JP2002367132A - 磁気ヘッド、磁気ヘッドの製造方法及びスライダーの剥離方法 - Google Patents

磁気ヘッド、磁気ヘッドの製造方法及びスライダーの剥離方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】スライダーをサスペンションから容易に剥離す
る。 【解決手段】融点が異なる一方の接合部材４がスライダ
ー２のボンデイングパッド２ａに接合され、一方の接合
部材４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａと
が他方の接合部材６で接合されている。他方の接合部材
６を加熱溶融させることにより、一方の接合部材４をス
ライダー２に付けたままでスライダー２をサスペンショ
ン１から剥離する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】本発明は、磁気ヘッド、磁気ヘッドの製造
方法及びスライダーの剥離方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】この種の磁気ヘッドは図６
及び図７に示すように、サスペンション１と、サスペン
ション１上に搭載されたスライダー２とから構成されて
いる。この磁気ヘッドは例えばハードデイスクに対して
データの記録・再生を行なうために用いられており、そ
の出荷前に電気的な特性検査が行なわれる。この特性検
査には、静的な特性検査と動的な特性検査がある。
【０００３】静的な特性検査はスライダー単体で磁気ヘ
ッドを磁気デイスクに対向させて行なわれるが、スライ
ダーがサスペンション上に搭載された状態で、しかも回
転する磁気デイスク上に浮上した状態で行なわれる動的
な特性検査が最終的に磁気ヘッドの良否を判定する基礎
をなすものであり、特性検査では動的な特性検査が重要
視されている。この動的な特性検査には、スライダーが
サスペンション上に搭載された最終的な製品としての磁
気ヘッドが用いられる。この動的な特性検査を行なう場
合には、浮上するスライダーの浮上姿勢によって特性検
査で得られる出力が影響を受けるため、サスペンション
のバネ荷重特性は、ある規格内にあることが要求され
る。
【０００４】従来の磁気ヘッドを製造するには図５
（ａ）に示すように、先ずサスペンション１のボンデイ
ングパッド１ａとスライダー２のボンデイングパッド２
ａとが向き合う状態でサスペンション１上にスライダー
２を搭載し、サスペンション１にスライダー２をポリイ
ミド３で接着する。なお、サスペンション１とスライダ
ー２との接合部分が下方向から治具５で支えられてい
る。
【０００５】次いで図５（ａ）に示すように、金の線材
を放電加工により球状に形成し、この球状の金ボール４
を図５（ｂ）に示すようにサスペンション１のボンデイ
ングパッド１ａとスライダー２のボンデイングパッド２
ａに圧接させたままで超音波を金ボール４に印加するこ
とにより、金ボール４の圧接面をボンデイングパッド１
ａ、２ａにそれぞれ接合させている。スライダー２のボ
ンデイングパッド２ａは、スライダー２に組み込まれた
電気磁気変換素子に接続されている。この電気磁気変換
素子は、記録媒体に記録されたデータを再生する、或い
は記録媒体にデータを書き込むために用いられる。
【０００６】ここで、スライダー２に組み込まれた前記
電気磁気変換素子は耐熱温度が低いため、一般的に金ボ
ール４と超音波とを組合せた接合方法が採用されてい
る。
【０００７】記録密度が低い場合にはスライダーがサス
ペンション上に搭載されて行なわれる動的な特性検査で
不良品が発生する割合が極めて小さいものであり、特に
問題が生じることがなかった。ここで、動的な特性検査
でスライダーが不良品として判定される場合は、スライ
ダーに組み込まれた電気磁気変換素子が再生或いは記録
に必要な特性を発揮し得ない場合が大部分である。近
年、記録密度が高まり、これに対応するためにサスペン
ションに微動トラッキング装置及びＩＣ等の高価な構成
部品が搭載される場合が増えており、スライダーが不良
品であるとの理由から、不良品のスライダーが搭載され
たサスペンションをスライダーとともに廃棄処分するこ
とは資源を無駄に浪費することとなり、このサスペンシ
ョンの有効利用を図るために再生使用することが必要で
あると考える。
【０００８】従来例の磁気ヘッドにおいて、敢えてスラ
イダー２をサスペンション１から剥離するには、金ボー
ル４に連続した金属疲労を与えて無理やり剥離すること
が考えられるが、この方法ではサスペンション１にも同
様な金属疲労を与えてしまい、サスペンション１のバネ
荷重特性が規格から外れることとなり、サスペンション
１の再生使用には不向きである。
【０００９】
【発明の目的】本発明の目的は、スライダーの剥離に最
適な接合構造を有するとともに、良品のスライダーをサ
スペンションに確実に固定できる構造をもつ磁気ヘッ
ド、磁気ヘッドの製造方法及びスライダの剥離方法を得
ることにある。
【００１０】
【発明の概要】前記目的を達成するため、本発明に係る
磁気ヘッドは、サスペンションと、該サスペンション上
に搭載されたスライダーとを含む磁気ヘッドにおいて、
前記スライダーには電気磁気変換素子が組み込まれ、前
記スライダーが、前記電気磁気変換素子に接続するボン
デイングパッドを有し、前記サスペンションが、前記ス
ライダーのボンデイングパッドに接続されるボンデイン
グパッドを有し、少なくとも２種類の接合部材のうち一
方の接合部材が前記スライダーのボンデイングパッドに
接合され、前記一方の接合部材と前記サスペンションの
ボンデイングパッドとが他方の接合部材で接合されてい
ることを特徴とする。
【００１１】また前記一方の接合部材が、前記他方の接
合部材の接合時の熱を放散するための放熱部を兼用する
ことが望ましい。また前記他方の接合部材が、前記電気
磁気変換素子の耐熱温度より融点が低い素材から形成さ
れることが望ましい。
【００１２】また前記一方の接合部材の表面積が拡大さ
れていることが望ましい。また前記一方の接合部材が金
材から構成され、前記他方の接合部材が半田材から構成
されていることが望ましい。
【００１３】また本発明に係る磁気ヘッドの製造方法
は、サスペンションのボンデイングパッドと、該サスペ
ンション上に搭載されたスライダーのボンデイングパッ
ドとの間を少なくとも２種類の接合部材で接合する磁気
ヘッドの製造方法であって、前記スライダーには電気磁
気変換素子が組み込まれ、前記スライダーのボンデイン
グパッドが前記電気磁気変換素子に接続されており、前
記少なくとも２種類の接合部材のうち一方の接合部材を
前記スライダーのボンデイングパッドに接合する工程
と、前記一方の接合部材に他方の接合部材を付着する工
程と、前記一方の接合部材と前記サスペンションのボン
デイングパッドとの間を前記他方の接合部材で接合する
工程とを含むことを特徴とする。
【００１４】また本発明に係る磁気ヘッドの製造方法
は、サスペンションのボンデイングパッドと、該サスペ
ンション上に搭載されたスライダーのボンデイングパッ
ドとの間を少なくとも２種類の接合部材で接合する磁気
ヘッドの製造方法であって、前記スライダーには電気磁
気変換素子が組み込まれ、前記スライダーのボンデイン
グパッドが前記電気磁気変換素子に接続されており、前
記少なくとも２種類の接合部材のうち他方の接合部材と
前記スライダーとを治具上にセットする工程と、前記治
具上で前記少なくとも２種類の接合部材のうち一方の接
合部材を前記スライダーのボンデイングパッドに接合す
るとともに、前記一方の接合部材に前記他方の接合部材
を付着する工程と、前記一方の接合部材が前記スライダ
ーにボンデイングされたままで該スライダーを前記治具
上から前記サスペンション上に移し替え、前記一方の接
合部材と前記サスペンションのボンデイングパッドとの
間を前記他方の接合部材で接合する工程とを含み、前記
治具が前記接合部材と接合し難い材料から形成されてい
ることを特徴とする。
【００１５】また前記一方の接合部材に前記他方の接合
部材を付着させた後に、前記一方の接合部材を押圧して
表面積を拡大する工程を含むようにしてもよい。
【００１６】また前記一方の接合部材としての線材を球
状に形成し、これを前記スライダーのボンデイングパッ
ドに圧接したままで超音波を印加し、前記スライダーの
ボンデイングパッドに接合するようにしてもよい。また
メッキ法を用いて、前記一方の接合部材を前記スライダ
ーのボンデイングパッド上に形成するようにしてもよ
い。また前記他方の接合部材として半田を用い、該半田
を溶融させることにより、前記一方の接合部材と前記サ
スペンションのボンデイングパッドとの間を接合するよ
うにしてもよい。
【００１７】また本発明に係るスライダーの剥離方法
は、磁気ヘッドのサスペンション上からスライダーを剥
離するスライダーの剥離方法であって、前記磁気ヘッド
は、融点が異なる一方の接合部材が前記スライダーのボ
ンデイングパッドに接合され、前記一方の接合部材と前
記サスペンションのボンデイングパッドとが他方の接合
部材で接合された構造のものであり、前記他方の接合部
材を加熱溶融させることにより、前記一方の接合部材を
前記スライダーに付けたままで該スライダーを前記サス
ペンションから剥離することを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図示
例と共に説明する。
【００１９】図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明の実
施形態に係る磁気ヘッドの製造方法を工程順に示す断面
図である。また図１(ｃ)は本発明の実施形態に係る磁気
ヘッドの製品状態を示すものである。また図１（ｄ）は
本発明の実施形態に係る磁気ヘッドからスライダーを剥
離する状態を示す断面図である。
【００２０】この実施形態では、サスペンション１と、
サスペンション１上に搭載されたスライダー２とを含ん
でいる。この実施形態のスライダー２は、電気磁気変換
素子２ｂを含んでいる。このスライダー２の電気磁気変
換素子２ｂは、ハードデイスク等の記録媒体に対してデ
ータの記録・再生を行なうために磁気デイスク上に浮上
するスライダー２の空気流出側の側面上に端部が媒体対
向面（ＡＢＳ面）２ｃに達するように設けられている。
このスライダー２に備えた電気磁気変換素子２ｂは、磁
気抵抗効果素子（ＭＲ素子）として作用する場合には、
記録媒体からの信号磁界で電気抵抗値が変化することを
利用して記録媒体からデータを再生する。また電気磁気
変換素子２ｂは記録用（記録データ書込み用）として作
用する場合には、コイルに記録データ用の電流を流すこ
とにより発生する磁界で記録媒体にデータを記録する。
【００２１】また前記サスペンション１と前記スライダ
ー２とはそれぞれボンデイングパッド１ａ、２ａを有し
ており、前記両ボンデイングパッド１ａ、２ａが接合部
材４、６を介して接合される。この実施形態の接合部材
４、６は融点が異なる少なくとも２種類の接合部材４、
６から構成されている。前記ボンデイングパッド２ａが
電気磁気変換素子２ｂに接続されているため、接合時に
ボンデイングパッド２ａに加わる熱が電気磁気変換素子
２ｂに影響を与えることとなる。
【００２２】この実施形態では、前記接合部材４、６の
うち、その一方の接合部材４が前記スライダー２のボン
デイングパッド２ａに接合され、前記一方の接合部材４
と前記サスペンション１のボンデイングパッド１ａとが
前記他方の接合部材６で接合される。ところで、特に上
述した再生用として作用する電気磁気変換素子２ｂは熱
に弱く、数百℃に晒されると、その特性が失われる。
【００２３】この実施形態では、前記一方の接合部材４
が、前記他方の接合部材６の接合時の熱を放散するため
の放熱部を兼ねている。また前記他方の接合部材６が、
前記スライダー２に組み込まれた電気磁気変換素子２ｂ
の耐熱温度より融点が低い素材から形成される。この実
施形態では、一方の接合部材４として金ボールを用いて
おり、他方の接合部材６として半田材を用いている。こ
の半田材としては、金／鉛／錫合金、インジウム、或い
はインジウムと錫との合金からなる半田を用いることが
望ましい。特にインジウムと錫の合金からなる半田の場
合には、その溶融温度が約１１７℃であり、この半田を
用いると、スライダー２の電気磁気変換素子２ｂに熱に
よる影響を与えることを回避することができる。
【００２４】また図２（ｂ）及び図３に示すように、前
記一方の接合部材４の表面積を拡大させることにより、
他方の接合部材６の溶融時に発生する熱をより有効に放
散してスライダー２の電気磁気変換素子２ｂへの熱影響
を防止するようにしてもよい。
【００２５】以上のように、この実施形態によれば、少
なくとも融点の異なる２種類の接合部材４、６を用い、
その融点が異なることを利用して、一方の接合部材４が
スライダー２のボンデイングパッド２ａに接合され、一
方の接合部材４とサスペンション１のボンデイングパッ
ド１ａとが他方の接合部材６で接合される。このため、
半田付けされる接合部材６がスライダー２のボンデイン
グパッド２ａに直接接合することがなく、スライダー２
のボンデイングパッド２ａと接合部材６との間には接合
部材４が介在し、この接合部材４がクッション（緩衝）
の作用を行なうこととなる。さらに接合部材６が溶融す
る際の熱が別の接合部材４に蓄積され、かつ別の接合部
材４の表面から放散されることにより、熱による影響が
スライダー２の電気磁気変換素子２ｂに伝わることが防
止でき、その結果、磁気ヘッドの製造歩留まりを向上さ
せることができる。
【００２６】さらに、一方の接合部材４とサスペンショ
ン１のボンデイングパッド１ａとが他方の接合部材６に
よる半田付けで接合されるため、他方の接合部材６に局
部的に熱を加えて溶融することにより、一方の接合部材
４とサスペンション１のボンデイングパッド１ａとの間
での接合状態を解除してスライダー２をサスペンション
１から剥離することができ、サスペンション１に無理な
力を加えることがない。したがって、不良品のスライダ
ー２が剥離されたサスペンション１のバネ荷重特性は規
格内にあり、サスペンション１を容易に再生使用するこ
とができる。
【００２７】さらに、一方の接合部材４とサスペンショ
ン１のボンデイングパッド１ａとが他方の接合部材６に
よる半田付けで接合されるため、スライダー２が動的な
電気的特性を検査するためにのみ仮付けするものではな
く、サスペンション１にスライダー２が確実に固定され
る。このため、動的な電気的特性検査の結果、良品であ
ると判定された場合に新たに本付けの作業をする必要が
なく、スライダー２の剥離を容易にする構成にしたこと
による問題を引起すことがない。
【００２８】また一方の接合部材４に金ボールを、他方
の接合部材６に半田材をそれぞれ選定して用いた場合
に、金ボール４の表面は酸化し難いので、半田材６で接
合する際に酸化しないため、金ボール４とサスペンショ
ン１のボンデイングパッド１ａとの接合強度を劣化させ
ることがない。また金ボール４の半田材６に対する濡れ
性を利用して金ボール４とサスペンション１のボンデイ
ングパッド１ａとの界面に半田材６を浸透させることが
でき、接合強度を向上させることができる。なお、一方
の接合部材４に金ボール４を用いたが、この金ボールに
代えて金の線材、あるいは板材（リボン）を用いてもよ
い。
【００２９】次に、この実施形態の磁気ヘッドを、動的
な電気的特性検査が可能な磁気ヘッドとして組み立てる
ための製造方法について説明する。この製造方法では、
一方の接合部材４に金ボールを、他方の接合部材６にボ
ール状の半田材を用いている。
【００３０】図１(ａ)に示すように、先ず、治具７のデ
インプル７ａにボール状半田材６をセットし、かつ、ボ
ンデイングパッド２ａをボール状半田材６側に向けてス
ライダー２を治具７上にセットする。治具７は、Ａｌ2
Ｏ3、ＺｒＯ2等の材質からなり、溶融する金ボール４及
びボール状半田材６と接合し難い処理が施されている。
【００３１】次に図１（ａ）、(ｂ)に示すように、金の
線材の先端を放電加工することにより球状に形成し、こ
の球状の金ボール４をスライダー２のボンデイングパッ
ド２ａ及び治具７に圧接したままで金ボール４に超音波
を印加し、その圧接面で金ボール４をスライダー２のボ
ンデイングパッド２ａに接合するとともに、金ボール４
の一部にボール状半田材６を付着する。前述した金ボー
ル４の一部とは、金ボール４のうち、サスペンション１
のボンデイングパッド１ａに対向する側の位置を指し示
している。ここで、半田付けの場合は、接合する２つの
部材が半田の融点温度に達していなければ、半田付けが
不可能であるという特性がある。この特性によれば、金
ボール４にボール状半田材６を付着させる場合には、ボ
ール状半田材６が付着される箇所が加熱されないため、
ボール状半田材６が溶融されずにボール状態で金ボール
４に付着する。また、治具７は、上述したように溶融す
る金ボール４及びボール状半田材６と接合し難い処理が
されているため、金ボール４は超音波によるボンデイン
グによっても、治具７と接合されない。
【００３２】次に図１(ｃ)に示すように、図１(ｂ)の状
態に組み立てられたスライダー２をサスペンション１上
に搭載し、スライダー２のボンデイングパッド２ａをサ
スペンション１のボンデイングパッド１ａと向き合わせ
て位置決めして、スライダー２をサスペンション１にセ
ットする。その後、スライダー２をサスペンション１に
ポリイミド３により接着するとともに、２つのボンデイ
ングパッド１ａ、２ａ同士の接合を開始する。
【００３３】前記２つのボンデイングパッド１ａ、２ａ
同士を接合するにあたっては、サスペンション１とスラ
イダー２とを不活性雰囲気中にセットし、不活性ガス８
でスライダー２のボンデイングパッド２ａ側を冷却しつ
つ、金ボール４とサスペンション１のボンデイングパッ
ド１ａとの接合部分を不活性ガス８で酸素雰囲気から遮
断する。
【００３４】次に、細径のビーム状加熱光線９を使用し
てボール状半田材６を溶融し、金ボール４の表面の濡れ
性を利用して、溶融した半田材６を金ボール４とサスペ
ンション１のボンデイングパッド１ａとの界面に浸透さ
せ、半田材６をもって金ボール４とサスペンション１の
ボンデイングパッド１ａとを接合する。
【００３５】そして、図１(ｃ)に示す製品状態で磁気ヘ
ッドに対する動的な電気的特性検査が行なわれる。動的
な電気的特性検査の結果、サスペンション１に搭載され
たスライダー２、特に電気磁気変換素子２ｂが所期の性
能を発揮せず、不良品として判定された場合にはスライ
ダー２が廃棄処分されることとなる。
【００３６】以上のように、この実施形態の製造方法に
よれば、金ボール４を予めスライダー２のボンデイング
パッド２ａに接合しておき、次いで金ボール４とサスペ
ンション１のボンデイングパッド１ａとを半田材６で接
合するため、ボール状半田材６を溶融する際に金ボール
４がクッション（緩衝）の働きをして、半田６の熱がス
ライダー２に伝熱するのを遮断する。このため、スライ
ダー２の電気磁気変換素子２ｂに熱による影響を与える
ことがなく、磁気ヘッドの整合工程でスライダー２の電
気磁気変換素子２ｂを損傷するという事故を大幅に削減
することができ、磁気ヘッドの製造歩留まりを向上させ
ることができる。
【００３７】また金ボール４にサスペンション１のボン
デイングパッド１ａを半田材６で半田付けする場合に、
金ボール４とサスペンション１のボンデイングパッド１
ａとの界面に半田材６を浸透させて接合するため、半田
材６の使用量が金ボール４を用いない場合と比較して極
めて小さく、ボール状半田材６の溶融熱は金ボール４に
吸収されて金ボール４から放熱される。したがって、ス
ライダー２側に伝熱される半田材６の溶融熱量が極めて
小さく、スライダー２の電気磁気変換素子２ｂに損傷を
与えることがない。このことが、金ボール４にクッショ
ン（緩衝）の働きをさせる重要なポンイントである。
【００３８】この実施形態では、スライダー２を廃棄処
分する際には不良品であるスライダー２をサスペンショ
ン１から剥離してサスペンション１を再生使用する。次
に、この実施形態に係るスライダー２をサスペンション
１から剥離する方法について説明する。
【００３９】すなわち、図１（ｄ）に示すように、細径
のビーム状加熱光線９ａを使用し、金ボール４とサスペ
ンション１のボンデイングパッド１ａとの間を接合する
半田材６の部分にビーム状加熱光線９ａを照射すること
により、半田材６を溶融してスライダー２をサスペンシ
ョン１から剥離する。これにより、不良品のスライダー
２のみを剥離してサスペンション１のみを回収する。
【００４０】回収したサスペンション１は、ボンデイン
パッド１ａ上に残留する半田材６は極めて少量であるた
め、図６に示すように隣接するボンデイングパッド１ａ
間が残留する半田材６でシート（短絡）することがな
く、再生使用が可能となる。
【００４１】また、剥離されるスイダー２が不良品であ
るため、スライダー２に半田材６の溶融熱が加わること
に問題がなく、スライダー２の剥離作業は大気雰囲気中
で行なうことができ、スライダー２の剥離設備を簡素化
することができる。したがって、スライダー２の剥離に
要する設備費用を極力廉価にして、サスペンション１の
再生使用による経済的な効果を十分に確保することがで
きる。
【００４２】なお、一方の接合部材４に金ボールを用い
たが、これに限定されるものではない。また半田材６を
ボール状にして用いたが、これに限定されるものではな
く、線材のものを用いてもよい。
【００４３】図２は、本発明の他の実施形態に係る磁気
ヘッドの製造方法を工程順に示す断面図である。この実
施形態では図２（ａ）に示すように、金ボール４をスラ
イダー２のボンデイングパッド２ａに接合し、かつ金ボ
ール４の一部にボール状半田材６を付着する工程におい
て、金ボール４に治具１０の角部１０ａを押し付けて金
ボール４を展性変形させることにより、図２（ｂ）に示
すように金ボール４の表面積４ａを拡大させる。
【００４４】この実施形態によれば、金ボール４は、半
田材６の接合時に生じる熱を放熱するための表面積４ａ
が拡大されることとなり、半田材６の接合時の熱がスラ
イダー２の電気磁気変換素子２ｂ側に伝熱されるのをよ
り有効に遮断してスライダー２の電気磁気変換素子２ｂ
を熱から保護することができる。
【００４５】図３は、本発明のさらに他の実施形態に係
る磁気ヘッドの製造方法を示す断面図である。この実施
形態では、接合部材４としての金材の展性を利用して短
冊状に圧延し、この短冊状の金リボン４ｂを金ボール４
に代えて用いる。
【００４６】この実施形態によれば、金リボン４ｂが圧
延されて短冊状に展性形成されて表面積が拡大されてい
るため、図２のように製造工程の途中にて金材の表面積
を拡大する必要がなく、製造工程を簡略化することがで
きる。
【００４７】図４は、本発明のさらに他の実施形態に係
る磁気ヘッドの製造方法を示す断面図である。この実施
形態では図４(ａ)に示すように、スライダー２のボンデ
イングパッド２ａを除く端面にマスキングを行ない、次
いでスライダー２の端面にメッキ法を用いて金メッキ１
１を所定膜厚に形成する。
【００４８】次に図４（ｂ）に示すように、スライダー
２のボンデイングパッド２ａ上に形成される金メッキ１
１のみをマスキングし、それ以外の金メッキを除去する
ことにより、図４（ｃ）に示すようにスライダー２のボ
ンデイングパッド２ａ上に金メッキ１１からなる接合部
材４を設ける。そして、金メッキ１１（一方の接合部材
４）にボール状半田材６（他方の接合部材６）を付着す
る。これ以降の処理は図１に示す実施形態と同様に行な
われる。
【００４９】この実施形態によれば、メッキ法を用い
て、パターニングした金メッキ１１（接合部材４）をス
ライダー２のボンデイングパッド２ａ上に形成するた
め、スライダー２の電気磁気変換素子２ｂに熱的影響を
与えるのを防止することができ、スライダー２の電気磁
気変換素子２ｂを熱から保護することができる。
【００５０】なお、上述した実施形態では、ハードデイ
スク（ＨＤＤ）用磁気ヘッドについて記述したが、本発
明の磁気ヘッドはＨＤＤ用磁気ヘッドに限定されるもの
ではない。
【００５１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、電
気磁気変換素子を組み込んだスライダーの剥離に最適な
接合構造を有するとともに、良品の電気磁気変換素子を
組み込んだスライダーをサスペンションに確実に固定で
きる構造を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明の実施形態に
係る磁気ヘッドの製造方法を工程順に示す断面図であ
り、(ｃ)は本発明の実施形態に係る磁気ヘッドの製品状
態を示すものであり、（ｄ）は本発明の実施形態に係る
磁気ヘッドからスライダーを剥離する状態を示す断面図
である。
【図２】本発明の他の実施形態に係る磁気ヘッドの製造
方法を工程順に示す断面図である。
【図３】本発明のさらに他の実施形態に係る磁気ヘッド
の製造方法を示す断面図である。
【図４】本発明のさらに他の実施形態に係る磁気ヘッド
の製造方法を示す断面図である。
【図５】従来例に係る磁気ヘッドの製造方法を工程順に
示す断面図である。
【図６】磁気ヘッドを示す斜視図である。
【図７】スライダー部分を拡大した斜視図である。
【符号の説明】
１ サスペンション １ａ サスペンションのボンデイングパッド ２ スライダー ２ａ スライダーのボンデイングパッド ３ ポリイミド ４ 金ボール（接合部材） ６ ボール状半田材（接合部材）

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】サスペンションと、該サスペンション上に
    搭載されたスライダーとを含む磁気ヘッドにおいて、 前記スライダーには電気磁気変換素子が組み込まれ、前
    記スライダーが、前記電気磁気変換素子に接続するボン
    デイングパッドを有し、前記サスペンションが、前記ス
    ライダーのボンデイングパッドに接続されるボンデイン
    グパッドを有し、 少なくとも２種類の接合部材のうち一方の接合部材が前
    記スライダーのボンデイングパッドに接合され、前記一
    方の接合部材と前記サスペンションのボンデイングパッ
    ドとが他方の接合部材で接合されていることを特徴とす
    る磁気ヘッド。
  2. 【請求項２】請求項１記載の磁気ヘッドにおいて、 前記一方の接合部材が、前記他方の接合部材の接合時の
    熱を放散するための放熱部を兼用することを特徴とする
    磁気ヘッド。
  3. 【請求項３】請求項１記載の磁気ヘッドにおいて、 前記他方の接合部材が、前記電気磁気変換素子の耐熱温
    度より融点が低い素材から形成されることを特徴とする
    磁気ヘッド。
  4. 【請求項４】請求項１又は２記載の磁気ヘッドにおい
    て、 前記一方の接合部材の表面積が拡大されていることを特
    徴とする磁気ヘッド。
  5. 【請求項５】請求項１、２、３又は４記載の磁気ヘッド
    において、 前記一方の接合部材が金材から構成され、前記他方の接
    合部材が半田材から構成されていることを特徴とする磁
    気ヘッド。
  6. 【請求項６】サスペンションのボンデイングパッドと、
    該サスペンション上に搭載されたスライダーのボンデイ
    ングパッドとの間を少なくとも２種類の接合部材で接合
    する磁気ヘッドの製造方法であって、 前記スライダーには電気磁気変換素子が組み込まれ、前
    記スライダーのボンデイングパッドが前記電気磁気変換
    素子に接続されており、 前記少なくとも２種類の接合部材のうち一方の接合部材
    を前記スライダーのボンデイングパッドに接合する工程
    と、 前記一方の接合部材に他方の接合部材を付着する工程
    と、 前記一方の接合部材と前記サスペンションのボンデイン
    グパッドとの間を前記他方の接合部材で接合する工程と
    を含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
  7. 【請求項７】サスペンションのボンデイングパッドと、
    該サスペンション上に搭載されたスライダーのボンデイ
    ングパッドとの間を少なくとも２種類の接合部材で接合
    する磁気ヘッドの製造方法であって、 前記スライダーには電気磁気変換素子が組み込まれ、前
    記スライダーのボンデイングパッドが前記電気磁気変換
    素子に接続されており、 前記少なくとも２種類の接合部材のうち他方の接合部材
    と前記スライダーとを治具上にセットする工程と、 前記治具上で前記少なくとも２種類の接合部材のうち一
    方の接合部材を前記スライダーのボンデイングパッドに
    接合するとともに、前記一方の接合部材に前記他方の接
    合部材を付着する工程と、 前記一方の接合部材が前記スライダーにボンデイングさ
    れたままで該スライダーを前記治具上から前記サスペン
    ション上に移し替え、前記一方の接合部材と前記サスペ
    ンションのボンデイングパッドとの間を前記他方の接合
    部材で接合する工程とを含み、 前記治具が前記接合部材と接合し難い材料から形成され
    ていることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
  8. 【請求項８】請求項６又は７記載の磁気ヘッドの製造方
    法において、 前記一方の接合部材に前記他方の接合部材を付着させた
    後に、前記一方の接合部材を押圧して表面積を拡大する
    工程を含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
  9. 【請求項９】請求項６又は７記載の磁気ヘッドの製造方
    法において、 前記一方の接合部材としての線材を球状に形成し、これ
    を前記スライダーのボンデイングパッドに圧接したまま
    で超音波を印加し、前記スライダーのボンデイングパッ
    ドに接合することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
  10. 【請求項１０】請求項６又は７記載の磁気ヘッドの製造
    方法において、 メッキ法を用いて、前記一方の接合部材を前記スライダ
    ーのボンデイングパッド上に形成することを特徴とする
    磁気ヘッドの製造方法。
  11. 【請求項１１】請求項６又は７記載の磁気ヘッドの製造
    方法において、 前記他方の接合部材として半田を用い、該半田を溶融さ
    せることにより、前記一方の接合部材と前記サスペンシ
    ョンのボンデイングパッドとの間を接合することを特徴
    とする磁気ヘッドの製造方法。
  12. 【請求項１２】磁気ヘッドのサスペンション上からスラ
    イダーを剥離するスライダーの剥離方法であって、 前記磁気ヘッドには、前記サスペンションと前記スライ
    ダーとが含まれ、融点が異なる一方の接合部材が前記ス
    ライダーのボンデイングパッドに接合され、前記一方の
    接合部材と前記サスペンションのボンデイングパッドと
    が他方の接合部材で接合された構造のものであり、 前記他方の接合部材を加熱溶融させることにより、前記
    一方の接合部材を前記スライダーに付けたままで該スラ
    イダーを前記サスペンションから剥離することを特徴と
    するスライダーの剥離方法。
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