JP4749905B2 - スライダの製造方法 - Google Patents
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Description
2 基板
3 薄膜磁気ヘッド部
11 ウエハ
12 ローバー
13 素子
14 切り代
15 空間
16 エッジ部
17 切断面
21 切断用治具
ABS 媒体対向面
P 保護膜
T 切断面
Claims (5)
- 薄膜磁気ヘッドを含むスライダとなるべき複数の素子と、スライダへの切断時の切り代とが互いに隣接して配列形成されたローバーから、スライダを製造する方法であって、
スライダの媒体対向面となるべき面を含むローバーの面に、保護膜を形成するステップと、
前記保護膜が形成された前記ローバーを、前記切り代に沿って、該保護膜とともに切断し、個々のスライダに分離するステップと、
分離された前記スライダに形成されている前記保護膜のうち、切断面に沿ったエッジ部を覆っている部分を、プラズマエッチングによって除去するステップと、
前記エッジ部の前記保護膜が除去された前記スライダの該エッジ部を、反応性イオンエッチングによって、面取り加工するステップと、
を有する方法。 - 前記保護膜を形成するステップは、プラズマエッチングによって除去可能な有機材料を塗布することを含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 前記保護膜はレジストであり、前記プラズマエッチングに先立ち、塗布されたレジストを露光するステップを有している、請求項2に記載の方法。
- 前記保護膜を形成するステップは、プラズマエッチングによって除去可能な有機材料からなるフィルムを貼付することを含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 前記保護膜を除去するステップは、前記プラズマエッチングによって前記スライダの前記切断面をエッチングすることを含んでいる、請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。
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