび幅は、共に、０．１〜０．２ｍｍ程度が好ましい。
【００６３】
次に、図１０および図１１を参照して、サポート板２２に接合されたウェハブロック２１の媒体対向面側における一列分のスライダ部分の媒体対向面に対して所定の加工を施す工程（図２のステップＳ１０３）について説明する。この工程では、研削装置を用いた研削（グラインディング）や、研磨装置を用いた研磨（ラッピング）等を行い、最終的にはＭＲ素子の抵抗値およびＭＲハイトや、スロートハイトを正確に規定する。
【００６４】
本実施の形態では、上記工程を行う際には、図１０に示したように、一体化されたウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３を、加工用の治具としてのホルダ３８に対して固定する。この固定の際には、例えばクランプ（締め付け具）３９，３９を用いて、サポート板２２を保持するようにする。これにより、ウェハブロック２１に直接振れることなく、ウェハブロック２１をホルダ３８に固定することができる。
【００６５】
図１１は、ウェハブロック２１の媒体対向面側における一列分のスライダ部分の媒体対向面を研磨する工程を簡単に示したものである。この工程では、図１０に示したようにウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３が固定されたホルダ３８は、研磨装置における被研磨物の保持部４０に取り付けられ、研磨定盤４１上に配置され、回転する研磨定盤４１によって、ウェハブロック２１の媒体対向面側における一列分のスライダ部分の媒体対向面が研磨される。この研磨の際には、ＭＲ素子の抵抗値およびＭＲハイトや、スロートハイトを正確に規定するために、電気的ラッピングガイドや光学的ラッピングガイドを用いて研磨量が制御される。
【００６６】
次に、図１２ないし図２２を参照して、ウェハブロック２１とサポート板２２を切断する工程（図２のステップＳ１０４）について説明する。
【００６７】
この工程では、図１２に示したように、媒体対向面２１ａに対して所定の加工が施された一列分のスライダ部分３１が、ウェハブロック２１より分離されてバー５１となるように、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断する。本実施の形態では、この切断の際に媒体対向面２１ａを保護するために、切断を行う際に、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａとこの媒体対向面２１ａと一緒に加工が施されたサポート板２２の端面とを覆うように、テープ２４を配置する。この場合、テープ２４として粘着力を有するものを用い、切断を行う前に、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａとサポート板２２の端面にテープ２４を貼り付けておくのが好ましい。また、テープ２４は、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａに対する衝撃を和らげるように、弾性を有するものが好ましい。
【００６８】
テープ２４が貼り付けられた状態のウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３は、図１に示した加工装置におけるサポート板保持部６上に載置される。
【００６９】
図１３は、図１に示した加工装置におけるサポート板保持部６およびテープ保持部７を示す斜視図、図１４は、図１に示した加工装置におけるサポート板保持部６およびテープ保持部７を示す断面図である。これらの図に示したように、サポート板保持部６の上面には、サポート板２２が載置される位置に、長円形状の凹部からなる吸着部５５が形成されている。この吸着部５５には、吸引用管１０が連通している。また、テープ保持部７におけるテープ２４が当接される位置には、長円形状の凹部からなる吸着部５６が形成されている。この吸着部５６には、吸引用管５７が連通している。なお、図１３に示した例では、吸引用管５７の端部側が３本に分岐され、各分岐部分の端部が吸着部５６に接続されている。吸引用管１０，５７は、それぞれ図示しない吸引装置に接続されるようになっている。
【００７０】
テープ２４が貼り付けられ、サポート板保持部６上に載置されたウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３は、サポート板２２が吸着部５５によって吸着され、テープ２４が吸着部５６によって吸着されて、サポート板保持部６およびテープ保持部７に対して固定される。この状態で、図１４に示したように、媒体対向面２１ａに対して所定の加工が施された一列分のスライダ部分３１が、ウェハブロック２１より分離されてバー５１となるように、ブレード８によって、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断する。切断時には、切断部分に研削液が吹きつけられる。この切断後、バー５１およびサポート板２２の断片５２は、テープ２４と共にテープ保持部７によって保持される。なお、サポート板保持部６とテープ保持部７との間には、ブレード８に対向する位置に、ブレード８の先端部を収納するための凹部５８が形成されている。
【００７１】
図１５ないし図２０は、テープ２４のいくつかの種類を示したものである。なお、図１５、図１６、図１７および図１９は、テープにおける長手方向に直交する断面を示したものである。これに対し、図２０は、テープの平面図を表している。
【００７２】
図１５に示したテープ２４Ａは、一方の面側より、基材２４１、粘着剤層２４２、セパレータ（カバーフィルム）２４３が、この順に積層されたものである。テープ２４Ａの全体の厚みは、０．１ｍｍ程度である。基材２４１を構成する材質としては、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリオレフィン系等の有機系材質の他、紙や布等も用いることができる。粘着剤層２４２を構成する粘着剤には、例えば、一般的なアクリル系粘着剤等の有機系粘着剤を用いることができる。
【００７３】
図１５に示したテープ２４Ａは、使用の際には、セパレータ２４３が剥がされ、その結果露出した粘着剤層２４２に、ウェハブロック２１およびサポート板２２の端面が接着される。
【００７４】
また、テープ２４Ａとしては、粘着剤層２４２が紫外線（ＵＶ）硬化型の材質からなる紫外線硬化型テープを用いてもよい。このような紫外線硬化型テープとしては、例えば、リンテック株式会社製のＵＶ硬化型ダイシングテープ“Ｄシリーズ”（商品名）がある。このような紫外線硬化型テープでは、紫外線が照射されると、粘着剤層２４２の粘着力が低下する。従って、テープ２４Ａとして、このような紫外線硬化型テープを用いることにより、バー５１からテープ２４Ａを剥離する際に、テープ２４Ａに紫外線を照射することで、粘着剤の残り（以下、糊残りと言う。）がなく、容易にバー５１からテープ２４Ａを剥離することが可能となる。
【００７５】
また、テープ２４Ａとしては、粘着剤層２４２が加熱剥離型の材質からなる加熱剥離型テープを用いてもよい。このような加熱剥離型テープとしては、例えば、日化精工株式会社製の“スカイシート”（商品名）や、日東電工株式会社製の“リバアルファ”（商品名）がある。このような加熱剥離型テープでは、加熱されると、粘着剤層２４２の粘着力が低下する。従って、テープ２４Ａとして、このような加熱剥離型テープを用いることにより、バー５１からテープ２４Ａを剥離する際に、テープ２４Ａを加熱することで、糊残りがなく、容易にバー５１からテープ２４Ａを剥離することが可能となる。
【００７６】
また、テープ２４Ａとしては、基材２４１が導電性物質を含み帯電防止機能を有する帯電防止テープを用いてもよい。このような帯電防止テープとしては、東洋化学株式会社製のエレグリップ“Ｅシリーズ”（商品名）がある。テープ２４Ａとして、このような帯電防止テープを用い、このテープによって、スライダ部分の媒体対向面を保護することにより、バー５１内におけるスライダの静電破壊、特に、人のハンドリング等によるバー５１内における薄膜磁気ヘッド素子の静電破壊を防止することが可能となる。
【００７７】
図１６に示したテープ２４Ｂは、基材２４１中に、強度補強用のワイヤ２４４，２４４を入れたものであり、その他の構成および作用は、図１５に示したテープ２４Ａと同様である。ワイヤ２４４の材質としては、ナイロン（商品名）や金属等を用いることができる。
【００７８】
図１７に示したテープ２４Ｃは、基材２４１の粘着剤層２４２とは反対側の面に、強度補強用の補強層２４５を貼り付けたものであり、その他の構成および作用は、図１５に示したテープ２４Ａと同様である。補強層２４５の材質としては、ナイロン（商品名）や紙等を用いることができる。
【００７９】
図１６や図１７に示したような強度が補強されたテープ２４Ｂ，２４Ｃを用いる場合には、図１８に示したように、一方のリール２４６に巻回されたテープ２４Ｂ，２４Ｃを、他方のリール２４７に巻き取るように、テープ２４Ｂ，２４Ｃを搬送するように構成し、テープ２４Ｂ，２４Ｃにバー５１およびサポート板２２の断片５２を接合したまま、テープ２４Ｂ，２４Ｃを搬送することにより、切断後のバー５１およびサポート板２２の断片５２を自動搬送することが可能となる。
【００８０】
図１９に示したテープ２４Ｄは、フォトリソグラフィに用いられるドライフィルムレジストを利用したものである。このテープ２４Ｄは、フォトレジスト材料よりなるレジスト層２４８と、カバーフィルム２４９とを積層した構造になっている。このようなドライフィルムレジストとしては、例えば、フジフィルムオーリン株式会社製の“バンクスドライフィルムフォトレジストＵ−１２０”（商品名）がある。テープ２４Ｄとして、このようなドライフィルムレジストを用いる場合には、レジスト層２４８に、ウェハブロック２１およびサポート板２２の端面が、例えば熱圧着により接着される。
【００８１】
図２０に示したテープ２４Ｅは、粘着剤層を有しないテープ、すなわち、粘着力を有しないテープである。このテープ２４Ｅの材質としては、例えばテープ２４Ａにおける基材２４１と同様のものを用いることができる。このテープ２４Ｅには、長手方向に沿って、複数の孔２５０が形成されている。このテープ２４Ｅは、ウェハブロック２１およびサポート板２２の切断時に、ウェハブロック２１およびサポート板２２の端面と、テープ保持部５６の吸着部５６と間に介挿される。この状態で、吸引用管５７を介して吸着部５６より空気を吸引すると、テープ２４Ｅの孔２５０を介して、ウェハブロック２１およびサポート板２２の端面が吸着部５６側に吸引される。その結果、テープ２４Ｅは、吸着部５６とウェハブロック２１およびサポート板２２の端面との間に保持される。
【００８２】
ウェハブロック２１とサポート板２２の切断が行われて、バー５１およびサポート板２２の断片５２が得られたら、ウェハブロック２１の残りがある限り、残りのウェハブロック２１について、再度、媒体対向面の加工（図２のステップＳ１０３）と、ウェハブロック２１とサポート板２２の切断（図２のステップＳ１０４）が、繰り返し実行される。なお、ウェハブロック２１の薄膜磁気ヘッド素子が形成されている面には切断位置の基準となる加工マーカが形成されており、ウェハブロック２１とサポート板２２の切断の際には、この加工マーカを基準にして、切断位置を合わせる。
【００８３】
図２１は、上記のステップＳ１０３とステップＳ１０４の繰り返しを表したものである。この図において、（ａ）は、サポート板２２に接合された状態でのウェハブロック２１の媒体対向面の加工を表しており、この加工が終了したら、（ｂ）に示したように、媒体対向面に対して加工が施された一列分のスライダ部分がウェハブロック２１より分離されてバー５１となるように、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断する。そして、（ｃ）に示したように、得られたバー５１およびサポート板２２の断片５２は、後工程に回される。また、ウェハブロック２１の残りがある場合には、残りのウェハブロック２１について、再度、（ａ）に示したように媒体対向面の加工が行われる。
【００８４】
図２２は、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断して得られるバー５１およびサポート板２２の断片５２を表したものである。図１に示した加工装置において、ウェハブロック２１とサポート板２２の切断後、バー５１およびサポート板２２の断片５２は、テープ２４と共にテープ保持部７によって保持されている。図１に示した加工装置では、その後、可動部５が収納部２側に移動し、バキュームピンセット１４が切断機構部１側に移動し、バキュームピンセット１４がバー５１およびサポート板２２の断片５２を保持し、トレイ１３に収納する。ここで、バキュームピンセット１４は、バー５１およびサポート板２２の断片５２を保持する際に、サポート板２２の断片５２を吸着して保持するようになっている。
【００８５】
次に、図２３ないし図２９を参照して、バー５１に対する後工程について説明する。
【００８６】
本実施の形態では、まず、切断後のバー５１に対して、切断部分、すなわち、媒体対向面とは反対側の面の歪みを除去するために、媒体対向面とは反対側の面の研磨が行われる。図２３および図２４は、この研磨用の治具にバー５１を装着した状態を示す断面図である。この図に示したように、研磨用の治具は、キャリア６１と、荷重付加部材６２とを備えている。キャリア６１は、肉厚の円筒形状の円筒部６３と、この円筒部６３の下端部を閉塞するように形成された円板状の円板部６４とを有している。円板部６４には、被加工物を収容するための複数の孔６５が形成されている。荷重付加部材６２は、キャリア６１の円筒部６３内に挿入される凸部６６を有している。この凸部６６の下端部には、パッド６７が取り付けられている。
【００８７】
バー５１の媒体対向面とは反対側の面の研磨を行う場合には、キャリア６１を研磨定盤６８上に載置し、キャリア６１の円板部６４の孔６５内に、バー５１およびサポート板２２の断片５２が、媒体対向面とは反対側の面が下側となるように収容する。そして、キャリア６１の円筒部６３内に、荷重付加部材６２の凸部６６を挿入する。円板部６４の厚みは、例えば０．２ｍｍ程度であり、バー５１の厚みは、例えば０．３ｍｍ程度である。従って、荷重付加部材６２の凸部６６の下端部は、円板部６４まで達しない。これにより、バー５１に、荷重付加部材６２による荷重が付加されることになる。そして、この状態で、回転する研磨定盤６８上で、キャリア６１を回転させることにより、バー５１の媒体対向面とは反対側の面の研磨が行われる。
【００８８】
上述の研磨により、バー５１の媒体対向面とは反対側の面の歪みを除去したら、図２５に示したように、バー５１およびサポート板２２の断片５２より、テープ２４を剥がす。その際、テープ２４として紫外線硬化型テープを用いている場合には、テープ２４に紫外線を照射し、テープ２４として加熱剥離型テープを用いている場合には、テープ２４を加熱して、テープ２４の粘着力を低下させてから、テープ２４を剥がす。なお、図２０に示したテープ２４Ｅを用いた場合には、バー５１およびサポート板２２の断片５２よりテープ２４を剥がす工程は不要である。
【００８９】
次に、図２６に示したように、ウェハブロック２１、サポート板２２およびダミーブロック２３を接合した接着剤の種類に応じた方法で、バー５１とサポート板２２の断片５２とを分離して、単独のバー５１を得る。次に、このバー５１を、アセトン内での超音波洗浄や、スクラブ洗浄等により、簡易的に洗浄する。その後、バー５１の媒体対向面にレール部が形成される。レール部の形成には、例えば、反応性イオンエッチング、イオンミリング等のドライエッチングが用いられる。
【００９０】
また、図１９に示したテープ（ドライフィルムレジスト）２４Ｄを用いた場合には、テープ２４Ｄをレール部の形成工程におけるフォトレジストとして利用できるため、レール部の形成工程まで、テープ２４Ｄを残しておいてもよい。ここで、図２７ないし図２９を参照して、テープ２４Ｄを利用したレール部の形成工程について簡単に説明する。このレール部の形成工程では、まず、図２７に示したように、バー５１に接合されているテープ２４Ｄより、カバーフィルム２４９を剥がし、バー５１の媒体対向面上に、レジスト層２４８のみを残す。次に、図２８に示したように、露光用マスクを介してレジスト層２４８を露光して、レール部に対応したパターンのフォトレジストマスク２５１を形成する。次に、図２９に示したように、フォトレジストマスク２５１をエッチングマスクとして、例えば、反応性イオンエッチング、イオンミリング等のドライエッチングを行って、レール部７１，７１を形成する。次に、フォトレジストマスク２５１を除去する。
【００９１】
以上説明したように、本実施の形態によれば、ウェハブロック２１における全てのスライダ部分の一面を含む面に対してサポート板２２を接合し、サポート板２２に接合されたウェハブロック２１の媒体対向面側における一列分のスライダ部分の媒体対向面に対して所定の加工を施し、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダ部分がウェハブロック２１より分離されてバー５１となるように、ウェハブロック２１とサポート板２２とを一緒に切断するようにしている。従って、バー５１を、独立した状態で、媒体対向面の加工用の治具に固定して媒体対向面の加工を行うことがないので、バー５１の変形を防止でき、特性のよいスライダを精度よく製造することが可能になる。具体的には、バー５１の被加工面の加工精度の劣化や、バー５１内における薄膜磁気ヘッド素子を形成する各層（パターン）の湾曲等の変形を防止できると共に、ＭＲ素子の抵抗値およびＭＲハイトや、スロートハイトを精度よく制御することが可能となる。更には、後工程であるレール部の形成も精度よく行うことが可能となる。
【００９２】
しかも、本実施の形態によれば、ウェハブロック２１の切断の度にウェハブロック２１とサポート板２２の接合や分離を繰り返す必要がないので、生産効率がよい。また、ウェハブロック２１はサポート板２２に接合され、また、切断工程後のバー５１もサポート板２２の断片５２に接合された状態となっているので、スライダの製造工程中における中間製造物としてのウェハブロック２１やバー５１の取り扱いが容易になる。すなわち、サポート板２２の幅をウェハブロック２１の幅よりも大きくすることで、ウェハブロック２１の幅が変化しても、接合された状態のウェハブロック２１とサポート板２２や、接合された状態のバー５１およびサポート板２２の断片５２は、幅が一定になり、これらを幅が一定の物として扱うことができる。
【００９３】
また、本実施の形態によれば、ウェハブロック２１の媒体対向面とは反対側に、ウェハブロック２１を補助的に支持するためのダミーブロック２３を配置し、ウェハブロック２１とダミーブロック２３とを接合すると共に、サポート板２２とダミーブロック２３とを接合するようにしたので、更に、ウェハブロック２１に残るスライダ部分の列数が少なくなったときでも、ウェハブロック２１に関して、ウェハブロック２１に残るスライダ部分の列数が多いときと同様の剛性や精度を維持することができる。そのため、ウェハブロック２１に残るスライダ部分の列数が少なくなったときでも、特性のよいスライダを、より精度よく製造することが可能になる。
【００９４】
また、本実施の形態では、サポート板２２を、ウェハブロック２１の主要な部分と同じ材質で形成されたものとすることにより、サポート板２２とウェハブロック２１の材質の違いによるウェハブロック２１の変形を防止でき、特性のよいスライダを、より精度よく製造することが可能になる。
【００９５】
また、本実施の形態によれば、ウェハブロック２１はサポート板２２に接合され、また、切断工程後のバー５１もサポート板２２の断片５２に接合された状態となっているので、ウェハブロック２１やバー５１に直接触れることなく、ウェハブロック２１やバー５１を扱うことが可能となるので、取り扱いによるスライダの不良を低減でき、スライダの歩留りを大きくすることが可能となる。
【００９６】
また、本実施の形態によれば、ウェハブロック２１を切断する際に、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａを保護するために、媒体対向面２１ａを覆うようにテープ２４を配置したので、ウェハブロック２１の切断時における水溶性研削液による磁極部分の腐食や、媒体対向面２１ａに機械的に発生する傷（スクラッチ）や、媒体対向面２１ａに対するごみの付着等を防止することができる。また、テープ２４を、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａに接着することにより、更に、切断後のバー５１の取り扱い時におけるバー５１の欠け（チッピング）等の不良を防止することができる。
【００９７】
また、本実施の形態では、ウェハブロック２１の切断の度に、ウェハブロック２１の切断前にウェハブロック２１の媒体対向面２１ａと専用の治具とを接着したり、ウェハブロック２１の切断後に専用の治具からバー５１を剥離する必要がないので、これらの接着や剥離の時間を省略でき、生産効率が向上する。
【００９８】
また、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａにテープ２４を接着し、剥離した場合でも、媒体対向面２１ａと専用の治具とを熱硬化性樹脂や熱可塑性接着剤等の結合剤によって接着し、剥離する場合に比べると、媒体対向面２１ａにおける糊残りが少なく、洗浄性（洗浄の効率および洗浄後の状態）が向上する。特に、テープ２４として、紫外線硬化型テープや加熱剥離型テープを用いることにより、媒体対向面２１ａにおける糊残りをほとんどなくすことができる。
【００９９】
また、テープ２４を、ウェハブロック２１の媒体対向面２１ａに接着することにより、専用治具を必要とすることなく、テープ２４を介してバー５１を保持することが可能となるため、バー５１のハンドリングが容易になり、切断後のバー５１に対する処理の自動化が容易になる。
【０１００】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、例えば、本発明は、薄膜磁気ヘッド用のスライダに限らず、他の用途のスライダ、例えば光記録方式や光磁気記録方式による情報の記録または再生を行うためのヘッド（ピックアップ）用のスライダにも適用することが可能である。
【０１０１】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１ないし７のいずれかに記載のスライダの製造方法によれば、素材における全てのスライダとなる部分の一面を含む面に対して支持部材を接合し、支持部材に接合された素材の一端側における一列分のスライダとなる部分の媒体対向面に対して所定の加工を施し、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分が素材より分離されてスライダ集合体となるように、素材と支持部材とを一緒に切断するようにしたので、スライダ集合体の変形を防止でき、特性のよいスライダを精度よく製造することが可能になるという効果を奏する。しかも、素材の切断の度に素材と支持部材の接合や分離を繰り返す必要がないので、生産効率がよいと共に、素材は支持部材に接合され、また、切断工程後のスライダ集合体も支持部材の断片に接合された状態となっているので、スライダの製造工程中における中間製造物としての素材やスライダ集合体の取り扱いが容易になるという効果を奏する。
【０１０２】
また、請求項２記載のスライダの製造方法によれば、第１の工程が、素材の他端側に、素材を補助的に支持するための補助支持部材を配置し、素材の他端側の面と補助支持部材とを接合すると共に、支持部材と補助支持部材とを接合することを含むようにしたので、更に、素材に残るスライダとなる部分の列数が少なくなったときでも、素材の変形を防止でき、特性のよいスライダを、より精度よく製造することが可能になるという効果を奏する。
【０１０３】
また、請求項３記載のスライダの製造方法によれば、支持部材を、素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、素材の幅よりも大きいものとしたので、更に、中間製造物としての素材の取り扱いがより容易になるという効果を奏する。
【０１０４】
また、請求項５記載のスライダの製造方法によれば、支持部材を、素材の主要な部分と同じ材質で形成されたものとしたので、更に、支持部材と素材の材質の違いによる素材の変形を防止でき、特性のよいスライダを、より精度よく製造することが可能になるという効果を奏する。
【０１０５】
また、請求項８ないし１４のいずれかに記載のスライダの製造用補助具によれば、素材における全てのスライダとなる部分を支持するために、素材における全てのスライダとなる部分の一面を含む面に対して接合され、素材の一端側における、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分を、素材より分離してスライダ集合体とする際に、素材と一緒に切断される支持部材を備えたので、スライダ集合体の変形が防止され、特性のよいスライダを精度よく製造することが可能になるという効果を奏する。しかも、素材の切断の度に素材と支持部材の接合や分離を繰り返す必要がないので、生産効率がよいと共に、素材は支持部材に接合され、また、切断工程後のスライダ集合体も支持部材の断片に接合された状態となっているので、スライダの製造工程中における中間製造物としての素材やスライダ集合体の取り扱いが容易になるという効果を奏する。
【０１０６】
また、請求項９記載のスライダの製造用補助具によれば、更に、素材を補助的に支持するために、素材の他端側に配置されると共に、素材の他端側の面および支持部材に対して接合される補助支持部材を備えたので、更に、素材に残るスライダとなる部分の列数が少なくなったときでも、素材の変形を防止でき、特性のよいスライダを、より精度よく製造することが可能になるという効果を奏する。
【０１０７】
また、請求項１０記載のスライダの製造用補助具によれば、支持部材を、素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、素材の幅よりも大きいものとしたので、更に、中間製造物としての素材の取り扱いがより容易になるという効果を奏する。
【０１０８】
また、請求項１２記載のスライダの製造用補助具によれば、支持部材を、素材の主要な部分と同じ材質で形成されたものとしたので、更に、支持部材と素材の材質の違いによる素材の変形を防止でき、特性のよいスライダを、より精度よく製造することが可能になるという効果を奏する。
【０１０９】
また、請求項１３記載のスライダの製造用補助具によれば、支持部材を、素材と接合される面に、素材との接合用の接着剤を逃がすための溝が形成されたものとしたので、更に、接合された状態の素材および支持部材の強度を向上させることができるという効果を奏する。
【０１１０】
また、請求項１４記載のスライダの製造用補助具によれば、補助支持部材を、素材と接合される面に、素材との接合用の接着剤を逃がすための溝が形成されたものとしたので、更に、接合された状態の素材および補助支持部材の強度を向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るスライダの製造方法の実施に使用されるスライダの加工装置の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施例に係るスライダの製造方法を示す流れ図である。
【図３】本発明の一実施例におけるウェハブロックを形成する工程を説明するための説明図である。
【図４】本発明の一実施例におけるウェハブロックをサポート板に接合する工程を説明するための斜視図である。
【図５】本発明の一実施例における幅の異なるウェハブロックの取り扱いを説明するたの説明図である。
【図６】本発明の一実施例におけるウェハブロック、サポート板およびダミーブロックの接合作業時の状態を示す平面図である。
【図７】図６のＡ−Ａ′線断面図である。
【図８】本発明の一実施例におけるサポート板の表面の形状の一例を示す説明図である。
【図９】本発明の一実施例におけるダミーブロックの表面の形状の一例を示す説明図である。
【図１０】本発明の一実施例におけるウェハブロック、サポート板およびダミーブロックをホルダに対して固定した状態を示す斜視図である。
【図１１】本発明の一実施例におけるウェハブロックの媒体対向面に対して所定の加工を施す工程を説明するための斜視図である。
【図１２】本発明の一実施例においてウェハブロックの媒体対向面にテープを接着する様子を示す斜視図である。
【図１３】図１に示した加工装置におけるサポート板保持部およびテープ保持部を示す斜視図である。
【図１４】図１に示した加工装置におけるサポート板保持部およびテープ保持部を示す断面図である。
【図１５】本発明の一実施例におけるテープの一例を示す断面図である。
【図１６】本発明の一実施例におけるテープの他の例を示す断面図である。
【図１７】本発明の一実施例におけるテープの更に他の例を示す断面図である。
【図１８】本発明の一実施例においてテープを用いてバーを自動搬送する例を示す説明図である。
【図１９】本発明の一実施例におけるテープの更に他の例を示す断面図である。
【図２０】本発明の一実施例におけるテープの更に他の例を示す平面図である。
【図２１】本発明の一実施例におけるウェハブロックの媒体対向面の加工と切断の工程を示す説明図である。
【図２２】本発明の一実施例におけるバーおよびサポート板の断片を示す斜視図である。
【図２３】本発明の一実施例において切断後のバーの歪みを除去するための研磨用の治具にバーを装着した状態を示す断面図である。
【図２４】本発明の一実施例において切断後のバーの歪みを除去する工程を説明するための斜視図である。
【図２５】本発明の一実施例においてバーおよびサポート板の断片よりテープを剥がす工程を示す斜視図である。
【図２６】本発明の一実施例においてバーとサポート板の断片とを分離する工程を示す斜視図である。
【図２７】本発明の一実施例においてテープを利用したレール部の形成工程について説明するための断面図である。
【図２８】本発明の一実施例においてテープを利用したレール部の形成工程について説明するための断面図である。
【図２９】本発明の一実施例においてテープを利用したレール部の形成工程について説明するための断面図である。
【符号の説明】
１…切断機構部、２…収納部、６…サポート板保持部、７…テープ保持部、８…ブレード、２１…ウェハブロック、２２…サポート板、２３…ダミーブロック、２４…テープ、５１…バー。
Claims (14)
- 媒体対向面を有するスライダとなる部分が複数列に配列された素材より、スライダとなる部分が一列に配列され、媒体対向面に対して所定の加工が施されたスライダ集合体を製造するスライダの製造方法であって、
前記素材における全てのスライダとなる部分の一面を含む面に対して、前記素材における全てのスライダとなる部分を支持するための支持部材を接合する第１の工程と、
前記支持部材に接合された前記素材の一端側における一列分のスライダとなる部分の媒体対向面に対して所定の加工を施す加工工程と、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分が前記素材より分離されて前記スライダ集合体となるように、前記素材と前記支持部材とを一緒に切断する切断工程とを含み、加工工程および切断工程を繰り返し実行する第２の工程と
を備えたことを特徴とするスライダの製造方法。 - 前記第１の工程は、前記素材の他端側に、前記素材を補助的に支持するための補助支持部材を配置し、前記素材の他端側の面と前記補助支持部材とを接合すると共に、前記支持部材と前記補助支持部材とを接合することを含むことを特徴とする請求項１記載のスライダの製造方法。
- 前記支持部材は、前記素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、前記素材の幅よりも大きいことを特徴とする請求項１または２記載のスライダの製造方法。
- 前記補助支持部材は、前記素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、前記素材の幅と等しいことを特徴とする請求項２または３記載のスライダの製造方法。
- 前記支持部材は、前記素材の主要な部分と同じ材質で形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のスライダの製造方法。
- 前記加工工程は、媒体対向面の研磨を含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のスライダの製造方法。
- 前記スライダとなる部分は、薄膜磁気ヘッド素子を含んでいることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のスライダの製造方法。
- 媒体対向面を有するスライダとなる部分が複数列に配列された素材より、スライダとなる部分が一列に配列され、媒体対向面に対して所定の加工が施されたスライダ集合体を製造する際に使用されるスライダの製造用補助具であって、
前記素材における全てのスライダとなる部分を支持するために、前記素材における全てのスライダとなる部分の一面を含む面に対して接合され、前記素材の一端側における、媒体対向面に対して所定の加工が施された一列分のスライダとなる部分を、前記素材より分離して前記スライダ集合体とする際に、前記素材と一緒に切断される支持部材を
備えたことを特徴とするスライダの製造用補助具。 - 更に、前記素材を補助的に支持するために、前記素材の他端側に配置されると共に、前記素材の他端側の面および前記支持部材に対して接合される補助支持部材を備えたことを特徴とする請求項８記載のスライダの製造用補助具。
- 前記支持部材は、前記素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、前記素材の幅よりも大きいことを特徴とする請求項８または９記載のスライダの製造用補助具。
- 前記補助支持部材は、前記素材における各列のスライダとなる部分の配列方向についての幅が、前記素材の幅と等しいことを特徴とする請求項９または１０記載のスライダの製造用補助具。
- 前記支持部材は、前記素材の主要な部分と同じ材質で形成されていることを特徴とする請求項８ないし１１のいずれかに記載のスライダの製造用補助具。
- 前記支持部材は、前記素材と接合される面に、前記素材との接合用の接着剤を逃がすための溝が形成されていることを特徴とする請求項８ないし１２のいずれかに記載のスライダの製造用補助具。
- 前記補助支持部材は、前記素材と接合される面に、前記素材との接合用の接着剤を逃すための溝が形成されていることを特徴とする請求項９ないし１３のいずれかに記載のスライダの製造用補助具。
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