JP2010090921A - 高真空バルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この高真空バルブは、第1のポート12と第2のポート13との間の流路11に弁座16を設け、該弁座に接離する弁部材14を備えた弁体部1と、パイロット流体圧により駆動されるロッド15が上記弁座に対向する流路壁を貫通して流路内に挿入され、その先端に連結した弁部材を弁座の開閉のために駆動する弁駆動機構部2とを備える。上記ロッドの軸シール部30を、貫通孔18内にグリース溜31を設けて、該グリース溜の流路11側にグリース保持用のシール部材32を設けると共に、グリース溜の反対側に真空シール用シール部材33を設け、グリース溜の軸方向長さを、上記弁部材の最大ストロークと同じかそれ以上に形成する。
【選択図】図1
Description
本発明の更に具体的な技術的課題は、上記高真空バルブにおいて、上記軸シール部から真空雰囲気にある流路へのグリースの蒸発、溶出、流出を、簡易な手段によって効果的に抑制することにある。
また、上記弁部材を駆動する駆動手段が、上記弁部材を先端に連結して他端を上記流路壁からケーシング内のシリンダ部に突出させた上記ロッドに、該シリンダ部内に摺動自在に収容したピストンを連結し、該シリンダ部内に給排するパイロット流体圧により上記ピストン及びロッドを介して弁部材が駆動可能に形成される。
図1及び2は、本発明に係る高真空バルブの実施の一例を示している。この高真空バルブは、弁部材14を開閉駆動するロッド15の軸シール部30が、グリース溜31を設けた摺動シールによって構成されたL型バルブで、その主要部分は、大別して、内部に流路11が形成された弁体部1と、弁体部1における弁座16の開閉のために弁部材14の開閉駆動を行う弁駆動機構部2とから構成されている。
更に、上記グリース溜31の流路11側に設けた上記シール部材32は、真空にする流路11の側にグリースが出て行かないように保持するものであるが、真空シール機能を兼備していることは勿論である。一方、グリース溜31の反対側に設けたシール部材33は、真空シールとして機能するものであるが、グリースがシリンダ部20内に流出するのを抑制する機能を兼備しているのは勿論である。
2 弁駆動機構部
11 流路
12 第1のポート
13 第2のポート
14 弁部材
15 ロッド
16 弁座
18 貫通孔
20 シリンダ部
21 ケーシング
22 ピストン
23,24 ピストン室
30 軸シール部
31 グリース溜
32,33 シール部材
35 スクレパー
36 シール用パッキン
37 通孔
Claims (4)
- 第1のポートと第2のポートとの間に形成された流路に弁座を設け、該弁座に接離して該流路を開閉する弁部材を備えた弁体部と、駆動手段により駆動されるロッドが上記弁体部の弁座に対向する流路壁をシール状態で貫通して該流路内に挿入され、該ロッドの先端に連結した上記弁部材を弁座の開閉のために駆動する弁駆動機構部とを備えた高真空バルブにおいて、
上記弁体部の流路壁を貫通する上記ロッドの貫通孔内にグリース溜を設けて、該貫通孔内におけるグリース溜の上記流路側にグリース保持用のシール部材を設けると共に、上記貫通孔内におけるグリース溜の反対側に真空シール用シール部材を設けて、上記貫通孔の軸シール部を構成し、
上記グリース溜の軸方向長さを、上記弁部材の最大ストロークと同じかそれ以上に形成した、
ことを特徴とする高真空バルブ。 - 上記貫通孔内における流路側端にスクレパーを設けた、
ことを特徴とする請求項1に記載の高真空バルブ。 - 上記弁部材を駆動する駆動手段が、上記弁部材を先端に連結して他端を上記流路壁からケーシング内のシリンダ部に突出させた上記ロッドに、該シリンダ部内に摺動自在に収容したピストンを連結し、該シリンダ部内に給排するパイロット流体圧により上記ピストン及びロッドを介して弁部材が駆動可能に形成されている、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の高真空バルブ。 - 上記シリンダ部における少なくともピストンのロッド連結側のピストン室を、パイロット流体圧が給排される圧力室とし、上記ロッドが貫通する貫通孔の該圧力室側端に該圧力室のシール用パッキンを設けると共に、該シール用パッキンと貫通孔内におけるグリース溜の該圧力室側に位置する真空シール用シール部材との間の空間を、上記圧力室から上記シール用パッキンを通して漏出した空気を逃がすための通孔によって外部に開放させた、
ことを特徴とする請求項3に記載の高真空バルブ。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012041960A (ja) * | 2010-08-17 | 2012-03-01 | Rinnai Corp | 流量制御弁 |
JP2013072510A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Nec Corp | シール構造 |
JP2013148131A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Tokiko Techno Kk | 制御弁 |
CN103615544A (zh) * | 2013-11-11 | 2014-03-05 | 锦州高中压阀门制造有限公司 | 直启多密封角式截止阀 |
JP2017073474A (ja) * | 2015-10-08 | 2017-04-13 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装装置 |
JP2023508838A (ja) * | 2019-12-31 | 2023-03-06 | 浙江盾安人工環境股▲ふん▼有限公司 | 電子膨張弁及びこの電子膨張弁を用いる空調システム |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DK201070264A (en) * | 2010-06-15 | 2011-12-16 | Alfa Laval Corp Ab | Self sealing bonnet |
KR101800924B1 (ko) * | 2011-02-02 | 2017-11-23 | 시케이디 가부시키가이샤 | 진공 제어 밸브, 진공 제어 장치 및 컴퓨터 판독 가능한 기록매체 |
CN103644363A (zh) * | 2013-11-25 | 2014-03-19 | 大连元利流体技术有限公司 | 一种新型高压同轴阀 |
CN104048078A (zh) * | 2014-06-30 | 2014-09-17 | 无锡市威海达机械制造有限公司 | 气控超高压单向阀 |
KR101505952B1 (ko) * | 2014-09-04 | 2015-03-26 | 윤어용 | 반도체 제조 설비용 진공밸브 |
CN108506556A (zh) * | 2018-06-12 | 2018-09-07 | 珠海市思卡净化技术有限公司 | 一种ffv型进排气组合阀 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60121508A (ja) * | 1983-12-05 | 1985-06-29 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 磁気ヘッド装置およびその製造方法 |
JP2002070807A (ja) * | 2000-08-24 | 2002-03-08 | Ckd Corp | 真空シール機構付きシリンダ |
JP2006312981A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Smc Corp | 2ポート弁のロッドシール部保護構造 |
JP2007120522A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Ckd Corp | 真空弁 |
JP2010007751A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Ckd Corp | 真空弁 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60121508U (ja) * | 1984-01-23 | 1985-08-16 | シーケーデイ株式会社 | 空気圧シリンダ |
JPH0635737U (ja) * | 1992-10-12 | 1994-05-13 | 日新電機株式会社 | 軸の真空シール構造 |
KR960023972A (ko) * | 1994-12-09 | 1996-07-20 | 지종기 | 금속주름관을 이용한 안전진공밸브 |
KR20000028106A (ko) * | 1998-10-30 | 2000-05-25 | 윤종용 | 고진공 밸브 |
JP3769495B2 (ja) * | 2001-11-26 | 2006-04-26 | Smc株式会社 | ヒーター付きポペット弁 |
KR20030060511A (ko) * | 2002-01-09 | 2003-07-16 | 삼성전자주식회사 | 2개의 벨로우즈 및 2개의 실링부를 가지는 고진공 밸브 |
-
2008
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-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60121508A (ja) * | 1983-12-05 | 1985-06-29 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 磁気ヘッド装置およびその製造方法 |
JP2002070807A (ja) * | 2000-08-24 | 2002-03-08 | Ckd Corp | 真空シール機構付きシリンダ |
JP2006312981A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Smc Corp | 2ポート弁のロッドシール部保護構造 |
JP2007120522A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Ckd Corp | 真空弁 |
JP2010007751A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Ckd Corp | 真空弁 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012041960A (ja) * | 2010-08-17 | 2012-03-01 | Rinnai Corp | 流量制御弁 |
JP2013072510A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Nec Corp | シール構造 |
JP2013148131A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Tokiko Techno Kk | 制御弁 |
CN103615544A (zh) * | 2013-11-11 | 2014-03-05 | 锦州高中压阀门制造有限公司 | 直启多密封角式截止阀 |
JP2017073474A (ja) * | 2015-10-08 | 2017-04-13 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装装置 |
JP2023508838A (ja) * | 2019-12-31 | 2023-03-06 | 浙江盾安人工環境股▲ふん▼有限公司 | 電子膨張弁及びこの電子膨張弁を用いる空調システム |
JP7421643B2 (ja) | 2019-12-31 | 2024-01-24 | 浙江盾安人工環境股▲ふん▼有限公司 | 電子膨張弁及びこの電子膨張弁を用いる空調システム |
Also Published As
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---|---|
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