JPS60121508A - 磁気ヘッド装置およびその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド装置およびその製造方法Info
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- JPS60121508A JPS60121508A JP22961083A JP22961083A JPS60121508A JP S60121508 A JPS60121508 A JP S60121508A JP 22961083 A JP22961083 A JP 22961083A JP 22961083 A JP22961083 A JP 22961083A JP S60121508 A JPS60121508 A JP S60121508A
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- magnetic pole
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
- G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
- G11B5/3186—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes parallel to the gap plane, e.g. "vertical head structure"
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- G—PHYSICS
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- G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する分野〕
本発明は磁気へ、ド装置および製造方法に関するもので
ある。
ある。
従来、スライダ面が記録媒体の回転に伴なう空気流によ
シ浮上する浮動式薄膜磁気ヘッドとしては、水平型と垂
直型とがよく知られている。第１図は従来の水平型薄膜
ヘッドを示す斜視図で、スライダ１のスライダ面２上に
パーマロイ薄膜など６が形成されている。導体コイル５
に電流をに’ｆことによ磁化じるギャップ６の漏れ磁界
で記録媒体上の所定の部分を磁化反転させて記録パター
ンをつくシ、記録媒体上の磁化反転部での磁束変化をギ
ヤ、プロで検出し導体コイル５に訪起電圧を発生させて
再生を行なう。
シ浮上する浮動式薄膜磁気ヘッドとしては、水平型と垂
直型とがよく知られている。第１図は従来の水平型薄膜
ヘッドを示す斜視図で、スライダ１のスライダ面２上に
パーマロイ薄膜など６が形成されている。導体コイル５
に電流をに’ｆことによ磁化じるギャップ６の漏れ磁界
で記録媒体上の所定の部分を磁化反転させて記録パター
ンをつくシ、記録媒体上の磁化反転部での磁束変化をギ
ヤ、プロで検出し導体コイル５に訪起電圧を発生させて
再生を行なう。
第２図はこの水平型薄膜磁気ヘッドの製造工程を示す図
で（’−ｆ）Ｋ示すように基板７のスライダ加工を一度
にまとめて行なったのち（ロ）に示すように切断して多
量の磁気ヘッドを得る方法なので量産性に適している。
で（’−ｆ）Ｋ示すように基板７のスライダ加工を一度
にまとめて行なったのち（ロ）に示すように切断して多
量の磁気ヘッドを得る方法なので量産性に適している。
この反面、高密度記録に際して必要な、ギャップ６にお
ける微小間隔ｇ□は、１１Ｊｍ以下のオーダであり、従
来法によるエツチングでは寸法精度が得られず、近年Ｌ
ＳＩ工程で使用されている電子ビーム露光などの高級な
設備が必要になるという問題がある。
ける微小間隔ｇ□は、１１Ｊｍ以下のオーダであり、従
来法によるエツチングでは寸法精度が得られず、近年Ｌ
ＳＩ工程で使用されている電子ビーム露光などの高級な
設備が必要になるという問題がある。
第５図は従来の垂直型薄膜磁気ヘッドを示す斜視図で、
スライダ面２と垂直な、スライダ１の側面３２に磁極３
３．３４および導体コイル３５を形成したものである。
スライダ面２と垂直な、スライダ１の側面３２に磁極３
３．３４および導体コイル３５を形成したものである。
この場合には磁極間ギャップ３６のギャップ長はギャッ
プ形成層の膜厚で決まるので、高精度かつ容易に形成で
きる。第４図はこの垂直型薄膜磁気ヘッドの製造工程を
示す図で、（イ）に示すように磁極などを基板４１上に
薄膜形成したのち切断しく口）に示すように短冊状の少
数単位でスライダ加工したのち（うに示すように個々の
スライダに切断する。したがって、個々または少数単位
で高精度の研磨を行なう必要があるため、量産性が悪い
という問題点がある。
プ形成層の膜厚で決まるので、高精度かつ容易に形成で
きる。第４図はこの垂直型薄膜磁気ヘッドの製造工程を
示す図で、（イ）に示すように磁極などを基板４１上に
薄膜形成したのち切断しく口）に示すように短冊状の少
数単位でスライダ加工したのち（うに示すように個々の
スライダに切断する。したがって、個々または少数単位
で高精度の研磨を行なう必要があるため、量産性が悪い
という問題点がある。
量産性の優れた磁気ヘッド装置および製造方法を提供す
るものである。
るものである。
本発明の第１の発明に係る磁気ヘッド装置は、基板上に
設けられた段差部分き、この段差部分の斜面および上面
に薄膜形成される第１磁極と、この第１磁極の上に少く
ともその一部が薄膜形成される所定の厚みの非磁性体よ
りなるキャップ形成層と、このギヤ、プ形成層の上に少
くともその一部が薄膜形成される第２磁極とを有し、ヘ
ッド面上で前記第１磁極、ギャップ形成層および第２磁
極が磁極間ギャップを形成するように構成したことを特
徴とする。
設けられた段差部分き、この段差部分の斜面および上面
に薄膜形成される第１磁極と、この第１磁極の上に少く
ともその一部が薄膜形成される所定の厚みの非磁性体よ
りなるキャップ形成層と、このギヤ、プ形成層の上に少
くともその一部が薄膜形成される第２磁極とを有し、ヘ
ッド面上で前記第１磁極、ギャップ形成層および第２磁
極が磁極間ギャップを形成するように構成したことを特
徴とする。
本発明の第２の発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、ヘ
ッド面上に薄膜磁気ヘッドを設ける薄膜磁気ヘッドの製
造方法において、基板上に段差部分を設け、この段差部
分の斜面および上部に第１磁極とその上方の第２磁極と
を非磁性体よりなる所定の厚みのギャップ形成層をはさ
んで薄膜形成し、その上に保護膜を形成したのち前記段
差上部の第１磁極が存在する深さまで表面を除去して前
記ヘッド面を形成することによシ、前記ヘッド面上にて
磁極間ギャップを形成するようにしたことを特徴とする
。
ッド面上に薄膜磁気ヘッドを設ける薄膜磁気ヘッドの製
造方法において、基板上に段差部分を設け、この段差部
分の斜面および上部に第１磁極とその上方の第２磁極と
を非磁性体よりなる所定の厚みのギャップ形成層をはさ
んで薄膜形成し、その上に保護膜を形成したのち前記段
差上部の第１磁極が存在する深さまで表面を除去して前
記ヘッド面を形成することによシ、前記ヘッド面上にて
磁極間ギャップを形成するようにしたことを特徴とする
。
以下−１本発明を用いた磁気ヘッド装置および製造方法
を図面を用いて詳細に説明する。
を図面を用いて詳細に説明する。
第５図は本発明に係る磁気へ、ド装置および製造方法の
一実施例を示す説明図である。まず基板５０上に斜面５
２を持った段差５１をエツチング、機械加工、厚膜印刷
などで設ける。エツチングの場合には、基板５０として
単結晶シリコン基板を使用し、ＫＯＩＩあるいけＡＰＷ
による異方性エツチングを行なえは斜面の角度θを精度
よく形成できる。次に１パーマロイ（Ｆｅ ＋ Ｎｉ合
金）などの強磁性体を用いて電気メッキまたはスパッタ
リングなどを行なうことＫよシ第１の磁極５３を薄膜形
成する。その上にギャップ形成層５４を非磁性の電気絶
縁体（例えばｈｔ２ｏ、、 ５ｔｏ２ など）で形成す
る。さらに励磁および再生用導体コイル５５を形成し、
電気絶縁性保護膜５６を形成したのち第２の磁極５７を
第１の磁極と同様に形成する。リード線５８は第２の磁
極膜５７と同時に形成してもよいし、別の導体層で形成
してもよい。最後にヘッド面（浮動式ヘッドの場合スラ
イダ面とも呼ぶ）Ｋ適するような硬質物質（たとえばｈ
ｔ２０．、８１０２など）で第２の保護膜５９を形成す
る。この後表面を研摩して前記段差５１上部の第１磁極
５３が存在する、一点鎖線Ａで示される深さまで除去し
、ヘッド面を形成する。
一実施例を示す説明図である。まず基板５０上に斜面５
２を持った段差５１をエツチング、機械加工、厚膜印刷
などで設ける。エツチングの場合には、基板５０として
単結晶シリコン基板を使用し、ＫＯＩＩあるいけＡＰＷ
による異方性エツチングを行なえは斜面の角度θを精度
よく形成できる。次に１パーマロイ（Ｆｅ ＋ Ｎｉ合
金）などの強磁性体を用いて電気メッキまたはスパッタ
リングなどを行なうことＫよシ第１の磁極５３を薄膜形
成する。その上にギャップ形成層５４を非磁性の電気絶
縁体（例えばｈｔ２ｏ、、 ５ｔｏ２ など）で形成す
る。さらに励磁および再生用導体コイル５５を形成し、
電気絶縁性保護膜５６を形成したのち第２の磁極５７を
第１の磁極と同様に形成する。リード線５８は第２の磁
極膜５７と同時に形成してもよいし、別の導体層で形成
してもよい。最後にヘッド面（浮動式ヘッドの場合スラ
イダ面とも呼ぶ）Ｋ適するような硬質物質（たとえばｈ
ｔ２０．、８１０２など）で第２の保護膜５９を形成す
る。この後表面を研摩して前記段差５１上部の第１磁極
５３が存在する、一点鎖線Ａで示される深さまで除去し
、ヘッド面を形成する。
第６図（イ）は上記の方法でつくられた磁気ヘッドの断
面図である。研摩によシ形成されたヘッド面６１上に表
われる磁極間ギャップ６２のギャップ長ｇ２はｇ２＝ｔ
／ Ｓｉｎθとなるので、ギャップ層５４の膜厚ｔと
斜面角度θをコントロールすれば容易に精度よく形成す
ることができる。
面図である。研摩によシ形成されたヘッド面６１上に表
われる磁極間ギャップ６２のギャップ長ｇ２はｇ２＝ｔ
／ Ｓｉｎθとなるので、ギャップ層５４の膜厚ｔと
斜面角度θをコントロールすれば容易に精度よく形成す
ることができる。
第７図は第６図における保腰膜６１を除いた部分の平面
図である。段差の斜面部で磁極間ギャップを形成するた
めと、磁極５３と磁極５７との中間での漏れ磁束φ６を
小さくするために、図のように中間部において磁極同志
を大きく離したパターンとしている。
図である。段差の斜面部で磁極間ギャップを形成するた
めと、磁極５３と磁極５７との中間での漏れ磁束φ６を
小さくするために、図のように中間部において磁極同志
を大きく離したパターンとしている。
第８図は上記のようにしてつくられた浮動式磁気ヘッド
を示すもので（イ）は正面図、仲）は側面図、（つ唸下
面図である。８１がへ、ド面（スライダ面）である。こ
れは第２図の場合と同様に磁極などを形成する前後に１
基板全体をスライダ形状に加工しておき、切断すれば一
度に多量の磁気ヘッドを得ることができる。
を示すもので（イ）は正面図、仲）は側面図、（つ唸下
面図である。８１がへ、ド面（スライダ面）である。こ
れは第２図の場合と同様に磁極などを形成する前後に１
基板全体をスライダ形状に加工しておき、切断すれば一
度に多量の磁気ヘッドを得ることができる。
第９図は本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の他の実施
例を説明するための説明図で、基板９０を加工して突起
部９１を設けることによシ斜面９２を形成するものであ
る。突起部９１の表面積をせまくすると、へ、ド面にお
いて露出する磁極層の面積が小さくなるので、（研摩線
Ｂにおける）研摩が容易となシ、磁極部の経時劣化が少
なくなる。
例を説明するための説明図で、基板９０を加工して突起
部９１を設けることによシ斜面９２を形成するものであ
る。突起部９１の表面積をせまくすると、へ、ド面にお
いて露出する磁極層の面積が小さくなるので、（研摩線
Ｂにおける）研摩が容易となシ、磁極部の経時劣化が少
なくなる。
第１０図は本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の他の実
施例を示す説明図で、突起部９４を基板９３上に他の物
を付着することによ多形成するものである・例えば、ガ
ラスを印刷、焼成することＫよ多形成できる。
施例を示す説明図で、突起部９４を基板９３上に他の物
を付着することによ多形成するものである・例えば、ガ
ラスを印刷、焼成することＫよ多形成できる。
第１１図は本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の他の実
施例を示す説明図で、第１の磁極の膜厚方向の断面形状
９６を精度よく形成して、磁極間ギャップを突起部９５
の斜面でなく上部に形成したものである。
施例を示す説明図で、第１の磁極の膜厚方向の断面形状
９６を精度よく形成して、磁極間ギャップを突起部９５
の斜面でなく上部に形成したものである。
上記の各実施例は、いずれも磁極間ギャップとヘッド面
形成のための研摩を、基板の切断前に行なえるため、垂
直屋ヘッドに比べて製造工数の大幅な削減が可能である
。
形成のための研摩を、基板の切断前に行なえるため、垂
直屋ヘッドに比べて製造工数の大幅な削減が可能である
。
また磁極間ギャップ長はギャップ形成層の膜厚と、段差
上での第１磁極層の傾斜角（または断面形状）で決まる
ため、高精度かつ形成が容易である。
上での第１磁極層の傾斜角（または断面形状）で決まる
ため、高精度かつ形成が容易である。
また第７図に示すようなパターンを用いれば、磁極間の
中間部にお叶る磁束漏れが少なく高いヘッド効率を得る
ことができる。
中間部にお叶る磁束漏れが少なく高いヘッド効率を得る
ことができる。
なお上記の実施例では浮動式磁気ヘッドの場合を示した
が、これに限らずフロッピーディスクや磁気テープ装置
のへ、ドなどに用いることもできる。
が、これに限らずフロッピーディスクや磁気テープ装置
のへ、ドなどに用いることもできる。
以上述べたように本発明によれば、磁極間ギャップ形成
が高精度かつ容易に行なえ、量産性の優れた磁気ヘッド
装置および製造方法を提供することができる。
が高精度かつ容易に行なえ、量産性の優れた磁気ヘッド
装置および製造方法を提供することができる。
第１図は従来の水平型薄膜磁気へ、ドを示す斜視図、第
２図紘第１図の磁気ヘッドの製造工程を示す図、第５図
は従来の垂直型磁気ヘッドを示す斜視図、第４図は第３
図の磁気ヘッドの製造工程を示す図、第５図は本発明に
係る磁気へ、ド装置および製造方法の一実施例を示す説
明図、第６図および第７図は第５図の方法でつくられた
磁気ヘッドの構成を示す図、第８図は同じく磁気ヘッド
の構成を示す図、第９図、第１０図および第１１図は本
発明に係る装置および方法の他の実施例を説明するため
の説明図である。 ６１ 、８１・・・ヘッド面、５０，９０．９３・・・
基板、５工、９１゜９４ 、９５・・・段差部分、５２
．９２・・・斜面、５３・・・第１磁極、５４・・・ギ
ャップ形成層、５７・・・第２磁極、５９・・・保護膜
、６２・・・磁極間ギャップ。 爪 （イ） ｄ］ （ハ） ８図 （ロ）
２図紘第１図の磁気ヘッドの製造工程を示す図、第５図
は従来の垂直型磁気ヘッドを示す斜視図、第４図は第３
図の磁気ヘッドの製造工程を示す図、第５図は本発明に
係る磁気へ、ド装置および製造方法の一実施例を示す説
明図、第６図および第７図は第５図の方法でつくられた
磁気ヘッドの構成を示す図、第８図は同じく磁気ヘッド
の構成を示す図、第９図、第１０図および第１１図は本
発明に係る装置および方法の他の実施例を説明するため
の説明図である。 ６１ 、８１・・・ヘッド面、５０，９０．９３・・・
基板、５工、９１゜９４ 、９５・・・段差部分、５２
．９２・・・斜面、５３・・・第１磁極、５４・・・ギ
ャップ形成層、５７・・・第２磁極、５９・・・保護膜
、６２・・・磁極間ギャップ。 爪 （イ） ｄ］ （ハ） ８図 （ロ）
Claims (2)
- （１）基板上に設けられた段差部分と、この段差部分の
斜面および上面Ｋｌ膜形成される第１磁極と、この第１
磁極の上に少くともその一部が薄膜形成される所定の厚
みの非磁性体よシなるギャップ形成層と、仁のギャップ
形成層の上に少くともその一部が薄膜形成される第２磁
極とを有し、ヘッド面上で前記第１鈑極、ギヤ、プ形成
層および第２磁極が磁極間ギヤ、ブを形成するように構
成したことを特徴とする磁気ヘッド装置。 - （２）へ、ド面上に薄膜磁気へ、ドを設ける薄膜磁気ヘ
ッドの製造方法において、基板上に段差部分を設け、こ
の段差部分の斜面および上部に第１磁極とその上方の第
２磁極とを非磁性体よりなる所定の厚みのギヤ、プ形成
層をはさんで薄膜形成し、その上に保膜膜を形成したの
ち前記段差上部の第１磁極が存在する深さまで表面を除
去して前記へとする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22961083A JPS60121508A (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 磁気ヘッド装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22961083A JPS60121508A (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 磁気ヘッド装置およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60121508A true JPS60121508A (ja) | 1985-06-29 |
Family
ID=16894869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22961083A Pending JPS60121508A (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 磁気ヘッド装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60121508A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01501105A (ja) * | 1986-10-28 | 1989-04-13 | トムソン―セーエスエフ | 記録／再生用の薄膜磁気ヘッドとその製造方法 |
| JP2002340031A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-11-27 | Koyo Seiko Co Ltd | 油圧式クラッチ遮断装置 |
| JP2010090921A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Smc Corp | 高真空バルブ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5674812A (en) * | 1979-11-26 | 1981-06-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Magnetic head assembly |
-
1983
- 1983-12-05 JP JP22961083A patent/JPS60121508A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5674812A (en) * | 1979-11-26 | 1981-06-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Magnetic head assembly |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01501105A (ja) * | 1986-10-28 | 1989-04-13 | トムソン―セーエスエフ | 記録／再生用の薄膜磁気ヘッドとその製造方法 |
| JP2002340031A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-11-27 | Koyo Seiko Co Ltd | 油圧式クラッチ遮断装置 |
| JP2010090921A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Smc Corp | 高真空バルブ |
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