JP5199542B2 - スライダの製造方法 - Google Patents
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Description
2 基板
3 リードライト部
4 保護膜
5 ヘッド素子
6 バー
8 砥石
9 研削痕
R 基板側表面
F 保護膜側表面
x 長手方向
y 直交方向
Claims (5)
- 基板と保護膜との間に読込素子または書込素子の少なくともいずれかが形成された、スライダとなるべき複数のヘッド素子が、媒体対向面となるべき面が隣接して並ぶ第1の方向と、該第1の方向と直交する第2の方向と、に配列して形成され、前記保護膜側が凸状に反ったウエハを準備するステップと、
前記第2の方向に沿って前記ウエハを動かしながら前記ウエハの前記基板に回転する砥石を押し当てる工程を、前記第1の方向に沿って前記ウエハを動かしながら繰り返し、前記ウエハの前記基板側の表面全体を、前記第2の方向に沿って複数列の研削痕が生じるように研削することによって、反りを軽減する研削ステップと、
を有する、スライダの製造方法。 - 前記複数列の研削痕は前記基板側の表面全体に均一に分布して生じる、請求項1に記載のスライダの製造方法。
- 前記研削ステップは、前記砥石を用いた平面研削によっておこなう、請求項1または2に記載のスライダの製造方法。
- 前記研削ステップは、前記砥石で前記基板側の表面全体を研削した後に、該砥石よりも粒度の大きい砥石で前記基板側の面を研削することを含む、請求項1から3のいずれか1項に記載のスライダの製造方法。
- 前記研削ステップの後に、前記ウエハを前記第1の方向に沿って切断するステップを有する、請求項1から4のいずれか1項に記載のスライダの製造方法。
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