JPH07192241A - 浮上型磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
浮上型磁気ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH07192241A JPH07192241A JP34995993A JP34995993A JPH07192241A JP H07192241 A JPH07192241 A JP H07192241A JP 34995993 A JP34995993 A JP 34995993A JP 34995993 A JP34995993 A JP 34995993A JP H07192241 A JPH07192241 A JP H07192241A
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 スライダのＡＢＳ面におけるモールドガラス
の露出面積を減少させ、ＣＳＳ特性の向上を図ることが
できると共に、磁気ヘッドの特性に重要な影響を及ぼす
ギャップ深さの観察を直接に且つ良好に行なうことので
きる、ヘッドコアとして薄膜積層コアを使用したコンポ
ジットタイプの浮上型磁気ヘッド及びその製造方法を提
供する。 【構成】 基板１１、１６上に磁性薄膜１４を積層して
形成された一対のコア半体ブロック１８、１９にて構成
されたヘッドコア１を、スライダ２の一つの端面に形成
された凹所５にガラス層Ｍを介して一体に接合して構成
される浮上型磁気ヘッドにおいて、ヘッドコア１の一方
の側面が外部に露出している。
の露出面積を減少させ、ＣＳＳ特性の向上を図ることが
できると共に、磁気ヘッドの特性に重要な影響を及ぼす
ギャップ深さの観察を直接に且つ良好に行なうことので
きる、ヘッドコアとして薄膜積層コアを使用したコンポ
ジットタイプの浮上型磁気ヘッド及びその製造方法を提
供する。 【構成】 基板１１、１６上に磁性薄膜１４を積層して
形成された一対のコア半体ブロック１８、１９にて構成
されたヘッドコア１を、スライダ２の一つの端面に形成
された凹所５にガラス層Ｍを介して一体に接合して構成
される浮上型磁気ヘッドにおいて、ヘッドコア１の一方
の側面が外部に露出している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置に使
用される浮上型磁気ヘッドの技術に関するものであり、
特に、ヘッドコア（ヘッドチップ）として薄膜積層コア
を使用したコンポジットタイプの浮上型磁気ヘッド及び
その製造方法に関するものである。
用される浮上型磁気ヘッドの技術に関するものであり、
特に、ヘッドコア（ヘッドチップ）として薄膜積層コア
を使用したコンポジットタイプの浮上型磁気ヘッド及び
その製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＶＴＲに用いられ、高密度記録が
達成でき、且つ狭トラック化が可能な薄膜積層コア、即
ち、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金（センダスト）、アモルファ
ス磁性体、窒化鉄などからなる磁性薄膜を基板上に積層
することによって作製された薄膜積層コアをヘッドコア
として用いた薄膜積層型コンポジットタイプの浮上型磁
気ヘッドが注目されている。
達成でき、且つ狭トラック化が可能な薄膜積層コア、即
ち、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金（センダスト）、アモルファ
ス磁性体、窒化鉄などからなる磁性薄膜を基板上に積層
することによって作製された薄膜積層コアをヘッドコア
として用いた薄膜積層型コンポジットタイプの浮上型磁
気ヘッドが注目されている。
【０００３】薄膜積層型コンポジットタイプの浮上型磁
気ヘッドは、本出願人の出願に係る特開平３−２７８３
０６号公報に記載され、又本願添付の図９及び図１０に
図示するように、例えば単体のセラミックスを切削及び
研削することにより形成されたセラミックスライダ２の
所定溝状凹所５にヘッドコア１を組込み、モールドガラ
スにより固着して作製されている。
気ヘッドは、本出願人の出願に係る特開平３−２７８３
０６号公報に記載され、又本願添付の図９及び図１０に
図示するように、例えば単体のセラミックスを切削及び
研削することにより形成されたセラミックスライダ２の
所定溝状凹所５にヘッドコア１を組込み、モールドガラ
スにより固着して作製されている。
【０００４】又、このような薄膜積層型コンポジットタ
イプの浮上型磁気ヘッドによれば、図示されるように、
トラック幅を磁性合金膜１４の厚みで規定し、その両側
をセラミックス１１、１６で補強することにより、スラ
イダ２にヘッドコア１を接合する際のモールドガラスＭ
ａ、Ｍｂ、Ｍｃの層厚みを大幅に減少させることがで
き、例えば２０μｍ以下、更には１０μｍ以下にするこ
とにより、ＡＢＳ面４へのモールドガラスの露出面積を
大巾に低減し、ＣＳＳ特性を著しく改善することがで
き、全体として信頼性のあるコンポジットヘッドを実現
することができる。
イプの浮上型磁気ヘッドによれば、図示されるように、
トラック幅を磁性合金膜１４の厚みで規定し、その両側
をセラミックス１１、１６で補強することにより、スラ
イダ２にヘッドコア１を接合する際のモールドガラスＭ
ａ、Ｍｂ、Ｍｃの層厚みを大幅に減少させることがで
き、例えば２０μｍ以下、更には１０μｍ以下にするこ
とにより、ＡＢＳ面４へのモールドガラスの露出面積を
大巾に低減し、ＣＳＳ特性を著しく改善することがで
き、全体として信頼性のあるコンポジットヘッドを実現
することができる。
【０００５】しかしながら、このような薄膜積層型コン
ポジットタイプの浮上型磁気ヘッドにおいても、更に、
ＡＢＳ面４へのモールドガラスの露出面積の低減、即
ち、ＣＳＳ特性の向上が望まれている。
ポジットタイプの浮上型磁気ヘッドにおいても、更に、
ＡＢＳ面４へのモールドガラスの露出面積の低減、即
ち、ＣＳＳ特性の向上が望まれている。
【０００６】本出願人は、この要望に応えるべく、特開
平４−２２１４１５号公報及び特開平４−２２１４１６
号公報に記載され、本願添付の図１１に図示するよう
に、ヘッドコア１の一つの側面とスライダ２の凹所とを
接合するガラス層の一部が、スライダ２のＡＢＳ面４の
外側に形成されたエッジ溝部１００に位置する構成とす
るコンポジットタイプの浮上型磁気ヘッドを提案した。
平４−２２１４１５号公報及び特開平４−２２１４１６
号公報に記載され、本願添付の図１１に図示するよう
に、ヘッドコア１の一つの側面とスライダ２の凹所とを
接合するガラス層の一部が、スライダ２のＡＢＳ面４の
外側に形成されたエッジ溝部１００に位置する構成とす
るコンポジットタイプの浮上型磁気ヘッドを提案した。
【０００７】斯かる構成の浮上型磁気ヘッドは、スライ
ダ２のＡＢＳ面４におけるモールドガラスの露出面積を
減少させ、ＣＳＳ特性の向上を図ることができ、又、磁
気ヘッドの特性に重要な影響を及ぼすギャップ深さ２１
ａ及びアペックス部ｍa などを直接観察することがで
き、極めて有効なものである。
ダ２のＡＢＳ面４におけるモールドガラスの露出面積を
減少させ、ＣＳＳ特性の向上を図ることができ、又、磁
気ヘッドの特性に重要な影響を及ぼすギャップ深さ２１
ａ及びアペックス部ｍa などを直接観察することがで
き、極めて有効なものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな浮上型磁気ヘッドは、上記利点を有する一方、エッ
ジ溝部１００を形成するべく磁気ヘッドの端縁部を研削
加工することが必須とされ、この研削加工時に角部が欠
け、歩留りの低下をもたらすことがあった。
うな浮上型磁気ヘッドは、上記利点を有する一方、エッ
ジ溝部１００を形成するべく磁気ヘッドの端縁部を研削
加工することが必須とされ、この研削加工時に角部が欠
け、歩留りの低下をもたらすことがあった。
【０００９】又、ギャップ深さ２１ａを一応直接観察す
ることはできるが、鮮明には見難いという問題があっ
た。更に、一般に、研削加工は、砥石のような固定砥粒
が用いられ、そのために砥粒径の小さいものを使用して
も面粗さＲmax は高々０．１μｍ程度であり、研削加工
されたヘッドコアの外側面では、アペックス部を鮮明に
は観察し難いという問題がある。
ることはできるが、鮮明には見難いという問題があっ
た。更に、一般に、研削加工は、砥石のような固定砥粒
が用いられ、そのために砥粒径の小さいものを使用して
も面粗さＲmax は高々０．１μｍ程度であり、研削加工
されたヘッドコアの外側面では、アペックス部を鮮明に
は観察し難いという問題がある。
【００１０】従って、本発明の目的は、スライダのＡＢ
Ｓ面におけるモールドガラスの露出面積を減少させ、Ｃ
ＳＳ特性の向上を図ることができると共に、磁気ヘッド
の特性に重要な影響を及ぼすギャップ深さの観察を直接
に且つ良好に行なうことのできる、ヘッドコアとして薄
膜積層コアを使用したコンポジットタイプの浮上型磁気
ヘッド及びその製造方法を提供することである。
Ｓ面におけるモールドガラスの露出面積を減少させ、Ｃ
ＳＳ特性の向上を図ることができると共に、磁気ヘッド
の特性に重要な影響を及ぼすギャップ深さの観察を直接
に且つ良好に行なうことのできる、ヘッドコアとして薄
膜積層コアを使用したコンポジットタイプの浮上型磁気
ヘッド及びその製造方法を提供することである。
【００１１】本発明の他の目的は、歩留りの低下を防止
し、効率よく製造することのできる、ヘッドコアとして
薄膜積層コアを使用したコンポジットタイプの浮上型磁
気ヘッド及びその製造方法を提供することである。
し、効率よく製造することのできる、ヘッドコアとして
薄膜積層コアを使用したコンポジットタイプの浮上型磁
気ヘッド及びその製造方法を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記諸目的は本発明に係
る浮上型磁気ヘッドにて達成される。要約すれば、本発
明は、基板上に磁性薄膜を積層して形成された一対のコ
ア半体ブロックにて構成されたヘッドコアを、スライダ
の一つの端面に形成された凹所にガラス層を介して一体
に接合して構成される浮上型磁気ヘッドにおいて、前記
ヘッドコアの外側面が露出していることを特徴とする浮
上型磁気ヘッドである。
る浮上型磁気ヘッドにて達成される。要約すれば、本発
明は、基板上に磁性薄膜を積層して形成された一対のコ
ア半体ブロックにて構成されたヘッドコアを、スライダ
の一つの端面に形成された凹所にガラス層を介して一体
に接合して構成される浮上型磁気ヘッドにおいて、前記
ヘッドコアの外側面が露出していることを特徴とする浮
上型磁気ヘッドである。
【００１３】斯かる浮上型磁気ヘッドは、基板上に磁性
薄膜を積層して形成された一対のコア半体ブロックにて
構成されたヘッドコアを、スライダの一つの端面に形成
された凹所にガラス層を介して一体に接合した後、ヘッ
ドコアの外側面が露出するまで、前記スライダの端面を
研摩加工し、次いで、ＡＢＳ面を加工することを特徴と
する製造方法にて好適に製造される。
薄膜を積層して形成された一対のコア半体ブロックにて
構成されたヘッドコアを、スライダの一つの端面に形成
された凹所にガラス層を介して一体に接合した後、ヘッ
ドコアの外側面が露出するまで、前記スライダの端面を
研摩加工し、次いで、ＡＢＳ面を加工することを特徴と
する製造方法にて好適に製造される。
【００１４】
【実施例】次に、本発明に係る浮上型磁気ヘッド及びそ
の製造方法を図面に則して更に詳しく説明する。
の製造方法を図面に則して更に詳しく説明する。
【００１５】図１を参照すると、本発明に従って構成さ
れるコンポジットタイプの浮上型磁気ヘッドの一実施例
が図示される。図１には、スライダ２と、該スライダ２
に一体に接合されたヘッドコア（ヘッドチップ）１とが
図示されるが、本実施例の浮上型磁気ヘッドも又、従来
と同様に、板バネ支持機構（図示せず）を介して磁気デ
ィスク装置本体のアクチュエータ（図示せず）に接続さ
れる。
れるコンポジットタイプの浮上型磁気ヘッドの一実施例
が図示される。図１には、スライダ２と、該スライダ２
に一体に接合されたヘッドコア（ヘッドチップ）１とが
図示されるが、本実施例の浮上型磁気ヘッドも又、従来
と同様に、板バネ支持機構（図示せず）を介して磁気デ
ィスク装置本体のアクチュエータ（図示せず）に接続さ
れる。
【００１６】更に説明すると、本実施例にて浮上型磁気
ヘッドは、例えば非磁性の基板上に磁性薄膜を積層して
形成された一対のコア半体ブロック１８、１９にて構成
されたヘッドコア１を、スライダ２の一つの端面に形成
された凹所５にガラス層Ｍ（Ｍａ、Ｍｂ、）にて一体に
接合して構成され、しかも、ヘッドコア１の一方の側面
が外部に露出している。又、ヘッドコア１の磁性薄膜１
４はスライダ２のＡＢＳ面４に一致して位置するように
構成される。
ヘッドは、例えば非磁性の基板上に磁性薄膜を積層して
形成された一対のコア半体ブロック１８、１９にて構成
されたヘッドコア１を、スライダ２の一つの端面に形成
された凹所５にガラス層Ｍ（Ｍａ、Ｍｂ、）にて一体に
接合して構成され、しかも、ヘッドコア１の一方の側面
が外部に露出している。又、ヘッドコア１の磁性薄膜１
４はスライダ２のＡＢＳ面４に一致して位置するように
構成される。
【００１７】次に、上記構成の磁気ヘッドの製造方法に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００１８】先ず、図６を参照して、ヘッドコア１とし
て使用される、基板上に磁性薄膜を積層して構成される
薄膜積層ヘッドコア１の製造方法の一実施例を説明す
る。磁性薄膜１４としてはＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金磁性
体、アモルファス磁性体、窒化鉄などが使用されるが、
本実施例ではＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金磁性体が使用される
ものとする。
て使用される、基板上に磁性薄膜を積層して構成される
薄膜積層ヘッドコア１の製造方法の一実施例を説明す
る。磁性薄膜１４としてはＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金磁性
体、アモルファス磁性体、窒化鉄などが使用されるが、
本実施例ではＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金磁性体が使用される
ものとする。
【００１９】先ず、本実施例では、セラミックスの如き
非磁性基板１１が準備され（図６（Ａ））、該基板１１
上に、スパッタリング法によりＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金膜
１２が膜厚１〜２０μｍにて成膜される。次いで、該Ｆ
ｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金膜１２上に非磁性絶縁膜１３が膜厚
０．０３〜０．５μｍにてスパッタリング法にて形成さ
れる（図６（Ｂ））。非磁性絶縁膜１３としてはＳｉＯ
2 、Ａｌ2 Ｏ3 等が用いられる。
非磁性基板１１が準備され（図６（Ａ））、該基板１１
上に、スパッタリング法によりＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金膜
１２が膜厚１〜２０μｍにて成膜される。次いで、該Ｆ
ｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金膜１２上に非磁性絶縁膜１３が膜厚
０．０３〜０．５μｍにてスパッタリング法にて形成さ
れる（図６（Ｂ））。非磁性絶縁膜１３としてはＳｉＯ
2 、Ａｌ2 Ｏ3 等が用いられる。
【００２０】上記工程を繰返して、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ合
金膜１２と非磁性絶縁膜１３が必要回数積層され、図６
（Ｃ）に図示するように、合金磁性薄膜１４が基板１１
上に成膜される。
金膜１２と非磁性絶縁膜１３が必要回数積層され、図６
（Ｃ）に図示するように、合金磁性薄膜１４が基板１１
上に成膜される。
【００２１】次いで、合金磁性薄膜１４上に積層ガラス
１５が膜厚０．０５〜１．０μｍにてスパッタリング法
などで形成され（図６（Ｄ））、更に該積層ガラス１５
上に、先の基板１１と同じ材料にて作製された他方の非
磁性基板１６が接合されて磁気コアブロック１７が作製
される（図６（Ｅ））。積層ガラス１５としてはＳｉＯ
2 −Ａｌ2 Ｏ3 −Ｎａ2 Ｏ系のガラス或はＳｉＯ2 −Ｂ
2 Ｏ3 −Ｎａ2 Ｏ系のガラスが好適である。
１５が膜厚０．０５〜１．０μｍにてスパッタリング法
などで形成され（図６（Ｄ））、更に該積層ガラス１５
上に、先の基板１１と同じ材料にて作製された他方の非
磁性基板１６が接合されて磁気コアブロック１７が作製
される（図６（Ｅ））。積層ガラス１５としてはＳｉＯ
2 −Ａｌ2 Ｏ3 −Ｎａ2 Ｏ系のガラス或はＳｉＯ2 −Ｂ
2 Ｏ3 −Ｎａ2 Ｏ系のガラスが好適である。
【００２２】このようにして作製された磁気コアブロッ
ク１７は、図６（Ｆ）に図示されるように、積層した厚
さ方向（合金磁性薄膜に対し直角方向）に切断し、一対
のコア半体ブロツク１８、１９が形成される。
ク１７は、図６（Ｆ）に図示されるように、積層した厚
さ方向（合金磁性薄膜に対し直角方向）に切断し、一対
のコア半体ブロツク１８、１９が形成される。
【００２３】次に、図２に最も良く図示されるように、
従来法に従って、少なくとも片方のコア半体ブロック、
本実施例では両コア半体ブロック１８、１９に巻線窓溝
２０を形成した後、両コア半体ブロツク１８、１９の突
合せ面１８ａ、１９ａを研摩し、該面にＳｉＯ2 等の非
磁性のギャップスペーサー２１及び接合ガラスｍをスパ
ッタリング法などの手段にて形成し（図６（Ｆ））、そ
の後、両コア半体ブロツク１８、１９は前記接合面１８
ａ、１９ａ部において接合ガラスｍにて接着され、薄膜
積層コアからなるヘッドコア１が得られる。更に、両コ
ア半体ブロック１８、１９のアペックス部に後の機械加
工における欠けを防止する目的でアペックスガラスｍa
（図１、図２）が充填される。
従来法に従って、少なくとも片方のコア半体ブロック、
本実施例では両コア半体ブロック１８、１９に巻線窓溝
２０を形成した後、両コア半体ブロツク１８、１９の突
合せ面１８ａ、１９ａを研摩し、該面にＳｉＯ2 等の非
磁性のギャップスペーサー２１及び接合ガラスｍをスパ
ッタリング法などの手段にて形成し（図６（Ｆ））、そ
の後、両コア半体ブロツク１８、１９は前記接合面１８
ａ、１９ａ部において接合ガラスｍにて接着され、薄膜
積層コアからなるヘッドコア１が得られる。更に、両コ
ア半体ブロック１８、１９のアペックス部に後の機械加
工における欠けを防止する目的でアペックスガラスｍa
（図１、図２）が充填される。
【００２４】一方、図２に示すように、例えば、ヘッド
コア１の基板１１、１６と同じ材料のセラミックスのよ
うな非磁性材料にて形成される、断面が概略矩形状とさ
れるスライダ２を準備し、そして、前方端部２ｂの少な
くとも一方の角部に、傾斜角度θ、例えば４５°にて溝
入れを行ない、傾斜窓溝２２を形成する。この傾斜窓溝
２２は、図１を参照すると理解されるように、ヘッドコ
ア１に巻線２００を施すのを容易とするためのものであ
り、従って、傾斜窓溝２２の幅Ｈ’は、ヘッドコア１の
巻線窓溝２０の幅Ｈと大略同じ（Ｈ’≒Ｈ）とされる。
コア１の基板１１、１６と同じ材料のセラミックスのよ
うな非磁性材料にて形成される、断面が概略矩形状とさ
れるスライダ２を準備し、そして、前方端部２ｂの少な
くとも一方の角部に、傾斜角度θ、例えば４５°にて溝
入れを行ない、傾斜窓溝２２を形成する。この傾斜窓溝
２２は、図１を参照すると理解されるように、ヘッドコ
ア１に巻線２００を施すのを容易とするためのものであ
り、従って、傾斜窓溝２２の幅Ｈ’は、ヘッドコア１の
巻線窓溝２０の幅Ｈと大略同じ（Ｈ’≒Ｈ）とされる。
【００２５】次に、このスライダ２の前記傾斜窓溝２２
が形成された角部に隣接して、前記ヘッドコア１を挿入
するための溝状凹所５が、所定の幅Ｔ’にて形成され
る。この溝幅Ｔ’は、前記ヘッドコアの厚さＴより大
（Ｔ’＞Ｔ）とされる。
が形成された角部に隣接して、前記ヘッドコア１を挿入
するための溝状凹所５が、所定の幅Ｔ’にて形成され
る。この溝幅Ｔ’は、前記ヘッドコアの厚さＴより大
（Ｔ’＞Ｔ）とされる。
【００２６】次いで、図３にヘッドコア１とスライダ２
との接合態様が拡大して図示されるように、スライダ２
の溝状凹所５にヘッドコア１が装入され、モールドガラ
スＭ（Ｍａ、Ｍｂ、Ｍｃ）にて接合される。
との接合態様が拡大して図示されるように、スライダ２
の溝状凹所５にヘッドコア１が装入され、モールドガラ
スＭ（Ｍａ、Ｍｂ、Ｍｃ）にて接合される。
【００２７】このとき、図４にて理解されるように、ヘ
ッドコア１の巻線窓溝２０がスライダ２の傾斜窓溝２２
に一致するようにして接合される。
ッドコア１の巻線窓溝２０がスライダ２の傾斜窓溝２２
に一致するようにして接合される。
【００２８】その後、スライダ２の側面２ｃが、図３に
示すように、ヘッドコア１の一方の基板１１の位置とさ
れる線Ｘ−Ｘまで研摩加工される。これによって、図５
にて理解されるように、スライダ２の側面には、同一面
にて、ヘッドコア１の外側面が露出され、従って、アペ
ックスガラスｍa のアペックス部分が観察可能となり、
磁気ヘッドの性能に極めて重要な、ギャップ深さ２１ａ
を直接且つ明瞭に観察することができ、極めて有益であ
る。
示すように、ヘッドコア１の一方の基板１１の位置とさ
れる線Ｘ−Ｘまで研摩加工される。これによって、図５
にて理解されるように、スライダ２の側面には、同一面
にて、ヘッドコア１の外側面が露出され、従って、アペ
ックスガラスｍa のアペックス部分が観察可能となり、
磁気ヘッドの性能に極めて重要な、ギャップ深さ２１ａ
を直接且つ明瞭に観察することができ、極めて有益であ
る。
【００２９】更に説明すると、上述したように、一般
に、研削加工は、砥石のような固定砥粒が用いられ、そ
のために砥粒径の小さいものを使用しても面粗さＲmax
は高々０．１μｍ程度である。これに対して、本発明で
実施する、スライダ２の側面及びヘッドコア１の外側面
の研摩加工は、遊離砥粒を用いて行なうことができ、そ
のために、面粗さＲmax を数ｎｍ（０．００ｎμｍ）と
することができる。このために、本発明では、研摩加工
されたヘッドコア１の外側面では、アペックス部の形状
が鮮明に観察でき、次いで行なわれるＡＢＳ面加工時
に、ギャップ深さ２１ａを所定値にすることが容易とな
る。
に、研削加工は、砥石のような固定砥粒が用いられ、そ
のために砥粒径の小さいものを使用しても面粗さＲmax
は高々０．１μｍ程度である。これに対して、本発明で
実施する、スライダ２の側面及びヘッドコア１の外側面
の研摩加工は、遊離砥粒を用いて行なうことができ、そ
のために、面粗さＲmax を数ｎｍ（０．００ｎμｍ）と
することができる。このために、本発明では、研摩加工
されたヘッドコア１の外側面では、アペックス部の形状
が鮮明に観察でき、次いで行なわれるＡＢＳ面加工時
に、ギャップ深さ２１ａを所定値にすることが容易とな
る。
【００３０】又、本発明では次の利点がある。つまり、
図１１に示した磁気ヘッドを作製する場合には、エッジ
溝部１００を形成するために端縁部の研削加工が必須で
あり、しかも、この研削加工は砥石による加工であるた
めに、例え多数のスライダを並べて加工したとしても、
一つの砥石が加工できるのは一度に１個であり、加工効
率が悪い。これに対して、本発明によれば、多数の、例
えば数百個単位で磁気ヘッドを平面に並べて同時に研摩
加工することができ、製造効率が極めて良い。勿論、本
発明の製造方法において、スライダの角部が欠けること
はなく、歩留りも良い。
図１１に示した磁気ヘッドを作製する場合には、エッジ
溝部１００を形成するために端縁部の研削加工が必須で
あり、しかも、この研削加工は砥石による加工であるた
めに、例え多数のスライダを並べて加工したとしても、
一つの砥石が加工できるのは一度に１個であり、加工効
率が悪い。これに対して、本発明によれば、多数の、例
えば数百個単位で磁気ヘッドを平面に並べて同時に研摩
加工することができ、製造効率が極めて良い。勿論、本
発明の製造方法において、スライダの角部が欠けること
はなく、歩留りも良い。
【００３１】上記スライダ２及びヘッドコア１の外側面
研摩加工が終わると、上述したように、通常の方法に従
って、ＡＢＳ面の加工が行なわれる。
研摩加工が終わると、上述したように、通常の方法に従
って、ＡＢＳ面の加工が行なわれる。
【００３２】先ず、図４に示すように、スライダの下面
２ｄ及び上面２ａが加工されるが、下面２ｄを加工する
際には、上述のヘッドコア１の外側面研摩加工により露
出したアペックスガラスｍa のアペックス部分を観察し
た後、ヘッドコア１のアペックス高２１ｂを所定の値と
するべく、スライダの下面２ｄが線Ｚ−Ｚまで研削加工
される。次いで、通常の方法に従って、図１に図示され
るように、両端部に隣接して溝入れ加工を行ない、ＡＢ
Ｓ面４が形成される。通常、ＡＢＳ面４の幅４ｗは１０
０〜４００μｍとされる。その後、ヘッドコアのギャッ
プ深さ２１ａを所定の値（Ｄ）とするべくスライダの上
面２ａが線Ｙ−Ｙまで研摩加工される。
２ｄ及び上面２ａが加工されるが、下面２ｄを加工する
際には、上述のヘッドコア１の外側面研摩加工により露
出したアペックスガラスｍa のアペックス部分を観察し
た後、ヘッドコア１のアペックス高２１ｂを所定の値と
するべく、スライダの下面２ｄが線Ｚ−Ｚまで研削加工
される。次いで、通常の方法に従って、図１に図示され
るように、両端部に隣接して溝入れ加工を行ない、ＡＢ
Ｓ面４が形成される。通常、ＡＢＳ面４の幅４ｗは１０
０〜４００μｍとされる。その後、ヘッドコアのギャッ
プ深さ２１ａを所定の値（Ｄ）とするべくスライダの上
面２ａが線Ｙ−Ｙまで研摩加工される。
【００３３】又、ＡＢＳ面４の前は、例えば角度α＝２
０°（図５）にて斜めに切除され、傾斜面１０３の流出
端部とされ、ＡＢＳ面４の後は、例えば角度β＝３０°
（図１）にて斜めに切断され、傾斜面１０２の流入端部
とされる。
０°（図５）にて斜めに切除され、傾斜面１０３の流出
端部とされ、ＡＢＳ面４の後は、例えば角度β＝３０°
（図１）にて斜めに切断され、傾斜面１０２の流入端部
とされる。
【００３４】本発明では、ＡＢＳ面４に露出するモール
ドガラス層Ｍａ、Ｍｂの面積は、ガラスＭａ、Ｍｂの層
厚さを１０μｍ以下、例えば１〜５μｍとすることがで
きるので、０．０１２ｍｍ2 以下とすることができる。
この値は、従来の、図９及び図１０に示す薄膜積層型コ
ンポジットタイプの浮上型磁気ヘッドにて可能な最小面
積０．０２ｍｍ2 の大略１／２以下にまで低減すること
ができる。
ドガラス層Ｍａ、Ｍｂの面積は、ガラスＭａ、Ｍｂの層
厚さを１０μｍ以下、例えば１〜５μｍとすることがで
きるので、０．０１２ｍｍ2 以下とすることができる。
この値は、従来の、図９及び図１０に示す薄膜積層型コ
ンポジットタイプの浮上型磁気ヘッドにて可能な最小面
積０．０２ｍｍ2 の大略１／２以下にまで低減すること
ができる。
【００３５】又、本発明によれば、ヘッドコア１の磁性
薄膜１４は、上述のように、スライダ２の側面に近接し
てスライダ２のＡＢＳ面４に一致して位置するように構
成されるので、磁性薄膜１４を、つまり、トラック位置
を、記録特性上有利なディスク外周側を利用できるよう
にＡＢＳ面４の側面に極めて近接して設定することがで
きるという利点がある。
薄膜１４は、上述のように、スライダ２の側面に近接し
てスライダ２のＡＢＳ面４に一致して位置するように構
成されるので、磁性薄膜１４を、つまり、トラック位置
を、記録特性上有利なディスク外周側を利用できるよう
にＡＢＳ面４の側面に極めて近接して設定することがで
きるという利点がある。
【００３６】又、図１に示す実施例においては、ヘッド
コア１の内側面１ａとスライダ２の凹所５とを接合する
ガラス層Ｍａは、スライダ２のＡＢＳ面４内に位置する
ように構成されているが、例えば図７及び図８に示すよ
うに、ＡＢＳ面４を形成するべく溝入れ加工された内側
溝１０１内に位置するように構成することも可能であ
る。これによって、ＡＢＳ面４へのモールドガラスの露
出面積を更に低減し、ＣＳＳ特性をより改善することが
できる。
コア１の内側面１ａとスライダ２の凹所５とを接合する
ガラス層Ｍａは、スライダ２のＡＢＳ面４内に位置する
ように構成されているが、例えば図７及び図８に示すよ
うに、ＡＢＳ面４を形成するべく溝入れ加工された内側
溝１０１内に位置するように構成することも可能であ
る。これによって、ＡＢＳ面４へのモールドガラスの露
出面積を更に低減し、ＣＳＳ特性をより改善することが
できる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る浮上
型磁気ヘッドは、ヘッドコアの一つの側面（外側面）が
外部に露出する構成とされるので、スライダのＡＢＳ面
におけるモールドガラスの露出面積を減少させ、ＣＳＳ
特性の向上を図ることができると共に、磁気ヘッドの特
性に重要な影響を及ぼすギャップ深さを直接観察するこ
とができるという特長を有する。更に、本発明の浮上型
磁気ヘッドの製造方法によれば、多数の、例えば数百個
単位で磁気ヘッドを平面に並べて同時に研摩加工するこ
とができ、製造効率が極めて良く、又、本発明の製造方
法においては、スライダの角部が欠けたりするような加
工工程はなく、歩留りも良い。
型磁気ヘッドは、ヘッドコアの一つの側面（外側面）が
外部に露出する構成とされるので、スライダのＡＢＳ面
におけるモールドガラスの露出面積を減少させ、ＣＳＳ
特性の向上を図ることができると共に、磁気ヘッドの特
性に重要な影響を及ぼすギャップ深さを直接観察するこ
とができるという特長を有する。更に、本発明の浮上型
磁気ヘッドの製造方法によれば、多数の、例えば数百個
単位で磁気ヘッドを平面に並べて同時に研摩加工するこ
とができ、製造効率が極めて良く、又、本発明の製造方
法においては、スライダの角部が欠けたりするような加
工工程はなく、歩留りも良い。
【図１】本発明に係るコンポジットタイプの浮上型磁気
ヘッドの一実施例の斜視図である。
ヘッドの一実施例の斜視図である。
【図２】図１の型磁気ヘッドの製造方法を説明するため
の、スライダとヘッドコアの関係を示す斜視図である。
の、スライダとヘッドコアの関係を示す斜視図である。
【図３】スライダとヘッドコアの接合状態を示す拡大平
面図である。
面図である。
【図４】接合されたスライダとヘッドコアの接合状態を
示す拡大側面図である。
示す拡大側面図である。
【図５】本発明に係るコンポジットタイプの浮上型磁気
ヘッドの一部拡大側面図である。
ヘッドの一部拡大側面図である。
【図６】積層薄膜型ヘッドコアの製造方法を示す工程図
である。
である。
【図７】本発明に係るコンポジットタイプの浮上型磁気
ヘッドの他の実施例の斜視図である。
ヘッドの他の実施例の斜視図である。
【図８】図７の磁気ヘッドにおけるスライダとヘッドコ
アの接合状態を示す平面図である。
アの接合状態を示す平面図である。
【図９】従来の薄膜積層型コンポジットタイプの浮上型
磁気ヘッドの分解斜視図である。
磁気ヘッドの分解斜視図である。
【図１０】従来の薄膜積層型コンポジットタイプの浮上
型磁気ヘッドのガラスモールドの状態を説明する平面図
である。
型磁気ヘッドのガラスモールドの状態を説明する平面図
である。
【図１１】従来の薄膜積層型コンポジットタイプの浮上
型磁気ヘッドの一部拡大斜視図である。
型磁気ヘッドの一部拡大斜視図である。
１ ヘッドコア ２ スライダ ４ ＡＢＳ面 ５ 溝状凹所 １４ 積層磁性薄膜 １８、１９ コア半体ブロック ２１ ギャップ ２２ 傾斜窓溝
フロントページの続き (72)発明者 神田 実 埼玉県戸田市新曽南３丁目17番35号 株式 会社ジャパンエナジー内
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上に磁性薄膜を積層して形成された
一対のコア半体ブロックにて構成されたヘッドコアを、
スライダの一つの端面に形成された凹所にガラス層を介
して一体に接合して構成される浮上型磁気ヘッドにおい
て、前記ヘッドコアの外側面が露出していることを特徴
とする浮上型磁気ヘッド。 - 【請求項２】 基板上に磁性薄膜を積層して形成された
一対のコア半体ブロックにて構成されたヘッドコアを、
スライダの一つの端面に形成された凹所にガラス層を介
して一体に接合した後、ヘッドコアの外側面が露出する
まで、前記スライダの端面を研摩加工し、次いで、ＡＢ
Ｓ面を加工することを特徴とする浮上型磁気ヘッドの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34995993A JPH07192241A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 浮上型磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34995993A JPH07192241A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 浮上型磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07192241A true JPH07192241A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18407269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34995993A Pending JPH07192241A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 浮上型磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07192241A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6175473B1 (en) * | 1997-12-04 | 2001-01-16 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic head in which a core assembly is mounted on a rail formed on a slider |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP34995993A patent/JPH07192241A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6175473B1 (en) * | 1997-12-04 | 2001-01-16 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic head in which a core assembly is mounted on a rail formed on a slider |
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