JPS62124684A - ヘツドスライダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 て産業上の利用分野〉 本発明は、磁気ディスク装置のへラドスライダの形成方
法に関する。

〈従来の技術〉 第６図（イ）、（ロ）は従来用いられているヘッドスラ
イダで、（イ）は全体斜視図、（ロ）は製造］二稈例を
示すものＣある。これらの図において、１はディスクと
対向する面ＡＢＳであり（ＡＢＳは△ｉｒ　　１３ｅａ
ｒｉｎｑ　　５ｕｒｆａｃｅの略）、２は面取り部、３
はテーパ面、５は１ｈ、６はヘッド部である。（ロ）の
工程図に従って簡単に説明する。

一■稈（１）基板２０に所定の間隔を隔てて複数のヘッ
ド部６を形成する。

Ｔ程（■　Δ（３Ｓ（斜線部）１を研磨する。

■稈■　（−７）図に示Ｊテーパ面（斜線部）３を研ｍ
ＩＪ−る。

１−稈■　渦５を加工する。図において（ａ）は斜視図
、（ｂ）は平面図、（Ｃ）は側面図である。

Ｔ程（６１面取り部２を研磨する。

工程Φ）　単体に切断する。

１ス十の■稈ににり製作していた。

・ぐ発明が解決しようとする問題点゛・近年、高記録密
度の要求が益々高くなり、この要求を満たすためヘッド
の低浮−Ｖ化〈浮上聞：０゜１μＩＴＩ稈麿）が必要で
、ＡＢＳの精瓜はより高いものが要求されている。しか
しながら−Ｆ記従来例の製作方法においては、以下のよ
うな問題がある。

（１）　　精密切断加工装置としてダイシング・ソー等
を用いているがＡＢＳが小さくなると精度維持が困難と
なる。

（２）機械加Ｌ′Ｃ′あるため、ＡＢＳにチッピングに
にる欠【ノがと１−しるが、この欠けにより浮上量がば
らつくだ（Ｊでなく媒体面を傷付ｌまたり媒体上の突起
により欠【プを増すこともあり、この欠１′１−が媒体
の記録面をさらに傷イ４Ｇ）る恐れがある。

（３〉　　ＡＢＳの両側面に面取り加工２をＩＩＩ！１
寸口とにより１〜記（２）の欠点を多少軽減することが
出来るが、ＡＢＳの形状＠［σ維持に限界が生じる。

という問題がある。

〈発明が解決しＪ：うとする問題点〉 この発明は、上記従来の問題点に鑑みて成されたもので
、ドライ・エツチングによる無歪み加工と、薄膜プロセ
スによる精密パターン形成により、ヘッドスライダのＡ
Ｒ８部分を精度Ｊ：り、かつ信頼性高く加工することを
目的どする。

〈問題点を解決するための手段〉 」］記問題点を解決づるための本発明の構成は、浮動ヘ
ッドのスライダにおいて、前記スライダの磁気ディスク
どの対向面を、金属を薄膜プロセスにより積層し、ドラ
イエツチングにより段差。

形状を形成したことを特徴とするものｌ・ある。

・〈実施例−・ 第１図（イ）、（ｌは本ブを明の一実施例を示すもので
、（イ）はへラドスライダの全体斜視図、（［））は製
作Ｔ稈を示すものである。（図ではヘッド部を薄膜によ
り形成した状態のものを示す）図において、２９はテー
パ部、３１は溝、３２はＡＢＳ、３３はヘッド部である
。

工程に従って説明する。

工程（１）　　基板３０に所定の間隔を隔てて複数のヘ
ッド部３３を形成Ｊる。

工程■　ヘッド部３３が直線状に並んだ箇所を切断する
。

Ｔ稈■　ＡＢＳ　（斜線部）を（１１１磨する。

工程（４）　　研磨ｌノた八ＢＳにスパッタや蒸着等に
よりマスクキング材３４を形成覆る。

工程■　マスキング材３４の十に１ノジス１〜を塗布し
、化学エツチングにより△［３８の形状にパターニング
する。

工程（４，）、（優を繰返し、マスキング材３４を２〜
４／ｌ　ｍ程度の早さに積層する。この場合、マスキン
グ材３４は第２図（イ）に示すように１．２．３〜ｎ番
目の順に−ｉηが順次短くなるようにマスキング材ノな
がらｖ４Ｍする。その結果ＡＢＳの一辺は第２図（ロ）
の一点鎖線で囲ったＡ部に示すように階段状となるがこ
の階段は極めて小さいため実質上はテーパ状となる。

工程（Φ　ドライ・エツチングにより所定の段差を形成
する。この場合、ドライ・エツチングは第３図に示すよ
うに基板３０とともにマスキング材３４もエツチングす
るので、１Ｍ目のマスキング材を多少残す時点（すなわ
ち、Ｔ稈■で示す研磨面が現れる前）で終了する。

工程の　残ったマスキング材を除去する。

Ｔ稈■　切断する。

ｈお、上記実施例においてはＡＢＳの一辺のみにテーパ
を形成したが例えば第４図に示すように八ＢＳの側面（
第６図の２のテーパ部に相当）にテーパをつけることも
可能である。また、マスキング材のパターンを変更する
ことにより、第５図に示すようにＡＢＳ而に四部４０を
段は負圧用のヘッドどすることも出来る。

〈発明の効果〉 以］−１実施例とともに具体的に説明（）たように本発
明の’）Ｊ選方法によれば、八ＢＳの形成に機械加工を
使用していないので、Ａ３８部に欠けや応力歪みを生じ
ることがない。また、′ｙ＃膜プロセスを使用している
ため寸法精度の高いＡＢＳを形成することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（イ）、ｌ）は本発明のへラドスライダの斜視図
および製作Ｔ稈の一実施例を示す図、第２図はマスキン
グ材の形成状態を示す図、第３図はドライ・エツチング
でのエツチング闇を示す図、第４図はＡＢＳの側面にテ
ーパを施した状態を示す図、第５図は八ＢＳの形状を負
圧用とした状態を示す図、第６図（イ）、（ロ）は従来
例のへラドスライダの斜視図および製作工程を示す図で
ある。 ２９・・・テーパ部、３１・・・溝、３２・・・Ａｒｔ
ｓ、３６一 ３・・・ヘッド部。 ！！　　　　　　　　５ 石　　○

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 浮動ヘッドのスライダにおいて、前記スライダの磁気デ
   ィスクとの対向面を、金属を薄膜プロセスにより積層し
   、ドライエッチングにより段差、形状を形成したことを
   特徴とするヘッドスライダ。