JPS60179916A - 垂直記録用の録再磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
垂直記録用の録再磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPS60179916A JPS60179916A JP60018784A JP1878485A JPS60179916A JP S60179916 A JPS60179916 A JP S60179916A JP 60018784 A JP60018784 A JP 60018784A JP 1878485 A JP1878485 A JP 1878485A JP S60179916 A JPS60179916 A JP S60179916A
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- Japan
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- magnetic
- recording
- channel
- central portion
- etching
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
- Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
- Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
- Y10T29/49036—Fabricating head structure or component thereof including measuring or testing
- Y10T29/49043—Depositing magnetic layer or coating
-
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- Y10T29/4906—Providing winding
- Y10T29/49064—Providing winding by coating
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は垂直記録用の磁気ヘッドの製造方法と、この方
法によって得られる磁気ヘッドに関するものである６本
発明はコンピュータの記憶装置に適用できる。
法によって得られる磁気ヘッドに関するものである６本
発明はコンピュータの記憶装置に適用できる。
（従来の技術）
一般に、垂直記録用の磁気ヘッドは磁性支持体上に設け
られた巻線を具備する。この支持体は巻線の中央に位置
決めされた主磁極片を有する。磁性薄膜は前記磁極片に
延び、磁気ヘッドの表面と同一平面である。この膜は２
つの薄いプレートの間に固定される。
られた巻線を具備する。この支持体は巻線の中央に位置
決めされた主磁極片を有する。磁性薄膜は前記磁極片に
延び、磁気ヘッドの表面と同一平面である。この膜は２
つの薄いプレートの間に固定される。
例えば、このような磁気ヘッドは、゛垂直記録方式用の
磁気ヘッド” （”Ａ ｍａｇｎｅｔｉｃ ｈｅａｄ
ｆｏｒｐｅｒｐｅｎｄｉｃｕｌａｒ ｍａｇｎｅｔｉｃ
ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍ”）と称して１９
８０年１２月１１日に出願され、１９８１年７月１日に
公告された欧州特許第３１ 、２１６号明細書に開示さ
れている。
磁気ヘッド” （”Ａ ｍａｇｎｅｔｉｃ ｈｅａｄ
ｆｏｒｐｅｒｐｅｎｄｉｃｕｌａｒ ｍａｇｎｅｔｉｃ
ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍ”）と称して１９
８０年１２月１１日に出願され、１９８１年７月１日に
公告された欧州特許第３１ 、２１６号明細書に開示さ
れている。
このような磁気ヘッドの従来の製造方法は２つのプレー
ト状の要素の間に磁性薄膜を挿入する工程を有する。組
立体は溶接される。得られた部材は基板に結合される。
ト状の要素の間に磁性薄膜を挿入する工程を有する。組
立体は溶接される。得られた部材は基板に結合される。
この基板は主磁極片とその巻線とを有する。完全な組立
体（エンティティ）は再び接着される。
体（エンティティ）は再び接着される。
このような製造方法は実行することが難しく、自動化又
は工業化にふされしくないことは明らかである。さらに
、処理（ハンドリング）を容易にするため、プレートは
記録及び再生の磁極として作用する磁性膜を挿入する前
に、ある厚さを持たせなければならない。このように、
磁極は延長される（なぜなら、磁極の長さはプレートの
厚さに等しいからである）。この結果、磁気ヘッドの効
率は減少する。
は工業化にふされしくないことは明らかである。さらに
、処理（ハンドリング）を容易にするため、プレートは
記録及び再生の磁極として作用する磁性膜を挿入する前
に、ある厚さを持たせなければならない。このように、
磁極は延長される（なぜなら、磁極の長さはプレートの
厚さに等しいからである）。この結果、磁気ヘッドの効
率は減少する。
（発明の課題）
本発明は前記問題点を取り除く方法に関する。
従って、本発明は従来技術より高精度で生産性の高い磁
気ヘッドを作ることが可能な薄膜付着操作を利用する方
法を提案する。さらに、磁気ヘッドは磁極の寸法を減じ
た結果としてより良い効率を有する。さらに特別には、
本発明は、絶縁支持体上に磁性物質の膜を付着する工程
、直線軸を有する細形の中央部分をそのまま残す第１の
幅広の閉じたチャネルを前記磁性膜にエツチングする工
程、前記中央部分を取り囲むと共に誘電体層によって電
気的に絶縁されるコイルを第１のチャネルに形成する工
程、前記コイル及び中央部分上に第１の硬質の誘電体物
質のコーティングを付着する工程、前記中央部分の軸に
平行なブレーナの側端部を有し、かつ前記中央部分に面
すると共に該中央部分を部分的に露出する第２のチャネ
ルを前記コーティングにエツチングする工程、第１の硬
質の誘電体層上及び第２のチャネルに磁性薄膜を付着す
る工程、第２のチャネルの側端部上に付着する部分のみ
を残すように前記磁性薄膜をエツチングする工程、及び
第１の硬質の誘電体物質と類似の第２の硬質の誘電体物
質で満たす工程から構成される垂直記録用の録再磁気ヘ
ッドの製造方法である。
気ヘッドを作ることが可能な薄膜付着操作を利用する方
法を提案する。さらに、磁気ヘッドは磁極の寸法を減じ
た結果としてより良い効率を有する。さらに特別には、
本発明は、絶縁支持体上に磁性物質の膜を付着する工程
、直線軸を有する細形の中央部分をそのまま残す第１の
幅広の閉じたチャネルを前記磁性膜にエツチングする工
程、前記中央部分を取り囲むと共に誘電体層によって電
気的に絶縁されるコイルを第１のチャネルに形成する工
程、前記コイル及び中央部分上に第１の硬質の誘電体物
質のコーティングを付着する工程、前記中央部分の軸に
平行なブレーナの側端部を有し、かつ前記中央部分に面
すると共に該中央部分を部分的に露出する第２のチャネ
ルを前記コーティングにエツチングする工程、第１の硬
質の誘電体層上及び第２のチャネルに磁性薄膜を付着す
る工程、第２のチャネルの側端部上に付着する部分のみ
を残すように前記磁性薄膜をエツチングする工程、及び
第１の硬質の誘電体物質と類似の第２の硬質の誘電体物
質で満たす工程から構成される垂直記録用の録再磁気ヘ
ッドの製造方法である。
本発明は前記製造方法によって得られる垂直記録用の録
再磁気ヘッドに関するものである。この磁気ヘッドは、
磁性物質から成る直線状中央部分を取り囲むコイルを有
すると共に、垂直の平面に薄い誘電体層のコーティング
と、前記中央部分と接触する磁性薄膜とを有する。
再磁気ヘッドに関するものである。この磁気ヘッドは、
磁性物質から成る直線状中央部分を取り囲むコイルを有
すると共に、垂直の平面に薄い誘電体層のコーティング
と、前記中央部分と接触する磁性薄膜とを有する。
（実施例）
第１図に示す誘電体の支持体１４はセラミック又は別の
絶縁物質である。本発明による好ましい実施例において
、この支持体はシリコンウェハーである。この支持体は
熱酸化によって得られるシリコンコーティング２０によ
って覆われる。
絶縁物質である。本発明による好ましい実施例において
、この支持体はシリコンウェハーである。この支持体は
熱酸化によって得られるシリコンコーティング２０によ
って覆われる。
次に、このコーティング２０は磁性膜２２の真空蒸着又
は他の適当な手段が行われる。磁性膜２２は強い磁化及
び高い透磁率を持つ。Ｍ ｎ Ｚ ｎ 、 Ｎ ｉ Ｚ
ｎのようなフェライ］への異なる型、又はＦｅＮｉの
ような合金、又はＣｏ Ｚ ｒのようなアモルファスの
磁性体が使用される。磁性膜２２の厚さは０．５ミクロ
ンから数ミクロンの間である。
は他の適当な手段が行われる。磁性膜２２は強い磁化及
び高い透磁率を持つ。Ｍ ｎ Ｚ ｎ 、 Ｎ ｉ Ｚ
ｎのようなフェライ］への異なる型、又はＦｅＮｉの
ような合金、又はＣｏ Ｚ ｒのようなアモルファスの
磁性体が使用される。磁性膜２２の厚さは０．５ミクロ
ンから数ミクロンの間である。
選択された物質の機能として、コーティング（磁性膜）
２２は化学的にエツチングされるか又は反応性イオンエ
ツチング（Ｒ’ＩＥ）によってエツチングされる。第２
図において、はぼ楕円又は卵形のチャネル２４が得られ
る。第８図はこのチャネルを示す平面図である。このチ
ャネルは中央の直線状部分３０がそのまま残る。ホトリ
トグラフィによって定められる樹脂マスクはこの目的の
ために使用される。例えば、エツチングの深さは磁性膜
２２の厚さの半分に達する。
２２は化学的にエツチングされるか又は反応性イオンエ
ツチング（Ｒ’ＩＥ）によってエツチングされる。第２
図において、はぼ楕円又は卵形のチャネル２４が得られ
る。第８図はこのチャネルを示す平面図である。このチ
ャネルは中央の直線状部分３０がそのまま残る。ホトリ
トグラフィによって定められる樹脂マスクはこの目的の
ために使用される。例えば、エツチングの深さは磁性膜
２２の厚さの半分に達する。
次に、チャネル２４は誘電体物質２６で満たされる。
この物質２６はシリカ、有機樹脂又はＳｉ（ＯＨ）４に
枯づくコンバンドである。結果は第３図に示す。
枯づくコンバンドである。結果は第３図に示す。
第４図は誘電体物質２６のエツチング２７を示す。
ホ１−リトグラフィによって定められる樹脂マスクを持
つ反応性イオンエツチングを使用することは可能である
。第４図に示される部分のエツチングは、第９図でもっ
ともよく示されるような、長方形断面と渦巻形状を有す
る溝２７のように形成される。
つ反応性イオンエツチングを使用することは可能である
。第４図に示される部分のエツチングは、第９図でもっ
ともよく示されるような、長方形断面と渦巻形状を有す
る溝２７のように形成される。
次に、溝２７の底において、電導体２８の付着（デボジ
シ目ン）が行われる。渦巻コイルは中央の磁極片３０の
回りに形成される。１このコイルの入力及び出力は示さ
れない。なぜなら、それらは構成的な問題を起さないか
らである。溝２７は物質２６と同一の物質で満たされる
。
シ目ン）が行われる。渦巻コイルは中央の磁極片３０の
回りに形成される。１このコイルの入力及び出力は示さ
れない。なぜなら、それらは構成的な問題を起さないか
らである。溝２７は物質２６と同一の物質で満たされる
。
硬質の（ハードな）誘電体層３２は組立体（エンティテ
ィ）上に付着される（第５図）。この層は■又は数ミク
ロンの間の厚さを有する。この層はアルミナ、シリカ又
は他の硬質の誘電体から形成され、磁気記録ディスク（
図示゛されない）の表面に良い機構的インタフェースを
保証することができる。さらに、この層３２はコイル２
８を絶縁するために使用される。
ィ）上に付着される（第５図）。この層は■又は数ミク
ロンの間の厚さを有する。この層はアルミナ、シリカ又
は他の硬質の誘電体から形成され、磁気記録ディスク（
図示゛されない）の表面に良い機構的インタフェースを
保証することができる。さらに、この層３２はコイル２
８を絶縁するために使用される。
硬質の誘電体層３２は中央部分３０の軸に対して平行の
ブレーナｆｉ［３４ａを有すると共に、前記部分３０を
約半分露出するチャネル３４を得るためにエツチングさ
れる・ 次に、１ミクロン以下の厚さの磁性薄膜３６が付着され
る。この膜３６は強い磁化と高い透磁率を有する。この
膜３６は膜２２の物質と同じグループの物質から選択さ
れる。磁性薄膜３６はプレーナ壁３４ａを除いて除去さ
れ、薄い磁気ディスク３８を形成する（第６図）。この
ディスクは中央の磁極片３０を肴−して磁気的連続性を
保証する。
ブレーナｆｉ［３４ａを有すると共に、前記部分３０を
約半分露出するチャネル３４を得るためにエツチングさ
れる・ 次に、１ミクロン以下の厚さの磁性薄膜３６が付着され
る。この膜３６は強い磁化と高い透磁率を有する。この
膜３６は膜２２の物質と同じグループの物質から選択さ
れる。磁性薄膜３６はプレーナ壁３４ａを除いて除去さ
れ、薄い磁気ディスク３８を形成する（第６図）。この
ディスクは中央の磁極片３０を肴−して磁気的連続性を
保証する。
最後に、チャネル３４は硬質の誘電体物質で満たされる
。この物質は層３２の物質と同一であっても、同一でな
くてもよい。第７図はこの結果を示す。
。この物質は層３２の物質と同一であっても、同一でな
くてもよい。第７図はこの結果を示す。
第９図はヘッドの分解平面図を示す。同図はチャネル２
４、渦巻コイル２８、壁３４ａを有する直線状のチャネ
ル３４、及びｌＩ！、３４ ａ上に付着された磁性薄膜
３８を示す。
４、渦巻コイル２８、壁３４ａを有する直線状のチャネ
ル３４、及びｌＩ！、３４ ａ上に付着された磁性薄膜
３８を示す。
第１０図は磁気記録ディスクに面した、本発明による垂
直記録用の録再磁気ヘッドを示す。この磁気記録ディス
クは垂直の異方性を有する磁気コーティング１０と、磁
束を閉じるための高透磁率の補助層（サブレイヤ）１２
とから構成される。
直記録用の録再磁気ヘッドを示す。この磁気記録ディス
クは垂直の異方性を有する磁気コーティング１０と、磁
束を閉じるための高透磁率の補助層（サブレイヤ）１２
とから構成される。
記録する場合、コイル２８に電流が流れると、コイル２
８は膜２２によってチャネルが作られた磁束を作り、磁
束は部分３０に、特に薄膜３８に集中する。
８は膜２２によってチャネルが作られた磁束を作り、磁
束は部分３０に、特に薄膜３８に集中する。
サブレイヤ１２とよく結合する後者は強烈な記録膜４０
を作る。この膜４０はＪｖｌｏに情報要素を記録する。
を作る。この膜４０はＪｖｌｏに情報要素を記録する。
閉じる磁束４２は主磁束４０と比較して減じられる。
なぜなら、閉じる磁極（コーティング２２）と層１２と
の距離は膜３８の端と前記層１２との距離より大きく、
磁束の閉じる表面は膜３８の部分と比較して非常に大き
いからである。
の距離は膜３８の端と前記層１２との距離より大きく、
磁束の閉じる表面は膜３８の部分と比較して非常に大き
いからである。
対称的に再生する場合、層１０によって作られた磁束は
記録の間と同じパスに従う。磁束の変化は巻線２８に増
加する電流を作り、巻線２８の端子の電圧は再生信号を
形成する。
記録の間と同じパスに従う。磁束の変化は巻線２８に増
加する電流を作り、巻線２８の端子の電圧は再生信号を
形成する。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、生産性が高く、
かつ高精度で効率の良い磁気ヘッド及びその製造方法を
提供することができる。
かつ高精度で効率の良い磁気ヘッド及びその製造方法を
提供することができる。
第１図乃至第７図は本発明による実施例の製造方法の主
段階を示す図、第８図はチャネルを示す平面図、第９図
は本発明による実施例の磁気ヘッドを示す分解平面図、
第１０図は磁気ヘッドの断面を示す図である。 １４−ｍ−支持体、 ２０−ｍ−シリコンコーティング。 ２２−ｍ−磁性膜、 ２４−ｍ−チャネル、２６一−−
誘電体物質、２７−−−溝。 ２８−ｍ−導電体（コイル）、 ３０−ｍ−磁極片（中央部分）、 ３４−ｍ−チャネル
、３４ａ −−−プレーナ壁、 ３８−−− 薄い磁気ディスク（磁性薄膜）。 特許出願人 コミッサリア ア レネルジイ アトミック特許出願代
理人 弁理士 山本恵−
段階を示す図、第８図はチャネルを示す平面図、第９図
は本発明による実施例の磁気ヘッドを示す分解平面図、
第１０図は磁気ヘッドの断面を示す図である。 １４−ｍ−支持体、 ２０−ｍ−シリコンコーティング。 ２２−ｍ−磁性膜、 ２４−ｍ−チャネル、２６一−−
誘電体物質、２７−−−溝。 ２８−ｍ−導電体（コイル）、 ３０−ｍ−磁極片（中央部分）、 ３４−ｍ−チャネル
、３４ａ −−−プレーナ壁、 ３８−−− 薄い磁気ディスク（磁性薄膜）。 特許出願人 コミッサリア ア レネルジイ アトミック特許出願代
理人 弁理士 山本恵−
Claims (3)
- （１）絶縁支持体上に磁性物質の膜を付着する工程、直
線軸を有する細形の中央部分をそのまま残す第１の幅広
の閉じたチャネルを前記磁性ｎＱにエツチングする工程
、前記中央部分を取り囲むと共に誘電体層によって電気
的に絶縁されるコイルを第１のチャネルに形成する工程
、前記コイル及び中央部分上に第１の硬質の誘電体物質
のコーティングを付着する工程、前記中央部分の軸に平
行なブレーナの側端部を有し、かつ前記中央部分に面す
ると共に該中央部分を部分的に露出する第２のチャネル
を前記コーティングにエツチングする工程、第１の硬質
の誘電体層上及び第２のチャネル、に磁性ｉｌ＃膜を付
着する工程、第２のチャネルの側端部上に付着する部分
のみを残すように前記磁性：４ＶＩＡをエツチングする
工程、及び第１の硬質の誘電体物質と類似の第２の硬質
の誘電体物質で満たす工程から構成されることを特徴と
する垂直記録用の録再磁気ヘッドの製造方法。 - （２）前記コイルは、第１のチャネルを前記誘電体層で
満たす工程と、前記中央部分を取り囲む渦巻状溝を得る
ように前記誘電体層を反応性イオンエツチングでエツチ
ングする工程と、前記渦巻状溝に導体物質を付着する工
程と、該渦巻状溝を満たす工程とによって得られること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の垂直記録用の
録再磁気ヘッドの製造方法。 - （３）磁性物質から成る直線状中央部分を取り囲むコイ
ルを有する垂直記録用の録再磁気ヘッドであって、垂直
の平面に薄い誘電体層のコーティングと、前記中央部分
と接触する磁性薄膜とを有することを特徴とする垂直記
録用の録再血気ヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8401880A FR2559294B1 (fr) | 1984-02-03 | 1984-02-03 | Nouvelle tete magnetique d'ecriture et de lecture pour enregistrement perpendiculaire et son procede de fabrication |
| FR8401880 | 1984-02-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60179916A true JPS60179916A (ja) | 1985-09-13 |
| JPH0644332B2 JPH0644332B2 (ja) | 1994-06-08 |
Family
ID=9300844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60018784A Expired - Lifetime JPH0644332B2 (ja) | 1984-02-03 | 1985-02-04 | 垂直記録用の録再磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4731157A (ja) |
| EP (1) | EP0153886B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0644332B2 (ja) |
| DE (1) | DE3571520D1 (ja) |
| FR (1) | FR2559294B1 (ja) |
Families Citing this family (40)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2605784B1 (fr) * | 1986-10-28 | 1989-04-28 | Europ Composants Electron | Procede de realisation d'un support magnetique bobine plan pour tetes magnetiques de lecture et d'enregistrement et support obtenu par ce procede |
| US5159511A (en) * | 1987-04-01 | 1992-10-27 | Digital Equipment Corporation | Biasing conductor for MR head |
| FR2621411B1 (fr) | 1987-10-05 | 1989-12-08 | Bull Sa | Dispositif asservi de lecture optique et d'ecriture magnetique d'un support d'informations |
| US6493191B1 (en) | 1989-11-27 | 2002-12-10 | Censtor Corporation | Planar magnetic ring head for contact recording with a rigid disk |
| US5116719A (en) * | 1990-02-15 | 1992-05-26 | Seagate Technology, Inc. | Top pole profile for pole tip trimming |
| US5034089A (en) * | 1990-08-23 | 1991-07-23 | Storage Technology Corporation | Method of manufacturing a multi-turn multi-track composite recording head |
| FR2705488B1 (fr) * | 1993-05-14 | 1995-06-23 | Commissariat Energie Atomique | Tête magnétique d'écriture pour enregistrement magnéto-optique. |
| FR2709855B1 (fr) * | 1993-09-06 | 1995-10-20 | Commissariat Energie Atomique | Tête magnétique de lecture et d'écriture à élément magnétorésistant compensé en écriture. |
| US6091581A (en) * | 1994-08-26 | 2000-07-18 | Aiwa Co., Ltd. | Thin film magnetic head including a separately deposited diamond-like carbon gap structure and magnetic control wells |
| US5909346A (en) * | 1994-08-26 | 1999-06-01 | Aiwa Research & Development, Inc. | Thin magnetic film including multiple geometry gap structures on a common substrate |
| US5815909A (en) * | 1994-08-26 | 1998-10-06 | Aiwa Research And Development, Inc. | Method of making a thin film magnetic head including protected via connections through an electrically insulative substrate |
| FR2727556B1 (fr) * | 1994-11-29 | 1997-01-03 | Thomson Csf | Procede de realisation d'une tete magnetique d'enregistrement/lecture et tete d'enregistrement/lecture |
| JPH08235528A (ja) * | 1994-12-05 | 1996-09-13 | Aiwa Co Ltd | プレーナ薄膜構造体の製造方法 |
| US5621594A (en) * | 1995-02-17 | 1997-04-15 | Aiwa Research And Development, Inc. | Electroplated thin film conductor coil assembly |
| US5768070A (en) * | 1997-05-14 | 1998-06-16 | International Business Machines Corporation | Horizontal thin film write, MR read head |
| US6455174B1 (en) * | 1998-11-05 | 2002-09-24 | Hitachi Maxell, Ltd. | Magnetic recording medium, recording and reproducing head, and magnetic recording and reproducing method |
| FR2788159B1 (fr) * | 1999-01-06 | 2001-02-09 | Information Technology Dev | Procede de fabrication d'une tete de lecture planaire miniaturisee a magnetoresistance geante |
| US6876519B1 (en) | 1999-09-20 | 2005-04-05 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording head including background magnetic field generator |
| US6771462B1 (en) | 1999-09-20 | 2004-08-03 | Seagate Technology Llc | Perpendicular recording head including concave tip |
| US6898053B1 (en) | 1999-10-26 | 2005-05-24 | Seagate Technology Llc | Perpendicular recording head with trackwidth defined by plating thickness |
| US6531202B1 (en) | 1999-11-29 | 2003-03-11 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording media with reduced-noise soft magnetic underlayer |
| US6646827B1 (en) | 2000-01-10 | 2003-11-11 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head with write pole which reduces flux antenna effect |
| US6667848B1 (en) | 2000-01-10 | 2003-12-23 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head with means for suppressing noise from soft magnetic underlayer of recording media |
| US6574072B1 (en) | 2000-01-12 | 2003-06-03 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head with radial magnetic field generator which reduces noise from soft magnetic underlayer of recording disk |
| US6660357B1 (en) | 2000-02-04 | 2003-12-09 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording media with laminated soft magnetic underlayer |
| US6693768B1 (en) | 2000-03-15 | 2004-02-17 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head having a flux focusing main pole |
| US6798615B1 (en) | 2000-03-24 | 2004-09-28 | Seagate Technology Llc | Perpendicular recording head with return poles which reduce flux antenna effect |
| US6717770B1 (en) | 2000-03-24 | 2004-04-06 | Seagate Technology Llc | Recording head for applying a magnetic field perpendicular to the magnetizations within magnetic storage media |
| JP2001283411A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-12 | Toshiba Corp | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| US6987637B2 (en) * | 2000-07-27 | 2006-01-17 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording system which eliminates skew angle effect |
| US6721131B2 (en) | 2001-03-15 | 2004-04-13 | Seagate Technology Llc | Composite write pole for a magnetic recording head |
| US6687085B2 (en) | 2001-07-17 | 2004-02-03 | Seagate Technology Llc | Perpendicular write head with high magnetization pole material and method of fabricating the write head |
| US6888700B2 (en) * | 2001-07-20 | 2005-05-03 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording apparatus for improved playback resolution having flux generating elements proximate the read element |
| US20030128633A1 (en) * | 2002-01-08 | 2003-07-10 | Seagate Technology Llc | Heat assisted magnetic recording head with hybrid write pole |
| US7196871B2 (en) * | 2003-09-26 | 2007-03-27 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Head for perpendicular recording with a floating trailing shield |
| US7009812B2 (en) * | 2003-09-29 | 2006-03-07 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic transducer for perpendicular magnetic recording with single pole write head with trailing shield |
| US7002775B2 (en) * | 2003-09-30 | 2006-02-21 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Head for perpendicular magnetic recording with a shield structure connected to the return pole piece |
| US7233457B2 (en) * | 2003-12-16 | 2007-06-19 | Seagate Technology Llc | Head for perpendicular recording with reduced erasure |
| US7639450B2 (en) * | 2005-04-27 | 2009-12-29 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Flux shunt structure for reducing return pole corner fields in a perpendicular magnetic recording head |
| US7595959B2 (en) * | 2005-06-29 | 2009-09-29 | Seagate Technology Llc | Recording heads including a magnetically damped write pole and recording systems including such heads |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58215713A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-15 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録用薄膜ヘツド |
| JPS60111313A (ja) * | 1983-11-21 | 1985-06-17 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4078300A (en) * | 1975-01-10 | 1978-03-14 | Compagnie Internationale Pour L'informatique | Method of making an integrated magnetic head having pole-pieces of a reduced frontal width |
| JPS5434219A (en) * | 1977-08-22 | 1979-03-13 | Canon Inc | Magnetic head |
| JPS54157613A (en) * | 1978-06-02 | 1979-12-12 | Fujitsu Ltd | Magnetic head |
| US4256514A (en) * | 1978-11-03 | 1981-03-17 | International Business Machines Corporation | Method for forming a narrow dimensioned region on a body |
| US4190872A (en) * | 1978-12-21 | 1980-02-26 | International Business Machines Corporation | Thin film inductive transducer |
| JPS5856163B2 (ja) * | 1979-11-30 | 1983-12-13 | 富士通株式会社 | 浮動式の垂直磁気記録再生用ヘツド |
| JPS6022406B2 (ja) * | 1979-12-13 | 1985-06-01 | 富士通株式会社 | 垂直磁気記録再生用ヘッド |
| JPS56163517A (en) * | 1980-05-19 | 1981-12-16 | Fujitsu Ltd | Vertical magnetization recording head |
| JPS57100620A (en) * | 1980-12-15 | 1982-06-22 | Hitachi Ltd | Manufacture of magnetic head |
| IT1129437B (it) * | 1980-12-16 | 1986-06-04 | Olivetti & Co Spa | Testina magnetica |
| JPS57143709A (en) * | 1981-02-27 | 1982-09-06 | Sony Corp | Magnetic head |
| JPS57147117A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-10 | Sony Corp | Magnetic head |
-
1984
- 1984-02-03 FR FR8401880A patent/FR2559294B1/fr not_active Expired
-
1985
- 1985-01-28 DE DE8585400135T patent/DE3571520D1/de not_active Expired
- 1985-01-28 EP EP85400135A patent/EP0153886B1/fr not_active Expired
- 1985-02-04 JP JP60018784A patent/JPH0644332B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-04-14 US US07/038,068 patent/US4731157A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58215713A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-15 | Fujitsu Ltd | 垂直磁気記録用薄膜ヘツド |
| JPS60111313A (ja) * | 1983-11-21 | 1985-06-17 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2559294B1 (fr) | 1988-08-12 |
| EP0153886A1 (fr) | 1985-09-04 |
| EP0153886B1 (fr) | 1989-07-12 |
| FR2559294A1 (fr) | 1985-08-09 |
| DE3571520D1 (en) | 1989-08-17 |
| JPH0644332B2 (ja) | 1994-06-08 |
| US4731157A (en) | 1988-03-15 |
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