JPH0345446B2 - - Google Patents
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- JPH0345446B2 JPH0345446B2 JP61034117A JP3411786A JPH0345446B2 JP H0345446 B2 JPH0345446 B2 JP H0345446B2 JP 61034117 A JP61034117 A JP 61034117A JP 3411786 A JP3411786 A JP 3411786A JP H0345446 B2 JPH0345446 B2 JP H0345446B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main pole
- substrate
- magnetic recording
- magnetic
- winding core
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその
製造方法に関し、特に主磁極励磁型の垂直磁気記
録用磁気ヘツドおよびその製造方法に関する。
製造方法に関し、特に主磁極励磁型の垂直磁気記
録用磁気ヘツドおよびその製造方法に関する。
従来この種の垂直磁気記録用磁気ヘツドとして
は、例えば特開昭60−136004号公報、特公昭57−
58730号公報等に開示されたものが知られている。
は、例えば特開昭60−136004号公報、特公昭57−
58730号公報等に開示されたものが知られている。
特開昭60−136004号公報に開示された垂直磁気
記録用磁気ヘツドは、非磁性セラミツク基板に対
してその一表面に幅方向の溝を形成した磁性フエ
ライト基板を表面を重ねるようにして接着し、接
着された両基板の隣合う面について非磁性セラミ
ツク基板側の面には磁気記録用の主磁極の先端部
分が磁性フエライト基板側の面には磁気記録用の
主磁極の基端部分が位置するように主磁極を形成
し、両基板の主磁極形成面を主磁極部を残して溝
が露出するまで切除するとともに非磁性セラミツ
ク基板の表面を磁気記録媒体に対する浮上面とす
る研磨加工等を施し、磁性フエライト基板の溝を
通して主磁極にコイルを施して形成される。
記録用磁気ヘツドは、非磁性セラミツク基板に対
してその一表面に幅方向の溝を形成した磁性フエ
ライト基板を表面を重ねるようにして接着し、接
着された両基板の隣合う面について非磁性セラミ
ツク基板側の面には磁気記録用の主磁極の先端部
分が磁性フエライト基板側の面には磁気記録用の
主磁極の基端部分が位置するように主磁極を形成
し、両基板の主磁極形成面を主磁極部を残して溝
が露出するまで切除するとともに非磁性セラミツ
ク基板の表面を磁気記録媒体に対する浮上面とす
る研磨加工等を施し、磁性フエライト基板の溝を
通して主磁極にコイルを施して形成される。
また、特公昭57−58730号公報に開示された磁
気記録用磁気ヘツドは、磁性材料によるスライダ
部基体および巻線部基体とこれら両基体表面側の
非磁性材料によるギヤツプ部基体とからなるヘツ
ドブロツク構造体を設けるとともに、このヘツド
ブロツク構造体の表面所定位置に磁性材料の蒸着
またはスパツタリングなどによつて選択的にスラ
イダ部、トラツク部およびギヤツプ部を薄膜形成
させるようにしたものである。
気記録用磁気ヘツドは、磁性材料によるスライダ
部基体および巻線部基体とこれら両基体表面側の
非磁性材料によるギヤツプ部基体とからなるヘツ
ドブロツク構造体を設けるとともに、このヘツド
ブロツク構造体の表面所定位置に磁性材料の蒸着
またはスパツタリングなどによつて選択的にスラ
イダ部、トラツク部およびギヤツプ部を薄膜形成
させるようにしたものである。
しかし、これら従来の垂直磁気記録用磁気ヘツ
ドはいずれも構造が複雑であり、したがつて製造
方法も複雑で寸法精度の確保が困難であるという
問題点があつた。
ドはいずれも構造が複雑であり、したがつて製造
方法も複雑で寸法精度の確保が困難であるという
問題点があつた。
また、寸法精度が確保が困難なことにより、十
分高い再生出力を得ることができないという問題
点があつた。
分高い再生出力を得ることができないという問題
点があつた。
本発明の目的は、上述の点に鑑み、構造が簡単
で寸法精度の確保が容易なことにより高再生出力
を得ることができるようにした垂直磁気記録用磁
気ヘツドを提供することにある。
で寸法精度の確保が容易なことにより高再生出力
を得ることができるようにした垂直磁気記録用磁
気ヘツドを提供することにある。
また、本発明の他の目的は、製造が容易で寸法
精度を出しやすい垂直磁気記録用磁気ヘツドの製
造方法を提供することにある。
精度を出しやすい垂直磁気記録用磁気ヘツドの製
造方法を提供することにある。
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘツドは、主磁極
励磁型の垂直磁気記録用磁気ヘツドにおいて、非
磁性体でなる基板と、この基板の側面に形成され
た主磁極膜と、この主磁極膜を被覆する保護膜
と、上記基板を上記主磁極膜が上位となるように
貼設された巻線用コアと、この巻線用コアを接着
材を介して固着するスライダとを備える。
励磁型の垂直磁気記録用磁気ヘツドにおいて、非
磁性体でなる基板と、この基板の側面に形成され
た主磁極膜と、この主磁極膜を被覆する保護膜
と、上記基板を上記主磁極膜が上位となるように
貼設された巻線用コアと、この巻線用コアを接着
材を介して固着するスライダとを備える。
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘツドの製
造方法は、基板上に主磁極膜を形成する工程と、
上記主磁極膜を所定の幅を有するストライプ状の
パターンに加工する工程と、上記主磁極膜を被覆
する保護膜を形成する工程と、上記基板を所望の
寸法となるように切断する工程と、上記基板を上
記主磁極が巻線用コア上に位置するように上記巻
線用コアに貼設する工程と、スライダに巻線用コ
アの両端部を接着材を介して接着する工程とを含
む。
造方法は、基板上に主磁極膜を形成する工程と、
上記主磁極膜を所定の幅を有するストライプ状の
パターンに加工する工程と、上記主磁極膜を被覆
する保護膜を形成する工程と、上記基板を所望の
寸法となるように切断する工程と、上記基板を上
記主磁極が巻線用コア上に位置するように上記巻
線用コアに貼設する工程と、スライダに巻線用コ
アの両端部を接着材を介して接着する工程とを含
む。
本発明の垂直磁気記録用磁気ヘツドでは、主磁
極膜でピツクアツプされた磁気信号は巻線用コア
およびスライダを含む閉磁路を通じてコイルに再
生電圧を発生させる。
極膜でピツクアツプされた磁気信号は巻線用コア
およびスライダを含む閉磁路を通じてコイルに再
生電圧を発生させる。
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘツドの製
造方法では、主磁極膜が巻線用コア上に位置する
ように基板が巻線用コアに貼設される。
造方法では、主磁極膜が巻線用コア上に位置する
ように基板が巻線用コアに貼設される。
第１図は本発明の一実施例に係る垂直磁気記録
用磁気ヘツドを示す斜視図である。本実施例の垂
直磁気記録用磁気ヘツドは、基板１と、この基板
１に形成された主磁極膜２と、この主磁極膜２を
被覆する保護膜３と、スライダ５に巻線用コア７
を固着する接着材４と、スライダ５と、コイルを
巻装するための巻線用コア７とから構成されてい
る。
用磁気ヘツドを示す斜視図である。本実施例の垂
直磁気記録用磁気ヘツドは、基板１と、この基板
１に形成された主磁極膜２と、この主磁極膜２を
被覆する保護膜３と、スライダ５に巻線用コア７
を固着する接着材４と、スライダ５と、コイルを
巻装するための巻線用コア７とから構成されてい
る。
次に、このように構成された本実施例の磁気ヘ
ツドの製造方法について説明する。
ツドの製造方法について説明する。
まず、第２図ａに示すように、ガラス、結晶化
ガラス、フエライト、セラミツク、Al2O3、
Al2O3−TiC等の非磁性材でなる基板１上に、パ
ーマロイ、センダスト、Co−Zr−Nb、Co−Hf
−Ta等のアモルフアス金属等をスパツタリング
することによつて薄膜状の主磁極膜２を形成す
る。このとき形成される主磁極膜２の膜厚によつ
て、記録線密度が決定される。
ガラス、フエライト、セラミツク、Al2O3、
Al2O3−TiC等の非磁性材でなる基板１上に、パ
ーマロイ、センダスト、Co−Zr−Nb、Co−Hf
−Ta等のアモルフアス金属等をスパツタリング
することによつて薄膜状の主磁極膜２を形成す
る。このとき形成される主磁極膜２の膜厚によつ
て、記録線密度が決定される。
続いて、第２図ｂに示すように、主磁極膜２を
ウエツトエツチングあるいはドライエツチングす
ることによつて所定の幅を有するストライプ状の
パターンに加工する。このとき形成されるパター
ン幅がトラツク幅となり、トラツク密度を決定す
る。
ウエツトエツチングあるいはドライエツチングす
ることによつて所定の幅を有するストライプ状の
パターンに加工する。このとき形成されるパター
ン幅がトラツク幅となり、トラツク密度を決定す
る。
次に、第２図ｃに示すように、主磁極膜２を被
覆するようにSiO2、Al2O3等の非磁性材をスパツ
タリングすることによつて保護膜３を形成する。
覆するようにSiO2、Al2O3等の非磁性材をスパツ
タリングすることによつて保護膜３を形成する。
続いて、主磁極膜２等が形成された基板１を所
望の寸法となるように図中の一点鎖線に沿つて切
断する。
望の寸法となるように図中の一点鎖線に沿つて切
断する。
このようにして得られた基板１を、第３図に示
すように、主磁極膜２が巻線用コア７上に位置す
るようにMn−Znフエライト、Ni−Znフエライ
ト、アモルフアス金属等によつて断面Ｃ字状に形
成された巻線用コア７の上面にガラス、樹脂等で
貼設し、図中に示す一点鎖線に沿つて切断するこ
とにより所定寸法の巻線用コア７を得る。
すように、主磁極膜２が巻線用コア７上に位置す
るようにMn−Znフエライト、Ni−Znフエライ
ト、アモルフアス金属等によつて断面Ｃ字状に形
成された巻線用コア７の上面にガラス、樹脂等で
貼設し、図中に示す一点鎖線に沿つて切断するこ
とにより所定寸法の巻線用コア７を得る。
この後、Mn−Znフエライト、Ni−Znフエラ
イト、アモルフアス金属等からなる第４図に示す
ような断面コの字型のスライダ５の前端面の右側
部寄りに、巻線用コア７の両端部をガラス、樹脂
等からなる接着材４で接着する。
イト、アモルフアス金属等からなる第４図に示す
ような断面コの字型のスライダ５の前端面の右側
部寄りに、巻線用コア７の両端部をガラス、樹脂
等からなる接着材４で接着する。
しかる後に、スライダ５の上面部を研削加工し
てエアグループ５ａおよびパツド面５ｂを形成
し、巻線用コア７にコイルを巻装することによ
り、本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘツドが製造
される。
てエアグループ５ａおよびパツド面５ｂを形成
し、巻線用コア７にコイルを巻装することによ
り、本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘツドが製造
される。
なお、上記垂直磁気記録用磁気ヘツドの製造方
法においては、主磁極膜２および保護膜３をスパ
ツタリングで形成するようにしたが、これらは蒸
着、メツキ、イオンプレーテイング等の他の方法
によつて形成することもできる。
法においては、主磁極膜２および保護膜３をスパ
ツタリングで形成するようにしたが、これらは蒸
着、メツキ、イオンプレーテイング等の他の方法
によつて形成することもできる。
また、スライダ５に巻線用コア７を固着した後
にエアグループ５ａおよびパツド面５ｂを形成す
るようにしたが、これらは巻線用コア７の貼設以
前にあらかじめ形成しておいてもよい。
にエアグループ５ａおよびパツド面５ｂを形成す
るようにしたが、これらは巻線用コア７の貼設以
前にあらかじめ形成しておいてもよい。
次に、このようにして製造された本実施例の磁
気ヘツドを用いて垂直磁気記録媒体に記録および
再生を行うには、スライダ５のパツド面５ｂ上に
垂直磁気記録媒体を載置し、コイルに信号電流を
通電しながら垂直磁気記録媒体を移動させる。す
ると、コイルに誘導された磁束が巻線用コア７お
よび極めて薄い主磁極膜２を介して高磁束密度と
なつて垂直磁気記録媒体に作用し、垂直磁気記録
媒体を厚み方向に磁化して信号の記録を行う。
気ヘツドを用いて垂直磁気記録媒体に記録および
再生を行うには、スライダ５のパツド面５ｂ上に
垂直磁気記録媒体を載置し、コイルに信号電流を
通電しながら垂直磁気記録媒体を移動させる。す
ると、コイルに誘導された磁束が巻線用コア７お
よび極めて薄い主磁極膜２を介して高磁束密度と
なつて垂直磁気記録媒体に作用し、垂直磁気記録
媒体を厚み方向に磁化して信号の記録を行う。
また、本実施例の垂直磁気記録用磁気ヘツドを
用いて垂直磁気記録媒体から記録信号を再生する
には、垂直磁気記録媒体に残留磁気の形で記録さ
れた信号を主磁極膜２でピツクアツプすることに
より、コイルに誘導電圧として再生出力を取り出
す。
用いて垂直磁気記録媒体から記録信号を再生する
には、垂直磁気記録媒体に残留磁気の形で記録さ
れた信号を主磁極膜２でピツクアツプすることに
より、コイルに誘導電圧として再生出力を取り出
す。
以上説明したように、本発明の垂直磁気記録用
磁気ヘツドによれば、 高出力のコア構造により、高トラツク密度の
記録を行うことができる、 垂直磁気記録媒体が低速度でも高出力が得ら
れるので、データの信頼性が高い記録および再
生を行うことができる、 構造が簡単なので、垂直磁気記録媒体と垂直
磁気記録用磁気ヘツドとの間の機械的信頼性が
高い、 等の効果がある。
磁気ヘツドによれば、 高出力のコア構造により、高トラツク密度の
記録を行うことができる、 垂直磁気記録媒体が低速度でも高出力が得ら
れるので、データの信頼性が高い記録および再
生を行うことができる、 構造が簡単なので、垂直磁気記録媒体と垂直
磁気記録用磁気ヘツドとの間の機械的信頼性が
高い、 等の効果がある。
また、本発明の垂直磁気記録用磁気ヘツドの製
造方法によれば、 １回の成膜工程で多数の主磁極膜が得られる
ので、量産性が高い、 記録特性を決定する主磁極膜の膜厚がスパツ
タリング装置の成膜時間で決まるので、高精度
である、 トラツク加工をエツチングで行えるので、精
度がよく量産性が高い、 等の効果がある。
造方法によれば、 １回の成膜工程で多数の主磁極膜が得られる
ので、量産性が高い、 記録特性を決定する主磁極膜の膜厚がスパツ
タリング装置の成膜時間で決まるので、高精度
である、 トラツク加工をエツチングで行えるので、精
度がよく量産性が高い、 等の効果がある。
第１図は、本発明の一実施例に係る垂直磁気記
録用磁気ヘツドの斜視図、第２図ａ〜ｃは、第１
図中に示した基板の順次の製造工程を示す斜視
図、第３図は、第１図中に示した巻線用コアの製
造工程を示す斜視図、第４図は、第１図中に示し
たスライダの製造工程を示す斜視図である。 図において、１……基板、２……主磁極膜、３
……保護膜、４……接着材、５……スライダ、５
ａ……エアグルーブ、５ｂ……パツド面、７……
巻線用コアである。
録用磁気ヘツドの斜視図、第２図ａ〜ｃは、第１
図中に示した基板の順次の製造工程を示す斜視
図、第３図は、第１図中に示した巻線用コアの製
造工程を示す斜視図、第４図は、第１図中に示し
たスライダの製造工程を示す斜視図である。 図において、１……基板、２……主磁極膜、３
……保護膜、４……接着材、５……スライダ、５
ａ……エアグルーブ、５ｂ……パツド面、７……
巻線用コアである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 主磁極励磁型の垂直磁気記録用磁気ヘツドに
おいて、 非磁性体でなる基板と、この基板の側面に形成
された主磁極膜と、この主磁極膜を被覆する保護
膜と、上記基板を上記主磁極膜が上位となるよう
に貼設された巻線用コアと、この巻線用コアを接
着材を介して固着するスライダとを備えることを
特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘツド。 ２ 基板上に主磁極膜を形成する工程と、上記主
磁極膜を所定の幅を有するストライプ状のパター
ンに加工する工程と、上記主磁極膜を被覆する保
護膜を形成する工程と、上記基板を所望の寸法と
なるように切断する工程と、上記基板を上記主磁
極が巻線用コア上に位置するように上記巻線用コ
アに貼設する工程と、スライダに巻線用コアの両
端部を接着材を介して接着する工程とを含むこと
を特徴とする垂直磁気記録用磁気ヘツドの製造方
法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61034117A JPS62192016A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
| KR1019860007898A KR900004742B1 (ko) | 1986-02-19 | 1986-09-22 | 수직 자기기록용 자기헤드 및 그 제조방법 |
| US06/948,024 US4768121A (en) | 1986-02-19 | 1986-12-31 | Magnetic head formed by composite main pole film and winding core for perpendicular magnetic recording |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61034117A JPS62192016A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62192016A JPS62192016A (ja) | 1987-08-22 |
| JPH0345446B2 true JPH0345446B2 (ja) | 1991-07-11 |
Family
ID=12405315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61034117A Granted JPS62192016A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4768121A (ja) |
| JP (1) | JPS62192016A (ja) |
| KR (1) | KR900004742B1 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ATE100962T1 (de) * | 1987-10-30 | 1994-02-15 | Seagate Technology | Magnetkopf fuer senkrechtes magnetaufzeichnungssystem und herstellungsverfahren. |
| JPH0719460B2 (ja) * | 1989-03-16 | 1995-03-06 | ティーディーケイ株式会社 | 浮動型磁気ヘッド |
| US5001589A (en) * | 1989-05-31 | 1991-03-19 | Seagate Technology, Inc. | Tungsten and tantalum diffusion barriers for Metal-In-Gap magnetic heads |
| US5270888A (en) * | 1992-02-21 | 1993-12-14 | Applied Magnetics Corporation | Composite slider head with reduced readback oscillation |
| JPH09503607A (ja) * | 1993-10-07 | 1997-04-08 | クワンタム・ペリフェラルズ・コロラド・インコーポレーテッド | ロール・モーメントに対する感受性を低下させた定浮上量スライダ |
| US6416880B1 (en) * | 1993-12-09 | 2002-07-09 | Seagate Technology, Llc | Amorphous permalloy films and method of preparing the same |
| US5808832A (en) * | 1996-02-27 | 1998-09-15 | International Business Machines Corporation | Ultrathin silicon wear coating for a slider and thin film magnetic head elements at an ABS |
| JP4519393B2 (ja) * | 2002-04-10 | 2010-08-04 | 新科實業有限公司 | 垂直磁気記録ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 |
| US7038882B2 (en) * | 2002-10-03 | 2006-05-02 | Seagate Technology | Low moment-high moment write pole with non-magnetic layer for establishing a magnetic path discontinuity between layers of the write pole |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54119220A (en) * | 1978-03-08 | 1979-09-17 | Olympus Optical Co Ltd | Magnetic head |
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-
1986
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR870008282A (ko) | 1987-09-25 |
| US4768121A (en) | 1988-08-30 |
| JPS62192016A (ja) | 1987-08-22 |
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