JP5340066B2 - ヘッドサスペンションの再生方法及びリワーク用切断治具 - Google Patents

Description

本発明は、記録・再生用の磁気ヘッドを搭載したスライダがフレキシャのタング部に実装されるヘッドサスペンションの再生方法及びリワーク用切断治具に関する。

例えば磁気ディスク装置では、磁気ディスクに対するデータの記録・再生を行うために、記録・再生用の磁気ヘッドを搭載したスライダがフレキシャのタング部に実装されるヘッドサスペンションが用いられている。なお、ヘッドサスペンションにスライダを実装したものをヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）と呼ぶ。

ＨＧＡの製造現場では、出荷前に電気特性等の特性検査が行われ、検査に合格したもののみが出荷される。特性検査の結果、スライダに不良の原因がある場合、不良のスライダをフレキシャから剥離して別のスライダに付け替える（リワーク）ことによってヘッドサスペンションを再利用する。

かかるリワーク技術の一例として、特許文献１には、スライダ取り外し技術が提案されている。図１（Ａ），（Ｂ）は、フレキシャのタング部からスライダが取り外される様子を示すヘッドサスペンションの側面図である。

特許文献１のスライダ取り外し技術では、図１（Ａ）に示すように、加熱されたピンセット１でスライダ２の後端側の両側面を挟み、スライダ２をタング部３から引き剥がす方向に力を加えながら、約４秒間、スライダ２を加熱する。スライダ２の中央部よりも後端側をピンセット１で挟む。これにより、接着剤４に熱を伝え、半田フィレット５と電極パッド６には伝わらないようにする。

スライダ２の接着剤４が加熱されて引っ張り力が加えられることにより、図１（Ｂ）に示すように、半田よりも融点が低い接着剤４が溶融して、スライダ２はタング部３から引き剥がされる。そして、半田フィレット５と電気端子７との接合部８が破壊されて、サスペンションからスライダ２を取り外すことができる。

しかしながら、特許文献１のスライダ取り外し技術では、スライダ２をタング部３から引き剥がす方向に力が加えられるため、タング部３及びその周辺の構成部材にストレスを与えて変形を来すおそれがある。

また、前記引き剥がす方向の力が、ディンプルとタング部３間に隙間が生じるモードの変形（ディンプル・セパーレーション）を来すおそれもある。

このようにタング部３の変形やディンプルセパレーションが発生してしまったのでは、そのサスペンションを再利用することはできない。

要するに、特許文献１のスライダ取り外し技術では、折角のヘッドサスペンションを変形等させてしまい、製品歩留まり向上の観点から改良の余地があった。

特開２００８−２１０４９１号公報

解決しようとする問題点は、従来のスライダ取り外し技術では、折角のヘッドサスペンションを変形等させてしまい、製品歩留まり向上の観点から改良の余地があった点である。

本発明は、製品歩留まり向上に貢献可能なヘッドサスペンションの再生方法を提供することを目的として、磁気ヘッドが搭載されたスライダと、前記スライダが弾性支持されるタング部を有するフレキシャと、前記フレキシャに設けた配線部と、前記スライダに設けた電気端子と前記配線部に設けた電気端子とが固着材によって接合された端子間接合部と、を備えたヘッドジンバルアセンブリから、前記スライダを取り外すための取り外し工程を経てヘッドサスペンションの再生を行うヘッドサスペンションの再生方法であって、前記取り外し工程は、前記スライダの長手方向一側から前記固着材に向かって押し当てられた切断刃の切断力を、当該スライダが保持される保持機構を介して前記一側とは異なる他側から当該スライダが受け止めることによって前記固着材を切断する切断工程を備え、前記保持機構では、前記スライダ以外の構成部材をストレスフリーとした状態で前記スライダが長手方向に沿った所定距離だけ摺動可能となるように当該スライダが緩く保持され、前記切断工程では、前記切断力により前記固着材を介して摺動する前記スライダを前記保持機構の突当面に突き当てる、ことを最も主要な特徴とする。

本発明に係るヘッドサスペンションの再生方法によれば、スライダ以外のヘッドサスペンションの構成部材に対して余計な力を作用させることなく、つまり、スライダ以外のヘッドサスペンションの構成部材をストレスフリーとした状態で、端子間接合部の切断を遂行することができる。

従って、リワークに伴うヘッドサスペンションの変形を未然に抑止することが可能となる結果として、製品歩留まり向上に貢献可能なヘッドサスペンションの再生方法を得ることができる。

従来のリワーク技術の一例を示す説明図である。 再生対象となるヘッドサスペンションの全体構成を例示的に示す平面図である。 ヘッドサスペンションのタング部周辺を拡大して示す平面図である。 ヘッドサスペンションのタング部周辺を拡大して示す斜視図である。 リワーク用切断治具の説明図であり、図５（Ａ）は、同切断治具の可動機構を透視して示す平面図、図５（Ｂ）は、同切断治具の可動機構を透視して示す側面図である。 リワーク用切断治具の使用状態を示す説明図である。 本発明実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法の概要を時系列的に示す説明図である。 リワーク用切断治具を用いた切断工程の概要を時系列的に示す説明図であり、図８（Ａ）は、切断前の状態を示す説明図、図８（Ｂ）は、切断中の状態を示す説明図、図８（Ｃ）は、切断完了時点の状態を示す説明図、図８（Ｄ）は、切断後の状態を示す説明図である。 加熱工具を用いた係止解除工程の概要を時系列的に示す説明図であり、図９（Ａ）は、係止解除前の状態を示す説明図、図９（Ｂ）は、加熱工具をスライダ上の所定位置にセットした状態を示す説明図である。 加熱工具を用いた係止解除工程の概要を時系列的に示す説明図であり、図１０（Ａ）は、加熱工具を用いてスライダに回転力を加えた状態を示す説明図、図１０（Ｂ）は、係止解除完了直後の状態を示す説明図、図１０（Ｃ）は、タング部から完全に取り外されたスライダを示す説明図である。

製品歩留まり向上に貢献可能なヘッドサスペンションの再生方法を提供するといった目的を、スライダの長手方向一側から固着材に向かって押し当てられた切断刃の切断力を、スライダが保持される保持機構を介して前記一側とは異なる他側から当該スライダが受け止めることによって固着材を切断する切断工程を備えた取り外し工程を、ヘッドサスペンションの再生に適用することによって実現した。

以下に、本発明の実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法及びリワーク用切断治具について、図面を参照しつつ詳細に説明する。

初めに、実施例に係る再生方法が適用される、再生対象となるヘッドサスペンションについて説明する。

［再生対象となるヘッドサスペンション］
図２は、再生対象となるヘッドサスペンションの全体構成を例示的に示す平面図、図２は、ヘッドサスペンションにおけるタング部周辺を拡大して示す平面図、図３は、ヘッドサスペンションにおけるタング部周辺を拡大して示す斜視図である。

ヘッドサスペンション１１は、図２に示すように、ベースプレート１３と、ロードビーム１５と、フレキシャ１９と、を備えて構成されている。

ベースプレート１３は、ロードビーム１５を弾性支持する役割を果たす。ベースプレート１３は、板厚が例えば１５０〜２００μｍ程度の、例えばステンレス製薄板から構成されている。

ロードビーム１５は、後述のスライダ２５に負荷荷重を与える役割を果たす。ロードビーム１５は、板厚が例えば３０〜１５０μｍ程度の、例えばステンレス製薄板から構成されている。ロードビーム１５は、一対の荷重曲げ部１７を介してベースプレート１３に例えばスポット溶接によって接合されている。

フレキシャ１９は、ロードビーム１５よりもさらに薄く精密な金属製の薄板から構成されている。フレキシャ１９は、ロードビーム１５の先端部に、ロードビーム１５に対してスライダ２５を弾性支持した状態で例えばスポット溶接によって接合されている。

フレキシャ１９における先端側のタング部２１には、図３に示すように、記録・再生用の磁気ヘッド２３が搭載されたスライダ２５が、接着剤２７（図３の点線で示した円形部分参照）を介して実装される。なお、以下の説明において、ヘッドサスペンション１１にスライダ２５を実装したものを、ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）と呼ぶ場合がある。

スライダ２５における先端側には、図３及び図４に示すように、磁気ヘッド２３の記録・再生信号を外部に引き出すための六つの電気端子２９ａ〜２９ｆが並列して設けられている。

フレキシャ１９の表面には、図３及び図４に示すように、磁気ヘッド２３の記録・再生信号を伝送するための配線部３１が形成されている。

配線部３１の先端側には、図３及び図４に示すように、磁気ヘッド２３の記録・再生信号を伝送するための六つの電気端子３１ａ〜３１ｆが、前記スライダ２５の電気端子２９ａ〜２９ｆとそれぞれ対向するように並列して設けられている。

前述のように相互に対向して設けられた、スライダ２５の電気端子２９ａ〜２９ｆと、配線部３１の電気端子３１ａ〜３１ｆと、の各電気端子間のそれぞれは、図４に示すように、例えば半田ボールボンディング部（ＳＢＢ部；Solder Ball Bonding）３３ａ〜３３ｆによって電気的に接続されている。なお、ＳＢＢ部３３ａ〜３３ｆは、本発明の”固着材”および”端子間接合部”に相当する。

上記半田の種別としては、自然環境を保護する等の観点から、鉛フリー半田を採用することが好ましい。

配線部３１における導線パターンは、図２及び図３に示すように、電気端子３１ａ〜３１ｆを起点として、スライダ２５を挟んでフレキシャ１９の両側縁部に沿って延びている。

前記導線パターンは、フレキシャ１９の後端縁部からさらに引き出されて、配線テール部３５を介して、フレキシャ１９の基部３７に配設された接続端子部３９まで延び出している。

この接続端子部３９は、磁気ディスク装置（不図示）に対してヘッドサスペンション１１を装着した際に、当該装置のデータ処理回路（不図示）に接続される。

記録・再生用の磁気ヘッド２３としては、例えばＭＲ素子、ＧＭＲ素子、或いはＴｕＭＲ素子などの、磁気信号を電気信号に変換可能な磁電変換素子が採用される。

この磁電変換素子によって読み取られた磁気ディスクの記録データは、磁気ヘッド２３において電気信号に変換され、配線テール部３５などを経由して、当該装置のデータ処理回路に伝送される。

なお、データをディスクに記録する際には、上記とは逆に、記録すべきデータの電気信号が、データ処理回路から配線テール部３５などを経由して、磁気ヘッド２３宛に伝送されることになる。

タング部２１にスライダ２５を係止固定する際に用いる接着剤２７は、加熱により網状構造を呈する樹脂材料を主体としたものであり、その主体となる樹脂は、例えばエポキシ系、フェノール系、ウレタン系などが好適に用いられる。

なお、図２〜図４に示したヘッドサスペンション１１はあくまで一例であり、本実施例以外の形状を有するヘッドサスペンションであっても、必要な変形を伴って本発明を適用することができる。

［実施例に係るリワーク用切断治具の概要］
次に、ＨＧＡからスライダ２５を取り外す過程で使用される、実施例に係るリワーク用切断治具について、図面を参照して説明する。

図５は、リワーク用切断治具の説明図であり、図５（Ａ）は、同切断治具の可動機構を透視して示す平面図、図５（Ｂ）は、同切断治具の可動機構を透視して示す側面図、図６は、リワーク用切断治具の使用状態を示す説明図である。

リワーク用切断治具４１は、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、基台４３と、この基台４３の長手方向に沿って摺動可能に設けられた切断刃可動体４５と、この切断刃可動体４５を駆動する駆動部４７と、を備えている。

基台４３は、例えば鋼材で形成され、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、略矩形板状の基台本体４９を有する。

基台本体４９には、その長手方向の一側に終端部５１が一体に立設されると共に、スライダ２５を長手方向に沿って摺動可能に案内するための案内溝部５３が設けられている。

終端部５１は、スライダ２５が突き当たる突当面５１ａを有する。案内溝部５３は、スライダ２５の摺動範囲を規制するための段部５３ａを有する。これら突当面５１ａと段部５３ａの組み合わせによって、スライダ２５の長手方向に沿った所定距離だけ進退方向に摺動可能となるように、スライダ２５の摺動可能範囲が規制されている。

切断刃可動体４５は、幅広の切断刃５５と、支持脚部５７と、可動脚部５９と、を備えて構成される。

切断刃５５は、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、スライダ２５の幅よりも広い幅を有し、矩形状の上側面５５ａが水平となる姿勢を維持するように支持されている。

切断刃５５には、鋭利な刃部５５ｂに連なる、上側面５５ａを水平基準とする所定の逃げ角を有する矩形状の逃げ面５５ｃが一体形成されている。切断刃５５は、本発明の”固着材”に相当するＳＢＢ部３３ａ〜３３ｆを横並びで一挙に切断する役割を果たす。

支持脚部５７は、例えば、矩形状の鋼材によって形成され、切断刃５５の水平姿勢を維持した状態で切断刃５５を下方から支持する役割を果たす。

可動脚部５９は、例えば、矩形状の鋼材によって形成され、支持脚部５７を介して切断刃５５を摺動可能に支持する役割を果たす。

上述のように構成された切断刃可動体４５を摺動可能に支持するために、基台本体４９の幅方向中心部には、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、終端部５１とは反対の基端部６１から案内溝部５３の段部５３ａ付近の中間部６３にかけて長手方向に沿って延びる矩形状の開孔部６５が設けられている。

この開孔部６５の内寸は、可動脚部５９の外寸よりも僅かに大きく形成されている。従って、可動脚部５９は、開孔部６５の長手方向に沿ってその姿勢を維持しつつスライド移動可能になっている。

開孔部６５には、基端部６１から中間部６３にかけて長手方向に沿って延びるボールネジ６７のネジ軸部６７ａが正逆回転可能に軸支されている。

前記ボールネジ６７のネジ軸部６７ａに係合するナット部６７ｂは、前記可動脚部５９に設けた挿通孔５９ａの内周面に一体形成されている。

従って、ボールネジ６７のネジ軸部６７ａが駆動部４７によって正方向又は逆方向に回転駆動されると、この回転駆動の方向および量に従って、切断刃可動体４５がその姿勢を維持しつつ長手方向に沿ってスライド移動するように動作する。

なお、図５（Ａ），（Ｂ）に示す符合”６９”は、中間部６３に設けたバネ等の弾性部材である。

前記基台４３、基台本体４９、終端部５１、突当面５１ａ、案内溝部５３並びに段部５３ａが、本発明の”保持機構”に相当する。

前記切断刃可動体４５、切断刃５５、開孔部６５並びにボールネジ６７が、本発明の”切断機構”に相当する。

実施例に係るリワーク用切断治具４１の作用については、次述するヘッドサスペンションの再生方法のうち切断工程の部分で説明する。

次いで、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法について、図面を参照して説明する。

［本発明実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法］
図７は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法の概要を時系列的に示す説明図、図８は、リワーク用切断治具を用いた切断工程の概要を時系列的に示す説明図であり、図８（Ａ）は、切断前の状態を示す説明図、図８（Ｂ）は、切断中の状態を示す説明図、図８（Ｃ）は、切断完了時点の状態を示す説明図、図８（Ｄ）は、切断後の状態を示す説明図、図９は、加熱工具を用いた係止解除工程の概要を時系列的に示す説明図であり、図９（Ａ）は、係止解除前の状態を示す説明図、図９（Ｂ）は、加熱工具をスライダ上の所定位置にセットした状態を示す説明図、図１０は、加熱工具を用いた係止解除工程の概要を時系列的に示す説明図であり、図１０（Ａ）は、加熱工具を用いてスライダに回転力を加えた状態を示す説明図、図１０（Ｂ）は、係止解除完了直後の状態を示す説明図、図１０（Ｃ）は、タング部から完全に取り外されたスライダを示す説明図である。

本発明実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法は、図７に示すように、スライダ２５と、フレキシャ１９と、フレキシャに設けた配線部３１と、ＳＳＢ部（端子間接合部）３３と、を備えたＨＧＡから、スライダ２５を取り外すための取り外し工程（図７の第１〜第２ステップ参照）を経てヘッドサスペンションの再生を行うものである。

前記取り外し工程は、切断工程（図７の第１ステップ参照）と、係止解除工程（図７の第２ステップ参照）と、仕上げ工程（図７の第３ステップ参照）と、を備える。

初めに、図７の第１ステップに係る切断工程では、スライダ２５の長手方向一側からＳＢＢ部（固着材）３３に向かって押し当てられた切断刃５の切断力を、スライダ２５が保持される保持機構を介して前記一側とは異なる他側からスライダ２５が受け止めることによってＳＢＢ部（固着材）３３を一挙に切断する。

前記保持機構では、スライダ２５が長手方向に沿った所定距離だけ進退方向に摺動可能となるように緩く保持される、ことが好ましい。

本発明では、再生対象となるヘッドサスペンションに対し、リワークの過程で余計なストレスを与えることがないように配慮している。このため、ＨＧＡを治具にセットするに際しても、必要最小限の保持にとどめることとした。

その保持のための条件が、スライダ２５が長手方向に沿った所定距離だけ進退方向に摺動可能となること、である。

前記条件のうち、“スライダ２５が進退方向に摺動可能”とは、突当面５１ａと段部５３ａの組み合わせに係る範囲内における進退両方向への摺動が許可される一方、前記範囲の外への摺動が規制されることを意味する。

このうち、スライダ２５の退行方向（図６の矢印Ａで示す方向）における摺動規制を突当面５１ａが担当し、進行方向（図６の矢印Ａで示す方向の逆方向）における摺動規制を段部５３ａが担当する。

前者のスライダ２５の退行方向（図６の矢印Ａで示す方向）における摺動規制の趣旨は、仮にスライダ２５の退行が際限なく続くとすれば、切断刃５５がスライダ２５の前側壁２５ａにまで突き当たる場面は生じ得ないため、ＳＢＢ部３３を切断することができないことに基づく。

後者のスライダ２５の進行方向（図６の矢印Ａで示す方向の逆方向）における摺動規制の趣旨は、仮にスライダ２５の進行が際限なく続くとすれば、切断刃５５がＳＢＢ部３３に食いついて離れない場合に、この食いつきから逃れられないことに基づく。

第１ステップに係る切断工程では、実施例に係るリワーク用切断治具４１を用いて、常温下（”加熱することなく”の意）で、本発明の”固着材”に相当するＳＢＢ部３３ａ〜３３ｆを一挙に切断する。

ここで、実施例に係るリワーク用切断治具４１の作用について、図６及び図８（Ａ）〜（Ｄ）を参照して具体的に説明する。

図６及び図８（Ａ）に示すように、スライダ２５が案内溝部５３における段部５３ａに突き当たるように、ＨＧＡを切断治具４１にセットする。このとき、切断刃可動体４５は、図６及び図８（Ａ）に示す初期位置に退避している。

次いで、駆動部４７に所定の駆動制御信号が与えられることによって、切断刃可動体４５が図６の矢印Ａ方向に沿ってスライド移動する。

すると、切断刃５５の先端に位置する刃部５５ｂが、ＳＢＢ部３３ａに接触する。そのままスライド移動を続けると、刃部５５ｂに押されたスライダ２５は、ＨＧＡと共に終端部５１に向かって後退してゆく。そして、スライダ２５の後側壁２５ｂが終端部５１の突当面５１ａに突き当たる。

そのままスライド移動を続けると、今度は、スライダ２５の後側壁２５ｂが終端部５１の突当面５１ａに突き当てられた状態で、刃部５５ｂがＳＢＢ部３３ａに食い込み（図８（Ｂ）参照）、ＳＢＢ部３３ａが刃部５５ｂによって押し切られる。

最終的には、切断刃５５の先端に位置する刃部５５ｂがＳＢＢ部３３ａを完全に切断して、スライダ２５の前側壁２５ａに突き当たる（図８（Ｃ）参照）。

このように、長手方向（水平方向）一側からＳＢＢ部３３に向かって切断刃５５を突き当てることによって、ＳＢＢ部３３ａ〜３３ｆを横並びで一挙に切断することができる。

ＳＢＢ部３３ａの切断後に、駆動部４７に所定の駆動制御信号が与えられることによって、切断刃可動体４５が図８（Ｄ）の矢印方向に沿ってスライド移動する。

このとき、仮に、切断刃５５の刃部５５ｂがＳＢＢ部３３ａに食いついて離れない事態が生じたとする。この場合、前記スライド移動の過程でスライダ２５の前側壁２５ａが段部５３ａに引っ掛かかり（図８（Ｄ）参照）、スライダ２５はスライド移動を止める。

すると、ＳＢＢ部３３ａに食いついていた切断刃５５の刃部５５ｂがＳＢＢ部３３ａから離れる。そして、ＳＢＢ部３３ａの食いつきから逃れた切断刃可動体４５は、図６及び図８（Ｄ）に示す初期位置に退避する。

上述した一連の切断工程が終了した時点では、スライダ２５は未だタング部２１に係止されたままである。その係止部位はふたつある。

一つ目は、切断刃５５の上側面５５ａと配線部３１との間に空けられた間隙分だけ層状に薄く削り残された半田層３３ａ１が、スライダ２５の前側壁２５ａに接合された係止部位である。

二つ目は、スライダ２５とタング部２１間の空隙に塗られた接着剤２７による係止部位である。

前記二箇所の係止部位における係止を解除するために、次述の第３ステップに係る係止解除工程が行われる。

すなわち、図７の第２ステップに係る係止解除工程では、スライダ２５を加熱しながらタング部２１と同一の面内方向の回転力をスライダ２５に与えることによって、配線部３１とスライダ２５間の半田層３３ａ１を介した係止、並びにタング部２１とスライダ２５間の接着剤２７を介した係止を解除する。

なお、”タング部２１と同一の面内方向の回転力をスライダ２５に与える”とは、ＨＧＡ側を固定してスライダ２５に回転力を与える概念と、スライダ２５側を固定してＨＧＡに回転力を与える概念と、ＨＧＡとスライダ２５の両者が回転することによって前記回転力をスライダ２５に与える概念と、の全てを含む趣旨である。

ここで、第２ステップに係る係止解除工程について、図９（Ａ）〜（Ｃ）及び図１０（Ａ）〜（Ｃ）を参照して具体的に説明する。

図９（Ａ）に示すように、第１ステップに係る切断工程後のＨＧＡを治具にセットする。

図９（Ｂ）に示すように、加熱工具７１をスライダ２５に接触させる。

加熱工具７１は、図９（Ｃ）に示すように、スライダ２５を加熱しながらタング部２１と同一の面内方向の回転力をスライダ２５に与えるためのツールである。加熱工具７１は、その先端にスライダ２５を挟むための二股部７３を有する。この二股部７３の間隔は、スライダ２５の幅よりも僅かに大きい寸法に形成される。

加熱工具７１の温度は、半田の種別が鉛フリー半田である場合、この鉛フリー半田の溶融温度（摂氏２４０度〜摂氏２７０度）程度に設定される。

図１０（Ａ）に示すように、スライダ２５を加熱しながらタング部２１と同一の面内方向の回転力をスライダ２５に与える。具体的には、加熱工具７１の二股部７３でスライダ２５を挟んでひねり力を与える。

すると、図１０（Ｂ）に示すように、スライダ２５は、加熱工具７１を当てた瞬間に係止解除される。

ここで、スライダ２５の係止解除に係る作用機序について考察してみる。

前提として、接着剤２７はエポキシ樹脂系のものであり、タング部２１はステンレス製であり、スライダ２５はセラミック製であるとする。

接着剤（エポキシ樹脂系）２７とタング部（ステンレス製）２１との熱膨張率を比較すると、前者が後者の３倍程度である。また、接着剤（エポキシ樹脂系）２７とスライダ（セラミック製）２５の熱膨張率を比較すると、前者が後者の８倍程度である。

前記前提下において、本発明者らは、各部材２１，２５，２７間の熱膨張率の相違に着目した。前述したようなスライダ２５の係止解除ができるのは、各部材２１，２５，２７間の熱膨張率の相違によって面内方向の剪断力が発生して接着剤２７の接合強度が低下するからではないか、と考えたからである。

スライダ（セラミック製）２５が接着剤（エポキシ樹脂系）２７を介してタング部（ステンレス製）２１に係止されている本実施例のケースでは、異種部材間の境界面がふたつある。

一つ目は、スライダ（セラミック製）２５と接着剤（エポキシ樹脂系）２７間の境界面（第１の境界面）である。

二つ目は、接着剤（エポキシ樹脂系）２７とタング部（ステンレス製）２１間の境界面（第２の境界面）である。

前記第１の境界面での熱膨張率差は約８倍であり、前記第２の境界面での熱膨張率差は約３倍である。

”各部材２１，２５，２７間の熱膨張率の相違によって面内方向の剪断力が発生して接着剤２７の接合強度が低下する”との考え方に従えば、前記第１の境界面の方が、前記第２の境界面よりも、より大きな面内方向の剪断力が発生して、接着剤２７の接合強度の低下が顕著に進む筈である。

そこで、前記実験結果を鑑みれば、前記考え方に符合して、スライダ２５と接着剤２７間の前記第１の境界面で係止が解除されていることがわかる。

従って、第３ステップに係る係止解除工程では、スライダ２５に対する接着剤２７またはタング部２１に対する接着剤２７の熱膨張率の相違によって係止解除がなされたものと考えられた。

さて、図１０（Ｃ）に示すように、スライダ２５の係止解除後のタング部２１には、接着剤２７が残留している。

そこで、図７の第３ステップに係る仕上げ工程では、タング部２１に残留した接着剤２７を剥離する等の仕上げ処理を行う。

タング部２１に残留した接着剤２７を剥離するにあたっては、例えば、溶剤供給工程と、剥離促進工程と、を順次実行すればよい。

前者の溶剤供給工程では、例えば、タング部２１における接着剤２７の残留部位に溶剤（例えば、接着剤２７としてエポキシ樹脂系のものを採用した場合、N-メチル-2-ピロリドン (N-methylpyrrolidone、NMP) を採用することができる。）を供給する。

後者の剥離促進工程では、接着剤２７の残留部位に加熱による物理エネルギーを与えることによって接着剤２７の剥離を促進させる。

こうした仕上げ工程を採用すれば、タング部２１に対して直接的に力を作用させることなく接着剤２７の剥離を容易に遂行することができる。

従って、ヘッドサスペンション１１の傷付き・変形・荷重変化を抑止するとともに、作業時間の短縮化を図ることが可能となる結果として、製品歩留まり向上に寄与することができる。

［実施例の作用効果］
以上説明したように、実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法では、ＨＧＡからスライダ２５を取り外すための取り外し工程は、スライダ２５の長手方向一側からＳＢＢ部（固着材）３３に向かって押し当てられた切断刃５５の切断力を、スライダ２５が保持される保持機構を介して前記一側とは異なる他側からスライダ２５が受け止めることによってＳＢＢ部（固着材）３３を切断する切断工程を備える、構成を採用した。

実施例に係るヘッドサスペンションの再生方法によれば、スライダ２５の後側壁２５ｂが終端部５１の突当面５１ａに突き当てられた状態で切断刃５５がＳＢＢ部（固着材）３３ａ〜３３ｆを一挙に押し切る。

このため、サスペンション本体に変形を来すような余計な力を作用させることなく、つまり、スライダ２５以外のヘッドサスペンションの構成部材をストレスフリーとした状態で、ＳＢＢ部（固着材）３３の切断を遂行することができる。

従って、リワークに伴うヘッドサスペンションの変形を未然に抑止することが可能となる結果として、製品歩留まり向上に貢献可能なヘッドサスペンションの再生方法を得ることができる。

また、本実施例に係る再生方法によって再生されたサスペンションでは、半田がごくわずかに、かつ平坦な状態でしか残らない。

従って、再生されたサスペンションにスライダを組み込むＨＧＡ製造の際に、通常の製造工程をそのまま利用することができる。

さらに、スライダ２５が長手方向に沿った所定距離だけ進退方向に摺動可能となるように緩く保持される、保持機構を採用した場合、具体的には、スライダ２５の進行方向（図６の矢印Ａで示す方向の逆方向）における段部５３ａの働きによる摺動規制を採用した場合に、切断刃５５がＳＢＢ部３３に食いついて離れない場合であっても、この食いつきから容易に逃れられる。

また、前記固着材は、半田である、構成を採用した場合において、本実施例では、スライダ２５の後側壁２５ｂが終端部５１の突当面５１ａに突き当てられた状態で切断刃５５がＳＢＢ部３３を押し切るため、一般に高い硬度を有するＳＢＢ部３３であっても問題なく切断することができる。

従って、ＳＢＢ部３３の切断用途に用いて好適なサスペンションの再生方法を提供することができる。

さらに、常温下で行われる切断工程の構成を採用した場合、加熱下で切断工程を行う場合と比較して、溶融した半田が周囲に飛び散ることによる汚染を未然に防ぐことができる。

また、前記切断工程の後に、タング部２１に接着剤２７を介して係止されたスライダ２５を加熱しながらタング部２１と同一の面内方向の回転力をスライダ２５に与えることによって、タング部２１とスライダ２５間の接着剤２７を介した係止を解除する係止解除工程を備えた取り外し工程の構成を採用した場合、前記加熱の影響はスライダ２５とその周辺にしか及ばないため、サスペンションに対する熱の影響を抑えることができる。

しかも、スライダ２５を介してタング部２１に作用するのは、タング部２１と同一の面内方向の回転力であるから、ディンプル（不図示）とタング部２１間に隙間が生じるモードの変形（ディンプル・セパーレーション）を来すことはない。

さらに、スライダ２５に対する接着剤２７またはタング部２１に対する接着剤２７の熱膨張率の相違によって前記係止を解除する、係止解除工程の構成を採用した場合、熱膨張率の相違によって面内方向の剪断力が発生して接着剤２７の接合強度が低下するといった原理を応用したタング部２１に対するスライダ２５の係止解除を具現化することができる。

また、スライダ２５を加熱しながらタング部２１と同一の面内方向の回転力をスライダ２５に与えるために、その先端にスライダ２５を挟むための二股部７３を有する加熱工具７１が用いられる係止解除工程の構成を採用した場合、タング部２１周辺を溶融半田で汚染することなく、速やかにスライダ２５をタング部２１から取り外すことができる。

さらに、鉛フリー半田を採用すると共に、加熱工具の温度として鉛フリー半田の溶融温度程度を設定する構成を採用した場合、仮に、切断工程の後に、半田層３３ａ（図８（Ｄ）参照）が残留していたとしても、加熱工具７１による加熱によって半田層３３ａは瞬時に溶融してしまう。

従って、タング部２１からのスライダ２５の取り外しに支障を来すことはない。

一方、実施例に係るリワーク用切断治具４１は、ＨＧＡからスライダ２５を取り外す過程でＳＢＢ部（固着材）３３を切断する際に用いられるリワーク用切断治具であって、スライダ２５を保持する保持機構と、スライダの長手方向一側からＳＢＢ部（固着材）３３に向かって切断刃５５を押し当てるように動作する切断機構と、を備え、切断刃５５の切断力を、保持機構を介して前記一側とは異なる他側からスライダ２５が受け止めることによってＳＢＢ部（固着材）３３を切断する、構成を採用した。

実施例に係るリワーク用切断治具４１によれば、スライダ２５の後側壁２５ｂが終端部５１の突当面５１ａに突き当てられた状態で切断刃５５がＳＢＢ部３３ａ〜３３ｆを一挙に押し切る。

このため、サスペンション本体に変形を来すような余計な力を作用させることなく、つまり、スライダ２５以外のヘッドサスペンションの構成部材をストレスフリーとした状態で、ＳＢＢ部３３の切断を遂行することができる。

従って、リワークに伴うヘッドサスペンションの変形を未然に抑止することが可能となる結果として、製品歩留まり向上に貢献可能なリワーク用切断治具を得ることができる。

また、スライダ２５が長手方向に沿った所定距離だけ進退方向に摺動可能となるように緩く保持される、保持機構を採用した場合、具体的には、スライダ２５の進行方向（図６の矢印Ａで示す方向の逆方向）における段部５３ａの働きによる摺動規制を採用した場合に、切断刃５５がＳＢＢ部３３に食いついて離れない場合であっても、この食いつきから容易に逃れられる。

［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンションの再生方法及びリワーク用切断治具もまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。

例えば、本実施例中、駆動部４７をモータにより構成する例をあげて説明したが、本発明はこの例に限定されることなく、手動操作によるものであってもよい。

また、本実施例中、ボールボンディングの種別として半田ボールボンディング（ＳＢＢ；Solder Ball Bonding）３３を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されることなく、金ボールボンディング（ＧＢＢ；Gold Ball Bonding）にもそのまま適用することができる。

１１ ヘッドサスペンション
１３ ベースプレート
１５ ロードビーム
１７ 荷重曲げ部
１９ フレキシャ
２１ タング部
２３ 磁気ヘッド
２５ スライダ
２７ 接着剤
２９ａ〜２９ｆ スライダの電気端子
３１ 配線部
３１ａ〜３１ｆ 配線部の電気端子
３３ａ〜３３ｆ 半田ボールボンディング部（ＳＢＢ部；固着材／端子間接合部）
４１ リワーク用切断治具
４３ 基台（保持機構）
４５ 切断刃可動体（切断機構）
４９ 基台本体（保持機構）
５１ 終端部（保持機構）
５１ａ 突当面（保持機構）
５３ 案内溝部（保持機構）
５３ａ 段部（保持機構）
５５ 切断刃（切断機構）
６５ 開孔部（切断機構）
６７ ボールネジ（切断機構）
７１ 加熱工具
７３ 二股部

Claims (9)

1. 磁気ヘッドが搭載されたスライダと、前記スライダが弾性支持されるタング部を有するフレキシャと、前記フレキシャに設けた配線部と、前記スライダに設けた電気端子と前記配線部に設けた電気端子とが固着材によって接合された端子間接合部と、を備えたヘッドジンバルアセンブリから、前記スライダを取り外すための取り外し工程を経てヘッドサスペンションの再生を行うヘッドサスペンションの再生方法であって、
   前記取り外し工程は、前記スライダの長手方向一側から前記固着材に向かって押し当てられた切断刃の切断力を、当該スライダが保持される保持機構を介して前記一側とは異なる他側から当該スライダが受け止めることによって前記固着材を切断する切断工程を備え、
   前記保持機構では、前記スライダ以外の構成部材をストレスフリーとした状態で前記スライダが長手方向に沿った所定距離だけ摺動可能となるように当該スライダが緩く保持され、
   前記切断工程では、前記切断力により前記固着材を介して摺動する前記スライダを前記保持機構の突当面に突き当てる、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの再生方法。
2. 請求項１記載のヘッドサスペンションの再生方法であって、
   前記摺動範囲を、前記突当面に対して前記保持機構の段部で規制する、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの再生方法。
3. 請求項１又は２記載のヘッドサスペンションの再生方法であって、
   前記固着材は、半田である、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの再生方法。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載のヘッドサスペンションの再生方法であって、
   前記切断工程は、常温下で行われる、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの再生方法。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載のヘッドサスペンションの再生方法であって、
   前記スライダは、前記タング部に接着剤を介して係止され、
   前記取り外し工程は、前記切断工程の後に、前記スライダを加熱しながら前記タング部と同一の面内方向の回転力を当該スライダに与えることによって当該タング部と当該スライダ間の前記接着剤を介した係止を解除する係止解除工程を備えた、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの再生方法。
6. 請求項５記載のヘッドサスペンションの再生方法であって、
   前記固着材は、鉛フリー半田であり、
   前記係止解除工程での前記スライダの加熱温度は、前記鉛フリー半田の溶融温度程度に設定される、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの再生方法。
7. 請求項５又は６記載のヘッドサスペンションの再生方法であって、
   前記係止解除工程では、前記スライダに対する前記接着剤及び前記タング部に対する前記接着剤の熱膨張率の相違によって前記係止を解除する、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの再生方法。
8. 請求項５〜７のいずれかに記載のヘッドサスペンションの再生方法であって、
   前記係止解除工程では、前記スライダを加熱しながら前記タング部と同一の面内方向の回転力を当該スライダに与えるために加熱工具が用いられ、
   前記加熱工具は、その先端に前記スライダを挟むための二股部を有する、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの再生方法。
9. 磁気ヘッドが搭載されたスライダと、前記スライダが弾性支持されるタング部を有するフレキシャと、前記フレキシャに設けた配線部と、前記スライダに設けた電気端子と前記配線部に設けた電気端子とが固着材によって接合された端子間接合部と、を備えたヘッドジンバルアセンブリから前記スライダを取り外す過程で前記固着材を切断する際に用いられるリワーク用切断治具であって、
   前記スライダを保持する保持機構と、
   前記スライダの長手方向一側から前記固着材に向かって切断刃を押し当てるように動作する切断機構とを備え、
   前記切断刃の切断力を、前記保持機構を介して前記一側とは異なる他側から前記スライダが受け止めることによって前記固着材を切断し、
   前記保持機構では、前記スライダ以外の構成部材をストレスフリーとした状態で前記スライダが長手方向に沿った所定距離だけ摺動可能となるように当該スライダが緩く保持され、
   前記保持機構は、前記切断力により前記固着材を介して摺動する前記スライダを突き当てる突当面を備えた、
   ことを特徴とするリワーク用切断治具。