TWI394909B - 高真空閥 - Google Patents

Description

高真空閥

本發明是關於軸密封部由設有潤滑油槽的滑動密封件所構成的高真空閥。

先前所知的高真空閥，其閥構件開閉驅動用之桿的軸密封部，若是由設有潤滑油溝槽的滑動密封件構成時，流動在流路內的氣體中有時也會混入有溶劑等，當該溶劑等進入軸密封部時，就有可能會產生保護著真空密封用密封構件的潤滑油洗脫、流出、變差。具體而言，當上述溶劑等進入上述桿表面細微凹凸時，該溶劑等會從真空側進入潤滑油溝槽，又越過潤滑油溝槽到達真空用密封構件，使真空用密封構件變差。此外，高真空閥中，由於流路置於真空周圍環境，以致上述潤滑油有時會在流路的真空周圍環境內蒸發或流出，導致有時也會有真空密封用密封墊缺乏潤滑油而造成早期磨損，產生漏損的問題。

本發明的技術性課題是針對閥構件開閉驅動用之桿的軸密封部由設有潤滑油溝槽的滑動密封件構成的上述高真空閥，防止上述軸密封部缺乏潤滑油，實現該軸密封部的長壽命化。

本發明更具體的技術性課題是針對上述高真空閥，利用簡易手段有效抑制潤滑油從上述軸密封部往位於真空周圍環境的流路蒸發、洗脫、流出。

為了解決上述課題，根據本發明時，提供一種高真空閥，其具備：在第1埠和第2埠之間形成的流路設置閥座，具備有以接離該閥座來開閉該流路之閥構件的閥體部；由驅動手段驅動的桿以密封狀態貫通上述閥體部閥座相向的流路壁插入在該流路內，可對連結在該桿前端的上述閥構件進行驅動使閥座開關的閥驅動機構部，其特徵為，在貫通上述閥體部流路壁之上述桿的貫通孔內設置潤滑油溝槽，在該貫通孔內潤滑油溝槽的上述流路側設置潤滑油保持用的密封構件的同時，在上述貫通孔內之潤滑油溝槽的相反側設置真空密封用密封構件，藉此構成上述貫通孔的軸密封部，上述潤滑油溝槽的軸方長度是形成和上述閥構件的最大衝程相同或為該最大衝程以上。

本發明相關的高真空閥其較佳的實施形態是在上述貫通孔內的流路側端設有刮板。

此外，上述閥構件驅動用的驅動手段，形成於前端連結有上述閥構件使另一端從上述流路壁突出在殼內缸筒部的上述桿，連結著滑動自如收容在該缸筒部內的活塞，利用給排在該缸筒部內的導向流體壓透過上述活塞及桿就可驅動閥構件。

當上述高真空閥為上述導向式驅動的高真空閥時，以將上述缸筒部之至少活塞的桿連結側的活塞室為可給排導向流體壓的壓力室，在上述桿貫通之貫通孔的該壓力室側端設置該壓力室的密封用密封墊的同時，將該密封用密封墊和位於貫通孔內潤滑油溝槽的該壓力室側的真空密封用密封構件之間的空間，利用可讓從上述壓力室通過上述密封用密封墊漏出的空氣脫逃的通孔開放於外部為佳。

具有上述構成的高真空閥，因是在閥體部之桿的貫通孔設有和閥構件的最大衝程相同或為該最大衝程以上之軸方向長度的潤滑油溝槽，所以桿表面經常存在有接觸著潤滑油溝槽潤滑油的部份，再加上，於閥構件的開閉任一衝程中，桿表面之接觸在潤滑油溝槽的部份是會經常接觸著潤滑油溝槽兩端的密封構件其中之一，使該等密封構件可補給潤滑油，因此能夠實現密封構件的長壽命化。

根據以上詳述的本發明高真空閥時，針對閥構件開閉驅動用之桿的軸密封部由設有潤滑油溝槽的滑動密封件構成的上述高真空閥，可防止軸密封部缺乏潤滑油，能夠實現該軸密封部的長壽命化，更具體而言，利用簡易手段就能夠有效抑制潤滑油從上述軸密封部往位於真空周圍環境的流路蒸發、洗脫、流出。

[發明之最佳實施形態]

以下，根據圖面對本發明的實施例進行詳細說明。

第1圖及第2圖是表示本發明相關高真空閥的實施一例。該高真空閥是閥構件14開閉驅動用之桿15的軸密封部30由設有潤滑油溝槽31的滑動密封件構成的L型閥，其主要部份，大致區分為由：內部形成有流路11的閥體部1；及為了閥體部1的閥座16開閉可執行閥構件14開閉驅動的閥驅動機構部2所構成。

上述閥體部1是在第1埠12和軸線與此正交的第2埠13之間形成有上述流路11，在該流路11的第1埠12內側設有閥座16，接著，在該閥座16相向的位置，配設有以接離該閥座16來開閉上述流路11的閥構件14，該閥構件14驅動用的桿15是以密封狀態貫通該桿15支撐用的桿支撐板14所構成的流路壁，從上述流路11內導出附設在閥體部1的閥驅動機構部2。

另一方面，上述閥構件14驅動用的上述閥驅動機構部2，具備可對前端連結有上述閥構件14的桿15進行驅動的驅動手段。該驅動手段，於圖示的實施例中，形成可使前端連結有上述閥構件14的桿15的另一端從上述流路壁(桿支撐板17)突出在其外側的殼21內的缸筒部20，於該缸筒部20內，在上述桿15的端部，連結著滑動自如收容在該缸筒部20內的活塞22，位於該缸筒部20內的活塞22兩側的各活塞室23、24是成為可從各別的導向埠23a、24a給排有導向流體壓的壓力室，利用給排至該等壓力室的導向流體壓透過上述活塞22及桿15就可驅動閥構件14。

另，可構成為上述活塞室23、24的一方並非給排有導向流體壓的壓力室，可利用復位用的彈簧使導向流體壓所驅動的活塞22復位。於該狀況時，通常是在閥構件14和桿支撐板17之間安裝復位用的彈簧，但也可在活塞室23、24的一方收容有復位用的彈簧。

上述高真空閥的貫通閥體部1的流路壁貫通孔18的桿15的軸密封部30是經由在該貫通孔18內設置淺溝狀的潤滑油溝槽31，在該貫通孔18內的潤滑油溝槽31的流路11側，設置由O環等形成的潤滑油保持用的密封構件32的同時，在上述貫通孔18內的潤滑油溝槽31的流路11相反側，設置由O環等形成的真空密封用密封構件33所構成。接著，上述潤滑油溝槽31的軸方向長度是形成和上述閥構件14的最大衝程相同或為該最大衝程以上。

此外，在上述貫通孔18內的流路11側端設置刮板35。該刮板35可抑制因桿15表面露出在流路11內所造成附著在該表面的溶劑等隨著桿的滑動進入軸密封部30，但其還具備有可抑制潤滑油從軸密封部30流出的功能。

再加上，設置在上述潤滑油溝槽31之流路11側的上述密封構件32是可保持著潤滑油不會流出至成為真空的流路11側，但理所當然其還兼具真空密封功能。另一方面，設置在上述潤滑油溝槽31相反側的密封構件33是以真空密封為其功能，但理所當然還兼具可使潤滑油不流出至缸筒部20內的功能。

另，上述桿15，其表面和密封構件32滑接的部份是以形成不露出在流路11為佳，如此一來，即使流路11中的溶劑等附著在桿表面，隨著閥構件14的衝程造成溶劑等進入軸密封部30時，也不會到達密封構件32，能夠更加確實防止溶劑造成密封構件32的損傷。

上述缸筒部20的活塞22的桿連結側的活塞室24為給排有導向流體壓的壓力室之圖示實施例時，以在上述桿15貫通的貫通孔18的該活塞室24側端設置密封用密封墊36的同時，將該密封用密封墊36和貫通孔18內的真空密封用密封構件33之間的空間，利用可使從上述壓力室通過上述密封用密封墊36漏出的空氣脫逃的通孔37開放於外部為佳。當上述活塞室24做為收容有復位用彈簧而開放於大氣時，不需要設置上述密封墊36或通孔37。此外，於上述軸密封部30，在密封構件32和刮板35之間設置軸承38。

具有上述構成的高真空閥，因是在閥體部1之桿15的貫通孔18設有和閥構件14的最大衝程相同或為該最大衝程以上之軸方向長度的潤滑油溝槽31，所以桿15的表面經常有接觸著潤滑油溝槽31潤滑油的部份，再加上，於閥構件14的開閉任一衝程中，桿表面之接觸在潤滑油溝槽31的部份會經常接觸著潤滑油溝槽31兩端的密封構件32、33其中之一，使該等密封構件32、33經常補給有潤滑油，能夠實現密封構件32、33的長壽命化。因此，可防止軸密封部30缺乏潤滑油，能夠實現該軸密封部30的長壽命化，更具體而言，利用簡易手段就能夠有效抑制潤滑油從上述軸密封部30往位於真空周圍環境的流路11的蒸發、洗脫、流出。

1．．．閥體部

2．．．閥驅動機構部

11．．．流路

12．．．第1埠

13．．．第2埠

14．．．閥構件

15．．．桿

16．．．閥座

18．．．貫通孔

20．．．缸筒部

21．．．殼

22．．．活塞

23、24．．．活塞室

30．．．軸密封部

31．．．潤滑油溝槽

32、33．．．密封構件

35．．．刮板

36．．．密封用密封墊

37．．．通孔

第1圖為表示本發明相關的高真空閥的實施例左半為閉閥狀態，右半為開閥狀態時的縱剖面圖。

第2圖為上述實施例的要部縱剖面圖。

1．．．閥體部

2．．．閥驅動機構部

11．．．流路

12．．．第1埠

13．．．第2埠

14．．．閥構件

15．．．桿

16．．．閥座

17．．．桿支撐板

18．．．貫通孔

20．．．缸筒部

21．．．殼

22．．．活塞

23、24．．．活塞室

23a、24a．．．導向埠

30．．．軸密封部

31．．．潤滑油溝槽

32、33．．．密封構件

35．．．刮板

36．．．密封用密封墊

37．．．通孔

38．．．軸承

Claims (3)

1. 一種高真空閥，具備：在第1埠和第2埠之間形成的流路設置閥座，具備有以接離該閥座來開閉該流路之閥構件的閥體部；及由驅動手段驅動的桿以密封狀態貫通上述閥體部的對向於閥座的流路壁插入在該流路內，可對連結在該桿前端的上述閥構件進行驅動使閥座開關的閥驅動機構部，其特徵為：在貫通上述閥體部流路壁之上述桿的貫通孔內設置潤滑油溝槽，在該貫通孔內的潤滑油溝槽的上述流路側設置潤滑油保持用的密封構件，並且在上述貫通孔內的潤滑油溝槽的相反側設置真空密封用密封構件，藉此構成上述貫通孔的軸密封部，上述潤滑油溝槽的軸方向長度是形成和上述閥構件的最大衝程相同或為該最大衝程以上，將上述潤滑油溝槽的兩端的密封構件，配設成：於閥構件的開閉任一衝程中，桿表面之接觸在潤滑油溝槽的部份是經常接觸著上述密封構件其中之一；在上述貫通孔內的流路側端設有刮板。
2. 如申請專利範圍第1項所記載的高真空閥，其中，上述閥構件驅動用的驅動手段，形成於前端連結有上述閥構件使另一端從上述流路壁突出在殼內的缸筒部的上述桿，連結著滑動自如收容在該缸筒部內的活塞，利用給 排在該缸筒部內的導向流體壓透過上述活塞及桿就可驅動閥構件。
3. 如申請專利範圍第2項所記載的高真空閥，其中，將上述缸筒部之至少活塞的桿連結側的活塞室為給排有導向流體壓的壓力室，在上述桿貫通之貫通孔的該壓力室側端設置該壓力室的密封用密封墊的同時，將該密封用密封墊和位於貫通孔內的潤滑油溝槽的該壓力室側的真空密封用密封構件之間的空間，利用可讓從上述壓力室通過上述密封用密封墊漏出的空氣脫逃用的通孔開放於外部。