JPH06349222A - 磁気ヘッド装置の製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH06349222A JPH06349222A JP15259693A JP15259693A JPH06349222A JP H06349222 A JPH06349222 A JP H06349222A JP 15259693 A JP15259693 A JP 15259693A JP 15259693 A JP15259693 A JP 15259693A JP H06349222 A JPH06349222 A JP H06349222A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cutting
- magnetic head
- bar
- exposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 スライダ加工を行う際の変形をできるだけ抑
えることのできる磁気ヘッド装置の製造方法を提供す
る。 【構成】 複数列で並ぶ磁気ヘッド素子１１を薄膜集積
技術によってウエハ１０上に形成する工程と、形成され
た磁気ヘッド素子の最外列１２における磁気媒体と対向
する面と反対側の側面１３が露出するようにこのウエハ
１０を切断する工程と、ウエハ１０のこのように露出し
た側面１３のほぼ全面に加工用治具１４の平面を接着す
る工程と、加工用治具１４が接着されている状態でこの
ウエハ１０を切断して最外列１２のバー１５を切り出す
バー切断工程とを備えている。
えることのできる磁気ヘッド装置の製造方法を提供す
る。 【構成】 複数列で並ぶ磁気ヘッド素子１１を薄膜集積
技術によってウエハ１０上に形成する工程と、形成され
た磁気ヘッド素子の最外列１２における磁気媒体と対向
する面と反対側の側面１３が露出するようにこのウエハ
１０を切断する工程と、ウエハ１０のこのように露出し
た側面１３のほぼ全面に加工用治具１４の平面を接着す
る工程と、加工用治具１４が接着されている状態でこの
ウエハ１０を切断して最外列１２のバー１５を切り出す
バー切断工程とを備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜磁気ヘッド装置の
製造方法に関する。
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜磁気ヘッド装置のスライダ加工は、
複数の磁気ヘッド素子を薄膜集積技術によって形成した
円板状又は角板状のウエハを複数のバーに切断した後、
各バーを加工用治具にそれぞれ接着した状態で行われ
る。
複数の磁気ヘッド素子を薄膜集積技術によって形成した
円板状又は角板状のウエハを複数のバーに切断した後、
各バーを加工用治具にそれぞれ接着した状態で行われ
る。
【０００３】このスライダ加工工程において最も留意さ
れる点は、全ての磁気ヘッド素子のギャップデプス（ス
ロートハイト）が一定となるように高精度に加工するこ
とである。このためには、加工工程においても、スロー
トハイト基準位置をウエハの集積工程におけるフォトマ
スクや露光装置で決定される高い精度のままに維持する
ことが要求される。
れる点は、全ての磁気ヘッド素子のギャップデプス（ス
ロートハイト）が一定となるように高精度に加工するこ
とである。このためには、加工工程においても、スロー
トハイト基準位置をウエハの集積工程におけるフォトマ
スクや露光装置で決定される高い精度のままに維持する
ことが要求される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のス
ライダ加工方法によると、ウエハからバーを切り出す際
にダイヤモンド砥石のダイヤモンド粒子によってウエハ
材料が粉砕されることにより、ランダムな変形（曲が
り）が各バーに発生してしまい、磁気ヘッド素子のスロ
ートハイトの基準位置が各バー内においてもばらついて
しまう。特に、スライダ寸法が７０％、５０％と減少せ
しめられた場合、及び１枚のウエハ内に作成する磁気ヘ
ッドの数を増大させて個々のスライダへの切断幅を小さ
くした場合にはこのばらつきが顕著となる。切断前の一
般的なウエハ内におけるスロートハイト基準位置の誤差
は、０．１〜０．２μｍ程度であるが、切断された場合
にはおおよそ０．８〜１．５μｍ程度、最悪の場合には
２μｍ以上となってしまう。スロートハイト基準位置が
このように大幅にばらつくと、所望長のスロートハイト
形成が不可能となる。
ライダ加工方法によると、ウエハからバーを切り出す際
にダイヤモンド砥石のダイヤモンド粒子によってウエハ
材料が粉砕されることにより、ランダムな変形（曲が
り）が各バーに発生してしまい、磁気ヘッド素子のスロ
ートハイトの基準位置が各バー内においてもばらついて
しまう。特に、スライダ寸法が７０％、５０％と減少せ
しめられた場合、及び１枚のウエハ内に作成する磁気ヘ
ッドの数を増大させて個々のスライダへの切断幅を小さ
くした場合にはこのばらつきが顕著となる。切断前の一
般的なウエハ内におけるスロートハイト基準位置の誤差
は、０．１〜０．２μｍ程度であるが、切断された場合
にはおおよそ０．８〜１．５μｍ程度、最悪の場合には
２μｍ以上となってしまう。スロートハイト基準位置が
このように大幅にばらつくと、所望長のスロートハイト
形成が不可能となる。
【０００５】また、従来のスライダ加工方法によると、
切断して得た各バーは、以降の加工を受けるために加工
用治具に接着されるが、このときの治具の接着面の平面
度や接着歪によってもバーの変形が生じてしまう。その
結果、スロートハイトの基準位置が、前述の変形に加え
てさらにばらついてしまう。
切断して得た各バーは、以降の加工を受けるために加工
用治具に接着されるが、このときの治具の接着面の平面
度や接着歪によってもバーの変形が生じてしまう。その
結果、スロートハイトの基準位置が、前述の変形に加え
てさらにばらついてしまう。
【０００６】このような不都合を避けるために、高剛
性、高出力の切断機を用いたり、変形制御機能付きの治
具を用いる等多くの提案がなされているが、いずれも不
十分である。特に、ウエハの厚みが薄くなるにつれてバ
ーの変形が顕著となるため、変形防止のための効果的な
対策が要求されている。しかも、今後の線記録密度の向
上や高周波数化に伴ってスロートハイトの誤差の許容範
囲がますます小さく、例えばＭＲ（磁気抵抗効果）−イ
ンダクティブヘッドでは０．５μｍ程度となっているた
め、このようなバーの変形をほぼ零に抑える必要があ
る。
性、高出力の切断機を用いたり、変形制御機能付きの治
具を用いる等多くの提案がなされているが、いずれも不
十分である。特に、ウエハの厚みが薄くなるにつれてバ
ーの変形が顕著となるため、変形防止のための効果的な
対策が要求されている。しかも、今後の線記録密度の向
上や高周波数化に伴ってスロートハイトの誤差の許容範
囲がますます小さく、例えばＭＲ（磁気抵抗効果）−イ
ンダクティブヘッドでは０．５μｍ程度となっているた
め、このようなバーの変形をほぼ零に抑える必要があ
る。
【０００７】従って本発明は、磁気ヘッド装置のスライ
ダ加工を行う際の変形をできるだけ抑えることのできる
磁気ヘッド装置の製造方法を提供するものである。
ダ加工を行う際の変形をできるだけ抑えることのできる
磁気ヘッド装置の製造方法を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、磁気ヘ
ッド装置の製造方法は、複数列で並ぶ磁気ヘッド素子を
薄膜集積技術によってウエハ上に形成する工程と、形成
された磁気ヘッド素子の最外列における磁気媒体と対向
する面と反対側の側面が露出するようにこのウエハを切
断する工程と、ウエハのこのように露出した側面のほぼ
全面に加工用治具の平面を接着する工程と、加工用治具
が接着されている状態でこのウエハを切断して最外列の
バーを切り出すバー切断工程とを備えている。
ッド装置の製造方法は、複数列で並ぶ磁気ヘッド素子を
薄膜集積技術によってウエハ上に形成する工程と、形成
された磁気ヘッド素子の最外列における磁気媒体と対向
する面と反対側の側面が露出するようにこのウエハを切
断する工程と、ウエハのこのように露出した側面のほぼ
全面に加工用治具の平面を接着する工程と、加工用治具
が接着されている状態でこのウエハを切断して最外列の
バーを切り出すバー切断工程とを備えている。
【０００９】ウエハの、バー切断工程によって露出した
側面のほぼ全面に加工用治具を接着する工程と、加工用
治具が接着されている状態で該ウエハを切断して最外列
のバーを切り出すバー切断工程とが繰り返して行われる
ことが好ましい。
側面のほぼ全面に加工用治具を接着する工程と、加工用
治具が接着されている状態で該ウエハを切断して最外列
のバーを切り出すバー切断工程とが繰り返して行われる
ことが好ましい。
【００１０】次いで、加工用治具が接着されている状態
で切り出されたバーの磁気媒体と対向する面をその状態
で切削加工する工程が実行されることが好ましい。
で切り出されたバーの磁気媒体と対向する面をその状態
で切削加工する工程が実行されることが好ましい。
【００１１】
【作用】まず、セラミック材からなるウエハ上に薄膜集
積技術によって磁気ヘッド素子を形成する。この場合、
磁気ヘッド素子がウエハ面上で複数の列状に並ぶように
形成する。次いで、このように複数列に形成された磁気
ヘッド素子の最初の列の側面が露出するようにこのウエ
ハを切断する。ただしこの露出する側面は、個々のスラ
イダに切り離した場合に磁気媒体と対向する面、即ち浮
上面（ＡＢＳ面）、とは反対側の側面である。次いで、
ウエハのこのように露出した側面のほぼ全面に加工用治
具の平面を接着した後、加工用治具が接着されている状
態でこのウエハを切断してその最初の列のバーを切り出
す。以後、この切り出しによって露出した側面に次の加
工用治具を同様に接着した後、次の列の切り出しを行う
ことを繰り返す。
積技術によって磁気ヘッド素子を形成する。この場合、
磁気ヘッド素子がウエハ面上で複数の列状に並ぶように
形成する。次いで、このように複数列に形成された磁気
ヘッド素子の最初の列の側面が露出するようにこのウエ
ハを切断する。ただしこの露出する側面は、個々のスラ
イダに切り離した場合に磁気媒体と対向する面、即ち浮
上面（ＡＢＳ面）、とは反対側の側面である。次いで、
ウエハのこのように露出した側面のほぼ全面に加工用治
具の平面を接着した後、加工用治具が接着されている状
態でこのウエハを切断してその最初の列のバーを切り出
す。以後、この切り出しによって露出した側面に次の加
工用治具を同様に接着した後、次の列の切り出しを行う
ことを繰り返す。
【００１２】
【実施例】図１（Ａ）〜（Ｅ）及び図２（Ｆ）〜（Ｇ）
は、本発明による磁気ヘッド装置の製造方法の一実施例
を示す工程図である。
は、本発明による磁気ヘッド装置の製造方法の一実施例
を示す工程図である。
【００１３】図１（Ａ）に示すごとく、まず、Ａｌ2 Ｏ
3 −ＴｉＣ等のセラミック材によるウエハ１０上に薄膜
集積技術によって多数の磁気ヘッド素子１１を複数列に
並ぶように形成する。次いで、複数のバーに切断するた
めの浅溝（図示なし）をこのウエハ１０上に加工形成し
た後、図１（Ｂ）に示すように、ウエハ１０全体を四角
形状に切断する。この場合、磁気ヘッド素子１１の最初
の列１２の外側面１３が露出するようにこのウエハ１０
を切断する。ただしこの露出する側面１３は、ＡＢＳ面
とは反対側になる側面である。ウエハの切断は、円板状
のダイヤモンド砥石によって行われる。
3 −ＴｉＣ等のセラミック材によるウエハ１０上に薄膜
集積技術によって多数の磁気ヘッド素子１１を複数列に
並ぶように形成する。次いで、複数のバーに切断するた
めの浅溝（図示なし）をこのウエハ１０上に加工形成し
た後、図１（Ｂ）に示すように、ウエハ１０全体を四角
形状に切断する。この場合、磁気ヘッド素子１１の最初
の列１２の外側面１３が露出するようにこのウエハ１０
を切断する。ただしこの露出する側面１３は、ＡＢＳ面
とは反対側になる側面である。ウエハの切断は、円板状
のダイヤモンド砥石によって行われる。
【００１４】次に、図１（Ｃ）に示すように、ウエハ１
０の列１２の露出側面１３全面に、金属又はセラミクス
製の直方体形状からなる加工用治具１４の平面を接着す
る。このように、加工用治具１４が接着されている状態
で切断を行い、最初の列１２に対応するバー１５を図１
（Ｄ）に示すごとく切り出す。
０の列１２の露出側面１３全面に、金属又はセラミクス
製の直方体形状からなる加工用治具１４の平面を接着す
る。このように、加工用治具１４が接着されている状態
で切断を行い、最初の列１２に対応するバー１５を図１
（Ｄ）に示すごとく切り出す。
【００１５】次いで、この切断によって露出した側面に
他の加工用治具を図１（Ｃ）の場合と同様に接着した
後、この状態で次の列１６に対応するバーを図１（Ｄ）
の場合と同様に切り出す。以下同様に、加工用治具を接
着させた後ウエハ１０の切断を行うことを繰り返して全
てのバーを切り出す。
他の加工用治具を図１（Ｃ）の場合と同様に接着した
後、この状態で次の列１６に対応するバーを図１（Ｄ）
の場合と同様に切り出す。以下同様に、加工用治具を接
着させた後ウエハ１０の切断を行うことを繰り返して全
てのバーを切り出す。
【００１６】このように、ウエハ１０からの切断前に加
工用治具が接着され、その状態で各バーへの切断が行わ
れるため、対変形剛性が極めて高くなり、バーへの切断
及び治具への接着時に従来生じていた変形歪がほとんど
生じないこととなる。その結果、スロートハイトの基準
位置の精度は、ウエハ状態における高い精度のままに維
持されることとなる。
工用治具が接着され、その状態で各バーへの切断が行わ
れるため、対変形剛性が極めて高くなり、バーへの切断
及び治具への接着時に従来生じていた変形歪がほとんど
生じないこととなる。その結果、スロートハイトの基準
位置の精度は、ウエハ状態における高い精度のままに維
持されることとなる。
【００１７】切断された各バー１５は、図１（Ｅ）に示
すごとく既に加工用治具１４にそのＡＢＳ面１７が上面
となるように接着固定されているので、そのままバー加
工工程に入れる。
すごとく既に加工用治具１４にそのＡＢＳ面１７が上面
となるように接着固定されているので、そのままバー加
工工程に入れる。
【００１８】バー加工工程では、まず、ＡＢＳ面１７表
面の研削が行われ、スロートハイト調整がなされる。次
いで、ＡＢＳ面１７側から溝加工が行われ、図２（Ｆ）
に示すように、レール部１８が形成される。
面の研削が行われ、スロートハイト調整がなされる。次
いで、ＡＢＳ面１７側から溝加工が行われ、図２（Ｆ）
に示すように、レール部１８が形成される。
【００１９】次いで、レール部１８のＡＢＳ面１７の研
磨（ポリシング）が行われた後、個々のスライダに切断
した後、各スライダをこの加工用治具から取り外して洗
浄することにより図２（Ｇ）に示すごとき最終的なスラ
イダ１９が得られる。
磨（ポリシング）が行われた後、個々のスライダに切断
した後、各スライダをこの加工用治具から取り外して洗
浄することにより図２（Ｇ）に示すごとき最終的なスラ
イダ１９が得られる。
【００２０】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、複数列で並ぶ磁気ヘッド素子を薄膜集積技術によっ
てウエハ上に形成する工程と、形成された磁気ヘッド素
子の最外列における磁気媒体と対向する面と反対側の側
面が露出するようにこのウエハを切断する工程と、ウエ
ハのこのように露出した側面のほぼ全面に加工用治具の
平面を接着する工程と、加工用治具が接着されている状
態でこのウエハを切断して最外列のバーを切り出すバー
切断工程とを備えているため、ウエハからの切断を行う
際及びバーと治具との接着の際に生じる可能性のある変
形歪をほぼ防ぐことができる。その結果、スロートハイ
トの基準位置の精度をウエハ状態における高い精度のま
まに維持することができる。
ば、複数列で並ぶ磁気ヘッド素子を薄膜集積技術によっ
てウエハ上に形成する工程と、形成された磁気ヘッド素
子の最外列における磁気媒体と対向する面と反対側の側
面が露出するようにこのウエハを切断する工程と、ウエ
ハのこのように露出した側面のほぼ全面に加工用治具の
平面を接着する工程と、加工用治具が接着されている状
態でこのウエハを切断して最外列のバーを切り出すバー
切断工程とを備えているため、ウエハからの切断を行う
際及びバーと治具との接着の際に生じる可能性のある変
形歪をほぼ防ぐことができる。その結果、スロートハイ
トの基準位置の精度をウエハ状態における高い精度のま
まに維持することができる。
【００２１】ウエハからの切断に伴うバーの変形の発生
をほぼ抑えることができるため、線記録密度の向上や高
周波数化に伴ってスロートハイトの誤差の許容範囲がま
すます小さくなっても容易に対応可能であり、ＭＲ−イ
ンダクティブヘッドにも対応することができる。
をほぼ抑えることができるため、線記録密度の向上や高
周波数化に伴ってスロートハイトの誤差の許容範囲がま
すます小さくなっても容易に対応可能であり、ＭＲ−イ
ンダクティブヘッドにも対応することができる。
【図１】本発明による製造方法の一実施例における工程
の一部を示す斜視図である。
の一部を示す斜視図である。
【図２】本発明による製造方法の一実施例における工程
の一部を示す斜視図である。
の一部を示す斜視図である。
１０ ウエハ １１ 磁気ヘッド素子 １２ 最初の列 １３ 露出側面 １４ 加工用治具 １５ バー １６ 次の列 １７ ＡＢＳ面 １８ レール部 １９ スライダ
Claims (3)
- 【請求項１】 複数列で並ぶ磁気ヘッド素子を薄膜集積
技術によってウエハ上に形成する工程と、形成された磁
気ヘッド素子の最外列における磁気媒体と対向する面と
反対側の側面が露出するように該ウエハを切断する工程
と、該ウエハの該露出した側面のほぼ全面に加工用治具
の平面を接着する工程と、加工用治具が接着されている
状態で該ウエハを切断して最外列のバーを切り出すバー
切断工程とを備えたことを特徴とする磁気ヘッド装置の
製造方法。 - 【請求項２】 前記ウエハの、バー切断工程によって露
出した側面のほぼ全面に加工用治具を接着する工程と、
加工用治具が接着されている状態で該ウエハを切断して
最外列のバーを切り出すバー切断工程とが繰り返して行
われることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。 - 【請求項３】 加工用治具が接着されている状態で切り
出された前記バーの磁気媒体と対向する面をその状態で
切削加工する工程をさらに備えたことを特徴とする請求
項１又は２に記載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15259693A JPH06349222A (ja) | 1993-06-01 | 1993-06-01 | 磁気ヘッド装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15259693A JPH06349222A (ja) | 1993-06-01 | 1993-06-01 | 磁気ヘッド装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06349222A true JPH06349222A (ja) | 1994-12-22 |
Family
ID=15543888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15259693A Withdrawn JPH06349222A (ja) | 1993-06-01 | 1993-06-01 | 磁気ヘッド装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06349222A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002050016A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-15 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッドスライダの製造方法及び装置 |
-
1993
- 1993-06-01 JP JP15259693A patent/JPH06349222A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002050016A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-15 | Fujitsu Ltd | 磁気ヘッドスライダの製造方法及び装置 |
| US6604989B2 (en) | 2000-07-28 | 2003-08-12 | Fujitsu Limited | Manufacturing method and apparatus for magnetic head sliders |
| US7070671B2 (en) | 2000-07-28 | 2006-07-04 | Fujitsu Limited | Manufacturing method and apparatus for magnetic head sliders |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4333229A (en) | Method of manufacturing thin film magnetic head/slider combination | |
| US5406694A (en) | Scalable method of fabricating thin-film sliders | |
| US5694677A (en) | Method for manufacturing thin film magnetic head | |
| JP2000137903A (ja) | 薄膜磁気ヘッドとその製造方法 | |
| US8111480B2 (en) | Electronic component and tape head having a closure | |
| JPH06349222A (ja) | 磁気ヘッド装置の製造方法 | |
| JP3271375B2 (ja) | 磁気ヘッド装置の製造方法 | |
| US7028388B2 (en) | Method of manufacturing magnetic head | |
| JP3332222B2 (ja) | スライダ用素材の製造方法、スライダの製造方法およびスライダ用素材 | |
| JPS61172220A (ja) | デイスク基板の製造方法 | |
| JP2964722B2 (ja) | 浮上型薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH08203050A (ja) | 磁気ヘッドスライダ製造方法 | |
| JPS62124684A (ja) | ヘツドスライダ | |
| JPH10134318A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造装置及びその製造方法 | |
| JPH0863711A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH06208708A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH07282420A (ja) | 薄膜磁気ヘッド製造装置 | |
| JPH0729120A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP5199542B2 (ja) | スライダの製造方法 | |
| JPH05151736A (ja) | 薄膜磁気ヘツドスライダ | |
| JPH06162431A (ja) | 積層型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH0520643A (ja) | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH08321012A (ja) | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0359811A (ja) | 薄膜磁気ヘツド及びその製造方法 | |
| JPH07210847A (ja) | ラップ加工治具及びこれを用いた薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000801 |