KR20000028106A - 고진공 밸브 - Google Patents

고진공 밸브 Download PDF

Info

Publication number
KR20000028106A
KR20000028106A KR1019980046243A KR19980046243A KR20000028106A KR 20000028106 A KR20000028106 A KR 20000028106A KR 1019980046243 A KR1019980046243 A KR 1019980046243A KR 19980046243 A KR19980046243 A KR 19980046243A KR 20000028106 A KR20000028106 A KR 20000028106A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
high vacuum
vacuum valve
portions
space
vertical
Prior art date
Application number
KR1019980046243A
Other languages
English (en)
Inventor
송광선
Original Assignee
윤종용
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자 주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1019980046243A priority Critical patent/KR20000028106A/ko
Publication of KR20000028106A publication Critical patent/KR20000028106A/ko

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K35/00—Means to prevent accidental or unauthorised actuation
    • F16K35/06—Means to prevent accidental or unauthorised actuation using a removable actuating or locking member, e.g. a key

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Lift Valve (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 장치의 제조에 사용되는 금속증착설비나 이온주입장치에 사용되는 로드 록 고진공 밸브에 관한 것으로, 본 발명에 의한 로드 록 고진공 밸브는 단순한 왕복운동 만으로 밸브의 여닫는 동작이 수행되는 수직 타입(Vertical Type)으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
수직 타입으로 구성되고 외부 크기를 상대적으로 작게 함으로써, 고장이 잘 일어나지 않고 장착 및 분리가 용이하여 유지 보수가 편리하다는 장점이 있다.

Description

고진공 밸브
본 발명은 고진공 밸브(High Vacuuam Valve)에 관한 것으로, 특히 반도체 장치의 제조에 사용되는 금속증착설비나 이온주입장치에 사용되는 로드 록 고진공 밸브(Load Lock High Vacuuam Valve)에 관한 것이다.
도 1에 도시된 종래의 로드 록 고진공 밸브는 수평 타입(Horizontal Type)으로 나비모양으로 되어 있으며, 이단동작을 하게 되어 있다. 즉, 일단 회전시킨 다음 축의 힘으로 밀어 밸브를 닫는 구조로 되어 있다.
현재 금속증착설비에 쓰이는 도1에 도시된 바와 같은 고진공 밸브는 여러 문제점을 갖고 있는데, 무엇보다도 밸브 자체의 구조가 복잡하고, 동작을 2단으로 하여야 하기 때문에 고장이 잦고 설치, 고정이 어렵다는 문제가 있다. 또한 회전을 통해 밸브를 여닫는 구조로 되어 있어 여닫는 동작시 마찰이 심하며, 씰링 역할을 하는 O자 링 부위가 고정되어 있어 이 부위에 흠결(scratch)이 생기는 경우 고진공 밸브 전체를 통채로 갈아야 하는 문제가 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 위와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 고장이 잘 일어나지 않고 고장시에도 쉽게 점검 및 수리를 할 수 있는 구조의 고진공 밸브를 제공하는 것이다.
도 1은 종래의 고진공 밸브를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 고진공 밸브를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 고진공 밸브가 설치된 로드 록 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 의한 고진공 밸브는 단순한 왕복운동 만으로 밸브의 여닫는 동작이 수행되는 수직 타입(Vertical Type)으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
즉, 종래 불필요하게 구조가 복잡하여 계속적인 반복 동작(웨이퍼 1매에 2번씩 동작) 때문에 장시간 사용하기에 부적절하고 밸브 내부의 누설 및 동작불량이 잦았던 점을 러핑 밸브(Roughing Valve)와 마찬가지로 수직 타입으로 변경함으로써, 구조가 간단해지고 그에 따라 설비에 장착 및 분리가 용이하며 고장이 잘 일어나지 않게 된다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면 고진공 밸브의 로드 록과 연결되는 부분의 직경은 40 내지 65mm로 하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 고진공 밸브의 구조를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 고진공 밸브(100)를 도시한 도면으로서, 참조부호 110은 고진공 밸브 위치 센서축, 120은 터보 펌프와 연결되는 부분, 130은 로드 록과 연결되는 부분, 140은 벨로우즈를 각각 나타낸다.
각각 터보 펌프 및 로드 록과 연결되는 부분(120 및 130)은 클램프를 사용하여 연결되고, 그 내부 직경은 40 내지 65mm가 적당하다. 또 벨로우즈(140)를 설치함으로써 왕복운동이 가능한 수직 타입으로 되어 있다. 따라서 종래의 고진공 밸브가 밸브의 외부가 불필요하게 크고 내부 공간이 협소하여 스크류를 이용한 장착이 어려웠던 것에 비해, 본 발명과 같이 수직 타입으로 하면 진공 라인 정도의 공간만 차지하기 때문에 장착 및 분리가 용이하게 된다.
도 3은 본 발명의 수직 타입 고진공 밸브를 로드 록에 장착한 상태를 도시한 개략도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 고진공 밸브(100)는 터보 펌프(240) 및 로드 록(210, 220)과 각각 진공 라인을 통해 연결되고, 좌우측 로드 록(210, 220)에는 러핑 밸브(230)가 각각 연결된다.
이상과 같이 본 발명에 따른 고진공 밸브에 의하면, 수직 타입으로 구성되고 외부 크기를 상대적으로 작게 함으로써, 고장이 잘 일어나지 않고 장착 및 분리가 용이하여 유지 보수가 편리하다는 장점이 있다.

Claims (3)

  1. 왕복운동만으로 여닫는 동작이 수행되는 수직 타입으로 이루어진 것을 특징으로 하는 고진공 밸브.
  2. 제1항에 있어서, 상기 고진공 밸브는 로드 록 설비에 장착되는 것을 특징으로 하는 고진공 밸브.
  3. 제2항에 있어서, 상기 로드 록 설비와 연결되는 부분의 직경이 40 내지 65mm 인 것을 특징으로 하는 고진공 밸브.
KR1019980046243A 1998-10-30 1998-10-30 고진공 밸브 KR20000028106A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980046243A KR20000028106A (ko) 1998-10-30 1998-10-30 고진공 밸브

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980046243A KR20000028106A (ko) 1998-10-30 1998-10-30 고진공 밸브

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20000028106A true KR20000028106A (ko) 2000-05-25

Family

ID=19556460

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980046243A KR20000028106A (ko) 1998-10-30 1998-10-30 고진공 밸브

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20000028106A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101107098B1 (ko) * 2008-10-03 2012-01-30 에스엠시 가부시키가이샤 고진공 밸브

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101107098B1 (ko) * 2008-10-03 2012-01-30 에스엠시 가부시키가이샤 고진공 밸브

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5549278A (en) Parallel-slide gate valve
JPH0842715A (ja) 無しゅう動真空ゲートバルブ
US11846455B2 (en) Valve needle assembly and electronic expansion valve having the valve needle assembly
JP6877454B2 (ja) ２部分から成る弁ディスクを備えた、流路を閉鎖するための真空弁
US5118078A (en) Butterfly valve having improved sealing characteristics
JPH02271185A (ja) バルブ機構
KR20000028106A (ko) 고진공 밸브
US6893001B2 (en) Gate valve apparatus
JP2944154B2 (ja) 真空設備
US20150047785A1 (en) Plasma Processing Devices Having Multi-Port Valve Assemblies
US10578218B2 (en) Vacuum valve
US20040188650A1 (en) Flow-rate adjustment valve for fluids, particularly refrigeration fluids
US2666539A (en) Rapid operation air lock for closed vessels
JP2000240816A (ja) バタフライバルブ
JP2000046205A (ja) シート取付構造
US3930636A (en) Ball valves
CN220118654U (zh) 用于截止阀的关阀机构、截止阀和空调
JPH0932961A (ja) ゲートバルブおよびそれを用いた半導体製造装置
US3680830A (en) Evacuation valve
CN220910497U (zh) 一种蝶阀
US20240159326A1 (en) Electric valve
KR102590669B1 (ko) 볼 밸브 씰링 어셈블리
JP4625026B2 (ja) 一体化されたポストガイド式弁座リング組立体
JP2005536688A (ja) ステム又はシャフトシール構造
CN116642020A (zh) 用于截止阀的关阀机构、截止阀和空调

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid