JPS60205879A - 磁気ヘツド負圧スライダ−の製造方法 - Google Patents
磁気ヘツド負圧スライダ−の製造方法Info
- Publication number
- JPS60205879A JPS60205879A JP6228184A JP6228184A JPS60205879A JP S60205879 A JPS60205879 A JP S60205879A JP 6228184 A JP6228184 A JP 6228184A JP 6228184 A JP6228184 A JP 6228184A JP S60205879 A JPS60205879 A JP S60205879A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- thin film
- negative pressure
- magnetic head
- production
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａｌ 発明の技術分野
本発明は磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッド用負
圧スライダーの製造方法に関するものである。
圧スライダーの製造方法に関するものである。
（ｂ） 従来技術と問題点
磁気ディスク装置に用いられる負圧スライダーは磁気記
録を行う磁気ヘッドを備え、記録媒体の回転によって発
生する空気流により浮上し、前記記録媒体と所定の間隙
を保ちながら媒体面上に前記磁気ヘッドにより磁気記録
を行う。このような負圧スライダーは記録の効率化と、
記録精度を良くするため、極低浮上と、浮上安定性が要
求される。そこでこの要求を満たすため、高精度の形状
を持った負圧スライダーを製造する必要がある。
録を行う磁気ヘッドを備え、記録媒体の回転によって発
生する空気流により浮上し、前記記録媒体と所定の間隙
を保ちながら媒体面上に前記磁気ヘッドにより磁気記録
を行う。このような負圧スライダーは記録の効率化と、
記録精度を良くするため、極低浮上と、浮上安定性が要
求される。そこでこの要求を満たすため、高精度の形状
を持った負圧スライダーを製造する必要がある。
そこで、第１図の斜視図に示すような負圧スライダーを
作るため、従来は第２図＋１１〜（０）に示すような負
圧スライダーの製造過程を説明するための上面図により
製造が行われていた。
作るため、従来は第２図＋１１〜（０）に示すような負
圧スライダーの製造過程を説明するための上面図により
製造が行われていた。
すなわち、負圧スライダーは第１図の斜視図に示すよう
に、記録媒体（図示せず）と対向する面４の一端に薄膜
磁気ヘッド２が設けられている。
に、記録媒体（図示せず）と対向する面４の一端に薄膜
磁気ヘッド２が設けられている。
この磁気ヘッド２を構成する磁極Ｎ、Ｓは対向面４と面
一で記録媒体と対向するよう所定の間隔を持って設けら
れている。このスライダーの媒体対向面４と、磁極ヘッ
ド２の磁極露出面上には磁極Ｎ、Ｓ間を分離するようコ
の字形状の溝３が設けられている。また、磁気ヘッド２
には磁極Ｎ、Ｓをそれぞれ記録電流によって励磁して記
録媒体上に磁気記録を行わしめるためのコイル５ａ、５
ｂが具備されている。
一で記録媒体と対向するよう所定の間隔を持って設けら
れている。このスライダーの媒体対向面４と、磁極ヘッ
ド２の磁極露出面上には磁極Ｎ、Ｓ間を分離するようコ
の字形状の溝３が設けられている。また、磁気ヘッド２
には磁極Ｎ、Ｓをそれぞれ記録電流によって励磁して記
録媒体上に磁気記録を行わしめるためのコイル５ａ、５
ｂが具備されている。
このような負圧スライダーの製造過程は、まず第２図（
ａｌに示すように、ブロック基板１表面の長平方向に磁
極Ｎ、Ｓをペアとする複数個の磁気ヘッドを所定の間隔
で並列形成する。次に、第２回申）に示すようにこのブ
ロック基板１の記録媒体と対向する面４にクロームやチ
タン等からなる薄膜マスク６を形成後、これを前述した
コの字形状の溝３を形成するためにパターンエツチング
する。
ａｌに示すように、ブロック基板１表面の長平方向に磁
極Ｎ、Ｓをペアとする複数個の磁気ヘッドを所定の間隔
で並列形成する。次に、第２回申）に示すようにこのブ
ロック基板１の記録媒体と対向する面４にクロームやチ
タン等からなる薄膜マスク６を形成後、これを前述した
コの字形状の溝３を形成するためにパターンエツチング
する。
次に、このエツチングされたブロック基板１をドライミ
リング法により微細加工を行い、第１図ｆｏｌに示すよ
うな溝３を持った負圧スライダーが作製される。
リング法により微細加工を行い、第１図ｆｏｌに示すよ
うな溝３を持った負圧スライダーが作製される。
ところがこの薄膜マスク６のエツチング処理において、
第１図に示すエツジ部７や側面部８に薄膜マスク６を他
の平面部等の部分と同様の膜厚でエツチングすることは
難かしく、それがため一様な膜厚を得るエツチング作製
工程は複雑となり、コスト高となっていた。また、薄膜
マスクを付着させるにはある程度以上の密着力が必要で
ある反面付着した薄膜マスクの除去を考えると剥がしや
すいことも必要であるため薄膜マスクの材料の選択が難
しいといった欠点があった。
第１図に示すエツジ部７や側面部８に薄膜マスク６を他
の平面部等の部分と同様の膜厚でエツチングすることは
難かしく、それがため一様な膜厚を得るエツチング作製
工程は複雑となり、コスト高となっていた。また、薄膜
マスクを付着させるにはある程度以上の密着力が必要で
ある反面付着した薄膜マスクの除去を考えると剥がしや
すいことも必要であるため薄膜マスクの材料の選択が難
しいといった欠点があった。
（Ｃ１発明の目的
本発明は上述した従来の欠点に鑑みて創案されたもので
、保護すべき磁気ヘッドスライダ−のエツジ部や側面部
を被加工物とは別に作られたエツチングマスクでカバー
し、薄膜で作られるエツチングマスクの作製工程の簡略
化とともに高い形状精度が得られる磁気ヘッドスライダ
−の製造方法を提供することを目的とする。
、保護すべき磁気ヘッドスライダ−のエツジ部や側面部
を被加工物とは別に作られたエツチングマスクでカバー
し、薄膜で作られるエツチングマスクの作製工程の簡略
化とともに高い形状精度が得られる磁気ヘッドスライダ
−の製造方法を提供することを目的とする。
（ｄ） 発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、長手方向の基板表面
に複数個の薄膜磁気ヘッドを並列して形成した、複数個
のスライダーの母体であるブロック基板の記録媒体対向
面にドライエツチング法により微細加工を行う際に、前
記媒体対向面上に形成すべきスライダー形状に対応する
薄膜マスクパターンと、前記薄膜磁気ヘッドのエツジ部
および側面部を被覆するバルクや箔帯よりなるエツチン
グマスクとをあらかじめ施すことを特徴とする磁気ヘッ
ド負圧スライダーの製造方法により達せられる。
に複数個の薄膜磁気ヘッドを並列して形成した、複数個
のスライダーの母体であるブロック基板の記録媒体対向
面にドライエツチング法により微細加工を行う際に、前
記媒体対向面上に形成すべきスライダー形状に対応する
薄膜マスクパターンと、前記薄膜磁気ヘッドのエツジ部
および側面部を被覆するバルクや箔帯よりなるエツチン
グマスクとをあらかじめ施すことを特徴とする磁気ヘッ
ド負圧スライダーの製造方法により達せられる。
（ｅｌ 発明の実施例
以下、添付図面を参照して本発明による一実施例を詳細
に説明する。第３図（ａ）〜（ｄ）は本実施例による負
圧スライダーの製造過程を説明するための図であり、第
１および第２図と同一符号は同一部位を示している。
に説明する。第３図（ａ）〜（ｄ）は本実施例による負
圧スライダーの製造過程を説明するための図であり、第
１および第２図と同一符号は同一部位を示している。
すなわち、第３図（ａｌはブロック基板１の上面図を示
し、ブロック基板１はラフピング工程により平面研磨さ
れ、その一端に所定の間隔を持った２つの磁極Ｎ、Ｓか
らなる薄膜の磁気ヘッド２が複数個設けられた構造をな
している。第３回申）の斜線部分は第１図に示すブロッ
ク基板ｌの記録媒体と対向する面４に溝３を形成するた
めの保護部分であり、チタンやクローム材のエツチング
マスク６を膜厚１５μｍで被膜している。第３図（Ｃ）
は板厚１００μｍのバルクの板、箔帯などで作られたク
シ型形状をした工・７チングマスク９をブロック基板１
に押し当てて前記の薄膜マスクの一部および磁気ヘッド
２の磁極、エツジ部７．側面部８をマスクしたところを
示す。第３図＋ｄｌは第３図［０）の状態でイオンビー
ムを当ててエツチングし、記録媒体との対向面４に溝３
を作った後、エツチングマスク９をはずし、チタンやク
ローム材等の薄膜マスク６をフレオンガスプラズマやラ
ッピングにより除去した状態を示している。最後に第３
図（ｄｌに示すように、ブロック基板１を矢印Ｙのとこ
ろから切断して、個々のスライダーを切り出してスライ
ダー加工が完了する。
し、ブロック基板１はラフピング工程により平面研磨さ
れ、その一端に所定の間隔を持った２つの磁極Ｎ、Ｓか
らなる薄膜の磁気ヘッド２が複数個設けられた構造をな
している。第３回申）の斜線部分は第１図に示すブロッ
ク基板ｌの記録媒体と対向する面４に溝３を形成するた
めの保護部分であり、チタンやクローム材のエツチング
マスク６を膜厚１５μｍで被膜している。第３図（Ｃ）
は板厚１００μｍのバルクの板、箔帯などで作られたク
シ型形状をした工・７チングマスク９をブロック基板１
に押し当てて前記の薄膜マスクの一部および磁気ヘッド
２の磁極、エツジ部７．側面部８をマスクしたところを
示す。第３図＋ｄｌは第３図［０）の状態でイオンビー
ムを当ててエツチングし、記録媒体との対向面４に溝３
を作った後、エツチングマスク９をはずし、チタンやク
ローム材等の薄膜マスク６をフレオンガスプラズマやラ
ッピングにより除去した状態を示している。最後に第３
図（ｄｌに示すように、ブロック基板１を矢印Ｙのとこ
ろから切断して、個々のスライダーを切り出してスライ
ダー加工が完了する。
上述したように薄膜マスクが一様な膜厚で被着できない
磁気ヘッドのエツジ部や側面部の保護ばバルクの板、箔
帯などで作られたエツチングマスク９により行ない、ま
た１、高精度の形状を必要とするブロック基板の保護は
チタン、クローム材の薄膜マスクで行っている。
磁気ヘッドのエツジ部や側面部の保護ばバルクの板、箔
帯などで作られたエツチングマスク９により行ない、ま
た１、高精度の形状を必要とするブロック基板の保護は
チタン、クローム材の薄膜マスクで行っている。
（ｆｌ 発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、複数
個の負圧スライダーの母体であるブロック基板の記録媒
体対向面に微細加工を施すに際し、磁気ヘッドのエツジ
部や側面への薄膜の成膜工程が省け、工程の簡略化が可
能となり、また高精度の形状を持った負圧スライダーを
得ることができる。
個の負圧スライダーの母体であるブロック基板の記録媒
体対向面に微細加工を施すに際し、磁気ヘッドのエツジ
部や側面への薄膜の成膜工程が省け、工程の簡略化が可
能となり、また高精度の形状を持った負圧スライダーを
得ることができる。
第１図は負圧スライダーの斜視図、第２図ｔａ）〜（Ｃ
１は従来の負圧スライダーの製造Ｘｉ！ｌ程を説明する
ための斜視図、第３図（ａｌ〜（ｄ）は本発明の一実施
例による負圧スライダーの製造過程を説明するための図
である。 図において、１はブロック基板、２は磁気ヘッド、３は
溝、４は記録媒体との対向面、５ａおよび５ｂはコイル
、６は薄膜マスク、７はエツジ部、８は側面部、９はエ
ツチングマスクをそれぞれ示している。 第１ＦＭ
１は従来の負圧スライダーの製造Ｘｉ！ｌ程を説明する
ための斜視図、第３図（ａｌ〜（ｄ）は本発明の一実施
例による負圧スライダーの製造過程を説明するための図
である。 図において、１はブロック基板、２は磁気ヘッド、３は
溝、４は記録媒体との対向面、５ａおよび５ｂはコイル
、６は薄膜マスク、７はエツジ部、８は側面部、９はエ
ツチングマスクをそれぞれ示している。 第１ＦＭ
Claims (1)
- 長手方向の基板表面に複数個の薄膜磁気ヘッドを並列し
て形成した、複数個のスライダーの母体であるブロック
基板の記録媒体対向面にドライエツチング法により微細
加工を行う際に、前記媒体対向面上に形成すべきスライ
ダー形状に対応する薄膜マスクパターンと、前記薄膜磁
気ヘッドのエツジ部および側面部を被覆するバルクや箔
帯よりなるエツジングマスクとをあらかじめ施すことを
特徴とする磁気へフド負圧スライダーの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6228184A JPS60205879A (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 磁気ヘツド負圧スライダ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6228184A JPS60205879A (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 磁気ヘツド負圧スライダ−の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60205879A true JPS60205879A (ja) | 1985-10-17 |
Family
ID=13195591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6228184A Pending JPS60205879A (ja) | 1984-03-29 | 1984-03-29 | 磁気ヘツド負圧スライダ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60205879A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0378345A2 (en) * | 1989-01-09 | 1990-07-18 | Ngk Insulators, Ltd. | Negative-pressure type magnetic head slider, and method of producing the same |
| US5640755A (en) * | 1994-04-15 | 1997-06-24 | Tdk Corporation | Method for manufacturing a magnetic head |
| US5774303A (en) * | 1995-03-24 | 1998-06-30 | Stormedia, Inc. | Sputter induced micro-texturing enhancement for magnetic head structures |
| US5886856A (en) * | 1994-09-19 | 1999-03-23 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head slider assembly for magnetic disk recording/reproducing apparatus |
| US5997700A (en) * | 1994-12-20 | 1999-12-07 | Citizen Watch Co., Ltd. | Method of fabricating magnetic head slider |
-
1984
- 1984-03-29 JP JP6228184A patent/JPS60205879A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0378345A2 (en) * | 1989-01-09 | 1990-07-18 | Ngk Insulators, Ltd. | Negative-pressure type magnetic head slider, and method of producing the same |
| US5104483A (en) * | 1989-01-09 | 1992-04-14 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of producing a negative-pressure type magnetic head slider |
| US5640755A (en) * | 1994-04-15 | 1997-06-24 | Tdk Corporation | Method for manufacturing a magnetic head |
| US5886856A (en) * | 1994-09-19 | 1999-03-23 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head slider assembly for magnetic disk recording/reproducing apparatus |
| US5997700A (en) * | 1994-12-20 | 1999-12-07 | Citizen Watch Co., Ltd. | Method of fabricating magnetic head slider |
| US5774303A (en) * | 1995-03-24 | 1998-06-30 | Stormedia, Inc. | Sputter induced micro-texturing enhancement for magnetic head structures |
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