JP3271375B2 - 磁気ヘッド装置の製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド装置の製造方法Info
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- JP3271375B2 JP3271375B2 JP15259793A JP15259793A JP3271375B2 JP 3271375 B2 JP3271375 B2 JP 3271375B2 JP 15259793 A JP15259793 A JP 15259793A JP 15259793 A JP15259793 A JP 15259793A JP 3271375 B2 JP3271375 B2 JP 3271375B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜磁気ヘッド装置の
製造方法に関する。
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜磁気ヘッド装置のスライダ加工は、
複数の磁気ヘッド素子を薄膜集積技術によって形成した
円板状又は角板状のウエハを複数のバーに切断した後、
各バーを加工用治具にそれぞれ接着した状態で行われ
る。
複数の磁気ヘッド素子を薄膜集積技術によって形成した
円板状又は角板状のウエハを複数のバーに切断した後、
各バーを加工用治具にそれぞれ接着した状態で行われ
る。
【０００３】このスライダ加工工程において最も留意さ
れる点は、全ての磁気ヘッド素子のギャップデプス（ス
ロートハイト）が一定となるように高精度に加工するこ
とである。このためには、加工工程においても、スロー
トハイト基準位置をウエハの集積工程におけるフォトマ
スクや露光装置で決定される高い精度のままに維持する
ことが要求される。
れる点は、全ての磁気ヘッド素子のギャップデプス（ス
ロートハイト）が一定となるように高精度に加工するこ
とである。このためには、加工工程においても、スロー
トハイト基準位置をウエハの集積工程におけるフォトマ
スクや露光装置で決定される高い精度のままに維持する
ことが要求される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のス
ライダ加工方法によると、ウエハからバーを切り出す際
にダイヤモンド砥石のダイヤモンド粒子によってウエハ
材料が粉砕されることにより、ランダムな変形（曲が
り）が各バーに発生してしまい、磁気ヘッド素子のスロ
ートハイトの基準位置が各バー内においてもばらついて
しまう。特に、スライダ寸法が７０％、５０％と減少せ
しめられた場合、及び１枚のウエハ内に作成する磁気ヘ
ッドの数を増大させて個々のスライダへの切断幅を小さ
くした場合にはこのばらつきが顕著となる。切断前の一
般的なウエハ内におけるスロートハイト基準位置の誤差
は、０．１〜０．２μｍ程度であるが、切断された場合
にはおおよそ０．８〜１．５μｍ程度、最悪の場合には
２μｍ以上となってしまう。スロートハイト基準位置が
このように大幅にばらつくと、所望長のスロートハイト
形成が不可能となる。
ライダ加工方法によると、ウエハからバーを切り出す際
にダイヤモンド砥石のダイヤモンド粒子によってウエハ
材料が粉砕されることにより、ランダムな変形（曲が
り）が各バーに発生してしまい、磁気ヘッド素子のスロ
ートハイトの基準位置が各バー内においてもばらついて
しまう。特に、スライダ寸法が７０％、５０％と減少せ
しめられた場合、及び１枚のウエハ内に作成する磁気ヘ
ッドの数を増大させて個々のスライダへの切断幅を小さ
くした場合にはこのばらつきが顕著となる。切断前の一
般的なウエハ内におけるスロートハイト基準位置の誤差
は、０．１〜０．２μｍ程度であるが、切断された場合
にはおおよそ０．８〜１．５μｍ程度、最悪の場合には
２μｍ以上となってしまう。スロートハイト基準位置が
このように大幅にばらつくと、所望長のスロートハイト
形成が不可能となる。
【０００５】また、従来のスライダ加工方法によると、
切断して得た各バーは、以降の加工を受けるために加工
用治具に接着されるが、このときの治具の接着面の平面
度や接着歪によってもバーの変形が生じてしまう。その
結果、スロートハイトの基準位置が、前述の変形に加え
てさらにばらついてしまう。
切断して得た各バーは、以降の加工を受けるために加工
用治具に接着されるが、このときの治具の接着面の平面
度や接着歪によってもバーの変形が生じてしまう。その
結果、スロートハイトの基準位置が、前述の変形に加え
てさらにばらついてしまう。
【０００６】このような不都合を避けるために、高剛
性、高出力の切断機を用いたり、変形制御機能付きの治
具を用いる等多くの提案がなされているが、いずれも不
十分である。特に、ウエハの厚みが薄くなるにつれてバ
ーの変形が顕著となるため、変形防止のための効果的な
対策が要求されている。しかも、今後の線記録密度の向
上や高周波数化に伴ってスロートハイトの誤差の許容範
囲がますます小さく、例えばＭＲ（磁気抵抗効果）−イ
ンダクティブヘッドでは０．５μｍ程度となっているた
め、このようなバーの変形をほぼ零に抑える必要があ
る。
性、高出力の切断機を用いたり、変形制御機能付きの治
具を用いる等多くの提案がなされているが、いずれも不
十分である。特に、ウエハの厚みが薄くなるにつれてバ
ーの変形が顕著となるため、変形防止のための効果的な
対策が要求されている。しかも、今後の線記録密度の向
上や高周波数化に伴ってスロートハイトの誤差の許容範
囲がますます小さく、例えばＭＲ（磁気抵抗効果）−イ
ンダクティブヘッドでは０．５μｍ程度となっているた
め、このようなバーの変形をほぼ零に抑える必要があ
る。
【０００７】従って本発明は、磁気ヘッド装置のスライ
ダ加工を行う際の変形をできるだけ抑えることのできる
磁気ヘッド装置の製造方法を提供するものである。
ダ加工を行う際の変形をできるだけ抑えることのできる
磁気ヘッド装置の製造方法を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、磁気ヘ
ッド装置の製造方法は、複数列で並ぶ磁気ヘッド素子を
薄膜集積技術によってウエハ上に形成する工程と、形成
された磁気ヘッド素子の最外列における磁気媒体と対向
する側の側面が露出するようにこのウエハを切断する工
程と、ウエハのこの露出した側面に溝加工して最外列の
スライダに関するレール部を形成する工程と、ウエハの
この露出した側面に、最外列のスライダを個々に切り離
すための溝を形成する工程と、スライダ支持用の粘着テ
ープをスライダ表面に付着させる工程と、この付着させ
る工程の後、ウエハの最外列を切断することによって個
々のスライダの分離切り出しを行う切断工程とを備えて
いる。
ッド装置の製造方法は、複数列で並ぶ磁気ヘッド素子を
薄膜集積技術によってウエハ上に形成する工程と、形成
された磁気ヘッド素子の最外列における磁気媒体と対向
する側の側面が露出するようにこのウエハを切断する工
程と、ウエハのこの露出した側面に溝加工して最外列の
スライダに関するレール部を形成する工程と、ウエハの
この露出した側面に、最外列のスライダを個々に切り離
すための溝を形成する工程と、スライダ支持用の粘着テ
ープをスライダ表面に付着させる工程と、この付着させ
る工程の後、ウエハの最外列を切断することによって個
々のスライダの分離切り出しを行う切断工程とを備えて
いる。
【０００９】
【００１０】
【作用】まず、セラミック材からなるウエハ上に薄膜集
積技術によって磁気ヘッド素子を形成する。この場合、
磁気ヘッド素子がウエハ面上で複数の列状に並ぶように
形成する。次いで、このように複数列に形成された磁気
ヘッド素子の最初の列の側面が露出するようにこのウエ
ハを切断する。ただしこの露出する側面は、個々のスラ
イダに切り離した場合に磁気媒体と対向する面、即ち浮
上面（ＡＢＳ面）である。次いで、ウエハのこのように
露出した側面についてレール部形成のための溝加工等の
種々の加工を行った後、個々のスライダに切り離すため
の溝をこの露出した側面から形成する。次いで、スライ
ダ支持用の粘着テープをスライダ表面に付着させる。こ
の粘着テープを付着した後、切り離し用溝を形成した
後、ウエハの最外列を切断することによって個々のスラ
イダの分離切り出しを行う。以後、この切り出しによっ
て露出したウエハ側面に同様の溝加工を行った後、次の
列のスライダの分離切り出しを行うことを繰り返す。
積技術によって磁気ヘッド素子を形成する。この場合、
磁気ヘッド素子がウエハ面上で複数の列状に並ぶように
形成する。次いで、このように複数列に形成された磁気
ヘッド素子の最初の列の側面が露出するようにこのウエ
ハを切断する。ただしこの露出する側面は、個々のスラ
イダに切り離した場合に磁気媒体と対向する面、即ち浮
上面（ＡＢＳ面）である。次いで、ウエハのこのように
露出した側面についてレール部形成のための溝加工等の
種々の加工を行った後、個々のスライダに切り離すため
の溝をこの露出した側面から形成する。次いで、スライ
ダ支持用の粘着テープをスライダ表面に付着させる。こ
の粘着テープを付着した後、切り離し用溝を形成した
後、ウエハの最外列を切断することによって個々のスラ
イダの分離切り出しを行う。以後、この切り出しによっ
て露出したウエハ側面に同様の溝加工を行った後、次の
列のスライダの分離切り出しを行うことを繰り返す。
【００１１】
【実施例】図１（Ａ）〜（Ｅ）は、本発明による磁気ヘ
ッド装置の製造方法の一実施例を示す工程図である。
ッド装置の製造方法の一実施例を示す工程図である。
【００１２】図１（Ａ）に示すごとく、まず、Ａｌ2 Ｏ
3 −ＴｉＣ等のセラミック材によるウエハ１０上に薄膜
集積技術によって多数の磁気ヘッド素子１１を複数列で
並ぶように形成する。次いで、複数のバーに切断するた
めの浅溝（図示なし）をこのウエハ１０上に加工形成し
た後、図１（Ｂ）に示すように、ウエハ１０全体を四角
形状に切断する。この場合、磁気ヘッド素子１１の最初
の列１２の側面１３が露出するようにこのウエハ１０を
切断する。ただしこの露出する側面１３は、ＡＢＳ面と
なる面である。ウエハの切断は、円板状のダイヤモンド
砥石によって行われる。
3 −ＴｉＣ等のセラミック材によるウエハ１０上に薄膜
集積技術によって多数の磁気ヘッド素子１１を複数列で
並ぶように形成する。次いで、複数のバーに切断するた
めの浅溝（図示なし）をこのウエハ１０上に加工形成し
た後、図１（Ｂ）に示すように、ウエハ１０全体を四角
形状に切断する。この場合、磁気ヘッド素子１１の最初
の列１２の側面１３が露出するようにこのウエハ１０を
切断する。ただしこの露出する側面１３は、ＡＢＳ面と
なる面である。ウエハの切断は、円板状のダイヤモンド
砥石によって行われる。
【００１３】次に、図１（Ｃ）に示すように、ウエハ１
０の最初の列１２の露出側面１３について、このウエハ
状態で溝加工等を行う。この加工工程では、まず、ＡＢ
Ｓ面１３表面の研削が行われ、スロートハイト調整がな
される。次いで、ＡＢＳ面１３側から溝１４の加工が行
われ、レール部１５等が形成される。
０の最初の列１２の露出側面１３について、このウエハ
状態で溝加工等を行う。この加工工程では、まず、ＡＢ
Ｓ面１３表面の研削が行われ、スロートハイト調整がな
される。次いで、ＡＢＳ面１３側から溝１４の加工が行
われ、レール部１５等が形成される。
【００１４】次いで、レール部１５のＡＢＳ面の研磨
（ポリシング）が行われた後、図１（Ｄ）に示すよう
に、最初の列１２を個々のスライダに切り離すための溝
１６をこの露出した側面１３側から形成する。
（ポリシング）が行われた後、図１（Ｄ）に示すよう
に、最初の列１２を個々のスライダに切り離すための溝
１６をこの露出した側面１３側から形成する。
【００１５】次に、図示されてないが、切り離されたス
ライダがばらばらにならないようにスライダ支持用の粘
着テープを側面１３の表面に付着させる。
ライダがばらばらにならないようにスライダ支持用の粘
着テープを側面１３の表面に付着させる。
【００１６】次いで、図１（Ｄ）の破線１７に沿ってウ
エハ１０の切断を行い、最初の列１２に対応する個々の
スライダ１８を切り出す。図１（Ｅ）はこのように切り
出して得られた個々のスライダ１８を示している。
エハ１０の切断を行い、最初の列１２に対応する個々の
スライダ１８を切り出す。図１（Ｅ）はこのように切り
出して得られた個々のスライダ１８を示している。
【００１７】この切断によって露出したウエハ側面につ
いて、図１（Ｃ）の場合と同様に次の列１９に対応する
スライダの溝加工等を行い、図１（Ｄ）の場合と同様に
切り離すための溝１６を形成した後、ウエハ１０の切断
を行ってその列に対応する個々のスライダ１８を切り出
す。以下同様の繰り返しを行って全ての列についてスラ
イダの形成及び切り出しを行う。
いて、図１（Ｃ）の場合と同様に次の列１９に対応する
スライダの溝加工等を行い、図１（Ｄ）の場合と同様に
切り離すための溝１６を形成した後、ウエハ１０の切断
を行ってその列に対応する個々のスライダ１８を切り出
す。以下同様の繰り返しを行って全ての列についてスラ
イダの形成及び切り出しを行う。
【００１８】このように、ウエハ１０から切断する前に
スライダの全ての加工が行われるため、対変形剛性が極
めて高くなり、バーへの切断及び治具への接着時に従来
生じていた変形歪がほとんど生じないこととなる。その
結果、スロートハイトの基準位置の精度は、ウエハ状態
における高い精度のままに維持されることとなる。しか
もこの方法は、加工用治具への接着等の工程もないた
め、工程数がその分少なくなり、生産性が向上する。
スライダの全ての加工が行われるため、対変形剛性が極
めて高くなり、バーへの切断及び治具への接着時に従来
生じていた変形歪がほとんど生じないこととなる。その
結果、スロートハイトの基準位置の精度は、ウエハ状態
における高い精度のままに維持されることとなる。しか
もこの方法は、加工用治具への接着等の工程もないた
め、工程数がその分少なくなり、生産性が向上する。
【００１９】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、複数列で並ぶ磁気ヘッド素子を薄膜集積技術によっ
てウエハ上に形成する工程と、形成された磁気ヘッド素
子の最外列における磁気媒体と対向する側の側面が露出
するようにこのウエハを切断する工程と、ウエハのこの
露出した側面に溝加工して最外列のスライダに関するレ
ール部を形成する工程と、ウエハのこの露出した側面
に、最外列のスライダを個々に切り離すための溝を形成
する工程と、スライダ支持用の粘着テープをスライダ表
面に付着させる工程と、この付着させる工程の後、ウエ
ハの最外列を切断することによって個々のスライダの分
離切り出しを行う切断工程とを備えているため、ウエハ
からの切断を行う際及びバーと治具との接着の際に生じ
る可能性のある変形歪をほぼ防ぐことができる。その結
果、スロートハイトの精度をウエハ状態における高い精
度のままに維持することができる。また、そのための工
程数も低減することができる。しかも、切断工程の前
に、スライダ支持用の粘着テープをスライダ表面に付着
させているので、切り離されたスライダがばらばらにな
らない。
ば、複数列で並ぶ磁気ヘッド素子を薄膜集積技術によっ
てウエハ上に形成する工程と、形成された磁気ヘッド素
子の最外列における磁気媒体と対向する側の側面が露出
するようにこのウエハを切断する工程と、ウエハのこの
露出した側面に溝加工して最外列のスライダに関するレ
ール部を形成する工程と、ウエハのこの露出した側面
に、最外列のスライダを個々に切り離すための溝を形成
する工程と、スライダ支持用の粘着テープをスライダ表
面に付着させる工程と、この付着させる工程の後、ウエ
ハの最外列を切断することによって個々のスライダの分
離切り出しを行う切断工程とを備えているため、ウエハ
からの切断を行う際及びバーと治具との接着の際に生じ
る可能性のある変形歪をほぼ防ぐことができる。その結
果、スロートハイトの精度をウエハ状態における高い精
度のままに維持することができる。また、そのための工
程数も低減することができる。しかも、切断工程の前
に、スライダ支持用の粘着テープをスライダ表面に付着
させているので、切り離されたスライダがばらばらにな
らない。
【００２０】ウエハからの切断に伴うバーの変形の発生
をほぼ抑えることができるため、線記録密度の向上や高
周波数化に伴ってスロートハイトの誤差の許容範囲がま
すます小さくなっても容易に対応可能であり、ＭＲ−イ
ンダクティブヘッドにも対応することができる。
をほぼ抑えることができるため、線記録密度の向上や高
周波数化に伴ってスロートハイトの誤差の許容範囲がま
すます小さくなっても容易に対応可能であり、ＭＲ−イ
ンダクティブヘッドにも対応することができる。
【図１】本発明による製造方法の一実施例における工程
の一部を示す斜視図である。
の一部を示す斜視図である。
１０ ウエハ １１ 磁気ヘッド素子 １２ 最初の列 １３ 露出側面 １４ 溝 １５ レール部 １６ 切り離し用溝 １７ 切断する線 １８ スライダ １９ 次の列
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/60 G11B 5/31 G11B 5/39 G11B 21/21 101
Claims (1)
- 【請求項１】 複数列で並ぶ磁気ヘッド素子を薄膜集積
技術によってウエハ上に形成する工程と、形成された磁
気ヘッド素子の最外列における磁気媒体と対向する側の
側面が露出するように前記ウエハを切断する工程と、ウ
エハの前記露出した側面に溝加工して前記最外列のスラ
イダに関するレール部を形成する工程と、ウエハの前記
露出した側面に、最外列のスライダを個々に切り離すた
めの溝を形成する工程と、該スライダ支持用の粘着テー
プを該スライダ表面に付着させる工程と、該付着させる
工程の後、ウエハの最外列を切断することによって個々
のスライダの分離切り出しを行う切断工程とを備えたこ
とを特徴とする磁気ヘッド装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15259793A JP3271375B2 (ja) | 1993-06-01 | 1993-06-01 | 磁気ヘッド装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15259793A JP3271375B2 (ja) | 1993-06-01 | 1993-06-01 | 磁気ヘッド装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06349040A JPH06349040A (ja) | 1994-12-22 |
| JP3271375B2 true JP3271375B2 (ja) | 2002-04-02 |
Family
ID=15543907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15259793A Expired - Fee Related JP3271375B2 (ja) | 1993-06-01 | 1993-06-01 | 磁気ヘッド装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3271375B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11316928A (ja) | 1998-05-06 | 1999-11-16 | Tdk Corp | スライダの製造方法および装置 |
-
1993
- 1993-06-01 JP JP15259793A patent/JP3271375B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06349040A (ja) | 1994-12-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20011225 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090125 Year of fee payment: 7 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |