JPH06243425A - 複合型磁気ヘッド - Google Patents
複合型磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH06243425A JPH06243425A JP3157093A JP3157093A JPH06243425A JP H06243425 A JPH06243425 A JP H06243425A JP 3157093 A JP3157093 A JP 3157093A JP 3157093 A JP3157093 A JP 3157093A JP H06243425 A JPH06243425 A JP H06243425A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- magnetic head
- head
- film magnetic
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明はウエハー上に形成するヘッド素子の数
を多くしてヘッド１個当たりのコストを下げることを目
的としている。 【構成】本発明では切り離した薄膜ヘッド素子とスライ
ダー材とをガラス接着、あるいは樹脂接着等の方法で接
合させる、いわゆる複合型ヘッド構成とした。 【効果】素子１個当たりのコストを下げることができ
る。１例として７０％スライダー（マイクロスライダ
ー）の場合、本発明によれば従来に比べ１ウエハーから
切り出せるヘッド素子の数は少なくとも４倍になる。
を多くしてヘッド１個当たりのコストを下げることを目
的としている。 【構成】本発明では切り離した薄膜ヘッド素子とスライ
ダー材とをガラス接着、あるいは樹脂接着等の方法で接
合させる、いわゆる複合型ヘッド構成とした。 【効果】素子１個当たりのコストを下げることができ
る。１例として７０％スライダー（マイクロスライダ
ー）の場合、本発明によれば従来に比べ１ウエハーから
切り出せるヘッド素子の数は少なくとも４倍になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はハードディスク装置に用
いられる浮上型複合磁気ヘッドに関する。
いられる浮上型複合磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の薄膜磁気ヘッドの製造方法は、非
磁性材からなるウエハー上にスパッタリング、蒸着、メ
ッキ等の成膜技術及びイオンミリング等の加工技術を用
いて複数個のヘッド素子を一括形成した後、機械加工で
各ヘッド素子を切離し、ウエハーそのものを加工してレ
ールを形成したり、空気の流入端にテーパーをつけたり
してスライダー化する、いわゆるモノリシック構造であ
った。図６に特開昭６２−７３４１０号公報記載のスラ
イダーに加工した後の薄膜磁気ヘッドの形状を示す。１
Ａ及び１Ｂが薄膜磁気ヘッド素子、２がレ−ル、３が空
気流入端に設けられたテーパーである。またｗはスライ
ダー幅、ｈはスライダー高さ、ｔはスライダーの奥行き
を表している。図に示すように薄膜磁気ヘッド素子は１
スライダーに２個形成されているが、実際に読み書き素
子として使用されるのはそのうちの片方のみである。従
ってウエハー上では少なくともスライダー幅（ｗ)×ス
ライダー高さ(ｈ)の面積内にヘッド素子は１個しか形成
できないことになる。
磁性材からなるウエハー上にスパッタリング、蒸着、メ
ッキ等の成膜技術及びイオンミリング等の加工技術を用
いて複数個のヘッド素子を一括形成した後、機械加工で
各ヘッド素子を切離し、ウエハーそのものを加工してレ
ールを形成したり、空気の流入端にテーパーをつけたり
してスライダー化する、いわゆるモノリシック構造であ
った。図６に特開昭６２−７３４１０号公報記載のスラ
イダーに加工した後の薄膜磁気ヘッドの形状を示す。１
Ａ及び１Ｂが薄膜磁気ヘッド素子、２がレ−ル、３が空
気流入端に設けられたテーパーである。またｗはスライ
ダー幅、ｈはスライダー高さ、ｔはスライダーの奥行き
を表している。図に示すように薄膜磁気ヘッド素子は１
スライダーに２個形成されているが、実際に読み書き素
子として使用されるのはそのうちの片方のみである。従
ってウエハー上では少なくともスライダー幅（ｗ)×ス
ライダー高さ(ｈ)の面積内にヘッド素子は１個しか形成
できないことになる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ヘッド素子はウエハー
上に一括形成されるため形成する素子数が多いほどヘッ
ド素子一個当たりの単価は下がる。しかし上記従来例に
よると、ウエハー上ではスライダー幅（ｗ)×スライダ
ー高さ(ｈ)の面積内にヘッド素子は１個しか形成できな
いため、一枚のウエハー上に形成できるヘッド素子数が
制限され、コスト低減には限界があった。
上に一括形成されるため形成する素子数が多いほどヘッ
ド素子一個当たりの単価は下がる。しかし上記従来例に
よると、ウエハー上ではスライダー幅（ｗ)×スライダ
ー高さ(ｈ)の面積内にヘッド素子は１個しか形成できな
いため、一枚のウエハー上に形成できるヘッド素子数が
制限され、コスト低減には限界があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明ではウエハー上の薄膜磁気ヘッドを切り離し
た後、非磁性材からなるスライダーに設けられたスリッ
トに差し込み、例えばガラス接合等の方法で薄膜磁気ヘ
ッドをスリット部内に固定したものである。
に、本発明ではウエハー上の薄膜磁気ヘッドを切り離し
た後、非磁性材からなるスライダーに設けられたスリッ
トに差し込み、例えばガラス接合等の方法で薄膜磁気ヘ
ッドをスリット部内に固定したものである。
【０００５】また薄膜磁気ヘッドを切り離した後、ヘッ
ドをスライダーの端面に貼付けたものである。
ドをスライダーの端面に貼付けたものである。
【０００６】また切り離した薄膜磁気ヘッドのブロック
と非磁性材からなる複数個のブロックを接合してスライ
ダーとしたものである。
と非磁性材からなる複数個のブロックを接合してスライ
ダーとしたものである。
【０００７】
【作用】上記発明によればウエハー上の薄膜磁気ヘッド
の配置密度をスライダーの高さ及び幅に無関係に設定す
ることができるため、一枚のウエハーから多数のヘッド
素子を切り出すことができ、ヘッド素子１個当たりのコ
ストを低減することができる。
の配置密度をスライダーの高さ及び幅に無関係に設定す
ることができるため、一枚のウエハーから多数のヘッド
素子を切り出すことができ、ヘッド素子１個当たりのコ
ストを低減することができる。
【０００８】
【実施例】本発明の第一の実施例を図１、図２及び図３
を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例によ
る薄膜磁気ヘッドで、ヘッド素子形成後に機械加工で切
り離した状態である。ｗ’はヘッド幅、ｈ’はヘッド高
さである。図２はスライダーの斜視図である。図３のス
ライダー４において２はレール、５はレールの片側に設
けられたスリット、１はスリット部５に埋設された薄膜
磁気ヘッド、６は薄膜磁気ヘッド１を固定するガラスで
ある。またｗはスライダー幅、ｈはスライダー高さ、ｔ
はスライダー奥行きである。なお、スライダー４として
はＣａＴiＯ3等の非磁性セラミクスを用いるのが好まし
い。また、図３はヘッド素子を切り離す前のウエハー状
態の薄膜磁気ヘッドである。（ａ）が本発明の薄膜磁気
ヘッド、（ｂ）が従来の薄膜磁気ヘッドである。従来は
ウエハーから切り出したヘッド素子をそのままスライダ
ー形状に加工するモノリシック構造であったため、ヘッ
ド素子を２個（ただし実際に使用するのは１個のみ）当
たりのウエハー上の占有面積はスライダー幅（ｗ）×ス
ライダー高さ（ｈ）となる。しかし本発明の薄膜磁気ヘ
ッドによれば、ヘッド１個当たりのウエハー上の占有面
積はｗ’×ｈとなる。７０％スライダー（マイクロスラ
イダー）を例にとって両者の面積を比較すると、従来は
を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例によ
る薄膜磁気ヘッドで、ヘッド素子形成後に機械加工で切
り離した状態である。ｗ’はヘッド幅、ｈ’はヘッド高
さである。図２はスライダーの斜視図である。図３のス
ライダー４において２はレール、５はレールの片側に設
けられたスリット、１はスリット部５に埋設された薄膜
磁気ヘッド、６は薄膜磁気ヘッド１を固定するガラスで
ある。またｗはスライダー幅、ｈはスライダー高さ、ｔ
はスライダー奥行きである。なお、スライダー４として
はＣａＴiＯ3等の非磁性セラミクスを用いるのが好まし
い。また、図３はヘッド素子を切り離す前のウエハー状
態の薄膜磁気ヘッドである。（ａ）が本発明の薄膜磁気
ヘッド、（ｂ）が従来の薄膜磁気ヘッドである。従来は
ウエハーから切り出したヘッド素子をそのままスライダ
ー形状に加工するモノリシック構造であったため、ヘッ
ド素子を２個（ただし実際に使用するのは１個のみ）当
たりのウエハー上の占有面積はスライダー幅（ｗ）×ス
ライダー高さ（ｈ）となる。しかし本発明の薄膜磁気ヘ
ッドによれば、ヘッド１個当たりのウエハー上の占有面
積はｗ’×ｈとなる。７０％スライダー（マイクロスラ
イダー）を例にとって両者の面積を比較すると、従来は
【０００９】
【数１】 ｗ（２．２ｍｍ）×ｈ（０．６１ｍｍ）＝１．３ｍｍ2 本発明の場合ヘッド幅ｗ’を０．５ｍｍとすると
【００１０】
【数２】 ｗ’（０．５ｍｍ）×ｈ（０．６１ｍｍ）＝０．３ｍｍ2 となり、本発明の方が占有面積が約１／４となる。つま
り従来に比べて４倍の素子取りが可能となる。
り従来に比べて４倍の素子取りが可能となる。
【００１１】本発明の第二の実施例を図４を用いて説明
する。本実施例では、スライダー７の端部に薄膜ヘッド
１を貼り付ける構造となっている。この時のヘッド１個
当たりの占有面積は上記第１の実施例と同じであるか
ら、素子取りに関しては上記第１の実施例と同じ改善が
期待できる。さらに薄膜ヘッド１はスライダー７と片面
でにみ接合されるので上記第１の実施例に比べて薄膜ヘ
ッド１に加わる応力は小さく、応力によるヘッド性能の
劣化が改善される。
する。本実施例では、スライダー７の端部に薄膜ヘッド
１を貼り付ける構造となっている。この時のヘッド１個
当たりの占有面積は上記第１の実施例と同じであるか
ら、素子取りに関しては上記第１の実施例と同じ改善が
期待できる。さらに薄膜ヘッド１はスライダー７と片面
でにみ接合されるので上記第１の実施例に比べて薄膜ヘ
ッド１に加わる応力は小さく、応力によるヘッド性能の
劣化が改善される。
【００１２】本発明の第三の実施例を図５を用いて説明
する。本実施例ではスライダーはウエハーから切りだし
た薄膜ヘッドブロック１と他に少なくとも２つのブロッ
ク８，９を接合したものである。本実施例によれば素子
取りは上記第一、第二の実施例と同じである。浮上特性
を考えて、ブロック８の材料は薄膜ヘッド基板と同じ材
料が望ましい。
する。本実施例ではスライダーはウエハーから切りだし
た薄膜ヘッドブロック１と他に少なくとも２つのブロッ
ク８，９を接合したものである。本実施例によれば素子
取りは上記第一、第二の実施例と同じである。浮上特性
を考えて、ブロック８の材料は薄膜ヘッド基板と同じ材
料が望ましい。
【００１３】
【発明の効果】本発明によればウエハーから切り出せる
薄膜ヘッドの数が従来に比べて多くなるのでヘッド１個
あたりの製造コストが下がる。
薄膜ヘッドの数が従来に比べて多くなるのでヘッド１個
あたりの製造コストが下がる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施例の薄膜磁気ヘッドを示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】本発明の第一の実施例のスライダーを示す斜視
図である。
図である。
【図３】本発明の第一の実施例のウエハー状態の薄膜磁
気ヘッドを示す平面図である。
気ヘッドを示す平面図である。
【図４】本発明の第二の実施例のスライダーを示す斜視
図である。
図である。
【図５】本発明の第三の実施例のスライダーを示す斜視
図である。
図である。
【図６】従来例のスライダーを示す斜視図である。
１…薄膜磁気ヘッド、２…レ−ル、３…空気流入端テー
パー部、４…スライダー、５…スリット、６…ヘッド固
定ガラス、７，８，９…スライダーブロック。
パー部、４…スライダー、５…スリット、６…ヘッド固
定ガラス、７，８，９…スライダーブロック。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小西 捷雄 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所映像メディア研究所内 (72)発明者 後藤 良 栃木県真岡市松山町18番地日立金属株式会 社電子部品工場内
Claims (3)
- 【請求項１】薄膜磁気ヘッド素子が形成された基板と非
磁性材からなるスライダーを接合してなることを特徴と
する複合型磁気ヘッド。 - 【請求項２】請求項１記載の複合型磁気ヘッドにおい
て、前記スライダーはスリットを有し前記薄膜磁気ヘッ
ド素子が形成された基板をスリット部内に接合固定した
ことを特徴とする複合型磁気ヘッド。 - 【請求項３】請求項１記載の複合型磁気ヘッドにおい
て、前記薄膜磁気ヘッド素子が形成された基板を前記ス
ライダーの端面に接合したことを特徴とする複合型磁気
ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3157093A JPH06243425A (ja) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | 複合型磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3157093A JPH06243425A (ja) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | 複合型磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06243425A true JPH06243425A (ja) | 1994-09-02 |
Family
ID=12334842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3157093A Pending JPH06243425A (ja) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | 複合型磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06243425A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10210889B1 (en) * | 2017-09-29 | 2019-02-19 | Seagate Technology Llc | Monolithically-integrated hybridized slider electronics for magnetic read/write |
-
1993
- 1993-02-22 JP JP3157093A patent/JPH06243425A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10210889B1 (en) * | 2017-09-29 | 2019-02-19 | Seagate Technology Llc | Monolithically-integrated hybridized slider electronics for magnetic read/write |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0099831B1 (en) | Magnetic head for perpendicular recording media | |
| US5072322A (en) | Monolithic ferrite recording head with glass-protected, self-aligned, machined track | |
| US6606219B2 (en) | Magnetic tape head including a transducer cluster and a block fixed to a u-shaped frame having a ridge | |
| US4899241A (en) | Method of manufacturing a magnetic head having a thin film in a portion of its core | |
| JPH06243425A (ja) | 複合型磁気ヘッド | |
| JPH0312081A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| EP0108152A1 (en) | Narrow-track composite digital magnetic head | |
| JP2986502B2 (ja) | 浮上式スライダ | |
| JP3271375B2 (ja) | 磁気ヘッド装置の製造方法 | |
| JPH02257411A (ja) | 複合型薄膜磁気ヘッドとその製造方法 | |
| JP3252583B2 (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0719349B2 (ja) | 磁気ヘツド．コアスライダの製造方法 | |
| JPH02240818A (ja) | 浮動型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2554359B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JP2810820B2 (ja) | 磁気ヘッド及び磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0863711A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH05347008A (ja) | 垂直記録再生磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH01260606A (ja) | 浮動型磁気ヘッド | |
| JPH04167279A (ja) | 浮上型磁気ヘッド | |
| JPH05266410A (ja) | 垂直型磁気ヘッド | |
| JPH07192241A (ja) | 浮上型磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH04219610A (ja) | 磁気ヘッド支持機構の製造方法 | |
| JPH09212825A (ja) | 浮上型磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS61250811A (ja) | 磁気ヘツドのバツクコア及びその製造方法 | |
| JPH07249211A (ja) | 複合型磁気ヘッド用ハウジング |